一種具有紫外臭氧清洗功能的手套箱的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種手套箱，具體涉及一種具有紫外臭氧清洗功能的手套箱。
【背景技術(shù)】
[0002]手套箱廣泛應(yīng)用于鋰電、核能、醫(yī)學(xué)以及化學(xué)化工等各種行業(yè)?，F(xiàn)有OLED、或OPV等有機(jī)及光伏研宄，及一些半導(dǎo)體研宄與生產(chǎn)中，很多工藝工程需要在無(wú)水、無(wú)氧、無(wú)塵等環(huán)境中進(jìn)行，也就是在手套箱中或真空設(shè)備中進(jìn)行，這研宄中用的很多基材，如ITO玻璃、硅片等，需要多遍清洗，包括濕法清洗、干法清洗，干法清洗主要有等離子清洗和紫外臭氧清洗。而目前沒(méi)有適合手套箱應(yīng)用的紫外臭氧清洗機(jī)，現(xiàn)有的紫外臭氧清洗機(jī)要么體積大無(wú)法放入手套箱，只能在外邊使用，無(wú)法避免清洗完傳遞到手套箱過(guò)程的二次污染及氧化等；即使有一些小巧的設(shè)備能放入手套箱箱體中，在控制等方面也不適合手套箱箱體內(nèi)部操作，對(duì)于紫外臭氧清洗而言，反應(yīng)腔也不是密封的，會(huì)泄露臭氧到手套箱箱體內(nèi)，并且占用了手套箱箱體內(nèi)部寶貴的利用空間。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種可以避免樣品二次污染或氧化、且操作方便又節(jié)省手套箱箱體空間的具有紫外臭氧清洗功能的手套箱。
[0004]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0005]一種具有紫外臭氧清洗功能的手套箱，包括手套箱箱體，該手套箱箱體上固定設(shè)置有腔室，該腔室具有連通外部的至少一外門、以及連通手套箱箱體內(nèi)部的至少一內(nèi)門，該腔室的內(nèi)壁上固定設(shè)置至少一紫外清洗燈，該腔室上還設(shè)置有連通該腔室內(nèi)部的至少一開(kāi)口或管路，該開(kāi)口或管路連接工作氣氣源，用于向腔室內(nèi)輸入清洗所需的工作氣，該腔室還連接真空泵。
[0006]本實(shí)用新型的手套箱主要對(duì)原先的手套箱箱體作出了改進(jìn)，在手套箱箱體上加入了獨(dú)立的腔室，該腔室內(nèi)安裝了紫外清洗燈，同時(shí)連接了工作氣氣源和真空泵，通過(guò)外門將樣品放入腔室后，真空泵可以形成腔室的真空環(huán)境，此時(shí)開(kāi)啟紫外清洗燈和工作氣氣源，便可以完成對(duì)樣品的紫外臭氧清洗，此后再通過(guò)腔室的內(nèi)門將樣品放入到手套箱箱體內(nèi)，完成其他操作。
[0007]因此，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，其在手套箱箱體上形成了一個(gè)獨(dú)立的空間，使得清洗過(guò)程可以獨(dú)立于手套箱箱體之外卻又可以與手套箱箱體有機(jī)結(jié)合，在腔室內(nèi)清洗時(shí)無(wú)需手進(jìn)入進(jìn)行操作，在節(jié)省手套箱箱體空間的同時(shí)還提高了清洗操作的便利性，同時(shí)在密閉的腔室內(nèi)完成清洗后直接進(jìn)入到手套箱箱體內(nèi)，避免了與外界的接觸，也可以有效地避免樣品的二次污染或氧化問(wèn)題。
[0008]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還可以作如下改進(jìn):
[0009]作為優(yōu)選的方案，上述的腔室固定設(shè)置于手套箱箱體的底部。
[0010]采用上述優(yōu)選的方案，可以便于從手套箱箱體的底部放入樣品，也可以便于從手套箱箱體內(nèi)從腔室內(nèi)取出樣品，同時(shí)利用了底部的底座內(nèi)的空間，也可以最大程度地降低整個(gè)手套箱的體積。
[0011]作為優(yōu)選的方案，上述的腔室與手套箱箱體之間通過(guò)對(duì)接法蘭進(jìn)行連接。
[0012]采用上述優(yōu)選的方案，在便于腔室與手套箱箱體之間的裝卸的同時(shí)，還可以保證腔室與手套箱箱體之間的無(wú)泄漏密封連接，保證腔室內(nèi)的真空環(huán)境。
[0013]作為優(yōu)選的方案，上述的開(kāi)口或管路設(shè)置連接腔室的側(cè)壁。
[0014]采用上述優(yōu)選的方案，可以便于工作氣向腔室內(nèi)的輸入。
[0015]作為優(yōu)選的方案，上述的腔室的底部還固定連接有第二腔室。
[0016]采用上述優(yōu)選的方案，可以提供線路、管路及電源匹配器等的排放空間，方便布局，并且外觀看上去美觀整潔、一體；另外還可以在腔室和外部之間形成一道阻擋屏障，即使腔室出現(xiàn)泄漏，漏氣也只會(huì)進(jìn)入到該第二腔室內(nèi)，從而可以進(jìn)一步地保持腔室保持持久的真空環(huán)境。
[0017]作為優(yōu)選的方案，上述的真空泵上還連接有臭氧分解裝置。
[0018]采用上述優(yōu)選的方案，可以分解真空腔內(nèi)多余的臭氧，使之不會(huì)直接被排放而污染大氣。
【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1為本實(shí)用新型的一種具有紫外臭氧清洗功能的手套箱的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]其中，1.手套箱箱體11.控制器12.過(guò)渡倉(cāng)13.托盤14.真空泵2.腔室
21.外門22.內(nèi)門23.開(kāi)關(guān)3.紫外清洗燈4.管路41.工作氣氣源5.真空泵51.管路6.對(duì)接法蘭7.第二腔室8.臭氧分解裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面結(jié)合附圖詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式。
[0022]為了達(dá)到本實(shí)用新型的目的，如圖1所示，在本實(shí)用新型的一種具有紫外臭氧清洗功能的手套箱的其中一些實(shí)施方式中，其包括手套箱箱體1，該手套箱箱體I上設(shè)置有控制器11和過(guò)渡倉(cāng)12，控制器11用以對(duì)手套箱進(jìn)行通電等作業(yè)，過(guò)渡倉(cāng)12內(nèi)設(shè)置有托盤13，并連接有真空泵14，對(duì)于手套箱的其他部件及結(jié)構(gòu)，都可以從現(xiàn)有技術(shù)中獲知，在此不再一一贅述；而作為改進(jìn)，該手套箱箱體I上固定設(shè)置有腔室2，該腔室2具有連通外部的外門21、以及連通手套箱箱體I內(nèi)部的內(nèi)門22，該腔室2的內(nèi)壁上固定設(shè)置紫外清洗燈3，該腔室2上還設(shè)置有連通該腔室2內(nèi)部的管路4，該管路4連接工作氣氣源41，用于向腔室2內(nèi)輸入清洗所需的工作氣，工作氣可以是空氣、氧氣，或者含有氧氣的其他氣體，該腔室2還連接真空泵5，該真空泵5具體可以通過(guò)管路51連通腔室2，該真空泵5將該腔室2進(jìn)行抽真空處理。
[0023]上述的實(shí)施方式中，紫外清洗燈3還可以根據(jù)需要設(shè)置為多個(gè)，該紫外清洗燈3具體可以是VUV低壓紫外汞燈，能同時(shí)發(fā)射185nm和254nm兩種波長(zhǎng)紫外光，185nm波長(zhǎng)紫外光的光能量能將空氣中的氧氣(02)分解成臭氧(03)，而254nm波長(zhǎng)的紫外光的光能量能將03分解成02和活性氧(O)，活性氧原子(O)有強(qiáng)烈的氧化作用，能徹底清除了粘附在物體表面上的有機(jī)污染物；工作氣氣源41還可以通過(guò)多路管路4向腔室2內(nèi)輸入，或者管路4也可以取消，直接設(shè)置成腔室2上的開(kāi)口也可；真空泵5可以是獨(dú)立的真空油泵或干