專利名稱：硅片脫膠機(jī)及其防壓籃保護(hù)機(jī)械手的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及太陽能電池制備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種硅片脫膠機(jī)及其防壓籃保護(hù)機(jī)械手。
背景技術(shù)：
硅片是晶硅太陽能電池制造的基底材料，而硅片的清洗又是整個硅片制造工藝中極為重要的環(huán)節(jié)，如果基底清潔不干凈，后續(xù)的其他工藝步驟很難通過控制得到高質(zhì)量的晶娃太陽能電池娃片。硅片由硅棒或硅塊由線切割后獲得，在線切割過程中需要將硅棒或硅塊通過粘膠粘接在玻璃板上固定，因此娃片切割完后其上會附著粘I父，切割后的娃片和未完全切表I]的硅棒等都需要進(jìn)行脫膠的預(yù)清洗工序。 目前硅片預(yù)清洗工序主要生產(chǎn)設(shè)備為全自動硅片脫膠機(jī)，硅片脫膠機(jī)包括機(jī)械手、料籃、清洗槽和托勾等部件。料籃放置在位于清洗槽中的托勾上，由料籃完成對硅片或硅棒的清洗。切割后的硅片或硅棒由操作人員放置到料籃中，然后由機(jī)械手吊起裝有硅片或硅棒的料藍(lán)，并放入到清洗槽中進(jìn)行清洗工作。硅片脫膠機(jī)上的清洗設(shè)備所用機(jī)械手設(shè)計非常簡單，由于其上未設(shè)置任何報警保護(hù)裝置，設(shè)備運行一段時間后，由于料籃松動、定位傳感器松動等因素會引起機(jī)械手不能準(zhǔn)確的把晶片或晶棒放入水槽，這就是“壓籃”現(xiàn)象。當(dāng)清洗設(shè)備產(chǎn)生“壓籃”現(xiàn)象時，由于此時若無人看守，設(shè)備不能停機(jī)，機(jī)械手、料籃和晶片或晶棒會擠壓在一起，直接造成硅片崩邊或晶棒受損壞，機(jī)械手和料籃扭曲等問題?，F(xiàn)有技術(shù)中無壓籃保護(hù)功能的機(jī)械手，機(jī)械手易受損壞，料籃易受壓迫變形，設(shè)備故障率高，預(yù)清洗脫膠的硅片合格率低?，F(xiàn)有的處理方法是由操作員緊盯設(shè)備，若發(fā)現(xiàn)壓籃現(xiàn)象，立即停機(jī)，此方法會給操作員帶來不便。因此，如何避免“壓籃”現(xiàn)象對硅片或硅棒的損壞，同時保證料籃和機(jī)械手的工作穩(wěn)定性，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。

實用新型內(nèi)容有鑒于此，本實用新型提供了一種硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手，以實現(xiàn)避免“壓籃”現(xiàn)象對硅片或硅棒的損壞。本實用新型還提供了一種硅片脫膠機(jī)，以保證料籃和機(jī)械手的工作穩(wěn)定性。為了達(dá)到上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案一種硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手，包括機(jī)械手托盤和設(shè)置于所述機(jī)械手托盤上的第一抓料勾、第二抓料勾、第三抓料勾、第四抓料勾，至少一個抓料勾與所述機(jī)械手托盤之間設(shè)置有料勾導(dǎo)向裝置，所述抓料勾可滑動的與所述料勾導(dǎo)向裝置相連。優(yōu)選地，在上述硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手中，各個抓料勾與所述機(jī)械手托盤之間均設(shè)置有料勾導(dǎo)向裝置。優(yōu)選地，在上述硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手中，還包括檢測所述抓料勾與所述料勾導(dǎo)向裝置的相對位移，并向控制器反饋報警或/和停機(jī)信號的電感式傳感器，其設(shè)置于所述料勾導(dǎo)向裝置與所述抓料勾之間。優(yōu)選地，在上述硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手中，還包括第一固定板、第二固定板和用于驅(qū)動所述第一固定板與所述第二固定板相互靠近或者遠(yuǎn)離的固定板驅(qū)動裝置；所述第一固定板長度方向的兩端分別設(shè)置有用于安裝所述第一抓料勾和所述第二抓料勾的第一料勾安裝孔和第二料勾安裝孔；所述第二固定板長度方向的兩端分別設(shè)置有用于安裝所述第三抓料勾和第四抓料勾的第三料勾安裝孔和第四料勾安裝孔；所述第一固定板和所述第二固定板均滑動地設(shè)置于所述機(jī)械手托盤上。優(yōu)選地，在上述硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手中，所述固定板驅(qū)動裝置為伸縮氣缸，其缸體設(shè)置在所述第二固定板上，其活塞桿與所述第一固定板相連。 優(yōu)選地，在上述硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手中，所述第一固定板和所述第二固定板通過固定板滑移裝置可滑動地設(shè)置在所述機(jī)械手托盤上。優(yōu)選地，在上述硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手中，所述固定板滑移裝置為直線軸承。優(yōu)選地，在上述硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手中，所述固定板滑移裝置為兩個，其分別設(shè)置于所述機(jī)械手托盤長度方向的兩端。優(yōu)選地，在上述硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手中，所述第一抓料勾、所述第二抓料勾、所述第三抓料勾、所述第四抓料勾、所述第一固定板和所述第二固定板的材料均為不銹鋼材料。一種硅片脫膠機(jī)，包括料籃和用于吊裝所述料籃的機(jī)械手，所述機(jī)械手為如上所述的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手。本實用新型提供的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手，其在工作時，通過第一抓料勾、第二抓料勾、第三抓料勾和第四抓料勾抓取料籃，并將料籃放置到設(shè)置在清洗槽中的托勾上，當(dāng)抓料勾在“壓籃”情況產(chǎn)生時，抓料勾受到料籃的擠壓，當(dāng)只有一個抓料勾與機(jī)械手托盤設(shè)置料勾導(dǎo)向裝置時，該抓料勾受擠壓作用與料勾導(dǎo)向裝置產(chǎn)生相對位置的滑移，在一定程度上避免該抓料勾對料籃中晶棒或晶片的擠壓，特別的，當(dāng)多個抓料勾與機(jī)械手托盤均設(shè)置有料勾導(dǎo)向裝置時，各個抓料勾在受到料籃的擠壓時均向料勾導(dǎo)向裝置內(nèi)產(chǎn)生滑動，從而進(jìn)一步的避免了在“壓籃”情況發(fā)生時，抓料勾對料籃中硅片或硅棒的擠壓，避免了晶片或晶棒的損壞。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I為本實施例提供的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手結(jié)構(gòu)的主視圖；圖2為本實施例提供的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手結(jié)構(gòu)的左視圖；圖3為本實施例提供的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手結(jié)構(gòu)的俯視圖。
具體實施方式
本實用新型公開了一種硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手，實現(xiàn)了避免“壓籃”現(xiàn)象對硅片或硅棒的損壞。本實用新型還提供了一種硅片脫膠機(jī)，保證了料籃和機(jī)械手的工作穩(wěn)定性。下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的描述，顯然，所描述的事實例僅僅是本實用新型一部分事實例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦偷膶嵤├绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。如圖I、圖2和圖3所示，圖I為本實施例提供的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手結(jié)構(gòu)的主視圖；圖2為本實施例提供的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手結(jié)構(gòu)的左視圖；圖3為本實施例提供的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手結(jié)構(gòu)的俯視圖。本實施例提供了一種硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手，包括機(jī)械手托盤2和設(shè)置在機(jī)械手托盤2上的第一抓料勾3、第二抓料勾4、第三抓料勾5、第四抓料勾(圖中未標(biāo)出)，機(jī)械手托盤2有機(jī)械臂I帶動進(jìn)行移動。至少一個抓料勾與機(jī)械手托盤2之間設(shè)置有料勾導(dǎo)向裝置(如第一抓料勾3安裝端的第一料勾導(dǎo)向裝置31或第三抓料勾5安裝端的第三料勾導(dǎo)向裝置51)，當(dāng)只有一個抓料勾與機(jī)械手托盤2之間設(shè)置有料勾導(dǎo)向裝置時，在“壓籃”情況發(fā)生時該抓料勾受到料籃對其的擠壓，該壓力迫使抓料勾與料勾導(dǎo)向裝置之間產(chǎn)生相對滑動，具體的，抓料勾受到與料籃的放置方向相反的力，該力推動抓料勾向料勾導(dǎo)向裝置的內(nèi)部滑移，該方向可以為抓料勾的長度的方向。抓料勾和料勾導(dǎo)向裝置之間產(chǎn)生相對位移，抓料勾滑入到料勾導(dǎo)向裝置中，避免了該抓料勾的抓取端直接被擠壓到料籃中對晶棒或晶片產(chǎn)生擠壓，一定程度上避免了晶棒或晶片的損壞；當(dāng)多個抓料勾與機(jī)械手托盤2之間設(shè)置有料勾導(dǎo)向裝置時，當(dāng)料籃在“壓籃”情況時對抓料勾產(chǎn)生擠壓，設(shè)置有料勾導(dǎo)向裝置的多個抓料勾均與料勾導(dǎo)向裝置之間產(chǎn)生相對位移，更大程度上避免了多個抓料勾直接劃入到料籃中與晶棒或晶片發(fā)生相互擠壓而對其造成損壞。抓料勾與機(jī)械手托盤2之間設(shè)置料勾導(dǎo)向裝置后，其在一定程度上避免了 “壓籃”情況下抓料勾與硅棒或硅片之間產(chǎn)生擠壓，保護(hù)了硅棒或硅片的安全。然而當(dāng)“壓籃”情況下抓料勾已進(jìn)行滑移后，此時如果不能及時的停機(jī)，仍然無法避免硅棒或硅片的損壞，因此在料勾導(dǎo)向裝置和抓料勾之間設(shè)置電感式傳感器，其在檢測到抓料勾與料勾導(dǎo)向裝置產(chǎn)生相對位移時，向設(shè)備的控制器反饋報警或/和停機(jī)信號，則控制器可按照預(yù)先設(shè)定的控制邏輯，根據(jù)接收到的反饋信號控制設(shè)備報警或者停機(jī)，或者在報警的同時進(jìn)行停機(jī)動作，當(dāng)解除“壓籃”情況后，即可繼續(xù)進(jìn)行硅棒或硅片的清洗工作，從而進(jìn)一步保證了晶棒或晶片的安全。具體的，電感式傳感器可以設(shè)定預(yù)定的滑移長度，當(dāng)抓料勾與料勾導(dǎo)向裝置產(chǎn)生的相對位移到達(dá)指定的長度時，電感式傳感器反饋控制信號。當(dāng)然本實用新型并不限定上述實施例提到的電感式傳感器，能夠起到對抓料勾和料勾導(dǎo)向裝置的位移進(jìn)行檢測和發(fā)送反饋信號的裝置都落入本實施例保護(hù)的范圍內(nèi)。防壓籃保護(hù)機(jī)械手的各個抓料勾在放置料籃時，由于放置位置的不同，料籃平衡性或者托勾的支撐位置等多種原因?qū)е铝匣@在放置過程中放置位置的不穩(wěn)固，而使料籃的不同抓料勾的抓取位置受力不均，如果料勾導(dǎo)向裝置和電感式傳感器的安裝位置為抓料勾受力最小的位置，則當(dāng)抓料勾上未安裝料勾導(dǎo)向裝置的一側(cè)產(chǎn)生較大的變形時，已安裝料勾導(dǎo)向裝置和電感式傳感器的一側(cè)可能只發(fā)生了輕微的壓力變形，這種情況下，料籃中的晶棒已經(jīng)受到了一定程度的損壞。為了進(jìn)一步保證晶棒的質(zhì)量和安全性，各個抓料勾的安裝端均設(shè)置有料勾導(dǎo)向裝置和電感式傳感器。每個抓料勾的安裝端均設(shè)置有料勾導(dǎo)向裝置，第一抓料勾3安裝端的第一料勾導(dǎo)向裝置31，第二抓料勾4安裝端的第二料勾導(dǎo)向裝置41，第三抓料勾5安裝端的第三料勾導(dǎo)向裝置51和第四抓料勾安裝端的第四料勾導(dǎo)向裝置(圖中未標(biāo)出)，當(dāng)?shù)谝蛔チ瞎?、第二抓料勾4、第三抓料勾5和第四抓料勾中的任意一個抓料勾受到擠壓時，其均能夠在各自安裝部的料勾導(dǎo)向裝置的內(nèi)部產(chǎn)生一定量的滑移，從而在一定程度上緩解由于抓料勾受壓時未產(chǎn)生報警停機(jī)情況下，由于“壓籃”情況對料籃中的硅棒產(chǎn)生損壞。同時，任意一個抓料勾與料勾導(dǎo)向裝置之間均設(shè)置電感式傳感器，則當(dāng)任意一個抓料勾受壓在其安裝端部的料勾導(dǎo)向裝置中產(chǎn)生相對位移時，電感式傳感器均能對“壓籃”現(xiàn)象進(jìn)行報警和控制設(shè)備停機(jī)，從而進(jìn)一步保證了硅片脫膠機(jī)在對晶棒清洗時的壓籃保護(hù)能力，保證了設(shè)備運行的安全性和穩(wěn)定性。防壓籃保護(hù)機(jī)械手的第一抓料勾3、第二抓料勾4、第三抓料勾5和第四抓料勾(圖中未標(biāo)出)在抓取料籃后，將料籃放置到硅片脫膠機(jī)的清洗槽中，并將料籃放置到清洗 槽的托勾上，當(dāng)料籃與托勾發(fā)生擠壓，即發(fā)生“壓籃”現(xiàn)象時，抓料勾受到料籃的擠壓作用，由于料籃的側(cè)壁為豎直方向的薄壁結(jié)構(gòu)，抓料勾的端部卡住料籃豎直方向的側(cè)壁，防壓籃保護(hù)機(jī)械手沿豎直方向運行以將料籃放置到清洗槽中，因此當(dāng)抓料勾受到料籃的擠壓時，抓料勾受到擠壓方向豎直向上，料勾導(dǎo)向裝置可設(shè)置為豎直方向的導(dǎo)向裝置，其與抓料勾受到的擠壓力的方向相同，一方面，該料勾導(dǎo)向裝置能夠緩解抓料勾對料籃的向下的擠壓力，降低了抓料勾對料籃的擠壓力，減輕了抓料勾對料籃內(nèi)晶棒的損傷；另一方面，豎直方向?qū)虻牧瞎磳?dǎo)向裝置使得當(dāng)其對抓料勾進(jìn)行抓料勾沿其長度方向的導(dǎo)向時，料籃不會因單側(cè)受力不平衡而出現(xiàn)翻轉(zhuǎn)的現(xiàn)象，從而保證了晶棒在“壓籃”現(xiàn)象發(fā)生時，不會出現(xiàn)損傷。本實施例提供的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手，還包括第一固定板7和第二固定板8，第一固定板7的長度方向的兩端分別設(shè)置有第一料勾安裝孔71和第二料勾安裝孔72，其分別用于安裝第一抓料勾3和第二抓料勾4 ;第二固定板8的長度方向的兩端分別設(shè)置有第三料勾安裝孔81和第四料勾安裝孔82，其分別用于安裝第三抓料勾5和第四抓料勾(圖中未標(biāo)出)。第一固定板7和第二固定板8均滑動地設(shè)置在機(jī)械手托盤3上，且二者能夠相互靠近和分開，當(dāng)各個抓料勾未進(jìn)行料籃的抓取時，第一固定板7和第二固定板8相互靠近，各個抓料勾之間的裝夾距離小于料籃的寬度，當(dāng)對料籃進(jìn)行抓取時，機(jī)械手將機(jī)械手托盤2放置到料籃的上方，各個抓料勾落入到料籃中，此時控制第一固定板7和第二固定板8相互分開，即第一抓料勾3、第二抓料勾4、第三抓料勾5和第四抓料勾(圖中未標(biāo)出)在對料籃進(jìn)行夾持動作，第一抓料勾3和第二抓料勾4卡住料籃的第一側(cè)的夾持壁，第三抓料勾5和第四抓料勾卡爪料籃上與第一側(cè)的夾持壁相對的第二側(cè)的夾持壁，第一側(cè)和第二側(cè)的夾持壁受到抓料勾反向方向的夾持力，并被抓料勾裝夾移動，從而實現(xiàn)了對料籃的抓取。第一固定板7上的第一抓料勾3、第二抓料勾4與第二固定板8上的第三抓料勾5、第四抓料勾采用相對布置的結(jié)構(gòu)，例如使第一抓料勾3和第三抓料勾5沿機(jī)械手托盤2長度方向的中心線對稱布置，第二抓料勾4和第四抓料勾沿機(jī)械手托盤2長度方向的中心線對稱布置，從而使得抓料勾在抓取料籃時，各個抓料勾的受力平衡，使其對料籃的抓取動作更加穩(wěn)定。第一固定板7和第二固定板8通過固定板滑移裝置10可滑動地設(shè)置在所述機(jī)械手托盤2上。固定板驅(qū)動裝置驅(qū)動第一固定板7和第二固定板8的分開和靠近，且其在驅(qū)動第一固定板7和第二固定板8分開時，同時需要提供抓料勾抓取料籃的加持力，設(shè)置固定板驅(qū)動裝置9，使得抓料勾對料籃的抓取動作方便、快速的得以執(zhí)行，同時，提供足夠的料籃夾持力，保證了夾持動作的穩(wěn)定性和安全性。具體的，固定板驅(qū)動裝置9設(shè)置為伸縮氣缸，伸縮氣缸的缸體91設(shè)置在第二固定板8上，伸縮氣缸的活塞桿92與第一固定板7之間設(shè)置有連接板93，當(dāng)活塞桿92進(jìn)行伸縮動作時，其通過連接板93帶動第一固定板7共同運動。當(dāng)伸縮氣缸進(jìn)行伸縮動作時，通過活塞桿92的伸縮動作實現(xiàn)第一固定板7和第二固定板8的相互靠近和分開。固定驅(qū)動裝置9還可以設(shè)置為由驅(qū)動馬達(dá)驅(qū)動的齒輪齒條裝置，由驅(qū)動馬達(dá)驅(qū)動齒輪轉(zhuǎn)動，將第一固定板7或第二固定板8設(shè)置在齒條裝置上，并通過齒輪和齒條之間的相對運動實現(xiàn)第一固定板7和第二固定板8的相對靠近和分開，當(dāng)然，本實施例并不限定于上述兩種固定板驅(qū)動裝置。第一固定板7和第二固定板8通過固定板驅(qū)動裝置9的驅(qū)動實現(xiàn)靠近和遠(yuǎn)離，第 一固定板7和第二固定板8之間可以通過滑動摩擦或者滾動摩擦實現(xiàn)二者的相對運動，顯然，當(dāng)二者之間采用滾動摩擦?xí)r，其對能量的需求相對較小。因此，機(jī)械手托盤2上設(shè)置有第一固定板7和第二固定板8進(jìn)行平移靠近和遠(yuǎn)離的固定板滑移裝置10，具體的，固定板滑移裝置10設(shè)置為直線軸承。第一固定板7和第二固定板8分別設(shè)置在直線軸承的兩個外圈上，通過固定板驅(qū)動裝置10能夠方便的實現(xiàn)第一固定板7和第二固定板8的靠近和分開，從而方便的實現(xiàn)各個抓料勾對料籃的抓取動作。固定板滑移裝置10還可以設(shè)置為滾珠絲杠裝置，當(dāng)然，本實施例并不限于以上兩種固定板滑移裝置。第一固定板7或者第二固定板8上的抓料勾在對料籃進(jìn)行抓取時，通過設(shè)置于第一固定板7或第二固定板8兩端的抓料勾提供對料籃的夾持力，為了保證第一抓料勾3、第二抓料勾4、第三抓料勾5和第四抓料勾在抓取料籃時的穩(wěn)定性，以防止其在抓取時出現(xiàn)固定板一端偏重的情況，固定板滑移裝置10設(shè)置為兩個，其分別設(shè)置在固定板長度方向的兩端，則在抓取料籃時，兩個固定板滑移裝置10能夠平衡由于第一固定板7和第二固定板8由于長度而引起的兩端受力不平衡的現(xiàn)象，保證了第一抓料勾3、第二抓料勾4、第三抓料勾5和第四抓料勾在抓取料籃時的穩(wěn)定性。為了進(jìn)一步提高第一抓料勾3、第二抓料勾4、第三抓料勾5和第四抓料勾在抓取料籃時的穩(wěn)定性，第一抓料勾3和第二抓料勾4之間設(shè)置有第一料勾連接桿11，第三抓料勾5和第四抓料勾之間設(shè)置有第二料勾連接桿12，第一抓料勾3和第二抓料勾4之間，第三抓料勾5和第四抓料勾之間分別增加連接桿，第一料勾連接桿11使得第一抓料勾3和第二抓料勾4能夠承受更多的料籃的擠壓力，第二料勾連接桿12使得第三抓料勾5和第四抓料勾也能承受更多的料籃的擠壓力，從而使得各個抓料勾的穩(wěn)定性得以增加，使得本實施例提供的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手的工作平穩(wěn)，安全性高。本實施例提供的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手主要用于對晶棒的清洗動作，從而使得其經(jīng)常處于潮濕的環(huán)境中，為了避免由于潮濕的環(huán)境對防壓籃保護(hù)機(jī)械手產(chǎn)生銹蝕等問題，從而影響晶棒的清洗質(zhì)量，將第一抓料勾3、第二抓料勾4、第三抓料勾5、第四抓料勾、第一固定板7和第二固定板8的材料均設(shè)置為不銹鋼材料，不銹鋼具有耐空氣、蒸汽、水等弱腐蝕介質(zhì)和酸、堿、鹽等化學(xué)浸蝕性介質(zhì)腐蝕的能力，將硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手經(jīng)常與清洗液相接觸的部件設(shè)置為不銹鋼材料，能夠提高防壓籃保護(hù)機(jī)械手的使用壽命，保證晶棒的清洗質(zhì)量。為了進(jìn)一步達(dá)到防壓籃保護(hù)機(jī)械手的使用效果，可以將機(jī)械手的周身與潮濕環(huán)境相接觸的部分均設(shè)置為不銹鋼材料，從而進(jìn)一步加強(qiáng)其抗腐蝕能力，提高其使用壽命?；谏鲜鰧嵤├刑峁┑墓杵撃z機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手，本實用新型還提供了一種硅片脫膠機(jī)，包括料籃和用于吊裝料籃的機(jī)械手，該硅片脫膠機(jī)上設(shè)有的機(jī)械手為上述實施例中提供的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手。由于該硅片脫膠機(jī)采用了上述實施例的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手，所以該硅片脫膠機(jī)由硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手帶來的有益效果請參考上述實施例。對所公開的實施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定 義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手，包括機(jī)械手托盤(2)和設(shè)置于所述機(jī)械手托盤上的第一抓料勾(3)、第二抓料勾(4)、第三抓料勾(5)、第四抓料勾，其特征在于，至少一個抓料勾與所述機(jī)械手托盤之間設(shè)置有料勾導(dǎo)向裝置，所述抓料勾可滑動的與所述料勾導(dǎo)向裝置相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手，其特征在于，各個抓料勾與所述機(jī)械手托盤之間均設(shè)置有料勾導(dǎo)向裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手，其特征在于，還包括檢測所述抓料勾與所述料勾導(dǎo)向裝置的相對位移，并向控制器反饋報警或/和停機(jī)信號的電感式傳感器，其設(shè)置于所述料勾導(dǎo)向裝置與所述抓料勾之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手，其特征在于，還包括第一固定板(7)、第二固定板(8)和用于驅(qū)動所述第一固定板(7)與所述第二固定板(8)相互靠近或者遠(yuǎn)離的固定板驅(qū)動裝置(9)； 所述第一固定板(7)長度方向的兩端分別設(shè)置有用于安裝所述第一抓料勾(3)和所述第二抓料勾(4)的第一料勾安裝孔(71)和第二料勾安裝孔(72)； 所述第二固定板(8)長度方向的兩端分別設(shè)置有用于安裝所述第三抓料勾(5)和第四抓料勾的第三料勾安裝孔(81)和第四料勾安裝孔(82)； 所述第一固定板(7)和所述第二固定板(8)均滑動地設(shè)置于所述機(jī)械手托盤(2)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手，其特征在于，所述固定板驅(qū)動裝置(9)為伸縮氣缸，其缸體(91)設(shè)置在所述第二固定板(8)上，其活塞桿(92)與所述第一固定板(X)相連。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手，其特征在于，所述第一固定板(7)和所述第二固定板(8)通過固定板滑移裝置(10)可滑動地設(shè)置在所述機(jī)械手托盤(2)上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手，其特征在于，所述固定板滑移裝置(10)為直線軸承。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手，其特征在于，所述固定板滑移裝置(10)為兩個，其分別設(shè)置于所述機(jī)械手托盤(2)長度方向的兩端。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手，其特征在于，所述第一抓料勾(3)、所述第二抓料勾(4)、所述第三抓料勾(5)、所述第四抓料勾、所述第一固定板(7)和所述第二固定板(8)的材料均為不銹鋼材料。
10.一種硅片脫膠機(jī)，包括料籃和用于吊裝所述料籃的機(jī)械手，其特征在于，所述機(jī)械手為如權(quán)利要求1-9中任意一項所述的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手。
專利摘要本實用新型提供了一種硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手，在“壓籃”情況下，抓料勾受到料籃的擠壓，當(dāng)只有一個抓料勾與機(jī)械手托盤設(shè)置料勾導(dǎo)向裝置時，該抓料勾受擠壓作用與料勾導(dǎo)向裝置產(chǎn)生相對位置的滑移，在一定程度上避免該抓料勾直接滑入料籃中對晶棒或晶片的擠壓，當(dāng)多個抓料勾與機(jī)械手托盤均設(shè)置有料勾導(dǎo)向裝置時，各個抓料勾在受到料籃的擠壓時均向料勾導(dǎo)向裝置內(nèi)產(chǎn)生滑動，從而進(jìn)一步的避免了在“壓籃”情況發(fā)生時，抓料勾對料籃中硅片或硅棒的擠壓，避免了晶片或晶棒的損壞。本實用新型還提供了一種硅片脫膠機(jī)，其上設(shè)置有具有如上結(jié)構(gòu)的硅片脫膠機(jī)防壓籃保護(hù)機(jī)械手，其保證了料籃和機(jī)械手工作的穩(wěn)定性。
文檔編號B25J9/08GK202555574SQ20122016025
公開日2012年11月28日 申請日期2012年4月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月16日
發(fā)明者梁宏健, 田歡, 王瑞林, 劉保敬, 曹寶紅 申請人:保定天威英利新能源有限公司