專利名稱:機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)和機(jī)器人的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本文所公開的實施方式涉及機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)和機(jī)器人。
背景技術(shù):
通常,已知一種機(jī)器人,借助該機(jī)器人將扁平工件(諸如用于液晶顯示器的玻璃基板或半導(dǎo)體片)裝載到堆料機(jī)和從該堆料機(jī)上卸載。機(jī)器人被安裝在保持減壓狀態(tài)的室(下文中稱為“真空室”)內(nèi)。已提出一種基板處理裝置,其中用于確定由機(jī)器人傳送的基板的狀態(tài)的傳感器安裝在真空室中(見,例如,日本專利特開2011-210814號公報)。在上述基板處理裝置中,在裝載和卸載基板的所有點(diǎn)處安裝用于確定基板的狀態(tài)的傳感器。然而,在傳統(tǒng)基板處理裝置中,必須提供多個傳感器。出于降低裝置制造成本的考慮,還有改進(jìn)的余地。
發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述,本文所公開的實施方式提供一種能夠降低裝置制造成本的機(jī)器人臂結(jié)構(gòu)和機(jī)器人。根據(jù)實施方式的一方面,提供一種機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu),所述機(jī)器人安裝在保持處于減壓狀態(tài)下的真空室中并且構(gòu)造成傳送工件,所述臂結(jié)構(gòu)包括:第一臂,所述第一臂具有以可旋轉(zhuǎn)的方式連接到所述機(jī)器人的臂基部的基端部,所述第一臂包括布置在該第一臂的內(nèi)部的預(yù)定的驅(qū)動系統(tǒng),所述第一臂的內(nèi)部保持處于大氣壓狀態(tài);第二臂,所述第二臂具有以可旋轉(zhuǎn)的方式連接到所述第一臂的末端部的基端部,所述第二臂中不包括驅(qū)動系統(tǒng);末端執(zhí)行器,所述末端執(zhí)行器通過可移動基部以可旋轉(zhuǎn)的方式連接到所述第二臂的末端部,并且構(gòu)造成保持所述工件;間壁,所述間壁設(shè)置在所述第一臂和所述第二臂的連接部附近,以使該第一臂內(nèi)所保持的大氣壓狀態(tài)與所述減壓狀態(tài)隔離;以及氣密端子,所述氣密端子設(shè)置在所述間壁中,以使大氣側(cè)和真空側(cè)在氣密狀態(tài)下相互電連接。通過本文所公開的實施方式的一個方面,可以降低裝置制造成本。
圖1是示出根據(jù)本實施方式的機(jī)器人的示意性立體圖;圖2是示出安裝在真空室內(nèi)的機(jī)器人的示意性側(cè)視圖;圖3A是示出纜線的狀態(tài)的第一示意圖;圖3B是示出纜線的狀態(tài)的第二示意圖;圖4是用于說明氣密端子的示意性側(cè)視圖;圖5是示出根據(jù)變型例的氣密端子的示意性側(cè)視圖。
具體實施例方式現(xiàn)在將參照附圖描述本文所公開的機(jī)器人臂結(jié)構(gòu)和機(jī)器人的一個實施方式。機(jī)器人臂結(jié)構(gòu)和機(jī)器人不限于下面所述的實施方式。首先,將參照圖1描述根據(jù)本實施方式的機(jī)器人的構(gòu)造。圖1是示出根據(jù)本實施方式的機(jī)器人的示意性立體圖。如圖1所示,機(jī)器人I是水平多關(guān)節(jié)型機(jī)器人,該機(jī)器人包括兩個可延伸臂單元,這兩個可延伸臂單元能沿水平方向延伸和縮回。更具體地,機(jī)器人I包括主體單元10和臂單元20。主體單元10是設(shè)置在臂單元20下面的單元。主體單元10包括管狀殼體11和布置在該殼體11內(nèi)的升降裝置。主體單元10利用升降裝置沿豎直方向上下移動臂單元20。升降裝置構(gòu)造成包括例如馬達(dá)、滾珠絲杠和滾珠螺母。升降裝置通過將馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動轉(zhuǎn)換成線性運(yùn)動來沿豎直方向上下移動升降凸緣單元15。因此,固定在升降凸緣單元15上的臂單元20被上下移動。在殼體11的上部中形成有凸緣部12。通過將凸緣部12固定到真空室而將機(jī)器人I安裝在真空室中。關(guān)于這一點(diǎn),稍后將參照圖2進(jìn)行描述。臂單元20是通過升降凸緣單元15連接到主體單元10的單元。更具體地,臂單元20包括臂基部21、第一臂22、第二臂23、可移動基部24和輔助臂25。根據(jù)本實施方式的機(jī)器人I是雙臂機(jī)器人,該雙臂機(jī)器人包括兩組可延伸臂單元,每組均具有第一臂22、第二臂23、可移動基部24和輔助臂25。然而,本公開內(nèi)容不限于上述。機(jī)器人I可以是包括一個可延伸臂單元的單臂機(jī)器人或者包括三個或更多個可延伸臂單元的機(jī)器人。臂基部21相對于升降凸緣單元15以可旋轉(zhuǎn)的方式被支撐。臂基部21包括由馬達(dá)和減速器構(gòu)成的擺動裝置。臂基部21由擺動裝置擺動。更具體地,擺動裝置構(gòu)造成使得馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)經(jīng)由傳動帶被輸入到減速器,該減速器的輸出軸固定到主體單元10。因此臂基部21利用減速器的輸出軸作為擺動軸線,繞其自身的軸線水平地旋轉(zhuǎn)。臂基部21包括保持在大氣壓下的盒狀儲藏室。馬達(dá)、減速器和傳動帶被存儲在該儲藏室內(nèi)。因此,即使機(jī)器人I如稍后所述用在真空室內(nèi),也可以防止諸如油脂等的潤滑劑變干并且可以防止真空室的內(nèi)部被污垢污染。第一臂22的基端部借助待稍后描述的第一減速器以可旋轉(zhuǎn)的方式連接到臂基部21的上部。第一臂22包括保持在大氣壓下的盒狀儲藏室。第二臂23的基端部借助稍后描述的第二減速器以可旋轉(zhuǎn)的方式連接到第一臂22的末端上部。不同于臂基部21,第二臂23整個地暴露于真空環(huán)境。可移動基部24以可旋轉(zhuǎn)的方式連接到第二臂23的末端部??梢苿踊?4在其上端處設(shè)置有用于保持薄的扁平工件的末端執(zhí)行器24a??梢苿踊?4響應(yīng)于第一臂22和第二臂23的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動而線性移動。在以下描述中,將薄的扁平工件僅稱為基板。所述基板可以是用于液晶顯示器的玻璃基板或半導(dǎo)體片。在傳統(tǒng)情況下,當(dāng)傳送基板時,基板的存在與否由設(shè)置在真空室內(nèi)的傳感器來確定。在傳統(tǒng)情況下,必須在真空室內(nèi)供裝載和卸載基板的所有點(diǎn)處設(shè)置傳感器。因此裝置變得昂貴。在第二臂23回到傳感器布置位置的狀態(tài)下確定基板的存在與否。在圖1所示的雙臂機(jī)器人的情況下,一對末端執(zhí)行器24a可以處于豎直重疊狀態(tài)。為此,當(dāng)確定基板存在與否時,常規(guī)的機(jī)器人不能確定基板是放置在上末端執(zhí)行器24a上還是下末端執(zhí)行器24a上。在根據(jù)本實施方式的機(jī)器人I中,在每個末端執(zhí)行器24a中布置有用于檢測基板的存在與否的傳感器S。在根據(jù)本實施方式的機(jī)器人I中,因此可以降低裝置制造成本并且可以精確確定基板放置在哪個末端執(zhí)行器24a上。在根據(jù)本實施方式的機(jī)器人I中,傳感器S能在基板被放置在每個末端執(zhí)行器24a上的一瞬間檢測基板的存在與否。因此,可以防止基板由于未對準(zhǔn)而在不穩(wěn)定狀態(tài)下傳送時掉落。機(jī)器人I借助于布置在第一臂22和第二臂23內(nèi)的纜線60 (參見圖3A)向傳感器S供應(yīng)電流。稍后將參照圖3A和圖3B描述關(guān)于纜線60的布置的細(xì)節(jié)。機(jī)器人I通過同步操作第一臂22和第二臂23而線性移動末端執(zhí)行器24a。更具體地,機(jī)器人I通過使用單個馬達(dá)而使第一減速器和第二減速器旋轉(zhuǎn),從而同步操作第一臂22和第二臂23。機(jī)器人I旋轉(zhuǎn)第一臂22和第二臂23,使得第二臂23相對于第一臂22的旋轉(zhuǎn)量為第一臂22相對于臂基部21的旋轉(zhuǎn)量的兩倍大。例如,機(jī)器人I以如下方式旋轉(zhuǎn)第一臂22和第二臂23,即,如果第一臂22相對于臂基部21旋轉(zhuǎn)α度,則第二臂23相對于第一臂22旋轉(zhuǎn)2 α度。結(jié)果,機(jī)器人I能線性移動末端執(zhí)行器24a??紤]到防止真空室內(nèi)部污染,驅(qū)動裝置(諸如第一減速器、第二減速器、馬達(dá)和傳動帶)被布置在保持處于大氣壓下的第一臂22內(nèi)。輔助臂25是連桿機(jī)構(gòu),該連桿機(jī)構(gòu)與第一臂22和第二臂23的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動聯(lián)動地限制可移動基部24的旋轉(zhuǎn),使得末端執(zhí)行器24a在其運(yùn)動期間始終朝向預(yù)定方向。更具體地,輔助臂25包括第一連桿25a、中間連桿25b和第二連桿25c。第一連桿25a的基端部以可旋轉(zhuǎn)的方式連接到臂基部21。第一連桿25a的末端部以可旋轉(zhuǎn)的方式連接到中間連桿25b的末端部。中間連桿25b的基端部以與使第一臂22和第二臂23互連的連接軸線同軸的關(guān)系樞轉(zhuǎn)。中間連桿25b的末端部以可旋轉(zhuǎn)的方式連接到第一連桿25a的末端部。第二連桿25c的基端部以可旋轉(zhuǎn)的方式連接到中間連桿25b。第二連桿25c的末端部以可旋轉(zhuǎn)的方式連接到可移動基部24的基端部??梢苿踊?4的末端部以可旋轉(zhuǎn)的方式連接到第二臂23的末端部??梢苿踊?4的基端部以可旋轉(zhuǎn)的方式連接到第二連桿25c0第一連桿25a、臂基部21、第一臂22和中間連桿25b構(gòu)成第一平行連桿機(jī)構(gòu)。換言之,當(dāng)?shù)谝槐?2繞其基端部旋轉(zhuǎn)時,第一連桿25a旋轉(zhuǎn)并保持與第一臂22平行。當(dāng)在平面圖中觀看時,中間連桿25b與這樣的假想連線平行地旋轉(zhuǎn),該連線使臂基部21和第一臂22的連接軸線與臂基部21和第一連桿25a的連接軸線互連。第二連桿25c、第二臂23、可移動基部24和中間連桿25b構(gòu)成第二平行連桿機(jī)構(gòu)。換言之,當(dāng)?shù)诙?3繞其基端部旋轉(zhuǎn)時,第二連桿25c和可移動基部24旋轉(zhuǎn)并分別保持與第二臂23和中間連桿25b平行。在第一平行連桿機(jī)構(gòu)的作用下,中間連桿25b旋轉(zhuǎn)并保持與前述連線平行。為此,第二平行連桿機(jī)構(gòu)的可移動基部24旋轉(zhuǎn)并保持與前述連線平行。結(jié)果,安裝到可移動基部24的上部的末端執(zhí)行器24a線性移動并保持與前述連線平行。在機(jī)器人I中,通過輔助臂25,可提高臂單元的總體剛度。因此可以降低在末端執(zhí)行器24a操作期間所產(chǎn)生的振動。在末端執(zhí)行器24a操作期間所產(chǎn)生的振動可引起污垢的產(chǎn)生,因而降低振動可抑制污垢的產(chǎn)生。根據(jù)本實施方式的機(jī)器人I包括兩組可延伸臂單元,每組均包括第一臂22、第二臂23、可移動基部24和輔助臂25。因此,機(jī)器人I能同時執(zhí)行兩個任務(wù),例如,利用其中一個可延伸臂單元從預(yù)定傳送位置取出基板的任務(wù),和利用另一個可延伸臂單元將新的基板運(yùn)送到傳送位置的任務(wù)。接著,將參照圖2描述安裝在真空室內(nèi)的機(jī)器人I。圖2是示出安裝在真空室內(nèi)的機(jī)器人I的示意性側(cè)視圖。如圖2所示,為機(jī)器人I的主體單元10設(shè)置的凸緣部12借助密封件固定到在真空室30的底部中形成的開口部31的外周緣。因此,真空室30被氣密密封并且該真空室30的內(nèi)部由減壓裝置(諸如真空泵等)保持在減壓狀態(tài)。主體單元10的殼體11從真空室30的底部突出并且位于由支撐該真空室30的支撐部35限定的空間內(nèi)。機(jī)器人I在真空室30內(nèi)執(zhí)行基板傳送任務(wù)。例如,機(jī)器人I利用第一臂22和第二臂23而線性移動末端執(zhí)行器24a,從而從借助閘閥(未示出)與真空室30連接的另一真空室取出基板。隨后,機(jī)器人I使末端執(zhí)行器24a返回,接著使臂基部21繞擺動軸線O水平旋轉(zhuǎn),從而致使臂單元20直接面對作為基板的傳送目的地的另一真空室。接著,機(jī)器人I利用第一臂22和第二臂23線性移動末端執(zhí)行器24a,從而將基板運(yùn)送到作為基板的傳送目的地的
另一真空室中。真空室30形成為與機(jī)器人I的形狀符合。例如,如圖2所示,在真空室30的底面部中形成凹部。機(jī)器人的多個部分(諸如臂基部21和升降凸緣單元15)布置在該凹部中。通過以該方式形成與機(jī)器人I的形狀符合的真空室30,可以減小真空室30的內(nèi)容積,從而可以容易地將真空室30保持在減壓狀態(tài)。接著,將參照圖3A和圖3B描述傳感器S的信號線和電源線(下文中僅稱為“纜線”)的布置的細(xì)節(jié)。圖3A和圖3B是示出纜線60的狀態(tài)的示意性側(cè)視圖。首先,參看圖3A,纜線60連接到設(shè)置在末端執(zhí)行器24a中的傳感器S。纜線60穿過可移動基部24與第二臂23的末端部相連接的連接部而布置在第二臂23內(nèi)。纜線60逐線連接到氣密端子50,該氣密端子50設(shè)置在第一臂22和第二臂23相互連接之處的連接部中。氣密端子50是設(shè)置在間壁56中的連接器,該間壁56位于保持在減壓狀態(tài)的第二臂23和保持在大氣壓下的第一臂22之間。氣密端子50構(gòu)造成使第一臂22和第二臂23彼此隔離并且在兩種不同大氣壓之間電連接纜線60。因此,即使第二減速器52的中空驅(qū)動軸旋轉(zhuǎn),也可以保持第二臂23和第二減速器52的內(nèi)部之間的氣密性。稍后將參照圖4描述氣密端子50的細(xì)節(jié)。連接到氣密端子50的纜線60穿過第二減速器52的中空驅(qū)動軸的中空區(qū)域延伸到第一臂22中。于是,纜線60穿過第一臂22的基端部的旋轉(zhuǎn)軸中心(未示出)延伸到臂基部21?,F(xiàn)在,參照圖3B描述第二減速器52的中空驅(qū)動軸的中空區(qū)域的細(xì)節(jié)。如圖3B所示,管狀保護(hù)管57的上端部固定到第二減速器52的輸出軸52b。保護(hù)管57通過第二減速器52的輸出軸52b連接到第二臂23,使得該保護(hù)管57能相對于第一臂22旋轉(zhuǎn)。保護(hù)管57由設(shè)置在第二減速器52的中部內(nèi)側(cè)處的油封58以可旋轉(zhuǎn)的方式支撐。第二減速器52包括由減速齒輪(未示出)以可旋轉(zhuǎn)的方式相互連接的輸入軸52a和輸出軸52b。保護(hù)管57不與帶輪55的中空驅(qū)動軸的內(nèi)壁和輸入軸52a的內(nèi)壁接觸。帶輪55的中空驅(qū)動軸以可旋轉(zhuǎn)的方式連接到第二減速器52的輸入軸52a。因此,保護(hù)管57延伸而以不接觸方式穿過第二減速器52的輸入軸52a。連接到氣密端子50的纜線60穿過第二減速器52的輸出軸52b的中空區(qū)域和保護(hù)管57的中空區(qū)域延伸到第一臂22中。在根據(jù)本實施方式的機(jī)器人I中,纜線60布置成穿過第二減速器52的輸出軸52b的中空區(qū)域和保護(hù)管57,并且該保護(hù)管57與第二臂23 —起旋轉(zhuǎn)。因此,根據(jù)本實施方式的機(jī)器人I能防止纜線60與高速旋轉(zhuǎn)的第二減速器52的輸入軸52a和帶輪55摩擦接觸。纜線60安全地布置而不會被纏住。返回去參看圖3A,馬達(dá)53設(shè)置在第一臂22內(nèi)。第一減速器51布置在第一臂22的基端部中。第二減速器52布置在第一臂22的末端部中。傳動帶54a和54b分別設(shè)置在第一減速器51和馬達(dá)53之間以及第二減速器52和馬達(dá)53之間。用于將馬達(dá)53的驅(qū)動動力傳送到第一減速器51的輸入軸的傳動帶54a和用于將馬達(dá)53的驅(qū)動動力傳送到第二減速器52的輸入軸的傳動帶54b繞馬達(dá)53的輸出軸纏繞,由此馬達(dá)53的驅(qū)動動力被傳送到第一減速器51和第二減速器52。如上所述,驅(qū)動裝置(諸如第一減速器51、第二減速器52、馬達(dá)53以及傳動帶54a和54b)布置在處于大氣壓下的第一臂22內(nèi)。另外,機(jī)器人I用在真空室30內(nèi)。為此,第一臂22需要保持氣密,以便將真空室30的內(nèi)部維持在減壓狀態(tài)。因此第一臂22形成得厚于第二臂23和輔助臂25。因為第一臂22形成得厚于第二臂23和輔助臂25并且保持高度氣密,因此即使當(dāng)機(jī)器人I被用在真空室30內(nèi)時,也可以防止油脂之類的潤滑劑變干。而且,機(jī)器人I能防止第二臂23的內(nèi)部和真空室30的內(nèi)部被布置在第一臂22內(nèi)的驅(qū)動裝置產(chǎn)生的污垢污染。在上述機(jī)器人I中,纜線60未布置在輔助臂25中而是布置在第一臂22和第二臂23中。這使得不需要將纜線60布置在暴露于減壓環(huán)境的輔助臂25內(nèi)的狹窄空間中。另夕卜,機(jī)器人I能抑制氣體從輔助臂25和纜線60排出。在第二臂23的基端部的上表面上設(shè)置蓋23a。通過移除蓋23a,使用者能執(zhí)行關(guān)于氣密端子50和纜線60的維護(hù)工作。接著,將參照圖4描述氣密端子50的細(xì)節(jié)。圖4是用于說明氣密端子50的示意性側(cè)視圖。如圖4所示,氣密端子50設(shè)置在保持處于減壓狀態(tài)的空間(下文中稱為“真空側(cè)”)和保持處于大氣壓的空間(下文中稱為“大氣側(cè)”)之間。氣密端子50以高度氣密方式布置在間壁56的孔中。在下列描述中,氣密端子50的上側(cè)將被稱為真空側(cè)101并且氣密端子50的下側(cè)將被稱為大氣側(cè)102。例如,如圖4所示,氣密端子50由螺栓借助密封劑固定到間壁56。為了盡量提高氣密性,可以在間壁56和氣密端子50之間插設(shè)O形環(huán)(未示出)。氣密端子50包括布置在真空側(cè)101和大氣側(cè)102處的插腳50a和50b。相應(yīng)的插腳50a和50b與傳感器S的信號線和電源線對應(yīng)。相應(yīng)的插腳50a和50b在真空側(cè)101和大氣側(cè)102之間相互電連接。當(dāng)本文所公開的氣密端子50是三插腳類型時,插腳的數(shù)量取決于纜線60中所包括的線數(shù)量。在設(shè)置在纜線60的末端處的纜線端60a中形成凹部??赏ㄟ^朝向氣密端子50的插腳50b推動纜線端60a (沿由圖4中的箭頭所示的方向)而將插腳50b裝配到所述凹部。通過將氣密端子50設(shè)置在暴露于減壓環(huán)境的第二臂23和保持在大氣壓的第一臂22之間的間壁56中,可以保持第二臂23的內(nèi)部和第二減速器52的內(nèi)部之間的氣密性。雖然氣密端子50被設(shè)置在第二臂23和第二減速器52的連接部內(nèi)的區(qū)域中,但是本公開內(nèi)容不限于此。氣密端子50可以設(shè)置在能保持第二臂23的內(nèi)部和第二減速器52的內(nèi)部之間的氣密性的任何位置。例如,如圖5所示,氣密端子50可設(shè)置在第二減速器52的中空驅(qū)動軸的中空區(qū)域中。在根據(jù)本實施方式的機(jī)器人中,如上所述,氣密端子設(shè)置在形成于第一臂和第二臂的連接部中的間壁中。纜線布置成穿過第二減速器的中空驅(qū)動軸的中空區(qū)域。在根據(jù)本實施方式的機(jī)器人中,防止纜線與高速旋轉(zhuǎn)的第二減速器的輸入軸摩擦接觸。纜線被安全地布置而不會被纏住。在本實施方式中,用于檢測基板的存在與否的傳感器被設(shè)置在末端執(zhí)行器中。這使得可降低裝置制造成本并且可在基板被放置在末端執(zhí)行器上的一瞬間確定基板的存在與否。本領(lǐng)域技術(shù)人員可容易地得出其它效果和其它變型例。為此,本公開內(nèi)容的寬泛方面不限于所示和所述的具體公開內(nèi)容和代表性實施方式。因此,本公開內(nèi)容能以許多不同的形式來改進(jìn),而不會脫離由所附權(quán)利要求和其等同要求所限定的精神和范圍。
權(quán)利要求
1.一種機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu),所述機(jī)器人安裝在保持處于減壓狀態(tài)的真空室中并且被構(gòu)造成傳送工件,所述臂結(jié)構(gòu)包括: 第一臂,所述第一臂具有以可旋轉(zhuǎn)的方式連接到所述機(jī)器人的臂基部的基端部,所述第一臂包括布置在該第一臂的內(nèi)部的預(yù)定的驅(qū)動系統(tǒng),所述第一臂的內(nèi)部保持處于大氣壓狀態(tài); 第二臂,所述第二臂具有以可旋轉(zhuǎn)的方式連接到所述第一臂的末端部的基端部,所述第二臂中不包括驅(qū)動系統(tǒng); 末端執(zhí)行器,所述末端執(zhí)行器通過可移動基部以可旋轉(zhuǎn)的方式連接到所述第二臂的末端部,并且被構(gòu)造成保持所述工件; 間壁,所述間壁設(shè)置在所述第一臂和所述第二臂的連接部附近,以使該第一臂內(nèi)所保持的大氣壓狀態(tài)與所述減壓狀態(tài)隔離;以及 氣密端子,所述氣密端子設(shè)置在所述間壁中,以使大氣側(cè)和真空側(cè)在氣密狀態(tài)下相互電連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臂結(jié)構(gòu),其中,所述第一臂包括減速器,所述減速器具有用于驅(qū)動所述第二臂的中空驅(qū)動軸,所述間壁設(shè)置在所述減速器的所述中空驅(qū)動軸的中空區(qū)域中或者設(shè)置在所述第二臂附近的與該中空區(qū)域連通的封閉空間中,并且在所述第一臂中延伸的纜線經(jīng)由所述中空區(qū)域連接到所述氣密端子。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臂結(jié)構(gòu),其中,所述末端執(zhí)行器包括傳感器,所述傳感器具有經(jīng)由所述第二臂連接到所述氣密端子的纜線。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的臂結(jié)構(gòu),其中,所述末端執(zhí)行器包括傳感器,所述傳感器具有經(jīng)由所述第二臂連接到所述氣密端子的纜線。
5.根據(jù)權(quán)利要求2或4所述的臂結(jié)構(gòu),該臂結(jié)構(gòu)還包括: 中間連桿,所述中間連桿設(shè)置成能繞與所述減速器的所述中空驅(qū)動軸同軸的軸線旋轉(zhuǎn); 第一連桿,所述第一連桿與所述第一臂、所述中間連桿和所述臂基部協(xié)作而組成第一平行連桿機(jī)構(gòu);以及 第二連桿,所述第二連桿與所述第二臂、所述中間連桿和所述可移動基部協(xié)作而組成第二平行連桿機(jī)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的臂結(jié)構(gòu),其中,所述第一臂形成得厚于所述第二臂、所述第一連桿和所述第二連桿。
7.根據(jù)權(quán)利要求2或4所述的臂結(jié)構(gòu),該臂結(jié)構(gòu)還包括: 保護(hù)管,所述保護(hù)管固定到所述減速器的所述中空驅(qū)動軸的內(nèi)壁,所述保護(hù)管延伸穿過布置在所述減速器內(nèi)的與所述中空驅(qū)動軸處于同軸關(guān)系的中空輸入軸的中空區(qū)域,而不與該中空輸入軸接觸。
8.一種包括權(quán)利要求1至4中的任一項所述的臂結(jié)構(gòu)的機(jī)器人。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的機(jī)器人,其中,所述臂基部包括擺動單元,所述擺動單元被構(gòu)造成繞沿豎直方向延伸的擺動軸線擺動。
全文摘要
本發(fā)明提供機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)以及機(jī)器人。所述機(jī)器人安裝在保持處于減壓狀態(tài)的真空室中,所述臂結(jié)構(gòu)包括第一臂、第二臂和構(gòu)造成保持工件的末端執(zhí)行器。所述第一臂設(shè)置有布置在該第一臂的內(nèi)部中的預(yù)定驅(qū)動系統(tǒng),并且所述第一臂的內(nèi)部保持處于大氣壓狀態(tài)。所述第二臂中不具有驅(qū)動系統(tǒng)。在所述第一臂和所述第二臂的連接部附近設(shè)置間壁,以使該第一臂內(nèi)所保持的大氣壓狀態(tài)與所述減壓狀態(tài)隔離。在所述間壁中設(shè)置氣密端子,以使大氣側(cè)和真空側(cè)在氣密狀態(tài)下相互電連接。
文檔編號B25J9/06GK103170986SQ20121044097
公開日2013年6月26日 申請日期2012年11月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月21日
發(fā)明者野口忠隆, 小原勇樹 申請人:株式會社安川電機(jī)