工業(yè)用機(jī)器人的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種搬運(yùn)規(guī)定的搬運(yùn)對(duì)象物的工業(yè)用機(jī)器人。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，公知一種搬運(yùn)液晶顯示器用的玻璃基板等基板的工業(yè)用機(jī)器人(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。專利文獻(xiàn)I所記載的工業(yè)用機(jī)器人具有供基板裝載的上叉以及下叉、上叉固定在其上的第一移動(dòng)體、下叉固定在其上的第二移動(dòng)體、將第一移動(dòng)體以及第二移動(dòng)體保持為能夠移動(dòng)的共通基部、以及將共通基部保持為能夠移動(dòng)的基部。第一移動(dòng)體以及第二移動(dòng)體能夠相對(duì)于共通基部沿水平方向直線地往復(fù)移動(dòng)。并且，第一移動(dòng)體與第二移動(dòng)體能夠相對(duì)于共通基部向相同的方向往復(fù)移動(dòng)。共通基部能夠相對(duì)于基部沿水平方向直線地往復(fù)移動(dòng)。并且，共通基部能夠向與第一移動(dòng)體以及第二移動(dòng)體相對(duì)于共通基部的移動(dòng)方向相同的方向相對(duì)于基部往復(fù)移動(dòng)。
[0003]并且，專利文獻(xiàn)I所記載的工業(yè)用機(jī)器人具有用于往復(fù)驅(qū)動(dòng)第一移動(dòng)體的第一驅(qū)動(dòng)部、用于往復(fù)驅(qū)動(dòng)第二移動(dòng)體的第二驅(qū)動(dòng)部、以及用于往復(fù)驅(qū)動(dòng)共通基部的第三驅(qū)動(dòng)部。第一驅(qū)動(dòng)部具有固定于共通基部的馬達(dá)、能夠旋轉(zhuǎn)地保持于共通基部并且依靠馬達(dá)的動(dòng)力旋轉(zhuǎn)的滾珠絲杠、以及固定于第一移動(dòng)體并且與滾珠絲杠螺合的球狀螺母。第二驅(qū)動(dòng)部具有固定于共通基部的馬達(dá)、能夠旋轉(zhuǎn)地保持于共通基部并且依靠馬達(dá)的動(dòng)力旋轉(zhuǎn)的滾珠絲杠、以及固定于第二移動(dòng)體并且與滾珠絲杠螺合的球狀螺母。第三驅(qū)動(dòng)部具有固定于基部的馬達(dá)、能夠旋轉(zhuǎn)地保持于基部并且依靠馬達(dá)的動(dòng)力旋轉(zhuǎn)的滾珠絲杠、以及固定于共通基部并且與滾珠絲杠螺合的球狀螺母。
[0004]在專利文獻(xiàn)I所記載的工業(yè)用機(jī)器人中，在搬運(yùn)基板時(shí)，第一移動(dòng)體或者第二移動(dòng)體相對(duì)于共通基部直線地相對(duì)移動(dòng)，且共通基部向與第一移動(dòng)體或者第二移動(dòng)體相對(duì)于共通基部的相對(duì)移動(dòng)方向相同的方向相對(duì)于基部直線地相對(duì)移動(dòng)。此時(shí)，通過(guò)直線導(dǎo)軌引導(dǎo)第一移動(dòng)體、第二移動(dòng)體以及共通基部。
[0005]專利文獻(xiàn)1:特開(kāi)平11-238775號(hào)外報(bào)
[0006]近年來(lái)，為了提高設(shè)置有搬運(yùn)基板的工業(yè)用機(jī)器人的基板制造系統(tǒng)的生產(chǎn)效率，要求工業(yè)用機(jī)器人的動(dòng)作高速化。在專利文獻(xiàn)I所記載的工業(yè)用機(jī)器人中，由于使用滾珠絲杠和球狀螺母來(lái)驅(qū)動(dòng)第一移動(dòng)體、第二移動(dòng)體以及共通基部，因此在第一移動(dòng)體、第二移動(dòng)體以及共通基部移動(dòng)時(shí)，產(chǎn)生以滾珠絲杠為中心的力矩。因此，在該工業(yè)用機(jī)器人中，若第一移動(dòng)體、第二移動(dòng)體以及共通基部的移動(dòng)速度加快，則存在有在第一移動(dòng)體、第二移動(dòng)體以及共通基部產(chǎn)生較大振動(dòng)的風(fēng)險(xiǎn)。若在第一移動(dòng)體、第二移動(dòng)體以及共通基部產(chǎn)生較大振動(dòng)，則存在裝載有基板的上叉和下叉的動(dòng)作變得不穩(wěn)定，而導(dǎo)致基板的搬運(yùn)精度下降的風(fēng)險(xiǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]在此，本發(fā)明的課題在于提供一種即使加快動(dòng)作速度也能夠抑制搬運(yùn)對(duì)象物的搬運(yùn)精度下降的工業(yè)用機(jī)器人。
[0008]為了解決上述課題，本發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人具有:第一手部以及第二手部，搬運(yùn)對(duì)象物裝載于所述第一手部以及第二手部；第一手部支承部件，第一手部固定于所述第一手部支承部件；第二手部支承部件，第二手部固定于所述第二手部支承部件；臂部，其將第一手部支承部件與第二手部支承部件保持為能夠沿水平方向上的相同方向直線地往復(fù)移動(dòng)；臂部支承部件，其將臂部保持為能夠向與第一手部支承部件以及第二手部支承部件相對(duì)于臂部的移動(dòng)方向相同的方向直線地往復(fù)移動(dòng)；第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使第一手部支承部件相對(duì)于臂部往復(fù)移動(dòng)；第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使第二手部支承部件相對(duì)于臂部往復(fù)移動(dòng)；以及第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使臂部相對(duì)于臂部支承部件往復(fù)移動(dòng)，若以第一手部支承部件、第二手部支承部件以及臂部的移動(dòng)方向?yàn)榈谝环较?，則從第一方向觀察時(shí)，第一手部與第二手部以在上下方向相互重疊的方式配置，且從第一方向觀察時(shí)，第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)第一手部支承部件施加的驅(qū)動(dòng)力所作用的第一作用位置位于依靠第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)力向第一方向移動(dòng)的部分的重心的下側(cè)，第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)第二手部支承部件施加的驅(qū)動(dòng)力所作用的第二作用位置位于依靠第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)力向第一方向移動(dòng)的部分的重心的下側(cè)，第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)臂部施加的驅(qū)動(dòng)力所作用的第三作用位置位于依靠第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)力向第一方向移動(dòng)的部分的重心的下側(cè)。
[0009]在本發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人中，從作為第一手部支承部件、第二手部支承部件以及臂部的移動(dòng)方向的第一方向觀察時(shí)，使第一手部支承部件往復(fù)移動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)力作用于第一手部支承部件的第一作用位置位于依靠第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)力向第一方向移動(dòng)的部分的重心的下側(cè)，使第二手部支承部件往復(fù)移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)力作用于第二手部支承部件的第二作用位置位于依靠第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)力向第一方向移動(dòng)的部分的重心的下側(cè)，使臂部往復(fù)移動(dòng)的第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)力作用于臂部的第三作用位置位于依靠第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)力向第一方向移動(dòng)的部分的重心的下側(cè)。因此，在本發(fā)明中，能夠抑制包括第一手部且依靠第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)力向第一方向移動(dòng)的部分的以從第一方向觀察時(shí)的第一作用位置為中心的力矩的產(chǎn)生、包括第二手部且依靠第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)力向第一方向移動(dòng)的部分的以從第一方向觀察時(shí)的第二作用位置為中心的力矩的產(chǎn)生、以及包括第一手部以及第二手部且依靠第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)力向第一方向移動(dòng)的部分的以從第一方向觀察時(shí)的第三作用位置為中心的力矩的產(chǎn)生。因此，在本發(fā)明中，即使加快工業(yè)用機(jī)器人的動(dòng)作速度，也能夠抑制供搬運(yùn)對(duì)象物裝載的第一手部以及第二手部的振動(dòng)，從而能夠抑制搬運(yùn)對(duì)象物的搬運(yùn)精度的下降。
[0010]在本發(fā)明中，例如，第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有:第一螺釘部件，其形成有外螺紋且能夠旋轉(zhuǎn)地保持于臂部；以及第一螺母部件，其形成有與第一螺釘部件的外螺紋卡合的內(nèi)螺紋且固定于第一手部支承部件，第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有:第二螺釘部件，其形成有外螺紋且能夠旋轉(zhuǎn)地保持于臂部；以及第二螺母部件，其形成有與第二螺釘部件的外螺紋卡合的內(nèi)螺紋且固定于第二手部支承部件，第一作用位置為第一螺釘部件的外螺紋與第一螺母部件的內(nèi)螺紋之間的卡合位置，第二作用位置為第二螺釘部件的外螺紋與第二螺母部件的內(nèi)螺紋之間的卡合位置。
[0011 ] 并且，在本發(fā)明中，例如，第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有:第三螺釘部件，其形成有外螺紋且能夠旋轉(zhuǎn)地保持于臂部以及臂部支承部件中的任意一方；以及第三螺母部件，其形成有與第三螺釘部件的外螺紋卡合的內(nèi)螺紋且固定于臂部以及臂部支承部件中的任意另一方，第三作用位置為第三螺釘部件的外螺紋與第三螺母部件的內(nèi)螺紋之間的卡合位置。
[0012]在本發(fā)明中，例如工業(yè)用機(jī)器人具有用于向第一方向引導(dǎo)第一手部支承部件的第一導(dǎo)軌以及第一導(dǎo)塊、用于向第一方向引導(dǎo)第二手部支承部件的第二導(dǎo)軌以及第二導(dǎo)塊，若以與上下方向和第一方向正交的方向?yàn)榈诙较?、以第二方向的一方為第三方向、以第二方向的另一方為第四方向，則第一導(dǎo)軌固定在臂部的第三方向側(cè)的側(cè)面，第二導(dǎo)軌固定在臂部的第四方向側(cè)的側(cè)面，第一螺釘部件沿臂部的第三方向側(cè)的側(cè)面配置，第二螺釘部件沿臂部的第四方向側(cè)的側(cè)面配置。此時(shí)，能夠使第一螺釘部件與第二螺釘部件之間的第二方向上的距離靠近。
[0013]在本發(fā)明中，優(yōu)選第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有使第一螺釘部件旋轉(zhuǎn)的第一馬達(dá)，第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有使第二螺釘部件旋轉(zhuǎn)的第二馬達(dá)，第一馬達(dá)固定在臂部的第一方向的一端側(cè)，第二馬達(dá)固定在臂部的第一方向的另一端側(cè)，且第一馬達(dá)以及第二馬達(dá)以在從第一方向觀察時(shí)第一馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)中心與第二馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)中心一致的方式配置，且從第一方向觀察時(shí)，第一馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)中心以及第二馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)中心位于第三作用位置的上側(cè)，且第一馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)中心與第一螺釘部件的軸心之間的第二方向上的距離同第二馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)中心與第二螺釘部件的軸心之間的第二方向上的距離相等。如此構(gòu)成的話，則在第二方向上，能夠容易地使依靠第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)力向第一方向移動(dòng)的部分的重心與第三作用位置一致。
[0014]在本發(fā)明中，例如，第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有:第三螺釘部件，其形成有外螺紋且能夠旋轉(zhuǎn)地保持于臂部以及臂部支承部件中的任意一方；第三螺母部件，其形成有與第三螺釘部件的外螺紋卡合的內(nèi)螺紋且固定于臂部以及臂部支承部件中的任意另一方；以及第三馬達(dá)，其使第三螺釘部件旋轉(zhuǎn)，第三馬達(dá)以在從第一