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圓片貼片機(jī)的切斷機(jī)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):2302457閱讀:682來(lái)源:國(guó)知局
專(zhuān)利名稱(chēng):圓片貼片機(jī)的切斷機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型是關(guān)于一種圓片貼片機(jī),尤指一種圓片貼片機(jī)中可精準(zhǔn)定位的切斷機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)
在目前實(shí)務(wù)作法中,圓片切割或研磨制程之前會(huì)進(jìn)行一圓片貼片步驟(wafer mount),亦即使圓片其中一面能貼附上一膠帶,例如藍(lán)膜(blue tape),由此使切割出的晶粒或研磨碎屑黏附在膠帶上。在上述制程基礎(chǔ)下所用的現(xiàn)有圓片貼片設(shè)備主要包括有機(jī)臺(tái)主體、圓片載臺(tái)、滾筒組及一切斷機(jī)構(gòu),圓片載臺(tái)與滾筒組皆架設(shè)在機(jī)臺(tái)主體上。滾筒組主要是利用一擴(kuò)張筒使膠帶可處于展開(kāi)并拉緊的狀態(tài),利用一膠帶卷筒供給膠帶,利用一按壓筒下壓膠帶使其平貼于一環(huán)形支持框及一圓片。在膠帶已正確貼附在圓片的狀態(tài)下,接著還需利用切斷機(jī)構(gòu)將膠帶切斷修飾,使其不會(huì)妨礙后續(xù)制程步驟。若切斷機(jī)構(gòu)的切刀定位不佳,可能發(fā)生切割到圓片的異常狀況, 如此將導(dǎo)致圓片報(bào)廢,其造成的損失難以估計(jì)。目前切刀定位方式多是依據(jù)預(yù)先在切刀座體上所標(biāo)記號(hào)以人工移動(dòng)切刀座體至與貼片機(jī)臺(tái)對(duì)齊。然而這樣所獲得的切刀定位精準(zhǔn)度并不夠可靠。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種用于圓片貼片的切斷機(jī)構(gòu),能減少因切刀定位不良所導(dǎo)致圓片破片的異?,F(xiàn)象。為達(dá)成上述目的,本實(shí)用新型的圓片貼片機(jī)的切斷機(jī)構(gòu)包括一機(jī)臺(tái)、一切刀座體、 一切刀、一光學(xué)收發(fā)模塊及一感應(yīng)板。上述切刀座體可活動(dòng)地設(shè)置于機(jī)臺(tái),切刀則固持于切刀座體。光學(xué)收發(fā)模塊設(shè)置于機(jī)臺(tái)上。上述感應(yīng)板固定于切刀座體,且包括一反光層及一不反光層,其中不反光層是貼設(shè)在反光層上表面。上述不反光層還挖設(shè)有多個(gè)開(kāi)口,多個(gè)開(kāi)口的排列是對(duì)應(yīng)于光學(xué)收發(fā)模塊。上述反光層可為陶瓷材質(zhì)或玻璃材質(zhì)。不反光層較佳可選用吸光材質(zhì)例如黑色的
塑料、皮革等。本實(shí)用新型的圓片貼片機(jī)的切斷機(jī)構(gòu)可還包括一鎖固螺栓,且感應(yīng)板還貫設(shè)有一穿孔。通過(guò)鎖固螺栓穿過(guò)穿孔并鎖入切刀座體,使感應(yīng)板壓固于切刀座體。本實(shí)用新型的圓片貼片機(jī)的切斷機(jī)構(gòu)亦可還包括一控制器與一閃燈警報(bào)器,控制器電性連接于光學(xué)收發(fā)模塊與閃燈警報(bào)器。當(dāng)然,閃燈警報(bào)器亦可替換為其它類(lèi)型警報(bào)器例如發(fā)聲警報(bào)器。本實(shí)用新型的有益效果通過(guò)上述機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì),在圓片貼片步驟中,依據(jù)光學(xué)收發(fā)模塊所發(fā)射光束是否以完整光量反射回來(lái)判定切刀定位的正確性,可避免因切刀定位錯(cuò)誤而誤切割圓片的憾事t

[0012]圖1是本實(shí)用新型--較佳實(shí)施例的圓片貼片機(jī)[0013]圖2是圖1的感應(yīng)板分解圖。[0014]主要元件符號(hào)說(shuō)明][0015]機(jī)臺(tái)11切刀座體12[0016]切刀13光學(xué)收發(fā)模塊14[0017]鎖固螺栓17穿孔18[0018]感應(yīng)板20反光層21[0019]孔 211,221不反光層22[0020]開(kāi)口 222,223,224控制器23[0021]警報(bào)器M圓片30[0022]支持框31膠帶3具體實(shí)施方式
參考圖1。圖1示出一圓片貼片機(jī)中關(guān)于膠片切斷的機(jī)構(gòu)部分,主要包括有一機(jī)臺(tái)11、一切刀座體12、切刀13、一光學(xué)收發(fā)模塊14、一感應(yīng)板20、一控制器23以及一警報(bào)器 24。上述切刀座體12是可活動(dòng)地設(shè)置于機(jī)臺(tái)11,一般為配合不同尺寸圓片及圓片本身幾何外型的切斷,常設(shè)計(jì)為兼具往復(fù)式移動(dòng)與旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的功能。切刀13是固持于切刀座體12的一端。光學(xué)收發(fā)模塊14安裝于機(jī)臺(tái)11上。光學(xué)收發(fā)模塊14配合感應(yīng)板20用于感應(yīng)偵測(cè)切刀13位置是否正確,在本例中是負(fù)責(zé)偵測(cè)8時(shí)、6時(shí)、5時(shí)三種圓片尺寸場(chǎng)合的切刀位置。控制器23與光學(xué)收發(fā)模塊14及一警報(bào)器M電性連接。參考圖1與圖2,圖2是圖1的感應(yīng)板分解圖。在本實(shí)施例中,感應(yīng)板20是以鎖固方式固定于切刀座體12,也就是將感應(yīng)板20貫設(shè)一穿孔18,并利用一鎖固螺栓17穿過(guò)穿孔18而鎖入切刀座體12,使感應(yīng)板20被壓固于切刀座體12。具體而言,本實(shí)施例的感應(yīng)板20包括一反光層21及一不反光層22,其中不反光層 22貼設(shè)在反光層21上表面。反光層21與不反光層22各挖設(shè)有一孔211,221,兩孔共同構(gòu)成上述的穿孔18。不反光層22還另外挖設(shè)有對(duì)應(yīng)判斷8時(shí)、6時(shí)、5時(shí)圓片場(chǎng)合的三開(kāi)口 222 2 使得部分反光層21露出于該三開(kāi)口 222 2 的區(qū)域位置。開(kāi)口較佳設(shè)計(jì)為略大于所對(duì)應(yīng)光學(xué)收發(fā)模塊14所發(fā)出的光束直徑,在本實(shí)施例中,光束直徑約0. 5mm,開(kāi)口則約 1. 5mm ο反光層21的材質(zhì)可為陶瓷或玻璃等良好光反射材質(zhì);不反光層22較佳選用吸光材質(zhì)例如黑色的塑料、皮革等。以下舉一例說(shuō)明本實(shí)用新型的運(yùn)作。首先,如圖所示膠帶32已貼附于一環(huán)形支持框31以及一 8時(shí)圓片30,接著便進(jìn)行支持框31上膠帶32的切斷。透過(guò)移動(dòng)切刀座體12 使切刀13大致位于一對(duì)應(yīng)8時(shí)圓片場(chǎng)合的標(biāo)準(zhǔn)切刀位置,于此同時(shí)光學(xué)收發(fā)模塊14發(fā)出感測(cè)光束。若光學(xué)收發(fā)模塊14所發(fā)射的光束未準(zhǔn)確落入對(duì)應(yīng)的開(kāi)口 222,例如只有一部分落入或完全未落入,則無(wú)法將光束以完整光量反射回光學(xué)收發(fā)模塊14,光學(xué)收發(fā)模塊14便依據(jù)預(yù)設(shè)程序觸發(fā)一控制器23,使其控制一警報(bào)器M如閃燈警報(bào)器作用,以便告知操作人員切刀定位異常。若無(wú)異常狀態(tài),則可控制切刀進(jìn)行裁切動(dòng)作。當(dāng)轉(zhuǎn)換貼片圓片的尺寸,例如變換為5時(shí)圓片的貼片場(chǎng)合時(shí),同樣先移動(dòng)切刀座體12使切刀13大致位于另一預(yù)定位置,同時(shí)光學(xué)收發(fā)模塊14發(fā)出感測(cè)光束。此階段中, 光束正常應(yīng)該落入開(kāi)口 224,切刀定位異常的警示原理則同上所述。由上述可知,本實(shí)用新型可以達(dá)到精準(zhǔn)定位切刀的目的,解決了圓片被誤切而破片的問(wèn)題,節(jié)省很大的圓片報(bào)廢成本以及產(chǎn)線(xiàn)異常問(wèn)題排解花費(fèi)的時(shí)間與人力。上述實(shí)施例僅是為了方便說(shuō)明而舉例而已,本實(shí)用新型所主張的權(quán)利范圍自應(yīng)以申請(qǐng)專(zhuān)利范圍所述為準(zhǔn),而非僅限于上述實(shí)施例。
權(quán)利要求1.一種圓片貼片機(jī)的切斷機(jī)構(gòu),其特征在于包括 一機(jī)臺(tái);一切刀座體,能活動(dòng)地設(shè)置于該機(jī)臺(tái); 一切刀,固持于該切刀座體; 一光學(xué)收發(fā)模塊,布設(shè)于該機(jī)臺(tái);以及一感應(yīng)板,固定于該切刀座體,包括一反光層及一不反光層,其中該不反光層貼設(shè)在該反光層上表面,且挖設(shè)有多個(gè)開(kāi)口。
2.如權(quán)利要求1所述的圓片貼片機(jī)的切斷機(jī)構(gòu),其特征在于,該反光層為陶瓷材質(zhì)。
3.如權(quán)利要求1所述的圓片貼片機(jī)的切斷機(jī)構(gòu),其特征在于,該反光層為玻璃材質(zhì)。
4.如權(quán)利要求1所述的圓片貼片機(jī)的切斷機(jī)構(gòu),其特征在于,還包括一鎖固螺栓,且該感應(yīng)板還貫設(shè)有一穿孔,該鎖固螺栓穿過(guò)該穿孔并鎖入該切刀座體,使該感應(yīng)板壓固于該切刀座體。
5.如權(quán)利要求1所述的圓片貼片機(jī)的切斷機(jī)構(gòu),其特征在于,還包括一控制器與一閃燈警報(bào)器,該控制器電性連接于該光學(xué)收發(fā)模塊與該閃燈警報(bào)器。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型是有關(guān)于一種圓片貼片機(jī)的切斷機(jī)構(gòu),包括一機(jī)臺(tái)、一切刀座體、一切刀、一光學(xué)收發(fā)模塊及一感應(yīng)板。切刀座體可活動(dòng)地設(shè)置于機(jī)臺(tái),切刀固持于切刀座體。感應(yīng)板固定于切刀座體,并包括一反光層及一不反光層,其中不反光層貼設(shè)在反光層上表面。不反光層挖設(shè)有對(duì)應(yīng)光學(xué)收發(fā)模塊的多個(gè)開(kāi)口。由此,可獲致精準(zhǔn)的切刀定位結(jié)果,避免誤切圓片而產(chǎn)生破片。
文檔編號(hào)B26D7/27GK202114758SQ20112013853
公開(kāi)日2012年1月18日 申請(qǐng)日期2011年5月5日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月5日
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