專利名稱：金屬塑料復(fù)層式光罩的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及光電產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)，尤其指一種運(yùn)用于光電產(chǎn)品的生產(chǎn)制造工藝中，能延長(zhǎng)此類光罩的替換周期、提升生產(chǎn)的品質(zhì)、以及降低生產(chǎn)成本的金屬塑料復(fù)層式光罩。
背景技術(shù)：
在目前光電產(chǎn)品之中，如液晶屏幕的面板，會(huì)利用光罩在制造工藝中于玻璃基板上沉積出一些不同材料的薄膜，而過程中包含但不限涂布、曝光、蝕刻、顯影、清洗、烘烤等步驟，利用多個(gè)不同的光罩依序運(yùn)作，一層一層規(guī)劃出所設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)。在前述光罩的成本中，最高的是采用石英材料的光罩，此種光罩能滿足精密度要求嚴(yán)格的制造工藝條件，但在·一些精密度求不高的制造工藝中，采用石英材料的光罩，成本太高，制造工藝過于復(fù)雜，因此有些制造工藝就采用金屬材料所構(gòu)成的金屬光罩，以降低生產(chǎn)的成本。一般金屬光罩的要求，主要包括有三點(diǎn)1.厚度要??；2.具有受磁性，以利具有磁性的夾持裝置與之吸附，而將欲加工的玻璃基板固定于金屬光罩與夾持裝置之間；3.表面須光滑、無毛邊，避免在夾持或制造工藝中刮傷玻璃基板。現(xiàn)有的金屬光罩在使用上有下列幾項(xiàng)缺點(diǎn)或限制I.堅(jiān)硬的金屬光罩與堅(jiān)硬的玻璃基板接觸時(shí),雖已于金屬光罩光面進(jìn)行光滑面處理，在不斷重復(fù)夾緊或放松的固定作業(yè)中，有時(shí)仍會(huì)使玻璃表面遭到刮傷；2.須定期進(jìn)行清洗或更換由于該金屬光罩為了避免刮傷玻璃基板，兩相對(duì)面皆為光滑表面，在制造工藝中沉積于玻璃基板的薄膜材料也會(huì)沉積于金屬光罩表面，隨著金屬光罩使用次數(shù)增加，金屬光罩表面所累積的薄膜厚度也漸漸增加，當(dāng)厚度到達(dá)一定數(shù)值后，原本附著于光滑表面的薄膜材料就容易在制造工藝中剝離，掉落至原本欲加工的玻璃基板上，而產(chǎn)生不良品，因此為維持生產(chǎn)的良率，就必須定期取出金屬光罩并委托外部專業(yè)公司清洗或更換，如此會(huì)降低設(shè)備嫁動(dòng)率，也減少設(shè)備的產(chǎn)能；3.單一金屬光罩的單價(jià)也相當(dāng)昂貴，厚度薄的金屬光罩取出次數(shù)愈多，不當(dāng)操作而產(chǎn)生破損機(jī)率也愈高,此會(huì)造成設(shè)備廠商額外的支出。有鑒于此，本發(fā)明人憑借著多年的經(jīng)驗(yàn)，及不斷地研究改良，設(shè)計(jì)了此一金屬塑料
復(fù)層式光罩。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的是提供一種金屬塑料復(fù)層式光罩，主體仍以金屬材料所構(gòu)成的金屬光罩為主，但本實(shí)用新型于金屬光罩表面另形成有一層樹脂層，該樹脂層較該金屬光罩軟，如此運(yùn)用于光電產(chǎn)品的生產(chǎn)制造工藝中，該復(fù)層式光罩雖經(jīng)重復(fù)不斷進(jìn)行的放松或夾緊的固定作業(yè)，因該樹脂層所具有的緩沖及耐磨特性，就能避免玻璃基板被刮傷，能延續(xù)復(fù)層式光罩的使用壽命，及提升生產(chǎn)良率。為達(dá)上述的目的，本實(shí)用新型的金屬塑料復(fù)層光罩，用于光電產(chǎn)品的制造工藝中，該復(fù)層式光罩為一框體，并形成有至少一對(duì)應(yīng)于欲沉積圖樣的圖樣單元，該金屬塑料復(fù)層式光罩包括金屬光罩及成型于該金屬光罩表面的樹脂層，該樹脂層硬度低于該金屬光罩，且該樹脂層的厚度介于O. 02mm至O. 06mm。根據(jù)上述構(gòu)思，該樹脂層的厚度介于O. 022mm至O. 025mm。根據(jù)上述構(gòu)思，該樹脂層為壓克力樹脂層。根據(jù)上述構(gòu)思，該樹脂層為環(huán)氧樹脂層。本實(shí)用新型的金屬塑料復(fù)層式光罩在使用上具有下列幾項(xiàng)具體的優(yōu)點(diǎn)I.延長(zhǎng)光罩的使用壽命及提升生產(chǎn)的良率在光電產(chǎn)品的生產(chǎn)制造工藝中，本實(shí)用新型的復(fù)層式光罩是配合一固定裝置將一玻璃基板固定其中，由于該金 屬光罩表面具有一樹脂層，因此在夾持固定作業(yè)中，不管是金屬光罩與玻璃基板之間，或是金屬光罩與固定裝置之間，皆因存在著質(zhì)地較軟且耐磨的該樹脂層，能避免現(xiàn)有結(jié)構(gòu)中的硬碰硬的接觸，也減少刮傷破損的情形，如減少玻璃基板被刮傷，就能提升生產(chǎn)的良率，減少光罩的刮傷或破損，就能延長(zhǎng)光罩的使用壽命；2.能延長(zhǎng)光罩進(jìn)行清洗或更換的周期由于復(fù)層光罩是由該樹脂層所形成最外層的表面，此表面光滑度較現(xiàn)有單純金屬光罩表面差，能增加摩擦力，加上樹脂層質(zhì)地較軟，能增加附著效果，故在生產(chǎn)制造工藝中提升所能承受的沉積次數(shù)、增加附著的薄膜厚度，通過延長(zhǎng)復(fù)層式光罩的替換周期，讓使用此金屬光罩的設(shè)備的嫁動(dòng)率上升，產(chǎn)能提升；3.能降低廠商的生產(chǎn)成本在相同的時(shí)間內(nèi)，運(yùn)用本實(shí)用新型的復(fù)層式光罩能減少清洗金屬光罩的次數(shù)，減少清洗費(fèi)用的支出，而且設(shè)備停止次數(shù)減少，也能使產(chǎn)量增加，加上本實(shí)用新型的復(fù)層式光罩的使用壽命加長(zhǎng)，須重新購(gòu)買新的光罩的數(shù)量也減少，如此就能大幅降低生廣的成本。以下配合圖式及元件符號(hào)對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施方式做更詳細(xì)的說明，以使本領(lǐng)域技術(shù)人員在研讀本說明書后能據(jù)以實(shí)施。

圖I為本實(shí)用新型的平面圖；圖2為圖IA-A面的局部剖面放大圖；圖3為本實(shí)用新型的制造工藝的流程圖。其中，附圖標(biāo)記說明如下復(fù)層式光罩I圖樣單元 11金屬光罩 2樹脂層 具體實(shí)施方式
圖I及圖2所示，為本實(shí)用新型的平面圖及局部剖面放大圖。本實(shí)用新型為一金屬塑料復(fù)層式光罩1，主要用于光電產(chǎn)品的制造工藝中，于欲加工的基板上，以特定的材料沉積出特定圖樣的薄膜，該基板為含有硅或玻璃的材料，例如液晶屏幕的基板。該復(fù)層式光罩I為薄片型的框體，該框體內(nèi)形成有貫穿的至少一圖樣單元11，該圖樣單元11的輪廓形狀是對(duì)應(yīng)前述特定圖樣的形狀，該特定圖樣則視廠商需求而定，方便在光電產(chǎn)品制造工藝中，于基板上沉積相對(duì)應(yīng)的薄膜。本實(shí)用新型主要改良之處是設(shè)計(jì)出該復(fù)層式光罩1，如圖2所示，該復(fù)層式光罩I主要是由一金屬光罩2及成型于金屬光罩2表面的樹脂層3所構(gòu)成，該樹脂層3的質(zhì)地較該金屬光罩2軟。在本實(shí)施例中，該金屬光罩2主要是由鋁、鋁合金材料或不銹鋼所制成，若為鋁、鋁合金材料厚度介于O. 25、· 5mm，若為不銹鋼材料厚度介于f I. 2mm。該樹脂層3主要是由壓克力樹脂或環(huán)氧樹脂所構(gòu)成，其厚度為O. 02mnT0. 06mm，較佳的厚度為
O.022mm^0. 025mm。如圖3所示，為本實(shí)用新型金屬塑料復(fù)層式光罩的制造方法的流程圖，其步驟為步驟301、將金屬光罩進(jìn)行熱脫脂處理； 步驟302、將處理后的金屬光罩置入電泳設(shè)備內(nèi)，使該金屬光罩表面附著上一層樹脂層，形成復(fù)層式光罩初胚；步驟303、取出復(fù)層式光罩初胚進(jìn)行清洗處理；步驟304、將清洗后的復(fù)層式光罩初胚置入烤箱內(nèi)烘干成型。如此即能成為一復(fù)層式光罩。最初的金屬光罩會(huì)依各廠商的需求，制作成特定形狀的型體，之后經(jīng)檢驗(yàn)及確認(rèn)后，才會(huì)進(jìn)行本實(shí)用新型后續(xù)的加工作業(yè)。在步驟301中主要是將金屬光罩進(jìn)行熱脫脂處理，以去除金屬光罩表面的油脂或其他雜質(zhì)，提高后續(xù)的附著效果。另外在進(jìn)行步驟302的電泳處理之前，可先將金屬光罩置入一槽桶內(nèi)先行加溫預(yù)熱，該預(yù)熱溫度可達(dá)26 28度。而在電泳處理時(shí)，槽桶內(nèi)的電泳藥水視使用者選擇可為含壓克力樹脂類或含環(huán)氧樹脂類的藥劑，如此該金屬光罩電泳而成的樹脂層成份就會(huì)不同。在步驟303中，取出的復(fù)層式光罩初胚會(huì)以純水進(jìn)行表面的清洗處理。之后進(jìn)行步驟304時(shí)，是將復(fù)層式光罩初胚置入溫度為21(T235°C的烤箱內(nèi)，維持1(Γ15分鐘，通過使樹脂層硬化成型于金屬光罩表面，最后成為一復(fù)層式光罩。綜合以上所述，本實(shí)用新型所設(shè)計(jì)的復(fù)層式光罩，于金屬制的金屬光罩表面另外增加一層樹脂層，利用該樹脂層質(zhì)地較金屬層軟且耐磨的特性，能運(yùn)用于光電產(chǎn)品的制造工藝中，于夾持固定作業(yè)時(shí)，讓原本硬碰硬的接觸狀態(tài)具有適當(dāng)?shù)木彌_效果，通過能減少構(gòu)件或玻璃基板的損壞，也能延長(zhǎng)光罩的使用壽命；另外此設(shè)計(jì)也能延長(zhǎng)光罩的使用周期，與傳統(tǒng)兩面皆為光滑面的金屬光罩相較，本實(shí)用新型可增加數(shù)倍以上的使用時(shí)間及良率，因此，停機(jī)取下光罩的次數(shù)減少，提高設(shè)備嫁動(dòng)率，讓設(shè)備發(fā)揮最大的產(chǎn)能，而減少洗清金屬光罩的次數(shù)，此能降低生產(chǎn)的成本。以上所述者，僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非用來限定本實(shí)用新型實(shí)施例的范圍。即凡依本實(shí)用新型申請(qǐng)專利范圍所作的均等變化及修飾，皆為本實(shí)用新型的專利范圍所涵蓋。
權(quán)利要求1.一種金屬塑料復(fù)層式光罩，用于光電產(chǎn)品的制造工藝中，該復(fù)層式光罩為一框體，并形成有至少一個(gè)對(duì)應(yīng)于欲沉積圖樣的圖樣單元，其特征在于該金屬塑料復(fù)層式光罩包括金屬光罩及成型于該金屬光罩表面的樹脂層，該樹脂層硬度低于該金屬光罩，且該樹脂層的厚度介于O. 02mm至O. 06mm。
2.如權(quán)利要求I所述的金屬塑料復(fù)層式光罩，其特征在于該樹脂層的厚度介于O.022mm 至 O. 025mm。
3.如權(quán)利要求I所述的金屬塑料復(fù)層式光罩，其特征在于該樹脂層為壓克力樹脂層。
4.如權(quán)利要求2所述的金屬塑料復(fù)層式光罩，其特征在于該樹脂層為環(huán)氧樹脂層。
專利摘要本實(shí)用新型為一種金屬塑料復(fù)層式光罩，主要運(yùn)用于光電產(chǎn)品的制造工藝中，該復(fù)層式光罩是由金屬光罩及形成于該金屬光罩表面的樹脂層所構(gòu)成，該樹脂層的質(zhì)地較該金屬光罩軟，且厚度介于0.02mm~0.06mm，該復(fù)層式光罩為一框體并具有至少一圖樣單元，該圖樣單元的輪廓形狀對(duì)應(yīng)于制程中欲沉積的圖樣，通過本實(shí)用新型的復(fù)層式光罩利用該樹脂層，能在制程中的夾緊固定作業(yè)中，達(dá)到緩沖及耐磨的效果，延長(zhǎng)該復(fù)層式光罩的替換周期及使用壽命，也能提升制造工藝的品質(zhì)。
文檔編號(hào)B32B15/082GK202771152SQ20122046957
公開日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2012年9月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月14日
發(fā)明者嚴(yán)啟禎, 何啟源 申請(qǐng)人:世禾科技股份有限公司