專利名稱：基板貼合裝置及其方法以及基板檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種適用于液晶顯示屏板制造等的基板貼合裝置及其方法以及基板檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
如日本專利公開(kāi)特開(kāi)2000-66163號(hào)公報(bào)的記載，基板貼合裝置的結(jié)構(gòu)是具有保持上玻璃基板的上載臺(tái)和保持下玻璃基板的下載臺(tái)，在位置對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下將上玻璃基板和下玻璃基板貼合。
在傳統(tǒng)技術(shù)中，為了將上玻璃基板與下玻璃基板位置對(duì)準(zhǔn)，使用攝象裝置對(duì)上玻璃基板和下玻璃基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象，根據(jù)攝象的圖像，檢測(cè)上玻璃基板與下玻璃基板的相對(duì)位置錯(cuò)位狀態(tài)，根據(jù)檢測(cè)結(jié)果使上載臺(tái)和下載臺(tái)在基板的面方向進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，以修正上玻璃基板與下玻璃基板的相對(duì)位置錯(cuò)位。
然而，在傳統(tǒng)技術(shù)中，在使用攝象裝置對(duì)上玻璃基板和下玻璃基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象時(shí)，因上玻璃基板與下玻璃基板的板厚存在著誤差，故在對(duì)于上載臺(tái)和下載臺(tái)配置于規(guī)定位置的攝象裝置的焦點(diǎn)深度內(nèi)，不能進(jìn)入這些位置檢測(cè)用標(biāo)記，往往不能根據(jù)攝象裝置攝象的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行上玻璃基板與下玻璃基板的相對(duì)位置錯(cuò)開(kāi)狀態(tài)的檢測(cè)。結(jié)果是不能進(jìn)行基板的貼合，降低了基板貼合裝置的生產(chǎn)率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的課題在于，能可靠地使用攝象裝置對(duì)基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象。又，由此防止基板貼合的生產(chǎn)率降低。
本發(fā)明的基板貼合裝置系這樣一種基板貼合裝置，所述裝置具有保持上基板的上載臺(tái)和保持下基板的下載臺(tái)，在位置對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下，將上基板和下基板貼合，其特征在于，所述裝置包括對(duì)上下基板的至少一方基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象的攝象裝置；使攝象裝置與該至少一方的基板的相對(duì)間隔變化的移動(dòng)裝置；求出該至少一方的基板與攝象裝置相對(duì)間隔方面的數(shù)據(jù)用的裝置；以及根據(jù)相對(duì)間隔方面的數(shù)據(jù)，對(duì)移動(dòng)裝置進(jìn)行控制的控制裝置。
本發(fā)明的基板貼合裝置系這樣一種基板貼合裝置，所述裝置具有保持上基板的上載臺(tái)和保持下基板的下載臺(tái)，在位置對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下，將上基板和下基板貼合，其特征在于，所述裝置包括對(duì)上下基板的至少一方基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象的攝象裝置；使攝象裝置與該至少一方的基板的相對(duì)間隔變化的移動(dòng)裝置；算出由攝象裝置得到的標(biāo)記圖形與設(shè)定的基準(zhǔn)標(biāo)記圖形的一致度的圖像處理裝置；以及根據(jù)算出的一致度、對(duì)移動(dòng)裝置進(jìn)行控制的控制裝置。
本發(fā)明的基板貼合方法系這樣一種基板貼合方法，所述方法系在位置對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下、將保持于上載臺(tái)的上基板和保持于下載臺(tái)的下基板貼合，其特征在于，所述方法包括對(duì)上下基板的至少一方基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝像的攝象工序；算出被攝象的標(biāo)記圖形與設(shè)定的基準(zhǔn)標(biāo)記圖形的一致度的計(jì)算工序；以及根據(jù)算出的一致度、使攝象裝置與至少一方的基板的相對(duì)間隔變化的工序。
本發(fā)明的基板貼合裝置系這樣一種基板貼合裝置，所述裝置具有保持上基板的上載臺(tái)和保持下基板的下載臺(tái)，在位置對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下，將上基板和下基板貼合，其特征在于，所述裝置包括對(duì)上下基板的至少一方基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象的攝象裝置；使攝象裝置與該至少一方的基板的相對(duì)間隔變化的移動(dòng)裝置；測(cè)定該至少一方的基板厚度用的厚度測(cè)定裝置；以及根據(jù)厚度測(cè)定裝置的測(cè)定結(jié)果、對(duì)移動(dòng)裝置進(jìn)行控制的控制裝置。
本發(fā)明的基板貼合方法系這樣一種基板貼合方法，所述方法系在位置對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下、將保持于上載臺(tái)的上基板和保持于下載臺(tái)的下基板貼合，其特征在于，所述方法包括對(duì)被保持的基板厚度進(jìn)行測(cè)定的測(cè)定工序；根據(jù)被測(cè)定的基板厚度、調(diào)整攝象裝置與該至少一方的基板的相對(duì)間隔的調(diào)整工序；以及對(duì)該至少一方的基板位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象的攝像工序。
本發(fā)明的基板貼合方法系這樣一種基板貼合方法，所述方法系在位置對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下、將保持于上載臺(tái)的上基板和保持于下載臺(tái)的下基板貼合，其特征在于，所述方法包括對(duì)所述上基板和所述下基板的厚度進(jìn)行測(cè)量的測(cè)定工序；根據(jù)被測(cè)定的基板厚度，調(diào)整所述攝象裝置與基板的相對(duì)間隔，以使其兩基板的間隔成為預(yù)設(shè)定的值，并使其形成將所述兩基板與所述攝象裝置的間隔作為目標(biāo)的相對(duì)間隔的調(diào)整工序。
本發(fā)明的基板貼合裝置系這樣一種基板貼合裝置，其特征在于，所述裝置包括對(duì)基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象的攝象裝置；使攝象裝置與基板的相對(duì)間隔變化的移動(dòng)裝置；用于求出基板與攝象裝置相對(duì)間隔方面的數(shù)據(jù)用的手段(裝置)；以及根據(jù)相對(duì)間隔方面的數(shù)據(jù)，對(duì)移動(dòng)裝置進(jìn)行控制的控制裝置。


圖1為表示第1實(shí)施例的基板貼合裝置的模式圖。
圖2為表示第1實(shí)施例的控制方框圖。
圖3為表示第2實(shí)施例的基板貼合裝置的模式圖。
圖4為表示第2實(shí)施例的控制方框圖。
基板貼合裝置10如圖1所示，具有密閉容器11、上載臺(tái)21、下載臺(tái)22、壓力調(diào)整裝置30和攝象裝置40。
密閉容器11將上載臺(tái)21和下載臺(tái)22包圍，從開(kāi)閉器12將來(lái)自前一工序傳送來(lái)的上玻璃基板1和下玻璃基板2導(dǎo)入。
上載臺(tái)21可保持上玻璃基板1，由上載臺(tái)移動(dòng)裝置21A進(jìn)行升降運(yùn)動(dòng)。
下載臺(tái)22可保持下玻璃基板2，由下載臺(tái)移動(dòng)裝置22A進(jìn)行水平運(yùn)動(dòng)、旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)和升降運(yùn)動(dòng)。
壓力調(diào)整裝置30用于密閉容器11內(nèi)部壓力的調(diào)整，例如、壓力調(diào)整裝置具有真空源和氣體供給源，使用真空源將密閉容器11內(nèi)的環(huán)境減壓至真空狀態(tài)，使用氣體供給源將真空狀態(tài)的密閉容器11內(nèi)的環(huán)境升壓至大氣壓。
攝象裝置40對(duì)分別安裝在上玻璃基板1和下玻璃基板2的四個(gè)角上的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象，在密閉容器11的下方各自配置1個(gè)，與保持于上載臺(tái)21的上玻璃基板1和保持于下載臺(tái)22的下玻璃基板2的四個(gè)角相對(duì)應(yīng)。又，與攝象裝置40相對(duì)應(yīng)，在密閉容器11中設(shè)置有觀察窗11A，在下載臺(tái)22上設(shè)置有貫通孔22B，攝象裝置40通過(guò)該觀察窗11A和貫通孔22B對(duì)上玻璃基板1和下玻璃基板2的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象。另外，位置檢測(cè)用標(biāo)記被標(biāo)記在上玻璃基板1與下玻璃基板2相互對(duì)向的貼合面上。攝象裝置40由攝象機(jī)移動(dòng)裝置40A進(jìn)行升降運(yùn)動(dòng)、由此，由基板貼合裝置10產(chǎn)生的上玻璃基板1與下玻璃基板2的貼合動(dòng)作例如按照以下方法進(jìn)行。首先，在將上玻璃基板1和下玻璃基板2分別保持于上載臺(tái)21和下載臺(tái)22的狀態(tài)下，由壓力調(diào)整裝置30將密閉容器11的內(nèi)部減壓至真空狀態(tài)。其次，由攝象裝置40讀取上玻璃基板1與下玻璃基板2的位置對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，結(jié)果可檢測(cè)上玻璃基板1和下玻璃基板2兩方向的相對(duì)位置錯(cuò)位狀態(tài)，為了修正這一相對(duì)位置的錯(cuò)位而進(jìn)行下載臺(tái)移動(dòng)裝置22A(位置對(duì)準(zhǔn)裝置)的控制，使上載臺(tái)21和下載臺(tái)22在基板1、2的面方向進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，將上玻璃基板1與下玻璃基板2位置對(duì)準(zhǔn)。由上載臺(tái)移動(dòng)裝置21A使上載臺(tái)21下降，在壓力調(diào)整裝置30的減壓下，使用粘合劑將上玻璃基板1與下玻璃基板2貼合。通過(guò)減壓下的貼合，可預(yù)先回避空氣混入向下玻璃基板2上供給的液晶中。
在由壓力調(diào)整裝置30將密閉容器11的內(nèi)部升壓至大氣壓的同時(shí)，根據(jù)需要使用攝象裝置40和下載臺(tái)移動(dòng)裝置22A，再次將上玻璃基板1與下玻璃基板2位置對(duì)準(zhǔn)后，將由上載臺(tái)21和下載臺(tái)22形成的上玻璃基板1和下玻璃基板2的保持解除，將貼合的上玻璃基板1和下玻璃基板2(單元)從密閉容器11中取出。
然后，如圖2所示，基板貼合裝置10在對(duì)上玻璃基板1和下玻璃基板2進(jìn)行上述的位置對(duì)準(zhǔn)時(shí)，為了能可靠地使用攝象裝置40對(duì)上玻璃基板1和下玻璃基板2的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象，設(shè)置有控制裝置50、圖像處理裝置51、移動(dòng)裝置52、設(shè)定部53、比較部54和記憶部55。
對(duì)于由攝象裝置40攝象的上玻璃基板1和下玻璃基板2的位置檢測(cè)用標(biāo)記，圖像處理裝置51將被攝象的標(biāo)記圖形與設(shè)定的基準(zhǔn)標(biāo)記圖形的一致程度(以下單稱為“一致度”)算出。
移動(dòng)裝置52由上載臺(tái)21的上載臺(tái)移動(dòng)裝置21A和攝象裝置40的攝象機(jī)移動(dòng)裝置40A等構(gòu)成，調(diào)整攝象裝置40與上載臺(tái)21或下載臺(tái)22的相對(duì)位置，結(jié)果，可使攝象裝置40與上玻璃基板1或下玻璃基板2的相對(duì)間隔變化。
設(shè)定部53用于為了判定攝象裝置40與上玻璃基板1、下玻璃基板2的相對(duì)間隔是否良好(基板1、2的位置檢測(cè)用標(biāo)記是否已進(jìn)入攝象裝置40的焦點(diǎn)深度內(nèi)的狀態(tài))的一致度方面的容許值的設(shè)定。
比較部54將圖像處理裝置51算出的一致度與設(shè)定部53設(shè)定的容許值作出比較。
記憶部55設(shè)定有攝象裝置40和上玻璃基板1、下玻璃基板2的相對(duì)間隔變化時(shí)的相對(duì)間隔變化量及其相對(duì)間隔這化方向等的條件。具體地講，例如、在上玻璃基板1方面，設(shè)定有移動(dòng)量d、驅(qū)動(dòng)的移動(dòng)裝置(在本實(shí)施例中是指上載臺(tái)移動(dòng)裝置21A)以及首次修正時(shí)的移動(dòng)方向(向上或向下、在本實(shí)施例中是指「向下」)。對(duì)于上玻璃基板1，是指當(dāng)被攝象的標(biāo)記圖形的一致度脫離了容許值的場(chǎng)合、由設(shè)定的移動(dòng)量使上載臺(tái)21向下移動(dòng)的一種狀態(tài)。另外，第2次以后的移動(dòng)方向根據(jù)最初算出的一致度與相對(duì)間隔修正后算出的一致度的比較來(lái)決定，若增加一致度，則向與前一次修正時(shí)相同的方向移動(dòng)，若減少，則逆向移動(dòng)。另外，在下玻璃基板2方面，也設(shè)定有相同要領(lǐng)下的條件。又，為了求出攝象裝置40與基板1、2的良好的相對(duì)間隔，記憶部55設(shè)定有攝象裝置40所容許的重復(fù)攝象的次數(shù)(以下稱為“容許次數(shù)”)。
控制裝置50得到比較部54的比較結(jié)果之后，將脫離了設(shè)定有由圖像處理裝置51算出的一致度的容許值作為條件，對(duì)移動(dòng)裝置52進(jìn)行控制，按照記憶部55對(duì)攝象裝置40與上玻璃基板1、下玻璃基板2的相對(duì)間隔預(yù)先所定的設(shè)定量進(jìn)行變化。其次，控制裝置50通過(guò)攝象裝置40再次對(duì)上玻璃基板1、下玻璃基板2的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象，由圖像處理裝置51重新算出被攝象的標(biāo)記圖形與基準(zhǔn)標(biāo)記圖形的一致度。
由此，控制裝置50按照下列順序進(jìn)行上玻璃基板1與下玻璃基板2的位置對(duì)準(zhǔn)。在這里，首先對(duì)如下場(chǎng)合進(jìn)行說(shuō)明，即，使在保持于下載臺(tái)22上的下玻璃基板2上標(biāo)記的位置檢測(cè)用標(biāo)記處于攝象裝置40的焦點(diǎn)深度內(nèi)，而僅使保持于上載臺(tái)21上的上玻璃基板1上的位置檢測(cè)用標(biāo)記脫離于攝象裝置40的焦點(diǎn)深度外這一情況。
(1)由攝象裝置40同時(shí)對(duì)上玻璃基板1、下玻璃基板2的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象。
(2)藉由圖像處理裝置51，算出上玻璃基板1方面的、被攝象的標(biāo)記圖形與設(shè)定的基準(zhǔn)標(biāo)記圖形的一致度。其次，由比較部54對(duì)圖像處理裝置51算出的一致度與由設(shè)定部53設(shè)定的容許值作出比較。若比較部54的比較結(jié)果屬于良好(一致度進(jìn)入了容許值的范圍內(nèi))，則移向(5)，若否，則移向(3)。
(3)對(duì)攝象裝置40的攝象次數(shù)是否超越了記憶部55設(shè)定的容許次數(shù)進(jìn)行判斷。若未超越，則移向(4)，若已超越，則進(jìn)行不可對(duì)位的操作者呼叫處理。
(4)使用記憶部55的設(shè)定數(shù)據(jù)，對(duì)移動(dòng)裝置52進(jìn)行控制。
(4-1)由移動(dòng)裝置52，調(diào)整攝象裝置40與上載臺(tái)21的相對(duì)位置，按照記憶部55中預(yù)定的設(shè)定量，使攝象裝置40與上載臺(tái)21的相對(duì)間隔變化。在上述的例子中，只能以移動(dòng)量d使上載臺(tái)21向靠近攝象裝置40的方向變化。
(4-2)在上述(4-1)的相對(duì)間隔變化之后，再次對(duì)上玻璃基板1、下玻璃基板2的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象，由圖像處理裝置51重新算出上玻璃基板1方面的被攝象的標(biāo)記圖形的一致度。
(4-3)若上述(4-2)中重新算出的一致度比上次算出的部分有所增加，比較部54的比較結(jié)果為良時(shí)，則移向(5)。若盡管一致度增加，但比較結(jié)果為否時(shí)，則由移動(dòng)裝置52將上玻璃基板1，每次以移動(dòng)量d向更加靠近攝象裝置40的方向變化相對(duì)間隔，每次是在容許次數(shù)內(nèi)，反復(fù)進(jìn)行由圖像處理裝置51的一致度的算出和由比較部54的比較，直至比較結(jié)果成為良好為止。一旦比較部54的比較結(jié)果屬于良好，則移向(5)。
(4-4)若上述(4-2)中重新算出的一致度比上次算出的部分有所減少，比較部54的比較結(jié)果為否時(shí)，則由移動(dòng)裝置52將上載臺(tái)21每次以移動(dòng)量d向離開(kāi)攝象裝置40的方向變化相對(duì)間隔，每次是在容許次數(shù)內(nèi)，反復(fù)進(jìn)行由圖像處理裝置51的一致度的算出和由比較部54的比較，直至比較結(jié)果成為良為止。上旦比較部54的比較結(jié)果屬于良，則移向(5)。
(5)攝象裝置40根據(jù)被攝象的上玻璃基板1、下玻璃基板2的位置檢測(cè)用標(biāo)記的圖像數(shù)據(jù)，如前所述，檢測(cè)上玻璃基板1與下玻璃基板2的面方向的相對(duì)位置錯(cuò)位狀態(tài)，為了修正該相對(duì)位置錯(cuò)位而對(duì)下載臺(tái)移動(dòng)裝置22A進(jìn)行控制，使上載臺(tái)21和下載臺(tái)22在基板1、2的面方向進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，對(duì)上玻璃基板1與下玻璃基板2對(duì)位。
另外，在上述第1實(shí)施例中，為了方便起見(jiàn)，說(shuō)明的是保持于下載臺(tái)22上的下玻璃基板2的位置檢測(cè)用標(biāo)記始終進(jìn)入了攝象裝置40的焦點(diǎn)深度內(nèi)的例子，但例如在上下的基板1、2的位置檢測(cè)用標(biāo)記都存在著脫離攝象裝置40的焦點(diǎn)深度之外的可能性的場(chǎng)合，可按照以下方法處理。
即，即使兩基板1、2的被攝象的標(biāo)記圖形的一致度都脫離了容許值的場(chǎng)合，可通過(guò)預(yù)先在記憶部55中設(shè)定用于調(diào)整這種場(chǎng)合的基板1、2與攝象裝置40的相對(duì)間隔用的條件，即可與其對(duì)應(yīng)。具體地講，例如，先按照上述的順序(1)～(4)，按照移動(dòng)量d對(duì)上載臺(tái)移動(dòng)裝置21A進(jìn)行控制，使上玻璃基板1上的標(biāo)記圖形的一致度處于容許值內(nèi)。其后，按照上述的順序(2)～(4)，按照移動(dòng)量d對(duì)下載臺(tái)移動(dòng)裝置22A進(jìn)行控制，使下玻璃基板2上的標(biāo)記圖形的一致度處于容許值內(nèi)。另外，在兩基板1、2的被攝象的標(biāo)記圖形的一致度都脫離了容許值的場(chǎng)合，通常認(rèn)為是標(biāo)記在上玻璃基板1上的位置檢測(cè)用標(biāo)記相對(duì)于攝象裝置40的焦點(diǎn)深度脫離于上方側(cè)、或使標(biāo)記在下玻璃基板2上的位置檢測(cè)用標(biāo)記相對(duì)于攝象裝置40的焦點(diǎn)深度脫離于下方側(cè)，只要將由移動(dòng)裝置21A、22A操作的上下載臺(tái)21、22最初的移動(dòng)方向設(shè)定在兩載臺(tái)21、22的相對(duì)間隔變狹的方向即可。
又，也可通過(guò)攝象裝置40的升降運(yùn)動(dòng)，調(diào)整攝象裝置40與上下的玻璃基板1、2的相對(duì)間隔。即，預(yù)先在記憶部55中，設(shè)定好例如上玻璃基板1方面的、按照移動(dòng)量d由攝象機(jī)移動(dòng)裝置40A使攝象裝置40向上方移動(dòng)的條件和下玻璃基板2方面的、按照移動(dòng)量d使攝象裝置40向下方移動(dòng)的條件。其次，在上述的(2)工序中，分別對(duì)上下的玻璃基板1、2算出被掇象的標(biāo)記圖形的一致度，結(jié)果是在只有上玻璃基板1的被攝象的標(biāo)記圖形的一致度脫離了容許值的場(chǎng)合，按照記憶部55中設(shè)定的與上玻璃基板1對(duì)應(yīng)的條件，調(diào)整基板1、2與攝象裝置40的相對(duì)間隔。又，在只有下玻璃基板2的被攝象的標(biāo)記圖形的一致度脫離了容許值的場(chǎng)合，按照記憶部55中設(shè)定的與下玻璃基板2對(duì)應(yīng)的條件，調(diào)整基板1、2與攝象裝置40的相對(duì)間隔。又，在兩基板1、2的被攝象的標(biāo)記圖形的一致度都脫離了容許值的場(chǎng)合，判斷為不可對(duì)位，進(jìn)行操作者呼叫處理。
采用本實(shí)施例，具有以下的作用。
對(duì)上下的基板1、2的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象，算出被攝象的標(biāo)記圖形與設(shè)定的基準(zhǔn)標(biāo)記圖形的一致度，根據(jù)該算出的一致度使攝象裝置40與上玻璃基板1、下玻璃基板2的相對(duì)間隔變化，能可靠地使上下的玻璃基板1、2的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)入攝象裝置40的焦點(diǎn)深度內(nèi)。
在上述[1]中，設(shè)定有一致度方面的容許值，在算出的一致度脫離了被設(shè)定的容許值時(shí)，按照預(yù)先設(shè)定的設(shè)定量使上下的基板1、2與攝象裝置40的相對(duì)間隔變化，能可靠且有效地使上下的基板1、2的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)入攝象裝置40的焦點(diǎn)深度內(nèi)。(第2實(shí)施例)(圖1、圖2)第2實(shí)施例的基板貼合裝置10也是用于由攝象裝置40對(duì)上玻璃基板1和下玻璃基板2的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行可靠的攝象。與第1實(shí)施例一樣，所述基板貼合裝置具有控制裝置50、圖像處理裝置51、移動(dòng)裝置52、設(shè)定部53、比較部54和記憶部55。
第2實(shí)施例與第1實(shí)施例不同之點(diǎn)在于，記憶部55記憶有表示上玻璃基板1、下玻璃基板2與攝象裝置40的各相對(duì)間隔以及與其對(duì)應(yīng)的一致度的關(guān)系的數(shù)據(jù)?？刂蒲b置50根據(jù)記憶于記憶部55的數(shù)據(jù)，設(shè)定由移動(dòng)裝置52操作的基板1、2與攝象裝置40的相對(duì)間隔變化。另外，表示相對(duì)間隔與一致度的關(guān)系的數(shù)據(jù)例如可通過(guò)實(shí)驗(yàn)求出。即，每次按一定距離使基板1、2與攝象裝置40的相對(duì)間隔變化，對(duì)于各自的相對(duì)間隔，作成標(biāo)記圖形一致度的測(cè)定數(shù)據(jù)。然后，根據(jù)這一數(shù)據(jù)，求出表示相對(duì)間隔與一致度關(guān)系的近似式，將該近似式作為表示相對(duì)間隔與一致度關(guān)系的數(shù)據(jù)。
由此，在第2實(shí)施例中，控制裝置50按照以下順序進(jìn)行上玻璃基板1與下玻璃基板2的位置對(duì)準(zhǔn)。另外，本實(shí)施例也與第1實(shí)施例一樣，保持于下載臺(tái)22的下玻璃基板2的位置檢測(cè)用標(biāo)記是假定處于攝象裝置40的焦點(diǎn)深度內(nèi)進(jìn)行說(shuō)明。
(1)由攝象裝置40同時(shí)對(duì)上玻璃基板1、下玻璃基板2的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象。
(2)由圖像處理裝置51算出上玻璃基板1方面的、被攝象的標(biāo)記圖形與設(shè)定的基準(zhǔn)標(biāo)記圖形的一致度。其次，由比較部54對(duì)圖像處理裝置51算出的一致度與由設(shè)定部53設(shè)定的容許值作出比較。若比較部54的比較結(jié)果屬于良好(一致度進(jìn)入了容許值的范圍內(nèi))，則移向(5)，若否，則移向(3)。
(3)對(duì)攝象裝置40的攝象次數(shù)是否超越了記憶部55設(shè)定的容許次數(shù)進(jìn)行判斷。若未超越，則移向(4)，若已超越，則進(jìn)行不可對(duì)位的操作者呼叫處理。
(4)使用記憶部55的設(shè)定數(shù)據(jù)，對(duì)移動(dòng)裝置52進(jìn)行控制。
(4-1)使用的是記憶部55的記憶數(shù)據(jù)，即，表示上玻璃基板1和攝象裝置40的相對(duì)間隔以及與其對(duì)應(yīng)的一致度的關(guān)系的數(shù)據(jù)。將上述(2)中的圖像處理裝置5 1算出的一致度，參照上述數(shù)據(jù)推測(cè)上玻璃基板1與攝象裝置40的當(dāng)前的相對(duì)間隔。
(4-2)在從記憶部55的上述(4)的數(shù)據(jù)中，推測(cè)圖像處理裝置51算出的一致度進(jìn)入容許值時(shí)的、上玻璃基板1與攝象裝置40應(yīng)達(dá)到目標(biāo)值的相對(duì)間隔。為了使上述(4-1)當(dāng)前的相對(duì)間隔進(jìn)入應(yīng)達(dá)到目標(biāo)值的相對(duì)間隔，由移動(dòng)裝置52調(diào)整攝象裝置40與上載臺(tái)21的相對(duì)位置，使攝象裝置40與上玻璃基板1的相對(duì)間隔變化，返回前述(1)。
(5)根據(jù)攝象裝置40攝象的上玻璃基板1、下玻璃基板2的位置檢測(cè)用標(biāo)記的圖像數(shù)據(jù)，如前所述，檢測(cè)上玻璃基板1與下玻璃基板2的面方向的相對(duì)位置錯(cuò)位狀態(tài)。為了修正該相對(duì)位置錯(cuò)位而對(duì)下載臺(tái)移動(dòng)裝置22A進(jìn)行控制，使上載臺(tái)21和下載臺(tái)22在基板1、2的面方向進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，將上玻璃基板1與下玻璃基板2位置對(duì)準(zhǔn)。
采用本實(shí)施例，記憶有表示上下的基板1、2與攝象裝置40的各相對(duì)間隔以及與其對(duì)應(yīng)的一致度的關(guān)系的數(shù)據(jù)，可立即把握與算出的一致度的被設(shè)定容許值的誤差部分相對(duì)應(yīng)的、上玻璃基板1與攝象裝置40的相對(duì)間隔變化量，能可靠且有效地使上玻璃基板1的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)入攝象裝置40的焦點(diǎn)深度內(nèi)。
另外，該第2實(shí)施例是記憶部55記憶有表示上下的玻璃基板1、2與攝象裝置40的各相對(duì)間隔以及與其對(duì)應(yīng)的一致度的關(guān)系的數(shù)據(jù)，但也可預(yù)先記憶與攝象圖像處理裝置51算出的各一致度相對(duì)應(yīng)的攝象裝置40與上下的玻璃基板1、2的相對(duì)間隔的調(diào)整量，以取代上述的數(shù)據(jù)。在此場(chǎng)合，控制裝置55從記憶部55的數(shù)扭中，求出攝象裝置40與上下的玻璃基板1、2的相對(duì)間隔的調(diào)整量，按照這一求出的調(diào)整量使攝象裝置40與上下的玻璃基板1、2的相對(duì)間隔變化。(第3實(shí)施例)(圖3、圖4)第3實(shí)施例的基板貼合裝置10也是用于由攝象裝置40對(duì)上玻璃基板1和下玻璃基板2的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行可靠的攝象。如圖3和圖4所示，所述基板貼合裝置具有控制裝置60、厚度測(cè)定裝置61、移動(dòng)裝置62和設(shè)定部63。
厚度測(cè)定裝置61測(cè)定上下玻璃基板1、2的厚度Y1、Y2。厚度測(cè)定裝置61例如在沿著基板1、2向密閉容器11導(dǎo)入路徑的位置上，具有對(duì)向設(shè)置的一對(duì)傳感器，形成從上下將沿著導(dǎo)入路徑傳送的基板1、2夾持的形態(tài)。作為這種傳感器，例如可采用反射型的超聲波傳感器，根據(jù)基板1、2通過(guò)該一對(duì)傳感器之間時(shí)、來(lái)自各傳感器的輸出值和一對(duì)傳感器的配置間隔，測(cè)定基板1、2的厚度T1、T2。并且，在本實(shí)施例中，假設(shè)1塊基板的板厚均一，則是在基板1、2的大致中央部進(jìn)行測(cè)定，但1塊基板上存在著板厚不均勻的可能性時(shí)，也可對(duì)與基板1、2上與位置檢測(cè)用標(biāo)記對(duì)應(yīng)的部位各自的厚度進(jìn)行測(cè)定，使用這些數(shù)據(jù)的平均值。另外，傳感器不限定于非接觸式，只要是可測(cè)定基板1、2厚度的傳感器，也可使用接觸式的傳感器等其它類型。
移動(dòng)裝置62由上載臺(tái)21的上載臺(tái)移動(dòng)裝置21A、攝象裝置40的攝象機(jī)移動(dòng)裝可使攝象裝置40與基板1、2的相對(duì)間隔變化。
設(shè)定部63設(shè)定有攝象裝置40與上玻璃基板1或下玻璃基板2標(biāo)記有位置檢測(cè)用標(biāo)記的貼合面應(yīng)達(dá)到的作為目標(biāo)值的相對(duì)間隔M(攝象裝置40的焦點(diǎn)距離)和可使基板1、2貼合前的最靠近時(shí)的設(shè)定間隔B。
控制裝置60根據(jù)厚度測(cè)定裝置61的測(cè)定結(jié)果，對(duì)移動(dòng)裝置62進(jìn)行控制。具體地講，由移動(dòng)裝置62調(diào)整攝象裝置40與上載臺(tái)21或下載臺(tái)22的相對(duì)位置，以使其上下載臺(tái)21、22間隔的中央位置與攝象裝置40之間的距離成為設(shè)定部63設(shè)定的目標(biāo)相對(duì)間隔M。又，由移動(dòng)裝置62調(diào)整攝象裝置40與上載臺(tái)21或下載臺(tái)22的相對(duì)位置，以使其兩基板1、2的標(biāo)記有位置檢測(cè)用標(biāo)記的貼合面的間隔成為預(yù)定的設(shè)定間隔B。此時(shí)，上載臺(tái)21與下載臺(tái)22的相對(duì)間隔A即是A＝B+T1+T2。
由此，控制裝置60按照下列順序進(jìn)行上玻璃基板1與下玻璃基板2的位置對(duì)準(zhǔn)。
(1)由厚度測(cè)定裝置61進(jìn)行上玻璃基板1、下玻璃基板2的厚度T1、T2測(cè)定。
(2)根據(jù)測(cè)定的基板1、2的厚度T1、T2，算出上下載臺(tái)21、22的相對(duì)間隔A。其次，對(duì)移動(dòng)裝置62進(jìn)行控制，以使上下載臺(tái)21、22的間隔成為相對(duì)間隔A，即，使兩基板1、2標(biāo)記有位置檢測(cè)用標(biāo)記的貼合面的間隔成為設(shè)定間隔B，且，使其成為將上下載臺(tái)21、22間隔的中央位置與攝象裝置40之間的距離作為目標(biāo)的相對(duì)間隔M(攝象裝置40的焦點(diǎn)距離)。這樣，可將上下的基板1、2的位置檢測(cè)用標(biāo)記配置于攝象裝置40的焦點(diǎn)深度內(nèi)。
(3)通過(guò)上述(2)，在調(diào)整了攝象裝置40與上玻璃基板1和下玻璃基板2的相對(duì)位置的狀態(tài)下，由攝象裝置40同時(shí)對(duì)基板1、2的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象。然后，根據(jù)攝象裝置40攝象的基板1、2的位置檢測(cè)用標(biāo)記的圖像數(shù)據(jù)，如前所述，檢測(cè)上玻璃基板1與下玻璃基板2的面方向的相對(duì)位置錯(cuò)位狀態(tài)，為了修正該相對(duì)位置錯(cuò)位而對(duì)下載臺(tái)移動(dòng)裝置22A進(jìn)行控制，使上載臺(tái)21和下載臺(tái)22在基板1、2的面方向進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，對(duì)上玻璃基板1與下玻璃基板2進(jìn)行位置對(duì)準(zhǔn)。
采用本實(shí)施例，具有以下的作用。
根據(jù)上玻璃基板1和下玻璃基板2的測(cè)定厚度，調(diào)整攝象裝置40與上下的玻璃基板1、2的相對(duì)間隔，能可靠地使上下玻璃基板1、2的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)入攝象裝置40的焦點(diǎn)深度內(nèi)。
在上述[1]中，根據(jù)被測(cè)定的上下的玻璃基板1、2的厚度，調(diào)整攝象裝置40與上下的玻璃基板1、2的相對(duì)間隔，以使兩玻璃基板1、2的間隔成為預(yù)定值，能可靠且有效地使上下的正好璃基板1、2的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)入攝象裝置40的焦點(diǎn)深度內(nèi)。
另外，在第3實(shí)施例的順序(2)中，在攝象裝置40的焦點(diǎn)深度與設(shè)定間隔B的關(guān)系是設(shè)定間隔B大于焦點(diǎn)深度時(shí)，雖然不能由攝象裝置40同時(shí)使上下的基板1、2的位置檢測(cè)用標(biāo)記的良好的攝象圖像攝入，但可適用于由攝象裝置40個(gè)別式地對(duì)各基板1、2的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象的場(chǎng)合。具體地講，例如可根據(jù)任一方基板厚度的測(cè)定結(jié)果，使攝象裝置40上下移動(dòng)，以使其成為將攝象裝置40與一方的基板標(biāo)記有位置檢測(cè)用標(biāo)記的面之間的距離作為目標(biāo)的相對(duì)間隔(攝象裝置40的焦點(diǎn)距離)，在此狀態(tài)下，檢測(cè)位置檢測(cè)用標(biāo)記的位置。然后，根據(jù)另一方基板厚度的測(cè)定結(jié)果，使攝象裝置40上下移動(dòng)，以使其成為將攝象裝置40與另一方的基板標(biāo)記有位置檢測(cè)用標(biāo)記的面之間的距離作為目標(biāo)的相對(duì)間隔(攝象裝置40的焦點(diǎn)距離)，在此狀態(tài)下，檢測(cè)位置檢測(cè)用標(biāo)記的位置。一般認(rèn)為，即使是相同的焦點(diǎn)深度內(nèi)，攝象裝置40也能得到焦點(diǎn)位置最鮮明的攝象，這樣，可獲得進(jìn)一步提高位置檢測(cè)精度的效果。
根據(jù)方案1、11的發(fā)明，具有下列[1]的作用。
求出基板與攝象裝置的相對(duì)間隔方面的數(shù)據(jù)，根據(jù)有關(guān)該相對(duì)間隔的數(shù)據(jù)，使攝象裝置與基板的相對(duì)間隔變化，能可靠地使基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)入攝象裝置的焦點(diǎn)深度內(nèi)。攝象裝置能可靠地對(duì)基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象。
根據(jù)方案2、5的發(fā)明，具有下列[2]的作用。
對(duì)基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象，算出被攝象的標(biāo)記圖形與設(shè)定的基準(zhǔn)標(biāo)記圖形的一致度，根據(jù)該算出的一致度，使攝象裝置與基板的相對(duì)間隔變化，能可靠地使基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)入攝象裝置的焦點(diǎn)深度內(nèi)。
采用方案3、6的發(fā)明，具有下列[3]的作用。
在上述[2]中，設(shè)定有一致度方面的容許值，在算出的一致度脫離了被設(shè)定的容許值時(shí)，按照預(yù)定的設(shè)定量使攝象裝置與基板的相對(duì)間隔變化，能可靠地使基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)入攝象裝置的焦點(diǎn)深度內(nèi)。
采用方案4的發(fā)明，具有下列[4]的作用。
記憶表示基板與攝象裝置的各相對(duì)間隔或相對(duì)間隔調(diào)整量與其對(duì)應(yīng)的一致度關(guān)系的數(shù)據(jù)，可從算出的一致度中，立即把握基板與攝象裝置的相對(duì)間隔變化量，能可靠且有效地使基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)入攝象裝置的焦點(diǎn)深度內(nèi)。
采用方案7、9的發(fā)明，具有下列[5]的作用。
根據(jù)基板的測(cè)定厚度，調(diào)整攝象裝置與基板的相對(duì)間隔，能可靠地使基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)入攝象裝置的焦點(diǎn)深度內(nèi)。
采用方案8、10的發(fā)明，具有下列[6]的作用。
在上述[5]中，根據(jù)基板的測(cè)定厚度，調(diào)整攝象裝置與基板的相對(duì)間隔，以使兩基板的間隔成為預(yù)定值，能可靠地使兩基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)入攝象裝置的焦點(diǎn)深度內(nèi)。
以上參照附圖詳細(xì)說(shuō)明了本發(fā)明的實(shí)施例，但本發(fā)明的具體結(jié)構(gòu)不限定于此實(shí)施例，即使有了不脫離本發(fā)明宗旨范圍內(nèi)的設(shè)計(jì)的變更等，也包含在本發(fā)明中。例如，本發(fā)明也可適用于對(duì)標(biāo)記在單一基板上的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行檢測(cè)的裝置。
又，在上述第1、第2實(shí)施例中，對(duì)上玻璃基板1的位置檢測(cè)用標(biāo)記和下玻璃基板2的位置檢測(cè)用標(biāo)記同時(shí)處于攝象裝置40的焦點(diǎn)深度內(nèi)的位置例作了說(shuō)明，但也可個(gè)別式地進(jìn)行位置標(biāo)記。具體地講，例如，就有關(guān)設(shè)定部53設(shè)定的被攝象的標(biāo)記圖形與所設(shè)定的基準(zhǔn)標(biāo)記圖形的一致度，在設(shè)定部53設(shè)定容許值，將該容許值設(shè)定成較高值，即，高于使兩基板1、2的位置檢測(cè)用標(biāo)記同時(shí)位于攝象裝置40的焦點(diǎn)深度內(nèi)的場(chǎng)合的值。例如，可設(shè)定為一致度100％或相近的值。并且，根據(jù)這一容許值，按照第1、第2實(shí)施例中的工序(1)～(5)，由攝象裝置40個(gè)別地對(duì)各基板1、2的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象，檢測(cè)它的位置。這樣，可進(jìn)行更高精度的位置檢測(cè)，從而可獲得進(jìn)一步提高位置檢測(cè)精度的效果。
又，粘合劑不限定于具有密合性的粘合劑，也可采用無(wú)密合性的粘合劑。
又，基板不限定于構(gòu)成液晶顯示板的玻璃基板，也可是印刷基板等。
采用發(fā)上的本發(fā)明，攝象裝置能可靠地對(duì)基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象，從而可防止基板貼合的生產(chǎn)率降低。
權(quán)利要求
1.一種基板貼合裝置，所述裝置系具有保持上基板的上載臺(tái)和保持下基板的下載臺(tái)，并在位置對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下，將上基板和下基板貼合的基板貼合裝置，其特征在于，所述基板貼合裝置包括對(duì)上下基板的至少一方基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象的攝象裝置；使攝象裝置與該至少一方的基板的相對(duì)間隔變化的移動(dòng)裝置；求出該至少一方的基板與攝象裝置相對(duì)間隔方面的數(shù)據(jù)用的裝置；以及根據(jù)相對(duì)間隔方面的數(shù)據(jù)、對(duì)移動(dòng)裝置進(jìn)行控制的控制裝置。
2.一種基板貼合裝置，所述裝置系具有保持上基板的上載臺(tái)和保持下基板的下載臺(tái)，并在位置對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下，將上基板和下基板貼合的基板貼合裝置，其特征在于，所述基板貼合裝置包括對(duì)上下基板的至少一方基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象的攝象裝置；使攝象裝置與該至少一方的基板的相對(duì)間隔變化的移動(dòng)裝置；算出由攝象裝置得到的標(biāo)記圖形與設(shè)定的基準(zhǔn)標(biāo)記圖形的一致度的圖像處理裝置；以及根據(jù)算出的一致度，對(duì)移動(dòng)裝置進(jìn)行控制的控制裝置。
3.如權(quán)利要求2所述的基板貼合裝置，其特征在于，所述基板貼合裝置具有設(shè)定一致度方面的容許值的設(shè)定部；將算出的一致度與在設(shè)定部設(shè)定的容許值進(jìn)行比較的比較部，控制裝置將脫離于設(shè)定有被算出的一致度的容許值范圍之外作為條件，對(duì)移動(dòng)裝置進(jìn)行控制，使基板與攝象裝置的相對(duì)間隔以預(yù)定的設(shè)定量變化。
4.如權(quán)利要求2或3所述的基板貼合裝置，其特征在于，所述基板貼合裝置具有記憶部，所述記憶部記憶有顯示攝象裝置與由所述攝象裝置攝象的基板間的相對(duì)間隔、或相對(duì)間隔調(diào)整量及與其對(duì)應(yīng)的一致度關(guān)系的數(shù)據(jù)，控制裝置根據(jù)記憶部中記憶的數(shù)據(jù)，設(shè)定由移動(dòng)裝置引起的基板與攝象裝置的相對(duì)間隔變化量。
5.一種基板貼合方法，所述方法系在位置對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下、將保持于上載臺(tái)的上基板和保持于下載臺(tái)的下基板貼合，其特征在于，所述方法包括對(duì)上下基板的至少一方基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象的攝像工序；算出被攝象的標(biāo)記圖形與設(shè)定的基準(zhǔn)標(biāo)記圖形的一致度的計(jì)算工序；以及根據(jù)被算出的一致度、使攝象裝置與該至少一方的基板的相對(duì)間隔變化的工序。
6.如權(quán)利要求5所述的基板貼合方法，其特征在于，設(shè)定一致度方面的容許值，將算出的一致度與設(shè)定的容許值進(jìn)行比較，當(dāng)比較結(jié)果是脫離了設(shè)定有被算出的一致度的容許值之外時(shí)，則按照預(yù)定的設(shè)定量使掇象裝置與基板的相對(duì)間隔變化，再次對(duì)基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象，重新算出被攝象的標(biāo)記圖形與基準(zhǔn)標(biāo)記圖形的一致度。
7.一種基板貼合裝置，所述裝置系具有保持上基板的上載臺(tái)和保持下基板的下載臺(tái)，并在位置對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下，將上基板和下基板貼合的基板貼合裝置，其特征在于，所述基板貼合裝置包括對(duì)上下基板的至少一方基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象的攝象裝置；使攝象裝置與該至少一方的基板的相對(duì)間隔變化的移動(dòng)裝置；測(cè)定該至少一方的基板厚度用的厚度測(cè)定裝置；以及根據(jù)厚度測(cè)定裝置的測(cè)定結(jié)果，對(duì)移動(dòng)裝置進(jìn)行控制的控制裝置。
8.如權(quán)利要求7所述的基板貼合裝置，其特征在于，所述厚度測(cè)定裝置對(duì)上下基板各自的厚度進(jìn)行測(cè)定，所述控制裝置根據(jù)厚度測(cè)定裝置的測(cè)定結(jié)果控制移動(dòng)裝置，以使其兩基板的間隔成為預(yù)定值，并使兩基板與所述攝象裝置的間隔成為目標(biāo)的相對(duì)間隔。
9.一種基板貼合方法，所述方法系在位置對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下，將保持于上載臺(tái)的上基板和保持于下載臺(tái)的下基板貼合的基板貼合方法，其特征在于，所述方法包括對(duì)保持的基板厚度進(jìn)行測(cè)定的測(cè)定工序；根據(jù)被測(cè)定的基板厚度，用于調(diào)整攝象裝置與該至少一方的基板的相對(duì)間隔的調(diào)整工序；以及對(duì)該至少一方的基板位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象的攝像工序。
10.一種基板貼合方法，所述方法系在位置對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下，將保持于上載臺(tái)的上基板和保持于下載臺(tái)的下基板貼合的基板貼合方法，其特征在于，所述方法包括對(duì)所述上基板和所述下基板的厚度進(jìn)行測(cè)定的測(cè)定工序；以及根據(jù)被測(cè)定的基板厚度、調(diào)整所述攝象裝置與基板的相對(duì)間隔、以使其兩基板的間隔成為預(yù)設(shè)定的值，并使所述兩基板與所述攝象裝置的間隔成為目標(biāo)的相對(duì)間隔的工序。
11.一種檢測(cè)基板位置用的基板檢測(cè)裝置，其特征在于，所述裝置包括對(duì)基板的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象的攝象裝置；使攝象裝置與基板的相對(duì)間隔變化的移動(dòng)裝置；求出基板與攝象裝置相對(duì)間隔方面的數(shù)據(jù)用的手段；以及根據(jù)相對(duì)間隔方面的數(shù)據(jù)、對(duì)移動(dòng)裝置進(jìn)行控制的控制裝置。
全文摘要
一種基板貼合裝置(10)，所述裝置系具有保持上玻璃基板(1)的上載臺(tái)(21)和保持下玻璃基板(2)的下載臺(tái)(22)，在位置對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下，將上玻璃基板(1)和下玻璃基板(2)貼合。其特征在于，所述裝置包括對(duì)上下基板(1、2)的位置檢測(cè)用標(biāo)記進(jìn)行攝象的攝象裝置(40)；使攝象裝置(40)與上下的玻璃基板(1、2)的相對(duì)間隔變化的移動(dòng)裝置(52)；求出上下的玻璃基板(1、2)與攝象裝置(40)的相對(duì)間隔方面的數(shù)據(jù)用的手段；以及根據(jù)相對(duì)間隔方面的數(shù)據(jù)、對(duì)移動(dòng)裝置(52)進(jìn)行控制的控制裝置(50)。
文檔編號(hào)B32B37/00GK1441294SQ0310700
公開(kāi)日2003年9月10日 申請(qǐng)日期2003年2月28日 優(yōu)先權(quán)日2002年2月28日
發(fā)明者荻本真一, 增田浩一 申請(qǐng)人:芝浦機(jī)械電子裝置股份有限公司