一種調(diào)節(jié)裝置及等離子體加工設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種調(diào)節(jié)裝置及等離子體加工設(shè)備，該調(diào)節(jié)裝置用于調(diào)節(jié)第一部件和第二部件的相對位置，其包括第一調(diào)節(jié)組件和第二調(diào)節(jié)組件，第一調(diào)節(jié)組件包括調(diào)節(jié)塊，調(diào)節(jié)塊的一端與第一部件固定連接，調(diào)節(jié)塊的另一端設(shè)有第一螺紋；第二調(diào)節(jié)組件包括固定部件和調(diào)節(jié)單元，固定部件與第二部件固定連接；調(diào)節(jié)單元由固定部件支撐并可相對于固定部件旋轉(zhuǎn)，在調(diào)節(jié)單元上設(shè)有與第一螺紋相互嚙合的第二螺紋；旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)單元可使調(diào)節(jié)塊相對于第二部件的位置發(fā)生變化，從而使第一部件和第二部件的相對位置發(fā)生變化。該調(diào)節(jié)裝置的調(diào)節(jié)精度高，調(diào)節(jié)范圍大，而且易于操作。
【專利說明】一種調(diào)節(jié)裝置及等離子體加工設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于半導(dǎo)體加工設(shè)備領(lǐng)域，涉及一種調(diào)節(jié)裝置及應(yīng)用該調(diào)節(jié)裝置的等離子體加工設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]選擇順應(yīng)性裝配機器手臂(SelectiveCompliance Assembly Robot Arm,以下簡稱SCARA)是一種常用的工業(yè)機器人，可以用于實現(xiàn)搬運、裝配等工作，而且具有體積小、結(jié)構(gòu)簡單、工作精度高、通用性好等優(yōu)點，因此被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、電器、精密機械等領(lǐng)域。
[0003]典型的SCARA機器人包括3個旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)和I個移動關(guān)節(jié)，各關(guān)節(jié)軸線相互平行，而且三個運動軸R軸、T軸、Z軸分別對應(yīng)伸縮、旋轉(zhuǎn)、升降三種運動。其中，3個旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)用于驅(qū)動R軸和T軸運動，以實現(xiàn)在平面內(nèi)的定位和定向；移動關(guān)節(jié)用于驅(qū)動Z軸運動，用于完成末端執(zhí)行器的垂直運動。
[0004]在實際應(yīng)用中，為了簡化結(jié)構(gòu)、提高性價比，通常根據(jù)所需的運動方式將SCARA機器人簡化為包括R軸、T軸兩個運動軸或僅有R軸一個運動軸。如，在半導(dǎo)體領(lǐng)域，SCARA機器人僅設(shè)有一個R軸，以實現(xiàn)對娃片的直線傳輸運動。
[0005]圖1為單軸SCARA機器人的結(jié)構(gòu)簡圖。如圖1所示，單軸SCARA機器人包括基座
1、大臂2、小臂3以及末端執(zhí)行器4，其中，大臂2通過大臂旋轉(zhuǎn)軸(圖中未示出)與基座I連接，并以大臂旋轉(zhuǎn)軸為軸心可相對于基座I旋轉(zhuǎn)，但只能通過手動方式旋轉(zhuǎn)。小臂3與大臂2通過小臂旋轉(zhuǎn)軸(圖中未示出)連接，并以小臂旋轉(zhuǎn)軸為軸心相對于大臂2旋轉(zhuǎn)。末端執(zhí)行器4固定在小臂3上，用于抓取工件。這種單軸SCARA機器人只能沿R軸方向直線運動，以完成工件的直線傳輸。然而，由于單軸SCARA機器人不能在T軸方向旋轉(zhuǎn)，無法自行對裝配和安裝單軸SCARA機器人過程中造成的T軸方向的誤差進行校正，因此，需要在基座I和大臂2之間設(shè)置調(diào)節(jié)裝置5。
[0006]圖2為現(xiàn)有單軸SCARA機器人上用于校正T軸方向的誤差的調(diào)節(jié)裝置的結(jié)構(gòu)圖。請參閱圖2，調(diào)節(jié)裝置包括U形塊51和調(diào)節(jié)塊52，U形塊51借助第一緊固螺釘55固定在基座I上。調(diào)節(jié)塊52的一端固定在大臂2內(nèi)部的大臂旋轉(zhuǎn)軸上，調(diào)節(jié)塊52的另一端設(shè)有弧形長槽58。U形塊51的開口端朝向調(diào)節(jié)塊52方向設(shè)置，在U形塊51的兩端各設(shè)有一螺紋孔(圖中未示出)，螺紋孔內(nèi)設(shè)置有調(diào)節(jié)螺釘57，而且兩個調(diào)節(jié)螺釘57分別與調(diào)節(jié)塊52的左右兩端接觸。借助調(diào)節(jié)螺釘57可向調(diào)節(jié)塊52施加左向或右向的作用力，以將大臂2調(diào)整到所需的位置，從而達到校正大臂2在T軸方向誤差的目的。在將大臂2校正完畢后，通過第二固定螺釘53固定大臂2與基座I的位置；然后將U形塊51、第一緊固螺釘55以及調(diào)節(jié)螺釘57移除。在校正大臂2位置的過程中，為了避免調(diào)節(jié)螺釘57松動，在調(diào)節(jié)螺釘57上還設(shè)有鎖緊螺母56，用以緊固調(diào)節(jié)螺釘57。
[0007]但是，在實際使用過程中，上述調(diào)節(jié)裝置存在以下缺點:
[0008]1、由于調(diào)節(jié)螺釘57和螺紋孔在調(diào)節(jié)螺釘57的軸向不可避免的存在間隙，而在調(diào)節(jié)大臂2時只能通過一側(cè)的調(diào)節(jié)螺釘57進行操作，使得間隙無法得到補償，因此調(diào)節(jié)精度差。
[0009]2、由于調(diào)節(jié)螺釘57和螺紋孔在調(diào)節(jié)螺釘57的軸向存在間隙，當(dāng)兩側(cè)的調(diào)節(jié)螺釘57對頂調(diào)節(jié)塊52時，頂緊的作用力會導(dǎo)致調(diào)節(jié)塊52移動，破壞已調(diào)節(jié)好的調(diào)節(jié)位置。此夕卜，在利用鎖緊螺母6緊固調(diào)節(jié)螺釘57時會導(dǎo)致調(diào)節(jié)螺釘57移動，從而導(dǎo)致調(diào)節(jié)塊52移動，進而影響調(diào)節(jié)精度。
[0010]3、在調(diào)節(jié)和固定調(diào)節(jié)塊52的過程中，需要先后兩次操作兩側(cè)的調(diào)節(jié)螺釘57 ;另夕卜，為了確定末端執(zhí)行器4的位置是否達到所要調(diào)節(jié)的位置，需要多次運動單軸SCARA機器人以確認末端執(zhí)行器4位置的準(zhǔn)確性，在此過程中調(diào)節(jié)螺釘57會受到來自調(diào)節(jié)塊52的作用力，為防止調(diào)節(jié)螺釘57松動，需要用鎖緊螺母56鎖緊調(diào)節(jié)螺釘57，這又增加了兩步操作步驟，而且要想調(diào)好調(diào)節(jié)塊52的位置需要反復(fù)調(diào)整，費時又費力。
[0011]4、上述調(diào)節(jié)裝置的調(diào)節(jié)范圍不超過±5°，否則會導(dǎo)致調(diào)節(jié)螺釘57與調(diào)節(jié)塊52的接觸發(fā)生傾斜，影響調(diào)節(jié)精度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]為至少解決上述問題之一，本發(fā)明提供一種調(diào)節(jié)裝置，其調(diào)節(jié)精度高，調(diào)節(jié)范圍大，而且易于操作。
[0013]本發(fā)明還提供一種等離子體加工設(shè)備，其加工精度高，應(yīng)用范圍廣，而且易于操作，加工效率高。
[0014]解決上述技術(shù)問題的所采用的技術(shù)方案是提供一種調(diào)節(jié)裝置，用于調(diào)節(jié)第一部件和第二部件的相對位置，包括第一調(diào)節(jié)組件和第二調(diào)節(jié)組件，
[0015]所述第一調(diào)節(jié)組件包括調(diào)節(jié)塊，所述調(diào)節(jié)塊的一端與所述第一部件固定連接，所述調(diào)節(jié)塊的另一端設(shè)有第一螺紋；
[0016]所述第二調(diào)節(jié)組件包括固定部件和調(diào)節(jié)單元，所述固定部件與所述第二部件固定連接；
[0017]所述調(diào)節(jié)單元由所述固定部件支撐并可相對于所述固定部件旋轉(zhuǎn)，在所述調(diào)節(jié)單元上設(shè)有與所述第一螺紋相互嚙合的第二螺紋；旋轉(zhuǎn)所述調(diào)節(jié)單元可使所述調(diào)節(jié)塊相對于所述第二部件的位置發(fā)生變化，從而使所述第一部件和所述第二部件的相對位置發(fā)生變化。
[0018]其中，所述第一調(diào)節(jié)組件還包括螺釘，在所述調(diào)節(jié)塊靠近所述第一螺紋的一端設(shè)有長槽，而且所述長槽貫穿所述調(diào)節(jié)塊的厚度；
[0019]在所述第二部件上且與所述長槽相對的位置設(shè)有螺紋孔，所述螺紋孔與所述螺釘配合，所述螺釘穿過所述長槽并緊固在所述螺紋孔內(nèi)可將所述調(diào)節(jié)塊固定在所述第二部件上，從而將所述第一部件和所述第二部件的相對位置固定。
[0020]其中，所述固定部件包括本體，在所述本體的兩端分別設(shè)有一垂直于所述本體的延伸部，或者所述固定部件包括兩個疊置在一起的本體，在所述本體的兩端分別設(shè)有一垂直于所述本體的延伸部，而且兩個所述本體由緊固件固定在一起；
[0021]所述調(diào)節(jié)單元由所述延伸部支撐，在所述本體上設(shè)有貫穿其厚度的通孔，在所述第二部件上且與所述通孔相對的位置設(shè)有螺紋孔，利用穿過所述通孔的螺釘和所述螺紋孔將所述固定部件與所述第二部件固定連接。
[0022]其中，所述調(diào)節(jié)單元包括轉(zhuǎn)軸、蝸桿和調(diào)節(jié)件，所述蝸桿嵌套在所述轉(zhuǎn)軸的外側(cè)，所述調(diào)節(jié)件設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸的一端，旋轉(zhuǎn)所述調(diào)節(jié)件使所述轉(zhuǎn)軸和蝸桿旋轉(zhuǎn)；
[0023]在所述固定部件的延伸部設(shè)有軸孔，所述轉(zhuǎn)軸設(shè)置在所述軸孔內(nèi)。
[0024]其中，所述第二調(diào)節(jié)組件還包括用于固定所述轉(zhuǎn)軸的頂絲，
[0025]在所述延伸部設(shè)有與所述頂絲配合的頂絲孔，所述頂絲孔的孔心垂直于所述軸孔的孔心，借助所述頂絲從所述轉(zhuǎn)軸的徑向?qū)⑺鲛D(zhuǎn)軸鎖緊。
[0026]其中，所述調(diào)節(jié)件為手輪。
[0027]其中，所述轉(zhuǎn)軸、所述蝸桿以及所述手輪為一體結(jié)構(gòu)。
[0028]其中，所述調(diào)節(jié)件包括電機以及連接件，所述連接件一端與所述電機連接，所述連接件的另一端與所述轉(zhuǎn)軸連接，借助所述電機驅(qū)動所述轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，以帶動所述蝸桿旋轉(zhuǎn)。
[0029]本發(fā)明還提供一種等離子體加工設(shè)備，包括用于直線傳輸被加工工件的單軸機器人以及調(diào)節(jié)裝置，所述單軸機器人包括基座和大臂，在所述基座上設(shè)有軸套，在所述大臂上設(shè)有與所述軸套配合的大臂旋轉(zhuǎn)軸，所述基座和所述大臂借助所述軸套和所述大臂旋轉(zhuǎn)軸連接，所述調(diào)節(jié)裝置采用本發(fā)明提供的所述的調(diào)節(jié)裝置，其中:第一部件是基座，第二部件是大臂。
[0030]本發(fā)明具有以下有益效果:
[0031]本發(fā)明提供的調(diào)節(jié)裝置，在第一調(diào)節(jié)組件的調(diào)節(jié)塊上設(shè)有第一螺紋，在第二調(diào)節(jié)組件的調(diào)節(jié)單元上設(shè)有第二螺紋，而且第一螺紋與第二螺紋相互嚙合，旋轉(zhuǎn)第二調(diào)節(jié)組件中的調(diào)節(jié)單元可使第一調(diào)節(jié)組件中的調(diào)節(jié)塊相對于第二部件的位置發(fā)生變化，從而達到調(diào)節(jié)第一部件和第二部件的相對位置。由于調(diào)節(jié)塊和調(diào)節(jié)單元是借助相互嚙合的螺紋進行調(diào)節(jié)，因此螺紋的精度就是調(diào)節(jié)裝置的調(diào)節(jié)精度，而螺紋的精度可以在加工時控制。因此，借助相互嚙合的第一螺紋和第二螺紋調(diào)節(jié)第一部件和第二部件的相對位置，可以大大提高調(diào)節(jié)裝置的調(diào)節(jié)精度。另外，由于第一螺紋或第二螺紋的長度可以根據(jù)調(diào)節(jié)范圍任意設(shè)定，因此，本發(fā)明提供的調(diào)節(jié)裝置的調(diào)節(jié)范圍大。此外，在調(diào)節(jié)第一部件和第二部件的相對位置時，只需旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)單元即可完成調(diào)節(jié)過程，因此，本發(fā)明提供的調(diào)節(jié)裝置易于操作。
[0032]作為本發(fā)明的一個優(yōu)選實施例，本發(fā)明用于固定調(diào)節(jié)單元中的轉(zhuǎn)軸的頂絲是從轉(zhuǎn)軸的徑向進行固定，即頂絲從轉(zhuǎn)軸的徑向?qū)⑥D(zhuǎn)軸鎖緊，從而避免了在鎖緊調(diào)節(jié)單元的過程中，使調(diào)節(jié)塊的位置發(fā)生偏離，進而進一步提高調(diào)節(jié)裝置的調(diào)節(jié)精度。
[0033]本發(fā)明提供的等離子體加工設(shè)備，用于調(diào)節(jié)單軸機器人的基座和大臂相對位置的旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置采用本發(fā)明提供的旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置，該旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置的調(diào)節(jié)精度高，從而可以提高單軸機器人放置被加工工件的精度；而且旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置易于操作，從而可以提高等離子體加工設(shè)備的加工效率。另外，該旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置的調(diào)節(jié)范圍大，可以提高等離子體加工設(shè)備的應(yīng)用范圍。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0034]圖1為單軸SCARA機器人的結(jié)構(gòu)簡圖；
[0035]圖2為現(xiàn)有單軸SCARA機器人上用于校正T軸方向的誤差的調(diào)節(jié)裝置的結(jié)構(gòu)圖；
[0036]圖3為本發(fā)明實施例一提供的旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；[0037]圖4為本發(fā)明實施例一提供的調(diào)節(jié)塊的立體圖；
[0038]圖5為本發(fā)明實施例一提供的第二調(diào)節(jié)組件的立體圖。
【具體實施方式】
[0039]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明提供的調(diào)節(jié)裝置、旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置及等離子體加工設(shè)備進行詳細描述。
[0040]圖3為本發(fā)明一實施例提供的旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。請參閱圖3，旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置包括第一調(diào)節(jié)組件和第二調(diào)節(jié)組件。其中，第一調(diào)節(jié)組件包括調(diào)節(jié)塊38，調(diào)節(jié)塊38的一端與大臂39固定連接，本實施例調(diào)節(jié)塊38固定在大臂29內(nèi)部的大臂旋轉(zhuǎn)軸(圖中未示出)上，調(diào)節(jié)塊38的另一端設(shè)有第一螺紋381。
[0041]第二調(diào)節(jié)組件包括固定部件35和調(diào)節(jié)單元36，固定部件35與基座34固定連接。調(diào)節(jié)單元36由固定部件35支撐并可相對于固定部件35旋轉(zhuǎn)，在調(diào)節(jié)單元36上設(shè)有與第一螺紋381相互嚙合的第二螺紋41 ;通過旋轉(zhuǎn)該調(diào)節(jié)單元36可使調(diào)節(jié)塊38相對于基座34的位置發(fā)生變化，從而使大臂39和基座34的相對位置發(fā)生變化。換言之，由于第一螺紋381和第二螺紋41相互嚙合，在旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)單元36時，調(diào)節(jié)塊38以大臂旋轉(zhuǎn)軸為軸心移動，從而使大臂39繞大臂旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動,進而大臂39和基座34相對位置發(fā)生變化。另外,第一螺紋381和第二螺紋41的嚙合精度可以通過提高加工精度控制，而且，能夠使第一螺紋381和第二螺紋41在第二螺紋41的軸向達到無縫隙嚙合，從而可以提高旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置的調(diào)節(jié)精度。
[0042]圖4為圖3所示實施例中調(diào)節(jié)塊的立體圖。請參閱圖4，在調(diào)節(jié)塊38上與大臂39固定連接的一端設(shè)有貫穿其厚度的通孔382，借助通孔382和螺栓(圖中未示出)可以將調(diào)節(jié)塊38固定在大臂旋轉(zhuǎn)軸上。在調(diào)節(jié)塊38的另一端設(shè)有貫穿其厚度的長槽383，即在靠近設(shè)置第一螺紋381的一端設(shè)置長槽383。長槽383的形狀可以是長圓形或者長方形。在基座34上且與長槽383相對的位置設(shè)有螺紋孔(圖中未不出)，螺釘37穿過長槽383并與該螺紋孔緊固配合，可將調(diào)節(jié)塊38固定在基座34上。在實際使用過程中，當(dāng)通過旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置將大臂39和基座34的相對位置調(diào)節(jié)完畢后，將螺釘37穿過長槽383并與基座34上的螺紋孔緊固配合，可將大臂39與基座34的相對位置固定。
[0043]圖5為本發(fā)明實施例提供的第二調(diào)節(jié)組件的立體圖。請參閱圖5，第二調(diào)節(jié)組件包括固定部件35和調(diào)節(jié)單元36，固定部件35包括第一固定部件35a和第二固定部件35b。其中，第一固定部件35a包括本體351,在本體351的兩端分別設(shè)有一垂直于本體351的延伸部352，本體351和延伸部352使固定部件35形成U形結(jié)構(gòu)。第二固定部件35b的結(jié)構(gòu)與第一固定部件35a的結(jié)構(gòu)完全相同。這里不再贅述。第一固定部件35a和第二固定部件35b疊置在一起，并通過螺栓355和螺母(圖中未示出)固定在一起。
[0044]不難理解，雖然上述固定部件35為分體結(jié)構(gòu)，即固定部件35是由第一固定部件35a和第二固定部件35b疊置形成，但本發(fā)明并不局限于此，固定部件35也可以是一體結(jié)構(gòu)。
[0045]在本體351上設(shè)有貫穿其厚度的通孔356，在基座34上且與通孔356相對的位置設(shè)有螺紋孔(圖中未示出)，將螺釘33穿過通孔356與基座34上的螺紋孔配合，即可將固定部件35固定于基座34上。[0046]調(diào)節(jié)單元36包括轉(zhuǎn)軸361、蝸桿362和調(diào)節(jié)件363，蝸桿362嵌套在轉(zhuǎn)軸361的外側(cè)，調(diào)節(jié)件363設(shè)置在轉(zhuǎn)軸361的一端，旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)件363使轉(zhuǎn)軸361和蝸桿362旋轉(zhuǎn)。在第一固定部件35a的延伸部352和第二固定部件35b的延伸部352’的相對面位置設(shè)有軸孔，即，軸孔的一半設(shè)置在第一固定部件35a的延伸部352，軸孔的另一半設(shè)置在第二固定部件35b的延伸部352 ’，將第一固定部件35a和第二固定部件35b疊置在一起后，形成完整的軸孔。轉(zhuǎn)軸361由該軸孔支撐。
[0047]本實施例中，調(diào)節(jié)件363可以是手輪，即手動調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)件363。但本發(fā)明并不局限于此，調(diào)節(jié)件363也可以包括電機以及連接件，連接件的一端與電機連接，連接件的另一端與轉(zhuǎn)軸361連接，電機驅(qū)動轉(zhuǎn)軸361旋轉(zhuǎn)，從而帶動蝸桿362旋轉(zhuǎn)。即利用電機和連接件自動調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)件。
[0048]需要說明的是，本實施例中，調(diào)節(jié)單元36是由轉(zhuǎn)軸361、蝸桿362和調(diào)節(jié)件363組成的分體結(jié)構(gòu)。然而，但本發(fā)明并不局限于此，調(diào)節(jié)單元36也可以是一體結(jié)構(gòu)，S卩，將轉(zhuǎn)軸361、蝸桿362和調(diào)節(jié)件363按照上述形狀和位置關(guān)系設(shè)置為一體結(jié)構(gòu)。
[0049]需要進一步說明的是，當(dāng)調(diào)節(jié)單元36為一體結(jié)構(gòu)時，固定部件35需要采用分體結(jié)構(gòu)。使用時，先將調(diào)節(jié)單元36設(shè)置在第一固定部件35a的軸孔內(nèi)，然后將第二固定部件35b和第一固定部件35a疊置；或者先將調(diào)節(jié)單元36設(shè)置在第二固定部件35b的軸孔內(nèi)，然后將第一固定部件35a和第二固定部件35b疊置，從而將調(diào)節(jié)單元36設(shè)置在延伸部352的通孔內(nèi)。當(dāng)調(diào)節(jié)單元36為分體結(jié)構(gòu)時，固定部件35既可以采用分體結(jié)構(gòu)，也可以采用一體結(jié)構(gòu)。
[0050]在本實施例中，第二調(diào)節(jié)組件還包括用于固定轉(zhuǎn)軸361的頂絲32，在延伸部352設(shè)有與頂絲32配合的頂絲孔，頂絲孔的孔心垂直于軸孔的孔心，即，頂絲孔的孔心垂直于轉(zhuǎn)軸361的軸心，頂絲32從轉(zhuǎn)軸361的徑向?qū)⑥D(zhuǎn)軸361鎖緊。從轉(zhuǎn)軸361的徑向鎖緊轉(zhuǎn)軸361，而不是從轉(zhuǎn)軸361的軸向進行鎖緊，因此在鎖緊轉(zhuǎn)軸361的過程中不會使轉(zhuǎn)軸361在其軸向移動，從而避免調(diào)節(jié)塊38移動，進而可以提高旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置的定位精度。
[0051]優(yōu)選地，在固定部件35的兩個延伸部352分別設(shè)置一個頂絲32，以在兩個不同的位置鎖緊轉(zhuǎn)軸361，從而使更穩(wěn)定的鎖緊轉(zhuǎn)軸361。
[0052]另外，本實施例調(diào)節(jié)單元36是利用蝸桿362來驅(qū)動調(diào)節(jié)塊38移動，因此蝸桿362表面的螺紋即被視為第二螺紋41，如圖3所示，螺桿362表面的螺紋與設(shè)置在調(diào)節(jié)塊38表面的第一螺紋381相匹配。本實施例由于利用蝸桿362來驅(qū)動調(diào)節(jié)塊38，因此，調(diào)節(jié)塊可被稱為蝸輪，在調(diào)節(jié)塊38上設(shè)置第一螺紋381的面可被稱為蝸輪齒面。另外，不管朝向哪個方向轉(zhuǎn)動蝸桿362，調(diào)節(jié)塊38與蝸桿362嚙合總是一致的，因此，理論上，旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置的調(diào)節(jié)范圍可以達到360°，大大提高了旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置的調(diào)節(jié)范圍；例如，當(dāng)調(diào)節(jié)塊38繞大臂旋轉(zhuǎn)軸的周向設(shè)置一圈時，調(diào)節(jié)蝸桿362即可使大臂繞大臂旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)360°。而且，當(dāng)停止旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)塊38時，即可將調(diào)節(jié)塊38固定，從而使定位和固定同時完成，不存在因多次操作以及緊固破壞精度的問題，操作簡單方便。更重要的是，由于調(diào)節(jié)塊38與蝸桿362具有自鎖特性，即調(diào)節(jié)塊38無法驅(qū)動蝸桿轉(zhuǎn)動，因此通過轉(zhuǎn)動蝸桿362將大臂調(diào)節(jié)到位后無需鎖定步驟即可運動機械手以觀察執(zhí)行器的位置是否合適，這大大提高了調(diào)節(jié)大臂32和基座31相對位置的效率。
[0053]需要說明的是，在利用調(diào)節(jié)塊38和蝸桿362調(diào)節(jié)大臂39和基座34的相對位置時，由于調(diào)節(jié)塊38是以大臂39的大臂旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)。因此，優(yōu)選地，當(dāng)調(diào)節(jié)塊38的寬度較寬時，即調(diào)節(jié)塊38在大臂39的旋轉(zhuǎn)軸的周向長度較長時，渦輪齒面的半徑等于大臂旋轉(zhuǎn)軸的中心到蝸桿362與調(diào)節(jié)塊38嚙合點的距離，從而使調(diào)節(jié)塊38的第一螺紋281與蝸桿362在任何角度都可以相互嚙合。
[0054]實施例提供的用于單軸機器人的旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置，在第一調(diào)節(jié)組件的調(diào)節(jié)塊上設(shè)有第一螺紋，在第二調(diào)節(jié)組件的調(diào)節(jié)單元上設(shè)有第二螺紋，而且第一螺紋與第二螺紋相互嚙合，旋轉(zhuǎn)第二調(diào)節(jié)組件中的調(diào)節(jié)單元可使第一調(diào)節(jié)組件中的調(diào)節(jié)塊相對于第二部件的位置發(fā)生變化，從而調(diào)節(jié)基座和大臂的相對位置。由于調(diào)節(jié)塊和調(diào)節(jié)單元是借助相互嚙合的螺紋進行調(diào)節(jié)，因此螺紋的精度就是調(diào)節(jié)裝置的調(diào)節(jié)精度，而螺紋的精度可以在加工螺紋時控制。因此，借助相互嚙合的第一螺紋和第二螺紋調(diào)節(jié)基座和大臂的相對位置，可以大大提高旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置的調(diào)節(jié)精度。另外，由于第一螺紋或第二螺紋的長度可以根據(jù)調(diào)節(jié)范圍任意設(shè)定，因此，本發(fā)明提供的旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置的調(diào)節(jié)范圍大，從而提高了單軸機器人的靈活性。此外，在調(diào)節(jié)基座和大臂的相對位置時，只需旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)單元即可完成調(diào)節(jié)過程，因此，本發(fā)明提供的旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置易于操作。
[0055]相應(yīng)于本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置，本發(fā)明還提供一種等離子體加工設(shè)備，包括用于直線傳輸被加工工件的單軸機器人以及旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置，所述單軸機器人包括基座和大臂，在所述基座上設(shè)有軸套，在所述大臂上設(shè)有與所述軸套配合的旋轉(zhuǎn)軸，所述基座和所述大臂借助所述軸套和所述旋轉(zhuǎn)軸活動連接，所述旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置用于調(diào)節(jié)連接所述基座和所述大臂的相對位置，所述旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置實施例一提供的旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置。
[0056]本發(fā)明提供的等離子體加工設(shè)備，用于調(diào)節(jié)單軸機器人的基座和大臂的旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置采用本發(fā)明提供的旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置，該旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置的調(diào)節(jié)精度高，從而可以提高單軸機器人放置被加工工件的精度；而且旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置易于操作，從而可以提高等離子體加工設(shè)備的加工效率。另外，該旋轉(zhuǎn)軸調(diào)節(jié)裝置的調(diào)節(jié)范圍大，可以提高等離子體加工設(shè)備的應(yīng)用范圍。
[0057]可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本發(fā)明的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種調(diào)節(jié)裝置，用于調(diào)節(jié)第一部件和第二部件的相對位置，其特征在于，包括第一調(diào)節(jié)組件和第二調(diào)節(jié)組件， 所述第一調(diào)節(jié)組件包括調(diào)節(jié)塊，所述調(diào)節(jié)塊的一端與所述第一部件固定連接，所述調(diào)節(jié)塊的另一端設(shè)有第一螺紋； 所述第二調(diào)節(jié)組件包括固定部件和調(diào)節(jié)單元，所述固定部件與所述第二部件固定連接; 所述調(diào)節(jié)單元由所述固定部件支撐并可相對于所述固定部件旋轉(zhuǎn)，在所述調(diào)節(jié)單元上設(shè)有與所述第一螺紋相互嚙合的第二螺紋；旋轉(zhuǎn)所述調(diào)節(jié)單元可使所述調(diào)節(jié)塊相對于所述第二部件的位置發(fā)生變化，從而使所述第一部件和所述第二部件的相對位置發(fā)生變化。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述第一調(diào)節(jié)組件還包括螺釘，在所述調(diào)節(jié)塊靠近所述第一螺紋的一端設(shè)有長槽，而且所述長槽貫穿所述調(diào)節(jié)塊的厚度； 在所述第二部件上且與所述長槽相對的位置設(shè)有螺紋孔，所述螺紋孔與所述螺釘配合，所述螺釘穿過所述長槽并緊固在所述螺紋孔內(nèi)可將所述調(diào)節(jié)塊固定在所述第二部件上，從而將所述第一部件和所述第二部件的相對位置固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述固定部件包括本體，在所述本體的兩端分別設(shè)有一垂直于所述本體的延伸部，或者所述固定部件包括兩個疊置在一起的本體，在所述本體的兩端分別設(shè)有一垂直于所述本體的延伸部，而且兩個所述本體由緊固件固定在一起； 所述調(diào)節(jié)單元由所述延伸部支撐，在所述本體上設(shè)有貫穿其厚度的通孔，在所述第二部件上且與所述通孔相對的位置設(shè)有螺紋孔，利用穿過所述通孔的螺釘和所述螺紋孔將所述固定部件與所述第二部件固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)單元包括轉(zhuǎn)軸、蝸桿和調(diào)節(jié)件，所述蝸桿嵌套在所述轉(zhuǎn)軸的外側(cè)，所述調(diào)節(jié)件設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸的一端，旋轉(zhuǎn)所述調(diào)節(jié)件使所述轉(zhuǎn)軸和蝸桿旋轉(zhuǎn)； 在所述固定部件的延伸部設(shè)有軸孔，所述轉(zhuǎn)軸設(shè)置在所述軸孔內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述第二調(diào)節(jié)組件還包括用于固定所述轉(zhuǎn)軸的頂絲， 在所述延伸部設(shè)有與所述頂絲配合的頂絲孔，所述頂絲孔的孔心垂直于所述軸孔的孔心，借助所述頂絲從所述轉(zhuǎn)軸的徑向?qū)⑺鲛D(zhuǎn)軸鎖緊。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)件為手輪。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸、所述蝸桿以及所述手輪為一體結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)件包括電機以及連接件，所述連接件一端與所述電機連接，所述連接件的另一端與所述轉(zhuǎn)軸連接，借助所述電機驅(qū)動所述轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，以帶動所述蝸桿旋轉(zhuǎn)。
9.一種等離子體加工設(shè)備，包括用于直線傳輸被加工工件的單軸機器人以及調(diào)節(jié)裝置，所述單軸機器人包括基座和大臂，在所述基座上設(shè)有軸套，在所述大臂上設(shè)有與所述軸套配合的大臂旋轉(zhuǎn)軸，所述基座和所述大臂借助所述軸套和所述大臂旋轉(zhuǎn)軸連接，其特征在于，所述調(diào)節(jié)裝置采用權(quán)利要求1-8任意一項所述的調(diào)節(jié)裝置，其中:第一部件是基座，第二部件是大臂。`
【文檔編號】B25J19/00GK103770126SQ201210394979
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2012年10月17日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月17日
【發(fā)明者】張鵬 申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司