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用于集成電路生產(chǎn)的操作臺的制作方法

文檔序號:11119746閱讀:653來源:國知局
用于集成電路生產(chǎn)的操作臺的制造方法與工藝

本發(fā)明涉及集成電路的生產(chǎn)車間,特別涉及生產(chǎn)車間中的操作臺。



背景技術(shù):

目前,用于集成電路生產(chǎn)車間中,為保證車間的無塵環(huán)境,通常在車間的頂部、側(cè)面設(shè)置多個除塵器,由于集成電路主要在操作臺上操作,而除塵器的除塵管離操作臺較遠,導(dǎo)致除塵效果不佳,除塵時間較長,能耗較高。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本申請人針對現(xiàn)有用于集成電路生產(chǎn)車間存在的上述缺點,提供一種用于集成電路生產(chǎn)的操作臺,其配置有除塵管,采用地埋式布置,簡化除塵結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明所采用的技術(shù)方案如下:

一種用于集成電路生產(chǎn)的操作臺,包括臺面及支撐腳,所述操作臺的下方的車間地面埋設(shè)有通風道,所述通風道與吸塵器連接,所述支撐腳為空心管結(jié)構(gòu),支撐腳的下端借助導(dǎo)塵管與所述通風道連通,支撐腳的管壁上設(shè)有吸塵孔。

作為上述技術(shù)方案的進一步改進:

所述臺面的下表面安裝有一圈吸塵管,所述吸塵管與支撐腳的上端連通。

本發(fā)明的有益效果如下:

本發(fā)明中,將吸塵器的吸塵管集中設(shè)置在操作臺上的臺面下方及支撐腳上,其結(jié)構(gòu)緊湊、吸塵效果好,不額外占用空間,保證車間布置整潔、美觀。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中:1、臺面;2、支撐腳;3、通風道;4、導(dǎo)塵管;5、吸塵孔;6、吸塵管。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖,說明本發(fā)明的具體實施方式。

如圖1所示,本實施例的用于集成電路生產(chǎn)的操作臺,包括臺面1及支撐腳2,操作臺的下方的車間地面埋設(shè)有通風道3,通風道3與吸塵器連接,支撐腳2為空心管結(jié)構(gòu),支撐腳2的下端借助導(dǎo)塵管4與通風道3連通,支撐腳2的管壁上設(shè)有吸塵孔5。

為進一步提高操作臺的吸塵效果,臺面1的下表面安裝有一圈吸塵管6,吸塵管6與支撐腳2的上端連通。吸塵管6隱藏于臺面1的下方,不額外占用空間。吸塵管6的管壁具有吸附孔,該吸附孔布置于管壁外側(cè)。

吸塵器工作時,通過通風道3對支撐腳2及吸塵管6進行抽吸,由于支撐腳2及吸塵管6接近于操作臺,故其對操作臺周圍及臺面1上的灰塵的吸除效果好。

以上描述是對本發(fā)明的解釋,不是對發(fā)明的限定,本發(fā)明所限定的范圍參見權(quán)利要求,在不違背本發(fā)明的精神的情況下,本發(fā)明可以作任何形式的修改。

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