本發(fā)明創(chuàng)造屬于涂層結合力檢測設備技術領域，尤其涉及一種PVD(物理氣相沉積)和CVD(化學氣相沉積)的薄涂層固化工裝。

背景技術：
PVD(物理氣相沉積)和CVD(化學氣相沉積)的涂層制備的涂層具有結合強度高，韌性好、耐磨性好，化學穩(wěn)定性高以及良好的熱穩(wěn)定性好等特點，是高端機械零部件表面防護涂層材料中最具應用前途的涂層。如CrN、TiN、TiCN、WCN等涂層廣泛應用于刀具、工量具、模具等高端機械零部件領域。但PVD(物理氣相沉積)和CVD(化學氣相沉積)制備的涂層很薄，多數為2～20μm，給涂層的結合力檢測時的裝夾帶來了很大的難度?，F有的涂層試驗的制備難以獲得可靠的裝夾預緊力。

技術實現要素：
本發(fā)明創(chuàng)造為解決現有技術中的問題，提供了一種氣相沉積薄涂層固化工裝，可以對軸向預緊力進行可靠控制，具有簡便易操作、通用性強、定位準確、效率高及安全性好等特點。本發(fā)明創(chuàng)造提供的一種氣相沉積薄涂層固化工裝，包括座板、側板和加載塊；所述側板固定于所述座板的兩側；所述座板中央設置有與側板平行的支撐肋，所述支撐肋上均布有若干凹槽；所述加載塊呈階梯軸狀，相對所述支撐肋成對對稱并沿所述支撐肋的延伸方向均布；所述加載塊的小端位于所述支撐肋的凹槽內并由該所述凹槽限位，所述加載塊的大端位于支撐肋兩側的座板的任一上表面上并由該上表面接觸定位；所述側板上還均布有若干與緊固螺釘匹配的螺釘孔，所述緊固螺釘的端部自所述螺釘孔穿入側板之間并與所述加載塊的大端外表面中心孔接觸，所述緊固螺釘能夠通過該中心孔向加載塊施加軸向載荷。其中，所述側板外表面呈交替的凹凸結構，所述側板的內凹部分均布有能夠與固定螺釘匹配的固定孔，所述座板底部的對應位置也設有能夠與固定螺釘匹配的座板孔，所述側板由均布于內凹部分的固定螺釘與所述座板的底部固定連接。優(yōu)選的，所述固定螺釘選用內六角圓柱頭螺釘。其中，所述緊固螺釘均布于側板的外凸部分。其中，所述緊固螺釘依次設有頭部、螺紋部、導桿部以及端部；頭部優(yōu)選為六角頭部；端部呈角狀，優(yōu)選為60°的角。其中，所述座板的支撐肋的凹槽優(yōu)選地呈倒梯形槽。其中，所述側板上還相對于座板斜角對稱設置有至少一對限位孔，所述限位孔供限位銷通過并深入座板內部實現座板與側板之間進一步的穩(wěn)固限位。所述限位孔優(yōu)選地位于所述側板的內凹部分，更優(yōu)選地可直接替換側板上所需的固定螺釘相應位置而設置。其中，所述座板內還設有與凹槽相通并能夠容納限位螺釘的限位通道，所述限位通道與所述限位螺釘螺紋配合。進一步，所述限位螺釘依次設有限位頭部、螺紋段、以及限位端部；所述螺紋段優(yōu)選地采用細牙螺紋；所述限位端部的端面為平面。其中，所述加載塊的中心孔優(yōu)選為按照GB/T4459.5-B2/5制作的孔。進一步，所述加載塊的小端的端部應清角處理。本發(fā)明創(chuàng)造結構簡單、操作簡便、通用性好，夾持定位穩(wěn)定且位置精準，并能夠通過微調消除工件加工誤差，減小位移偏差，能夠適用于2～20μm薄涂層的加持固定。附圖說明圖1是本發(fā)明創(chuàng)造一種實施方式的整體結構示意圖；圖2是圖1在俯視方向的結構示意圖；圖3是圖2中A-A方向的剖視圖；圖4是圖1中側板的結構示意圖；圖5是圖4中B-B方向的剖視圖；圖6是圖1中座板的結構示意圖；圖7是圖6在左視方向的結構示意圖；圖8是圖6在俯視方向的結構示意圖；圖9是圖1中緊固螺釘的結構示意圖；圖10是圖9在左視方向的結構示意圖；圖11是圖1中加載塊的結構示意圖；圖12是圖11在俯視方向的結構示意圖；圖13是圖1中限位螺釘的結構示意圖；圖14是圖13在左視方向的結構示意圖。其中，1-座板；11-支撐肋；111-凹槽；12-座板孔；13-限位通道；2-側板；21-螺釘孔；22-固定孔；3-加載塊；4-緊固...