一種基板庫定位裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種基板庫定位裝置，包括左底板和右底板，所述左底板和所述右底板安裝在模塊框架上，所述左底板和右底板上通過滾輪支架和滾輪軸安裝有若干個(gè)水平位置固定的滾輪，所述滾輪設(shè)置在基板庫的四周，所述滾輪的軸線與所述基板庫的底面平行，所述滾輪外側(cè)設(shè)有用于對(duì)所述滾輪限位的限位支架；所述左底板的一個(gè)直角處設(shè)有導(dǎo)軌和用于驅(qū)動(dòng)支架沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)的氣缸，所述支架上固定有用于對(duì)所述基板庫夾緊限位的凹槽形狀的限位塊。本實(shí)用新型所提供的基板庫定位裝置能夠避免安裝和拆卸過程中基板庫抖動(dòng)，并防止工作過程中基板庫被抬起，提局了基板庫的穩(wěn)定性。
【專利說明】
一種基板庫定位裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實(shí)用新型涉及一種基板庫定位裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]在光刻機(jī)等半導(dǎo)體設(shè)備中，均需要基板庫儲(chǔ)存即將要進(jìn)行曝光和已經(jīng)曝光好的基板，基板庫是基板存儲(chǔ)與運(yùn)輸?shù)拿浇椤?br> [0003]請(qǐng)參考圖1和圖2，現(xiàn)有技術(shù)的基板庫定位裝置包括底板1-1,底板1-1安裝在模塊框架上。底板1-1上設(shè)有導(dǎo)軌1-2和用于驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌1-2的氣缸1-3。底板1-1的對(duì)角通過軸承支架1-4安裝有兩個(gè)凸輪軸承1-5，也即兩個(gè)凸輪軸承1-5設(shè)置在基板庫1-6的對(duì)角處，其中一個(gè)凸輪軸承1-5通過軸承支架1-4安裝在支架1-7上，支架1-7安裝在導(dǎo)軌1-2上，通過調(diào)整氣缸1-3運(yùn)動(dòng)方向(圖1中箭頭所指方向是氣缸1-3的運(yùn)動(dòng)方向)，驅(qū)動(dòng)安裝在導(dǎo)軌1-2上的凸輪軸承1-5對(duì)基板庫1-6進(jìn)行夾緊，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)基板庫1-6水平方向的夾緊和限位，但是無法對(duì)基板庫1-6在垂直方向夾緊和限位，導(dǎo)致基板庫1-6在安裝和拆卸過程中會(huì)抬起。當(dāng)要取出基板庫1-6，松開氣缸1-3，對(duì)基板庫1-6在垂直方向上的穩(wěn)定性影響很大，對(duì)基板的定位不穩(wěn)固。且由于凸輪軸承1-5軸線方向與基板庫1-6底面垂直，與基板庫1-6安裝和拆卸的方向一致,不利于基板庫1-6安裝和拆卸。而且只在底板1-1的對(duì)角設(shè)置有兩個(gè)凸輪軸承1-5,另外兩對(duì)角邊用第一導(dǎo)向件1-8和第二導(dǎo)向件1-9進(jìn)行定位，所以基板庫1-6定位不夠牢靠。
[0004]隨著集成電路制造行業(yè)的聞速發(fā)展，需要提聞基板庫的穩(wěn)定性，以保證存儲(chǔ)在基板庫中的基板在運(yùn)輸過程中質(zhì)量不受到影響。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]為了提聞基板庫的穩(wěn)定性，本實(shí)用新型提供一種基板庫定位裝置。
[0006]為了解決以上技術(shù)問題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:一種基板庫定位裝置，包括左底板和右底板，所述左底板和所述右底板安裝在模塊框架上，所述左底板和右底板上通過滾輪支架和滾輪軸安裝有若干個(gè)水平位置固定的滾輪，所述滾輪設(shè)置在基板庫的四周，所述滾輪的軸線與所述基板庫的底面平行，所述滾輪外側(cè)設(shè)有用于對(duì)所述滾輪限位的限位支架；所述左底板的一個(gè)直角處設(shè)有導(dǎo)軌和用于驅(qū)動(dòng)支架沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)的氣缸，所述支架上固定有用于對(duì)所述基板庫夾緊限位的凹槽形狀的限位塊。
[0007]所述限位支架上設(shè)有螺栓。
[0008]所述左底板和所述右底板通過調(diào)節(jié)螺栓安裝在模塊框架上。
[0009]所述左底板和所述右底板上均固定有用于支撐所述基板庫的位置決定器。
[0010]所述位置決定器一側(cè)設(shè)有用于在上載所述基板庫時(shí)對(duì)所述基板庫緩沖的緩沖器。
[0011]所述左底板和所述右底板上均設(shè)有存在傳感器。
[0012]本實(shí)用新型所提供的基板庫定位裝置，所述滾輪設(shè)置在基板庫四周，所述滾輪的軸線與所述基板庫的底面平行，通過調(diào)節(jié)所述滾輪支架控制所述滾輪與所述基板庫側(cè)面的距離，通過調(diào)整所述滾輪與所述基板庫側(cè)面的距離對(duì)基板庫進(jìn)行精確定位；由于所述滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)方向與基板庫取放方向相切，起導(dǎo)向作用，有利于基板庫的安裝和拆卸；且由于滾輪的水平位置是固定的，滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)過程中與基板庫之間的距離不變，使基板庫在取放過程中更為平穩(wěn)。所述氣缸驅(qū)動(dòng)所述導(dǎo)軌帶動(dòng)所述限位塊對(duì)基板庫的水平方向和垂直方向同時(shí)夾緊限位，能夠避免安裝和拆卸基板庫過程中基板庫上下抖動(dòng)，并防止工作過程中基板庫被抬起，使基板庫在工作過程中更穩(wěn)定。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中基板庫定位裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2是圖1中A處的局部放大圖；
[0015]圖3是本實(shí)用新型所提供的基板庫定位裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖4a是將基板庫安裝在基板庫定位裝置之前或者將基板庫從基板庫定位裝置拆卸之后的不意圖；
[0017]圖4b是基板庫安裝在基板庫定位裝置的示意圖；
[0018]圖5是圖4a中B處的局部放大圖，是安裝或拆卸基板庫時(shí)限位塊的狀態(tài)；
[0019]圖6是圖4b中C處的局部放大圖，是將基板庫安裝夾緊時(shí)限位塊的狀態(tài)。
[0020]現(xiàn)有技術(shù)圖示:1_1、底板，1-2、導(dǎo)軌，1-3、氣缸，1-4、軸承支架，1_5、凸輪軸承，
1-6、基板庫,1-7、支架,1-8、第一導(dǎo)向件,1-9、第二導(dǎo)向件。
[0021]本實(shí)用新型圖不:2_1、左底板,2_2、右底板,2_3、滾輪支架,2_4、滾輪軸,2_5、滾輪，2-6、限位支架，2-6-1、螺栓，2-7、導(dǎo)軌，2-8、氣缸，2-9、支架，2-10、基板庫，2-11、限位塊，2-12、調(diào)節(jié)螺栓，2-13、位置決定器，2-14、緩沖器，2_15、存在傳感器，2_16、推車托盤。

【具體實(shí)施方式】
[0022]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)描述，請(qǐng)參考圖3，一種基板庫定位裝置，包括左底板2-1和右底板2-2，所述左底板2-1和所述右底板2-2安裝在模塊框架上，所述左底板2-1和右底板2-2上通過滾輪支架2-3和滾輪軸2-4安裝有若干個(gè)水平位置固定的滾輪2-5，所述滾輪2-5設(shè)置在基板庫2-10的四周，所述滾輪2-5的軸線與所述基板庫2_10的底面平行，所述滾輪2-5外側(cè)設(shè)有用于對(duì)所述滾輪2-5限位的限位支架2-6 ;所述左底板
2-1的一個(gè)直角處設(shè)有導(dǎo)軌2-7和用于驅(qū)動(dòng)支架2-9沿所述導(dǎo)軌2-7滑動(dòng)的氣缸2_8，所述支架2-9上固定有用于對(duì)所述基板庫2-10夾緊限位的凹槽形狀的限位塊2-11。所述限位塊2-11的形狀與所述基板庫2-10邊緣的形狀相匹配。所述氣缸2-8驅(qū)動(dòng)所述導(dǎo)軌2-7運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)所述限位塊2-11運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)所述基板庫2-10夾緊和限位。
[0023]通過調(diào)節(jié)所述滾輪支架2-3控制所述滾輪2-5與所述基板庫2_10側(cè)面的距離。
[0024]所述限位塊2-11通過“L”形狀的支架2-9固定在所述導(dǎo)軌2_7上。“L”形狀的支架2-9上設(shè)有至少兩個(gè)限位塊2-11，用于對(duì)所述基板庫2-10相鄰的兩條邊夾緊限位。所述限位塊2-11是水平放置的凹槽，凹槽的底部用于對(duì)所述基板庫2-10在水平方向夾緊和限位；凹槽的側(cè)面用于對(duì)所述基板庫2-10在垂直方向夾緊和限位。
[0025]所述滾輪2-5設(shè)置在所述基板庫2-10的每一條邊靠近直角的位置處，便于對(duì)所述基板庫2-10的邊緣進(jìn)行夾緊限位。特別是所述右底板2-2與所述導(dǎo)軌2-7位置相對(duì)的直角，靠近該直角的兩條直角邊上，設(shè)置兩個(gè)所述滾輪2-5，便于通過所述氣缸2-8帶動(dòng)所述限位塊2-11對(duì)所述基板庫2-10夾緊和限位。
[0026]所述限位支架2-6上設(shè)有螺栓2-6-1，通過調(diào)節(jié)螺栓2_6_1，通過調(diào)整所述螺栓2-6-1對(duì)所述滾輪支架2-3限位，所述左底板2-1和所述右底板2-2通過用于調(diào)整水平度的調(diào)節(jié)螺栓2-12安裝在模塊框架上。通過調(diào)整調(diào)節(jié)螺栓2-12，可以調(diào)整所述左底板2-1和所述右底板2-2相對(duì)于模塊框架的水平度。
[0027]所述左底板2-1和所述右底板2-2上均固定有用于支撐所述基板庫2-10的位置決定器2-13。將所述基板庫2-10夾緊過程中，在所述氣缸2-8驅(qū)動(dòng)下，所述基板庫2-10在所述位置決定器2-13上方滑動(dòng)，逐漸調(diào)整位置，避免了所述基板庫2-10與所述左底板2-1和所述右底板2-2之間的摩擦，防止磨損所述基板庫2-10，也避免了對(duì)所述左底板2-1和所述右底板2-2的摩擦。
[0028]所述位置決定器2-13—側(cè)設(shè)有用于在上載所述基板庫2-10時(shí)對(duì)所述基板庫2-10緩沖的緩沖器2-14。當(dāng)安裝所述基板庫2-10時(shí)，對(duì)所述基板庫2-10有一定的緩沖作用，防止損壞所述基板庫2-10，也可以減小所述基板庫2-10對(duì)所述位置決定器2-13的沖擊，避免損壞所述位置決定器2-13，延長基板庫定位裝置的使用壽命。
[0029]所述左底板2-1和所述右底板2-2上均設(shè)有存在傳感器2-15。所述存在傳感器2-15用于檢測(cè)所述基板庫2-10是否已經(jīng)安裝完畢，是否完成夾緊和限位。
[0030]請(qǐng)參考圖3、4a、4b、圖5和圖6，本實(shí)用新型所提供的基板庫定位裝置的工作過程:調(diào)整所述氣缸2-8向外運(yùn)動(dòng)(圖3中箭頭所指方向是氣缸2-8的運(yùn)動(dòng)方向)，驅(qū)動(dòng)所述導(dǎo)軌2-7運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)所述限位塊2-11向外運(yùn)動(dòng)，使基板庫定位裝置處于松開狀態(tài)，推車托盤2-16將基板庫2-10抬起，將基板庫2-10放入基板庫定位裝置，將基板庫2-10放好之后，推車托盤2-16退出，調(diào)整所述氣缸2-8反方向運(yùn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)所述導(dǎo)軌2-7運(yùn)動(dòng)，所述導(dǎo)軌2-7帶動(dòng)所述限位塊2-11將所述基板庫2-10夾緊。
[0031]取出基板庫2-10時(shí)，調(diào)整所述氣缸2-8向外運(yùn)動(dòng)，所述氣缸2-8通過所述導(dǎo)軌2-7帶動(dòng)所述限位塊2-11向外運(yùn)動(dòng)，將所述基板庫2-10松開，推車托盤2-16伸入基板庫定位裝置，推車托盤2-16下降，取出所述基板庫2-10。
[0032]本實(shí)用新型所提供的基板庫定位裝置，請(qǐng)參考圖3，所述滾輪2-5設(shè)置在基板庫2-10四周，所述滾輪2-5的軸線與所述基板庫2-10的底面平行，通過調(diào)節(jié)所述滾輪支架2-3控制所述滾輪2-5與所述基板庫2-10側(cè)面的距離，通過調(diào)整所述滾輪2-5與所述基板庫2-10側(cè)面的距離對(duì)基板庫2-10進(jìn)行精確定位；由于所述滾輪2-5轉(zhuǎn)動(dòng)方向與基板庫
2-10取放方向相切，起導(dǎo)向作用，有利于基板庫2-10的安裝和拆卸；且由于滾輪2-5的水平位置是固定的，滾輪2-5轉(zhuǎn)動(dòng)過程中與基板庫2-10之間的距離不變，使基板庫2-10在取放過程中更為平穩(wěn)。所述氣缸2-8驅(qū)動(dòng)所述導(dǎo)軌2-7帶動(dòng)所述限位塊2-11對(duì)基板庫2-10的水平方向和垂直方向同時(shí)夾緊限位，能夠避免安裝和拆卸基板庫2-10過程中基板庫2-10上下抖動(dòng)，并防止工作過程中基板庫2-10被抬起，使基板庫2-10在工作過程中更穩(wěn)定。
[0033]本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包括這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種基板庫定位裝置，其特征在于，包括左底板(2-1)和右底板(2-2)，所述左底板(2-1)和所述右底板(2-2)安裝在模塊框架上，所述左底板(2-1)和右底板(2-2)上通過滾輪支架(2-3)和滾輪軸(2-4)安裝有若干個(gè)水平位置固定的滾輪(2-5)，所述滾輪(2-5)設(shè)置在基板庫(2-10)的四周，所述滾輪(2-5)的軸線與所述基板庫(2-10)的底面平行，所述滾輪(2-5)外側(cè)設(shè)有用于對(duì)所述滾輪(2-5)限位的限位支架(2-6);所述左底板(2-1)的一個(gè)直角處設(shè)有導(dǎo)軌(2-7)和用于驅(qū)動(dòng)支架(2-9)沿所述導(dǎo)軌(2-7)滑動(dòng)的氣缸(2-8)，所述支架(2-9)上固定有用于對(duì)所述基板庫(2-10)夾緊限位的凹槽形狀的限位塊(2-11)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板庫定位裝置，其特征在于，所述限位支架(2-6)上設(shè)有螺栓(2-6-1)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板庫定位裝置，其特征在于，所述左底板(2-1)和所述右底板(2-2)通過調(diào)節(jié)螺栓(2-12)安裝在模塊框架上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板庫定位裝置，其特征在于，所述左底板(2-1)和所述右底板(2-2)上均固定有用于支撐所述基板庫(2-10)的位置決定器(2-13)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板庫定位裝置，其特征在于，所述位置決定器(2-13)—側(cè)設(shè)有用于在上載所述基板庫(2-10)時(shí)對(duì)所述基板庫(2-10)緩沖的緩沖器(2-14)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板庫定位裝置，其特征在于，所述左底板(2-1)和所述右底板(2-2)上均設(shè)有存在傳感器(2-15)。
【文檔編號(hào)】B25B11/00GK204019399SQ201420384572
【公開日】2014年12月17日 申請(qǐng)日期:2014年7月11日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月11日
【發(fā)明者】吳福龍, 阮冬 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司