專利名稱：薄膜粘貼方法及其裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將疊層著支撐薄膜和粘著性薄膜的疊層薄膜中的前端部以使該粘著性薄膜成為該基板側(cè)的方式，臨時安裝在該基板中的至少一方的主面的前端部，對該基板和該疊層薄膜進(jìn)行加壓，進(jìn)行粘貼的薄膜粘貼方法及其裝置。
背景技術(shù)：
在印刷配線用的圖案基板上粘貼含有感光性樹脂層的薄膜，施行曝光處理等，得到所希望的印刷配線基板，在這樣的情況下等，作為將薄膜粘貼到基板上的以往的技術(shù)，有特開2000-71332號公報(專利文獻(xiàn)1)所公開的技術(shù)。
在該以往的技術(shù)中，將從薄膜供給輥放出的薄膜的前端部臨時安裝到基板，一面從薄膜供給輥放出薄膜，一面使之與基板一起通過一對加壓輥之間，在該通過中，將薄膜加壓到基板上，進(jìn)行薄膜的粘貼。
在該加壓粘貼中，向基板上供給薄膜，在成為所希望的長度時，切斷薄膜，保持薄膜的后端部，向基板側(cè)供給，從薄膜的前端至后端，與基板一起，通過加壓輥的旋轉(zhuǎn)，一面運(yùn)送，一面進(jìn)行加壓粘合。

發(fā)明內(nèi)容
在粘貼薄膜的基板的表面上有凹凸，通過凹凸形成的圖案復(fù)雜，為了進(jìn)行曝光處理等，要求粘貼薄膜后的基板表面的平坦性，在這種情況下，作為薄膜，使用柔軟性高的薄膜，通過將薄膜埋入凹凸，來應(yīng)對平坦性。
雖然在從薄膜供給輥放出，向基板側(cè)供給時，使張力調(diào)節(jié)輥處于從薄膜供給輥到加壓輥之間，對薄膜施加適當(dāng)?shù)膹埩?，使加壓·粘貼后的加工質(zhì)量完美，但是，柔軟性高的薄膜存在因張力而延伸的傾向。
因?yàn)槿粼诩訅狠伒耐ㄟ^中，薄膜被切斷，則施加在薄膜上的張力被釋放，所以薄膜收縮，由于該伸縮動作的反作用，在所粘貼的薄膜的后半部產(chǎn)生了皺摺。因?yàn)槿彳浶愿叩谋∧ぜ词乖诔?20℃前后)下，通過略微的按壓，也會粘貼在基板上，所以若在產(chǎn)生了皺摺的狀態(tài)下，通過加壓輥，則空氣進(jìn)入皺摺的部位，成為氣泡，成為了曝光處理等的妨礙。
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種即使使用具有柔軟性的薄膜，也不會產(chǎn)生以切斷薄膜時的薄膜的伸縮為起因的皺摺，不會在基板和所粘貼的薄膜之間產(chǎn)生氣泡的薄膜粘貼方法及其裝置。
為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明方法的特征在于是一種薄膜粘貼方法，該薄膜粘貼方法是在臨時安裝部中，將疊層著支撐薄膜和粘著性薄膜的疊層薄膜中的前端部以使該粘著性薄膜成為該基板側(cè)的方式，臨時安裝在該基板中的至少一方的主面的前端部上，在正式粘貼部中，對該基板和該疊層薄膜進(jìn)行加壓，進(jìn)行粘貼，在該臨時安裝部中，在將從薄膜供給輥放出的該疊層薄膜臨時安裝到該基板后，在以該基板的該前端部為最前排，使該基板和該疊層薄膜向進(jìn)行加壓并進(jìn)行粘貼的該正式粘貼部側(cè)移動時，通過位于從該基板的該主面離開的位置的導(dǎo)輥，以使該疊層薄膜不與該基板接觸的方式，向該基板側(cè)供給該疊層薄膜，在該疊層薄膜成為粘貼到該基板上的所希望的長度時，切斷該疊層薄膜，在該正式粘貼部中進(jìn)行被切斷的所希望的長度的疊層薄膜的粘貼。
另外，為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明裝置的特征在于是一種薄膜粘貼裝置，該薄膜粘貼裝置是在臨時安裝部中，將疊層著支撐薄膜和粘著性薄膜的疊層薄膜中的前端部以使該粘著性薄膜成為該基板側(cè)的方式，臨時安裝在該基板中的至少一方的主面的前端部上，在正式粘貼部中，對該基板和該疊層薄膜進(jìn)行加壓，進(jìn)行粘貼，在該臨時安裝部和該正式粘貼部之間具有基板夾持機(jī)構(gòu)和導(dǎo)輥，該基板夾持機(jī)構(gòu)將從薄膜供給輥放出的、前端部臨時安裝到該基板的前端部的該疊層薄膜與該基板一起，以它們的該前端部為最前排，向該正式粘貼部側(cè)運(yùn)送；該導(dǎo)輥在該基板向該正式粘貼部側(cè)移動時，位于從該基板的運(yùn)送路面上的該基板的該主面離開的位置，以使該疊層薄膜不與該基板接觸的方式，向該基板側(cè)供給該疊層薄膜；再有，該臨時安裝部在該疊層薄膜成為粘貼到該基板上的所希望的長度時，具有切斷該疊層薄膜的刀具，在該正式粘貼部中，進(jìn)行被切斷的所希望的長度的疊層薄膜的粘貼。
根據(jù)本發(fā)明，因?yàn)樵谡秸迟N部對基板和疊層薄膜加壓，進(jìn)行粘貼之前，疊層薄膜被切斷為所希望的長度，在切斷疊層薄膜時，作用于疊層薄膜的張力基本不存在，所以不會產(chǎn)生皺摺，通過切斷而成為所希望的長度的疊層薄膜僅將前端部臨時安裝到基板上，剩余的區(qū)域在自由狀態(tài)下與基板相對(正對)。因此，即使是在正式粘貼部加壓進(jìn)行粘貼，疊層薄膜也不會在其與基板之間產(chǎn)生氣泡。


圖1是表示成為本發(fā)明的一個實(shí)施方式的薄膜粘貼裝置的整體構(gòu)造的示意圖。
圖2是表示在圖1的薄膜粘貼裝置中的臨時安裝部的圖。
圖3是表示在圖2的臨時安裝部中的基板夾持機(jī)構(gòu)的圖。
圖4是表示在圖1的薄膜粘貼裝置中的正式粘貼部的圖。
圖5是說明在圖2的臨時安裝部中的準(zhǔn)備處理的圖。
圖6是說明在圖2的臨時安裝部中的臨時安裝處理的圖。
圖7是說明在圖2的臨時安裝部中的基板夾持處理的圖。
圖8是說明在圖2的臨時安裝部中的基板運(yùn)送處理的圖。
圖9是說明在圖2的臨時安裝部中的薄膜后端部處理的圖。
符號說明1…薄膜粘貼裝置2、2A、2B…基板3…疊層薄膜10…臨時安裝部11…運(yùn)送輥12…夾緊輥
13…導(dǎo)輥14…架臺15…薄膜供給輥16…薄膜送出輥17…剝離部件18…卷取輥19…張力調(diào)節(jié)輥21…旋轉(zhuǎn)刀具22…支撐臺23…臨時安裝部件24…卷繞用保持部件25…后端保持部件30…基板夾持機(jī)構(gòu)50…正式粘貼部具體實(shí)施方式

下面，對圖中所示的本發(fā)明的一個實(shí)施方式進(jìn)行說明。
圖1表示成為本發(fā)明的一個實(shí)施方式的薄膜粘貼裝置1，由具有臨時安裝構(gòu)件的臨時安裝部10和具有正式粘貼構(gòu)件的正式粘貼部50構(gòu)成。圖中的單點(diǎn)劃線是將基板2從圖中左側(cè)的上游側(cè)向右側(cè)的下游側(cè)運(yùn)送的運(yùn)送路的路面，該運(yùn)送路由后述的臨時安裝部10中的運(yùn)送輥11或正式粘貼部50中的運(yùn)送薄膜61構(gòu)成。
將運(yùn)送路面中的從上游側(cè)向下游側(cè)的基板2的移動方向作為運(yùn)送方向，另外，將與該運(yùn)送方向正交的水平的方向作為寬度方向。還有，62是保護(hù)薄膜。
基板2的一個例子是印刷配線用的圖案基板，在臨時安裝部10中，將含有感光性樹脂層的疊層薄膜3的前端部臨時安裝在基板2的上下各面，得到該疊層薄膜3被切斷為與基板2相配合的所希望的長度的基板2A，并向正式粘貼部50運(yùn)送，在正式粘貼部50中，將基板2A中的疊層薄膜3全面地粘合到基板1，得到基板2B。將基板2B進(jìn)一步向下游側(cè)的曝光裝置等運(yùn)送，實(shí)施必要的處理。
下面，對臨時安裝部10和正式粘貼部50的構(gòu)成進(jìn)行詳細(xì)說明。另外，在全部的圖中，為了避免說明的重復(fù)，對相同的物品標(biāo)注相同的符號。
圖2表示臨時安裝部10。
在圖2中，12是從上下把持基板2，通過旋轉(zhuǎn)，將基板向下游運(yùn)送的夾緊輥，13是疊層薄膜3的導(dǎo)輥，在運(yùn)送路面的上下各設(shè)置一個，即使最接近單點(diǎn)劃線所示的運(yùn)送路面，也不會與基板2的上下各面接觸。
疊層薄膜3從設(shè)置在架臺14的上下的各薄膜供給輥15分別被放出。從各薄膜供給輥15分別被放出的疊層薄膜3作為一個例子，是以感光性樹脂層(感光性樹脂)為中心，在前后各面設(shè)置透光性的支撐薄膜和保護(hù)薄膜的3層的疊層構(gòu)成，通過薄膜送出輥16，從各薄膜供給輥15拉出并放出。在各薄膜供給輥15中，疊層薄膜3以將透光性支撐薄膜作為外側(cè)，將保護(hù)薄膜作為內(nèi)側(cè)的方式被卷入。
薄膜送出輥16的疊層薄膜3的放出速度(移動速度)由于后述的伺服馬達(dá)(圖7所示的伺服馬達(dá)20)，比運(yùn)送路面上的基板2的運(yùn)送速度要快一些。
三層的疊層薄膜3在剝離部件17中，其保護(hù)薄膜被剝離，被卷取在卷取輥18上。據(jù)此，疊層薄膜3在剝離部件17的下游成為感光性樹脂層和透光性支撐薄膜的兩層疊層構(gòu)成。
19是在運(yùn)送路面的方向移動或反向移動，調(diào)整施加在兩層的疊層薄膜3上的張力的張力調(diào)節(jié)輥。
21是切斷疊層薄膜的旋轉(zhuǎn)刀具，22是旋轉(zhuǎn)刀具21的支撐臺，23是保持由旋轉(zhuǎn)刀具21切斷的疊層薄膜的前端，并臨時安裝到基板2上的臨時安裝部件，24是將疊層薄膜的前端卷繞到臨時安裝部件23上的卷繞用保持部件，25是保持由旋轉(zhuǎn)刀具21切斷的疊層薄膜的后端，并向基板2運(yùn)送的后端保持部件。
臨時安裝部件23、卷繞用保持部件24、后端保持部件25在與疊層薄膜接觸的面上具有與未圖示出的真空源連通的多個吸附孔，通過連通的開閉，吸附或放開疊層薄膜3。另外，在臨時安裝部件23的運(yùn)送路面?zhèn)鹊那岸瞬績?nèi)置著加熱器，對所吸附的疊層薄膜3進(jìn)行加熱，提高感光性樹脂層的粘著性。
27是使上下的臨時安裝部件23同時向基板2移動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，雖然旋轉(zhuǎn)刀具21-后端保持部件25等的動作在后面將詳細(xì)說明，但省略這些驅(qū)動機(jī)構(gòu)的圖示。28是小口徑的導(dǎo)輥。
30是基板夾持機(jī)構(gòu)，通過圖3進(jìn)行詳細(xì)說明。
在圖3(a)中，31是長度方向與運(yùn)送方向一致的環(huán)形皮帶，能夠通過伺服馬達(dá)32的正反各旋轉(zhuǎn)，向朝向下游的運(yùn)送方向和朝向上游的相反方向移動。在環(huán)形皮帶31上固定著臂33，在臂33上，上下地設(shè)置著一對基板夾持器34。
各基板夾持器34其長度方向與運(yùn)送方向一致，通過上游側(cè)的前端部把持基板2(2A)的前端。因此，臂33其基板夾持器34相互接近，內(nèi)置著用于把持基板2(2A)的前端的空氣缸。另外，臂33也內(nèi)置著用于使臂33本身上下移動的空氣缸。因?yàn)槭峭ㄟ^使臂33動作的空氣缸，使由把持基板2(2A)的前端的空氣缸所把持的基板2(2A)向上方移動，所以基板2A成為其前端部從運(yùn)送路面向上方浮起的狀態(tài)。
如圖3(b)所示，運(yùn)送輥11在配置著基板夾持機(jī)構(gòu)30的部位中，以在寬度方向也在內(nèi)部配置各一對基板夾持器34的方式，在寬度方向被一分為三。在寬度方向被一分為三的運(yùn)送輥11用11A-11C表示。
各運(yùn)送輥11A-11C同步旋轉(zhuǎn)，使基板2A不會相對于運(yùn)送方向傾斜。在寬度方向配置的各一對基板夾持器34都是通過臂33固定在環(huán)形皮帶31上，在通過環(huán)形皮帶31的旋轉(zhuǎn)向下游側(cè)移動時，同步向運(yùn)送方向移動，使基板2A不會向運(yùn)送方向傾斜。
接著，通過圖4，就正式粘貼部50進(jìn)行說明。
在架臺51上設(shè)置著由下腔52和上腔57構(gòu)成的、二分割構(gòu)成的真空腔，下腔52在底部內(nèi)置著液壓裝置53。液壓裝置53使滑塊54上下運(yùn)動，在其上端部保持著下壓板55。
下壓板55的上面為水平面，內(nèi)部具有未圖示出的加熱器。上腔57通過未圖示出的驅(qū)動機(jī)構(gòu)上下，側(cè)壁部57a與下腔52的側(cè)壁部52a成為一體，形成氣密空間，內(nèi)部通過與真空源連通而被減壓。
上腔57在蓋部保持著上壓板58，上壓板58的下面為水平面。
63、64分別是將軸固定于架臺51上的運(yùn)送薄膜61的供給輥和卷繞輥，65、66分別是將軸固定于架臺51上的保護(hù)薄膜62的供給輥和卷繞輥。
因?yàn)榫砝@輥64、66通過未圖示出的扭矩馬達(dá)，總是向卷取各薄膜61、62的方向施加張力，所以若供給輥63、65的未圖示出的制動器被解除，則運(yùn)送薄膜61和保護(hù)薄膜62被同步放出，在運(yùn)送方向移動。另外，其運(yùn)送速度與臨時安裝部10中的運(yùn)送輥11進(jìn)行的基板2的運(yùn)送速度一致。
70是基板取出裝置，上下的各臂71在上游側(cè)的端部分別具有薄膜夾持器72，在下游側(cè)的端部具有薄膜引導(dǎo)器73。
另外，74、75分別是運(yùn)送薄膜61和保護(hù)薄膜62的方向轉(zhuǎn)換輥。
上下的各臂71內(nèi)置著使上游側(cè)端部的薄膜夾持器72接近或離開的空氣缸，通過未圖示出的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，與運(yùn)送路面平行地向下游或上游移動。在其移動時的薄膜夾持器72的動作在后面敘述。
運(yùn)送薄膜61和保護(hù)薄膜62在方向轉(zhuǎn)換輥74、75中轉(zhuǎn)換方向，水平地相對，使上下的兩腔52、57的中央沿運(yùn)送方向延伸，在薄膜引導(dǎo)器73中再次轉(zhuǎn)換方向，被卷取在卷取輥64、66上。兩薄膜61、62的寬度比基板2(2A、2B)的寬度寬。另外，保護(hù)薄膜62使上壓板58的下面不會因基板2A而污濁，同時保護(hù)基板2A。
基板2A通過上游的臨時安裝部10中的基板夾持機(jī)構(gòu)30和運(yùn)送輥11，被供給到運(yùn)送薄膜61和保護(hù)薄膜62之間，向打開的上下兩腔52、57的中央運(yùn)送，在關(guān)閉上下兩腔52、57，氣密空間處于減壓下，上壓板58下降，借助運(yùn)送薄膜61和保護(hù)薄膜62進(jìn)行正式粘貼，將臨時安裝的疊層薄膜3粘貼到基板2A上，作為基板2B，向下游運(yùn)送。在正式粘貼中，加熱各壓板55、58的內(nèi)置加熱器，通過提高感光性樹脂層的粘著性和進(jìn)行加壓，來進(jìn)行切實(shí)的粘貼。
接著，對從將疊層薄膜3臨時安裝到基板2上后進(jìn)行正式粘貼開始，到送至下游的處理裝置為止的薄膜粘貼裝置1中的一系列動作進(jìn)行說明。另外，在與運(yùn)送路面相比的下側(cè)，針對疊層薄膜3的處理與上側(cè)的疊層薄膜3的處理相同，下面的各圖是為了便于理解，將圖放大，以上側(cè)的疊層薄膜3為中心進(jìn)行表示。
首先，通過圖5，就準(zhǔn)備處理進(jìn)行說明。
拉出卷繞在薄膜供給輥15上的三層構(gòu)成的疊層薄膜3，經(jīng)過薄膜送出輥16，在剝離部件17中剝離保護(hù)薄膜，剝離掉的保護(hù)薄膜卷繞在保護(hù)薄膜的卷取輥18上，未加改變地放置在薄膜供給輥15的上部。
保護(hù)薄膜的卷取輥18在從薄膜供給輥15拉出疊層薄膜3時，向與薄膜供給輥15相反的方向旋轉(zhuǎn)，卷取保護(hù)薄膜。
保護(hù)薄膜被剝離成為了兩層構(gòu)成的疊層薄膜3，其透光性支撐薄膜成為了張力調(diào)節(jié)輥19側(cè)，經(jīng)過該張力調(diào)節(jié)輥19，進(jìn)而經(jīng)過臨時安裝部件23和卷繞用保持部件24，通過旋轉(zhuǎn)刀具21和其支撐臺22之間。
使旋轉(zhuǎn)刀具21旋轉(zhuǎn)，切斷疊層薄膜3，廢棄位于運(yùn)送路面?zhèn)鹊?、切斷的疊層薄膜3的上游側(cè)部分(圖5表示進(jìn)行切斷并廢棄了前端部的狀況)。
通過卷繞用保持部件24，吸引吸附所切斷的下游側(cè)前端部，使之向下游側(cè)移動，卷繞在臨時安裝部件23的運(yùn)送路面?zhèn)鹊那岸瞬?。另外，在旋轉(zhuǎn)刀具21中所切斷的疊層薄膜的下游側(cè)前端部成為粘貼到基板2上的疊層薄膜的前端部。
臨時安裝部件23通過吸引吸附來保持被卷繞的疊層薄膜3，因?yàn)樵谂R時安裝部件23的前端部內(nèi)置著加熱器，所以疊層薄膜3的感光性樹脂層被加熱，粘性提高。
與卷繞用保持部件24向下游側(cè)的移動相配合，支撐臺22、導(dǎo)輥28一起移動，位于不成為后述的臨時安裝部件23向運(yùn)送路面?zhèn)纫苿拥恼系K的位置。
在臨時安裝部件23的運(yùn)送路面?zhèn)鹊那岸瞬课奖３织B層薄膜3的前端部時，卷繞用保持部件24解除自身的吸附，將疊層薄膜3的前端部轉(zhuǎn)交到臨時安裝部件23的運(yùn)送路面?zhèn)鹊那岸瞬俊?br> 雖然薄膜送出輥16向?qū)B層薄膜3從薄膜供給輥15拉出的方向旋轉(zhuǎn)，薄膜供給輥15向卷取疊層薄膜3的方向施加扭矩，但是，通過張力調(diào)節(jié)輥19在運(yùn)送路面?zhèn)纫苿樱瑢ΟB層薄膜3施加微小的張力，該狀態(tài)為結(jié)束了準(zhǔn)備處理的待機(jī)狀態(tài)。
在待機(jī)狀態(tài)下，夾緊輥12和導(dǎo)輥13處于放開狀態(tài)。對于兩輥12、13的閉鎖，將在后面敘述。后端保持部件25與導(dǎo)輥13的動作聯(lián)動，處于從運(yùn)送路面離開的狀態(tài)。
若為待機(jī)狀態(tài)，則基板2從上游機(jī)被運(yùn)送。
基板2若被組裝在運(yùn)送輥11之間的未圖示出的基板檢測傳感器檢測到前端部，則在與臨時安裝部件23的前端部相比稍稍下游側(cè)的位置成為基板2的前端的位置，運(yùn)送被停止。若基板2停止，則夾緊輥12在運(yùn)送路面?zhèn)纫苿?，把持運(yùn)送方向中的基板2的中央部。
若基板2停止，則進(jìn)入后面的臨時安裝處理。
通過圖6，說明臨時安裝處理。
如圖6所示，若基板2停止，則通過驅(qū)動機(jī)構(gòu)27，臨時安裝部件23向運(yùn)送路面?zhèn)纫苿印Ｔ谂R時安裝部件23向運(yùn)送路面?zhèn)纫苿訒r，薄膜送出輥16以比臨時安裝部件23向運(yùn)送路面?zhèn)纫苿拥乃俣瓤斓乃俣?，向?qū)B層薄膜3從薄膜供給輥15拉出的方向旋轉(zhuǎn)，張力調(diào)節(jié)輥19隨著疊層薄膜3的張力移動，張力基本沒有施加到疊層薄膜3上。
若臨時安裝部件23向運(yùn)送路面?zhèn)纫苿?，保持在前端部的疊層薄膜3的前端部與基板2的前端部所希望的位置接觸，則在一定時間維持該狀態(tài)，通過疊層薄膜3中的感光性樹脂層的粘著性，將疊層薄膜3的前端部臨時安裝到基板2的前端部。臨時安裝有疊層薄膜3的前端部的基板2用基板2A表示。
在一定時間后，如圖7(a)所示，臨時安裝部件23解除疊層薄膜3的吸附保持，通過驅(qū)動機(jī)構(gòu)27離開運(yùn)送路面，回復(fù)到原來的位置。另外，20是驅(qū)動薄膜送出輥16的伺服馬達(dá)。
若臨時安裝部件23通過驅(qū)動機(jī)構(gòu)27回復(fù)到原來的位置，則大口徑的導(dǎo)輥13從點(diǎn)線所示的放開位置移動到剖面所示的閉鎖位置。閉鎖位置在與放開位置相比的上游側(cè)成為運(yùn)送路面?zhèn)?，但是，不存在?dǎo)輥13與基板2的上下各主面接觸的情況，而是如圖7(b)放大地表示的那樣，雖然疊層薄膜3與導(dǎo)輥13的外周面接觸，但不與基板2A的上下各主面接觸，疊層薄膜3除其進(jìn)行了臨時安裝的前端部以外的區(qū)域，沒有粘貼到基板2A的上下各主面上。
與大口徑的導(dǎo)輥13向閉鎖位置的前進(jìn)相配合，后端保持部件25和小口徑的導(dǎo)輥28前進(jìn)，接著，準(zhǔn)備進(jìn)行疊層薄膜3的供給。
若大口徑的導(dǎo)輥13向閉鎖位置前進(jìn)，則基板夾持機(jī)構(gòu)30的伺服馬達(dá)32動作，使環(huán)形皮帶31轉(zhuǎn)動，借助臂33，使各一對的基板夾持器34向上游側(cè)前進(jìn)，通過內(nèi)置在臂33內(nèi)的空氣缸，利用各一對的基板夾持器34，把持基板2A的前端部。
在該把持后，通過內(nèi)置在臂33內(nèi)的空氣缸，各一對的基板夾持器34在把持基板2A的前端部的狀態(tài)下稍稍上升，成為使基板2A的前端部從由運(yùn)送輥11構(gòu)成的運(yùn)送路面上浮起的狀態(tài)。
然后，如圖8所示，伺服馬達(dá)32動作，使環(huán)形皮帶31轉(zhuǎn)動，借助臂33，使各一對的基板夾持器34向下游側(cè)前進(jìn)，向下游側(cè)運(yùn)送基板2A。
在該基板運(yùn)送中，加緊輥12與伺服馬達(dá)32的動作相配合，向下游運(yùn)送基板2A，薄膜送出輥16以比基板夾持機(jī)構(gòu)30進(jìn)行的基板2A的運(yùn)送速度快一些的速度，將疊層薄膜3從薄膜供給輥15拉出，向基板2A側(cè)供給。
小口徑的導(dǎo)輥28與大口徑的導(dǎo)輥13相比，稍稍位于上游側(cè)，小口徑的導(dǎo)輥28和大口徑的導(dǎo)輥13與伴隨著基板2A向下游側(cè)的移動(運(yùn)送)的疊層薄膜3的移動相配合，輕快地旋轉(zhuǎn)，進(jìn)行疊層薄膜3的順暢的供給。
因此，在基板夾持機(jī)構(gòu)30進(jìn)行的基板2A的運(yùn)送中，張力基本沒有施加到疊層薄膜3上。
若在基板夾持機(jī)構(gòu)30進(jìn)行的基板2A的運(yùn)送中，支撐臺22和卷繞用保持部件24返回到圖5所示的疊層薄膜3的切斷位置，基板2A和疊層薄膜3向下游側(cè)移動所希望的距離，基板2A的后端部靠近夾緊輥12，則旋轉(zhuǎn)刀具21旋轉(zhuǎn)，切斷疊層薄膜3。通過該切斷，疊層薄膜3成為粘貼到基板2A上的所希望的長度。
在疊層薄膜3的切斷動作之前，臨時安裝部件23與疊層薄膜3向運(yùn)送路面?zhèn)鹊囊苿铀俣认嗯浜希幻嬉苿?，一面開始吸引吸附，吸附保持移動的疊層薄膜3。
后端保持部件25在疊層薄膜3被切斷的時刻，吸引吸附并保持疊層薄膜3，大口徑導(dǎo)輥的外周部與疊層薄膜3的移動速度相配合，在運(yùn)送路面?zhèn)纫苿?，將疊層薄膜3的后端部運(yùn)送到基板2A上，在疊層薄膜3覆蓋在基板2A上的狀態(tài)下，解除吸附保持。
因?yàn)榇罂趶綄?dǎo)輥13離開基板2，所以在大口徑導(dǎo)輥13的上游側(cè)形成了大的空間，因此，后端保持部件25能夠接近基板2的上下各主面，據(jù)此，由于疊層薄膜3的后端部在基板2的各主面的附近，解除了吸附保持，所以疊層薄膜3的后端部正對基板2的各主面，不會散亂。
薄膜送出輥16持續(xù)旋轉(zhuǎn)，供給疊層薄膜3，直至旋轉(zhuǎn)刀具21結(jié)束對疊層薄膜3的切割，張力基本沒有施加到疊層薄膜3上，不會引起因切斷而產(chǎn)生的張力的釋放而伸縮，在疊層薄膜3上產(chǎn)生皺摺。
大口徑導(dǎo)輥13因?yàn)樯陨噪x開基板2A的上下各主面，疊層薄膜3沒有被基板2A加壓，所以上側(cè)的疊層薄膜3通過后端保持部件25解除吸附保持，成為被覆蓋在基板2A的上主面的狀態(tài)，因?yàn)楦饕粚Φ幕鍔A持器34在把持基板2A的前端部的狀態(tài)下稍稍上升，在使基板2A的前端部從由運(yùn)送輥11構(gòu)成的運(yùn)送路面上浮起的狀態(tài)下，將基板2A運(yùn)送到下游側(cè)，所以下側(cè)的疊層薄膜3僅僅通過在其運(yùn)送中，在運(yùn)送輥11或大口徑導(dǎo)輥13上移動過去，即處于稍稍離開基板2A的下主面的狀態(tài)，沒有被加壓粘貼。
圖9表示后端保持部件25馬上要解除疊層薄膜3的吸附保持前的、針對疊層薄膜3的后端部處理的狀況。
在基板2A通過了大口徑導(dǎo)輥13之間后，大口徑導(dǎo)輥13和后端保持部件25向待機(jī)位置返回。
同時，因?yàn)榕R時安裝部件23向待機(jī)位置返回，薄膜送出輥16反轉(zhuǎn)，疊層薄膜3被卷回薄膜供給輥15，疊層薄膜3已經(jīng)被切斷，所以卷繞用保持部件24使疊層薄膜3的前端部卷繞在臨時安裝部件23中的運(yùn)送路面?zhèn)鹊那岸瞬可喜⑽奖３?，一直待機(jī)，直至下一個基板被運(yùn)送。
基板夾持機(jī)構(gòu)30中的基板夾持器34解除對基板2A的把持，使基板2A離開的時點(diǎn)是旋轉(zhuǎn)刀具21切斷疊層薄膜3，基板夾持機(jī)構(gòu)30把持基板2A，使之在下游側(cè)從臨時安裝部10向正式粘貼部50側(cè)僅移動基板2A全長的量并且下降，使基板2A的前端部達(dá)到運(yùn)送輥11上的時間。通過該把持的放開，基板2A成為通過運(yùn)送輥11向下游側(cè)被運(yùn)送的狀態(tài)。另外，基板夾持機(jī)構(gòu)30向上游側(cè)行進(jìn)的時點(diǎn)是臨時安裝部件23將疊層薄膜3的前端部臨時安裝在下一個被運(yùn)送的基板2的前端的時間。
從基板夾持機(jī)構(gòu)30放開并移動到運(yùn)送輥11上的基板2A通過運(yùn)送輥11的旋轉(zhuǎn)，被轉(zhuǎn)移放置在正式粘貼部50的運(yùn)送薄膜61上。即，由于運(yùn)送薄膜61向下游側(cè)的移動速度與運(yùn)送輥11的旋轉(zhuǎn)速度一致，基板2A順暢地轉(zhuǎn)移到運(yùn)送薄膜61上。
另外，在基板夾持機(jī)構(gòu)30離開基板2A后，向下游側(cè)稍稍移動，使用臂33的內(nèi)置空氣缸下降。在該情況下，基板夾持機(jī)構(gòu)30成為比運(yùn)送輥11或基板2A低的位置。基板2A逐漸滑過基板夾持機(jī)構(gòu)30的上部。
此后，基板夾持機(jī)構(gòu)30回到待機(jī)位置，準(zhǔn)備下一個基板2A的把持。
運(yùn)送薄膜61上的基板2A如圖4所示，被設(shè)置在因運(yùn)送薄膜61的移動而打開的上下兩腔52、57的上下各壓板55、58之間。然后，通過未圖示出的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，上腔57下降，兩側(cè)壁部52a、57a對接，形成氣密空間，內(nèi)部通過與真空源連通而被減壓。
通過該減壓，基板2A和上下的疊層薄膜3之間的空氣被排出，滑塊54通過液壓裝置53上升，通過上下各壓板55、58，借助運(yùn)送薄膜61和保護(hù)薄膜62，基板2A和上下的疊層薄膜3被加壓加熱，進(jìn)行正式粘貼。
因?yàn)榀B層薄膜3在后端保持部件25解除疊層薄膜3的吸附保持時，處于基本不存在張力的狀態(tài)，所以上側(cè)的疊層薄膜3僅處于稍許位于基板2A上的狀態(tài)，不會引起與張力的釋放相伴的伸縮。
下側(cè)的疊層薄膜3在從基板夾持機(jī)構(gòu)30放開，移動到運(yùn)送輥11上時，也不會引起與張力的釋放相伴的伸縮，在這種狀態(tài)下，僅僅是基板2的重量處處稍許施加于上部。
因此，因?yàn)樵诨?和各疊層薄膜3之間所有的地方都存在間隙，不是處于基板2A的上下兩主面存在氣泡或皺摺的狀況，若向正式粘貼部50移動，則容易地排氣，進(jìn)行正式粘貼處理，所以在正式粘貼后的基板2B上不存在氣泡或皺摺。
正式粘貼后的基板2B在氣密空間返回到大氣壓，通過未圖示出的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，上腔57上升，上下兩腔52、57被打開時，基板取出裝置70的薄膜夾持器72同時把持運(yùn)送薄膜61和保護(hù)薄膜62，向下游側(cè)移動，拉出兩薄膜61、62，與其相配合，將兩薄膜61、62之間的基板2B拉出到上下兩腔52、57外。此時，因?yàn)楸∧ひ龑?dǎo)器73也向下游側(cè)移動，所以通過比較圖1和圖4可以看出，兩薄膜61、62的下游側(cè)與薄膜引導(dǎo)器73相比向下游側(cè)突出。
其后，薄膜夾持器72放開對運(yùn)送薄膜61和保護(hù)薄膜62的把持，返回到上游側(cè)，等待下一個基板2A的正式粘貼。此時，薄膜引導(dǎo)器73也一起返回，但因?yàn)榫砝@輥64、66通過未圖示出的扭矩馬達(dá)，卷取各薄膜61、62，在兩薄膜61、62之間的基板2B的下游端露出，所以通過合適的構(gòu)件，將基板2B轉(zhuǎn)交到下游機(jī)。
如上述說明，根據(jù)本實(shí)施方式，即使使用具有柔軟性的疊層薄膜，也不會產(chǎn)生皺摺，能夠得到?jīng)]有混入氣泡的基板。
雖然在上述實(shí)施方式中，是在基板2的上下兩主面粘貼疊層薄膜3，但也可以僅在基板2的上下任意一方的單側(cè)面上粘貼疊層薄膜3。
雖然在圖1-圖9所示的上述實(shí)施方式中，是一面運(yùn)送·供給疊層薄膜3，一面通過旋轉(zhuǎn)刀具21進(jìn)行切斷(流動切斷)，但也可以停止疊層薄膜3的運(yùn)送·供給，來通過旋轉(zhuǎn)刀具21進(jìn)行切斷。
雖然在圖1-圖9所示的上述實(shí)施方式中，是通過環(huán)形皮帶來進(jìn)行基板夾持機(jī)構(gòu)的臂的驅(qū)動，但也可以通過螺桿的正反旋轉(zhuǎn)來進(jìn)行。
權(quán)利要求
1.一種薄膜粘貼方法，該薄膜粘貼方法是在臨時安裝部中，將疊層著支撐薄膜和粘著性薄膜的疊層薄膜中的前端部以使該粘著性薄膜成為該基板側(cè)的方式，臨時安裝在該基板中的至少一方的主面的前端部上，在正式粘貼部中，對該基板和該疊層薄膜進(jìn)行加壓，進(jìn)行粘貼，其特征在于，在該臨時安裝部中，在將從薄膜供給輥放出的該疊層薄膜臨時安裝到該基板后，在以該基板的該前端部為最前排，使該基板和該疊層薄膜向進(jìn)行加壓并進(jìn)行粘貼的該正式粘貼部側(cè)移動時，通過位于從該基板的該主面離開的位置的導(dǎo)輥，以使該疊層薄膜不與該基板接觸的方式，向該基板側(cè)供給該疊層薄膜，在該疊層薄膜成為粘貼到該基板上的所希望的長度時，切斷該疊層薄膜，在該正式粘貼部中進(jìn)行被切斷的所希望的長度的疊層薄膜的粘貼。
2.如權(quán)利要求1所述的薄膜粘貼方法，其特征在于，在使該基板向該正式粘貼部側(cè)移動時的、該疊層薄膜向該基板側(cè)的供給速度比該基板向該正式粘貼部側(cè)移動的速度快，使張力基本不施加于該疊層薄膜。
3.如權(quán)利要求1所述的薄膜粘貼方法，其特征在于，在將該疊層薄膜粘貼在該基板的下側(cè)主面的情況下，在使該基板向該正式粘貼部側(cè)移動時，以從運(yùn)送路面上浮起的狀態(tài)，把持該基板的最前排部。
4.如權(quán)利要求1所述的薄膜粘貼方法，其特征在于，在正式粘貼部中，在減壓下，對該基板和該疊層薄膜進(jìn)行加壓加熱并進(jìn)行粘貼。
5.如權(quán)利要求3所述的薄膜粘貼方法，其特征在于，臨時安裝了該疊層薄膜的前端部，并且該最前排部已經(jīng)從運(yùn)送路面上浮起的該基板在該基板的全長的量從該臨時安裝部移動到正式粘貼部側(cè)后，該最前排部返回到該運(yùn)送路面上。
6.一種薄膜粘貼裝置，該薄膜粘貼裝置是在臨時安裝部中，將疊層著支撐薄膜和粘著性薄膜的疊層薄膜中的前端部以使該粘著性薄膜成為該基板側(cè)的方式，臨時安裝在該基板中的至少一方的主面的前端部上，在正式粘貼部中，對該基板和該疊層薄膜進(jìn)行加壓，進(jìn)行粘貼，其特征在于，在該臨時安裝部和該正式粘貼部之間具有基板夾持機(jī)構(gòu)和導(dǎo)輥，所述基板夾持機(jī)構(gòu)將從薄膜供給輥放出的、前端部臨時安裝到該基板的前端部的該疊層薄膜與該基板一起，以它們的該前端部為最前排，向該正式粘貼部側(cè)運(yùn)送；所述導(dǎo)輥在該基板向該正式粘貼部側(cè)移動時，位于從該基板的運(yùn)送路面上的該基板的該主面離開的位置，以使該疊層薄膜不與該基板接觸的方式，向該基板側(cè)供給該疊層薄膜；還具有，該臨時安裝部在該疊層薄膜成為粘貼到該基板上的所希望的長度時，切斷該疊層薄膜的刀具，在該正式粘貼部中，進(jìn)行被切斷的所希望的長度的疊層薄膜的粘貼。
7.如權(quán)利要求6所述的薄膜粘貼裝置，其特征在于，該基板夾持機(jī)構(gòu)在使該基板向該正式粘貼部側(cè)移動時，是在使該基板的最前排部從該運(yùn)送路面上浮起的狀態(tài)下使之移動的。
8.如權(quán)利要求6所述的薄膜粘貼裝置，其特征在于，該正式粘貼部是在減壓下，對該基板和該疊層薄膜進(jìn)行加壓加熱并進(jìn)行粘貼。
全文摘要
本發(fā)明涉及將疊層著支撐薄膜和粘著性薄膜的疊層薄膜中的前端部以使該粘著性薄膜成為基板側(cè)的方式，臨時安裝在基板中的至少一方的主面的前端部，對基板和疊層薄膜進(jìn)行加壓，進(jìn)行粘貼的薄膜粘貼方法及其裝置。在本發(fā)明中，在臨時安裝部(10)，在將從薄膜供給輥(15)放出的疊層薄膜(3)臨時安裝到基板(2)后，在以基板(2)的前端部為最前排，使基板(2)和疊層薄膜(3)向進(jìn)行加壓并進(jìn)行粘貼的正式粘貼部(50)側(cè)移動時，通過位于從基板(2)的主面離開的位置的導(dǎo)輥(13)，以使疊層薄膜(3)不與基板(2)接觸的方式，向基板(2)側(cè)供給疊層薄膜(3)，在疊層薄膜(3)成為粘貼到基板(2)上的所希望的長度時，切斷疊層薄膜(3)，在正式粘貼部(50)中進(jìn)行被切斷的所希望的長度的疊層薄膜(3)的粘貼。根據(jù)本發(fā)明，即使使用具有柔軟性的薄膜，也不會產(chǎn)生以切斷薄膜時的薄膜的伸縮為起因的皺摺，不會在基板和所粘貼的薄膜之間產(chǎn)生氣泡。
文檔編號B32B39/00GK101037031SQ200710008150
公開日2007年9月19日 申請日期2007年1月26日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月15日
發(fā)明者大西亮, 渡邊勝義, 藤井健, 原田茂 申請人:株式會社日立工業(yè)設(shè)備技術(shù)