本實用新型涉及ALD源的生產(chǎn)領(lǐng)域，特別涉及一種ALD源專用惰性氣氛循環(huán)手套箱循環(huán)系統(tǒng)裝置。

背景技術(shù)：

目前無氧無水循環(huán)手套箱一般都未對水、氧分析造成腐蝕的ALD源蒸汽進(jìn)行吸附，同時在更換活性炭柱及水、氧柱后，是通過箱體氣氛對柱內(nèi)空氣份的吹掃，不能徹底除盡空氣，影響水、氧凈化柱的效能。對手套箱的連續(xù)工作造成影響，勢必影響產(chǎn)品生產(chǎn)的連續(xù)性，增加了生產(chǎn)成本，更減低了產(chǎn)品品質(zhì)。

又如CN103507086A公開了一種手套箱高凈化吸附裝置，包括手套箱本體及與所述手套箱本體連接的至少兩根不銹鋼柱，所述不銹鋼柱與所述手套箱本體通過管路連接，所述至少兩根不銹鋼柱之間通過管路連接，所述不銹鋼柱與所述手套箱本體連接處設(shè)置有吸附層。超高純手套箱打破了傳統(tǒng)的雙柱觀念，使得凈化材料可以成本增加，極大提高了凈化系統(tǒng)的吸附能力，可以使用戶得到高純度的惰性氣體。

又如CN104260115A公開了一種除氮氣的手套箱系統(tǒng)。它包括手套箱體、連接在手套箱體上的循環(huán)管路和設(shè)置在循環(huán)管路上的循環(huán)風(fēng)機(jī)和凈化系統(tǒng)；其特征在于：該循環(huán)管路上還設(shè)置有吸氮裝置，該吸氮裝置內(nèi)裝有海綿鈦并帶有加熱裝置。它特別適用于鋰電池生產(chǎn)領(lǐng)域，可以有效去除遺留在手套箱體內(nèi)的氮氣及大小倉開啟時殘余的氮氣，避免這些氮氣能與金屬鋰發(fā)生反應(yīng)，生成氮化鋰，嚴(yán)重影響電池的質(zhì)量。

又如CN104097216A公開了一種除氟化氫的手套箱系統(tǒng)。它包括手套箱體、連接在手套箱體上的循環(huán)管路和設(shè)置在循環(huán)管路上的循環(huán)風(fēng)機(jī)和凈化系統(tǒng)；其特征在于：該循環(huán)管路上還設(shè)置有氟化氫吸附器，該氟化氫吸附器設(shè)置在凈化系統(tǒng)之前。它特別適用于鋰電池、電解液生產(chǎn)領(lǐng)域，可以有效去除手套箱體內(nèi)的氟化氫，并對手套箱系統(tǒng)的玻璃、管道、閥門起到防腐保護(hù)作用。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供一種ALD源專用惰性氣氛循環(huán)手套箱循環(huán)系統(tǒng)裝置，包括箱體，所述箱體一側(cè)通過管道一和管道二連接活性炭柱箱一；所述活性炭柱箱一另一側(cè)通過管道三、管道四、管道五、管道六連接活性炭柱箱二，所述活性炭柱箱二另一側(cè)通過管道七、管道八與水、氧凈化柱箱相連，所述水、氧凈化柱箱另一側(cè)通過管道九、管道十與所述箱體另一側(cè)相連；

所述管道一與所述管道二之間設(shè)有球閥三，所述管道二通過卡套接口一連接所述活性炭柱 箱一；所述活性炭柱箱一與所述管道三之間設(shè)有卡套接口二，所述管道三與所述管道四之間設(shè)有球閥四，所述管道四與所述管道五之間設(shè)有水分儀和氧分儀，所述管道五與所述管道六設(shè)有球閥七，所述管道六通過卡套接口三連接所述活性炭柱箱二；所述活性炭柱箱二與所述管道七之間設(shè)有卡套接口四，所述管道七與所述管道八之間設(shè)有球閥九，所述管道八通過卡套接口五與所述水、氧凈化柱箱連接；所述水、氧凈化柱箱與所述管道九之間設(shè)有卡套接口六，所述管道九與所述管道十之間設(shè)有球閥十三。

優(yōu)選地，所述管道一與所述管道四設(shè)有分支管道一，所述分支管道一與所述管道一、所述管道四之間分別設(shè)有球閥一和球閥二。

優(yōu)選地，所述管道三與所述管道九之間設(shè)有分支管道二，所述分支管道二與所述管道三(29)、所述管道九之間分別設(shè)有球閥五和球閥十四，所述分支管道二與所述管道七之間設(shè)有球閥十，所述分支管道二上設(shè)有用于連接真空泵的球閥十一。

優(yōu)選地，所述管道五與所述管道十之間設(shè)有分支管道三，所述分支管道三與所述管道五(31)、所述管道十之間分別設(shè)有球閥六和球閥十二，所述分支管道三與所述管道八之間設(shè)有球閥八。

本實用新型提供了一種ALD源專用惰性氣氛循環(huán)手套箱循環(huán)系統(tǒng)裝置，不僅保護(hù)了水、氧分析儀，準(zhǔn)確檢測箱體氣氛；實現(xiàn)對有機(jī)溶劑的吸附，保證了水、氧凈化柱的凈化效能；同時保證了生產(chǎn)連續(xù)性及品質(zhì)的保證。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：通過本技術(shù)方案，其一是，能夠及時、準(zhǔn)確檢測箱體氣氛；其二是，能保證ALD源品質(zhì)的穩(wěn)定性；其三是，保證生產(chǎn)連續(xù)性，減低成本。

附圖說明

圖1為一種ALD源專用惰性氣氛循環(huán)手套箱循環(huán)系統(tǒng)裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

具體實施方式

下面結(jié)合具體實施方式，進(jìn)一步闡明本實用新型，應(yīng)理解下述具體實施方式僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍。

實施例1

如圖所示，一種ALD源專用惰性氣氛循環(huán)手套箱循環(huán)系統(tǒng)裝置，包括箱體21，所述箱體21一側(cè)通過管道一27和管道二28連接活性炭柱箱一22；所述活性炭柱箱一22另一側(cè)通過管道三29、管道四30、管道五31、管道六32連接活性炭柱箱二23；所述管道一27與所述管道四30設(shè)有分支管道一38，所述分支管道一38與所述管道一27、所述管道四30之間分別設(shè)有球閥一1和球閥二2；所述活性炭柱箱二23另一側(cè)通過管道七33、管道八34與水、氧凈化柱箱24相連，所述水、氧凈化柱箱24另一側(cè)通過管道九35、管道 十36與所述箱體21另一側(cè)相連；所述管道三29與所述管道九35之間設(shè)有分支管道二39，所述分支管道二39與所述管道三29、所述管道九35之間分別設(shè)有球閥五7和球閥十四20，所述分支管道二39與所述管道七33之間設(shè)有球閥十14，所述分支管道二39上設(shè)有用于連接真空泵的球閥十一15；所述管道五31與所述管道十36之間設(shè)有分支管道三40，所述分支管道三40與所述管道五31、所述管道十36之間分別設(shè)有球閥六8和球閥十二18，所述分支管道三40與所述管道八34之間設(shè)有球閥八12；

所述管道一27與所述管道二28之間設(shè)有球閥三3，所述管道二28通過卡套接口一4連接所述活性炭柱箱一22；所述活性炭柱箱一22與所述管道三29之間設(shè)有卡套接口二5，所述管道三29與所述管道四30之間設(shè)有球閥四6，所述管道四30與所述管道五31之間設(shè)有水分儀25和氧分儀26，所述管道五31與所述管道六32設(shè)有球閥七9，所述管道六32通過卡套接口三10連接所述活性炭柱箱二23；所述活性炭柱箱二23與所述管道七33之間設(shè)有卡套接口四11，所述管道七33與所述管道八34之間設(shè)有球閥九13，所述管道八34通過卡套接口五16與所述水、氧凈化柱箱24連接；所述水、氧凈化柱箱24與所述管道九35之間設(shè)有卡套接口六17，所述管道九35與所述管道十36之間設(shè)有球閥十三19。

ALD源在箱體21進(jìn)行純化、灌裝，循環(huán)氣體由管道一27及管道二28進(jìn)入活性炭柱箱一22，經(jīng)管道三29、管道四30，并通過水分儀25、氧分析26、管道五31、管道六32進(jìn)入活性炭柱箱二23，繼續(xù)經(jīng)過管道七33、管道八34進(jìn)入水、氧凈化柱箱(24)，最后經(jīng)管道九35和管道十36回到箱體21；活性炭柱箱一22用于對微量操作過程中揮發(fā)的ALD源的吸附，保護(hù)水分儀25和氧分儀26；活性炭柱箱二23用于對大量有機(jī)溶劑吸附，保護(hù)水、氧凈化柱；更換活性炭柱箱一22內(nèi)的活性炭柱時，氣體改由分支管道一38通過水分儀25、氧分析26進(jìn)行循環(huán)。更換活性炭柱箱二23內(nèi)的活性炭柱時，氣體改由經(jīng)分支管道三40、管道八34進(jìn)入水、氧凈化柱箱24。更換水、氧凈化柱箱24內(nèi)的水、氧凈化柱，氣體改由分支管道三40、管道十36進(jìn)入箱體(21)。更換所有活性炭柱及水、氧凈化柱后，柱內(nèi)空氣氛通過分支管道二39和球閥十一(15)連接到真空泵，抽掉空氣，并用箱體氣氛解除真空。

除上述實施例外，本實用新型還可以有其他實施方式。凡采用等同替換或等效變換形成的技術(shù)方案，均落在本實用新型要求的保護(hù)范圍。