本技術(shù)涉及擴(kuò)散爐,尤其涉及一種保溫爐門裝置。
背景技術(shù):
1、電池片的擴(kuò)散工藝包括磷擴(kuò)散、硼擴(kuò)散等。目前行業(yè)內(nèi)已有不少相關(guān)的設(shè)備,比如擴(kuò)散爐、化學(xué)氣相沉積爐等。在上述設(shè)備的使用過程中,通常先打開爐門,讓載硅片的舟進(jìn)入上述設(shè)備的爐管中,再關(guān)上爐門,爐管的爐門要求有良好的保溫和/或密封效果。
2、相關(guān)技術(shù)中,爐門開合裝置通過兩個(gè)不同方向的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)分別驅(qū)動(dòng)爐門移動(dòng),具體地,封堵爐管的操作為先驅(qū)動(dòng)爐門移動(dòng)至爐管的進(jìn)料口相對(duì)的位置,再驅(qū)動(dòng)爐門靠近爐管的進(jìn)料口進(jìn)行封堵,上述步驟反之即可實(shí)現(xiàn)爐門與爐管分離。然而兩個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)不僅增加了整個(gè)裝置結(jié)構(gòu)組裝的復(fù)雜程度,還提高了生產(chǎn)成本。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種保溫爐門裝置,以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種保溫爐門裝置,包括驅(qū)動(dòng)件、爐門、基座、平移機(jī)構(gòu)和抬升機(jī)構(gòu),所述平移機(jī)構(gòu)與所述基座沿第一方向往復(fù)移動(dòng)配合,所述驅(qū)動(dòng)件設(shè)于所述基座上,所述驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端與所述平移機(jī)構(gòu)相連,所述抬升機(jī)構(gòu)與所述平移機(jī)構(gòu)沿第二方向往復(fù)移動(dòng)配合,所述第一方向與所述第二方向垂直,所述爐門設(shè)于所述抬升機(jī)構(gòu)上,所述基座開設(shè)相互連通的第一導(dǎo)向孔和第二導(dǎo)向孔,所述第一導(dǎo)向孔的導(dǎo)向方向與所述第一方向平行,所述第一方向和所述第二方向均與所述第二導(dǎo)向孔的導(dǎo)向方向相交,所述第一導(dǎo)向孔和所述第二導(dǎo)向孔形成導(dǎo)向通道,所述抬升機(jī)構(gòu)設(shè)有導(dǎo)向件,所述導(dǎo)向件的一端穿過所述平移機(jī)構(gòu)伸入所述導(dǎo)向通道中、并導(dǎo)向配合。
3、優(yōu)選地,還包括限位件,所述限位件臨近所述第二導(dǎo)向孔設(shè)于所述基座的一端,當(dāng)所述爐門移動(dòng)至預(yù)設(shè)位置、且所述導(dǎo)向件移動(dòng)至與所述第二導(dǎo)向孔限位配合時(shí),所述平移機(jī)構(gòu)與所述限位件限位配合。
4、優(yōu)選地,所述平移機(jī)構(gòu)包括連接板和第一滑塊組,所述基座設(shè)有第一導(dǎo)軌組,所述第一滑塊組設(shè)于所述連接板上,所述第一滑塊組與所述第一導(dǎo)軌組滑動(dòng)配合,所述驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端與所述連接板相連。
5、優(yōu)選地,所述抬升機(jī)構(gòu)包括支撐板和第二滑塊組,所述平移機(jī)構(gòu)設(shè)有第二導(dǎo)軌組,所述第二滑塊組設(shè)于所述支撐板上,所述第二滑塊組與所述第二導(dǎo)軌組滑動(dòng)配合,所述爐門設(shè)于所述支撐板上。
6、優(yōu)選地,所述平移機(jī)構(gòu)開設(shè)有條形孔,所述導(dǎo)向件的一端穿過所述條形孔伸入所述導(dǎo)向通道中,所述導(dǎo)向件與所述條形孔沿所述第一方向上限位配合。
7、優(yōu)選地,所述導(dǎo)向件包括連接柱和軸承,所述連接柱設(shè)于所述抬升機(jī)構(gòu)上,所述連接柱的一端穿過所述平移機(jī)構(gòu)伸入所述導(dǎo)向通道中,所述軸承套設(shè)于所述連接柱的一端,所述軸承與所述導(dǎo)向通道滾動(dòng)配合。
8、優(yōu)選地,第二導(dǎo)向孔為弧形孔。
9、本申請(qǐng)采用的技術(shù)方案能夠達(dá)到以下有益效果:
10、在本申請(qǐng)公開的一種保溫爐門裝置中,平移機(jī)構(gòu)與基座沿第一方向往復(fù)移動(dòng)配合,驅(qū)動(dòng)件設(shè)于基座上,驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端與平移機(jī)構(gòu)相連,抬升機(jī)構(gòu)與平移機(jī)構(gòu)沿第二方向往復(fù)移動(dòng)配合,第一方向與第二方向垂直,爐門設(shè)于抬升機(jī)構(gòu)上,基座開設(shè)有互相連通的第一導(dǎo)向孔和第二導(dǎo)向孔,第一導(dǎo)向孔的導(dǎo)向方向與第一方向平行,第一方向和第二方向均與第二導(dǎo)向孔的導(dǎo)向方向相交,第一導(dǎo)向孔和第二導(dǎo)向孔形成導(dǎo)向通道,抬升機(jī)構(gòu)設(shè)有導(dǎo)向件,導(dǎo)向件的一端穿過平移機(jī)構(gòu)伸入導(dǎo)向通道中、并與導(dǎo)向配合。
11、在保溫爐門裝置封堵爐管的過程中,驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)平移機(jī)構(gòu)沿第一方向移動(dòng),抬升機(jī)構(gòu)及爐門隨平移機(jī)構(gòu)移動(dòng),導(dǎo)向件與第一導(dǎo)向孔導(dǎo)向配合,在導(dǎo)向件移動(dòng)至與第二導(dǎo)向孔導(dǎo)向配合的情況下,平移機(jī)構(gòu)沿第一方向依然移動(dòng),而由于第一方向和第二方向均與第二導(dǎo)向孔的導(dǎo)向方向相交,抬升機(jī)構(gòu)同時(shí)沿第一方向和第二方向移動(dòng),爐門隨之移動(dòng)至與爐管密封配合;在保溫爐門裝置遠(yuǎn)離爐管的過程中,導(dǎo)向件與第二導(dǎo)向孔導(dǎo)向配合,抬升機(jī)構(gòu)不僅隨平移機(jī)構(gòu)被驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)沿與第一方向相反的方向移動(dòng)的同時(shí),抬升機(jī)構(gòu)沿與第二方向相反的方向移動(dòng),爐門隨之與爐管分離,在導(dǎo)向件移動(dòng)至與第一導(dǎo)向孔導(dǎo)向配合的情況下,驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)平移機(jī)構(gòu)沿與第一方向相反的方向移動(dòng),抬升機(jī)構(gòu)及爐門隨平移機(jī)構(gòu)移動(dòng)。
12、上述結(jié)構(gòu)通過導(dǎo)向件與所第一導(dǎo)向孔和第二導(dǎo)向孔形成導(dǎo)向通道的導(dǎo)向配合,使得僅通過一個(gè)驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)力實(shí)現(xiàn)爐門在兩個(gè)不同方向上的移動(dòng),在滿足爐門與爐管的組合和分離要求的同時(shí),減少驅(qū)動(dòng)件的數(shù)量的同時(shí),簡化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),便于安裝,也降低了生產(chǎn)成本。
1.一種保溫爐門裝置,其特征在于,包括驅(qū)動(dòng)件(100)、爐門(200)、基座(300)、平移機(jī)構(gòu)(400)和抬升機(jī)構(gòu)(500),所述平移機(jī)構(gòu)(400)與所述基座(300)沿第一方向往復(fù)移動(dòng)配合,所述驅(qū)動(dòng)件(100)設(shè)于所述基座(300)上,所述驅(qū)動(dòng)件(100)的驅(qū)動(dòng)端與所述平移機(jī)構(gòu)(400)相連,所述抬升機(jī)構(gòu)(500)與所述平移機(jī)構(gòu)(400)沿第二方向往復(fù)移動(dòng)配合,所述第一方向與所述第二方向垂直,所述爐門(200)設(shè)于所述抬升機(jī)構(gòu)(500)上,所述基座(300)開設(shè)相互連通的第一導(dǎo)向孔(a)和第二導(dǎo)向孔(b),所述第一導(dǎo)向孔(a)的導(dǎo)向方向與所述第一方向平行,所述第一方向和所述第二方向均與所述第二導(dǎo)向孔(b)的導(dǎo)向方向相交,所述第一導(dǎo)向孔(a)和所述第二導(dǎo)向孔(b)形成導(dǎo)向通道,所述抬升機(jī)構(gòu)(500)設(shè)有導(dǎo)向件(530),所述導(dǎo)向件(530)的一端穿過所述平移機(jī)構(gòu)(400)伸入所述導(dǎo)向通道中、并導(dǎo)向配合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的保溫爐門裝置,其特征在于,還包括限位件(600),所述限位件(600)臨近所述第二導(dǎo)向孔(b)設(shè)于所述基座(300)的一端,當(dāng)所述爐門(200)移動(dòng)至預(yù)設(shè)位置、且所述導(dǎo)向件(530)移動(dòng)至與所述第二導(dǎo)向孔(b)限位配合時(shí),所述平移機(jī)構(gòu)(400)與所述限位件(600)限位配合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的保溫爐門裝置,其特征在于,所述平移機(jī)構(gòu)(400)包括連接板(410)和第一滑塊組(420),所述基座(300)設(shè)有第一導(dǎo)軌組(700),所述第一滑塊組(420)設(shè)于所述連接板(410)上,所述第一滑塊組(420)與所述第一導(dǎo)軌組(700)滑動(dòng)配合,所述驅(qū)動(dòng)件(100)的驅(qū)動(dòng)端與所述連接板(410)相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的保溫爐門裝置,其特征在于,所述抬升機(jī)構(gòu)(500)包括支撐板(510)和第二滑塊組(520),所述平移機(jī)構(gòu)(400)設(shè)有第二導(dǎo)軌組(800),所述第二滑塊組(520)設(shè)于所述支撐板(510)上,所述第二滑塊組(520)與所述第二導(dǎo)軌組(800)滑動(dòng)配合,所述爐門(200)設(shè)于所述支撐板(510)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的保溫爐門裝置,其特征在于,所述平移機(jī)構(gòu)(400)開設(shè)有條形孔(c),所述導(dǎo)向件(530)的一端穿過所述條形孔(c)伸入所述導(dǎo)向通道中,所述導(dǎo)向件(530)與所述條形孔(c)沿所述第一方向上限位配合。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的保溫爐門裝置,其特征在于,所述導(dǎo)向件(530)包括連接柱(531)和軸承(532),所述連接柱(531)設(shè)于所述抬升機(jī)構(gòu)(500)上,所述連接柱(531)的一端穿過所述平移機(jī)構(gòu)(400)伸入所述導(dǎo)向通道中,所述軸承(532)套設(shè)于所述連接柱(531)的一端,所述軸承(532)與所述導(dǎo)向通道滾動(dòng)配合。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的保溫爐門裝置,其特征在于,第二導(dǎo)向孔(b)為弧形孔。