專利名稱：撕膜頭及使用其的撕膜設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是有關(guān)于一種撕膜頭及使用其的撕膜設(shè)備，且特別是有關(guān)于一種利用膠帶撕除膜片的撕膜頭及使用其的撕膜設(shè)備。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的撕膜設(shè)備通常是采用滾筒結(jié)構(gòu)，如日本特許公開號第2007-094044號的專利所示，此種滾筒上環(huán)繞有膠帶，其運(yùn)作方式為，先將貼附有膜片的基板固定在載臺上，并使?jié)L筒接觸基板的邊緣，讓滾筒上的膠帶黏住基板上的膜片，接著讓滾筒朝基板的另一側(cè)邊緣滾動，在滾動的過程中，膜片會被膠帶循序從基板上撕除，并且同步纏繞在滾筒上。在基板尺寸較大的情況下，撕除膜片時所需使用的滾筒也會對應(yīng)基板尺寸而加大，同時，環(huán)繞在滾筒上的膠帶面積也會隨之增加，且較大的滾筒需要更大馬力的驅(qū)動裝置以及更多的空間，因此在撕膜設(shè)備的機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)上需要更多考慮，而更大面積的膠帶意謂需要消耗更大量的耗材，從而提高成本。另外，使用過的膠帶因?yàn)楸粚訉永p繞，也增加回收再利用的難度。由·此觀之，現(xiàn)有的撕膜設(shè)備并未揭露更進(jìn)一步的解決方案。
發(fā)明內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型的目的在提出一種撕膜頭及使用其的撕膜設(shè)備，其藉由模擬人工撕除膜片的動作，以提高撕除膜片的效率與適用性，以因應(yīng)不同尺寸的膜片撕除制程。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提出一種撕膜頭，適用于通過撕膜帶撕除基板上所貼附的膜片的撕膜設(shè)備，撕膜頭包括壓頭本體與膠頭本體。壓頭本體的兩端具有相對立的第一端面與第二端面，第一端面與第二端面對應(yīng)于撕膜帶，壓頭本體的內(nèi)部具有容置空間，容置空間向下延伸貫通壓頭本體的底面。膠頭本體設(shè)置于容置空間且向下凸伸有接觸部于壓頭本體之外，接觸部具有朝向下的接觸面，第一端面、接觸面與第二端面形成撕膜帶的滑動軌道，接觸面與基板上的膜片的一角互相對應(yīng)設(shè)置。在一種撕膜頭另一種示意性實(shí)施方式中，壓頭本體的兩側(cè)具有相對立的兩側(cè)板，該兩側(cè)板鄰近該壓頭本體的底面與該第一端面之一角配置有一抵壓部，該抵壓部具有朝向下的一抵壓面，該抵壓面靠近該第一端面的部分朝上彎曲。在一種撕膜頭再一種示意性實(shí)施方式中，抵壓部與該接觸部為聚氨酯材質(zhì)。在一種撕膜頭又一種不意性實(shí)施方式中，容置空間與該膠頭本體在水平方向上的橫截面的大小形狀相匹配，該容置空間在垂直方向上具有對應(yīng)于該膠頭本體的一讓位空間，該讓位空間中設(shè)置有一彈性組件，該彈性組件連接該壓頭本體與該膠頭本體。在一種撕膜頭又一種不意性實(shí)施方式中，撕膜頭還包括一壓頭基座、一止轉(zhuǎn)汽缸以及一樞接部，該壓頭基座透設(shè)有由頂面延伸至底面的一基座通孔，該止轉(zhuǎn)汽缸固設(shè)于該基座通孔的上部，且該止轉(zhuǎn)汽缸朝向該基座通孔的下部連接有一止轉(zhuǎn)組件，該壓頭基座的底面的一側(cè)緣向下延伸有一基壁，該壓頭本體通過該樞接部可旋轉(zhuǎn)的樞接于該基壁，該基座通孔的下方開口配置為朝向該壓頭本體的頂面且靠近該第二端面之處。在一種撕膜頭又一種示意性實(shí)施方式中，壓頭基座的底面具有一限位面，該限位面靠近該第二端面的部分朝上彎曲。在一種撕膜頭又一種示意性實(shí)施方式中，第一端面與該接觸部之間以及該第二端面與該接觸部之間的任一者或兩者均配置有一對應(yīng)于該撕膜帶的滾輪。在一種撕膜頭又一種示意性實(shí)施方式中，還包括一撕膜帶止動件，該撕膜帶止動件配置于該撕膜頭的一端或兩端。本實(shí)用新型還提出一種撕膜設(shè)備，適用于通過撕膜帶撕除基板上所貼附的膜片，撕膜設(shè)備包括撕膜頭、傳動裝置與基板載臺。傳動裝置滑動設(shè)置有致動部，致動部的下方連接撕膜頭，致動部的上方配置撕膜帶收放機(jī)構(gòu)?；遢d臺可移動的配置于撕膜頭的下方，撕膜帶由撕膜帶收放機(jī)構(gòu)進(jìn)料并由撕膜帶收放機(jī)構(gòu)收料?；遢d臺上方固持有基板。在一種撕膜設(shè)備另一種不意性實(shí)施方式中，還包括一配置于該基板載臺下方的膜片回收裝置與一膜片感應(yīng)器，該膜片回收裝置具有一可移動的夾具，該膜片感應(yīng)器感測所述膜片是否被撕除，該夾具夾持被撕除的膜片。本實(shí)用新型所提出的一種撕膜頭及使用其的撕膜設(shè)備，僅需用約略相等于所述接觸面大小的撕膜帶，就能撕除基板上的整張膜片，且無論基板的尺寸，皆只需用同樣大小的撕除帶就能撕除整張膜片。另外，撕膜帶收放機(jī)構(gòu)亦可將撕膜帶回收再利用。較之習(xí)知技術(shù)，本實(shí)用新型以精心設(shè)計(jì)的撕膜頭取代滾輪，同時搭配對應(yīng)的裝置，使撕膜設(shè)備的結(jié)構(gòu)不但能更加單純化還能提高適用性，并且也能有效減少耗材用量而降低了成本。為讓本實(shí)用新型之目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能使該領(lǐng)域具有通常知識者更易理解，下文舉一較佳實(shí)施例，并配合所附圖式，作詳細(xì)說明如下。

圖I為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例之撕膜設(shè)備的立體圖。圖2為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例之撕膜設(shè)備的側(cè)視圖。圖3為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例之撕膜頭的爆炸圖。圖4為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例之致動部的爆炸圖。圖5為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例之撕膜頭的側(cè)視圖。圖6為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例之撕膜頭的移動示意圖。標(biāo)號說明10撕膜設(shè)備11撕膜帶100傳動裝置110 致動部111止轉(zhuǎn)汽缸112 止轉(zhuǎn)組件120 撕膜帶收放機(jī)構(gòu)121第一卷輪122第二卷輪[0032]130第一滑動部140第二滑動部200撕膜頭210壓頭基座211限位面212樞接部213基壁214基座通孔 220壓頭本體221第一限位槽222第二限位槽223滾輪224側(cè)板225壓板226容置空間227限位孔228限位軸體229讓位空間230膠頭本體231接觸部232彈性組件233定位孔234接觸面235斜面250抵壓部251抵壓面261第一撕膜帶止動件262第二撕膜帶止動件300基板載臺400膜片回收裝置410夾具420第一膜片感應(yīng)器500基板501膜片。
具體實(shí)施方式
請同時參閱圖I與圖2，圖I所繪示為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例之撕膜設(shè)備的立體圖，圖2所繪示為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例之撕膜設(shè)備的側(cè)視圖。撕膜設(shè)備10包括傳動裝置100、撕膜頭200、基板載臺300與膜片回收裝置400。傳動裝置100滑動設(shè)置有致動部110，并且傳動裝置100配置有可讓致動部110沿著Z軸上下滑動的第一滑動部130與可讓致動部Iio沿著Y軸左右滑動的第二滑動部140。在本實(shí)施例中，第一滑動部130與第二滑動部140可為固設(shè)于傳動裝置100上的滑軌，且致動部110上具有相應(yīng)于第一滑動部130與第二滑動部140的滑動卡合機(jī)構(gòu)，并且通過傳動裝置100的馬達(dá)(圖中未繪示)牽引，使致動部110可因應(yīng)所需而被控制在Y-Z平面上進(jìn)行移動。在其它實(shí)施例中，還可通過不同的滑動與卡合機(jī)構(gòu)使致動部進(jìn)行移動，并且亦可修改傳動裝置的設(shè)計(jì)使致動部具有三維空間的移動能力。致動部110的下方連接有撕膜頭200，致動部110的上方配置有撕膜帶收放機(jī)構(gòu)120。基板載臺300是通過載臺傳動裝置(圖中未繪示)，可移動的配置于撕膜頭200的下方。膜片回收裝置400配置于基板載臺300的下方，更具體來說是配置于基板載臺300的下方且靠近傳動裝置100的第二滑動部140的末端位置。請同時參閱圖I至圖4，圖3所繪示為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例之撕膜頭的爆炸圖，圖4所繪示為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例之致動部的爆炸圖。撕膜頭200的主要構(gòu)件包括壓頭基座210、止轉(zhuǎn)汽缸111、壓頭本體220與膠頭本體230。壓頭基座210固接于致動·部110且透設(shè)有由壓頭基座210的頂面延伸至其底面的基座通孔214，止轉(zhuǎn)汽缸111配置為固定于基座通孔214的上部，且止轉(zhuǎn)汽缸111朝向基座通孔214的下部連接有止轉(zhuǎn)組件112。壓頭基座210的底面的一側(cè)緣向下延伸有基壁213，除此之外的其余底面部分為限位面211。壓頭本體220通過樞接部212可旋轉(zhuǎn)的樞接于基壁213，而位于壓頭本體220的頂面的壓板225則配置于限位面211下方，使壓頭本體220相對于壓頭基座210，以樞接部212為軸心而具有Y-Z平面上的旋轉(zhuǎn)能力，且限位面211會藉由抵擋壓板225而限制壓頭本體220的旋轉(zhuǎn)幅度。壓頭基座210與壓頭本體220具有相對立的兩端，其中，朝向y方向者為第一端面，第一端面凹設(shè)有對應(yīng)于撕膜帶11的第一限位槽221 ;朝向負(fù)y方向者為第二端面，第二端面凹設(shè)有對應(yīng)于撕膜帶11的第二限位槽222。限位面211靠近第一限位槽221的部分呈現(xiàn)水平態(tài)樣，其靠近第二限位槽222的部分呈現(xiàn)朝ζ方向逐漸抬高的曲面態(tài)樣?；?14配置為靠近第二限位槽222，亦即基座通孔214的下方開口位于限位面211的曲面部分。壓頭本體220的內(nèi)部具有容置空間226，容置空間226 (圖3中未標(biāo)注，參見圖4)向下延伸貫通壓頭本體220的底面。另外，本實(shí)施例所述之撕膜帶11為用于撕除膜片的工業(yè)膠帶。膠頭本體230設(shè)置于容置空間226中且向下凸伸有接觸部231于壓頭本體之外，容置空間226與膠頭本體230在水平方向，亦即在X-Y平面上的橫截面的大小形狀相匹配，且容置空間226在垂直方向上具有對應(yīng)于膠頭本體230的讓位空間229。讓位空間229中設(shè)置有彈性組件232，彈性組件232連接壓頭本體220與膠頭本體230。膠頭本體230上配置有定位孔233，壓頭本體220的兩側(cè)具有相對立的兩側(cè)板224，側(cè)板224上配置有對應(yīng)于定位孔233的限位孔227，限位孔227為長條形，并通過一限位軸體228穿設(shè)于定位孔233與限位孔227以連接膠頭本體230與壓頭本體220。如此一來，膠頭本體230可于容置空間226中沿Z軸上下移動，并且限位孔227與限位軸體228可互相配合以限制膠頭本體230的最大移動幅度，同時，讓位空間229中的彈性組件232可提供緩沖的作用。接觸部231具有朝向下的接觸面234，且朝向第一限位槽221往上斜切有斜面235。另外，第一限位槽221與斜面235之間，以及第二限位槽222與接觸面234之間，分別配置有對應(yīng)于撕膜帶11的滾輪223。第一限位槽221、斜面235、接觸面234與第二限位槽222形成撕膜帶11的滑動軌道，滾輪223可使撕膜帶11更順暢的滑動于所述滑動軌道中。側(cè)板224鄰近壓頭本體220的底面與第一端面之一角，亦即側(cè)板224位于y方向與負(fù)ζ方向之一角，配置有抵壓部250,抵壓部250具有朝向下的抵壓面251,抵壓面251靠近第一端面的部分朝上彎曲，并且抵壓面251對應(yīng)于限位面211。參閱圖4和圖3，撕膜帶收放機(jī)構(gòu)120具有容置撕膜帶11的第一卷輪121與第二卷輪122，第一卷輪121對應(yīng)于第一限位槽221且容置有進(jìn)料用的撕膜帶11，第二卷輪122對應(yīng)于第二限位槽222且容置有使用后而收料的撕膜帶11。撕膜頭200還具有第一撕膜帶止動件261與第二撕膜帶止動件262，第一撕膜帶止動件261配置于撕膜頭200的第一端面，第二撕膜帶止動件262配置于撕膜頭200的第二端面。在撕膜的過程中，第一撕膜帶止動件261與第二撕膜帶止動件262，分別抵住位于第一限位槽221與第二限位槽222上的撕膜帶11而使其固定，以利于執(zhí)行撕膜作業(yè)。 請同時參閱圖I至圖6，圖5所繪示為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例之撕膜頭的側(cè)視圖，圖6所繪示為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例之撕膜頭的移動示意圖。本實(shí)施例的撕膜設(shè)備10之撕膜方法概述如下撕膜帶11由第一卷輪121進(jìn)料，并循序通過第一限位槽221、斜面235、接觸面234與第二限位槽222之后由第二卷輪122收料，第一撕膜帶止動件261與第二撕膜帶止動件262分別抵持固定位于第一限位槽221與第二限位槽222上的撕膜帶11，連帶穩(wěn)固位于接觸面234上的撕膜帶11。同時，基板載臺300通過載臺傳動裝置移動至基板供應(yīng)端，接受并固持貼附有待撕除膜片501的基板500于基板載臺300上方，接著基板載臺300移動至撕膜頭200下方的預(yù)定位置，以執(zhí)行撕除膜片的流程。在本實(shí)施例中，所述移動至預(yù)定位置還包括了基板載臺300在X-Y平面上旋轉(zhuǎn)一預(yù)定角度，使膜片501的對角線對齊接觸部231，且膜片501的一角對齊接觸面234。接著,撕膜頭200通過致動部110帶動而使接觸面234向下抵壓撕膜帶11于基板500上的膜片501的一角，同時，止轉(zhuǎn)汽缸111驅(qū)動止轉(zhuǎn)組件112向下抵住壓板225，使壓頭本體220無法旋轉(zhuǎn)。接著致動部110帶動壓頭本體220往y方向以相對慢速稍微移動一預(yù)定距離，同時止轉(zhuǎn)汽缸111驅(qū)動止轉(zhuǎn)組件112往上回縮，此時壓頭本體220會通過樞接部212逆時鐘旋轉(zhuǎn)一角度，以致壓板225被限位面211抵住，同時接觸面234往上拉起膜片501的一角且順勢轉(zhuǎn)由抵壓部250的抵壓面251抵壓膜片501。此設(shè)計(jì)是模擬人工撕除膜片，用指腹抵壓膜片的一角而順著指腹弧度撕起膜片的過程。此時，撕膜頭200呈現(xiàn)如圖6所示的態(tài)樣。接著，致動部110沿著Y軸與Z軸朝預(yù)定方向移動，同時，接觸面234通過撕膜帶11連接并拉持著膜片501的一角，朝預(yù)定方向拉起并撕除膜片501。在撕除過程中，位于斜面235上的撕膜帶11并不會接觸到膜片501，僅有位于接觸面234上的撕膜帶11會黏貼住膜片501的一角，以確保膜片501被撕除時的初始位置被限制在接觸面234的范圍，提高撕除效率。另外，所述預(yù)定方向與致動部110帶動壓頭本體220的移動速度是根據(jù)不同尺寸與黏力的撕膜帶、膜片與基板而進(jìn)行調(diào)整。被撕除的膜片501會位于膜片回收裝置400的上方。而膜片回收裝置400具有可移動的夾具410與第一膜片感應(yīng)器420，夾具410會移動至被撕除的膜片501的下方，并夾持膜片501往下拉，使膜片501脫離撕膜頭200后，夾具410會放松使膜片501掉至回收容器(圖中未繪示)中。第一膜片感應(yīng)器420用以感測夾具410是否夾持有膜片501，若無，則表示膜片501并未被撕除，則致動部110回到準(zhǔn)備撕膜的位置，且撕膜帶收放機(jī)構(gòu)120會再進(jìn)一段撕膜帶11，使接觸面234上的撕膜帶11連帶移動，而因此置換一段新的撕膜帶11于接觸面234上。在其它實(shí)施例中，撕膜頭亦可設(shè)置第二膜片感應(yīng)器，當(dāng)接觸面抵壓在膜片的一角，且致動部往y方向稍微移動所述預(yù)定距離時，若第二膜片感應(yīng)器感測到膜片的一角未被撕起，則如前所述再重新進(jìn)行一次。在本實(shí)施例中，基板500旋轉(zhuǎn)至預(yù)定角度是通過基板載臺300的作動，在其它實(shí)施例中，亦可通過撕膜頭來進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，只需修改撕膜頭的結(jié)構(gòu)，就能使其具有在X-Y平面上的旋轉(zhuǎn)能力，此種修改當(dāng)屬本領(lǐng)域具通常知識者所熟知，在此不再贅述。在本實(shí)施例中，彈性組件232為彈簧，用以提供緩沖；壓頭本體220與膠頭本體230的材質(zhì)為鋁合金，用以提高剛性；接觸部231與抵壓部250的材質(zhì)為聚氨酯(polyurethane,PU),因而當(dāng)接觸部231與抵壓部250抵壓基板500時，使接觸面234可更緊密的貼合膜片501而產(chǎn)生更好的黏著效果，以及使接觸面234與抵壓面251在抵壓基板500的過程中不易對基板500造成損傷。在 其它實(shí)施例中，彈性組件、壓頭本體、膠頭本體、接觸部與抵壓部亦可采用其它種具備同等功效的組件與材質(zhì)，并不限于本實(shí)施例所揭露之范圍。雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用于限定本實(shí)用新型，任何熟習(xí)此技藝者，在不脫離本實(shí)用新型之精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許之更動與潤飾，因此本實(shí)用新型之保護(hù)范圍當(dāng)視后附之申請專利范圍所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種撕膜頭(200)，適用于通過一撕膜帶(11)撕除一基板(500)上所貼附的膜片(501)的一撕膜設(shè)備，該撕膜頭(200)包括 一壓頭本體(220)，該壓頭本體(220)的兩端具有相對立的一第一端面與一第二端面，該第一端面與該第二端面對應(yīng)于該撕膜帶(11)，該壓頭本體(220)的內(nèi)部具有一容置空間(226)，該容置空間(226)向下延伸貫通該壓頭本體(220)的底面；以及 一膠頭本體(230 )，該膠頭本體(230 )設(shè)置于該容置空間(226 )且向下凸伸一接觸部(231)于該壓頭本體(220)之外，該接觸部(231)具有朝向下的一接觸面(234)，該第一端面、該接觸面(234)與該第二端面形成該撕膜帶(11)的滑動軌道，該接觸面(234)與該基板(500)上的膜片(501)的一角互相對應(yīng)設(shè)置。
2.如權(quán)利要求I所述的撕膜頭(200)，其中，該壓頭本體(220)的兩側(cè)具有相對立的兩側(cè)板(224)，該兩側(cè)板(224)鄰近該壓頭本體(220)的底面與該第一端面之一角配置有一抵壓部(250)，該抵壓部(250)具有朝向下的一抵壓面(251)，該抵壓面(251)靠近該第一端面的部分朝上彎曲。
3.如權(quán)利要求2所述的撕膜頭(200)，其中，該抵壓部(250)與該接觸部(231)為聚氨酯材質(zhì)。
4.如權(quán)利要求I所述的撕膜頭(200)，其中，該容置空間(226)與該膠頭本體(230)在水平方向上的橫截面的大小形狀相匹配，該容置空間(226)在垂直方向上具有對應(yīng)于該膠頭本體(230)的一讓位空間(229)，該讓位空間(229)中設(shè)置有一彈性組件(232)，該彈性組件(232)連接該壓頭本體(220)與該膠頭本體(230)。
5.如權(quán)利要求I所述的撕膜頭(200)，還包括一壓頭基座(210)、一止轉(zhuǎn)汽缸(111)以及一樞接部(212)，該壓頭基座(210)透設(shè)有由頂面延伸至底面的一基座通孔(214)，該止轉(zhuǎn)汽缸(111)固設(shè)于該基座通孔(214 )的上部，且該止轉(zhuǎn)汽缸(111)朝向該基座通孔(214)的下部連接有一止轉(zhuǎn)組件(112)，該壓頭基座(210)的底面的一側(cè)緣向下延伸有一基壁(213)，該壓頭本體(220)通過該樞接部(212)可旋轉(zhuǎn)的樞接于該基壁(213)，該基座通孔(214)的下方開口配置為朝向該壓頭本體(220)的頂面且靠近該第二端面之處。
6.如權(quán)利要求5所述的撕膜頭(200)，其中，該壓頭基座(210)的底面具有一限位面(211)，該限位面(211)靠近該第二端面的部分朝上彎曲。
7.如權(quán)利要求I所述的撕膜頭(200)，其中，該第一端面與該接觸部(231)之間以及該第二端面與該接觸部(231)之間的任一者或兩者均配置有一對應(yīng)于該撕膜帶(11)的滾輪(223)。
8.如權(quán)利要求I所述的撕膜頭(200)，還包括一撕膜帶止動件，該撕膜帶止動件配置于該撕膜頭的一端或兩端。
9.一種撕膜設(shè)備(10)，適用于通過一撕膜帶(11)撕除一基板(500)上所貼附的膜片(501)，該撕膜設(shè)備(10)包括 如權(quán)利要求第I至8項(xiàng)中任一項(xiàng)所述之撕膜頭(200)； 一傳動裝置(100 )，該傳動裝置(100 )滑動設(shè)置有一致動部(110)，該致動部(110 )的下方連接該撕膜頭(200)，該致動部(110)的上方配置一撕膜帶收放機(jī)構(gòu)(120);以及 一基板載臺(300)，該基板載臺(300)可移動的配置于該撕膜頭(200)的下方，該撕膜帶(11)由該撕膜帶收放機(jī)構(gòu)(120)進(jìn)料并由該撕膜帶收放機(jī)構(gòu)(120)收料，該基板載臺(300)上方固持有該基板(500)。
10.如權(quán)利要求9所述的撕膜設(shè)備(10)，還包括一配置于該基板載臺(300)下方的膜片回收裝置(400)與一膜片感應(yīng)器，該膜片回收裝置(400)具有一可移動的夾具(410)，該膜片感應(yīng)器感測所述膜片(501)是否被撕除，該夾具(410)夾持被撕除的膜片(501)。
專利摘要本實(shí)用新型系有關(guān)于一種撕膜頭(200)及使用其的撕膜設(shè)備(10)。撕膜頭包括壓頭基座(210)、止轉(zhuǎn)汽缸(111)、壓頭本體(220)與膠頭本體(230)。壓頭本體樞接于壓頭基座，膠頭本體設(shè)置于壓頭本體內(nèi)的容置空間，且向下凸伸有接觸部，壓頭本體的兩側(cè)板的一角具有抵壓部，接觸部與抵壓部可互相配合以撕除膜片。壓頭基座透設(shè)有基座通孔，止轉(zhuǎn)汽缸固設(shè)于基座通孔的上部，且止轉(zhuǎn)汽缸朝向基座通孔的下部連接有止轉(zhuǎn)組件。撕膜設(shè)備包括撕膜頭、傳動裝置與基板載臺。傳動裝置滑動設(shè)置有致動部，致動部的下方連接撕膜頭，基板載臺可移動的配置于撕膜頭的下方。
文檔編號B32B38/10GK202685503SQ20122025721
公開日2013年1月23日 申請日期2012年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月23日
發(fā)明者張正忠, 陳昀翔, 陳奕揚(yáng) 申請人:禾鑫高精密科技股份有限公司