一種用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提供一種用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置,至少包括:主支架體及位于其上的起重裝置、起重裝置上的動(dòng)臂機(jī)構(gòu);起重裝置包括相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)的第一、第二底板;固定于第二底板上方的第三底板;位于第三底板下表面且通過(guò)貫穿第三底板上的絲杠固定的第一齒輪;穿過(guò)第二、第三底板間固定板中的軸承的手柄軸;手柄軸套設(shè)有與第一齒輪嚙合的第二齒輪;動(dòng)臂機(jī)構(gòu)包括兩根滑軌和分別沿滑軌滑動(dòng)的動(dòng)臂;動(dòng)臂間通過(guò)一連接板固定;兩滑軌間的起重板;絲杠穿套于起重板中的絲杠帽;該起重板與第三底板相對(duì)固定。使用本實(shí)用新型的加熱盤(pán)安裝和拆卸裝置可大大提高作業(yè)的安全性和勞動(dòng)效率,同時(shí)降低因人工搬運(yùn)導(dǎo)致加熱盤(pán)損壞的風(fēng)險(xiǎn),達(dá)到省時(shí)省力的效果。
【專(zhuān)利說(shuō)明】—種用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體制程設(shè)備,特別是涉及一種用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制程工藝中,常常用半導(dǎo)體制程設(shè)備中的晶圓加熱裝置來(lái)對(duì)晶圓進(jìn)行加熱,而晶圓加熱裝置中通常包含有用于承載晶圓的晶圓的加熱盤(pán),晶圓內(nèi)置于該加熱盤(pán)上進(jìn)行加熱。
[0003]在對(duì)晶圓的加熱盤(pán)進(jìn)行安裝和拆卸時(shí),由于加熱盤(pán)是由鋁制成,該鋁制的加熱盤(pán)重量達(dá)到150千克同時(shí)溫度較高,并且粘有一定的化學(xué)物質(zhì),當(dāng)該加熱盤(pán)需要從加熱裝置上拆卸時(shí),目前正常的操作是等待加熱盤(pán)的溫度降低至室溫以后,對(duì)加熱盤(pán)進(jìn)行清潔,之后由四至五人一起將加熱盤(pán)從加熱裝置上抬下;該加熱盤(pán)的安裝也同樣需要四至五個(gè)人共同完成人工安裝,對(duì)加熱盤(pán)的拆卸和安裝全程需要5個(gè)小時(shí)左右;并且在安裝和拆卸的過(guò)程中極有可能發(fā)生加熱盤(pán)墜落從而損壞加熱盤(pán);也同時(shí)可能發(fā)生砸傷操作人員;因此,目前晶圓的加熱盤(pán)的安裝和拆卸具有一定的危險(xiǎn)性并同時(shí)耗費(fèi)人力。
[0004]因此,有必要提出一種新的用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置來(lái)避免上述問(wèn)題的產(chǎn)生,并且來(lái)提高生產(chǎn)效率,節(jié)約人力成本。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn),本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置,用于解決現(xiàn)有技術(shù)中因加熱盤(pán)在拆卸和安裝的過(guò)程中可能發(fā)生加熱盤(pán)墜落和砸傷操作人員的問(wèn)題,以及用于解決現(xiàn)有技術(shù)中安裝和拆卸加熱盤(pán)而耗時(shí)耗力的問(wèn)題。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的,本實(shí)用新型提供一種用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置,其特征在于,所述裝置至少包括:主支架體、位于所述主支架體上的起重裝置以及設(shè)置于所述起重裝置上用于承載加熱盤(pán)的動(dòng)臂機(jī)構(gòu);所述起重裝置包括第一底板和通過(guò)一旋轉(zhuǎn)軸連接并相對(duì)所述第一底板上表面轉(zhuǎn)動(dòng)的第二底板;通過(guò)支柱支撐并固定于所述第二底板上方的第三底板;位于所述第三底板下表面的第一齒輪;所述第一齒輪通過(guò)貫穿所述第三底板上的絲杠固定;連接于所述第二、第三底板之間且嵌有軸承的固定板;穿過(guò)所述軸承且設(shè)有手柄的手柄軸;所述手柄軸套設(shè)有與所述第一齒輪嚙合的第二齒輪;所述動(dòng)臂機(jī)構(gòu)包括兩根平行的滑軌和分別沿所述滑軌滑動(dòng)的動(dòng)臂;所述動(dòng)臂通過(guò)一連接板相互固定;固定于所述兩個(gè)滑軌之間的起重板;所述起重板設(shè)有與所述絲杠匹配的絲杠帽;所述絲杠穿套于所述絲杠帽;所述起重板與所述第三底板通過(guò)導(dǎo)向軸固定。
[0007]作為本實(shí)用新型的用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置的一種優(yōu)選方案,所述主體支架包括由鋼管焊接而成的長(zhǎng)方體支架以及位于所述長(zhǎng)方體支架的四腳之間的鐵板;并且該四腳底部分別設(shè)有腳輪;該長(zhǎng)方體支架的表面設(shè)有若干平行鋼管。
[0008]作為本實(shí)用新型的用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置的一種優(yōu)選方案,所述第一至第三底板分別為正方形板,且所述第二和第三底板的水平面投影完全置于所述第一底板;位于所述第二和第三底板之間的支柱有四個(gè),該四個(gè)支柱分別位于所述第二和第三底板的四個(gè)角。
[0009]作為本實(shí)用新型的用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置的一種優(yōu)選方案,所述第一齒輪位于所述第三底板下表面的中心位置。
[0010]作為本實(shí)用新型的用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置的一種優(yōu)選方案,所述導(dǎo)向軸有兩個(gè),該兩個(gè)導(dǎo)向軸位于所述絲杠兩側(cè)并與所述絲杠位于同一直線上。
[0011]作為本實(shí)用新型的用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置的一種優(yōu)選方案,所述第二、第三底板之間的固定板相互平行且分別位于所述第二和第三底板的邊緣。
[0012]作為本實(shí)用新型的用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置的一種優(yōu)選方案,所述第一齒輪與所述第二齒輪為傳動(dòng)比為3:1的傘型齒輪。
[0013]作為本實(shí)用新型的用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置的一種優(yōu)選方案,所述滑軌內(nèi)部設(shè)有使所述動(dòng)臂沿所述滑軌滑動(dòng)的若干輥?zhàn)印?br>
[0014]作為本實(shí)用新型的用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置的一種優(yōu)選方案,所述動(dòng)臂上各自設(shè)有兩個(gè)用于夾持所述加熱盤(pán)的定位塊。
[0015]作為本實(shí)用新型的用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置的一種優(yōu)選方案,所述每個(gè)動(dòng)臂上各設(shè)有一個(gè)限位導(dǎo)軌;所述限位導(dǎo)軌位于所述連接板與所述定位塊之間。
[0016]如上所述,本實(shí)用新型的用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置,具有以下有益效果:使用本實(shí)用新型的所述加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置可以大大提高作業(yè)的安全性和勞動(dòng)效率,同時(shí)降低因人工搬運(yùn)導(dǎo)致加熱盤(pán)損壞的風(fēng)險(xiǎn),達(dá)到省時(shí)省力的效果。
【專(zhuān)利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1為本實(shí)用新型的用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置示意圖。
[0018]圖2為本實(shí)用新型的主支架體的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖3為本實(shí)用新型的起重裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]圖4為本實(shí)用新型的動(dòng)臂機(jī)構(gòu)爆炸示意圖。
[0021]元件標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0022]10主支架體
[0023]101鐵板
[0024]102腳輪
[0025]201第一底板
[0026]202旋轉(zhuǎn)軸
[0027]203第二底板
[0028]204支柱
[0029]205第三底板
[0030]206第一齒輪
[0031]207絲杠
[0032]208軸承
[0033]209固定板
[0034]210手柄
[0035]211手柄軸
[0036]212第二齒輪
[0037]30加熱盤(pán)
[0038]401滑軌
[0039]402動(dòng)臂
[0040]403連接板
[0041]404起重板
[0042]405絲杠帽
[0043]406導(dǎo)向軸
[0044]407輥?zhàn)?br>
[0045]408定位塊
[0046]409限位導(dǎo)軌
【具體實(shí)施方式】
[0047]以下通過(guò)特定的具體實(shí)例說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說(shuō)明書(shū)所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本實(shí)用新型還可以通過(guò)另外不同的【具體實(shí)施方式】加以實(shí)施或應(yīng)用,本說(shuō)明書(shū)中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用,在沒(méi)有背離本實(shí)用新型的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。
[0048]請(qǐng)參閱圖1至圖4。需要說(shuō)明的是,本實(shí)施例中所提供的圖示僅以示意方式說(shuō)明本實(shí)用新型的基本構(gòu)想,遂圖式中僅顯示與本實(shí)用新型中有關(guān)的組件而非按照實(shí)際實(shí)施時(shí)的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制,其實(shí)際實(shí)施時(shí)各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變,且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。
[0049]本實(shí)用新型提供一種用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置,所述裝置的結(jié)構(gòu)如圖1至圖4所示,其中圖1為用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示,本實(shí)用新型的所述裝置至少包括:主支架體10和位于所述主支架體10上的起重裝置,同時(shí),還包括置于所述起重裝置上的動(dòng)臂機(jī)構(gòu),所述動(dòng)臂機(jī)構(gòu)用于承載晶圓的加熱盤(pán)30。
[0050]如圖2所示,圖2為本實(shí)用新型的主支架體的結(jié)構(gòu)示意圖。優(yōu)選地,所述主體支架10包括由鋼管焊接而成的長(zhǎng)方體支架以及位于所述長(zhǎng)方體支架的四腳之間的鐵板101 ;并且該四腳底部分別設(shè)有腳輪102 ;該長(zhǎng)方體支架的表面設(shè)有若干平行鋼管。所述鐵板是用于穩(wěn)定整個(gè)用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置的重心使該裝置的重心盡可能靠下;同時(shí)所述鐵板起放置物品的作用。所述四個(gè)腳輪則用于整個(gè)裝置的移動(dòng)。
[0051]如圖3所示,圖3為本實(shí)用新型的所述起重裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。所述起重裝置包括第一底板201和通過(guò)一旋轉(zhuǎn)軸202連接并相對(duì)于所述第一底板201上表面轉(zhuǎn)動(dòng)的第二底板203 ;優(yōu)選地,所述第二底板上有通孔和嵌于所述通孔中的軸承,所述軸承用于通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)軸202,使得所述第一底板和第二底板之間彼此連接。優(yōu)選地,所述旋轉(zhuǎn)軸固定于所述第一底板上;并且所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)于所述第二底板上的軸承,因此,使得所述第一底板和第二底板之間可以繞所述旋轉(zhuǎn)軸在所述第一底板和第二底板所在的平面發(fā)生相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)。進(jìn)一步優(yōu)選地,所述第一底板和第二底板分別為正方形板;且所述第二底板投影于所述第一底板,即所述第二底板位于所述第一底板的正上方。
[0052]所述起重裝置還包括通過(guò)支柱204支撐并固定于所述第二底板203上方的第三底板205 ;優(yōu)選地,所述第三底板為正方形板;且所述第三底板投影于所述第一底板;即在本實(shí)施例中,所述第二底板位于所述第一底板的正上方,所述第三底板位于所述第二底板的正上方。進(jìn)一步優(yōu)選地,位于所述第二和第三底板之間的支柱有四個(gè),該四個(gè)支柱分別位于所述第二和第三底板的四個(gè)角。也就是說(shuō),由于所述第二底板和第三底板分別為正方形板且所述第三底板投影于所述第二底板,因此如圖3所示,所述支柱204位于所述第二底板和第三底板的四個(gè)角上。
[0053]本實(shí)用新型的所述起重裝置還包括如圖3所示的位于所述第三底板下表面的第一齒輪206 ;所述第一齒輪206通過(guò)貫穿所述第三底板上的絲杠207固定;所述絲杠207穿過(guò)所述第三底板205與穿套于所述第一齒輪206且與所述第一齒輪相對(duì)固定,所述絲杠可以在所述第三底板上發(fā)生旋轉(zhuǎn)。優(yōu)選地,所述第一齒輪位于所述第三底板下表面的中心位置。
[0054]如圖3所示,本實(shí)用新型的所述起重裝置還包括連接于所述第二、第三底板之間且嵌有軸承208的固定板209 ;所述固定板209固定于所述第二和第三底板之間,優(yōu)選地,所述第二、第三底板之間的固定板相互平行且分別位于所述第二和第三底板的邊緣。穿過(guò)所述軸承208且設(shè)有手柄210的手柄軸211 ;即所述固定板用于鑲嵌所述軸承,所述軸承用于穿套所述手柄軸,所述手柄軸在所述軸承中發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng);如圖3所示,所述手柄軸的一端設(shè)有手柄210 ;所述手柄軸211套設(shè)有與所述第一齒輪嚙合的第二齒輪212 ;本實(shí)施例中,所述第二齒輪212位于所述兩個(gè)固定板之間的所述第三底板下方,并且所述第二齒輪與所述第一齒輪彼此嚙合,本實(shí)施例中優(yōu)選地,所述第一齒輪與所述第二齒輪的傳動(dòng)比為3:1,進(jìn)一步優(yōu)選地,所述第一齒輪和所述第二齒輪都為傘型齒輪,并且如圖3所示,所述第一齒輪的傘型平面與所述第三底板所在平面平行,而由于所述第二齒輪穿套在所述手柄軸上,本實(shí)施例中,所述手柄軸平行于所述第三底板放置;所述第二齒輪的傘型平面又與所述第一齒輪彼此嚙合,因此所述第二齒輪的傘型平面與所述第三底板所在的平面垂直。
[0055]圖4為本實(shí)用新型的所述動(dòng)臂結(jié)構(gòu)的爆炸示意圖;如圖4和圖1所示,所述動(dòng)臂結(jié)構(gòu)包括兩根平行的滑軌401和分別沿所述滑軌401滑動(dòng)的動(dòng)臂402 ;本實(shí)施例中,所述滑軌為冷彎方形空心型鋼軌;所述動(dòng)臂由3毫米厚的鐵板經(jīng)機(jī)加工后焊接而成;優(yōu)選地,所述滑軌內(nèi)部設(shè)有使所述動(dòng)臂402沿所述滑軌401滑動(dòng)的若干輥?zhàn)?07。優(yōu)選地,所述動(dòng)臂的側(cè)面開(kāi)有直徑為8毫米用以安裝所述輥?zhàn)拥目住1緦?shí)用新型中,所述動(dòng)臂通過(guò)一連接板403相互固定,所述連接板使得所述兩個(gè)動(dòng)臂彼此平行。所述動(dòng)臂機(jī)構(gòu)還包括固定于所述兩個(gè)滑軌401之間的起重板404,所述起重板404設(shè)有與所述絲桿207匹配的絲杠帽405 ;優(yōu)選地,所述起重板位于所述第三底板的正上方,且由于所述絲杠位于所述第三底板的中心位置,因此所述絲杠帽嵌于所述起重板的中心位置。如圖1所示,所述絲杠207穿套于所述絲杠帽;所述起重板404與所述第三底板205通過(guò)導(dǎo)向軸406彼此固定。如圖1所示,優(yōu)選地,所述導(dǎo)向軸有兩個(gè),該兩個(gè)導(dǎo)向軸位于所述絲杠兩側(cè)并與所述絲杠位于同一直線上。因此,所述第三底板與所述起重板之間通過(guò)所述導(dǎo)向軸的固定彼此不發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)或平動(dòng)。如圖4所示,優(yōu)選地,所述兩個(gè)動(dòng)臂上各自設(shè)有兩個(gè)用于夾持所述加熱盤(pán)30的定位塊408。所述加熱盤(pán)在所述定位塊408的夾持下不會(huì)沿所述動(dòng)臂402發(fā)生滑動(dòng)。
[0056]優(yōu)選地,如圖1所示,所述每個(gè)動(dòng)臂402上各設(shè)有一個(gè)限位導(dǎo)軌409 ;所述限位導(dǎo)軌409位于所述連接板403與所述定位塊408之間。所述限位導(dǎo)軌的作用是用來(lái)抵消所述加熱盤(pán)對(duì)所述動(dòng)臂產(chǎn)生的扭矩。
[0057]本實(shí)施例的所述用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置的工作原理如下:如圖1所示,當(dāng)需要將所述加熱盤(pán)30拆卸下來(lái)時(shí),步驟一:在水平面左右推動(dòng)所述手柄,由于所述手柄通過(guò)所述固定板固定于所述第二底板和第三底板之間,即所述手柄軸不會(huì)在所述第二底板和第三底板之間發(fā)生平動(dòng),因此推動(dòng)所述手柄使得所述手柄軸相對(duì)于所述第二和第三底板在水平面所在的方向產(chǎn)生力矩,該力矩使得所述第一底板和第二底板之間發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng),因此,所述第一底板以上第二底板和第三底板、所述絲杠、通過(guò)導(dǎo)向軸與所述第三底板固定的起重板、與所述起重板固定的滑軌以及動(dòng)臂在水平面方向與所述第二底板發(fā)生同步轉(zhuǎn)動(dòng),因此,推動(dòng)所述手柄的最終效果是使得所述動(dòng)臂發(fā)生水平面內(nèi)的轉(zhuǎn)動(dòng),推動(dòng)所述手柄,將所述動(dòng)臂轉(zhuǎn)至對(duì)準(zhǔn)所述加熱盤(pán)所在的方向?yàn)橹埂?br>
[0058]步驟二:當(dāng)所述動(dòng)臂對(duì)準(zhǔn)至所述加熱盤(pán)所在的方向后,以所述手柄軸為旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)所述手柄210,由于所述手柄和與該手柄連接的手柄軸相互固定連接,因此所述手柄軸211也發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng),由于所述第二齒輪212穿套并固定在所述手柄軸上,同時(shí)所述第二齒輪與所述第一齒輪彼此嚙合,因此所述第二齒輪隨所述手柄軸發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí),與所述第二齒輪嚙合的第一齒輪也會(huì)發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng),本實(shí)施例中,所述第一齒輪與所述第二齒輪的傳動(dòng)比為3:1,因此所述第二齒輪的轉(zhuǎn)速一定的情況下,所述第一齒輪受到比該第二齒輪低的轉(zhuǎn)速和一個(gè)較大的轉(zhuǎn)矩;當(dāng)所述第一齒輪在所述第二齒輪的帶動(dòng)下發(fā)生旋轉(zhuǎn)時(shí),穿過(guò)所述第三底板且與所述第一齒輪彼此固定的絲杠207會(huì)發(fā)生與所述第一齒輪同步的轉(zhuǎn)動(dòng),由于所述絲杠穿套于與其匹配的絲杠帽,所述絲杠帽嵌于所述起重板中,而所述起重板通過(guò)導(dǎo)向軸與所述第三底板固定,因此所述起重板與所述第二和第三底板之間在水平面內(nèi)不能發(fā)生相對(duì)的轉(zhuǎn)動(dòng);因此,所述絲杠帽只能沿所述絲杠實(shí)現(xiàn)上下移動(dòng),同時(shí)使所述起重板實(shí)現(xiàn)上下移動(dòng);而起重板的上下移動(dòng)帶動(dòng)固定于所述起重板上的滑軌實(shí)現(xiàn)上下移動(dòng),所述滑軌的上下移動(dòng)使得所述動(dòng)臂實(shí)現(xiàn)上下移動(dòng),當(dāng)所述動(dòng)臂上下移動(dòng)至比所述加熱盤(pán)所述平面稍低的位置,停止旋轉(zhuǎn)所述手柄。而此時(shí)所述動(dòng)臂處于所述加熱盤(pán)所在平面稍低的位置且距所述加熱盤(pán)有一定的距離。
[0059]步驟三:沿所述滑軌來(lái)回拉動(dòng)所述動(dòng)臂,所述動(dòng)臂就會(huì)沿所述滑軌滑動(dòng),使得所述動(dòng)臂接近所述加熱盤(pán),直至所述加熱盤(pán)投影于所述四個(gè)定位塊所包圍的區(qū)域?yàn)橹梗词沟盟鰟?dòng)臂上的四個(gè)定位塊所包圍的區(qū)域位于所述加熱盤(pán)的正下方。
[0060]步驟四:旋轉(zhuǎn)所述手柄,使得所述動(dòng)臂上升至可以托起所述加熱盤(pán)為止,而此時(shí)所述加熱盤(pán)被承載在所述動(dòng)臂上四個(gè)定位塊所包圍的區(qū)域。
[0061]步驟五:將所述加熱盤(pán)拆卸于一個(gè)固定的維修平臺(tái)上,根據(jù)實(shí)際情況中維修平臺(tái)所在的位置,適當(dāng)旋轉(zhuǎn)所述手柄和來(lái)回拉動(dòng)所述動(dòng)臂,并推動(dòng)所述手柄使得所述加熱盤(pán)在同一水平面發(fā)生位移,該幾個(gè)步驟可以靈活操作,直至將所述加熱盤(pán)置于所述維修平臺(tái)為止。
[0062]同樣,安裝所述加熱盤(pán)的步驟與拆卸所述加熱盤(pán)的步驟相反??傊趯?shí)際應(yīng)用中,不論安裝還是拆卸所述加熱盤(pán),推動(dòng)所述手柄的作用是使得所述動(dòng)臂對(duì)準(zhǔn)所述加熱盤(pán)所在的方向;轉(zhuǎn)動(dòng)所述手柄的作用是使得所述動(dòng)臂上升或下降,用于托起或安裝所述加熱盤(pán);而來(lái)回拉動(dòng)所述動(dòng)臂的作用是使得所述動(dòng)臂更接近所述加熱盤(pán)。因此在具體應(yīng)用中該三個(gè)操作的先后順序可顛倒,最終以實(shí)現(xiàn)承載或安裝所述加熱盤(pán)為目的。
[0063]綜上所述,使用本實(shí)用新型的所述加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置可以大大提高作業(yè)的安全性和勞動(dòng)效率,同時(shí)降低因人工搬運(yùn)導(dǎo)致加熱盤(pán)損壞的風(fēng)險(xiǎn),達(dá)到省時(shí)省力的效果。所以,本實(shí)用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。
[0064]上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本實(shí)用新型的原理及其功效,而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下,對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此,舉凡所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變,仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【權(quán)利要求】
1.一種用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置,其特征在于,所述裝置至少包括: 主支架體、位于所述主支架體上的起重裝置以及設(shè)置于所述起重裝置上用于承載加熱盤(pán)的動(dòng)臂機(jī)構(gòu); 所述起重裝置包括第一底板和通過(guò)一旋轉(zhuǎn)軸連接并相對(duì)所述第一底板上表面轉(zhuǎn)動(dòng)的第二底板;通過(guò)支柱支撐并固定于所述第二底板上方的第三底板;位于所述第三底板下表面的第一齒輪;所述第一齒輪通過(guò)貫穿所述第三底板上的絲杠固定;連接于所述第二、第三底板之間且嵌有軸承的固定板;穿過(guò)所述軸承且設(shè)有手柄的手柄軸;所述手柄軸套設(shè)有與所述第一齒輪嚙合的第二齒輪; 所述動(dòng)臂機(jī)構(gòu)包括兩根平行的滑軌和分別沿所述滑軌滑動(dòng)的動(dòng)臂;所述動(dòng)臂通過(guò)一連接板相互固定; 固定于所述兩個(gè)滑軌之間的起重板;所述起重板設(shè)有與所述絲杠匹配的絲杠帽;所述絲杠穿套于所述絲杠帽;所述起重板與所述第三底板通過(guò)導(dǎo)向軸固定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置,其特征在于:所述主體支架包括由鋼管焊接而成的長(zhǎng)方體支架以及位于所述長(zhǎng)方體支架的四腳之間的鐵板;并且該四腳底部分別設(shè)有腳輪;該長(zhǎng)方體支架的表面設(shè)有若干平行鋼管。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置,其特征在于:所述第一至第三底板分別為正方形板,且所述第二和第三底板的水平面投影完全置于所述第一底板;位于所述第二和第三底板之間的支柱有四個(gè),該四個(gè)支柱分別位于所述第二和第三底板的四個(gè)角。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置,其特征在于:所述第一齒輪位于所述第三底板下表面的中心位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置,其特征在于:所述導(dǎo)向軸有兩個(gè),該兩個(gè)導(dǎo)向軸位于所述絲杠兩側(cè)并與所述絲杠位于同一直線上。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置,其特征在于:所述第二、第三底板之間的固定板相互平行且分別位于所述第二和第三底板的邊緣。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置,其特征在于:所述第一齒輪與所述第二齒輪為傳動(dòng)比為3:1的傘型齒輪。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置,其特征在于:所述滑軌內(nèi)部設(shè)有使所述動(dòng)臂沿所述滑軌滑動(dòng)的若干輥?zhàn)印?br>
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置,其特征在于:所述動(dòng)臂上各自設(shè)有兩個(gè)用于夾持所述加熱盤(pán)的定位塊。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于晶圓加熱盤(pán)的安裝和拆卸裝置,其特征在于:所述每個(gè)動(dòng)臂上各設(shè)有一個(gè)限位導(dǎo)軌;所述限位導(dǎo)軌位于所述連接板與所述定位塊之間。
【文檔編號(hào)】B25B27/00GK203967048SQ201420403131
【公開(kāi)日】2014年11月26日 申請(qǐng)日期:2014年7月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月21日
【發(fā)明者】王曉晨 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司