本發(fā)明涉及硅晶加工設(shè)備，具體為一種基于激光定位的硅晶棒對中調(diào)節(jié)裝置。

背景技術(shù)：

1、硅晶棒是由高純度硅單質(zhì)經(jīng)過特殊工藝制備而成的棒狀晶體材料。它具有高度有序的晶體結(jié)構(gòu)，使得其在電學、光學和熱學等方面具有優(yōu)異的性能，硅晶棒在半導體產(chǎn)業(yè)、光電子應(yīng)用以及光纖通信等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用，在硅晶棒的存儲過程中，為了避免硅晶棒因相互擠壓而造成損傷，需要設(shè)計專門的調(diào)整裝置，該裝置通過設(shè)置緩沖件和調(diào)節(jié)組件等結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)對硅晶棒的有效支撐和調(diào)節(jié)，確保硅晶棒在存儲過程中的穩(wěn)定性和安全性。

2、現(xiàn)有技術(shù)在使用的過程中還存在以下缺陷：

3、現(xiàn)有技術(shù)中的用來固定硅晶棒的平臺，目前較多的硅晶棒的定位固定僅僅通過肉眼去進行定位分析，準確度較低，并且通常通過人工手動來進行調(diào)整，容易對硅晶棒造成污染，在硅晶棒調(diào)整不便的情況，就會導致工作無法順利的進行，目前的硅晶棒對中調(diào)節(jié)裝置，通常對準精度較差，無法很好的確保硅晶棒處于一個較為準確且穩(wěn)定的位置，無法保障硅晶棒可以順利的進行后續(xù)的工作使用，可能會造成工作上的誤差。

4、鑒于此我們提出一種基于激光定位的硅晶棒對中調(diào)節(jié)裝置來解決現(xiàn)有的問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種基于激光定位的硅晶棒對中調(diào)節(jié)裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種基于激光定位的硅晶棒對中調(diào)節(jié)裝置，包括設(shè)備臺，所述設(shè)備臺下端設(shè)置有底板，所述底板的下端兩側(cè)設(shè)置有底部支架，所述設(shè)備臺的兩側(cè)設(shè)置有安裝軌道，所述安裝軌道之間設(shè)置有開槽，所述開槽上安裝有移動組件，所述移動組件的兩側(cè)安裝有控制電機，所述控制電機貫穿移動組件的兩側(cè)并且向內(nèi)連接有連接件，所述連接件中設(shè)置有第一螺旋桿，所述第一螺旋桿一端連接有控制電機，且第一螺旋桿的另一端連接有夾持板，所述夾持板的表面均勻的設(shè)置有多組接觸頭，所述底板的兩側(cè)設(shè)置有導軌，所述導軌的上端處設(shè)置有激光定位器，所述激光定位器的上端設(shè)置有多組激光發(fā)射孔，所述激光定位器的下端一側(cè)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)控制件，所述旋轉(zhuǎn)控制件向內(nèi)連接有第三螺旋桿，所述第三螺旋桿上安裝有移動件，所述移動件下端安裝有移動模塊，多組所述移動塊向內(nèi)設(shè)置有夾持塊。

3、優(yōu)選的，所述導軌的兩側(cè)設(shè)置有向內(nèi)的凹槽，所述夾持塊和凹槽契合安裝，并且激光定位器和導軌通過夾持塊和移動模塊進行連接安裝。

4、優(yōu)選的，所述底板的下端設(shè)置有多組安裝塊，一側(cè)所述的安裝塊上安裝有移動電機，所述移動電機貫穿安裝塊向內(nèi)設(shè)置有第二螺旋桿，所述第二螺旋桿上安裝有移動塊，所述移動塊上端設(shè)置有連接塊。

5、優(yōu)選的，所述移動組件的下方設(shè)置有連接塊，所述連接塊設(shè)置在開槽內(nèi)部，所述移動塊和移動組件通過連接塊進行連接，所述移動組件通過連接塊在開槽內(nèi)滑動連接。

6、優(yōu)選的，所述設(shè)備臺上設(shè)置有工作臺面，所述設(shè)備臺居中設(shè)置在底板的上端，所示工作臺面居中設(shè)置在設(shè)備臺的上方。

7、優(yōu)選的，所述激光定位器的上端設(shè)置有可拆卸的蓋板，所述激光定位器的后端處設(shè)置有凹槽，且凹槽中設(shè)置有激光調(diào)節(jié)開關(guān)。

8、優(yōu)選的，所述底板在靠近導軌的一側(cè)設(shè)置有刻度線條，所述刻度線條均勻設(shè)置在導軌和底板的邊緣之間。

9、優(yōu)選的，所述移動組件、安裝軌道、導軌和激光定位器均基于底板對稱安裝。

10、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

11、1、本發(fā)明通過在工作臺的兩側(cè)設(shè)置有可移動的凹槽，并且通過移動電機來控制移動塊的移動，進而帶動移動塊和連接塊進行移動，從而調(diào)整整個移動組件進行較大的移動，并且通過控制電機來控制夾持板的移動，從而來控制夾持板來對硅晶棒的位置進行細微距離上的調(diào)整，使得整體的調(diào)整更加精準。

12、2、本發(fā)明通過在移動組件的兩側(cè)設(shè)置有激光定位器，通過激光定位器上的多組激光發(fā)射孔，通過激光發(fā)射孔來進行定位對準，并且激光定位器整體可以進行一定的調(diào)整，通過刻度可以對激光定位器的位置進行定位確定，并且通過激光定位器下端的旋轉(zhuǎn)控制件，可以很好的控制住旋轉(zhuǎn)控制件的穩(wěn)定，從而保障定位的精確度。

技術(shù)特征：

1.一種基于激光定位的硅晶棒對中調(diào)節(jié)裝置，包括設(shè)備臺(1)，其特征在于：所述設(shè)備臺(1)下端設(shè)置有底板(2)，所述底板(2)的下端兩側(cè)設(shè)置有底部支架(8)，所述設(shè)備臺(1)的兩側(cè)設(shè)置有安裝軌道(18)，所述安裝軌道(18)之間設(shè)置有開槽(17)，所述開槽(17)上安裝有移動組件(16)，所述移動組件(16)的兩側(cè)安裝有控制電機(10)，所述控制電機(10)貫穿移動組件(16)的兩側(cè)并且向內(nèi)連接有連接件(15)，所述連接件(15)中設(shè)置有第一螺旋桿(14)，所述第一螺旋桿(14)一端連接有控制電機(10)，且第一螺旋桿(14)的另一端連接有夾持板(13)，所述夾持板(13)的表面均勻的設(shè)置有多組接觸頭(12)，所述底板(2)的兩側(cè)設(shè)置有導軌(7)，所述導軌(7)的上端處設(shè)置有激光定位器(6)，所述激光定位器(6)的上端設(shè)置有多組激光發(fā)射孔(11)，所述激光定位器(6)的下端一側(cè)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)控制件(24)，所述旋轉(zhuǎn)控制件(24)向內(nèi)連接有第三螺旋桿(28)，所述第三螺旋桿(28)上安裝有移動件(27)，所述移動件(27)下端安裝有移動模塊(25)，多組所述移動塊(23)向內(nèi)設(shè)置有夾持塊(26)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于激光定位的硅晶棒對中調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述導軌(7)的兩側(cè)設(shè)置有向內(nèi)的凹槽，所述夾持塊(26)和凹槽契合安裝，并且激光定位器(6)和導軌(7)通過夾持塊(26)和移動模塊(25)進行連接安裝。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于激光定位的硅晶棒對中調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述底板(2)的下端設(shè)置有多組安裝塊(21)，一側(cè)所述的安裝塊(21)上安裝有移動電機(20)，所述移動電機(20)貫穿安裝塊(21)向內(nèi)設(shè)置有第二螺旋桿(22)，所述第二螺旋桿(22)上安裝有移動塊(23)，所述移動塊(23)上端設(shè)置有連接塊(19)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種基于激光定位的硅晶棒對中調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述移動組件(16)的下方設(shè)置有連接塊(19)，所述連接塊(19)設(shè)置在開槽(17)內(nèi)部，所述移動塊(23)和移動組件(16)通過連接塊(19)進行連接，所述移動組件(16)通過連接塊(19)在開槽(17)內(nèi)滑動連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于激光定位的硅晶棒對中調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述設(shè)備臺(1)上設(shè)置有工作臺面(3)，所述設(shè)備臺(1)居中設(shè)置在底板(2)的上端，所示工作臺面(3)居中設(shè)置在設(shè)備臺(1)的上方。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于激光定位的硅晶棒對中調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述激光定位器(6)的上端設(shè)置有可拆卸的蓋板(4)，所述激光定位器(6)的后端處設(shè)置有凹槽，且凹槽中設(shè)置有激光調(diào)節(jié)開關(guān)(5)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于激光定位的硅晶棒對中調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述底板(2)在靠近導軌(7)的一側(cè)設(shè)置有刻度線條(9)，所述刻度線條(9)均勻設(shè)置在導軌(7)和底板(2)的邊緣之間。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于激光定位的硅晶棒對中調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述移動組件(16)、安裝軌道(18)、導軌(7)和激光定位器(6)均基于底板(2)對稱安裝。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及硅晶加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基于激光定位的硅晶棒對中調(diào)節(jié)裝置，其技術(shù)方案包括設(shè)備臺，所述設(shè)備臺下端設(shè)置有底板，所述底板的下端兩側(cè)設(shè)置有底部支架，所述設(shè)備臺的兩側(cè)設(shè)置有安裝軌道，所述安裝軌道之間設(shè)置有開槽，所述開槽上安裝有移動組件，所述移動組件的兩側(cè)安裝有控制電機。本發(fā)明通過在工作臺的兩側(cè)設(shè)置有可移動的凹槽，并且通過移動電機來控制移動塊的移動，進而帶動移動塊和連接塊進行移動，從而調(diào)整整個移動組件進行較大的移動，并且通過控制電機來控制夾持板的移動，從而來控制夾持板來對硅晶棒進行細微距離上的調(diào)整，使得整體的調(diào)整更加細節(jié)。

技術(shù)研發(fā)人員：陸濤,王磊,陸宇飛
受保護的技術(shù)使用者：張家港華泰超聲科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9