驅(qū)動機(jī)構(gòu)及機(jī)器人的制作方法
【專利摘要】根據(jù)本實(shí)用新型的驅(qū)動機(jī)構(gòu)及機(jī)器人，能夠保持潔凈環(huán)境的清潔度的同時冷卻驅(qū)動源。本實(shí)用新型實(shí)施方式涉及的驅(qū)動機(jī)構(gòu)具備驅(qū)動源、內(nèi)部空間、供氣扇、以及排氣扇。所述內(nèi)部空間容納所述驅(qū)動源。所述供氣扇向所述內(nèi)部空間供氣。所述排氣扇從所述內(nèi)部空間排氣。另外，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)利用由所述供氣扇和所述排氣扇產(chǎn)生的氣流，將所述內(nèi)部空間的內(nèi)壓維持得比所述內(nèi)部空間外的氣壓低。
【專利說明】驅(qū)動機(jī)構(gòu)及機(jī)器人

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及驅(qū)動機(jī)構(gòu)及機(jī)器人。

【背景技術(shù)】
[0002]以往，在液晶面板顯示器的生產(chǎn)線中，已知搬運(yùn)構(gòu)成原材料的玻璃基板的基板搬運(yùn)用機(jī)器人(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。為了防止由塵埃(以下，記載為“微?！?等引起的產(chǎn)品的品質(zhì)下降，該機(jī)器人被置于所謂潔凈室的內(nèi)部這樣的潔凈環(huán)境下。
[0003]另外，為了保持這種清潔環(huán)境的清潔度，機(jī)器人所具有的臂部的驅(qū)動源通常被罩等覆蓋，形成防止來自機(jī)器人內(nèi)部的微粒的飛散的構(gòu)造。
[0004]專利文獻(xiàn)1:日本特開2002 - 93881號公報實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型要解決的問題
[0006]然而，在上述的以往技術(shù)中，存在保持清潔環(huán)境的清潔度的同時對驅(qū)動源進(jìn)行冷卻的基礎(chǔ)上進(jìn)一步進(jìn)行改善的余地。
[0007]具體而言，由于驅(qū)動源如上所述被罩等覆蓋，因此存在所產(chǎn)生的熱難以放出這樣的問題。關(guān)于該問題，可以考慮使空氣從配置有驅(qū)動源的內(nèi)部空間向外部放出，但需要一并抑制來自機(jī)器人內(nèi)部的微粒的飛散。
[0008]本實(shí)用新型實(shí)施方式的一個方式是鑒于上述問題而做出的，其目的是提供一種能夠保持潔凈環(huán)境的清潔度的同時對驅(qū)動源進(jìn)行冷卻的驅(qū)動機(jī)構(gòu)及機(jī)器人。
[0009]為解決技術(shù)問題的方法
[0010]本實(shí)用新型實(shí)施方式的一個方式涉及的驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動源、內(nèi)部空間、供氣扇、以及排氣扇。所述內(nèi)部空間容納所述驅(qū)動源。所述供氣扇向所述內(nèi)部空間供氣。所述排氣扇從所述內(nèi)部空間排氣。另外，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)利用由所述供氣扇和所述排氣扇產(chǎn)生的氣流，將所述內(nèi)部空間的內(nèi)壓維持得比所述內(nèi)部空間外的氣壓低。
[0011]實(shí)用新型效果
[0012]根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施方式的一個方式，能夠保持潔凈環(huán)境的清潔度的同時冷卻驅(qū)動源。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1是第一實(shí)施方式涉及的機(jī)器人的立體示意圖。
[0014]圖2A是第一關(guān)節(jié)部周邊的王視不意圖。
[0015]圖2B是第一關(guān)節(jié)部周邊的側(cè)視示意圖。
[0016]圖2C是表不供氣扇和排氣扇的關(guān)系的一例的圖。
[0017]圖3A是表示空氣的流動的第一關(guān)節(jié)部周邊的俯視透視圖。
[0018]圖3B是表示空氣的流動的第一關(guān)節(jié)部周邊的側(cè)視透視圖。
[0019]圖3C是表示工件位于比第一關(guān)節(jié)部更靠下方位置的狀態(tài)的示意圖。
[0020]圖4A是第一變形例涉及的第一關(guān)節(jié)部周邊的主視示意圖。
[0021]圖4B是第二變形例涉及的第二關(guān)節(jié)部周邊的主視示意圖。
[0022]圖5是第二實(shí)施方式涉及的機(jī)器人的立體示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0023]以下，參照附圖，對本實(shí)用新型公開的驅(qū)動機(jī)構(gòu)和機(jī)器人的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。此外，本實(shí)用新型不限于以下所示的實(shí)施方式。
[0024]另外，在下面，以機(jī)器人是搬運(yùn)作為被搬運(yùn)物的玻璃基板的搬運(yùn)機(jī)器人的情況為例進(jìn)行說明。另外，對于被搬運(yùn)物，記載為“工件”。另外，在下面，有時將“構(gòu)成機(jī)械構(gòu)造并且相互能夠相對運(yùn)動的各個剛體要素”記載為“連桿”，將該“連桿”記載為“臂”。
[0025]另外，在使用圖1至圖4B的說明中，對以單連桿式機(jī)器人為例的第一實(shí)施方式進(jìn)行說明，在使用圖5的說明中，對以雙連桿式機(jī)器人為例的第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0026](第一實(shí)施方式)
[0027]首先，使用圖1對第一實(shí)施方式涉及的機(jī)器人I的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖1是第一實(shí)施方式涉及的機(jī)器人I的立體示意圖。此外，在下面，為了便于說明，設(shè)機(jī)器人I的旋轉(zhuǎn)位置處于圖1所示的狀態(tài)，對機(jī)器人I的各部位的位置關(guān)系進(jìn)行說明。
[0028]另外，為了使說明容易理解，在圖1中，圖示了包含將鉛垂向上設(shè)為正方向、將鉛垂向下設(shè)為負(fù)方向的Z軸的三維正交坐標(biāo)系。因此，沿XY平面的方向指“水平方向”。以下的說明中使用的其他的附圖中有時也示出了該正交坐標(biāo)系。另外，在以下的說明中，將從X軸的正方向觀察時規(guī)定為“正面”。
[0029]如圖1所示，機(jī)器人I具備旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)10、升降臂部20、以及水平臂部30。
[0030]旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)10具備基臺11和旋轉(zhuǎn)臺12?；_11例如被設(shè)置在地板等上。旋轉(zhuǎn)臺12以能夠?qū)⑿D(zhuǎn)軸S作為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的方式安裝在基臺11的上部。旋轉(zhuǎn)臺12以作為鉛垂軸的旋轉(zhuǎn)軸S為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。通過該旋轉(zhuǎn)臺12旋轉(zhuǎn)，升降臂部20和水平臂部30以旋轉(zhuǎn)軸S為中心旋轉(zhuǎn)。
[0031]升降臂部20是基端部被旋轉(zhuǎn)臺12的前端部支承、在前端部支承水平臂部30的部件。機(jī)器人I通過使該升降臂部20進(jìn)行屈伸動作，將工件W在上下方向上搬運(yùn)(參照圖中的箭頭101)。此外，機(jī)器人I可以構(gòu)成為能夠?qū)⒋笮偷墓ぜ在上下方向上搬運(yùn)幾米規(guī)模的大行程式機(jī)器人。
[0032]具體而言，升降臂部20具備支柱部21、第一關(guān)節(jié)部23、第一升降用臂24、第二關(guān)節(jié)部25、第二升降用臂26、以及第三關(guān)節(jié)部27。第一關(guān)節(jié)部23是本實(shí)施方式涉及的驅(qū)動機(jī)構(gòu)D的一例，本實(shí)用新型的驅(qū)動設(shè)備使所連結(jié)的一對連桿中的一個連桿相對于另一個連桿相對旋轉(zhuǎn)，對其細(xì)節(jié)在后面進(jìn)行敘述。
[0033]支柱部21是從旋轉(zhuǎn)臺12的前端部沿鉛垂方向豎立設(shè)置的連桿。此外，機(jī)器人I是具有一個這種支柱部21的單連桿式機(jī)器人。
[0034]第一升降用臂24的基端部經(jīng)由第一關(guān)節(jié)部23與支柱部21的前端部連結(jié)。由此，第一升降用臂24以能夠?qū)⒆鳛樗捷S的第一關(guān)節(jié)部23的關(guān)節(jié)軸“軸U1”作為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的方式被支承在支柱部21的前端部。
[0035]第二升降用臂26的基端部經(jīng)由第二關(guān)節(jié)部25與第一升降用臂24的前端部連結(jié)。由此，第二升降用臂26以能夠?qū)⒆鳛樗捷S的第二關(guān)節(jié)部25的關(guān)節(jié)軸“軸U2”作為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的方式被支承在第一升降用臂24的前端部。
[0036]水平臂部30經(jīng)由第三關(guān)節(jié)部27與第二升降用臂26的前端部連結(jié)。由此，水平臂部30以能夠?qū)⒆鳛樗捷S的第三關(guān)節(jié)部27的關(guān)節(jié)軸“軸U3”作為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的方式被支承在第二升降用臂26的前端部。如此，機(jī)器人I使用升降臂部20支承水平臂部30。
[0037]水平臂部30具備下側(cè)臂單元31a和上側(cè)臂單元31b。下側(cè)臂單元31a具備伸縮臂部32a、手部33a、以及下側(cè)支承部件34a。上側(cè)臂單元31b具備伸縮臂部32b、手部33b、以及上側(cè)支承部件34b。此外，由于上側(cè)臂單元31b是與下側(cè)臂單元31a大致相同的構(gòu)成，因此，在此使用下側(cè)臂單元31a的構(gòu)成部件進(jìn)行說明。
[0038]伸縮臂部32a的基端部被下側(cè)支承部件34a支承，在前端部支承手部33a。手部33a用于載置工件W。下側(cè)支承部件34a以能夠?qū)⑤SU3作為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的方式被支承在第二升降用臂26的前端部。另外，上側(cè)支承部件34b的基端部被固定在下側(cè)支承部件34a上。
[0039]然后，機(jī)器人I通過使該水平臂部30進(jìn)行伸縮動作，將工件W在水平方向上搬運(yùn)。例如，當(dāng)機(jī)器人I位于圖1所示的旋轉(zhuǎn)位置時，機(jī)器人I使伸縮臂部32a、32b伸縮，而使工件W向X軸的正方向或負(fù)方向直線移動(參照圖中的箭頭102)。
[0040]此外，如上述的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)10的旋轉(zhuǎn)動作、升降臂部20的屈伸動作以及水平臂部30的伸縮動作根據(jù)來自控制裝置5的指示來進(jìn)行，所述控制裝置5經(jīng)由通信網(wǎng)絡(luò)與機(jī)器人I連接。
[0041]控制裝置5是進(jìn)行機(jī)器人I的驅(qū)動控制的控制裝置。例如，在機(jī)器人I的各關(guān)節(jié)部23、25、27上搭載有使所連結(jié)的一對臂的其中一個臂相對于另一個臂相對旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動源，控制裝置5指示這些驅(qū)動源的驅(qū)動。
[0042]驅(qū)動源具備馬達(dá)部(以下，簡單記載為“馬達(dá)”)和減速器部(以下，簡單記載為“減速器”)。減速器是將從馬達(dá)輸入的旋轉(zhuǎn)減速后輸出的傳遞機(jī)構(gòu)。上述的水平臂部30、第一升降用臂24、第二升降用臂26與該減速器的輸出軸連結(jié)。
[0043]然后，機(jī)器人I按照來自控制裝置5的指示使各馬達(dá)分別旋轉(zhuǎn)任意的角度，并經(jīng)由減速器使該旋轉(zhuǎn)減速后輸出，由此使升降臂部20進(jìn)行屈伸動作。
[0044]作為連接機(jī)器人I和控制裝置5的通信網(wǎng)絡(luò)，例如，可以使用有線LAN (Local AreaNetwork:局域網(wǎng))、無線LAN這樣的一般的網(wǎng)絡(luò)。此外，雖然在此省略圖示，但旋轉(zhuǎn)臺12以及伸縮臂部32a、32b上也設(shè)置有同樣的驅(qū)動源，控制裝置5還進(jìn)行這些驅(qū)動源的驅(qū)動指示。
[0045]另外，如圖1所示，第一關(guān)節(jié)部23還具備供氣扇23a和排氣扇23b。第一關(guān)節(jié)部23利用由該供氣扇23a和排氣扇23b產(chǎn)生的氣流，將容納驅(qū)動源的內(nèi)部空間的內(nèi)壓維持得比內(nèi)部空間外的氣壓低。
[0046]接下來，對該第一關(guān)節(jié)部23的結(jié)構(gòu)進(jìn)行具體說明。圖2A是第一關(guān)節(jié)部23周邊的主視不意圖。圖2B是第一關(guān)節(jié)部23周邊的側(cè)視不意圖。圖2C是表不供氣扇23a和排氣扇23b之間的關(guān)系的一例的圖。
[0047]如圖2A所示，第一關(guān)節(jié)部23連結(jié)第一升降用臂24的基端部和支柱部21的前端部。另外，如已經(jīng)敘述那樣，第一關(guān)節(jié)部23具備供氣扇23a和排氣扇23b。
[0048]另外，如圖2B所示，第一關(guān)節(jié)部23還具備馬達(dá)23c、減速器23d、以及馬達(dá)罩23e。另外，第一關(guān)節(jié)部23具有由支柱部21、第一升降用臂24的各框架、以及馬達(dá)罩23e形成的內(nèi)部空間SP。
[0049]供氣扇23a向該內(nèi)部空間SP供氣，排氣扇23b從該內(nèi)部空間SP排氣。
[0050]另外，馬達(dá)23c和減速器23d與軸Ul大致同軸配置，并被容納在該內(nèi)部空間SP中。此外，馬達(dá)23c和減速器23d通過分別與該馬達(dá)23c以及減速器23d相接的隔壁21a而被分隔。
[0051]具體而言，在第一關(guān)節(jié)部23中，馬達(dá)23c被固定在支柱部21的隔壁21a上，減速器23d被固定在第一升降用臂24上。
[0052]減速器23d例如是RV (Rotary Vector:旋轉(zhuǎn)向量)式減速器,并具備主體部、輸入部、以及輸出部。主體部和輸入部被固定在第一升降用臂24上。
[0053]該減速器23d的輸入部與馬達(dá)23c的輸出軸連接，并接收馬達(dá)23c的旋轉(zhuǎn)力的輸入。并且，當(dāng)馬達(dá)23c的旋轉(zhuǎn)力被輸入到該輸入部時，減速器23d使輸出部(23da，參照圖3A)以比馬達(dá)23c的轉(zhuǎn)速更慢的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。
[0054]該減速器23d的輸出部(23da)被固定在支柱部21的隔壁21a上。因此，在第一關(guān)節(jié)部23中，當(dāng)馬達(dá)23c的旋轉(zhuǎn)被輸入到減速器23d的輸入部時，減速器23d的主體部相對于被固定在隔壁21a上的輸出部(23da)相對旋轉(zhuǎn)。其結(jié)果是，在第一關(guān)節(jié)部23中，固定減速器23d的主體部一側(cè)的第一升降用臂24旋轉(zhuǎn)，第一升降用臂24相對于支柱部21的姿態(tài)發(fā)生變化。
[0055]另外，如圖2B所示，排氣扇23b具有空氣過濾器23ba。對于空氣過濾器23ba，優(yōu)選為如HEPA過濾器(High Efficiency Particulate Air Filter:高效微粒空氣過濾器)、ULPA過濾器(Ultra Low Penetrat1n Air Filter:超低滲透空氣過濾器)這樣的潔凈室用的高性能過濾器。
[0056]另外，排氣扇23b還具有罩23bb。此外，雖然在圖2B中難以理解，但罩23bb形成為越過空氣過濾器23ba將排氣流向下方引導(dǎo)的形狀，例如，在下方具有開口部。另外，排氣扇23b被設(shè)置在馬達(dá)23c的負(fù)載相反側(cè)(相對于馬達(dá)23c而言,減速器23d的相反側(cè))。
[0057]另外，如圖2A所示，供氣扇23a被設(shè)置在從正面觀察第一關(guān)節(jié)部23時、即從軸向Ul觀察時的、馬達(dá)部23c (參照圖2A、圖2B)的周圍。另外，此時，供氣扇23a以使供氣流吹向上述的隔壁21a的方式被設(shè)置。即，馬達(dá)部和減速器部通過分別與馬達(dá)部和減速器部相接的隔壁而被分隔，供氣扇被配置在相對于隔壁而言馬達(dá)部側(cè)，并以使供氣流吹向隔壁的方式被設(shè)置。
[0058]在此,對供氣扇23a和排氣扇23b的關(guān)系的一例進(jìn)行說明。在本實(shí)施方式中，供氣扇23a的流量被設(shè)置為小于排氣扇23b的流量。
[0059]例如，如圖2C所示，當(dāng)每一個供氣扇23a的流量為“a”時，作為排氣扇23b，選擇大于每一個供氣扇的流量的2倍“2a”的流量的風(fēng)扇。此外，在此，“流量”設(shè)為供氣扇23a和排氣扇23b各自的額定流量。
[0060]另外，該情況下，相對于設(shè)置有一個排氣扇23b的情況,供氣扇23a被設(shè)置排氣扇的2倍即兩個。因此，在此，供氣扇23a的總流量<排氣扇23b的總流量。
[0061]在本實(shí)施方式中，通過如此組合供氣扇23a和排氣扇23b，利用這些風(fēng)扇所產(chǎn)生的氣流，將內(nèi)部空間SP的內(nèi)壓維持得比內(nèi)部空間SP外的氣壓低。由此，首先，由于內(nèi)部空間SP不會是正壓，因此能夠抑制機(jī)器人I內(nèi)部的微粒飛散。此外，毋庸置疑圖2C所示的組合僅是一個例子。
[0062]返回到圖2A的說明。按上述圖2C的組合選擇出的供氣扇23a和排氣扇23b例如，如圖2A所示，被設(shè)置成使中心部的高度位置對齊且將排氣扇23b配置在中央的橫向排列。
[0063]此外，基于供氣扇23a和排氣扇23b的冷卻性能例如受內(nèi)部空間SP的形狀、空間容積等諸多條件影響。因此，對于供氣扇23a和排氣扇23b的配置方式，優(yōu)選為基于實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)等選擇最佳的配置方式。此外，在本實(shí)施方式中，設(shè)為圖2A所示的配置方式來進(jìn)行說明。
[0064]另外，如圖2A所示，排氣扇23b優(yōu)選為其中心部從軸Ul偏離距離O。這是為了防止:由于排氣扇23b具有空氣過濾器23ba，并進(jìn)一步用罩23bb覆蓋該空氣過濾器23ba，因此由它們的厚度使機(jī)器人I的最小回轉(zhuǎn)直徑增大。距離ο是與罩23bb的外形等相應(yīng)的距離即可。此外，如果對最小回轉(zhuǎn)直徑?jīng)]有影響，則也可以不進(jìn)行這樣的偏離。
[0065]接下來，使用圖3A和圖3B，對由供氣扇23a和排氣扇23b產(chǎn)生的空氣的流動進(jìn)行具體說明。圖3A是表示空氣的流動的第一關(guān)節(jié)部23周邊的俯視透視圖。圖3B是表示空氣的流動的第一關(guān)節(jié)部23周邊的側(cè)視透視圖。
[0066]如圖3A所示，首先，內(nèi)部空間SP外的空氣通過供氣扇23a被供給至內(nèi)部空間SP (參照圖中的箭頭301)。
[0067]并且，如圖3A或圖3B所示，被供給至內(nèi)部空間SP的空氣通過供氣扇23a被吹向隔壁21a，而形成沿隔壁21a流動的氣流。另外，與此同時，通過排氣扇23b的旋轉(zhuǎn)，形成從馬達(dá)23c的負(fù)載側(cè)(減速器側(cè))沿負(fù)載相反側(cè)引導(dǎo)的氣流(參照兩圖中的箭頭302)。
[0068]并且，如圖3A或圖3B所示，被排氣扇23b引導(dǎo)的空氣經(jīng)由空氣過濾器23ba被除塵之后，通過罩23bb向下方被引導(dǎo)而被排出(參照兩圖中的箭頭303)。
[0069]在此，對通過這樣的空氣流動獲得的效果進(jìn)行說明。首先，減速器23d主要通過被吹向隔壁21a的空氣冷卻。這是因?yàn)?隔壁21a發(fā)揮所謂散熱板的作用，擴(kuò)散在輸出部23da中與隔壁21a相接的減速器23d的熱。
[0070]因此，優(yōu)選地，至少隔壁21a是導(dǎo)熱性良好的鋁等金屬材料。另外，也可以通過在隔壁21a上設(shè)置散熱片，來實(shí)現(xiàn)冷卻效率的進(jìn)一步提高。
[0071]另外，馬達(dá)21c與減速器23d —起受到由隔壁21a產(chǎn)生的熱的散熱效果，并且通過沿馬達(dá)21c流動的空氣也被散熱。這對于冷卻比減速器23d更容易處于高溫的馬達(dá)21c而目是有效的。
[0072]另外，如上所述，由于利用由供氣扇23a和排氣扇23b產(chǎn)生的氣流，將內(nèi)部空間SP的內(nèi)壓維持得比內(nèi)部空間SP外的氣壓低，因此內(nèi)部空間SP內(nèi)的微粒的飛散得到抑制。
[0073]而且，由于進(jìn)一步對內(nèi)部空間SP內(nèi)的空氣通過作為高性能過濾器的空氣過濾器23ba進(jìn)行除塵，因此能夠從內(nèi)部空間SP的內(nèi)部向外部排出清潔的空氣。即，能夠保持潔凈環(huán)境的清潔度的同時冷卻驅(qū)動源。
[0074]另外，在本實(shí)施方式涉及的機(jī)器人I的情況，當(dāng)將工件W在上下方向上搬運(yùn)時，具有能夠更有效地防止工件W的污染這樣的優(yōu)點(diǎn)。關(guān)于該點(diǎn)，使用圖3C進(jìn)行具體說明。
[0075]圖3C是表示工件W位于比第一關(guān)節(jié)部23更靠下方的位置的狀態(tài)的示意圖。此外，在圖3C中，使用表示關(guān)節(jié)的附圖標(biāo)記，極其示意性地表示機(jī)器人I。
[0076]如圖3C所示，有時機(jī)器人I采取如下姿態(tài):將工件W在上下方向上搬運(yùn)時，使第一關(guān)節(jié)部23、第二關(guān)節(jié)部25以及第三關(guān)節(jié)部27旋轉(zhuǎn)，而使水平臂部30所保持的工件W位于比第一關(guān)節(jié)部23更靠下方的位置。
[0077]即使是采取這樣的姿態(tài)的情況下，根據(jù)本實(shí)施方式，也能夠冷卻驅(qū)動源而不污染工件W。S卩，能夠利用由供氣扇23a和排氣扇23b產(chǎn)生的氣流，如上所述地有效地冷卻馬達(dá)23c和減速器23d。
[0078]另外，利用由供氣扇23a和排氣扇23b產(chǎn)生的氣流，將內(nèi)部空間SP的內(nèi)壓維持得比內(nèi)部空間SP外的氣壓低，內(nèi)部空間SP內(nèi)的微粒的飛散得到抑制的同時，內(nèi)部空間SP內(nèi)的微粒進(jìn)一步經(jīng)由空氣過濾器23ba被除塵。
[0079]而且，該被除塵的空氣進(jìn)一步朝向第一關(guān)節(jié)部23的大致正下方被排出。因此，即使機(jī)器人I采取如圖3C的姿態(tài)時，也能夠防止工件W因排氣而被污染。即，能夠保持潔凈環(huán)境的清潔度的同時冷卻驅(qū)動源。
[0080]另外，除了上述的效果以外，在本實(shí)施方式中，不將由供氣扇23a供給的空氣直接吹向馬達(dá)23c、減速器23d，而吹向隔壁21a，因此能夠防止在馬達(dá)23c、減速器23d中發(fā)生結(jié)露。
[0081]此外，至此，以將按上述圖2C的組合選擇出的供氣扇23a和排氣扇23b配置成使中心部的高度位置對齊的橫向排列的配置方式為例進(jìn)行了列舉，但配置方式不限于此。
[0082]圖4A是第一變形例涉及的第一關(guān)節(jié)部23A周邊的主視不意圖。另外，圖4B是第二變形例涉及的第一關(guān)節(jié)部23B周邊的主視示意圖。
[0083]例如，作為第一變形例，如圖4A所示，也可以不將供氣扇23a和排氣扇23b在水平方向上橫向排列，而配置成供氣扇23a相對于水平方向呈傾斜的配置方式。
[0084]另外，例如，作為第二變形例，如圖4B所示，也可以將在水平方向上橫向排列地配置的供氣扇23aX2個以及排氣扇23bX I個的組合配置成上下兩組。
[0085]這些第一變形例和第二變形例的配置方式如上所述，例如為根據(jù)內(nèi)部空間SP的形狀、空間容積等諸多條件，使冷卻效率達(dá)到最佳那樣的方式即可。
[0086]另外，至此，供氣扇23a的流量設(shè)為小于排氣扇23b的流量，該流量設(shè)為供氣扇23a和排氣扇23b的額定流量，但是，例如，也可以為相同的額定流量。
[0087]此時，將流量設(shè)為實(shí)際流動的空氣的量的基礎(chǔ)上，以使供氣扇23a的流量小于排氣扇23b的流量的方式,適當(dāng)控制供氣扇23a和排氣扇23b各自的轉(zhuǎn)速即可。
[0088]這可以通過設(shè)為能夠由控制裝置5控制供氣扇23a和排氣扇23b的旋轉(zhuǎn)的連接結(jié)構(gòu)，并將內(nèi)部空間SP的內(nèi)壓由壓敏傳感器等適當(dāng)檢測出并輸出到控制裝置5來實(shí)現(xiàn)。
[0089]另外，也可以在排氣扇23b的附近設(shè)置溫度傳感器的基礎(chǔ)上，利用控制裝置5依次監(jiān)視來自排氣扇23b的排氣的溫度，并根據(jù)該溫度,控制裝置5控制供氣扇23a和排氣扇23b各自的轉(zhuǎn)速。
[0090]如上所述，第一實(shí)施方式涉及的驅(qū)動機(jī)構(gòu)(第一關(guān)節(jié)部)包括驅(qū)動源、內(nèi)部空間、供氣扇、以及排氣扇。上述內(nèi)部空間容納上述驅(qū)動源。上述供氣扇向上述內(nèi)部空間供氣。上述排氣扇從上述內(nèi)部空間排氣。
[0091]另外，上述驅(qū)動機(jī)構(gòu)利用由上述供氣扇和上述排氣扇產(chǎn)生的氣流，將上述內(nèi)部空間的內(nèi)壓維持得比上述內(nèi)部空間外的氣壓低。
[0092]因此，根據(jù)第一實(shí)施方式涉及的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，能夠保持潔凈環(huán)境的清潔度的同時冷卻驅(qū)動源。
[0093]然而，至此，以機(jī)器人為單連桿式機(jī)器人的情況為例進(jìn)行了說明，但機(jī)器人也可以是雙連桿型。將這種情況作為第二實(shí)施方式，利用圖5進(jìn)行說明。
[0094](第二實(shí)施方式)
[0095]圖5是第二實(shí)施方式涉及的機(jī)器人Ia的立體示意圖。此外，在第二實(shí)施方式中，主要只對與第一實(shí)施方式不同的構(gòu)成要素進(jìn)行說明。
[0096]如圖5所示，機(jī)器人Ia具備基臺11、旋轉(zhuǎn)臺12、第一升降臂部20 — 1、以及第二升降臂部20 - 2。第一升降臂部20 -1具備支柱部21 -1和第一關(guān)節(jié)部23 — I。另外，第二升降臂部20 — 2具備支柱部21 — 2和第一關(guān)節(jié)部23 — 2。
[0097]支柱部21 — 1、21 — 2分別豎立設(shè)置在圍繞旋轉(zhuǎn)軸S旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臺12左右的兩端部。第一關(guān)節(jié)部23 - 1、23 - 2將支柱部21 — 1、21 — 2的前端部、和與它們相鄰的連桿(參照圖1的第一升降用臂24)的基端部以能夠分別圍繞軸Ul - UUl 一 2旋轉(zhuǎn)的方式連結(jié)。
[0098]即，如圖5所不，機(jī)器人Ia是具有從兩根支柱部(21 — 1,21 — 2)延伸的兩個升降臂部(20 — 1,20 — 2)的雙連桿式機(jī)器人。
[0099]通過構(gòu)成為這種雙連桿型，機(jī)器人Ia能夠獲得由兩個升降臂部(20 — 1，20 — 2)實(shí)現(xiàn)的高剛性，因此能夠?qū)崿F(xiàn)撓曲小的高精度的上下方向的搬運(yùn)。這一點(diǎn)對工件W是大型工件的情況等是有用的。
[0100]并且，本實(shí)施方式涉及的驅(qū)動機(jī)構(gòu)D適合用作該機(jī)器人Ia的第一關(guān)節(jié)部23 — 1、23 - 2。由此，機(jī)器人Ia當(dāng)將工件W在上下方向搬運(yùn)時，即使采取使水平臂部30所保持的工件W位于比第一關(guān)節(jié)部23更靠下方的位置的姿態(tài)的情況下，也能夠冷卻驅(qū)動源而工件W不會被排氣污染。
[0101]根據(jù)上述的實(shí)施方式的具有驅(qū)動設(shè)備的機(jī)器人還具備:豎立設(shè)置的至少一個支柱部；經(jīng)由驅(qū)動機(jī)構(gòu)能夠相對于支柱部相對旋轉(zhuǎn)的方式被連結(jié)于該支柱部的臂部；以及與臂部連結(jié)并保持基板的保持部，即使因臂部旋轉(zhuǎn)而使基板位于比驅(qū)動機(jī)構(gòu)更靠下方的位置，基板也不會被來自排氣扇的排氣流污染。
[0102]此外，在上述的各實(shí)施方式中，機(jī)器人可以構(gòu)成為大行程式機(jī)器人，但也可以為小行程式機(jī)器人。
[0103]另外，在上述的各實(shí)施方式中，主要以升降臂部的第一關(guān)節(jié)部為例進(jìn)行了說明，但只要是使相對于沿鉛垂方向豎立設(shè)置的支柱部連結(jié)的連桿相對旋轉(zhuǎn)的關(guān)節(jié)，則不限定部位。
[0104]另外，在上述的各實(shí)施方式中，以驅(qū)動機(jī)構(gòu)用作機(jī)器人的關(guān)節(jié)機(jī)構(gòu)的情況為例進(jìn)行了說明，但不限于此。因此，例如，驅(qū)動機(jī)構(gòu)也可以設(shè)置在機(jī)器人以外的裝置中，并僅將驅(qū)動源的驅(qū)動力向外部輸出。
[0105]另外，在上述的各實(shí)施方式中，以供氣扇被設(shè)置排氣扇的2倍個數(shù)的情況為例進(jìn)行了說明，但并不限定供氣扇和排氣扇兩者的個數(shù)之比。因此，根據(jù)內(nèi)部空間的形狀等，設(shè)為獲得最佳的冷卻效率的個數(shù)比即可。
[0106]另外，在上述的各實(shí)施方式中，以機(jī)器人是對玻璃基板進(jìn)行搬運(yùn)的搬運(yùn)機(jī)器人的情況為例進(jìn)行了說明，但不限制被搬運(yùn)物的類別。另外，機(jī)器人也可以是進(jìn)行搬運(yùn)作業(yè)以外的作業(yè)的機(jī)器人。
[0107]另外，機(jī)器人的臂的數(shù)量、手的數(shù)量、軸數(shù)等不限于上述的各實(shí)施方式。
[0108]本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠容易地導(dǎo)出本實(shí)用新型的進(jìn)一步的效果和變形例。因此，本實(shí)用新型的更廣泛的方式不限于如上表示并記述的特定的詳細(xì)和典型的實(shí)施方式。因此，在不脫離由所附權(quán)利要求書及其等同物定義的總的實(shí)用新型概念的精神或范圍的情況下，能夠進(jìn)行各種變更。
【權(quán)利要求】
1.一種驅(qū)動機(jī)構(gòu)，其特征在于，具備: 驅(qū)動源； 內(nèi)部空間，其容納所述驅(qū)動源； 供氣扇，其向所述內(nèi)部空間供氣；以及 排氣扇，其從所述內(nèi)部空間排氣， 利用由所述供氣扇和所述排氣扇產(chǎn)生的氣流，將所述內(nèi)部空間的內(nèi)壓維持得比所述內(nèi)部空間外的氣壓低。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，其特征在于， 所述供氣扇被設(shè)置有所述排氣扇的2倍個數(shù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，其特征在于， 所述驅(qū)動源具備: 馬達(dá)部；以及 減速器部，其將從所述馬達(dá)部輸入的旋轉(zhuǎn)減速后輸出。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，其特征在于， 所述供氣扇被設(shè)置在從所述驅(qū)動源的軸向觀察時的、所述馬達(dá)部的周圍， 所述排氣扇被設(shè)置在所述馬達(dá)部的負(fù)載相反側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，其特征在于， 所述馬達(dá)部和所述減速器部通過分別與該馬達(dá)部和該減速器部相接的隔壁而被分隔，所述供氣扇被配置在相對于隔壁的所述馬達(dá)部側(cè)，并以使供氣流吹向所述隔壁的方式被設(shè)置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，其特征在于， 所述排氣扇具有空氣過濾器。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，其特征在于， 所述排氣扇具有罩，所述罩形成為將排氣流向下方引導(dǎo)的形狀。
8.—種機(jī)器人,其特征在于， 具備權(quán)利要求1或2所述的驅(qū)動機(jī)構(gòu)， 所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)使所連結(jié)的一對連桿中的一個連桿相對于另一個連桿相對旋轉(zhuǎn)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的機(jī)器人，其特征在于，還具備: 豎立設(shè)置的至少一個支柱部； 臂部，其經(jīng)由所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)以能夠相對于所述支柱部相對旋轉(zhuǎn)的方式連結(jié)于所述支柱部；以及 保持部，其與所述臂部連結(jié)并保持基板， 即使因所述臂部旋轉(zhuǎn)而使所述基板位于比所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)更靠下方的位置，所述基板也不會被來自所述排氣扇的排氣流污染。
【文檔編號】B25J19/00GK203936920SQ201420334572
【公開日】2014年11月12日 申請日期:2014年6月20日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月25日
【發(fā)明者】浪江泰介, 井上久哉, 末吉智 申請人:株式會社安川電機(jī)