一種硅片檢測(cè)用固定器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于硅片檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種硅片檢測(cè)用固定器。
【背景技術(shù)】
[0002]在對(duì)硅片進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，除生產(chǎn)線外，一般通過人工以佩戴手套的形式進(jìn)行對(duì)硅片的取放，然后因?yàn)槭痔妆旧碇圃旃に囉邢蓿茈y保證手套在硅片的表面不會(huì)留下劃痕或者手套表面的脫落物，從而影響硅片表面的光滑度，影響硅片檢測(cè)數(shù)值的準(zhǔn)確性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的是提供一種硅片檢測(cè)用固定器，解決現(xiàn)有技術(shù)中人工拿取硅片容易對(duì)硅片表面造成污損的問題。
[0004]本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:
[0005]—種硅片檢測(cè)用固定器，包括一個(gè)中空桶狀的固定器外殼，在所述固定器外殼的一端設(shè)置有一個(gè)吸盤，所述吸盤的外壁與固定器外殼對(duì)應(yīng)端部之間柔性連接，在所述固定器外殼的另一端設(shè)置有吸盤驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，吸盤驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一個(gè)固定在固定器外殼上的固定桿以及一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在固定桿與固定器外殼連接部位的轉(zhuǎn)動(dòng)桿，在所述吸盤的中部設(shè)置有一個(gè)拉桿，所述拉桿與轉(zhuǎn)動(dòng)桿之間柔性連接。
[0006]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步創(chuàng)新，在所述拉桿的端部設(shè)置有一個(gè)球頭，在所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿上設(shè)置有一個(gè)朝向固定器外殼內(nèi)部延伸的延伸部，在所述延伸部上設(shè)置有一個(gè)與轉(zhuǎn)動(dòng)球頭相配合的球碗。
[0007]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步創(chuàng)新，所述吸盤外壁與固定器外殼之間通過一個(gè)連接膠圈連接。
[0008]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步創(chuàng)新，在所述吸盤的外緣側(cè)對(duì)應(yīng)吸盤內(nèi)壁面的位置粘黏有一個(gè)柔性密封圈，柔性密封圈的硬度小于吸盤的硬度。
[0009]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步創(chuàng)新，在所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿與固定桿之間設(shè)置有舒張彈簧。
[0010]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0011]1、本實(shí)用新型通過一個(gè)簡(jiǎn)易的吸盤機(jī)構(gòu)，在對(duì)硅片進(jìn)行轉(zhuǎn)移的同時(shí)，可以盡可能的降低手套給硅片帶來的污損，本實(shí)用新型只通過按壓就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)吸盤的固定，操作也更為簡(jiǎn)易。
[0012]2、球頭與球碗配合的連接機(jī)構(gòu)相比于其他具有一定彈性的柔性連接機(jī)構(gòu)具有更好的抗拉伸性，同時(shí)也不容易讓因?yàn)檫B接機(jī)構(gòu)的變形而使得吸盤發(fā)生脫落。
[0013]3、柔性膠圈可以彌補(bǔ)一些凹凸不平的表面，使得本固定機(jī)構(gòu)在一些毛胚狀態(tài)下的硅片上也能有較好的固定效果。
[0014]4、彈簧可以使得轉(zhuǎn)動(dòng)桿與固定桿之間自動(dòng)回位，使得吸盤從硅片表面脫落。
【附圖說明】
[0015]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖中:固定器外殼1、吸盤2、連接膠圈3、柔性密封圈4、固定桿5、轉(zhuǎn)動(dòng)桿6、舒張彈簧7、球碗8、轉(zhuǎn)動(dòng)球頭9、拉桿10。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0018]—種硅片檢測(cè)用固定器，包括一個(gè)中空桶狀的固定器外殼1，在所述固定器外殼1的一端設(shè)置有一個(gè)吸盤2，所述吸盤2的外壁與固定器外殼1對(duì)應(yīng)端部之間柔性連接，在所述固定器外殼1的另一端設(shè)置有吸盤2驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，吸盤2驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一個(gè)固定在固定器外殼1上的固定桿5以及一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在固定桿5與固定器外殼1連接部位的轉(zhuǎn)動(dòng)桿6，在所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿6與固定桿5之間設(shè)置有舒張彈簧7，在所述吸盤2的中部設(shè)置有一個(gè)拉桿10，在所述拉桿10的端部設(shè)置有一個(gè)球頭9，在所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿6上設(shè)置有一個(gè)朝向固定器外殼1內(nèi)部延伸的延伸部，在所述延伸部上設(shè)置有一個(gè)與轉(zhuǎn)動(dòng)球頭9相配合的球碗8 ;
[0019]所述吸盤2外壁與固定器外殼1之間通過一個(gè)連接膠圈3連接；
[0020]在所述吸盤2的外緣側(cè)對(duì)應(yīng)吸盤2內(nèi)壁面的位置粘黏有一個(gè)柔性密封圈4，柔性密封圈4的硬度小于吸盤2的硬度；
[0021]固定式，通過按壓轉(zhuǎn)動(dòng)桿6，通過球頭機(jī)構(gòu)拉動(dòng)拉桿10，使得吸盤2表面與硅片表面之間的空隙體積變大，空氣濃度變低，負(fù)壓變高，實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片的吸附固定，放松時(shí)，通過舒張彈簧7回位拉桿10，使得吸盤2中部被拉桿10頂出，使得空隙體積變小，實(shí)現(xiàn)對(duì)吸盤2的放松。
[0022]本產(chǎn)品的技術(shù)進(jìn)步有:
[0023]1、本實(shí)用新型通過一個(gè)簡(jiǎn)易的吸盤機(jī)構(gòu)，在對(duì)硅片進(jìn)行轉(zhuǎn)移的同時(shí)，可以盡可能的降低手套給硅片帶來的污損，本實(shí)用新型只通過按壓就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)吸盤的固定，操作也更為簡(jiǎn)易。
[0024]2、球頭與球碗配合的連接機(jī)構(gòu)相比于其他具有一定彈性的柔性連接機(jī)構(gòu)具有更好的抗拉伸性，同時(shí)也不容易讓因?yàn)檫B接機(jī)構(gòu)的變形而使得吸盤發(fā)生脫落。
[0025]3、柔性膠圈可以彌補(bǔ)一些凹凸不平的表面，使得本固定機(jī)構(gòu)在一些毛胚狀態(tài)下的硅片上也能有較好的固定效果。
[0026]4、彈簧可以使得轉(zhuǎn)動(dòng)桿與固定桿之間自動(dòng)回位，使得吸盤從硅片表面脫落。
[0027]以上述依據(jù)本實(shí)用新型的理想實(shí)施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)實(shí)用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)實(shí)用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅片檢測(cè)用固定器，其特征是:包括一個(gè)中空桶狀的固定器外殼，在所述固定器外殼的一端設(shè)置有一個(gè)吸盤，所述吸盤的外壁與固定器外殼對(duì)應(yīng)端部之間柔性連接，在所述固定器外殼的另一端設(shè)置有吸盤驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，吸盤驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一個(gè)固定在固定器外殼上的固定桿以及一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在固定桿與固定器外殼連接部位的轉(zhuǎn)動(dòng)桿，在所述吸盤的中部設(shè)置有一個(gè)拉桿，所述拉桿與轉(zhuǎn)動(dòng)桿之間柔性連接。2.如權(quán)利要求1所述的一種硅片檢測(cè)用固定器，其特征是:在所述拉桿的端部設(shè)置有一個(gè)球頭，在所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿上設(shè)置有一個(gè)朝向固定器外殼內(nèi)部延伸的延伸部，在所述延伸部上設(shè)置有一個(gè)與轉(zhuǎn)動(dòng)球頭相配合的球碗。3.如權(quán)利要求1所述的一種硅片檢測(cè)用固定器，其特征是:所述吸盤外壁與固定器外殼之間通過一個(gè)連接膠圈連接。4.如權(quán)利要求1所述的一種硅片檢測(cè)用固定器，其特征是:在所述吸盤的外緣側(cè)對(duì)應(yīng)吸盤內(nèi)壁面的位置粘黏有一個(gè)柔性密封圈，柔性密封圈的硬度小于吸盤的硬度。5.如權(quán)利要求1所述的一種硅片檢測(cè)用固定器，其特征是:在所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿與固定桿之間設(shè)置有舒張彈簧。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種硅片檢測(cè)用固定器，包括一個(gè)中空桶狀的固定器外殼，在固定器外殼的一端設(shè)置有一個(gè)吸盤，吸盤的外壁與固定器外殼對(duì)應(yīng)端部之間柔性連接，在固定器外殼的另一端設(shè)置有吸盤驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，吸盤驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一個(gè)固定在固定器外殼上的固定桿以及一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在固定桿與固定器外殼連接部位的轉(zhuǎn)動(dòng)桿，在吸盤的中部設(shè)置有一個(gè)拉桿，拉桿與轉(zhuǎn)動(dòng)桿之間柔性連接；本實(shí)用新型通過一個(gè)簡(jiǎn)易的吸盤機(jī)構(gòu)，在對(duì)硅片進(jìn)行轉(zhuǎn)移的同時(shí)，可以盡可能的降低手套給硅片帶來的污損，本實(shí)用新型只通過按壓就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)吸盤的固定，操作也更為簡(jiǎn)易。
【IPC分類】B25B11/00
【公開號(hào)】CN204954670
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520581775
【發(fā)明人】何晨旭, 孔祥照, 朱潔, 朱姚培
【申請(qǐng)人】江蘇榮馬新能源有限公司
【公開日】2016年1月13日
【申請(qǐng)日】2015年8月5日