專利名稱：感光性層疊體的制造裝置和制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及把在支撐體上形成感光材料層的長條狀感光性薄板與基板一起向被加熱的一對壓接輥之間送出，通過在所述基板粘貼所述感光材料層，制造感光性層疊體的感光性層疊體的制造裝置和制造方法。

背景技術：
例如，在基板表面粘貼具有感光性樹脂層(感光材料層)的感光性薄板體(感光性薄板)，而構(gòu)成液晶面板用基板、印刷電路用基板、PDP用基板。感光性薄板體例如在可撓性塑料支撐體上按順序?qū)盈B感光性樹脂層和保護膜。
圖8表示感光性薄板體的粘貼中使用的制造裝置1的概略結(jié)構(gòu)(參照特開平8-183146號公報)。在制造裝置1，從感光性薄板卷拉出，剝離了保護膜的感光性薄板3提供給壓接輥4a、4b之間，并且由具有遠紅外線加熱器5等的基板加熱部6加熱到給定溫度的基板7提供給壓接輥4a、4b之間。由壓接輥4a、4b加熱壓接的感光性薄板和基板7，由冷卻部8冷卻，由切割機(カツタ)9切斷分離基板7之間的感光性薄板3之后，通過薄膜夾具(チヤツク)10，從感光材料層剝離支撐體，從而制造感光性層疊體。
可是，如以上那樣制造的感光性層疊體在基板加熱部6，如果基板7沒調(diào)整到適當?shù)募訜釡囟?，有時在感光材料層和基板7之間就混入氣泡，或者在感光材料層產(chǎn)生皺褶。
圖9和圖10表示由基板加熱部6加熱的基板7的溫度的測定點A1～A4、X1～X3、在各測定點A1～A4、X1～X3測定的溫度的時間的變化。在基板7的周緣部一側(cè)的測定點A1～A4，從遠紅外線加熱器5對基板7供給的熱量比對測定點X1～X3供給的熱量更少，所以考慮熱在基板7上從測定點X1～X3一側(cè)傳遞到測定點A1～A4，設定遠紅外線加熱器5的發(fā)熱量，就如圖10所示，在測定點A1～A4，成為漸漸接近目標溫度的溫度特性，而在測定點X1～X3，成為一度大幅度超過目標溫度后，接近目標溫度的溫度特性。
這時，為了基板7的周緣部一側(cè)的測定點A1～A4的溫度與中央部一側(cè)的測定點X1～X3的溫度的溫度差△Tir減小到允許范圍內(nèi)，并使基板7的整個面接近由大致均一的溫度分布構(gòu)成的目標溫度，有必要把基板7的加熱時間設定得充分長。
可是，如果要充分確保加熱時間，感光性層疊體的制造所需要的時間就變長，引起生產(chǎn)性的下降。而對于基板7的輸送方向，如果長條狀地構(gòu)成基板加熱部6，就能確保加熱時間，但是這時，裝置變得大型化，產(chǎn)生設備成本上升的問題。


發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供不把裝置大型化，能在短時間把基板均一地加熱到所希望的溫度，并且能制造高質(zhì)量的感光性層疊體的感光性層疊體的制造裝置和制造方法。
此外，本發(fā)明的目的在于，提供能降低設備成本，并且能提高感光性層疊體的生產(chǎn)性的感光性層疊體的制造裝置和制造方法。
本發(fā)明是一種感光性層疊體的制造裝置，把在支撐體上形成感光材料層的長條狀感光性薄板與基板一起向加熱的一對壓接輥之間送出，通過在所述基板粘貼所述感光材料層，制造感光性層疊體的感光性層疊體的制造裝置，其特征在于， 具有配置在所述一對壓接輥的前級，把所述基板調(diào)整到給定的加熱溫度，提供給所述壓接輥之間的基板加熱部； 基板加熱部，具有 使第一加熱部件與所述基板的全面接觸，把所述基板加熱到第一加熱溫度的第一加熱機構(gòu)； 把加熱到第一加熱溫度的所述基板通過第二加熱部件在非接觸狀態(tài)下加熱保持到第二加熱溫度，通過輸送部件輸送到所述壓接輥之間的第二加熱機構(gòu)； 從所述第一加熱機構(gòu)向所述第二加熱機構(gòu)供給所述基板的基板供給機構(gòu)。
此外，本發(fā)明是一種感光性層疊體的制造方法，把在支撐體上形成感光材料層的長條狀感光性薄板與基板一起向加熱的一對壓接輥之間送出，通過在所述基板粘貼所述感光材料層，制造感光性層疊體的感光性層疊體，其特征在于，包括 使第一加熱部件與所述基板的全面接觸，把所述基板加熱到第一加熱溫度的步驟； 把加熱到第一加熱溫度的所述基板通過第二加熱部件在非接觸狀態(tài)下加熱保持到第二加熱溫度的步驟； 把加熱保持到第二加熱溫度的所述基板輸送到所述壓接輥之間的步驟。
在本發(fā)明中，通過使第一加熱部件與基板的全面接觸，能把基板迅速加熱到均一的溫度。接著，通過第二加熱部件在非接觸狀態(tài)下加熱保持基板，輸送到壓接輥之間，對處于所希望的加熱狀態(tài)的基板粘貼感光材料層，能制造高質(zhì)量的感光性層疊體。這時，能通過第一加熱部件迅速加熱基板的溫度，所以沒必要大型地構(gòu)成組成第二加熱部件的第二加熱機構(gòu)，能降低設備成本，并且能提高感光性層疊體的生產(chǎn)性。
從與附圖協(xié)同的以下的適合的實施方式的說明，所述目的、特征和優(yōu)點會變得更清楚。



圖1是本實施方式的感光性層疊體的制造裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖2是本實施方式的制造裝置中使用的長條狀感光性薄板的剖視圖。
圖3是在長條狀感光性薄板接合接合標簽的狀態(tài)的說明圖。
圖4是第一加熱機構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。
圖5是第一加熱機構(gòu)、基板供給機構(gòu)和第二加熱機構(gòu)之間的玻璃基板的溫度和時間的關系圖。
圖6是在第一加熱機構(gòu)設定給定的溫度分布時的第一加熱機構(gòu)、基板供給機構(gòu)和第二加熱機構(gòu)之間的玻璃基板的溫度和時間的關系圖。
圖7是其他實施方式的制造裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖8是以往技術的制造裝置的結(jié)構(gòu)圖。
圖9是在圖8所示的制造裝置中，由基板加熱部加熱的基板的溫度測定點的說明圖。
圖10是圖9所示的各溫度測定點的溫度和時間的關系圖。

具體實施例方式
圖1是本實施方式的感光性層疊體的制造裝置20的概略結(jié)構(gòu)圖。該制造裝置20在液晶或有機EL用濾色器等的制造步驟中，進行把由給定寬度尺寸構(gòu)成的長條狀感光性薄板(ウエブ)22的感光性樹脂層28(后面描述)熱轉(zhuǎn)印(層壓ラミネ—ト)到玻璃基板24的作業(yè)。
圖2是制造裝置20中使用的長條狀感光性薄板22的剖視圖。層疊可撓性基膜(支撐體)26、感光性樹脂層(感光材料層)28、保護膜30，構(gòu)成該長條狀感光性薄板22。
如圖1所示，制造裝置20，具有薄板送出機構(gòu)32，其容納把長條狀感光性薄板22卷繞為卷(ロ—ル)狀的感光性薄板卷23，并能夠從感光性薄板卷23送出所述長條狀感光性薄板22；加工機構(gòu)36，其形成半切割部位(加工部位)34a、34b(參照圖2)即能夠在送出的長條狀感光性薄板22的保護膜30和感光性樹脂層28的寬度方向切斷的2處的邊界部分；標簽接合(接著)機構(gòu)40，其把在一部分具有非接合部38a的接合標簽38(參照圖3)與保護膜30接合。
在標簽接合機構(gòu)40的下游，配置把長條狀感光性薄板22從間歇(タクト)輸送變更為連續(xù)輸送的蓄積(レザ—バ)機構(gòu)42；從長條狀感光性薄板22以給定的長度間隔剝離保護膜30的剝離機構(gòu)44；把玻璃基板24加熱到給定溫度的第一加熱機構(gòu)104；把由第一加熱機構(gòu)104加熱的玻璃基板24在加熱保持的狀態(tài)下提供到粘貼位置的第二加熱機構(gòu)106a、106b；把玻璃基板24從第一加熱機構(gòu)104提供給第二加熱機構(gòu)106a的基板供給機構(gòu)108；把由于所述保護膜30的剝離而露出的感光性樹脂層28一體地粘貼到所述玻璃基板24的粘貼機構(gòu)46。另外，第1加熱機構(gòu)104和第2加熱機構(gòu)106a、106b，構(gòu)成基板加熱部。
在粘貼機構(gòu)46的粘貼位置的上游附近配置拍攝包含半切割部位34a、34b的長條狀感光性薄板22的圖像的攝影部47。制造裝置20根據(jù)由攝影部47拍攝的半切割部位34a、34b的圖像，計算半切割部位34a、34b相對于粘貼機構(gòu)46的位置偏移量，進行長條狀感光性薄板22的輸送量的修正。
在薄板送出機構(gòu)32的下游附近，配置對大致使用完畢的長條狀感光性薄板22的后端和新使用的長條狀感光性薄板22的頂端進行粘貼的粘貼臺49。在粘貼臺49的下游，為了控制由感光性薄板卷23的纏繞偏移引起的寬度方向的偏移，配置薄膜末端位置檢測器51。這里，使薄板送出機構(gòu)32在寬度方向移動而進行薄膜末端位置調(diào)整，但是也可以設置組合了輥(ロ—ラ)的位置調(diào)整機構(gòu)，進行。
加工機構(gòu)36配置在用于計算在薄板送出機構(gòu)32中容納卷繞的感光性薄板卷23的卷直徑的輥對50的下游。加工機構(gòu)36具有分開距離M(圖2)的一對圓刀52a、52b。圓刀52a、52b在長條狀感光性薄板22的寬度方向移動，在夾著保護膜30的殘存部分30b的給定的2處的位置形成半切割部位34a、34b。另外，殘存部分30b前后的保護膜30是剝離保護膜30的剝離部分30a。
如圖2所示，半切割部位34a、34b至少有必要切斷保護膜30和感光性樹脂層28，實際上以切入到可撓性基膜26的方式設定圓刀52a、52b的切入深度。采用圓刀52a、52b在不旋轉(zhuǎn)而固定的狀態(tài)下，在長條狀感光性薄板22的寬度方向移動而形成半切割部位34a、34b的方式；或采用在所述長條狀感光性薄板22上不滑動，而一邊旋轉(zhuǎn)一邊在所述寬度方向移動，形成半切割部位34a、34b的方式。也可以代替圓刀52a、52b，采用除了例如使用激光或超聲波的切割方式外，用刀刃、按壓切刀(湯姆遜刀トムソン

)等形成半切割部位34a、34b的方式。
半切割部位34a、34b設定為在把感光性樹脂層28粘貼到玻璃基板24時，例如從所述玻璃基板24的兩端部分別向內(nèi)側(cè)逐次(ずつ)進入10mm的位置。另外，玻璃基板24之間的保護膜30的殘存部分30b，作為在后面描述的粘貼機構(gòu)46中把感光性樹脂層28以框狀(額

)粘貼在所述玻璃基板24時的掩模而發(fā)揮功能。
標簽接合機構(gòu)40為了與玻璃基板24之間對應地剩下保護膜30的殘存部分30b，供給連接半切割部位34b一側(cè)的剝離部分30a和半切割部位34a一側(cè)的剝離部分30a的接合標簽38。
如圖3所示，接合標簽38構(gòu)成為長方形(短冊)狀，例如由與保護膜30相同的樹脂材料形成。接合標簽38在中央部具有不涂敷粘合劑的非接合部(包含微粘合)38a，并且在該非接合部38a的兩側(cè)即所述接合標簽38的縱向兩端部具有與前方的剝離部分30a接合的第一接合部38b、與后方的剝離部分30a接合的第二接合部38c。
如圖1所示，標簽接合機構(gòu)40具有能把最大7個接合標簽38分別隔開給定間隔粘貼的吸附墊54a～54g，并且在基于所述吸附墊54a～54g的所述接合標簽38的粘貼位置，可自由升降地配置用于從下方保持長條狀感光性薄板22的承受臺56。
蓄積機構(gòu)42為了吸收上游一側(cè)的長條狀感光性薄板22的間歇(タクト)輸送和下游一側(cè)的所述長條狀感光性薄板22的連續(xù)輸送的速度差，具有在箭頭方向能自由搖動的跳動輥(ダンサ—ロ—ラ)60。
配置在蓄積機構(gòu)42的下游的剝離機構(gòu)44具有用于遮斷長條狀感光性薄板22的送出一側(cè)的張力變動，使層壓時的張力穩(wěn)定化的空吸鼓(サクシヨンドラム)62。在空吸鼓62的附近配置剝離輥63，并且通過該剝離輥63從長條狀感光性薄板22以銳角的剝離角剝離的保護膜30除了殘存部分，由保護膜卷繞部64卷繞。
在剝離機構(gòu)44的下游一側(cè)配置對長條狀感光性薄板22能付與張力的張力控制機構(gòu)66。張力控制機構(gòu)66在汽缸的驅(qū)動作用下，張力浮動輥70搖動變位，能調(diào)整長條狀感光性薄板22的張力。另外，張力控制機構(gòu)66可以按照必要使用，也能去掉。
第一加熱機構(gòu)104具有由上下2級構(gòu)成的加熱盤110a、110b。如圖4所示，加熱盤110a、110b具有通過從加熱盤驅(qū)動源112供給的電力，均一加熱到給定溫度(第一加熱溫度)的基板載置面114。在基板載置面114，在由基板引導部116a～116d定位的狀態(tài)下，載置玻璃基板24。此外，在基板載置面114形成用于把玻璃基板24在基板載置面114吸附并且解除吸附的多個孔部118。在孔部118通過管路120連接空氣供給源128和真空泵130。在管路120和空氣供給源128之間、管路120和真空泵130之間連接用于切換空氣供給源128和真空泵130的連接狀態(tài)的閥門132a、132b。
基板供給機構(gòu)108由保持在第一加熱機構(gòu)104的加熱盤110a、110b安放的玻璃基板24，在圖1的箭頭θ方向旋轉(zhuǎn)，把玻璃基板24向第二加熱機構(gòu)106a供給的處理機器人構(gòu)成。
第二加熱機構(gòu)106a、106b具有輸送玻璃基板24，提供給粘貼機構(gòu)46的橡膠輥80a、80b之間的輸送部134a、134b；配置在輸送部134a、134b的上下，以非接觸狀態(tài)加熱玻璃基板24的紅外線加熱器136a～136d。另外，也可以代替紅外線加熱器136a～136d使用遠紅外線加熱器、鎳鉻(二クロム)合金線加熱器、熱風加熱器等。
粘貼機構(gòu)46具有配置在上下，并且加熱到給定溫度的橡膠輥(壓接輥)80a、80b。在橡膠輥80a、80b，備用輥82a、82b滑動接觸。一方的備用輥82b通過構(gòu)成輥夾部83的加壓汽缸84被向橡膠輥80b一側(cè)按壓。
玻璃基板24由構(gòu)成從粘貼機構(gòu)46在箭頭Y方向延伸的輸送路線的多個基板輸送輥90a～90d輸送。在基板輸送輥90b、90c之間配置通過切斷玻璃基板24之間的長條狀感光性薄板22，分離在玻璃基板24粘貼感光材料層的感光性層疊體24a的切割機構(gòu)48。
在基板輸送輥90d的下游一側(cè)配置在層疊的狀態(tài)下存放多個感光性層疊體24a的存放器94，通過機器人96把由切割機構(gòu)48分離的感光性層疊體24a移動安放到該存放器94。與存放器94相鄰，配置把感光性層疊體24a中殘存的可撓性基膜26與保護膜30的殘存部分30b一起剝離的剝離部98。剝離部98具有吸附保持玻璃基板24的吸附盤102、從由吸附盤102保持的玻璃基板24上粘貼的感光性樹脂層28剝離可撓性基膜26的夾持器100。由夾持器100剝離可撓性基膜26的感光性層疊體24b提供給下一步驟，例如曝光步驟。
另外，在如以上那樣構(gòu)成的制造裝置20中，薄板送出機構(gòu)32、加工機構(gòu)36、標簽接合機構(gòu)40、蓄積機構(gòu)42、剝離機構(gòu)44、張力控制機構(gòu)66和攝影部47配置在粘貼機構(gòu)46的上方，但是也可以與此相反，在所述粘貼機構(gòu)46的下方配置從所述薄板送出機構(gòu)32到所述攝影部47，長條狀感光性薄板22的上下變?yōu)橄喾?，在玻璃基?4的下側(cè)粘貼感光性樹脂層28的結(jié)構(gòu)。此外，也可以把長條狀感光性薄板22的輸送路線構(gòu)成為直線狀。
制造裝置20內(nèi)通過分隔壁122劃分為第一凈化室124a和第二凈化室124b。在第一凈化室124a容納從薄板送出機構(gòu)32到張力控制機構(gòu)66，在第二凈化室124b容納攝影部47以下的機構(gòu)。第一凈化室124a和第二凈化室124b通過貫通部126連通。
下面，用與本發(fā)明的制造方法的關聯(lián)，說明如以上那樣構(gòu)成的制造裝置20的動作。
首先，從安裝在薄板送出機構(gòu)32的感光性薄板卷23送出長條狀感光性薄板22。長條狀感光性薄板22輸送到加工機構(gòu)36。
在加工機構(gòu)36，圓刀52a、52b在長條狀感光性薄板22的寬度方向移動，把所述長條狀感光性薄板22從保護膜30切入到感光性樹脂層28乃至可撓性基膜26，形成以保護膜30的殘存部分30b的寬度M離開的半切割部位34a、34b(參照圖2)。據(jù)此，在長條狀感光性薄板22，夾著殘存部分30b，設置前方的剝離部分30a和后方的剝離部分30a(參照圖2)。
另外，以長條狀感光性薄板22不變長為前提，以提供給粘貼機構(gòu)46的橡膠輥80a、80b之間的玻璃基板24之間的距離為基準，設定殘存部分30b的幅度M。此外，以幅度M形成的一組的半切割部位34a、34b，以在玻璃基板24粘貼的感光性樹脂層28的基準長度的間隔，形成在長條狀感光性薄板22上。
接著，長條狀感光性薄板22輸送到標簽接合機構(gòu)40，保護膜30的給定的粘貼部位配置在承受臺56上。在標簽接合機構(gòu)40，給定個數(shù)的接合標簽38由吸附墊54b～54g吸附保持，各接合標簽38跨保護膜30的殘存部分30b，與前方的剝離部分30a和后方的剝離部分30a一體接合(參照圖3)。
例如，接合7個接合標簽38的長條狀感光性薄板22如圖1所示，通過蓄積機構(gòu)42防止送出一側(cè)的張力變動后，連續(xù)輸送到剝離機構(gòu)44。在剝離機構(gòu)44，長條狀感光性薄板22的可撓性基膜26由空吸鼓62吸附保持，并且保護膜30剩下殘存部分30b，從長條狀感光性薄板22剝離。該保護膜30通過剝離輥63剝離，由保護膜卷繞部64卷繞(參照圖1)。
在剝離機構(gòu)44的作用下，保護膜30剩下殘存部分30b，從可撓性基膜26剝離后，長條狀感光性薄板22由張力控制機構(gòu)66進行張力調(diào)整，接著，在攝影部47，在給定的定時拍攝包含半切割部位34a、34b的長條狀感光性薄板22的圖像。
通過攝影部47后的長條狀感光性薄板22輸送到粘貼機構(gòu)46，從而進行對玻璃基板24的感光性樹脂層28的轉(zhuǎn)印處理(層壓)。這時，根據(jù)由攝影部47攝影的半切割部位34a、34b的圖像，調(diào)整粘貼機構(gòu)46的半切割部位34a、34b的位置。
在粘貼機構(gòu)46，起初把橡膠輥80a、80b設定為分開的狀態(tài)，在橡膠輥80a、80b之間的給定位置在將長條狀感光性薄板22的半切割部位34a定位的狀態(tài)下，暫時停止長條狀感光性薄板22的輸送。在該狀態(tài)下，由第二加熱機構(gòu)106b加熱到給定溫度的玻璃基板24由輸送部134b輸送到橡膠輥80a、80b之間，并開始對玻璃基板24的長條狀感光性薄板22的粘貼處理。
這里，說明基于第一加熱機構(gòu)104、基板供給機構(gòu)108、第二加熱機構(gòu)106a、106b的玻璃基板24的加熱處理。
首先，基板供給機構(gòu)108從未圖示的輸送裝置等取得加熱前的玻璃基板24，安放到構(gòu)成第一加熱機構(gòu)104的加熱盤110a、110b的基板載置面114(圖4)。這時，由配置在基板載置面114上的基板引導部116a～116d把玻璃基板24定位。在基板載置面114安放玻璃基板24后，打開閥門132b，通過管路120和孔部118，開始基于真空泵130的空氣的吸引。結(jié)果，玻璃基板24的全面在與加熱盤110a、110b的基板載置面114接觸的狀態(tài)下，開始定位固定。
而加熱盤110a、110b通過從加熱盤(ホツトプレ—ト)驅(qū)動源112供給的電力，把基板載置面114加熱到比粘貼機構(gòu)46的加熱溫度更高的第一加熱溫度(以下稱作HP溫度)。這時，玻璃基板24成為全面與基板載置面114緊貼的狀態(tài)，所以全面能均一并且迅速加熱到HP溫度。
玻璃基板24加熱到HP溫度后，關閉閥門132b，打開閥門132a，通過從空氣供給源128通過管路120對孔部118供給的空氣，解除玻璃基板24的吸附狀態(tài)。然后，基板供給機構(gòu)108從第一加熱機構(gòu)104取出加熱的玻璃基板24，沿箭頭θ方向旋轉(zhuǎn)，提供給第二加熱機構(gòu)106a的輸送部134a。
第二加熱機構(gòu)106a通過非接觸的紅外線加熱器136a、136b，一邊把玻璃基板24加熱保持到比HP溫度低而接近于橡膠輥80a、80b的加熱溫度的第二加熱溫度，一邊通過輸送部134a輸送到第二加熱機構(gòu)106b。第二加熱機構(gòu)106b與第二加熱機構(gòu)106a同樣，通過紅外線加熱器136c、136d，一邊以第二加熱溫度加熱保持玻璃基板24，一邊通過輸送部134b輸送到粘貼機構(gòu)46。
圖5表示基板供給機構(gòu)108從第一加熱機構(gòu)104取出加熱的玻璃基板24，旋轉(zhuǎn)180°，使玻璃基板24的前后顛倒，提供給第二加熱機構(gòu)106a時，在圖9所示的測定點X1和X3的玻璃基板24的溫度和加熱時間的關系。另外，HP表示玻璃基板24位于第一加熱機構(gòu)104，R/B表示玻璃基板24位于基板供給機構(gòu)108，iR表示玻璃基板24位于第二加熱機構(gòu)106a、106b的各位置。
玻璃基板24通過第一加熱機構(gòu)104的加熱盤110a、110b，均一并且迅速加熱到HP溫度后，在由基板供給機構(gòu)108提供給第二加熱機構(gòu)106a的期間，溫度漸漸下降。接著，提供給第二加熱機構(gòu)106a的玻璃基板24由輸送部134a輸送，測定點X3一側(cè)的加熱比測定點X1一側(cè)先開始。因此，測定點X3一側(cè)以少的溫度下降接近第二加熱溫度即目標溫度。而測定點X1一側(cè)輸送到第二加熱機構(gòu)106a所需的時間比測定點X3一側(cè)更長，所以，溫度下降到目標溫度以下，然后，輸送第二加熱機構(gòu)106a而加熱，漸漸接近目標溫度。
這時，在玻璃基板24從第二加熱機構(gòu)106a、106b提供給粘貼機構(gòu)46的時刻，在測定點X1、X3之間殘存溫度差△T1，但是玻璃基板24由第一加熱機構(gòu)104預先加熱到HP溫度，所以通過第二加熱機構(gòu)106a、106b，溫度差△T1變?yōu)樵试S范圍內(nèi)所需要的時間段。因此，玻璃基板24不在第二加熱機構(gòu)106a、106b長期滯留，或者不用沿著玻璃基板24的輸送方向，較長(長尺)地構(gòu)成第二加熱機構(gòu)106a、106b，就能把玻璃基板24調(diào)整到所希望的目標溫度附近，能快速提供給粘貼機構(gòu)46。
另外，如圖6所示，以與先輸送第二加熱機構(gòu)106a中的測定點X3一側(cè)的HP溫度T3相比較遲輸送的測定點X1一側(cè)的HP溫度T1更高的方式設定加熱盤110a、110b的溫度分布，在基于基板供給機構(gòu)108的玻璃基板24的供給動作中，能避免測定點X1一側(cè)的溫度過剩地下降。結(jié)果，玻璃基板24提供給粘貼機構(gòu)46的時刻的測定點X1、X3之間的溫度差△T2比溫度差△T1更小，或者縮短基于第二加熱機構(gòu)106a、106b的加熱所需的時間，能縮短第二加熱機構(gòu)106a、106b的輸送路線長度。這時，也可以省略第二加熱機構(gòu)106a、106b的一方。
如以上那樣調(diào)整溫度的玻璃基板24輸送構(gòu)成粘貼機構(gòu)46的橡膠輥80a、80b之間，進行對玻璃基板24的長條狀感光性薄板22的粘貼處理。
因此，如果玻璃基板24的頂端部輸送橡膠輥80a、80b之間，在加壓汽缸84的作用下，備用輥82b和橡膠輥80b上升，以給定的壓力在橡膠輥80a、80b之間夾入長條狀感光性薄板22。另外，將橡膠輥80a、80b加熱到給定的層壓溫度。
接著，橡膠輥80a、80b旋轉(zhuǎn)，玻璃基板24和長條狀感光性薄板22沿箭頭Y方向輸送。這時，提供給粘貼機構(gòu)46的玻璃基板24在第二加熱機構(gòu)106b一側(cè)，在允許的溫度差的范圍內(nèi)加熱到大致均一的溫度。因此，不會在感光性樹脂層28和玻璃基板24之間混入氣泡或者在感光性樹脂層28產(chǎn)生皺褶，在良好的狀態(tài)下，感光性樹脂層28被加熱熔化，轉(zhuǎn)印(層壓)到玻璃基板24上。
另外，作為層壓條件，速度是1.0m/min～10.0m/min，橡膠輥80a、80b的溫度是80℃～150℃，所述橡膠輥80a、80b的橡膠硬度是40度～90度，該橡膠輥80a、80b的壓力(線壓力)是50N/cm～400N/cm。
對于玻璃基板24，如果一個長條狀感光性薄板22的一片層壓結(jié)束，就停止橡膠輥80a、80b的旋轉(zhuǎn)，而層壓了長條狀感光性薄板22的玻璃基板24的頂端部由基板輸送輥90a夾住。這時，在橡膠輥80a、80b之間的給定位置配置半切割部位34b。
然后，橡膠輥80b向從橡膠輥80a離開的方向回避，解除夾持，在玻璃基板24層壓長條狀感光性薄板22的感光性層疊體沿箭頭Y方向輸送與保護膜30的殘存部分30b的寬度M對應的距離，下一半切割部位34a輸送到橡膠輥80a的下方附近的給定位置后，停止橡膠輥80a、80b的旋轉(zhuǎn)。另外，以下把只在半切割部位34a、34b之間輸送長條狀感光性薄板22的處理稱作“基板間輸送”。
另一方面，在所述的狀態(tài)下，下一玻璃基板24從第二加熱機構(gòu)106b向粘貼位置輸送。通過重復以上的動作，連續(xù)地制造感光性層疊體。
這時，感光性層疊體把各自的端部由圖2所示的保護膜30的殘存部分覆蓋。因此，感光性樹脂層28轉(zhuǎn)印到玻璃基板24時，橡膠輥80a、80b不會由所述感光性樹脂層28污染。
通過粘貼機構(gòu)46粘貼了感光性樹脂層28的玻璃基板24，由粘貼機構(gòu)46把長條狀感光性薄板22進行基板間輸送后，暫時處于停止狀態(tài)時，通過配置在基板輸送輥90b、90c之間的切割機構(gòu)48，切斷玻璃基板24之間的長條狀感光性薄板22，成為感光性層疊體24a。另外，在該感光性層疊體24a的前后，殘存部分30b的保護膜30殘存。
分離后的感光性層疊體24a通過機器人96暫時層疊到存放器94中。接著，在存放器94層疊的感光性層疊體24a移動安放到剝離部98后，玻璃基板24由吸附盤102吸附保持，端部的可撓性基膜26由夾持器100把持，從感光性層疊體24a剝離，從而制造在玻璃基板24只粘貼感光性樹脂層28的感光性層疊體24b。
圖7是其他實施方式的制造裝置200的概略結(jié)構(gòu)圖。另外，對與圖1所示的制造裝置20相同的構(gòu)成要素付與相同的參照符號，省略其說明。
在制造裝置200，通過粘貼機構(gòu)46粘貼有長條狀感光性薄板22的玻璃基板24，不分斷(分斷)地輸送到冷卻部202，冷卻后，提供給剝離部204。在剝離部204通過推動器，把玻璃基板24之間的長條狀感光性薄板22向上推，成為保護膜30的剝離容易的狀態(tài)后，從感光性樹脂層28剝離保護膜30，由卷繞輥208卷繞。據(jù)此，玻璃基板24之間分離，制造感光性層疊體24b。
另外，在上述的實施方式中，以在玻璃基板24粘貼從一片感光性薄板卷23供給的長條狀感光性薄板22而制造所謂的1張(丁)粘貼的感光性層疊體24b的方式構(gòu)成，但是，例如也可以按照從2個感光性薄板卷或3個以上的感光性薄板卷供給長條狀感光性薄板22，在玻璃基板24粘貼的所謂2張粘貼、3張粘貼等感光性層疊體24b的方式構(gòu)成。
權利要求
1.一種感光性層疊體的制造裝置，把在支撐體(26)上形成感光材料層(28)而成的長條狀感光性薄板(22)與基板(24)一起發(fā)送到加熱后的一對壓接輥(80a、80b)之間，通過在所述基板(24)粘貼所述感光材料層(28)，制造感光性層疊體(24a)，其特征在于，
該感光性層疊體的制造裝置，具有
基板加熱部(104、106a、106b)，其配置在所述一對壓接輥(80a、80b)的前級，把所述基板(24)調(diào)整到給定的加熱溫度，且提供到所述壓接輥(80a、80b)之間；
所述基板加熱部(104、106a、106b)具有
使第一加熱部件(110a、110b)與所述基板(24)的整個面接觸，把所述基板(24)加熱到第一加熱溫度的第一加熱機構(gòu)(104)；
把加熱到第一加熱溫度的所述基板(24)由第二加熱部件(136a～136d)在非接觸狀態(tài)下加熱保持到第二加熱溫度，且由輸送部件(134a、134b)輸送到所述壓接輥(80a、80b)之間的第二加熱機構(gòu)(106a、106b)；以及
從所述第一加熱機構(gòu)(104)向所述第二加熱機構(gòu)(106a、106b)供給所述基板(24)的基板供給機構(gòu)(108)。
2.根據(jù)權利要求1所述的感光性層疊體的制造裝置，其特征在于，
所述第一加熱部件(110a、110b)由加熱盤構(gòu)成。
3.根據(jù)權利要求1所述的感光性層疊體的制造裝置，其特征在于，
所述第二加熱部件(136a～136d)是紅外線加熱器。
4.根據(jù)權利要求1所述的感光性層疊體的制造裝置，其特征在于，
所述第一加熱溫度設定得比所述第二加熱溫度更高。
5.根據(jù)權利要求1所述的感光性層疊體的制造裝置，其特征在于，
所述第二加熱溫度被設定在所述一對壓接輥(80a、80b)的加熱溫度附近。
6.一種感光性層疊體的制造方法，把在支撐體(26)上形成感光材料層(28)而成的長條狀感光性薄板(22)與基板(24)一起向被加熱后的一對壓接輥(80a、80b)之間送出，通過在所述基板(24)粘貼所述感光材料層(28)，制造感光性層疊體(24a)，其特征在于，
該感光性層疊體的制造方法，具有
使第一加熱部件(110a、110b)與所述基板(24)的整個面接觸，且把所述基板(24)加熱到第一加熱溫度的步驟；
把加熱到所述第一加熱溫度的所述基板(24)由第二加熱部件(136a～136d)在非接觸狀態(tài)下加熱保持到第二加熱溫度的步驟；
把加熱保持到所述第二加熱溫度的所述基板(24)輸送到所述壓接輥(80a、80b)之間的步驟。
7.根據(jù)權利要求6所述的感光性層疊體的制造方法，其特征在于，
所述第一加熱溫度設定得比所述第二加熱溫度更高。
8.根據(jù)權利要求6所述的感光性層疊體的制造方法，其特征在于
所述第二加熱溫度設定在所述一對壓接輥(80a、80b)的加熱溫度附近。
全文摘要
本發(fā)明提供一種感光性層疊體的制造裝置和制造方法，玻璃基板(24)通過構(gòu)成第一加熱機構(gòu)(104)的加熱盤(110a、110b)，均一并且迅速加熱到第一加熱溫度后，通過基板供給機構(gòu)(108)提供給第二加熱機構(gòu)106a、106b，由輸送部(134a、134b)一邊輸送，一邊通過紅外線加熱器(136a～136d)在比第二加熱溫度更低的第二加熱溫度加熱保持后，與長條狀感光性薄板(22)一起提供給構(gòu)成粘貼機構(gòu)(46)的橡膠輥(80a、80b)之間，并且在玻璃基板(24)壓接感光性樹脂層(28)，從而制造感光性層疊體(24b)。
文檔編號B32B37/06GK101396898SQ200810168930
公開日2009年4月1日 申請日期2008年9月27日 優(yōu)先權日2007年9月28日
發(fā)明者遠藤惠介, 中澤直子 申請人:富士膠片株式會社