專利名稱:貼片機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種貼片機,特別是涉及一種貼合膠布與晶圓的貼片機。
背景技術(shù):
目前,在切割晶圓或光學(xué)玻璃時,通常使用Dicing Saw(晶圓精密切割機)。在切割之前,將待切割的工件固定在膠布上,切割完成后,使用固化曝光機照射,使工件與膠布脫離,從而得到所需要的工件。
現(xiàn)有的貼片機在將待切割的工件固定在膠布上時,一般使用滾筒裝置來實現(xiàn)。請參閱圖5,其提供一種貼片機,該貼片機包括一滾筒裝置70,該滾筒裝置70滑設(shè)于一座體71上,且可在該座體71上往復(fù)移動,將一膠帶72鋪設(shè)于治具框73及晶圓74上,通過該滾筒裝置70的滾動,下壓該膠帶72,使膠帶72平貼于該治具框73及晶圓74上,即可使膠帶72與晶圓74固定。但是,使用滾筒技術(shù)進(jìn)行貼片時,容易造成膠布與晶圓之間,因不完全貼合而產(chǎn)生氣泡,進(jìn)而導(dǎo)致晶圓切割時,若切割掉膠布與晶圓貼合時產(chǎn)生氣泡部分的晶圓,因為此處晶圓未與膠布貼合,所以會產(chǎn)生晶圓切片飛散的問題。
發(fā)明內(nèi)容針對以上內(nèi)容,有必要提供一種貼片機,其可將膠布與工件完全貼合,避免氣泡的產(chǎn)生。
一種貼片機,其包括一工作臺、一治具框及一彈性組件。該彈性組件包括一彈性體,其位于該治具框的上方。將一工件置于該治具框內(nèi),治具框置于該工作臺上,并將一膠布鋪設(shè)于該治具框上,施力使彈性組件向治具框方向下壓,且使其彈性體與膠布接觸,最終可使膠布平貼于工件上。
所述貼片機通過一彈性組件,施力使彈性組件下壓并使其彈性體接觸膠布,隨著彈性組件的繼續(xù)下壓,其彈性體與膠布的接觸面積越大,則膠布與工件的接觸面積越大,且由一點慢慢向四周擴散,并最終使膠布與工件完全貼合,從而避免氣泡的產(chǎn)生。
圖1是本發(fā)明貼片機較佳實施方式的第一位置示意圖;圖2至圖4是本發(fā)明貼片機較佳實施方式的下壓彈性組件時膠布與工件各貼合狀態(tài)示意圖;圖5是貼片機現(xiàn)有技術(shù)示意圖。
具體實施方式
請參閱圖1,本發(fā)明較佳實施方式貼片機包括一工作臺11、一外框12、一治具框13及一彈性組件14。其中,該治具框13可設(shè)于該外框12內(nèi),該外框12可固定于工作臺11上,該彈性組件14可固定于工作臺11的上方,且可上下移動。
該外框12為一兩端開口的中空矩形體,其可通過一連接裝置(圖未示)與工作臺11連接,并保持相對固定。
該治具框13用于挾持一工件2,其為一兩端開口的中空圓柱體,其內(nèi)孔的形狀及大小與工件2的形狀及大小相對應(yīng),治具框13的高度為L1,外框12的高度為L2,工件2的高度為L3,則L3<L1≤L2。該工件2可為晶圓或光學(xué)玻璃等物體。
該彈性組件14包括一彈性體141及一基板142,該彈性體141與基板142可通過膠等粘性物質(zhì)粘合在一起,該彈性體141可由一彈性袋及填充于該彈性袋內(nèi)的液體、氣體或其它可變形的介質(zhì)構(gòu)成。
裝配時,首先,將外框12固定于工作臺11上,將工件2挾持于治具框13內(nèi)。然后,將挾持有工件2的治具框13置于工作臺11上,并使其位于外框12內(nèi)。最后,將彈性組件14調(diào)整至工件2的上方,并將一膠布3鋪設(shè)于該外框12上。該膠布3可為UV膠布。
工作時,通過工具或手施力使彈性組件14向治具框13的方向下壓,該彈性組件14的彈性體141接觸膠布3,如圖2所示。繼續(xù)下壓時,膠布3與工件2慢慢貼合,且由一點慢慢向四周擴散,如圖3所示。當(dāng)彈性組件14越往下壓時,其彈性體141與膠布3的接觸面積越大,則膠布3與工件2的接觸面積越大,最后,膠布3與工件2完全貼合,如圖4所示。
可以理解,該外框的形狀不限于矩形體,也可為其它形狀;該治具框的形狀不限于圓柱體,也可為其它形狀。
權(quán)利要求
1.一種貼片機,其包括一工作臺;一治具框,其置于該工作臺上;其特征在于,該貼片機還包括一彈性組件,其包括一彈性體,其位于該治具框的上方。
2.如權(quán)利要求1所述的貼片機,其特征在于,該貼片機還包括一外框,其固定于該工作臺上。
3.如權(quán)利要求2所述的貼片機,其特征在于,該外框為一兩端開口的中空矩形體。
4.如權(quán)利要求3所述的貼片機,其特征在于,該治具框為一兩端開口的中空圓柱體,該治具框置于該外框內(nèi)。
5.如權(quán)利要求4所述的貼片機,其特征在于,該治具框內(nèi)孔的形狀及大小與放置于其內(nèi)的工件形狀及大小相對應(yīng),其高度大于工件的高度。
6.如權(quán)利要求4所述的貼片機,其特征在于,該治具框的高度小于外框的高度。
7.如權(quán)利要求1所述的貼片機,其特征在于,該彈性組件還包括一基板,該基板通過膠與彈性體粘合在一起。
8.如權(quán)利要求1所述的貼片機,其特征在于,該彈性體由一彈性袋及填充于該彈性袋內(nèi)的可變形介質(zhì)構(gòu)成。
9.如權(quán)利要求8所述的貼片機,其特征在于,該可變形介質(zhì)為液體。
10.如權(quán)利要求8所述的貼片機,其特征在于,該可變形介質(zhì)為氣體。
全文摘要
一種貼片機,其包括一工作臺、一治具框及一彈性組件。該彈性組件包括一彈性體,其位于該治具框的上方。將一工件置于該治具框內(nèi),治具框置于該工作臺上,并將一膠布鋪設(shè)于該治具框上,施力使彈性組件向治具框方向下壓,且使其彈性體與膠布接觸,最終可使膠布平貼于工件上。通過本發(fā)明的貼片機,其可將膠布與工件完全貼合,避免氣泡的產(chǎn)生。
文檔編號B32B37/02GK1861392SQ20051003459
公開日2006年11月15日 申請日期2005年5月10日 優(yōu)先權(quán)日2005年5月10日
發(fā)明者簡士哲 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司