本發(fā)明涉及行走軸，具體涉及一種高精度高潔凈度的半導(dǎo)體stocker設(shè)備行走軸和操作方法。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體晶圓、晶棒stocker設(shè)備中，堆垛機(jī)的行走軸多采用一體成型的方式，靈活度較低，當(dāng)適應(yīng)不同的堆垛機(jī)時(shí)，一體成型的制造方式局限性較大，為此只能根據(jù)不同的要求，制造不同行程長(zhǎng)度的行走軸，增加了制造成本；

2、目前市場(chǎng)上也存在模塊化行走軸，即將體積、長(zhǎng)度較大的行走軸進(jìn)行分段處理，并將分段的行走軸拼接在一起，但是由于行走軸相對(duì)窄小，在拼接過程中無法保證行走軸的平行度和平面度，操作較為困難，在實(shí)際生產(chǎn)使用中，會(huì)影響堆垛機(jī)的行走順暢度，行走軸與堆垛機(jī)的輪子易產(chǎn)生摩擦，容易產(chǎn)生金屬灰塵顆粒，無法達(dá)成潔凈室較高的等級(jí)要求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的主要目的在于提供了一種高精度高潔凈度的半導(dǎo)stocker設(shè)備行走軸和操作方法，解決了現(xiàn)有技術(shù)半導(dǎo)體stocker行走軸模塊化低、安裝困難、平行度、平面度、潔凈度低的問題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種高精度高潔凈度的半導(dǎo)體stocker設(shè)備行走軸，包括導(dǎo)軌和滑臺(tái)機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括底板機(jī)構(gòu)，所述導(dǎo)軌固定設(shè)置于底板機(jī)構(gòu)上表面，所述底板機(jī)構(gòu)包括第一底板和第二底板，該底板機(jī)構(gòu)通過將若干個(gè)第一底板和第二底板進(jìn)行拼接形成。

3、進(jìn)一步的，所述第一底板安裝于底板機(jī)構(gòu)的兩側(cè)，第二底板安裝于底板機(jī)構(gòu)的內(nèi)側(cè)，該第一底板的一側(cè)以及第二底板的兩側(cè)均設(shè)置有開口的凹槽，該第一底板與第二底板的凹槽為鏡像設(shè)置，該凹槽之間可相互配合，該底板機(jī)構(gòu)上表面設(shè)有限位槽。

4、進(jìn)一步的，所述第一底板和第二底板的凹槽拼接可形成一個(gè)閉合狀的凹槽，該閉合狀的凹槽通過螺栓與自制的裝配治具連接。

5、進(jìn)一步的，所述底板機(jī)構(gòu)下方設(shè)置有用于調(diào)整底板機(jī)構(gòu)位置的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括安裝板、第一滑軌、第二滑軌、第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)、第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)和伸縮氣缸，該第一滑軌固定安裝在安裝板上，該第一滑軌通過第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，該第一滑軌上通過滑塊連接有第二滑軌，該第一滑軌與第二滑軌垂直安裝，該第二滑軌通過第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，該第二滑軌上通過滑塊連接有伸縮氣缸，該伸縮氣缸輸出端設(shè)置有底板機(jī)構(gòu)。

6、進(jìn)一步的，所述底板機(jī)構(gòu)的底部四角均設(shè)置有一個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)。

7、進(jìn)一步的，所述底板機(jī)構(gòu)上還設(shè)有激光位移傳感器。

8、進(jìn)一步的，所述導(dǎo)軌包括至少兩條平行的子導(dǎo)軌，該子導(dǎo)軌由若干分段導(dǎo)軌拼接而成，該子導(dǎo)軌上固定安裝有齒條，該齒條與子導(dǎo)軌平行，該齒條與導(dǎo)軌之間和導(dǎo)軌與底板機(jī)構(gòu)之間都通過定位銷與定位孔進(jìn)行定位。

9、進(jìn)一步的，所述滑臺(tái)機(jī)構(gòu)包括伺服電機(jī)、齒輪、滾輪和傳動(dòng)軸，該齒輪與齒條相嚙合，該齒輪與傳動(dòng)軸固定連接，該傳動(dòng)軸底部通過滾動(dòng)軸承滑動(dòng)連接有滾輪，該滾輪位于限位槽內(nèi)部，該齒輪與伺服電機(jī)固定連接，并通過伺服電機(jī)控制，該伺服電機(jī)自轉(zhuǎn)帶動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)而使?jié)L輪沿著齒條并在限位槽中移動(dòng)，從而帶動(dòng)滑臺(tái)移動(dòng)。

10、一種高精度高潔凈度的半導(dǎo)體stocker設(shè)備行走軸的操作方法，包括以下步驟：

11、步驟一：通過采集激光位移傳感器數(shù)據(jù)，獲取相鄰底板機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)點(diǎn)之間的坐標(biāo)和距離參數(shù)；

12、步驟二：將獲取到的坐標(biāo)和距離參數(shù)發(fā)送給控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)發(fā)送指令給控制器，控制器控制移動(dòng)機(jī)構(gòu)；

13、步驟三：每次移動(dòng)機(jī)構(gòu)將底板機(jī)構(gòu)進(jìn)行調(diào)整后，繼續(xù)采集激光位移傳感器數(shù)據(jù)，控制器控制移動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步調(diào)整，直至達(dá)到設(shè)定的目標(biāo)位置；

14、步驟四：在底板機(jī)構(gòu)拼接調(diào)整完成后，在底板機(jī)構(gòu)上表面進(jìn)行導(dǎo)軌組裝拼接。

15、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果為：

16、1.本發(fā)明通過將行走軸進(jìn)行分段處理，提高模塊化程度，可通過分段拼接的方式形成不同行程長(zhǎng)度的行走軸，減少了制造成本，提高靈活性；

17、2.本發(fā)明通過將若干個(gè)第一底板和第二底板拼接形成底板機(jī)構(gòu)，并在第一底板和第二底板上設(shè)置有激光位移傳感器和移動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過激光位移傳感器獲取的坐標(biāo)和距離參數(shù)控制移動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行位置調(diào)整，使底板機(jī)構(gòu)裝配時(shí)自動(dòng)調(diào)整到目標(biāo)位置，保證底板機(jī)構(gòu)的平行度與平面度，并通過底板機(jī)構(gòu)上的凹槽互相配合形成一個(gè)閉合狀的凹槽，該閉合狀的凹槽通過螺栓與自制的裝配治具連接，進(jìn)而將底板機(jī)構(gòu)固定裝配完成，而行走軸通過定位孔與定位銷進(jìn)行定位并安裝在裝配完成的底板機(jī)構(gòu)上，進(jìn)而保證了行走軸的平行度與平面度，因而無需直接調(diào)整較窄小的行走軸，降低安裝和維護(hù)的難度，提高了行走軸的高潔凈度。

技術(shù)特征：

1.一種高精度高潔凈度的半導(dǎo)體stocker設(shè)備行走軸，包括導(dǎo)軌(4)和滑臺(tái)機(jī)構(gòu)(3)，其特征在于，還包括底板機(jī)構(gòu)(1)，所述導(dǎo)軌(4)固定設(shè)置于底板機(jī)構(gòu)(1)上表面，所述底板機(jī)構(gòu)(1)包括第一底板(11)和第二底板(12)，該底板機(jī)構(gòu)(1)通過將若干個(gè)第一底板(11)和第二底板(12)進(jìn)行拼接形成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精度高潔凈度的半導(dǎo)體stocker設(shè)備行走軸，其特征在于，所述第一底板(11)安裝于底板機(jī)構(gòu)(1)的兩側(cè)，第二底板(12)安裝于底板機(jī)構(gòu)(1)的內(nèi)側(cè)，該第一底板(11)的一側(cè)以及第二底板(12)的兩側(cè)均設(shè)置有開口的凹槽(15)，該第一底板(11)與第二底板(12)的凹槽(15)為鏡像設(shè)置，該凹槽(15)之間可相互配合，該底板機(jī)構(gòu)(1)上表面設(shè)有限位槽(13)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種高精度高潔凈度的半導(dǎo)體stocker設(shè)備行走軸，其特征在于，所述第一底板(11)和第二底板(12)的凹槽(15)拼接可形成一個(gè)閉合狀的凹槽(15)，該閉合狀的凹槽(15)通過螺栓與自制的裝配治具(14)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精度高潔凈度的半導(dǎo)體stocker設(shè)備行走軸，其特征在于，所述底板機(jī)構(gòu)(1)下方設(shè)置有用于調(diào)整底板機(jī)構(gòu)(1)位置的移動(dòng)機(jī)構(gòu)(2)，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)(2)包括安裝板(21)、第一滑軌(22)、第二滑軌(23)、第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)(24)、第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)(25)和伸縮氣缸(26)，該第一滑軌(22)固定安裝在安裝板(21)上，該第一滑軌(22)通過第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)(24)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，該第一滑軌(22)上通過滑塊連接有第二滑軌(23)，該第一滑軌(22)與第二滑軌(23)垂直安裝，該第二滑軌(23)通過第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)(25)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，該第二滑軌(23)上通過滑塊連接有伸縮氣缸(26)，該伸縮氣缸(26)輸出端設(shè)置有底板機(jī)構(gòu)(1)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精度高潔凈度的半導(dǎo)體stocker設(shè)備行走軸，其特征在于，所述底板機(jī)構(gòu)(1)的底部四角均設(shè)置有一個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)(2)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精度高潔凈度的半導(dǎo)體stocker設(shè)備行走軸，其特征在于，所述底板機(jī)構(gòu)(1)上還設(shè)有激光位移傳感器。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精度高潔凈度的半導(dǎo)體stocker設(shè)備行走軸，其特征在于，所述導(dǎo)軌(4)包括至少兩條平行的子導(dǎo)軌(41)，該子導(dǎo)軌(41)由若干分段導(dǎo)軌(44)拼接而成，該子導(dǎo)軌(41)上固定安裝有齒條(42)，該齒條(42)與子導(dǎo)軌(41)平行，該齒條(42)與導(dǎo)軌(4)之間和導(dǎo)軌(4)與底板機(jī)構(gòu)(1)之間都通過定位銷與定位孔(43)進(jìn)行定位。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精度高潔凈度的半導(dǎo)體stocker設(shè)備行走軸，其特征在于，所述滑臺(tái)機(jī)構(gòu)(3)包括伺服電機(jī)(31)、齒輪(32)、滾輪(33)和傳動(dòng)軸(34)，該齒輪(32)與齒條(42)相嚙合，該齒輪(32)與傳動(dòng)軸(34)固定連接，該傳動(dòng)軸(34)底部通過滾動(dòng)軸承滑動(dòng)連接有滾輪(33)，該滾輪(33)位于限位槽(13)內(nèi)部，該齒輪(32)與伺服電機(jī)(31)固定連接，并通過伺服電機(jī)(31)控制，該伺服電機(jī)(31)自轉(zhuǎn)帶動(dòng)齒輪(32)轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)而使?jié)L輪(33)沿著齒條(42)并在限位槽(13)中移動(dòng)，從而帶動(dòng)滑臺(tái)移動(dòng)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的一種高精度高潔凈度的半導(dǎo)體stocker設(shè)備行走軸的操作方法，其特征在于，包括以下步驟：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種高精度高潔凈度的半導(dǎo)體Stocker設(shè)備行走軸和操作方法，包括導(dǎo)軌、滑臺(tái)機(jī)構(gòu)，所述導(dǎo)軌固定設(shè)置于底板機(jī)構(gòu)上表面，所述底板機(jī)構(gòu)包括第一底板和第二底板，該底板機(jī)構(gòu)通過將若干個(gè)第一底板和第二底板進(jìn)行拼接形成，所述底板機(jī)構(gòu)下方設(shè)置有用于調(diào)整底板機(jī)構(gòu)位置的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，本發(fā)明通過將行走軸進(jìn)行分段處理，提高模塊化程度，提高靈活性，通過將若干個(gè)第一底板和第二底板拼接形成底板機(jī)構(gòu)，并在第一底板和第二底板上設(shè)置有激光位移傳感器和移動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過激光位移傳感器獲取的坐標(biāo)和距離參數(shù)控制移動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行位置調(diào)整，使底板機(jī)構(gòu)裝配時(shí)自動(dòng)調(diào)整到目標(biāo)位置，保證行走軸的平行度與平面度。

技術(shù)研發(fā)人員：劉明,于永超
受保護(hù)的技術(shù)使用者：唯實(shí)先端智能科技（蘇州）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6