手持光罩夾的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別是涉及一種手持光罩夾。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)有技術(shù)的光刻設(shè)備中，通常是使用機(jī)械手臂將光罩傳輸至設(shè)備內(nèi)部，將光罩(Mask or Reticle)放置位于多組透鏡的上方，以進(jìn)行曝光等工藝。通常情況下，所述光罩的傳送處理都是由機(jī)械手完成的，但有些時(shí)候不得不使用手動(dòng)去處理沒有保護(hù)的光罩，譬如，在光刻的過程中，如果光刻設(shè)備出現(xiàn)意外或者故障時(shí)，由于光刻設(shè)備無法繼續(xù)進(jìn)行正常工作，需要手動(dòng)取出所述光罩，重新對(duì)設(shè)備機(jī)臺(tái)進(jìn)行恢復(fù)之后才能進(jìn)行工作。
[0003]現(xiàn)有工藝中，在需要手動(dòng)處理所述光罩的時(shí)候，一般需要使用手動(dòng)光罩夾來實(shí)現(xiàn)對(duì)所述光罩的取出和轉(zhuǎn)移?，F(xiàn)有的手持光罩夾如圖1所示，圖1為所述手持光罩夾的三維結(jié)構(gòu)示意圖，由圖1可知，所述手持光罩夾包括:手柄11;與所述手柄11 一端相連接的一對(duì)夾臂12 ;位于所述夾臂12 —端的一對(duì)夾爪13，所述兩個(gè)夾爪13相對(duì)的一側(cè)設(shè)有開口 14 ;彈簧(未示出)，所述彈簧位于所述手持光罩夾的內(nèi)部，且與所述手柄11和所述夾臂12相連接。在使用的過程中，所述兩個(gè)設(shè)有所述開口 14的所述夾爪13通過所述夾臂12在所述彈簧的作用下分別夾緊所述光罩的兩個(gè)側(cè)邊。然而，現(xiàn)有的所述手持光罩夾沒有任何防護(hù)裝置用以放置所述光罩的掉落或光罩內(nèi)薄膜的損毀，且所述手持光罩夾的所述手柄11、夾臂12和夾爪13的底部在放置時(shí)并非位于同一平面上，在使用所述手持光罩夾手動(dòng)轉(zhuǎn)移或處理所述光罩的時(shí)候，尤其是將所述手持光罩夾放置時(shí)，容易導(dǎo)致其所夾持的光罩掉落或所述光罩上的薄膜被損毀。
[0004]而且，請(qǐng)參閱圖2，圖2為所述光罩15的俯視圖，由圖2可知，所述光罩15上存在有圖形區(qū)域16，位于所述圖形區(qū)域16內(nèi)的線條極細(xì)，并且薄膜較薄，若手指觸碰上回污染所述圖形區(qū)域16，嚴(yán)重的則會(huì)導(dǎo)致所述光罩15無法正常使用，甚至報(bào)廢。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)中，使用所述手動(dòng)光罩夾處理所述光罩15時(shí)存在以下風(fēng)險(xiǎn):
[0006]1.若手指觸碰到所述光罩15，則會(huì)在所述光罩15的圖形區(qū)域16內(nèi)造成污染，導(dǎo)致生產(chǎn)出來的晶片存在缺陷甚至報(bào)廢；
[0007]2.所述光罩15若損壞或報(bào)廢，對(duì)所述光罩15進(jìn)行修復(fù)或重新制作一塊新的所述光罩15的時(shí)間比較長(zhǎng)，而在所述光罩15修復(fù)或重新制作的過程中，相關(guān)的生產(chǎn)線處于停線狀態(tài)，這必定會(huì)造成巨大的損失。
[0008]因此，提供一種改進(jìn)型的手持光罩夾非常必要。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0009]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種手持光罩夾，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中由于手持光罩夾沒有任何防護(hù)裝置，容易導(dǎo)致在人工轉(zhuǎn)移或處理光罩時(shí)造成光罩掉落或光罩內(nèi)的薄膜被損毀的問題。
[0010]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種手持光罩夾，包括:手柄、與所述手柄相連接一對(duì)夾臂和位于所述夾臂上的一對(duì)夾爪，所述手持光罩夾的底部設(shè)有多個(gè)可收放的支撐架。
[0011]作為本實(shí)用新型的手持光罩夾的一種優(yōu)選方案，所述支撐架完全打開后，所述支撐架的底部位于同一平面上。
[0012]作為本實(shí)用新型的手持光罩夾的一種優(yōu)選方案，所述支撐架橫截面的形狀為三角形、圓形或多邊形。
[0013]作為本實(shí)用新型的手持光罩夾的一種優(yōu)選方案，所述支撐架的數(shù)目為三個(gè)，分別位于兩個(gè)所述夾爪的底部和所述手柄的底部。
[0014]作為本實(shí)用新型的手持光罩夾的一種優(yōu)選方案，所述夾爪的底部和所述手柄的底部均設(shè)有用于收容所述支撐架的收容槽，所述支撐架的一端鉸接于所述收容槽的側(cè)壁或底部。
[0015]作為本實(shí)用新型的手持光罩夾的一種優(yōu)選方案，所述收容槽的深度大于或等于所述支撐架的厚度。
[0016]作為本實(shí)用新型的手持光罩夾的一種優(yōu)選方案，所述夾爪和所述手柄的底部均設(shè)有深槽；所述支撐架包括第一子支撐架和第二子支撐架，所述第一子支撐架部分位于所述深槽內(nèi)，所述第一子支撐架相對(duì)的兩側(cè)設(shè)有對(duì)應(yīng)的通孔，所述通孔位于所述深槽外側(cè)，所述第一子支撐架內(nèi)部設(shè)有空腔，所述第一子支撐架底部設(shè)有第一開口，適于所述第二子支撐架進(jìn)出；所述第二子支撐架位于所述空腔內(nèi)，所述第二子支撐架與所述通孔相對(duì)應(yīng)的兩側(cè)均設(shè)有第一彈簧和滑塊；所述空腔的橫向尺寸大于所述第二子支撐架的橫向尺寸且小于所述第二子支撐架的橫向尺寸、兩個(gè)所述第一彈簧的自然長(zhǎng)度和兩個(gè)所述滑塊的橫向尺寸之和。
[0017]作為本實(shí)用新型的手持光罩夾的一種優(yōu)選方案，所述夾爪為塑料夾爪，兩個(gè)所述夾爪相對(duì)的一側(cè)均設(shè)有第二開口，且位于所述兩個(gè)夾爪內(nèi)的第二開口相對(duì)應(yīng)。
[0018]作為本實(shí)用新型的手持光罩夾的一種優(yōu)選方案，所述手持光罩夾還包括一彈簧，所述彈簧位于所述手持光罩夾的內(nèi)部，且與所述手柄和夾臂均相連接。
[0019]如上所述，本實(shí)用新型的手持光罩夾，具有以下有益效果:在所述手持光罩夾的底部設(shè)置多個(gè)支撐架，且當(dāng)所述支撐架完全打開后所述支撐架的底部均位于同一平面上，可以在使用所述手持光罩夾轉(zhuǎn)移或處理光罩的過程中，將光罩平穩(wěn)地放在平整的工作臺(tái)面上，也可以與任意平板配合實(shí)現(xiàn)光罩短距離的移動(dòng)，確保光罩的安全，大大降低了光罩掉落及光罩圖形區(qū)域內(nèi)薄膜被人為損壞的風(fēng)險(xiǎn)。所述支撐架為可收放的支撐架，當(dāng)不需要這些支撐架時(shí)，可以將所述支撐架收起來使用，使得所述手持光罩夾具有多功能的特性。
【附圖說明】
[0020]圖1顯示為現(xiàn)有技術(shù)中手持光罩夾的三維結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]圖2顯示為現(xiàn)有技術(shù)中光罩的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖3顯示為本實(shí)用新型的手持光罩夾的三維結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖4顯示為本實(shí)用新型實(shí)施例一中提供的手持光罩夾的支撐架收起時(shí)的縱截面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]圖5顯示為本實(shí)用新型實(shí)施例一中提供的手持光罩夾的支撐架打開時(shí)的縱截面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]圖6顯示為本實(shí)用新型實(shí)施例二中提供的手持光罩夾的支撐架收起時(shí)的縱截面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]圖7顯示為本實(shí)用新型實(shí)施例二中提供的手持光罩夾的支撐架打開時(shí)的縱截面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0027]元件標(biāo)號(hào)說明
[0028]11手柄
[0029]12夾臂
[0030]13夾爪
[0031]14開口
[0032]15光罩
[0033]16圖形區(qū)域
[0034]21手柄
[0035]22夾臂
[0036]23夾爪
[0037]231第二開口
[0038]24支撐架
[0039]241第一子支撐架
[0040]2411 通孔
[0041]2412 空腔
[0042]242第二子支撐架
[0043]25收容槽
[0044]26第一彈簧
[0045]27滑塊
[0046]Cl1收容槽的深度
[0047]d2支撐架的厚度
[0048]L1空腔的橫向尺寸
[0049]L2第二子支撐架的橫向尺寸
[0050]L3第一彈簧的自然長(zhǎng)度
[0051]L4滑塊的橫向尺寸
【具體實(shí)施方式】
[0052]以下由特定的具體實(shí)施例說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。
[0053]請(qǐng)參閱圖3至圖7。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中部”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍，其相對(duì)關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。
[0054]實(shí)施例一
[0055]本實(shí)用新型提供一種手持光罩夾，請(qǐng)參閱圖3，其中，圖3為所述手持光罩夾的三維結(jié)構(gòu)示意圖，。由圖3可知，所述手持光罩夾至少包括:手柄21、與所述手柄21相連接一對(duì)夾臂22和位于所述夾臂22上的一對(duì)夾爪23 ;所述手持光罩夾的底部設(shè)有多個(gè)可收放的支撐架24。
[0056]具體的，請(qǐng)參閱圖3，本實(shí)施例中，所述支撐架24的數(shù)目為三個(gè)，分別位于兩個(gè)所述夾爪23的底部和所述手柄21的底部。
[0057]具體的，所述支撐架24橫截面的形狀可以為三角形、圓形或多邊形，優(yōu)選地，本實(shí)施例中，所述支撐架24橫截面的形狀為長(zhǎng)方形。需要說明的是，無論所述支撐架24橫截面的形狀為哪一種，均盡量要保證所述支撐架24的底部為平面，以確保打開所述支撐架24，將所述手持光罩夾置于一個(gè)平面上時(shí)，所述手持光罩夾不容易傾倒。
[0058]具體的，所述支撐架24完全打開后，三個(gè)所述支撐架24的底部應(yīng)位于同一平面上，以確保能夠?qū)⑺鍪殖止庹謯A平穩(wěn)的放置。
[0059]具體的，請(qǐng)參閱圖4至圖5，其中，圖4為圖3中所述夾爪23底部的所述支撐架24打開時(shí)的縱截面結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為圖3中所述夾爪23底部的支撐架24打開時(shí)的縱截面結(jié)構(gòu)示意圖。由圖4和圖5可知，所述夾爪