本發(fā)明涉及多晶硅生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，具體而言，涉及一種滅火裝置及多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

目前改良西門子法多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生含有氯硅烷的可燃廢氣，這些廢氣具有可燃性和刺激性。不能夠直接排空，其通常的處理方法是由兩級(jí)尾氣淋洗塔進(jìn)行串聯(lián)，通過(guò)尾氣與堿性淋洗水的接觸而使氯硅烷發(fā)生水解反應(yīng)，水解后的sio2、hcl被淋洗水吸收。氮?dú)?、氫氣等由塔頂煙囪飄出。

在實(shí)際生產(chǎn)中，由于生產(chǎn)裝置操作不當(dāng)會(huì)導(dǎo)致氯硅烷廢氣的量突然增加。尤其是氯硅烷中二氯二氫硅含量增加時(shí)，此物質(zhì)燃點(diǎn)很低，很容易著火。導(dǎo)致淋洗塔在運(yùn)行過(guò)程中會(huì)突然發(fā)生煙囪冒火的現(xiàn)象，尤其是淋洗塔出氣口的位置，更容易著火，并且用常規(guī)的消防水澆至煙囪口沒(méi)有辦法撲滅火焰。只能等燃點(diǎn)低的輕組分物質(zhì)燃燒完后才能滅火。對(duì)安全生產(chǎn)造成隱患，且著火時(shí)會(huì)燒毀煙囪并產(chǎn)生大量的粉塵物質(zhì)，污染環(huán)境。

提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、自動(dòng)化程度高，能夠自動(dòng)撲滅淋洗塔出氣口處明火的滅火裝置，這對(duì)于多晶硅的安全生產(chǎn)具有比較重要的現(xiàn)實(shí)意義。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供了一種滅火裝置，其能夠?qū)α芟此鰵饪诟浇拿骰鸺皶r(shí)自動(dòng)撲滅。

本發(fā)明的另一目的在于提供一種多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)，其包括了淋洗塔和上述滅火裝置，故能夠?qū)α芟此鰵饪诟浇拿骰鸺皶r(shí)自動(dòng)撲滅。

本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種滅火裝置，用于與淋洗塔連接，包括：

罐體，所述罐體包括連接管和第一排氣口，所述連接管用于與所述淋洗塔連接；

感應(yīng)裝置，用于感應(yīng)罐體的煙火；

輸氣管，所述輸氣管的一端與所述罐體的內(nèi)部連通，另一端用于與氣源連接，所述氣源能夠供應(yīng)不可燃?xì)怏w；

截止閥，所述截止閥設(shè)置在所述輸氣管上；

控制器，所述控制器與所感應(yīng)裝置、所述截止閥連接；所述控制器能夠打開(kāi)或關(guān)閉所述截止閥。

進(jìn)一步，

所述連接管還包括第一開(kāi)關(guān)門、第二開(kāi)關(guān)門、第二排氣口和連桿；所述第一開(kāi)關(guān)門用于打開(kāi)或關(guān)閉所述連接管；所述第二排氣口設(shè)置在所述連接管的管壁上，所述第二開(kāi)關(guān)門用于打開(kāi)或關(guān)閉所述第二排氣口；

所述第二開(kāi)關(guān)門相對(duì)于所述第一開(kāi)關(guān)門更靠近所述連接管的進(jìn)氣口；

所述第一開(kāi)關(guān)門及所述第二開(kāi)關(guān)門分別與所述連接管可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述連桿的一端與所述第一開(kāi)關(guān)門鉸接，另一端與所述第二開(kāi)關(guān)門鉸接，所述第一開(kāi)關(guān)門關(guān)閉時(shí)能夠通過(guò)所述連桿帶動(dòng)所述第二開(kāi)關(guān)門打開(kāi)；

所述輸氣管還包括第一支管，所述第一開(kāi)關(guān)門打開(kāi)時(shí)，所述第一支管的出氣口位于所述第一開(kāi)關(guān)門的后面，從所述第一支管排出的氣體能夠?qū)⑺龅谝婚_(kāi)關(guān)門關(guān)閉。

由于采用了上述結(jié)構(gòu)，上述可以防止罐體的內(nèi)明火進(jìn)入到淋洗塔內(nèi)，并且防止淋洗塔內(nèi)繼續(xù)向罐體內(nèi)通入可燃?xì)怏w，有助于滅火。

進(jìn)一步，

所述連接管的內(nèi)壁上設(shè)置有環(huán)形凸緣，所述第一開(kāi)關(guān)門關(guān)閉時(shí)，所述凸緣與所述第一開(kāi)關(guān)門配合密封。

環(huán)形凸緣上還可以設(shè)置密封件，從而當(dāng)?shù)谝婚_(kāi)關(guān)門關(guān)閉時(shí)，能夠保證第一開(kāi)關(guān)門與連接管管壁之間的可靠密封。

進(jìn)一步，

所述輸氣管還包括第二支管，所述第二支管通向所述第二排氣口附近。

進(jìn)一步，

所述氣源壓力大于或等于0.6mpa。

進(jìn)一步，

所述氣源為氮?dú)庠础?/p>

進(jìn)一步，

所述感應(yīng)裝置為電接點(diǎn)溫度計(jì)。

進(jìn)一步，

所述連接管的進(jìn)氣口設(shè)置有法蘭。

進(jìn)一步，

所述感應(yīng)裝置設(shè)置在所述罐體的排氣口上部。

一種多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括淋洗塔和所述的滅火裝置，所述連接管與所述淋洗塔的排氣管連接。

本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明通過(guò)上述設(shè)計(jì)得到的滅火裝置及多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)，當(dāng)從淋洗塔中出來(lái)的可燃?xì)怏w著火時(shí)，感應(yīng)裝置感應(yīng)到煙火后，給控制器信號(hào)，控制器打開(kāi)輸氣管上的截止閥，輸氣管將大量的非可燃?xì)怏w通入到罐體內(nèi)從而進(jìn)行及時(shí)滅火；滅火完畢后，感應(yīng)裝置通過(guò)控制器關(guān)閉截止閥。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施方式的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施方式中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，應(yīng)當(dāng)理解，以下附圖僅示出了本發(fā)明的某些實(shí)施例，因此不應(yīng)被看作是對(duì)范圍的限定，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他相關(guān)的附圖。

圖1是本發(fā)明實(shí)施方式提供的滅火裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明實(shí)施方式提供的滅火裝置的局部視圖；

圖3是本發(fā)明實(shí)施方式提供的滅火裝置的局部視圖；

圖4是本發(fā)明實(shí)施方式提供的多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖標(biāo)：100-滅火裝置；110-罐體；112-連接管；1122-第一開(kāi)關(guān)門；1124-第二開(kāi)關(guān)門；1126-第二排氣口；1128-連桿；114-第一排氣口；120-感應(yīng)裝置；130-輸氣管；131-第一支管；132-第二支管；133-截止閥；140-控制器；200-多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)；210-淋洗塔。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明實(shí)施方式的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施方式中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施方式是本發(fā)明一部分實(shí)施方式，而不是全部的實(shí)施方式?；诒景l(fā)明中的實(shí)施方式，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施方式，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

因此，以下對(duì)在附圖中提供的本發(fā)明的實(shí)施方式的詳細(xì)描述并非旨在限制要求保護(hù)的本發(fā)明的范圍，而是僅僅表示本發(fā)明的選定實(shí)施方式?；诒景l(fā)明中的實(shí)施方式，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施方式，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，指示方位或位置關(guān)系的術(shù)語(yǔ)為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的設(shè)備或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。

在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語(yǔ)應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通或兩個(gè)元件的相互作用關(guān)系。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明中的具體含義。

在本發(fā)明的描述中，需要說(shuō)明的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，或者是該發(fā)明產(chǎn)品使用時(shí)慣常擺放的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”、“第三”等僅用于區(qū)分描述，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。

此外，術(shù)語(yǔ)“水平”、“豎直”、“懸垂”等術(shù)語(yǔ)并不表示要求部件絕對(duì)水平或懸垂，而是可以稍微傾斜。如“水平”僅僅是指其方向相對(duì)“豎直”而言更加水平，并不是表示該結(jié)構(gòu)一定要完全水平，而是可以稍微傾斜。

在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征之上或之下可以包括第一和第二特征直接接觸，也可以包括第一和第二特征不是直接接觸而是通過(guò)它們之間的另外的特征接觸。而且，第一特征在第二特征之上、上方和上面包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征之下、下方和下面包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或僅僅表示第一特征水平高度小于第二特征。

實(shí)施例1：

本實(shí)施例提供了一種滅火裝置100，用于與淋洗塔210連接。如圖1，這種滅火裝置100包括罐體110、感應(yīng)裝置120、控制器140和輸氣管130。輸氣管130上設(shè)置有截止閥133，并且與氣源連接，氣源能夠提供不可燃?xì)怏w。輸氣管130與罐體110連接，感應(yīng)裝置120設(shè)置在罐體110的頂部或內(nèi)部，感應(yīng)裝置120與控制器140連接，控制器140控制截止閥133的開(kāi)關(guān)。

如圖1和圖2，罐體110是由鋼板制作而成的筒狀結(jié)構(gòu)，其下面設(shè)置有連接管112，連接管112的端部設(shè)置有法蘭，用于與淋洗塔210連接。罐體110設(shè)置有感應(yīng)裝置120和控制器140，感應(yīng)裝置120可以是煙霧傳感器或者電接點(diǎn)溫度計(jì)，本實(shí)施例采用了電接點(diǎn)溫度計(jì)?？刂破?40用于接收感應(yīng)裝置120的信號(hào)，本實(shí)施例采用了plc，在其它實(shí)施例中可以采用單片機(jī)。

輸氣管130的一端與氣源連接，并且輸氣管130上設(shè)置有截止閥133，截止閥133與控制器140電連接，控制器140能后控制截止閥133的開(kāi)關(guān)。本實(shí)施例中，截止閥133采用了電控閥門，可以直接購(gòu)買，本實(shí)施例不對(duì)其做詳細(xì)描述。氣源采用了氮?dú)庠?，并且其壓力?.6mpa以上。

如圖2和圖3，連接管112還包括第一開(kāi)關(guān)門1122、第二開(kāi)關(guān)門1124、第二排氣口1126和連桿1128。第一開(kāi)關(guān)門1122與連接管112可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，用于打開(kāi)或關(guān)閉連接管112，當(dāng)?shù)谝婚_(kāi)關(guān)門1122關(guān)閉連接管112時(shí)，連接管112被封堵。為了更好的保證第一開(kāi)關(guān)門1122關(guān)閉連接管112時(shí)的密封效果，在連接管112內(nèi)壁上還設(shè)置有環(huán)狀凸緣，第一開(kāi)關(guān)門1122關(guān)閉時(shí)其邊緣與環(huán)狀凸緣配合。

第二排氣口1126設(shè)置在連接管112的管壁上，并且其位置低于第一開(kāi)關(guān)門1122關(guān)閉狀態(tài)的位置，第二開(kāi)關(guān)門1124與連接管112可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，用于打開(kāi)或關(guān)閉第二排氣口1126。第二開(kāi)關(guān)門1124相對(duì)于第一開(kāi)關(guān)門1122更靠近連接管112的進(jìn)氣口。并且第一開(kāi)關(guān)門1122通過(guò)連桿1128與第二開(kāi)關(guān)門1124連接，具體為，連桿1128的一端與第一開(kāi)關(guān)門1122鉸接，另一端與第二開(kāi)關(guān)門1124鉸接。第一開(kāi)關(guān)門1122、連接管112、第二開(kāi)關(guān)門1124和連桿1128共同組成了雙搖桿機(jī)構(gòu)，當(dāng)?shù)谝婚_(kāi)關(guān)門1122關(guān)閉時(shí)通過(guò)連桿1128帶動(dòng)第二開(kāi)關(guān)門1124轉(zhuǎn)動(dòng)，并打開(kāi)第二排氣口1126。

如圖1，輸氣管130還包括第一支管131和第二支管132，第一支管131的出氣口位于第一開(kāi)關(guān)門1122的后面，從第一支管131排出的氣體能夠?qū)⒌谝婚_(kāi)關(guān)門1122關(guān)閉；第二支管132通向第二排氣口1126附近。

本實(shí)施例提供的滅火裝置100的工作原理如下：當(dāng)罐體110內(nèi)發(fā)生火災(zāi)時(shí)，感應(yīng)裝置120感應(yīng)到溫度提高到閾值以上，給控制器140信號(hào)，控制器140打開(kāi)截止閥133，輸氣管130給罐體110供應(yīng)高壓氮?dú)?，大量氮?dú)膺M(jìn)入罐體110中瞬間充滿罐體110及廢氣排放口附近區(qū)域，隔絕空氣形成氮封從而達(dá)到迅速滅火。并且，第一支管131的氮?dú)饨o第一開(kāi)關(guān)門1122壓力將其關(guān)閉，防止可燃?xì)怏w進(jìn)一步通入到罐體110內(nèi)，從而可以更加快捷的滅火；同時(shí)，第二開(kāi)關(guān)門1124打開(kāi)，淋洗塔210內(nèi)的廢氣可以通過(guò)第二排氣口1126排出。為了防止第二排氣口1126附近著火，第二支管132給第二排氣口1126通氮?dú)狻?/p>

需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例為較佳實(shí)施例，在其它實(shí)施例中，可以不設(shè)置第一開(kāi)關(guān)門1122和第二開(kāi)關(guān)門1124；或者可以不設(shè)置第一支管131和第二支管132；或者感應(yīng)裝置120可以采用煙霧傳感器；或者感應(yīng)裝置120可以設(shè)置在罐體110內(nèi)部。

實(shí)施例2：

如圖4，本實(shí)施例提供了一種多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)200，包括淋洗塔210和實(shí)施例1或者其變形的滅火裝置100，淋洗塔210的排氣管與連接管112連接。淋洗塔210可以直接采用現(xiàn)有技術(shù)中的淋洗塔210，本實(shí)施例不對(duì)其做詳細(xì)描述。

以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。