本公開涉及機器人。

背景技術：

1、在日本特開2005-039047號公報中公開了一種基板輸送機器人，其具備基座、第一臂、第二臂以及第三臂。第一臂由從設置于基座的第一伺服馬達通過第一動力傳遞單元傳遞的動力驅(qū)動。第二臂由從設置于基座的第二伺服馬達通過第二動力傳遞單元傳遞的動力驅(qū)動。第三臂借助由聯(lián)動單元傳遞的動力而與第二臂聯(lián)動。

技術實現(xiàn)思路

1、本公開提供一種對提高基板的定位精度有效的機器人。

2、本公開的一個方面所涉及的機器人具備：多關節(jié)臂，其具有支承基板的手部、基部、將手部與基部連結(jié)的臂、以及沿著臂排列且分別繞鉛垂的軸線動作來變更手部相對于基部的位置、姿勢的多個關節(jié)；以及多個馬達，它們分別驅(qū)動多個關節(jié)，多個馬達分別是直接驅(qū)動式馬達，并配置于所要驅(qū)動的關節(jié)。

3、根據(jù)本公開，能夠提供對提高基板的定位精度有效的機器人。

技術特征：

1.一種機器人，其輸送基板，其中，

2.根據(jù)權利要求1所述的機器人，其中，

3.根據(jù)權利要求2所述的機器人，其中，

4.根據(jù)權利要求2所述的機器人，其中，

5.根據(jù)權利要求4所述的機器人，其中，

6.根據(jù)權利要求5所述的機器人，其中，

7.根據(jù)權利要求6所述的機器人，其中，

8.根據(jù)權利要求7所述的機器人，其中，

9.根據(jù)權利要求4～8中的任一項所述的機器人，其中，

10.根據(jù)權利要求4～8中的任一項所述的機器人，其中，

11.根據(jù)權利要求10所述的機器人，其中，

12.根據(jù)權利要求11所述的機器人，其中，

13.根據(jù)權利要求12所述的機器人，其中，

14.根據(jù)權利要求4～6中的任一項所述的機器人，其中，

15.根據(jù)權利要求2～8中的任一項所述的機器人，其中，

16.根據(jù)權利要求2～8中的任一項所述的機器人，其中，

技術總結(jié)
一種機器人(2)，具備：多關節(jié)臂(3)，其具有支承基板(W)的手部(20)、基部(10)、將手部(20)與基部(10)連結(jié)的臂(4)、以及沿著臂(4)排列且分別繞鉛垂的軸線動作來變更手部(20)相對于基部(10)的位置、姿勢的多個關節(jié)(J10)；以及多個馬達，它們分別驅(qū)動多個關節(jié)(J10)，多個馬達分別是直接驅(qū)動式馬達，配置于所要驅(qū)動的關節(jié)(J10)。

技術研發(fā)人員：實政泰樹,渡邊亮介,巖﨑則久,山口剛
受保護的技術使用者：株式會社安川電機
技術研發(fā)日：
技術公布日：2025/1/9