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快速裝拆的吸附承載機構的制作方法

文檔序號:12695818閱讀:來源:國知局
技術總結
一種快速裝拆的吸附承載機構,包括內設有氣體通道的吸嘴本體和用于承載被檢測元件的吸嘴托板,所述吸嘴本體和吸嘴托板之間是通過插拔的方式連接或者拆卸的。因此,本實用新型具有方便拆裝的、更加有利于清潔的、省時省力的、有利于提高工作效率的優(yōu)點。

技術研發(fā)人員:何選民;段雄斌;李清
受保護的技術使用者:深圳市標譜半導體科技有限公司
文檔號碼:201621308685
技術研發(fā)日:2016.12.01
技術公布日:2017.06.27

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