專利名稱：機(jī)械手手臂結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種手臂結(jié)構(gòu)，尤指一種單自由度真空機(jī)械手手臂的肩部結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有的單自由度真空機(jī)械手的手臂結(jié)構(gòu)中，其大臂肩部的帶輪固定方式通常為直接固定于安裝法蘭上，且肩部回轉(zhuǎn)軸承的內(nèi)外圈在軸向上是相對(duì)剛性緊固的，因此降低了軸承的使用壽命，即降低了單自由度真空機(jī)械手的整體壽命。另外，在現(xiàn)有技術(shù)中，真空機(jī)械手抓取硅片校準(zhǔn)工位時(shí)，無(wú)法實(shí)現(xiàn)調(diào)整和補(bǔ)償工位方向，從而導(dǎo)致必須根據(jù)工位來(lái)調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)法蘭安裝的方向，不僅浪費(fèi)時(shí)間，而且浪費(fèi)人力、物力。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于以上內(nèi)容，有必要提供一種能夠提高使用壽命且可以調(diào)整機(jī)械手工位方向的機(jī)械手手臂結(jié)構(gòu)。一種機(jī)械手手臂結(jié)構(gòu)，其包括一機(jī)械手大臂及一與所述機(jī)械手大臂一端轉(zhuǎn)動(dòng)相連的機(jī)械手小臂，所述機(jī)械手大臂用于控制所述機(jī)械手小臂通過(guò)抓取一片盒內(nèi)的硅片來(lái)校準(zhǔn)工位，所述機(jī)械手大臂具有一肩部，所述肩部包括一位于所述肩部中心的轉(zhuǎn)動(dòng)軸、一位于所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸一側(cè)的同步帶輪、一與所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸相連位于所述肩部底端的固定法蘭、一固定于所述同步帶輪與所述固定法蘭之間的調(diào)節(jié)塊、一固定于所述固定法蘭上的調(diào)節(jié)支座及至少一位于所述調(diào)節(jié)支座上用于調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)塊的方向的調(diào)節(jié)螺釘，所述調(diào)節(jié)塊可吸收所述機(jī)械手大臂的肩部軸承內(nèi)外圈壓緊所產(chǎn)生的應(yīng)力，所述機(jī)械手手臂結(jié)構(gòu)通過(guò)所述調(diào)節(jié)螺釘調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)塊的方向來(lái)校準(zhǔn)工位。相對(duì)現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明將機(jī)械手大臂肩部的回轉(zhuǎn)軸承內(nèi)外圈的壓緊方式由剛性變?yōu)槿嵝?，從而吸收由于軸承內(nèi)外圈壓緊所產(chǎn)生的應(yīng)力，消除了單自由度真空機(jī)械手的大臂肩部回轉(zhuǎn)軸承的內(nèi)外圈應(yīng)力，提高了使用壽命；且實(shí)現(xiàn)了單自由度真空機(jī)械手校準(zhǔn)工位時(shí)需要的調(diào)節(jié)，解決了真空機(jī)械手抓取硅片校準(zhǔn)工位時(shí)的調(diào)整和補(bǔ)償問(wèn)題。


圖1為本發(fā)明機(jī)械手手臂結(jié)構(gòu)較佳實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)圖。圖2為圖1中沿A所示方向的手臂肩部剖視圖。圖3為本發(fā)明機(jī)械手手臂結(jié)構(gòu)較佳實(shí)施方式的俯視剖面圖。圖4為圖3中B處的放大圖。主要元件符號(hào)說(shuō)明
權(quán)利要求
1.一種機(jī)械手手臂結(jié)構(gòu)，其包括一機(jī)械手大臂及一與所述機(jī)械手大臂一端轉(zhuǎn)動(dòng)相連的機(jī)械手小臂，所述機(jī)械手大臂用于控制所述機(jī)械手小臂通過(guò)抓取一片盒內(nèi)的硅片來(lái)校準(zhǔn)工位，其特征在于:所述機(jī)械手大臂具有一肩部，所述肩部包括一位于所述肩部中心的轉(zhuǎn)動(dòng)軸、一位于所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸一側(cè)的同步帶輪、一與所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸相連位于所述肩部底端的固定法蘭、一固定于所述同步帶輪與所述固定法蘭之間的調(diào)節(jié)塊、一固定于所述固定法蘭上的調(diào)節(jié)支座及至少一位于所述調(diào)節(jié)支座上用于調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)塊的方向的調(diào)節(jié)螺釘，所述調(diào)節(jié)塊可吸收所述機(jī)械手大臂的肩部軸承內(nèi)外圈壓緊所產(chǎn)生的應(yīng)力，所述機(jī)械手手臂結(jié)構(gòu)通過(guò)所述調(diào)節(jié)螺釘調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)塊的方向來(lái)校準(zhǔn)工位。
2.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手手臂結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述調(diào)節(jié)塊形成一電話手柄狀，所述調(diào)節(jié)塊遠(yuǎn)離所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸的一端開(kāi)設(shè)一用于容置所述調(diào)節(jié)螺釘?shù)幕钛慰住?br> 3.如權(quán)利要求2所述的機(jī)械手手臂結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述調(diào)節(jié)塊的中間為一薄板。
4.如權(quán)利要求2所述的機(jī)械手手臂結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述調(diào)節(jié)支座位于所述調(diào)節(jié)塊的弧狀腰形孔的一側(cè)，且呈一 U型。
5.如權(quán)利要求2所述的機(jī)械手手臂結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述調(diào)節(jié)螺釘為兩個(gè)，且分別通過(guò)所述調(diào)節(jié)支座的兩端固定于所述調(diào)節(jié)塊的弧狀腰形孔內(nèi)。
6.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手手臂結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述機(jī)械手大臂的肩部位于所述機(jī)械手手臂結(jié)構(gòu)的一端，所述機(jī)械手手臂結(jié)構(gòu)還包括至少一用于將所述調(diào)節(jié)塊固定于所述同步帶輪與所述固定法蘭之間的固定螺釘。
7.如權(quán)利要求6所述的機(jī)械手手臂結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述固定螺釘為兩個(gè)，其中一個(gè)固定螺釘將所述調(diào)節(jié)塊的一端緊固于所述同步帶輪的軸承壓板上，另外一個(gè)固定螺釘將所述調(diào)節(jié)塊的另一端緊固于所述固定法蘭上。
8.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手手臂結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述機(jī)械手大臂還具有一與所述肩部轉(zhuǎn)動(dòng)相連的轉(zhuǎn)動(dòng)部，所述轉(zhuǎn)動(dòng)部的一端與所述肩部相連，另一端與所述機(jī)械手小臂的一端相連，該機(jī)械手小臂的另一端抓取片盒內(nèi)的硅片。
全文摘要
一種機(jī)械手手臂結(jié)構(gòu)，其包括一機(jī)械手大臂及一與機(jī)械手大臂一端轉(zhuǎn)動(dòng)相連的機(jī)械手小臂，所述機(jī)械手大臂用于控制機(jī)械手小臂通過(guò)抓取一片盒內(nèi)的硅片來(lái)校準(zhǔn)工位，所述機(jī)械手大臂具有一肩部，所述肩部包括一位于肩部中心的轉(zhuǎn)動(dòng)軸、一位于轉(zhuǎn)動(dòng)軸一側(cè)的同步帶輪、一與轉(zhuǎn)動(dòng)軸相連位于肩部底端的固定法蘭、一固定于同步帶輪與固定法蘭之間的調(diào)節(jié)塊、一固定于固定法蘭上的調(diào)節(jié)支座及至少一位于調(diào)節(jié)支座上用于調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)塊的方向的調(diào)節(jié)螺釘，所述調(diào)節(jié)塊可吸收所述機(jī)械手大臂的肩部軸承內(nèi)外圈壓緊所產(chǎn)生的應(yīng)力，所述機(jī)械手手臂結(jié)構(gòu)通過(guò)所述調(diào)節(jié)螺釘調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)塊的方向來(lái)校準(zhǔn)工位。本發(fā)明能夠提高使用壽命且可調(diào)整機(jī)械手工位方向。
文檔編號(hào)B25J18/00GK103192407SQ201210003798
公開(kāi)日2013年7月10日 申請(qǐng)日期2012年1月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月6日
發(fā)明者劉長(zhǎng)斌, 王鳳利, 韓立志, 曲道奎, 徐方, 姜飛, 李學(xué)威, 徐傳勝 申請(qǐng)人:沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司