本技術(shù)涉及單晶硅，具體為一種單晶硅基片夾具。

背景技術(shù)：

1、單晶硅基片是由單晶硅材料制作的一種片狀的元件,也是制造集成電路中最常用的基礎(chǔ)元件之一，單晶硅片可以用來(lái)制造電子鍵盤、顯示器和低功耗芯片等產(chǎn)品,還可以用來(lái)替代傳統(tǒng)的硅片，單晶硅片逐漸發(fā)展為大尺寸、薄片化發(fā)展，在單晶硅生產(chǎn)制造的過(guò)程中，需要通過(guò)夾具進(jìn)行不同工序之間的移動(dòng)。

2、在目前的單晶硅基片夾具中，通常只是簡(jiǎn)單的盒體內(nèi)部設(shè)置多組不同的夾槽以實(shí)現(xiàn)單晶硅的放置和收納，在像盒體的內(nèi)部進(jìn)行單晶硅的添加時(shí)，由于空間有限，操作不便，比較耗費(fèi)時(shí)間，而且容易對(duì)單晶硅片造成損壞，影響了夾具的工作效率和工作質(zhì)量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種單晶硅基片夾具，解決了上述背景中提到的問(wèn)題。

2、本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種單晶硅基片夾具，包括：底板，還包括：所述底板的表面等距設(shè)置有多組夾座，且底板的兩側(cè)固定連接有立板，所述立板的兩側(cè)通過(guò)齒桿伸縮設(shè)置有側(cè)板；

3、所述立板的內(nèi)部通過(guò)操作桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接有齒輪盤，且齒輪盤的外壁對(duì)稱嚙合設(shè)置有齒桿，并且齒桿在側(cè)板的兩側(cè)固定安裝；

4、所述側(cè)板的表面等距設(shè)置有多組夾塊，且?jiàn)A塊的內(nèi)部對(duì)稱伸縮設(shè)置有夾條。

5、進(jìn)一步的，所述立板的內(nèi)部貫穿開(kāi)設(shè)有可容納對(duì)稱齒桿伸縮活動(dòng)的貫穿槽，且貫穿槽的中部設(shè)置有齒輪盤。

6、進(jìn)一步的，所述側(cè)板與底板呈垂直設(shè)置，且兩組側(cè)板呈平行設(shè)置。

7、進(jìn)一步的，所述齒桿的外壁通過(guò)滑條與貫穿槽滑動(dòng)連接。

8、進(jìn)一步的，所述夾塊的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有凹槽，且凹槽呈“凵”型結(jié)構(gòu)設(shè)置。

9、進(jìn)一步的，所述夾塊的內(nèi)部通過(guò)伸縮彈簧連接有活動(dòng)板，且活動(dòng)板的表面固定連接有多組夾條，并且?jiàn)A條在夾塊的凹槽內(nèi)部貫穿設(shè)置。

10、進(jìn)一步的，所述夾條的表面設(shè)置有橡膠墊。

11、與現(xiàn)有技術(shù)對(duì)比，本實(shí)用新型具備以下有益效果：

12、本實(shí)用新型中，通過(guò)在底板的表面設(shè)置多組夾座，便于單晶硅基片在底板的表面插接，而且在兩側(cè)側(cè)板的伸縮作用下，則使夾座的上部空間實(shí)現(xiàn)靈活活動(dòng)，避免了兩側(cè)側(cè)板對(duì)單晶硅基片的放置造成干擾，有利于提高夾具的工作效率，而且在側(cè)板表面設(shè)置多組夾塊的作用下，則使夾塊可以通過(guò)內(nèi)壁伸縮設(shè)置的夾條對(duì)單晶硅基片進(jìn)行穩(wěn)定限位，提高了單晶硅基片在夾具內(nèi)部的穩(wěn)定性，并且操作簡(jiǎn)單方便，安全性強(qiáng)。

技術(shù)特征：

1.一種單晶硅基片夾具，包括：底板（1），其特征在于，還包括：所述底板（1）的表面等距設(shè)置有多組夾座（2），且底板（1）的兩側(cè)固定連接有立板（3），所述立板（3）的兩側(cè)通過(guò)齒桿（4）伸縮設(shè)置有側(cè)板（5）；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅基片夾具，其特征在于，所述立板（3）的內(nèi)部貫穿開(kāi)設(shè)有可容納對(duì)稱齒桿（4）伸縮活動(dòng)的貫穿槽，且貫穿槽的中部設(shè)置有齒輪盤（7）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅基片夾具，其特征在于，所述側(cè)板（5）與底板（1）呈垂直設(shè)置，且兩組側(cè)板（5）呈平行設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種單晶硅基片夾具，其特征在于，所述齒桿（4）的外壁通過(guò)滑條（9）與貫穿槽滑動(dòng)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅基片夾具，其特征在于，所述夾塊（6）的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有凹槽，且凹槽呈“凵”型結(jié)構(gòu)設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種單晶硅基片夾具，其特征在于，所述夾塊（6）的內(nèi)部通過(guò)伸縮彈簧（10）連接有活動(dòng)板（11），且活動(dòng)板（11）的表面固定連接有多組夾條（12），并且?jiàn)A條（12）在夾塊（6）的凹槽內(nèi)部貫穿設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種單晶硅基片夾具，其特征在于，所述夾條（12）的表面設(shè)置有橡膠墊。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及單晶硅技術(shù)領(lǐng)域，且公開(kāi)了一種單晶硅基片夾具，包括：底板，還包括：底板的表面等距設(shè)置有多組夾座，且底板的兩側(cè)固定連接有立板，立板的兩側(cè)通過(guò)齒桿伸縮設(shè)置有側(cè)板；立板的內(nèi)部通過(guò)操作桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接有齒輪盤，且齒輪盤的外壁對(duì)稱嚙合設(shè)置有齒桿。本技術(shù)中，通過(guò)在底板的表面設(shè)置多組夾座，便于單晶硅基片在底板的表面插接，而且在兩側(cè)側(cè)板的伸縮作用下，則使夾座的上部空間實(shí)現(xiàn)靈活活動(dòng)，避免了兩側(cè)側(cè)板對(duì)單晶硅基片的放置造成干擾，有利于提高夾具的工作效率，而且在側(cè)板表面設(shè)置多組夾塊的作用下，則使夾塊可以通過(guò)內(nèi)壁伸縮設(shè)置的夾條對(duì)單晶硅基片進(jìn)行穩(wěn)定限位，提高了單晶硅基片在夾具內(nèi)部的穩(wěn)定性，并且操作簡(jiǎn)單方便。

技術(shù)研發(fā)人員：崔彥波,趙文娜,尚彩霞
受保護(hù)的技術(shù)使用者：洛陽(yáng)賽萊克電子有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240515
技術(shù)公布日：2025/1/9