專利名稱：一種夾取碳膜銅網(wǎng)的專用鑷子的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造裝備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種專用于夾取碳膜銅網(wǎng)的鑷子。
背景技術(shù)：
透射電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope,以下簡(jiǎn)稱TEM)可以同時(shí)分析微區(qū)的組織形態(tài)、晶體結(jié)構(gòu)、組成元素、化學(xué)鍵結(jié)狀態(tài)以及電子分布結(jié)構(gòu)等，是固體材料分析強(qiáng)有力的工具之一。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展，技術(shù)的不斷改良，芯片尺寸的不斷縮減，材料生長(zhǎng)日趨多元化、立體化、微型化，各種類型的異質(zhì)材料中存在的界面、應(yīng)變態(tài)、應(yīng)變弛豫及隨后的晶格失配位錯(cuò)的形成等，為TEM的使用提供了廣闊的發(fā)展空間。TEM的原理是電子束穿透樣品，并激發(fā)出透射電子，經(jīng)過聚焦與放大，采用探測(cè)器收集信號(hào)并成像。由于電子易散射和被物體吸收，所以必須制備超薄切片?，F(xiàn)今，半導(dǎo)體行業(yè)中大部分采用聚焦離子束制備樣品，然后在專用的光學(xué)顯微鏡下，采用帶靜電的玻璃針，將樣品取出并放在碳膜銅網(wǎng)上。碳膜銅網(wǎng)很薄，且直徑僅為3毫米，所以碳膜銅網(wǎng)的夾取是否可靠直接關(guān)系到TEM的樣品是否安全?，F(xiàn)今市場(chǎng)上用于夾取碳膜銅網(wǎng)的鑷子一般具有細(xì)而尖的末端，鑷子的兩個(gè)末端分別與碳膜銅網(wǎng)正反兩個(gè)表面壓緊。此類鑷子主要存在以下幾個(gè)問題I.鑷子夾取樣品時(shí)很容易將碳膜戳破，導(dǎo)致TEM樣品的遺失，或者是碳膜表面的不平整導(dǎo)致TEM樣品無法觀測(cè)；2.碳膜銅網(wǎng)尺寸很小，鑷子夾取時(shí)力度很難控制，易導(dǎo)致其掉落；3.鑷子的尖端很細(xì)長(zhǎng)，很容易在操作的過程中戳到人，對(duì)人存在一個(gè)潛在的威脅。

實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中常規(guī)使用的鑷子存在的各種問題，本實(shí)用新型提出一種門用于夾取裝載透射電子顯微鏡樣品的碳膜銅網(wǎng)的鑷子。本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是夾取碳膜銅網(wǎng)的專用鑷子，包括兩個(gè)操作柄以及分別位于每個(gè)操作柄末端的夾持部，所述夾持部呈弧形，且兩個(gè)夾持部相對(duì)的表面開設(shè)有與碳膜銅網(wǎng)的外徑相吻合的缺口。優(yōu)選的，兩個(gè)操作柄形成“8”字形的鑷子手持操作部；該鑷子處于非使用狀態(tài)時(shí)，夾持部處于閉合狀態(tài)。優(yōu)選的，所述操作柄為防靜電的塑料材質(zhì)。本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)I.夾持部與碳膜銅網(wǎng)的外徑形成牢固的配合，減少鑷子在夾取碳膜銅網(wǎng)的過程中對(duì)碳膜造成的損壞，提高TEM樣品制備的成功率，降低成本；2.有效地避免了碳膜銅網(wǎng)在夾取過程中出現(xiàn)的意外；[0016]3.鑷子帶有自鎖功能，減少了保存過程中鑷子尖端破壞，延長(zhǎng)了其使用壽命，同時(shí)減少了對(duì)人的傷害，保證操作人員的人身安全。

圖I是本實(shí)用新型提出的專用鑷子夾取碳膜銅網(wǎng)的立體示意圖；圖2是圖I的鑷子尖端部分的放大圖；圖3是圖I的俯視圖；圖4是圖3中鑷子尖端部分的放大圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施例作詳細(xì)說明本實(shí)施例在以本實(shí)用新型技術(shù)方案為前提下進(jìn)行實(shí)施，給出了詳細(xì)的實(shí)施方式，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不限于下述的實(shí)施例。如圖所示的夾取碳膜銅網(wǎng)的專用鑷子，包括兩個(gè)操作柄I以及分別位于每個(gè)操作柄I末端的夾持部2，所述夾持部2呈弧形，兩個(gè)夾持部2相對(duì)的表面開設(shè)有與碳膜銅網(wǎng)3的外徑相吻合的缺口 21。當(dāng)該專用鑷子夾持碳膜銅網(wǎng)3時(shí)，碳膜銅網(wǎng)3的外徑位于缺口 21內(nèi)，并且由于夾持部2呈弧形，能夠?qū)μ寄ゃ~網(wǎng)3形成支撐、防止碳膜銅網(wǎng)3移動(dòng)或者轉(zhuǎn)動(dòng)，因此能夠牢固的夾持碳膜銅網(wǎng)3。所述夾持部2的弧度并無特殊要求，但須確保夾持力，因此不宜過小。另外，兩個(gè)操作柄I形成“8”字形的鑷子手持操作部，該鑷子處于非使用狀態(tài)時(shí)，由于操作柄I的具有的彈性應(yīng)力，確保夾持部2處于閉合狀態(tài)，形成自鎖。所述操作柄I通?？梢圆捎梅漓o電的塑料材質(zhì)。本實(shí)用新型雖然以較佳實(shí)施例公開如上，但其并不是用來限定權(quán)利要求，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，都可以做出可能的變動(dòng)和修改，因此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以本實(shí)用新型權(quán)利要求所界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種夾取碳膜銅網(wǎng)的專用鑷子，包括兩個(gè)操作柄以及分別位于每個(gè)操作柄末端的夾持部，其特征在于所述夾持部呈弧形，且兩個(gè)夾持部相對(duì)的表面開設(shè)有與碳膜銅網(wǎng)的外徑相吻合的缺口。
2.如權(quán)利要求I所述的夾取碳膜銅網(wǎng)的專用鑷子，其特征在于兩個(gè)操作柄形成“8”字形的鑷子手持操作部。
3.如權(quán)利要求I所述的夾取碳膜銅網(wǎng)的專用鑷子，其特征在于該鑷子處于非使用狀態(tài)時(shí)，夾持部處于閉合狀態(tài)。
4.如權(quán)利要求I所述的夾取碳膜銅網(wǎng)的專用鑷子，其特征在于所述操作柄為防靜電的塑料材質(zhì)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種夾取碳膜銅網(wǎng)的專用鑷子，是專門用于夾取裝載透射電子顯微鏡樣品的碳膜銅網(wǎng)。該鑷子包括兩個(gè)操作柄以及分別位于每個(gè)操作柄末端的夾持部，所述夾持部呈弧形，且兩個(gè)夾持部相對(duì)的表面開設(shè)有與碳膜銅網(wǎng)的外徑相吻合的缺口。這樣可以有效的減少鑷子在夾取碳膜銅網(wǎng)時(shí)對(duì)其造成破壞導(dǎo)致的樣品遺失，提高了透射電子顯微鏡樣品制備的成功率，節(jié)約了成本。同時(shí)鑷子帶有自鎖功能，減少了保存過程中鑷子尖端破壞，延長(zhǎng)了其使用壽命，同時(shí)減少了對(duì)人的傷害。
文檔編號(hào)B25B9/02GK202592239SQ20122024467
公開日2012年12月12日 申請(qǐng)日期2012年5月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月28日
發(fā)明者高林, 陳強(qiáng), 王炯翀, 高金德 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司