專利名稱：液體噴射頭及液體噴射裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液體噴射頭及液體噴射裝置，特別是涉及用振動板來構(gòu)成與吐出墨滴的噴嘴開口連通的壓力產(chǎn)生室的一部分，并在該振動板的表面形成壓電元件，從而通過壓電元件的位移來吐出墨滴的噴墨式記錄頭及噴墨式記錄裝置。
背景技術(shù)：
在用振動板構(gòu)成與吐出墨滴的噴嘴開口連通的壓力產(chǎn)生室的一部分，并通過壓電元件來使該振動板變形，由此向壓力產(chǎn)生室的墨水施壓，從而從噴嘴開口吐出墨滴的噴墨式記錄頭中，有如下兩種記錄頭已被實用化，即使用壓電元件軸向伸縮的縱振動模式的壓電致動器的記錄頭和使用撓性振動模式的壓電致動器的記錄頭。
前一種記錄頭可通過將壓電元件的端面接觸到振動板上來改變壓力產(chǎn)生室的容積，因此能夠制造成適于高密度印刷的頭，但另一方面，其需要進行將壓電元件與噴嘴開口的排列間距相一致地切割成梳齒狀的較難的工序和將切割后的壓電元件定位固定到壓力產(chǎn)生室上的操作，從而存在制造工序復(fù)雜的問題。
與此相對，后一種記錄頭可以通過將壓電材料的印刷電路襯底配合壓力產(chǎn)生室的形狀來進行粘貼并對此進行燒結(jié)的較簡單的工序，將壓電元件固定到振動板上，但是由于利用撓性振動的原因，需要一定程度的面積，因此存在難以實現(xiàn)高密度排列的問題。
另外，為了解決后一種記錄頭的問題，還提出了如下一種記錄頭，即所述記錄頭通過成膜技術(shù)在振動板的整個表面上形成均勻的壓電材料層，并通過平板印刷技術(shù)將該壓電材料層分割成與壓力產(chǎn)生室對應(yīng)的形狀，從而對應(yīng)于每個壓力產(chǎn)生室獨立形成壓電元件(例如，參見專利文獻1)。
此外，在上述的噴墨式記錄頭中存在具有如下結(jié)構(gòu)的記錄頭，即該記錄頭具有流路形成襯底和接合襯底，其中，所述流路形成襯底至少具有兩列與噴嘴開口連通的壓力產(chǎn)生室的列，所述接合襯底接合在所述流路形成襯底的壓電元件一側(cè)，并安裝有驅(qū)動壓電元件的驅(qū)動IC。在所述結(jié)構(gòu)中，驅(qū)動IC被安裝在接合襯底的大體中間部分，即與壓力產(chǎn)生室的列間對應(yīng)的區(qū)域上，驅(qū)動IC和從各壓電元件引出的引出接線通過分別設(shè)置于接合襯底的驅(qū)動IC的兩側(cè)的貫通孔以引線接合法電連接(例如，參見專利文獻2)。
在這種現(xiàn)有的噴墨式記錄頭中，由于用一個驅(qū)動IC來驅(qū)動兩列壓電元件，所以可將制造成本抑制得較低，但由于在驅(qū)動IC的兩側(cè)分別形成貫通孔，因此需要將流路形成襯底和接合襯底的面積設(shè)得較大，從而較難使記錄頭小型化。特別是高密度排列壓力產(chǎn)生室時，很難保證形成多個貫通孔的區(qū)域，因此存在導(dǎo)致記錄頭變大的問題。此外，這些問題不僅存在于用來吐出墨水的噴墨式記錄頭中，當(dāng)然還存在于用來吐出墨水之外的液滴的其它液體噴射頭中。
這里，專利文獻1是指日本專利特開平5-286131號公報(第1圖～第4圖)，專利文獻2是指日本專利特開2003-136734號公報(第1圖、第2圖)。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問題，本發(fā)明要解決的問題是提供一種能夠高密度排列壓力產(chǎn)生室且可實現(xiàn)小型化的液體噴射頭及液體噴射裝置。
解決上述問題的本發(fā)明的第一方案是一種液體噴射頭，其包括流路形成襯底和壓電元件，其中，所述流路形成襯底至少具有兩列分別與噴嘴開口連通的壓力產(chǎn)生室的列，所述壓電元件經(jīng)振動板設(shè)置于所述流路形成襯底的一面上，使所述壓力產(chǎn)生室內(nèi)部產(chǎn)生壓力變化，所述液體噴射頭的特征在于，其具有接合襯底和驅(qū)動IC，所述接合襯底接合在所述流路形成襯底的所述壓電元件一側(cè)，所述驅(qū)動IC設(shè)置于所述接合襯底上的與所述壓力產(chǎn)生室的各列相對的區(qū)域，用于驅(qū)動所述壓電元件，在所述接合襯底上，在與所述壓力產(chǎn)生室的列間對應(yīng)的區(qū)域，對應(yīng)于所述壓力產(chǎn)生室的各列而至少每列一個地形成貫通孔，從所述壓電元件引出的引出電極被暴露在所述貫通孔內(nèi)，同時在相鄰的各貫通孔之間形成梁部分。
在所述第一方案中，通過利用已有的空間形成貫通孔，從而不用設(shè)置用于形成貫通孔的空間，使得即使高密度地排列壓力產(chǎn)生室，也能夠?qū)崿F(xiàn)頭的小型化。此外，通過在貫通孔之間設(shè)置梁部分，可增強接合襯底的強度，從而可保證接合接合襯底的流路形成襯底的剛性。由此，可防止主要由結(jié)構(gòu)導(dǎo)致的串?dāng)_，從而可獲得常久穩(wěn)定的吐出特性。
本發(fā)明的第二方案是如第一方案所述的液體噴射頭，其特征在于，在所述接合襯底上形成用于安裝所述驅(qū)動IC的配線圖案，在所述梁部分上，沿著所述壓力產(chǎn)生室的列形成共用電極配線，所述共用電極配線構(gòu)成所述配線圖案的一部分，并與共用電極連接，所述共用電極被多個并列設(shè)置的多個壓電元件共用。
在所述第二方案中，通過增加共用電極配線的面積，向壓電元件施加電壓時的共用電極的阻抗值實質(zhì)上變小了，因此，即使同時驅(qū)動多個壓電元件，也能夠防止電壓下降。從而可使液滴的吐出特性穩(wěn)定，并且可抑制液體吐出特性的不均。
本發(fā)明的第三方案是如第一或第二方案所述的液體噴射頭，其特征在于，所述接合襯底是在與所述壓電元件相對的區(qū)域具有壓電元件支持部分的密封襯底，所述壓電元件支持部分在保證空間的狀態(tài)下密封該空間。
在所述第三方案中，通過在密封襯底上安裝驅(qū)動IC，可使頭進一步小型化。
本發(fā)明的第四方案是如第一～第三方案中任一方案所述的液體噴射頭，其特征在于，在所述接合襯底上，沿著所述壓力產(chǎn)生室的排列方向留出預(yù)定間隔地配置了多個所述驅(qū)動IC，并與各驅(qū)動IC對應(yīng)地設(shè)置了所述貫通孔，而且在與所述預(yù)定間隔對應(yīng)的所述接合襯底上形成了所述梁部分。
在所述第四方案中，通過形成沿著壓力產(chǎn)生室的排列方向延伸的梁部分和沿著壓力產(chǎn)生室的長度方向延伸的梁部分，進一步提高了密封襯底和流路形成襯底的剛性。
本發(fā)明的第五方案是一種液體噴射裝置，其特征是具有第一～第四方案中任一方案所述的液體噴射頭。
在所述第五方案中，可實現(xiàn)提高了印刷質(zhì)量的小型的液體噴射裝置。


圖1是實施方式1的記錄頭立體分解圖；圖2中的(a)和(b)是實施方式1的記錄頭的平面圖和剖面圖；圖3是實施方式2的記錄頭的平面圖；圖4是一個實施方式的記錄裝置的概要圖。
具體實施例方式
下面，基于實施方式詳細說明本發(fā)明。
(實施方式1)圖1是本發(fā)明實施方式1的噴墨式記錄頭的立體分解圖，圖2的(a)和(b)是圖1的平面圖和剖面圖。如圖所示，在本實施方式中，流路形成襯底10由(110)晶向的硅單晶襯底構(gòu)成，在其一面上事先形成有厚度為1～2μm的彈性膜50，所述彈性膜50是由熱氧化形成的二氧化硅構(gòu)成。在流路形成襯底10上形成了兩列在寬度方向上并列設(shè)置多個壓力產(chǎn)生室12的列13。此外，在流路形成襯底10的壓力產(chǎn)生室12的長度方向上的外側(cè)區(qū)域形成了連通部分14，連通部分14和各壓力產(chǎn)生室12經(jīng)由設(shè)置于每個壓力產(chǎn)生室12上的墨水供應(yīng)通路15而連通。此外，連通部分14與后述的密封襯底的儲墨部分連通，從而構(gòu)成作為各壓力產(chǎn)生室12的共用墨水室的儲墨池的一部分。墨水供應(yīng)通路15以比壓力產(chǎn)生室12更窄的寬度形成，從而將從連通部分14流入壓力產(chǎn)生室12內(nèi)的墨水的流路阻抗保持為恒定。
此外，在流路形成襯底10的開口面一側(cè)，隔著絕緣膜51通過粘合劑或熱熔粘結(jié)膜固定有噴盤20，在所述噴盤20上貫穿設(shè)置有噴嘴開口21，所述噴嘴開口21連通于各壓力產(chǎn)生室12的與墨水供應(yīng)通路15相反側(cè)的端部附近，其中所述絕緣膜51是在形成壓力產(chǎn)生室12時作為掩膜所使用的膜。此外，噴盤20由厚度例如為0.01～1mm，線膨脹系數(shù)在300℃以下，例如為2.5～4.5[×10-6/℃]的陶瓷、硅單晶襯底或者不銹鋼等構(gòu)成。
另一方面，在所述流路形成襯底10的與開口面相反的一側(cè)，如上所述形成有其厚度例如約為1.0μm的彈性膜50，在所述彈性膜50上形成有其厚度例如約為0.4μm的絕緣膜55。而且，在所述絕緣膜55上通過后述的工序?qū)盈B形成了厚度例如約為0.2μm的下電極膜60、厚度例如約為1.0μm的壓電層70、以及厚度例如約為0.05μm的上電極膜80，從而構(gòu)成壓電元件300。這里，壓電元件300是指包含下電極膜60、壓電層70以及上電極膜80的部分。通常，可將壓電元件300的任何一側(cè)的電極作為共用電極，將另一側(cè)電極及壓電層70對應(yīng)于每個壓力產(chǎn)生室12通過圖案化來構(gòu)成。并且，這里將由圖案化的某一側(cè)電極和壓電層70構(gòu)成的、通過向兩個電極施加電壓而產(chǎn)生壓電變形的部分稱為壓電主動部分。在本實施方式中，將下電極膜60作為壓電元件300的共用電極，將上電極膜80作為壓電元件300的個別電極，但也可以根據(jù)驅(qū)動電路和布線情況將上述反過來。不管在何種情況下，壓電主動部分都會與各壓力產(chǎn)生室對應(yīng)地形成。此外，這里將壓電元件300和通過該壓電元件300的驅(qū)動而產(chǎn)生移位的振動板加起來稱為壓電致動器。
此外，在構(gòu)成上述各壓電元件300的上電極膜80上連接有例如由金(Au)等形成的引線電極90，所述引線電極90一直延伸到與壓力產(chǎn)生室12的列13間對應(yīng)的區(qū)域，其前端部暴露在后述的密封襯底的貫通孔內(nèi)。
此外，在形成了上述壓電元件300的流路形成襯底10上接合有安裝了用于驅(qū)動壓電元件300的驅(qū)動IC的接合襯底，在本實施方式中為密封襯底30。所述密封襯底30在與壓電元件300相對的區(qū)域具有壓電元件支撐部分31，所述壓電元件支撐部分31可在保證不妨礙壓電元件300運動的程度的空間的狀態(tài)下密封所述空間。壓電元件支撐部分31分別與各壓力產(chǎn)生室12對應(yīng)設(shè)置。此外，在本實施方式中，各壓電元件支撐部分31被一體設(shè)置在與各壓力產(chǎn)生室12的列13對應(yīng)的區(qū)域中，當(dāng)然也可以與每個壓電元件300對應(yīng)地單獨設(shè)置。作為這種密封襯底30的材料，例如可例舉玻璃、陶瓷材料、金屬以及樹脂等，但最好是使用與流路形成襯底10的熱膨脹率大致相同的材料來形成，在本實施方式中，使用與流路形成襯底10相同材料的硅單晶襯底來形成。
此外，密封襯底30在與流路形成襯底10的連通部分14對應(yīng)的區(qū)域設(shè)置了儲墨部分32。在本實施方式中，所述儲墨部分32在厚度方向貫穿密封襯底30并沿著壓力產(chǎn)生室12的列13設(shè)置，從而，如上述那樣與流路形成襯底10的連通部分14連通來構(gòu)成作為壓力產(chǎn)生室12的共用墨水室的儲墨池100。
而且，在密封襯底30的大體中間部分，即與壓力產(chǎn)生室12的列13間相對的區(qū)域，對應(yīng)每一個壓力產(chǎn)生室12的列13分別形成一個在厚度方向上貫穿密封襯底30的貫通孔33，并在這些貫通孔33之間形成有梁部分34。此外，所述梁部分34最好是與密封襯底30構(gòu)成一體，當(dāng)然也可以與密封襯底30分開獨立構(gòu)成。
此外，在密封襯底30上，隔著絕緣膜36設(shè)置有配線圖案35，所述配線圖案35與未圖示的外部配線相連，從而接收驅(qū)動信號。而且，在密封襯底30的貫通孔33的兩側(cè)，即與壓力產(chǎn)生室12的各列13對應(yīng)的區(qū)域的配線圖案35上分別安裝有驅(qū)動IC 110，所述驅(qū)動IC 110是用于驅(qū)動各壓電元件300的半導(dǎo)體集成電路(IC)。
這里，驅(qū)動信號例如除了驅(qū)動電源信號等用于驅(qū)動驅(qū)動IC的驅(qū)動類信號以外，還包括串行信號(SI)等各種控制類信號，配線圖案35由接收各種信號的多個配線構(gòu)成。而且，在本實施方式中，在構(gòu)成所述配線圖案35的配線中的共用電極配線37沿著壓力產(chǎn)生室12的列13而延伸設(shè)置于安裝了驅(qū)動IC 110的區(qū)域和梁部分34上，其中所述共用電極配線37與作為壓電元件300的共用電極的下電極膜60連接，從而提供驅(qū)動信號(COM)。設(shè)置于所述梁部分34上的配線不僅限于共用電極配線37，也可以配置用于提供串行等信號的配線。
而且，設(shè)置于配線圖案35上的各驅(qū)動IC 110與從各壓電元件300延伸設(shè)置的引線電極90分別通過延伸設(shè)置在密封襯底30的貫通孔33內(nèi)的連接線120而電連接，所述連接線120例如由接合線等導(dǎo)電線構(gòu)成。此外，同樣地，配線圖案35的共用電極配線37和下電極膜60在貫通孔33的兩端附近通過連接線120而電連接。
在上述本實施方式的結(jié)構(gòu)中，由于在與密封襯底30的壓力產(chǎn)生室12的列13之間相對的區(qū)域，對應(yīng)每一個壓力產(chǎn)生室12的列13設(shè)置了貫通孔33，并通過延伸設(shè)置在這些貫通孔33內(nèi)的連接線120來將各引線電極90和驅(qū)動IC 110電連接，或者將下電極膜60和共用電極配線37電連接，因此，能夠?qū)⒚芊庖r底30的面積抑制得較小。進而，通過使所述梁部分34的截面形狀為楔形，可以進一步提高密封襯底30以及流路形成襯底10的剛性，并且能夠抑制在進行引線接合時毛細管(capillary)觸及該梁部分34。
此外，由于在貫通孔33之間形成了梁部分34，因此提高了密封襯底30的剛性(強度)，隨之也提高了接合了密封襯底30的流路形成襯底10的剛性。從而可防止由流路形成襯底10的剛性低而引起的串?dāng)_的發(fā)生，可獲得良好的墨水吐出特性。此外，通過提高密封襯底30和流路形成襯底10的剛性，例如還防止了由于在進行封頂?shù)葧r所加的外力導(dǎo)致的損壞，從而可提高耐久性和可靠性。
而且，由于共用電極配線37被設(shè)置在密封襯底30的梁部分34上，共用電極配線37的面積變大，所以實質(zhì)上減小了連接在該共用電極配線37上的下電極膜的阻抗值。即，由于能夠保證下電極膜60的電流容量，因此，即使在同時驅(qū)動多個壓電元件300時，也不會導(dǎo)致電壓下降，從而可防止發(fā)生因電壓的下降所導(dǎo)致的串?dāng)_。
此外，在上述的密封襯底30上，接合了由密封膜41和固定板42構(gòu)成的柔性襯底40。這里，密封膜41由剛性低并具有撓性的材料(例如，厚度為6μm的聚苯硫醚(PPS)膜)構(gòu)成，由該密封膜41密封儲墨部分32的一面。此外，固定板42由金屬等硬質(zhì)材料(例如，厚度為30μm的不銹鋼(SUS)等)形成。由于該固定板42的與儲墨池100相對的區(qū)域構(gòu)成在厚度方向被完全削掉的開口部分43，所以，儲墨池100的一面僅由密封膜41所密封。
在上述的本實施方式的噴墨式記錄頭中，從未圖示的外部供墨裝置取入墨水，從而用墨水填滿從儲墨池100至噴嘴開口21的內(nèi)部之后，根據(jù)來自驅(qū)動電路110的記錄信號，向?qū)?yīng)于壓力產(chǎn)生室12的各下電極膜60和上電極膜80之間施加電壓，使彈性膜50、絕緣膜55、下電極膜60以及壓電層70撓性變形，由此各壓力產(chǎn)生室12內(nèi)的壓力變高，從噴嘴開口21吐出墨水。
(實施方式2)圖3是實施方式2的噴墨式記錄頭的平面圖。如圖3所示，本實施方式中，與各壓力產(chǎn)生室12的列13對應(yīng)地分別設(shè)置了兩個貫通孔33A、33B，并且，也在所述兩個貫通孔33A、33B之間形成了梁部分34A。即，在本實施方式中，在密封襯底30的與各壓力產(chǎn)生室12的列13相對的區(qū)域分別安裝了兩個驅(qū)動IC 110A、110B，從而共安裝了4個驅(qū)動IC110。而且，對應(yīng)各驅(qū)動IC 110分別設(shè)置貫通孔33A、33B，并在所述兩個貫通孔33A、33B之間，梁部分34A與密封襯底30由相同材料形成為一體，除此之外，其它與實施方式1相同。
通過這種結(jié)構(gòu)，同樣能夠獲得與實施方式1相同的效果，并且通過形成梁部分34A，可進一步提高密封襯底30和流路形成襯底10的剛性，從而能夠更加可靠地防止串?dāng)_的發(fā)生。
(其它實施方式)以上說明了本發(fā)明的各實施方式，但噴墨式記錄頭的基本結(jié)構(gòu)不僅限于此。例如，雖然在上述的實施方式中，作為接合襯底舉例示出了具有壓電元件支撐部分31的密封襯底30，但是，接合襯底只要是安裝驅(qū)動IC的襯底即可，并無特別限定。此外，例如在上述的實施方式中，雖然舉例說明了應(yīng)用成膜及平板印刷工藝制造的薄膜型噴墨式記錄頭，但是，當(dāng)然并不僅限于此，例如也可以在通過粘貼印刷電路板等的方法所形成的薄膜型噴墨式記錄頭中采用本發(fā)明。
此外，這些各實施方式的噴墨式記錄頭構(gòu)成記錄頭單元的一部分，被安裝于噴墨式記錄裝置上，其中所述記錄頭單元具有與墨盒等連通的墨水流路。圖4是表示所述噴墨式記錄裝置的一個例子的概要圖。如圖4所示，具有噴墨式記錄頭的記錄頭單元1A和1B可裝卸地設(shè)置了構(gòu)成供墨裝置的墨盒2A和2B，并且安裝了所述記錄頭單元1A和1B的托架3被設(shè)置在安裝于裝置主體4上的托架軸5上，并可在軸方向上自由移動。所述記錄頭單元1A和1B例如分別作為吐出黑色墨水組合物及彩色墨水組合物的單元。并且，通過經(jīng)由未圖示的多個齒輪及同步帶7向托架3傳送驅(qū)動馬達6的驅(qū)動力，使得安裝了所述記錄頭單元1A和1B的托架3沿著托架軸5移動。另一方面，在裝置主體4上沿著托架軸5設(shè)置有壓紙卷軸8，由未圖示的進紙輥等進紙的紙等作為記錄介質(zhì)的記錄片材S被傳送到壓紙卷軸8上。
此外，在上述的實施方式中，說明了作為本發(fā)明液體噴射頭的一個例子的噴墨式記錄頭，但液體噴射頭的基本結(jié)構(gòu)并不僅限于此。本發(fā)明是廣泛地將所有液體噴射頭作為對象而完成的，因此當(dāng)然也能夠適用于噴射墨水之外的液體的噴射頭。作為其它的液體噴射頭，例如可例舉出用于打印機等圖象記錄裝置的各種記錄頭、在制造液晶顯示器等的濾色器時使用的顏料噴射頭、在有機EL顯示器、FED(面發(fā)光顯示器)等的電極形成中使用的電極材料噴射頭、以及在制造生物芯片時使用的生物有機物噴射頭等。
權(quán)利要求
1.一種液體噴射頭，其包括流路形成襯底和壓電元件，其中，所述流路形成襯底至少具有兩列分別與噴嘴開口連通的壓力產(chǎn)生室的列，所述壓電元件經(jīng)振動板設(shè)置于所述流路形成襯底的一面上，使所述壓力產(chǎn)生室內(nèi)部產(chǎn)生壓力變化，所述液體噴射頭的特征在于，其具有接合襯底和驅(qū)動IC，所述接合襯底接合在所述流路形成襯底的所述壓電元件一側(cè)，所述驅(qū)動IC設(shè)置于所述接合襯底上的與所述壓力產(chǎn)生室的各列相對的區(qū)域，用于驅(qū)動所述壓電元件，在所述接合襯底上，在與所述壓力產(chǎn)生室的列間對應(yīng)的區(qū)域，對應(yīng)于所述壓力產(chǎn)生室的各列而至少每列一個地形成貫通孔，從所述壓電元件引出的引出電極被暴露在所述貫通孔內(nèi)，同時在相鄰的各貫通孔之間形成梁部分。
2.如權(quán)利要求1所述的液體噴射頭，其特征在于，在所述接合襯底上形成用于安裝所述驅(qū)動IC的配線圖案，在所述梁部分上，沿著所述壓力產(chǎn)生室的列形成共用電極配線，所述共用電極配線構(gòu)成所述配線圖案的一部分，并與共用電極連接，所述共用電極被多個并列設(shè)置的多個壓電元件共用。
3.如權(quán)利要求1所述的液體噴射頭，其特征在于，所述接合襯底是在與所述壓電元件相對的區(qū)域具有壓電元件支持部分的密封襯底，所述壓電元件支持部分在保證空間的狀態(tài)下密封該空間。
4.如權(quán)利要求1所述的液體噴射頭，其特制在于，在所述接合襯底上，沿著所述壓力產(chǎn)生室的排列方向留出預(yù)定間隔地配置了多個所述驅(qū)動IC，并與各驅(qū)動IC對應(yīng)地設(shè)置了所述貫通孔，而且在與所述預(yù)定間隔對應(yīng)的所述接合襯底上形成了所述梁部分。
5.一種液體噴射裝置，其特征在于，具有權(quán)利要求1～4中任一項所述的液體噴射頭。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠高密度排列壓力產(chǎn)生室且可實現(xiàn)小型化的液體噴射頭及液體噴射裝置。所述液體噴射頭包括至少具有兩列壓力產(chǎn)生室(12)的列(13)的流路形成襯底(10)和隔著振動板設(shè)置于所述流路形成襯底(10)的一面上的壓電元件(300)，并且在接合于流路形成襯底(10)的壓電元件(300)一側(cè)的接合襯底(30)上，在與壓力產(chǎn)生室(12)的各列(13)相對的區(qū)域設(shè)置驅(qū)動IC(110)，在與接合襯底(30)的壓力產(chǎn)生室(12)的列(13)間對應(yīng)的區(qū)域，對應(yīng)于所述壓力產(chǎn)生室(12)的各列(13)而至少每列一個地形成貫通孔(33)，同時在相鄰的各貫通孔(33)之間形成梁部分(34)。
文檔編號B41J2/055GK1597323SQ200410070298
公開日2005年3月23日 申請日期2004年8月4日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月4日
發(fā)明者大脅寬成, 宮田佳直 申請人:精工愛普生株式會社