專利名稱：柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種調(diào)整裝置，尤其涉及一種柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
目前，對于定位精度要求較高的零部件，在組件裝配的過程中，往往不能直接通過零件的配合來實(shí)現(xiàn)高精度的定位，而是需要輔助調(diào)整機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)。通常，在調(diào)整的過程中，組件需要調(diào)整的自由度越多，越容易形成過多約束；需要調(diào)整的精度越高，組件的定位精度和穩(wěn)定性也就越差；同時(shí)在調(diào)整過程中，各自由度調(diào)整中容易形成干涉，不能解耦。因此，如何提供一種可以實(shí)現(xiàn)組件多個(gè)自由度的定位可調(diào)，且有效提高定位精度和固定的穩(wěn)定性，并能降低零件的加工難度的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種柔性安裝調(diào)整機(jī)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)組件多個(gè)自由度的定位可調(diào)，提高定位精度和固定的穩(wěn)定性，同時(shí)降低了零件的加工難度。為了達(dá)到上述的目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:—種柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)，包括柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元、支撐框架、球頭調(diào)整結(jié)構(gòu)和用于與被調(diào)整組件剛性連接的支撐架，所述支撐架和所述支撐框架垂直設(shè)置，所述柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元分別與所述支撐架和所述支撐框架相垂直，所述柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元的一端與所述支撐框架剛性聯(lián)結(jié)，所述柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元的另一端與所述支撐架剛性聯(lián)結(jié)，所述支撐架的兩端分別通過所述球頭調(diào)整結(jié)構(gòu)與所述支撐框架連接，所述柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元通過壓緊或放松支撐架來調(diào)整被調(diào)整組件，通過分別調(diào)整所述球頭調(diào)整結(jié)構(gòu)調(diào)整支撐架及被調(diào)整組件的高度和傾斜度。優(yōu)選地，在上述的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)中，所述柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元是由兩個(gè)互成90度的單軸柔性鉸鏈構(gòu)成的復(fù)合雙軸柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，在上述的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)中，所述復(fù)合雙軸柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)包括一具有縫隙的柔性件以及用于調(diào)整縫隙大小的鎖緊螺釘和頂絲，鎖緊螺釘和頂絲設(shè)置于所述柔性件上，所述柔性件的一端與所述支撐框架剛性聯(lián)結(jié)，所述柔性件的另一端與所述支撐架剛性聯(lián)結(jié)。優(yōu)選地，在上述的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)中，所述柔性件的另一端與所述支撐架卡合連接。優(yōu)選地，在上述的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)中，所述柔性件的另一端設(shè)有凹槽，所述柔性件通過該凹槽與所述支撐架卡合在一起。優(yōu)選地，在上述的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)中，所述球頭調(diào)整結(jié)構(gòu)包括球頭銷和調(diào)節(jié)螺母，所述球頭銷包括相連接的球銷頭和螺紋銷桿，所述支撐架設(shè)有螺孔，所述螺紋銷桿分別與所述調(diào)節(jié)螺母和所述螺孔相匹配，所述支撐框架設(shè)有與所述球頭銷相對應(yīng)的球頭孔，所述球頭銷嵌設(shè)于所述球頭孔內(nèi)，所述螺紋銷桿穿過所述調(diào)節(jié)螺母后穿入所述支撐架的螺孔內(nèi)。優(yōu)選地，在上述的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)中，還包括若干組件定位銷和若干組件固定螺釘，所述被調(diào)整組件通過所述組件定位銷和所述組件固定螺釘與所述支撐架剛性聯(lián)結(jié)。優(yōu)選地,在上述的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)中，還包括微動(dòng)調(diào)節(jié)單元,所述微動(dòng)調(diào)節(jié)單元與所述支撐框架剛性聯(lián)結(jié)，所述微調(diào)結(jié)構(gòu)與所述支撐架采用球頭件聯(lián)結(jié)，所述支撐架留有與所述球頭件相匹配的球銷孔。優(yōu)選地，在上述的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)中，所述微動(dòng)調(diào)節(jié)單元是復(fù)合螺旋結(jié)構(gòu)，所述復(fù)合螺旋結(jié)構(gòu)包括微調(diào)支座、若干支座固定螺釘、螺旋主動(dòng)件、螺向調(diào)節(jié)桿、螺旋從動(dòng)件，所述微調(diào)支座通過所述支座固定螺釘與所述支撐框架剛性聯(lián)結(jié)，所述螺向調(diào)節(jié)桿固定套設(shè)于所述螺旋從動(dòng)件的外周緣，所述微調(diào)支座內(nèi)設(shè)有內(nèi)螺紋，所述螺旋主動(dòng)件設(shè)有內(nèi)、外螺紋，所述螺旋主動(dòng)件的外螺紋和所述微調(diào)支座的內(nèi)螺紋配合，所述螺旋從動(dòng)件設(shè)有外螺紋，所述螺旋從動(dòng)件的一端與所述螺旋主動(dòng)件的內(nèi)螺紋配合，所述螺旋從動(dòng)件的另一端設(shè)置所述球頭件，所述微調(diào)支座的內(nèi)螺紋分別與所述螺旋主動(dòng)件的內(nèi)、外螺紋以及所述螺旋從動(dòng)件的外螺紋的旋向相同，且螺旋主動(dòng)件的內(nèi)螺紋的螺距小于螺旋主動(dòng)件的外螺紋的螺距。優(yōu)選地，在上述的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)中，所述復(fù)合螺旋結(jié)構(gòu)還包括導(dǎo)向銷，所述導(dǎo)向銷包括銷頭和銷桿，所述銷桿穿設(shè)于所述球頭件中本發(fā)明的有益效果如下:本發(fā)明提供的柔性安裝調(diào)整機(jī)構(gòu)可應(yīng)用于精密組件多自由度可調(diào)的定位安裝，如集成電路光刻機(jī)的對準(zhǔn)模塊在主基板上的定位安裝。該柔性安裝調(diào)整機(jī)構(gòu)通過分別調(diào)整球頭調(diào)整結(jié)構(gòu)，可以調(diào)整支撐架及其上被調(diào)整組件的高度(Y向自由度可調(diào))和上下傾斜角度(Rz自由度可調(diào))；通過所述柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元壓緊或放松支撐架可以調(diào)整被調(diào)整組件的前后傾斜角度(Rx自由度可調(diào))，因此，可以實(shí)現(xiàn)組件多個(gè)自由度的定位可調(diào)，提高定位精度和固定的穩(wěn)定性，同時(shí)降低了零件的加工難度。另外，通過增設(shè)微動(dòng)調(diào)節(jié)單元，可以實(shí)現(xiàn)對支撐架及被調(diào)整組件的另一自由度的調(diào)整即左右傾斜角度(Ry自由度可調(diào))，同時(shí)可以避免調(diào)整其他自由度時(shí)過約束。


本發(fā)明的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1是本發(fā)明的一實(shí)施例的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)的三維結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是本發(fā)明的一實(shí)施例的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)的分解示圖；圖3是本發(fā)明的一實(shí)施例的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)的柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元的結(jié)構(gòu)分解圖；圖4是本發(fā)明的一實(shí)施例的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)的微動(dòng)調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是本發(fā)明的一實(shí)施例的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)的微動(dòng)調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的剖視圖；圖6本發(fā)明的一實(shí)施例的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)的支撐架和被調(diào)整組件的分解示意圖；圖7是本發(fā)明的一實(shí)施例的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)的俯視示意圖。圖中:1_支撐架；2_柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元；3_微動(dòng)調(diào)節(jié)單元；4_被調(diào)整組件；5-支撐框架；121-支撐架固定螺釘；122_支撐架固定螺釘；131-碟型墊片；132_碟型墊片；141-柔性件固定螺釘；142_柔性件固定螺釘；151_調(diào)節(jié)螺母；152_調(diào)節(jié)螺母；161_球頭銷；162-球頭銷；21_柔性件；22_緊固螺釘；231_鎖緊螺釘；232_鎖緊螺釘；24_頂絲；31_微調(diào)支座；321-支座固定螺釘；322_支座固定螺釘；33_螺旋主動(dòng)件；34_旋向調(diào)節(jié)桿；35_螺旋從動(dòng)件；36_導(dǎo)向銷；41_調(diào)整組件；421-組件固定螺釘；422_組件固定螺釘；423_組件固定螺釘；431-組件定位銷；432_組件定位銷。
具體實(shí)施例方式以下將對本發(fā)明的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。下面將參照附圖對本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明而仍然實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本發(fā)明的限制。為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本發(fā)明由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。為使本發(fā)明的目的、特征更明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實(shí)施例的目的。請參閱圖1，這種柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)，包括用于與被調(diào)整組件剛性連接的支撐架1、柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元2、球頭調(diào)整結(jié)構(gòu)和支撐框架5，所述支撐架I和所述支撐框架5垂直設(shè)置，所述柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元2分別和所述支撐架I和所述支撐框架5垂直，所述柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元2的一端與所述支撐框架5剛性聯(lián)結(jié)，所述柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元2的另一端與所述支撐架I剛性聯(lián)結(jié)，所述支撐架I的兩端分別通過球頭調(diào)整結(jié)構(gòu)與所述支撐框架5連接，所述柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元2通過壓緊或放松支撐架I來調(diào)整被調(diào)整組件4，通過分別調(diào)整所述球頭調(diào)整結(jié)構(gòu)調(diào)整支撐架I及被調(diào)整組件4的高度和傾斜度。本實(shí)施例中，以所述支撐架I所在的平面為XY面，所述柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元2設(shè)置于與XY面相垂直的Z方向上，X方向表示左右、Z方向表示前后、Y方向表示上下或高低。由于所述支撐架I與所述被調(diào)整組件4剛性聯(lián)結(jié)，因此，對支撐架I進(jìn)行調(diào)整就相當(dāng)于對被調(diào)整組件4進(jìn)行調(diào)整。本實(shí)施例中，所述支撐架I是一 T型的支撐板。所述支撐框架5的中部帶有方形通孔，用于容置所述支撐架I的下部。請結(jié)合參閱圖1和圖2，所述球頭調(diào)整結(jié)構(gòu)包括球頭銷161或162和調(diào)節(jié)螺母151或152，所述球頭銷161或162包括相連接的球銷頭和螺紋銷桿，所述支撐架I設(shè)有螺孔，所述螺紋銷桿分別與所述調(diào)節(jié)螺母151或152和所述螺孔相匹配，所述支撐框架5設(shè)有與所述球頭銷161或162相對應(yīng)的球頭孔，所述球頭銷161或162嵌設(shè)于所述球頭孔內(nèi)，所述螺紋銷桿穿過所述調(diào)節(jié)螺母151或152后穿入所述支撐架I的螺孔內(nèi)。球頭銷161、162作為支撐架I的定位裝置，其中球頭銷162通過腰型孔與支撐架I配合；同時(shí)球頭銷161、162在Y向自由度調(diào)整的過程中起到定位導(dǎo)向的作用。通過分別調(diào)整球頭調(diào)整結(jié)構(gòu)的調(diào)節(jié)螺母151、152，可以調(diào)整支撐架I的高度和傾斜方向，從而實(shí)現(xiàn)Rz和Y向自由度可調(diào)。請結(jié)合參閱圖1、圖2和圖3，本實(shí)施例中，所述柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元2是由兩個(gè)互成90度的單軸柔性鉸鏈構(gòu)成的復(fù)合雙軸柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)。具體地，所述復(fù)合雙軸柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)包括一具有縫隙的柔性件21以及用于調(diào)整縫隙大小的鎖緊螺釘231、232和頂絲24，所述鎖緊螺釘231、232和所述頂絲24分別設(shè)置于所述柔性件21上，所述柔性件21的一端通過緊固螺釘22與所述支撐框架5剛性聯(lián)結(jié)，所述柔性件21的另一端通過固定螺釘141、142與所述支撐架I剛性聯(lián)結(jié)。通過調(diào)整柔性件21上的頂絲24，可以增大柔性件21的縫隙；通過擰緊鎖緊螺釘231和232，可以縮小柔性件21的縫隙，從而達(dá)到調(diào)整柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元2和支撐架I之間的間隙，在球頭銷161、162的定位作用下,支撐架I只能構(gòu)成Rx方向的運(yùn)動(dòng)。另外，由于頂絲24的調(diào)整精度比較高，因此通過微調(diào)頂絲24可以達(dá)到精密調(diào)整Rx自由度的目的。請參閱圖1、圖2、圖4和圖5,本實(shí)施例的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu),還包括微動(dòng)調(diào)節(jié)單元3,所述微動(dòng)調(diào)節(jié)單元3與所述支撐框架5垂直剛性聯(lián)結(jié)，所述微動(dòng)調(diào)節(jié)單元3與所述支撐架I采用球頭件垂直聯(lián)結(jié)，所述支撐架I留有與所述球頭件相匹配的球銷孔。較佳地,所述微動(dòng)調(diào)節(jié)單元3是復(fù)合螺旋結(jié)構(gòu),所述復(fù)合螺旋結(jié)構(gòu)包括微調(diào)支座31、兩支座固定螺釘321、322、螺旋主動(dòng)件33、螺向調(diào)節(jié)桿34、螺旋從動(dòng)件35，所述微調(diào)支座31通過所述支座固定螺釘321、322與所述支撐框架5剛性聯(lián)結(jié)，所述螺向調(diào)節(jié)桿34固定套設(shè)于所述螺旋從動(dòng)件35的外周緣，所述微調(diào)支座31內(nèi)設(shè)有內(nèi)螺紋，所述螺旋主動(dòng)件33設(shè)有內(nèi)、外螺紋，所述螺旋主動(dòng)件33的外螺紋和所述微調(diào)支座31的內(nèi)螺紋配合，所述螺旋從動(dòng)件35設(shè)有外螺紋，所述螺旋從動(dòng)件35的一端的外螺紋與所述螺旋主動(dòng)件33的內(nèi)螺紋配合，所述螺旋從動(dòng)件35的另一端設(shè)置所述球頭件，所述微調(diào)支座31的內(nèi)螺紋分別與所述螺旋主動(dòng)件33的內(nèi)、外螺紋以及所述螺旋從動(dòng)件35的外螺紋的旋向相同，且螺旋主動(dòng)件33的內(nèi)螺紋的螺距小于螺旋主動(dòng)件35的外螺紋的螺距。較佳地，本實(shí)施例的復(fù)合螺旋結(jié)構(gòu)還包括導(dǎo)向銷36，所述導(dǎo)向銷包括銷頭和銷桿，所述銷桿穿設(shè)于所述球頭件中。采用所述微動(dòng)調(diào)節(jié)單元3調(diào)整支撐架I的Ry向調(diào)整過程中，需要鎖緊柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元2，通過柔性件21在Y軸方向可以微量變形，構(gòu)成Ry自由度的調(diào)整。由于螺旋從動(dòng)件35的端部做成球形,和支撐架I的圓柱狀缺口配合，構(gòu)成柔性結(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)Z向和X向自由度約束，加上導(dǎo)向銷36構(gòu)成Rz自由度約束，共同完成Ry向的調(diào)整，同時(shí)避免調(diào)整其它自由度時(shí)過約束。請參閱圖1、圖2和圖6，本實(shí)施例的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)，還包括兩組件定位銷431、432和兩組件固定螺釘421、422，所述被調(diào)整組件4通過所述組件定位銷431、432和所述組件固定螺釘421、422與所述支撐架I剛性聯(lián)結(jié)。請參閱圖1和圖7，較佳地，所述柔性件21的另一端可以設(shè)置凹槽，所述柔性件可以通過該凹槽與所述支撐架卡合在一起。由于柔性件21是通過凹槽和支撐架I卡合鎖緊，從而可以增加柔性件21和支撐架I之間聯(lián)結(jié)的穩(wěn)定性。請參閱圖1和圖2，另外，當(dāng)被調(diào)整組件4調(diào)整完畢后，可以通過兩支撐架固定螺釘121,122將支撐架I和支撐框架5固定；并可以通過緊固螺釘22將所述柔性件21和所述支撐框架5固定，使得支撐架固定螺釘121、121和緊固螺釘22構(gòu)成三角形支撐固定方式，從而進(jìn)一步增加了被調(diào)整組件4定位固定的穩(wěn)定性。當(dāng)被調(diào)整組件4調(diào)整完畢后，微動(dòng)調(diào)節(jié)單元3可以通過兩支座固定螺釘321、322與支撐框架5固定。另外，可以在支撐架固定螺釘121、122的下面安裝碟型墊片131和132，構(gòu)成彈性結(jié)構(gòu)，起到緩沖作用。綜上所述，本發(fā)明提供的柔性安裝調(diào)整機(jī)構(gòu)可應(yīng)用于精密組件多自由度可調(diào)的定位安裝，如集成電路光刻機(jī)的對準(zhǔn)模塊在主基板上的定位安裝。該柔性安裝調(diào)整機(jī)構(gòu)通過調(diào)整球頭調(diào)整結(jié)構(gòu)，可以調(diào)整支撐架及其上被調(diào)整組件的高度(Y向自由度可調(diào))和上下傾斜角度(Rz自由度可調(diào))；通過所述柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元壓緊或放松支撐架可以調(diào)整被調(diào)整組件的前后傾斜角度(Rx自由度可調(diào))，因此，可以實(shí)現(xiàn)組件多個(gè)自由度的定位可調(diào)，提高定位精度和固定的穩(wěn)定性，同時(shí)降低了零件的加工難度。另外，通過增設(shè)微動(dòng)調(diào)節(jié)單元，可以實(shí)現(xiàn)對支撐架及被調(diào)整組件的另一自由度的調(diào)整即調(diào)整左右傾斜角度(Ry自由度可調(diào))，同時(shí)可以避免調(diào)整其他自由度時(shí)過約束。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元、支撐框架、球頭調(diào)整結(jié)構(gòu)和用于與被調(diào)整組件剛性連接的支撐架，所述支撐架和所述支撐框架垂直設(shè)置，所述柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元分別與所述支撐架和所述支撐框架相垂直，所述柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元的一端與所述支撐框架剛性聯(lián)結(jié)，所述柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元的另一端與所述支撐架剛性聯(lián)結(jié)，所述支撐架的兩端分別通過所述球頭調(diào)整結(jié)構(gòu)與所述支撐框架連接，所述柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元通過壓緊或放松支撐架來調(diào)整被調(diào)整組件，通過分別調(diào)整所述球頭調(diào)整結(jié)構(gòu)調(diào)整支撐架的高度和傾斜度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元是由兩個(gè)互成90度的單軸柔性鉸鏈構(gòu)成的復(fù)合雙軸柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述復(fù)合雙軸柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)包括一具有縫隙的柔性件以及用于調(diào)整縫隙大小的鎖緊螺釘和頂絲，鎖緊螺釘和頂絲設(shè)置于所述柔性件上，所述柔性件的一端與所述支撐框架剛性聯(lián)結(jié)，所述柔性件的另一端與所述支撐架剛性聯(lián)結(jié)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述柔性件的另一端與所述支撐架卡合連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述柔性件的另一端設(shè)有凹槽，所述柔性件通過該凹槽與所述支撐架卡合在一起。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述球頭調(diào)整結(jié)構(gòu)包括球頭銷和調(diào)節(jié)螺母，所述球頭銷包括相連接的球銷頭和螺紋銷桿，所述支撐架設(shè)有螺孔，所述螺紋銷桿分別與所述調(diào)節(jié)螺母和所述螺孔相匹配，所述支撐框架設(shè)有與所述球頭銷相對應(yīng)的球頭孔，所述球頭銷嵌設(shè)于所述球頭孔內(nèi)，所述螺紋銷桿穿過所述調(diào)節(jié)螺母后穿入所述支撐架的螺孔內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括若干組件定位銷和若干組件固定螺釘，所述被調(diào)整組件通過所述組件定位銷和所述組件固定螺釘與所述支撐架剛性聯(lián)結(jié)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1 7中任意一項(xiàng)所述的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括微動(dòng)調(diào)節(jié)單元，所述微動(dòng)調(diào)節(jié)單元與所述支撐框架剛性聯(lián)結(jié)，所述微調(diào)結(jié)構(gòu)與所述支撐架采用球頭件聯(lián)結(jié)，所述支撐架留有與所述球頭件相匹配的球銷孔。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述微動(dòng)調(diào)節(jié)單元是復(fù)合螺旋結(jié)構(gòu)，所述復(fù)合螺旋結(jié)構(gòu)包括微調(diào)支座、若干支座固定螺釘、螺旋主動(dòng)件、螺向調(diào)節(jié)桿、螺旋從動(dòng)件，所述微調(diào)支座通過所述支座固定螺釘與所述支撐框架剛性聯(lián)結(jié)，所述螺向調(diào)節(jié)桿固定套設(shè)于所述螺旋從動(dòng)件的外周緣，所述微調(diào)支座內(nèi)設(shè)有內(nèi)螺紋，所述螺旋主動(dòng)件設(shè)有內(nèi)、外螺紋，所述螺旋主動(dòng)件的外螺紋和所述微調(diào)支座的內(nèi)螺紋配合，所述螺旋從動(dòng)件設(shè)有外螺紋，所述螺旋從動(dòng)件的一端與所述螺旋主動(dòng)件的內(nèi)螺紋配合，所述螺旋從動(dòng)件的另一端設(shè)置所述球頭件，所述微調(diào)支座的內(nèi)螺紋分別與所述螺旋主動(dòng)件的內(nèi)、外螺紋以及所述螺旋從動(dòng)件的外螺紋的旋向相同，且螺旋主動(dòng)件的內(nèi)螺紋的螺距小于螺旋主動(dòng)件的外螺紋的螺距。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述復(fù)合螺旋結(jié)構(gòu)還包括導(dǎo)向銷，所述導(dǎo)向銷包括銷頭和銷桿，所述銷桿穿設(shè)于所述球頭件中。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種柔性調(diào)整機(jī)構(gòu)，包括柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元、支撐框架、球頭調(diào)整結(jié)構(gòu)和用于與被調(diào)整組件剛性連接的支撐架，所述支撐架和所述支撐框架垂直設(shè)置，所述柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元分別與所述支撐架和所述支撐框架相垂直，所述柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元的一端與所述支撐框架剛性聯(lián)結(jié)，所述柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元的另一端與所述支撐架剛性聯(lián)結(jié)，所述支撐架的兩端分別通過所述球頭調(diào)整結(jié)構(gòu)與所述支撐框架連接，所述柔性微調(diào)結(jié)構(gòu)單元通過壓緊或放松支撐架來調(diào)整被調(diào)整組件，通過分別調(diào)整所述球頭調(diào)整結(jié)構(gòu)調(diào)整支撐架及被調(diào)整組件的高度和傾斜度。本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)組件多個(gè)自由度的定位可調(diào)，提高定位精度和固定的穩(wěn)定性，同時(shí)降低了零件的加工難度。
文檔編號(hào)B25B11/00GK103182689SQ201110457618
公開日2013年7月3日 申請日期2011年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月30日
發(fā)明者程海林, 吳飛 申請人:上海微電子裝備有限公司, 上海微高精密機(jī)械工程有限公司