專利名稱：繪圖方法以及繪圖裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種使具有多列配置在一列上配置有多個(gè)根據(jù)所輸入的控制信號(hào)調(diào)制入射光的繪圖器件的繪圖器件列所得到的空間光調(diào)制器件的繪圖頭，沿著繪圖面向著給定的掃描方向相對(duì)移動(dòng)從而進(jìn)行繪圖的方法以及裝置。
背景技術(shù)：
以前，作為繪圖裝置的一個(gè)例子，利用數(shù)字微鏡器件(DMD)等，根據(jù)圖像數(shù)據(jù)由被調(diào)制了的光束進(jìn)行圖像曝光的曝光裝置已經(jīng)被提案了多種。DMD是通過(guò)在硅等半導(dǎo)體基板上的存儲(chǔ)單元(SRAM單元)中，將微小的微鏡排列成L行×M列的2維狀而構(gòu)成的，對(duì)應(yīng)于控制信號(hào)，通過(guò)存儲(chǔ)單元中所積蓄的電荷來(lái)控制靜電力，使微鏡傾斜而使其反射面的角度變化。這樣，通過(guò)使該DMD沿著曝光面向著一定的方向掃描來(lái)進(jìn)行實(shí)際的曝光。
在該DMD中，能夠在SRAM中寫入有圖像數(shù)據(jù)的狀態(tài)下，通過(guò)復(fù)位各個(gè)微鏡，按照SRAM中的數(shù)據(jù)的內(nèi)容(“0”或“1”)使微鏡向給定的角度(“ON”或“OFF”)傾斜，從而改變光的反射方向。
然而，為了完成所有的微鏡的復(fù)位，必須進(jìn)行向SRAM的數(shù)據(jù)的傳送，以及傳送之后的微鏡的傾斜角度的變更，因此在完成復(fù)位之前必須要較長(zhǎng)的時(shí)間。
與此相反，專利文獻(xiàn)1中，公布了一種將空間光調(diào)制器(SML)分組區(qū)分，并且和不同的復(fù)位線相連接的視頻顯示系統(tǒng)。該視頻顯示系統(tǒng)中，一個(gè)復(fù)位組被加載了之后，在加載下一個(gè)復(fù)位組時(shí)能夠使已經(jīng)加載了的復(fù)位組開(kāi)始顯示視頻。
專利文獻(xiàn)1特開(kāi)平9-198008號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2美國(guó)專利第6,493,867號(hào)說(shuō)明書(shū)然而，專利文獻(xiàn)1中所述的方法，是應(yīng)用在視頻顯示系統(tǒng)中的，而不是設(shè)想為應(yīng)用在光刻等的繪圖裝置中的。
另外，例如在專利文獻(xiàn)2中，提出了一種通過(guò)使感光材料相對(duì)DMD移動(dòng)，而使得使相鄰的微鏡所反射的光束的照射范圍部分重疊，從而實(shí)現(xiàn)鋸齒較少的曝光的曝光方法。
然而，由于微鏡的更新速度成為了瓶頸，使得提高掃描速度極為困難。另外，維持既有的掃描速度，而提高掃描方向的分辨率也是很困難的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明以上述事實(shí)為鑒，目的是提供一種能夠縮短空間光調(diào)制器件的更新時(shí)間的掃描方法以及掃描裝置。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種保持掃描速度不變，而能夠提高掃描方向的分辨率的掃描方法以及掃描裝置。
本發(fā)明的一種繪圖方法的特征在于，是一種使具有多列配置在一列上配置有多個(gè)根據(jù)所輸入的控制信號(hào)調(diào)制入射光的繪圖器件的繪圖器件列所得到的空間光調(diào)制器件，且將該空間光調(diào)制器件所調(diào)制的光成像在繪圖面上的繪圖頭，沿著繪圖面向著給定的掃描方向相對(duì)移動(dòng)從而進(jìn)行繪圖的方法，將上述多個(gè)繪圖器件列每一個(gè)或多個(gè)繪圖器件列而分割，順次向該所分割的多個(gè)分割區(qū)域輸出上述控制信號(hào)，從上述控制信號(hào)的輸入已完成的分割區(qū)域的繪圖器件開(kāi)始順次進(jìn)行上述調(diào)制。
另外，上述繪圖方法中，能夠僅向繪圖器件列中的一部分的多個(gè)繪圖器件列輸出上述控制信號(hào)，同時(shí)將該一部分的多個(gè)繪圖器件列分割成多個(gè)繪圖器件列，順次向該所分割的多個(gè)分割區(qū)域輸出控制信號(hào)，從上述控制信號(hào)的輸入已完成的分割區(qū)域的繪圖器件開(kāi)始順次進(jìn)行上述調(diào)制。
另外，可以使空間光調(diào)制器件的上述分割區(qū)域的數(shù)目d的大小滿足下面的公式d≥t/(t-u)且t為向全體分割區(qū)域輸入控制信號(hào)所需要的時(shí)間，u為一個(gè)分割區(qū)域中的繪圖器件進(jìn)行上述調(diào)制所必需的時(shí)間。
另外，可以使多個(gè)分割區(qū)域中的至少一個(gè)分割區(qū)域中所具有的繪圖器件列的數(shù)目，和該至少一個(gè)分割區(qū)域之外的分割區(qū)域中所具有的繪圖器件列的數(shù)目不同。
另外，可以將空間光調(diào)制器件所繪制的繪圖點(diǎn)在上述掃描方向上每分割區(qū)域以給定的間隔錯(cuò)開(kāi)而進(jìn)行繪圖。
另外，可以根據(jù)繪圖面的相對(duì)移動(dòng)速度以及在每個(gè)分割區(qū)域上的上述錯(cuò)位，在表示在上述繪圖面上所繪制的圖像的圖像數(shù)據(jù)中，形成分別和繪圖點(diǎn)相對(duì)應(yīng)的繪圖數(shù)據(jù)，根據(jù)該繪圖數(shù)據(jù)形成控制信號(hào)。
另外，可以通過(guò)N重繪圖(N為大于2的自然數(shù))對(duì)繪圖面進(jìn)行繪圖。
另外，最好使分割區(qū)域的數(shù)目和N重繪圖的N的大小相同。
另外，可以使空間光調(diào)制器件所使用的繪圖器件所出射的繪圖光在繪圖面上的投影點(diǎn)的排列方向相對(duì)上述掃描方向具有給定的傾斜角度。
另外，可以設(shè)置空間光調(diào)制器件而使該空間光調(diào)制器件中的繪圖器件行相對(duì)上述掃描方向具有給定的傾斜角度。
另外，可以使該空間光調(diào)制器件中的繪圖器件行相對(duì)上述掃描方向具有給定的傾斜角度而排列空間光調(diào)制器件中的繪圖器件。
另外，可以根據(jù)繪圖面的相對(duì)移動(dòng)速度調(diào)整向各個(gè)分割區(qū)域的控制信號(hào)的輸出時(shí)序。
另外，可以按照繪圖面中所繪制的繪圖點(diǎn)的所期望的配置調(diào)整向各個(gè)區(qū)域的控制信號(hào)的輸出時(shí)序。
另外，可以從給定的掃描方向的下游的分割區(qū)域開(kāi)始順次輸出控制信號(hào)。
另外，可以根據(jù)繪圖面的相對(duì)移動(dòng)速度生成向各個(gè)繪圖器件所輸出的的控制信號(hào)。
本發(fā)明的繪圖裝置的特征在于，在這種包括具有多列配置在一列上配置有多個(gè)根據(jù)所輸入的控制信號(hào)調(diào)制入射光的繪圖器件的繪圖器件列所得到的空間光調(diào)制器件，將該空間光調(diào)制器件所調(diào)制的光成像在繪圖面上，同時(shí)沿著繪圖面向著給定的掃描方向相對(duì)移動(dòng)的繪圖頭的繪圖裝置中，包括順次向?qū)⑸鲜龆鄠€(gè)繪圖器件列以一個(gè)或多個(gè)繪圖器件列為單位進(jìn)行分割所得到的多個(gè)分割區(qū)域輸出上述控制信號(hào)，從上述控制信號(hào)的輸入已完成的分割區(qū)域的繪圖器件開(kāi)始順次進(jìn)行上述調(diào)制的控制單元。
另外，上述繪圖裝置中，控制單元，能夠僅向上述繪圖器件列中的一部分的多個(gè)繪圖器件列輸出上述控制信號(hào)，同時(shí)順次向?qū)⑸鲜龆鄠€(gè)繪圖器件列以一個(gè)或多個(gè)繪圖器件列為單位進(jìn)行分割所得到的多個(gè)分割區(qū)域輸出上述控制信號(hào)，從上述控制信號(hào)的輸入已完成的分割區(qū)域的繪圖器件開(kāi)始順次進(jìn)行上述調(diào)制。
另外，可以使空間光調(diào)制器件的分割區(qū)域的數(shù)目d的大小滿足下面的公式d≥t/(t-u)且t為向全體分割區(qū)域輸入控制信號(hào)所需要的時(shí)間，u為一個(gè)分割區(qū)域中的繪圖器件進(jìn)行上述調(diào)制所必需的時(shí)間。
另外，可以使多個(gè)分割區(qū)域中的至少一個(gè)分割區(qū)域中所具有的繪圖器件列的數(shù)目，和該至少一個(gè)分割區(qū)域之外的分割區(qū)域中所具有的繪圖器件列的數(shù)目不同。
另外，可以使控制單元，將空間光調(diào)制器件所繪制的繪圖點(diǎn)在上述掃描方向上每分割區(qū)域上以給定的間隔錯(cuò)開(kāi)而進(jìn)行繪圖。
另外，可以使控制單元，根據(jù)繪圖面的相對(duì)移動(dòng)速度以及在每個(gè)分割區(qū)域上的錯(cuò)位，在表示在繪圖面上所繪制的圖像的圖像數(shù)據(jù)中，形成分別和繪圖點(diǎn)相對(duì)應(yīng)的繪圖數(shù)據(jù)，根據(jù)該繪圖數(shù)據(jù)形成控制信號(hào)。
另外，可以使繪圖頭，通過(guò)N重繪圖(N為大于等于2的自然數(shù))對(duì)繪圖面進(jìn)行繪圖。
另外，控制單元，最好使分割區(qū)域的數(shù)目和N重繪圖的N的大小相同。
另外，可以使空間光調(diào)制器件所使用的繪圖器件所出射的繪圖光在繪圖面上的投影點(diǎn)的排列方向相對(duì)上述掃描方向具有給定的傾斜角度。
另外，可以設(shè)置空間光調(diào)制器件而使空間光調(diào)制器件中的繪圖器件行相對(duì)上述掃描方向具有給定的傾斜角度。
另外，可以排列空間光調(diào)制器件中的繪圖器件，使該空間光調(diào)制器件中的繪圖器件行相對(duì)上述掃描方向具有給定的傾斜角度。
另外，可以使空間光調(diào)制器件，是一種將能夠?qū)?yīng)于上述控制信號(hào)而變更反射面的角度的多個(gè)微鏡作為上述繪圖器件而排列的微鏡器件。
另外，可以使空間光調(diào)制器件，是一種將能夠?qū)?yīng)于上述控制信號(hào)而遮斷透過(guò)光的多個(gè)液晶單元作為上述繪圖器件而排列的液晶光閘陣列。
另外，可以使控制單元，根據(jù)繪圖面的相對(duì)移動(dòng)速度調(diào)整向各個(gè)分割區(qū)域的控制信號(hào)的輸出時(shí)序。
另外，可以使述控制單元，按照繪圖面中所繪制的繪圖點(diǎn)的所期望的配置調(diào)整向各分割區(qū)域的控制信號(hào)的輸出時(shí)序。
另外，可以使控制單元，從掃描方向的下游的分割區(qū)域開(kāi)始順次輸出控制信號(hào)。
另外，可以使控制單元，根據(jù)繪圖面的相對(duì)移動(dòng)速度生成向各個(gè)繪圖器件所輸出的的上述控制信號(hào)。
這里，上述“繪圖器件列”是指，在二維狀排列的繪圖器件的2個(gè)排列方向中的相對(duì)上述掃描方向的傾斜角度較大的一方的排列方向上所排列成一列的繪圖器件群。
另外，上述“調(diào)制”是指，使繪圖器件動(dòng)作并作用于入射光。
另外，上述“繪圖器件行”是指，在二維狀排列的繪圖器件的2個(gè)排列方向中的相對(duì)上述掃描方向的傾斜角度較小的一方的排列方向上所排列成一列的繪圖器件群。
另外，上述“N重繪圖”是指，通過(guò)N個(gè)繪圖器件掃描同一個(gè)掃描線而進(jìn)行的繪圖處理。另外，下面的說(shuō)明中，“多重”和“N重”的意思一樣。
另外，上述“使用繪圖器件”是指，在空間光調(diào)制器件的繪圖器件中，對(duì)繪圖面進(jìn)行繪圖時(shí)所實(shí)際使用的繪圖器件。
另外，上述“投影點(diǎn)的排列方向”是指，在二維狀排列的投影點(diǎn)的2個(gè)排列方向中的相對(duì)上述掃描方向的傾斜角度較小的一方的排列方向。
本發(fā)明的繪圖方法以及裝置中，將上述多個(gè)繪圖器件列每一個(gè)或多個(gè)繪圖器件列而分割，順次向該所分割的多個(gè)分割區(qū)域輸出上述控制信號(hào)，從上述控制信號(hào)的輸入已完成的分割區(qū)域的繪圖器件開(kāi)始順次進(jìn)行上述調(diào)制，因此，能夠在向特定的分割區(qū)域傳送控制信號(hào)的時(shí)間內(nèi)，在調(diào)制信號(hào)以及傳送結(jié)束了的其他的特定區(qū)域中更新繪圖器件，從而能夠縮短更新時(shí)間。
另外，上述繪圖方法以及裝置中，在只向繪圖器件列中的一部分的多個(gè)繪圖器件列輸出控制信號(hào)的情況下，和控制全體繪圖器件列相比，所控制的繪圖器件的個(gè)數(shù)較少，能夠進(jìn)一步縮短空間光調(diào)制器件的更新時(shí)間。
另外，上述繪圖方法以及裝置中，在空間光調(diào)制器件的分割區(qū)域的數(shù)目d的大小滿足下面的公式的情況下，通過(guò)設(shè)定分割區(qū)域數(shù)d的下限，能夠更有效的縮短空間光調(diào)制器件的更新時(shí)間。
d≥t/(t-u)且t為向全體上述分割區(qū)域輸入上述控制信號(hào)所需要的時(shí)間，u為上述一個(gè)分割區(qū)域中的繪圖器件進(jìn)行上述調(diào)制所必需的時(shí)間。
另外，在多個(gè)分割區(qū)域中的至少一個(gè)分割區(qū)域中所具有的繪圖器件列的數(shù)目，和該至少一個(gè)分割區(qū)域之外的分割區(qū)域中所具有的繪圖器件列的數(shù)目不同的情況下，由于能夠減少所控制的分割區(qū)域的數(shù)目，能夠使該分控制簡(jiǎn)單化。
另外，在繪圖頭中設(shè)置空間光調(diào)制器件而使空間光調(diào)制器件中的繪圖器件行相對(duì)上述掃描方向具有給定的傾斜角度，由該繪圖頭通過(guò)N重繪圖(N為大于等于2的自然數(shù))而進(jìn)行繪圖，同時(shí)使空間光調(diào)制器件的繪圖器件所繪制的繪圖點(diǎn)在上述掃描方向上每分割區(qū)域以給定的間隔錯(cuò)開(kāi)而進(jìn)行繪圖的情況下，能夠不降低掃描速度而提高掃描方向上的分辨率。另外，該掃描方向上的分辨率的提高將在后面進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。


圖1為說(shuō)明使用本發(fā)明的繪圖裝置的一個(gè)實(shí)施方式的曝光裝置的外觀的立體圖。
圖2為說(shuō)明圖1中所示的曝光裝置的掃描儀的構(gòu)成的立體圖。
圖3(A)為說(shuō)明感光材料層上所形成的曝光完成區(qū)域的平面圖，(B)為說(shuō)明被各個(gè)曝光頭所曝光的區(qū)域的排列的示意圖。
圖4為說(shuō)明圖2中所示的曝光頭概要構(gòu)成的立體圖。
圖5(A)為說(shuō)明圖4中所示的曝光頭的構(gòu)成沿著光軸方向的副掃描方向的截面圖，(B)為(A)的側(cè)面圖。
圖6為說(shuō)明圖4中所示的曝光頭中的微鏡器件(DMD)的構(gòu)成的部分放大圖。
圖7為用來(lái)說(shuō)明圖6中所示的DMD的動(dòng)作的示意圖。
圖8為說(shuō)明DMD的分割區(qū)域的示意圖。
圖9(A)為說(shuō)明在進(jìn)行分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)的情況下向DMD傳送圖像數(shù)據(jù)的傳送時(shí)間以及微鏡的復(fù)位時(shí)間的時(shí)序圖，(B)為說(shuō)明在不進(jìn)行分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)的情況下向DMD傳送圖像數(shù)據(jù)的傳送時(shí)間以及微鏡的復(fù)位時(shí)間的時(shí)序圖。
圖10(A)為說(shuō)明光纖陣列光源的構(gòu)成的立體圖，(B)為(A)的部分放大圖，(C)、(D)為說(shuō)明激光出射部的發(fā)光點(diǎn)的排列的平面圖。
圖11為說(shuō)明圖1中所示的曝光裝置中的合波激光光源的構(gòu)成的平面圖。
圖12為說(shuō)明圖1中所示的激光模塊的構(gòu)成的平面圖。
圖13為圖12中所示的激光模塊的側(cè)面圖。
圖14為圖12中所示的激光模塊的部分側(cè)面圖。
圖15為說(shuō)明在進(jìn)行分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)時(shí)的和圖9(A)不同的情況的時(shí)序圖。
圖16為說(shuō)明在進(jìn)行分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)時(shí)的和圖9(A)以及圖15不同的情況的時(shí)序圖。
圖17為在使分割區(qū)域1、2的微鏡列為96列，使分割區(qū)域3的微鏡列為48列的情況下的時(shí)序圖。
圖18(A)為說(shuō)明在使DMD相對(duì)掃描方向傾斜的情況下，形成在感光材料上的曝光完成區(qū)域的平面圖，(B)為說(shuō)明被各個(gè)曝光頭所曝光的區(qū)域的排列的示意圖。
圖19為說(shuō)明DMD的其他實(shí)施方式的示意圖。
圖20為說(shuō)明在不進(jìn)行分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)而只進(jìn)行多重曝光的情況下的曝光區(qū)域的示意圖。
圖21為說(shuō)明在進(jìn)行分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)且進(jìn)行多重曝光的情況下的曝光區(qū)域的示意圖。
圖22為說(shuō)明在分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)中，向感光材料曝光的所期望的圖像與DMD所輸入的控制信號(hào)之間的關(guān)系的示意圖。
圖23為用來(lái)說(shuō)明通過(guò)掃描儀進(jìn)行一次掃描而使感光材料曝光的曝光方式的平面圖。
圖24為用來(lái)說(shuō)明通過(guò)掃描儀進(jìn)行多次掃描而使感光材料曝光的曝光方式的平面圖。
圖中LD1～LD7...GaN族半導(dǎo)體激光器件，10...加熱單元，11～17...準(zhǔn)直透鏡，20...聚光透鏡，30...多狀態(tài)光纖，50...DMD(digital micromirrordevice，空間光調(diào)制器件)，53...反射光像(曝光光束)，54、58...透鏡系統(tǒng)(光學(xué)系統(tǒng))，56...掃描面(被曝光面)，64...激光模塊，66...光纖陣列光源，68...激光出射部，150...感光材料，152...平臺(tái)(移動(dòng)單元)，162...掃描儀，166...曝光頭，168...曝光區(qū)域，170...曝光完成區(qū)域具體實(shí)施方式

下面對(duì)照

本發(fā)明的具體實(shí)施方式

。在下面的說(shuō)明中，為了說(shuō)明的方便而舉出了具體的數(shù)值，當(dāng)然本發(fā)明是并不僅限于這些數(shù)值的。
本發(fā)明的實(shí)施方式的相關(guān)繪圖裝置，是所謂的平板型的曝光裝置，如圖1所示，設(shè)有在表面上吸著保持有薄片狀感光材料150的平板狀的平臺(tái)152。在由4個(gè)腳154所支撐的厚板狀的設(shè)置臺(tái)156上面，設(shè)置有沿著平臺(tái)的移動(dòng)方向而延伸的2根導(dǎo)軌158。平臺(tái)152的長(zhǎng)邊方向沿著平臺(tái)的移動(dòng)方向而配置，被導(dǎo)軌158所支持并能夠往返移動(dòng)。另外，該曝光裝置中，還設(shè)有用來(lái)沿著導(dǎo)軌158的方向驅(qū)動(dòng)平臺(tái)152的圖中所未顯示的驅(qū)動(dòng)裝置，該驅(qū)動(dòng)裝置在后面將要說(shuō)明，被圖中所未顯示的控制器所驅(qū)動(dòng)控制，沿著掃描方向使其具有對(duì)應(yīng)于所期望的倍率的移動(dòng)速度(掃描速度)。
在設(shè)置臺(tái)156的中央部上，設(shè)置有橫跨平臺(tái)152的移動(dòng)路線的“コ”字形的門160?！哎场弊譅畹拈T160的兩端分別被固定在設(shè)置臺(tái)156的兩側(cè)。該門160的一側(cè)上設(shè)置有掃描儀162，另一側(cè)上設(shè)置有用來(lái)檢測(cè)感光材料150的前端以及后端的多個(gè)(例如2個(gè))檢測(cè)傳感器164。掃描儀162以及檢測(cè)傳感器164被分別安裝于門160上，且被固定在平臺(tái)152的移動(dòng)路線的上方。另外掃描儀162以及檢測(cè)傳感器164，與圖中所未顯示的對(duì)其進(jìn)行控制的控制器相連接，后面將要說(shuō)明，在通過(guò)曝光頭166進(jìn)行曝光時(shí)，被控制為以給定的時(shí)序進(jìn)行曝光。
掃描儀162如圖2以及圖3(B)所示，設(shè)有被排列成m行n列(例如3行5列)的略矩陣狀的多個(gè)曝光頭166，該多個(gè)曝光頭被配置有多個(gè)，從而構(gòu)成了曝光頭單元165。特別是在本實(shí)施方式中，至少在與掃描方向垂直的方向上配置有多個(gè)曝光頭166(下面將與掃描方向垂直的方向稱為“曝光頭排列方向”)。該例中，由于感光材料150的寬度的關(guān)系，僅在第1行以及第2行配置了5個(gè)，在第3行配置了4個(gè)曝光頭166，一共是14個(gè)。另外，在說(shuō)明配置在第m行第n列的各個(gè)曝光頭時(shí)，用曝光頭166mn來(lái)表示。
曝光頭166的曝光區(qū)域168，在圖2中為以掃描方向?yàn)槎踢叿较虻木匦?。伴隨著平臺(tái)152的移動(dòng)，在感光材料150中形成了對(duì)應(yīng)于每個(gè)曝光頭的帶狀的曝光完成區(qū)域170。另外，在說(shuō)明配置在第m行第n列的各個(gè)曝光頭的曝光區(qū)域時(shí)，用曝光區(qū)域168mn來(lái)表示。
另外，如圖3(A)以及(B)所示，為了使帶狀的曝光完成區(qū)域170分別和相鄰的曝光完成區(qū)域170相鄰，將線狀排列的各行的曝光頭中的各個(gè)曝光頭，在曝光頭排列方向上以給定的間隔錯(cuò)開(kāi)而配置。這樣，在第1行的曝光區(qū)域16811以及曝光區(qū)16812之間的無(wú)法被曝光的部分，能夠被第2行的曝光區(qū)域16821以及第3行的曝光區(qū)16831所曝光。
曝光頭16611～166mn分別如圖4、圖5(A)以及(B)所示，作為對(duì)應(yīng)于圖像數(shù)據(jù)而在每個(gè)像素上對(duì)入射光束進(jìn)行調(diào)制的空間光調(diào)制器件，設(shè)置有數(shù)字微鏡器件(DMD)50。該DMD50和圖中所未顯示的具有數(shù)據(jù)處理部以及透鏡驅(qū)動(dòng)控制部的控制器相連接。控制器的數(shù)據(jù)處理部中，根據(jù)所輸入的圖像數(shù)據(jù)，生成驅(qū)動(dòng)控制每個(gè)曝光頭166的DMD50的控制區(qū)域內(nèi)的各個(gè)微鏡的控制信號(hào)。這里，控制器具有使列方向上的分辨率比原圖像更高的圖像數(shù)據(jù)變換功能。通過(guò)這樣提高分辨率，能夠在相當(dāng)高的精度下進(jìn)行圖像數(shù)據(jù)的各種處理以及校正。
另外，透鏡驅(qū)動(dòng)控制部中，根據(jù)數(shù)據(jù)處理部所生成的控制信號(hào)，來(lái)控制每個(gè)曝光頭166的DMD50的各微鏡50的反射面的角度。
DMD50的光入射側(cè)，按順序配置有具有使光纖的出射端部(發(fā)光點(diǎn))沿著和曝光區(qū)域168的長(zhǎng)邊方向相對(duì)應(yīng)的方向而配置為一列的激光出射部的光纖陣列光源66，對(duì)光纖陣列光源66所發(fā)出的激光進(jìn)行校正并聚光在DMD上的透鏡系統(tǒng)67，以及將透鏡系統(tǒng)67所透過(guò)的激光反射給DMD50的微鏡69。
透鏡系統(tǒng)67，由使光纖陣列光源66所出射的激光平行光化的1對(duì)組合透鏡71，對(duì)被平行光化的激光進(jìn)行校正而使其光量分布均勻的1對(duì)組合透鏡73，以及將光量分布被校正了的激光聚光在DMD上聚光的聚光透鏡75構(gòu)成。組合透鏡73，具有在激光出射端的排列方向上，使得接近透鏡的光軸的部分的光束擴(kuò)散，使遠(yuǎn)離光軸的部分的光束聚攏，并且在和該排列方向垂直的方向上使光原樣通過(guò)的功能，從而能夠校正激光使其光量分布均勻。
另外，DMD50的光反射側(cè)，配置有將DMD50所反射的激光成像在感光材料150的掃描面(被曝光面)56上的透鏡系統(tǒng)54、58。透鏡系統(tǒng)54、58，和DMD50以及被曝光面56共同進(jìn)行工作。
DMD50如圖6所示，在SRAM單元(存儲(chǔ)單元)60上，微鏡62被支柱等支持而配置，是格子狀排列構(gòu)成像素的多個(gè)(例如，間距13.68μm，1024×768個(gè))微鏡而構(gòu)成的微鏡器件。各個(gè)像素中，最上部設(shè)置有被支柱所支持的微鏡62，微鏡62的表面上蒸鍍有鋁等反射率高的材料。另外，微鏡的反射率為90％以上。另外，微鏡62的正下方，通過(guò)含有鉸鏈以及軛的支柱，配置有由通常的半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置的生產(chǎn)線所制造出來(lái)的硅柵的CMOS的SRAM單元60，全體構(gòu)成一個(gè)單片(一體化)。
向DMD50的SRAM單元60寫入數(shù)字信號(hào)之后，使被支柱所支撐的DMD50的SRAM單元60，以對(duì)角線為中心，相對(duì)配置有DMD50的基板側(cè)在±α度(例如±10度)的范圍內(nèi)傾斜。圖7(A)中顯示了作為微鏡62的ON狀態(tài)的傾斜了+α度的狀態(tài)，圖7(B)中顯示了作為微鏡62的OFF狀態(tài)的傾斜了-α度的狀態(tài)。因此，通過(guò)對(duì)應(yīng)于圖像信號(hào)，如圖6所示的那樣控制DMD50的各個(gè)像素中的微鏡62的傾斜，入射到DMD50中的光分別被反射向各個(gè)微鏡62的傾斜方向。
另外，圖6中，顯示了將DMD50的一部分放大，微鏡62被控制為+α度或-α度方向的狀態(tài)的一個(gè)例子。各個(gè)微鏡62的ON/OFF控制，是由和DMD50相連接的圖中所未顯示的控制器來(lái)進(jìn)行的。在OFF狀態(tài)下的微鏡62反射光束的方向上，配置有吸光物(圖中未顯示)。
作為本實(shí)施方式的一個(gè)例子，如圖8所示，控制器進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，使得沿著掃描方向的768列的微鏡62中，只有大約中央的192被使用(下面，將這樣將DMD50的全部像素(微鏡62)中所使用的像素限制為一部分而進(jìn)行的驅(qū)動(dòng)稱作“部分驅(qū)動(dòng)”)。
一般來(lái)說(shuō)，DMD50的數(shù)據(jù)處理速度有一定的界限，根據(jù)所使用的像素?cái)?shù)目決定了每一列像素的更新時(shí)間。也即，為了更新微鏡62，向DMD50的SRAM單元60傳送并寫入數(shù)字信號(hào)時(shí)間，以及根據(jù)所寫入的信號(hào)，復(fù)位各個(gè)微鏡62的時(shí)間都是必要的，在使用所有的微鏡62的情況下，向其所對(duì)應(yīng)的所有的SRAM單元62的信號(hào)傳送時(shí)間是必須的。與此相對(duì)，如果像本實(shí)施方式這樣進(jìn)行部分驅(qū)動(dòng)，僅使用一部分微鏡，所使用的微鏡62越少，向SRAM單元60的數(shù)字信號(hào)的傳送時(shí)間就越短，因此像素更新時(shí)間就越短。
所使用的微鏡列數(shù)，最好為10個(gè)以上且為240個(gè)以下。相當(dāng)于一個(gè)像素的微鏡每個(gè)的面積，本實(shí)施方式中為15μm×15μm，如果換算為DMD50的使用區(qū)域，最好為12×150μm以上且為12mm×3.6mm以下。
所使用的微鏡列的數(shù)目如果為上述范圍，如圖5(A)以及(B)所示，光纖陣列光源66所出射的激光被透鏡系統(tǒng)67略平行光化，能夠照射到DMD50。最好使對(duì)DMD50的激光照射區(qū)域，和DMD50的使用區(qū)域相一致。因?yàn)槿绻丈鋮^(qū)域比使用區(qū)域大就會(huì)降低激光的利用效率。
另外，為了這樣進(jìn)行部分驅(qū)動(dòng)，可以使用配置在DMD50的掃描方向的中央部位上的微鏡列，也可以使用配置在DMD50的掃描方向的兩端部位上的微鏡列。另外，在一部分的微鏡62中產(chǎn)生了缺陷的情況下，可以使用沒(méi)有產(chǎn)生了缺陷的微鏡列，或者根據(jù)狀況適當(dāng)?shù)淖兏褂玫奈㈢R列。另外，使用預(yù)先使掃描方向上的列數(shù)在上述范圍內(nèi)而制造出來(lái)的DMD也能夠得到和上述的部分驅(qū)動(dòng)相同的效果。
另外，本實(shí)施方式中，從圖8可以得知，將部分驅(qū)動(dòng)所使用的1024個(gè)×192個(gè)微鏡62，在沿著和掃描方向垂直的方向上分割為5個(gè)區(qū)域(區(qū)域1～5)。這樣，按照從區(qū)域1到區(qū)域5的順序向SRAM單元60傳送數(shù)字信號(hào)，并且，按順序?qū)魉屯瓿闪说膮^(qū)域進(jìn)行微鏡62的復(fù)位(下面，將這樣分割DMD50的像素(微鏡62)，按區(qū)域順次進(jìn)行圖像數(shù)據(jù)的傳送以及復(fù)位，稱作“分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)”)。這樣進(jìn)行分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)，能夠同時(shí)并行進(jìn)行向SRAM單元60的數(shù)字信號(hào)的傳送以及微鏡62的復(fù)位，實(shí)質(zhì)上將復(fù)位時(shí)間隱藏在了信號(hào)傳送時(shí)間之內(nèi)，因此能夠縮短DMD50的像素更新時(shí)間。另外，區(qū)域1到區(qū)域3各自都由38列的微鏡列構(gòu)成，區(qū)域4到區(qū)域5各自都由39列的微鏡列構(gòu)成。
圖9(A)中，顯示了對(duì)上述區(qū)域1～5進(jìn)行分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)情況下的時(shí)序圖的一例。另外，圖9(B)中為了進(jìn)行比較，顯示了不進(jìn)行分割驅(qū)動(dòng)的情況下的時(shí)序圖。圖9(B)中，各個(gè)區(qū)域都需要5μs的數(shù)字信號(hào)傳送時(shí)間。另外，微鏡62的復(fù)位中(不管是否進(jìn)行了區(qū)域分割)還需要20μs。因此，在不進(jìn)行分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)的情況下，由于將數(shù)字信號(hào)傳送給SRAM單元60需要25μs(5μs×5)，之后再?gòu)?fù)位微鏡62，因此像素的更新總共需要45μs(參照下述的表1)。與此相對(duì)，如果像本實(shí)施方式這樣進(jìn)行分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)，從圖9(A)可以得知，進(jìn)行向區(qū)域1的SRAM單元60的數(shù)字信號(hào)的傳送，該傳送完成后，繼續(xù)進(jìn)行向區(qū)域2的SRAM單元60的數(shù)字信號(hào)的傳送，同時(shí)并行進(jìn)行區(qū)域1的微鏡62的復(fù)位。向各區(qū)域的SRAM60的數(shù)字信號(hào)的傳送時(shí)間(5μs)，比微鏡62的復(fù)位時(shí)間(20μs)短，進(jìn)行從區(qū)域2向區(qū)域3-＞4-＞5的SRAM60的數(shù)字信號(hào)的傳送，由于該傳送時(shí)間和微鏡62的復(fù)位時(shí)間重疊，從而能夠縮短DMD50的像素更新時(shí)間。
本實(shí)施方式中，通過(guò)這樣并用部分驅(qū)動(dòng)和分割復(fù)位，和二者單獨(dú)使用的情況相比，能夠顯著的縮短DMD50的像素更新時(shí)間。表1中，顯示了進(jìn)行以及不進(jìn)行部分驅(qū)動(dòng)以及分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)的情況下的DMD50的像素更新時(shí)間的一個(gè)例子。
表1該表中，在括弧內(nèi)，顯示了以部分驅(qū)動(dòng)以及分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)二者都不進(jìn)行的情況為100％，與其進(jìn)行比較所得到的圖像更新時(shí)間的百分比。從該表可以得知，只進(jìn)行分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)時(shí)的圖像更新時(shí)間大約縮短為83％，只進(jìn)行部分驅(qū)動(dòng)時(shí)的圖像更新時(shí)間大約縮短為38％，本實(shí)施方式中，具有組合二者所得到的相乘結(jié)果，也即縮短到了20％。
另外，圖9(A)中所示的例子中，區(qū)域1中的像素更新的完成(向SRAM單元60的數(shù)字信號(hào)的傳送以及微鏡62的復(fù)位)所需要的時(shí)間，以及向全體區(qū)域的SRAM單元60的數(shù)字信號(hào)的傳送時(shí)間都和25μs相一致，然而并不一定要一致。
一般來(lái)說(shuō)，設(shè)全體區(qū)域的SRAM單元60中的數(shù)字信號(hào)的傳送所需要的時(shí)間為t，一個(gè)區(qū)域的微鏡62的復(fù)位時(shí)間為u，分割區(qū)域數(shù)為d，那么全體區(qū)域中的像素更新完成時(shí)間(調(diào)制時(shí)間)便為t或t/d+u中的較大的一方。例如在圖15所示的例子中，向區(qū)域1～5的全體區(qū)域的SRAM單元60傳送數(shù)字信號(hào)的時(shí)間t，比特定的區(qū)域(例如區(qū)域1)中的像素更新完成所需要的時(shí)間t/d+u長(zhǎng)。與此相對(duì)，圖16所示的例子中，特定的區(qū)域(例如區(qū)域1)中的像素更新完成所需要的時(shí)間t/d+u，比向區(qū)域1～5的全體區(qū)域的SRAM單元60傳送數(shù)字信號(hào)的時(shí)間t長(zhǎng)。而二者相一致便是圖9(A)中所示的例子。
但是，圖16中所示的例子中，不管向全體區(qū)域的SRAM單元60的數(shù)字信號(hào)傳送是否完成，如果例如區(qū)域1中的微鏡62的復(fù)位沒(méi)有完成，便不能夠向區(qū)域1的SRAM單元60寫入下一個(gè)數(shù)字信號(hào)。為了解決這個(gè)問(wèn)題，當(dāng)t＞u時(shí)，可以增加分割數(shù)d使得滿足d≥t/(t-u)例如在圖9(A)的例子中，由于t＝25μs，u＝20μs，因此使得d≥25/(25-20)。也即，如果使得分割數(shù)為5以上，能夠?qū)⒏鱾€(gè)區(qū)域中的微鏡62的復(fù)位時(shí)間完全隱藏在向全體區(qū)域的SRAM單元60的數(shù)字信號(hào)傳送時(shí)間內(nèi)，從而能夠不產(chǎn)生無(wú)效時(shí)間并縮短DMD50的像素更新時(shí)間。
另外，最好使向SRAM單元60的數(shù)字信號(hào)傳送時(shí)間t1，比一個(gè)像素(微鏡62)的像素更新時(shí)間(調(diào)制時(shí)間)t2更短，也即滿足t1≤t2。這里，設(shè)曝光頭166的掃描速度為v，像素被更新了之前在掃描方向的距離(曝光間距)為r，那么一個(gè)像素的調(diào)制時(shí)間t2便為r/v。另外，在使用排列在掃描方向上的M列的像素中的m列的情況下，設(shè)向全體(M列)的數(shù)字信號(hào)傳送時(shí)間為T，那么向SRAM60的數(shù)字信號(hào)傳送時(shí)間t1便為T×(m/M)。因此，最好滿足T×(m/M)≤r/v也即m≤Mr/vT例如當(dāng)M＝768，v＝80mm/s，r＝2μm，T＝100μs時(shí)，
Mr/vT＝192上述例子中，這樣來(lái)確定使用列數(shù)m。此時(shí)的傳送時(shí)間為，T×(m/M)＝100×192/768＝25μ。
圖10(A)中顯示了光纖陣列光源66的構(gòu)成。光纖陣列電源66中，設(shè)有多個(gè)(例如6個(gè))激光模塊64，各個(gè)激光模塊64上結(jié)合有多狀態(tài)光纖30的一端。多狀態(tài)光纖30的另一端上，內(nèi)芯半徑與多狀態(tài)光纖30相同且包層半徑比多狀態(tài)光纖30小的光纖31被結(jié)合起來(lái)，如圖10(C)所示，使光纖31的出射端部(發(fā)光點(diǎn))沿著和副掃描方向垂直的主掃描方向而排列成一列從而構(gòu)成激光出射部68。另外，如圖10(D)所示，也可以將發(fā)光點(diǎn)沿著主掃描方向而配置兩列。
光纖31的出射部端，如圖10(B)所示，被表面平坦的2根支持板65所夾持而固定。另外，光纖31的光出射側(cè)，為了保護(hù)光纖31的端面，配置有玻璃等透明保護(hù)板63。保護(hù)板63既可以和光纖31的端面密切接觸而設(shè)置，也可以將光纖31的斷面密封起來(lái)。光纖31的出射端部，由于光密度高，較易集塵且容易惡化，通過(guò)設(shè)置保護(hù)板63能夠防止塵埃附著在端面上，同時(shí)能夠延遲惡化。
多狀態(tài)光纖30以及光纖31，可以是突變型光纖、漸變型光纖以及復(fù)合型光纖中的任何一種，例如，可以采用三菱電線工業(yè)株式會(huì)社所出品的突變型光纖。
激光模塊64，由圖11中所示的合波激光光源(光纖光源)構(gòu)成。該合波激光光源，由固定在加熱單元10上的多個(gè)(例如7個(gè))芯片狀的多狀態(tài)或單狀態(tài)的GaN族半導(dǎo)體激光器件LD1、LD2、LD3、LD4、LD5、LD6以及LD7，和GaN族半導(dǎo)體激光器件LD1～LD7分別相對(duì)應(yīng)的而設(shè)置的準(zhǔn)直透鏡11、12、13、14、15、16以及17，一個(gè)聚光透鏡20，以及一根多狀態(tài)光纖30而構(gòu)成。另外，半導(dǎo)體激光器件的個(gè)數(shù)并不僅限于7個(gè)。
GaN族半導(dǎo)體激光器件LD1～LD7的振蕩波長(zhǎng)都是共通的(例如405nm)，最大輸出也都是共通的(例如多狀態(tài)激光器件為100mW，單狀態(tài)激光器件為30mW)。另外，GaN族半導(dǎo)體激光器件LD1～LD7，可以采用具有350nm～450nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的，除了上述的405nm之外的振蕩波長(zhǎng)的激光器件。
上述合波激光光源，如圖12以及圖13所示，和其他的光學(xué)要素一起被收納在上方有開(kāi)口的箱狀的殼體40中。殼體40設(shè)置有能夠關(guān)閉該開(kāi)口的殼蓋41，通過(guò)抽氣處理之后導(dǎo)入密封氣體，并用殼蓋41蓋上殼體40，將上述合波激光光源氣密封在由殼體40和殼蓋41所構(gòu)成的閉空間(密封空間)。
殼體40的底面上固定有基板42，該基板42上面，安裝有上述加熱單元10、保持聚光透鏡20的聚光透鏡固定器45以及保持多狀態(tài)光纖30的入射端部的光纖固定器46。多狀態(tài)光纖30的出射端部，從形成在殼體40的壁面上的開(kāi)口中被引出到殼體外。
另外，加熱單元10的側(cè)面上安裝有準(zhǔn)直透鏡固定器44，用來(lái)保持準(zhǔn)直透鏡11～17。殼體40的橫壁面上形成有開(kāi)口，通過(guò)該開(kāi)口將用來(lái)給GaN族半導(dǎo)體激光器件LD1～LD7提供驅(qū)動(dòng)電流的配線47引出到殼體外。
另外，圖13中，為了避免圖的復(fù)雜化，僅標(biāo)注了多個(gè)GaN族半導(dǎo)體激光器件中的GaN族半導(dǎo)體激光器件LD7，以及多個(gè)準(zhǔn)直透鏡中的準(zhǔn)直透鏡17的編號(hào)。
圖14中顯示了上述準(zhǔn)直透鏡11～17的安裝部分的正面形狀。準(zhǔn)直透鏡11～17分別形成為在平行的平面上切取包括非球面的圓形透鏡的光軸的區(qū)域而成的細(xì)長(zhǎng)形狀。該細(xì)長(zhǎng)形狀的準(zhǔn)直透鏡，可以通過(guò)對(duì)樹(shù)脂或光學(xué)玻璃進(jìn)行模塑成形而形成。準(zhǔn)直透鏡11～17的長(zhǎng)邊方向和GaN族半導(dǎo)體激光器件LD1～LD7的發(fā)光點(diǎn)的排列方向(圖14的左右方向)垂直，且和上述發(fā)光點(diǎn)的排列方向密切接觸。
另外，GaN族半導(dǎo)體激光器件LD1～LD7，可以采用具有發(fā)光幅度為2m的活性層，且在和活性層平行的方向、垂直的方向上的擴(kuò)張角度例如為10°、30°的狀態(tài)下發(fā)射各個(gè)激光光束的B1～B7的激光器件。在平行于活性層的方向上使發(fā)光點(diǎn)排列成一列而配置這些GaN族半導(dǎo)體激光器件LD1～LD7。
因此，使各個(gè)發(fā)光點(diǎn)所發(fā)射的激光束B(niǎo)1～B7，在其擴(kuò)張角度大的方向和上述細(xì)長(zhǎng)形狀的各個(gè)準(zhǔn)直透鏡11～17的長(zhǎng)邊方向一致，且其擴(kuò)張角度小的方向和寬度方向(和長(zhǎng)邊方向垂直的方向)一致的狀態(tài)下而入射到細(xì)長(zhǎng)形狀的各個(gè)準(zhǔn)直透鏡11～17中。
聚光透鏡20，在平行的平面上從非球面的圓形透鏡的光軸的區(qū)域上切取細(xì)長(zhǎng)形狀，而形成為在準(zhǔn)直透鏡11～17的排列方向，也即水平方向上較長(zhǎng)，在與其垂直的方向上較短的形狀。該聚光透鏡20，例如可以采用焦距f2＝23mm，NA＝0.2的透鏡。另外該聚光透鏡20，可以通過(guò)例如模塑成形樹(shù)脂或光學(xué)玻璃而制成。
下面對(duì)上述曝光裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
掃描儀162的各個(gè)曝光頭166中，分別從構(gòu)成光纖陣列光源66的合波激光光源的GaN族半導(dǎo)體激光器件LD1～LD7以發(fā)散光狀態(tài)所出射的激光束B(niǎo)1、B2、B3、B4、B5、B6以及B7，分別被對(duì)應(yīng)的準(zhǔn)直透鏡11～17平行光化。被平行光化的激光束B(niǎo)1～B7被聚光透鏡20聚光在多狀態(tài)光纖30的內(nèi)芯30a的入射端面上。
本實(shí)施方式中，由準(zhǔn)直透鏡11～17以及聚光透鏡20構(gòu)成聚光光學(xué)系統(tǒng)，由該聚光光學(xué)系統(tǒng)和多狀態(tài)光纖30構(gòu)成合波光學(xué)系統(tǒng)。也即，被聚光透鏡20所聚光的上述激光束B(niǎo)1～B7，入射到該多狀態(tài)光纖30的內(nèi)芯30a上并在光纖內(nèi)被傳輸，被合波成一束激光束B(niǎo)而從在多狀態(tài)光纖30的出射端部被結(jié)合了的光纖31出射。
光纖陣列光源66的激光出射部68中，高輝度的發(fā)光點(diǎn)被沿著主掃描方向排列成一列。由于這種來(lái)自單個(gè)半導(dǎo)體激光器件的激光被一根光纖所結(jié)合的以前的光纖光源是低輸出的，如果不多數(shù)列排列就不能夠得到想要的輸出，而本實(shí)施方式中所使用的合波激光光源是高輸出的，因此，只需要少數(shù)列，例如1列就能夠得到想要的輸出。
對(duì)應(yīng)于曝光圖形的圖像數(shù)據(jù)，被輸入到圖中所未顯示的和DMD50相連接的控制器中，并被暫存在控制器內(nèi)的幀存儲(chǔ)裝置中。該圖像數(shù)據(jù)，是用兩個(gè)值(圓點(diǎn)記錄的有無(wú))來(lái)表示構(gòu)成圖像的各個(gè)像素的濃度的。
表面設(shè)有感光材料150的平臺(tái)152，被圖中所未顯示的驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)，沿著導(dǎo)軌158以一定的速度從門160的上游移動(dòng)到下游。當(dāng)平臺(tái)152從門160下通過(guò)時(shí)，由安裝在門160上的檢測(cè)傳感器164檢測(cè)出感光材料150的前端后，以多條線順次讀出存儲(chǔ)在幀存儲(chǔ)裝置中的圖像數(shù)據(jù)，在數(shù)據(jù)處理部中根據(jù)所讀出的圖像數(shù)據(jù)生成控制每個(gè)曝光頭166的控制信號(hào)。接著，由微鏡驅(qū)動(dòng)控制部根據(jù)所生成的控制信號(hào)，控制每個(gè)曝光頭166的DMD50的微鏡各自的ON/OFF。
從光纖陣列光源66向DMD50照射激光之后，當(dāng)DMD50的微鏡為ON狀態(tài)時(shí)，所反射的激光被透鏡系統(tǒng)54、58成像在感光材料150的被曝光面56上。這樣，從光纖陣列光源66所出射的激光在每個(gè)像素上ON/OFF，以和DMD50所使用的像素大概相同的像素單位(曝光區(qū)域168)曝光感光材料150。
這里，本實(shí)施方式中，對(duì)于DMD50并用部分驅(qū)動(dòng)以及分割復(fù)位，和單獨(dú)使用部分驅(qū)動(dòng)或分割復(fù)位的情況相比，像素更新時(shí)間被顯著縮短了。因此，能夠進(jìn)行高速的曝光。
通過(guò)使感光材料150和平臺(tái)152共同以一定的速度移動(dòng)，感光材料150被掃描儀162以和平臺(tái)的移動(dòng)方向相反的方向掃描，形成了每個(gè)曝光頭166的帶狀的曝光完成區(qū)域170。
這樣，當(dāng)完成了掃描儀162對(duì)感光材料150的掃描，檢測(cè)傳感器164檢測(cè)到感光材料150的末端后，平臺(tái)152被圖中所未顯示的驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)，沿著導(dǎo)軌158回歸到位于門160的最上游的原點(diǎn)上，又再次沿著導(dǎo)軌158以一定的速度從門160的上游向下游移動(dòng)。
另外，上述實(shí)施方式中，是使各個(gè)分割區(qū)域所具有的微鏡列的數(shù)目大致相同而進(jìn)行分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)的，然而各個(gè)分割區(qū)域所具有的微鏡列的數(shù)目并不一定要都相同，可以使至少1個(gè)分割區(qū)域所具有的微鏡列的數(shù)目和其他分割區(qū)域所具有的微鏡列的數(shù)目不一樣。例如，在使用240列的微鏡列進(jìn)行部分驅(qū)動(dòng)時(shí)，在向全體分割區(qū)域傳送控制信號(hào)所需要的時(shí)間t為32μs，一個(gè)分割區(qū)域的微鏡62的復(fù)位時(shí)間u為18μs的情況下，根據(jù)下面的公式最好時(shí)d為3、4或5。
d≥t/(t-u)＝32/(32-18)＝2.29因此，當(dāng)d＝3時(shí)，例如可以使區(qū)域1、2＝96列，區(qū)域3＝48列，或者使區(qū)域1、3＝96列，區(qū)域2＝48列，或者區(qū)域1＝48列，區(qū)域2、3＝96列。
另外，當(dāng)d＝4時(shí)，例如可以使區(qū)域1＝96列，區(qū)域2、3、4＝48列，或者使區(qū)域1、3、4＝48列，區(qū)域2＝96列，或者區(qū)域1、2、4＝48列，區(qū)域3＝96列，或者區(qū)域1、2、3＝48列，區(qū)域4＝96列。
另外，當(dāng)d＝5時(shí)，可以和上述實(shí)施方式1一樣，使所有的區(qū)域都為48列。
另外，如上所述使各個(gè)分割區(qū)域所具有的微鏡列數(shù)不一樣，也能夠得到和全體區(qū)域都有相同的列數(shù)的情況下同樣的效果。例如，區(qū)域1、2＝96列，區(qū)域3＝48列的情況下的時(shí)序圖如圖17所示。另外，由于通過(guò)像上述那樣確定分割區(qū)域能夠減少傳輸次數(shù)，因此能夠進(jìn)行相當(dāng)簡(jiǎn)單的驅(qū)動(dòng)控制。
另外，本實(shí)施方式中，從圖2以及圖3可以得知，DMD50的曝光區(qū)域相對(duì)掃描方向并不傾斜，然而也可以使DMD50相對(duì)掃描方向稍微傾斜，如圖18所示的那樣，使曝光區(qū)域168mn稍微傾斜，而使掃描線的間隔較密。另外，圖18中顯示的是在第1行以及第2行上，在曝光頭排列方向上以一定的間隔5個(gè)5個(gè)的排列曝光頭166的情況下的曝光完成區(qū)域。另外，也可以像上述那樣使DMD50相對(duì)掃描方向稍微傾斜，通過(guò)多個(gè)微鏡62掃描同一個(gè)掃描線，構(gòu)成所謂的多重曝光系統(tǒng)。另外，也可以不像上述那樣使DMD50稍微傾斜，而使DMD50中的微鏡62的排列自身，像圖19所示的那樣相對(duì)掃描方向稍微傾斜。另外，并不僅限于上述構(gòu)成，如果能夠使DMD50的微鏡62所出射的激光在感光材料150面上的投影點(diǎn)如圖19所示的那樣配置的話，采用其他的構(gòu)成以及方向也可以。例如，可以采用具有排列成矩陣形狀的微鏡62的DMD50，僅使用圖19中所示的范圍內(nèi)的微鏡62而進(jìn)行曝光。
另外，本實(shí)施方式中，如果采用多個(gè)微鏡掃描同一個(gè)掃描線，即所謂的多重曝光系統(tǒng)，由于進(jìn)行分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)，因此能夠不降低掃描速度而提高掃描方向上的分辨率。具體的說(shuō)，通過(guò)和上述一樣，使DMD50相對(duì)掃描方向稍微傾斜，由多個(gè)微鏡掃描同一個(gè)掃描線，同時(shí)也和上述一樣進(jìn)行分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)，能夠在每個(gè)分割區(qū)域中在不同的位置上曝光曝光點(diǎn)群，因此能夠不降低掃描速度而提高掃描方向上的分辨率。
這里，為了說(shuō)明上述的提高分辨率的效果，首先，對(duì)不進(jìn)行分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)而只進(jìn)行多重曝光的情況下的曝光區(qū)域進(jìn)行說(shuō)明。圖20中，顯示了3重曝光，也即3個(gè)不同的微鏡掃描一個(gè)掃描線的情況下的曝光區(qū)域。圖20中縱線表示掃描線，圖20(A)為說(shuō)明DMD50中的部分驅(qū)動(dòng)區(qū)域與掃描線之間的位置關(guān)系的示意圖。
如上所述不進(jìn)行分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)而進(jìn)行3重曝光的情況，如圖20(B)所示，通過(guò)斜線圓圈部分微鏡、白色圓圈部分微鏡以及黑色圓圈部分微鏡分別曝光一條線，同時(shí)將該3條線重疊曝光，最終得到如圖20(C)所示的曝光線。
與此相對(duì)，圖21中顯示了進(jìn)行分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)且進(jìn)行3重曝光的情況下的曝光區(qū)域。另外，圖21中，使分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)的分割數(shù)和多重?cái)?shù)一樣都為3。在進(jìn)行分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)且進(jìn)行3重曝光的情況下，假設(shè)，被斜線圓圈部分的微鏡所曝光的曝光點(diǎn)，由于分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)的控制信號(hào)的輸入時(shí)序的錯(cuò)位而沒(méi)有成為一條線，分割區(qū)域的曝光點(diǎn)在掃描方向上錯(cuò)位了ΔY/3而被曝光。另外，白色圓圈部分微鏡以及黑色圓圈部分微鏡所曝光的曝光點(diǎn)也和上述一樣被曝光，這樣，最終，斜線圓圈部分微鏡、白色圓圈部分微鏡以及黑色圓圈部分微鏡所曝光的曝光點(diǎn)群被組合而曝光，如圖21(C)所示，一條線分別被各個(gè)分割區(qū)域中的微鏡所曝光。設(shè)圖20(C)中的線間距為ΔY，則圖21(C)中的線間距便為ΔY/3，從而能夠提高掃描方向上的分辨率。另外，上述說(shuō)明中分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)的分割數(shù)和多重?cái)?shù)是一樣的，然而并不僅限于此，也可以使二者為不同的數(shù)。
另外，像上述這樣進(jìn)行分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)的情況，通過(guò)對(duì)應(yīng)于感光材料150的移動(dòng)而控制向分割區(qū)域的控制信號(hào)的輸出時(shí)序，能夠控制被曝光的點(diǎn)的位置。例如可以使點(diǎn)的位置較分散。因此，通過(guò)控制向分割區(qū)域的控制信號(hào)的輸出時(shí)序，使得感光材料150上被曝光的點(diǎn)成為所期望的配置，能夠得到所期望的分辨率的曝光圖像。通過(guò)上述控制，能夠不降低感光材料150的移動(dòng)速度而提高掃描方向上的分辨率。
另外，進(jìn)行上述分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)的情況下，最好能夠考慮感光材料150的移動(dòng)以及向各分割區(qū)域的控制信號(hào)的輸入時(shí)序的錯(cuò)位而生成控制信號(hào)。也即，最好考慮感光材料150的移動(dòng)以及向各分割區(qū)域的控制信號(hào)的輸入時(shí)序的錯(cuò)位，從表示希望曝光的圖像的圖像數(shù)據(jù)生成各點(diǎn)所對(duì)應(yīng)的繪圖數(shù)據(jù)，將該繪圖數(shù)據(jù)反映在對(duì)空間光調(diào)制器件的控制信號(hào)中。圖22中，顯示了說(shuō)明希望被曝光在感光材料150上的圖像與輸入到DMD50中的控制信號(hào)之間的關(guān)系的示意圖。另外，圖22中，由斜線方塊所表示的L字的部分為所期望的圖像，白色圓圈以及黑色圓圈所表示的部分用來(lái)模式表示輸入到DMD50中的控制信號(hào)。白色圓圈表示OFF信號(hào)，黑色圓圈表示ON信號(hào)。圖22中，從最左端的圖向右順次表示感光材料150的曝光逐次前進(jìn)的狀態(tài)。另外，圖22中顯示了分割為2個(gè)分割區(qū)域I、II的情況下的控制信號(hào)的模式圖。
圖22(A)模式說(shuō)明了不考慮感光材料150的移動(dòng)以及向各分割區(qū)域的控制信號(hào)的輸入時(shí)序的錯(cuò)位而生成的控制信號(hào)。在進(jìn)行分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)的情況下，由于在向各分割區(qū)域I、II的控制信號(hào)的輸入時(shí)序的錯(cuò)位中移動(dòng)感光材料150，輸入如圖22(A)所示的控制信號(hào)，實(shí)際上使得感光材料150上所曝光的圖像和所期望的圖像之間有一定的錯(cuò)位。與此相對(duì)，如圖22(B)所示，如果考慮到在向各分割區(qū)域I、II的控制信號(hào)的輸入時(shí)序的錯(cuò)位中的感光材料150的移動(dòng)，若生成并輸入使分割區(qū)域I和分割區(qū)域II之間稍緊湊的曝光的控制信號(hào)，實(shí)際上就能夠曝光更接近所期望的圖像的圖像。另外，根據(jù)所要求的分辨率，可以選擇上述圖22(A)以及(B)中所示的方法的任何一個(gè)，不管哪個(gè)方法都是能夠采用的。
另外，上面對(duì)作為空間光調(diào)制器件的具有DMD的曝光頭進(jìn)行了說(shuō)明，然而除了這樣的反射型空間光調(diào)制器件之外，還可以使用透過(guò)型空間光調(diào)制器件(LCD)。例如能夠使用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)型的空間光調(diào)制器件(SLM；Special Light Modulator)，或者除了MEMS型之外的通過(guò)電光學(xué)效果調(diào)制透過(guò)光的光學(xué)器件(PLZT器件)以及液晶光閘(FLC)等液晶光閘陣列之類的空間光調(diào)制器件。另外，MEMS是指通過(guò)以IC制造方法為基礎(chǔ)的微加工技術(shù)將微型的傳感器、執(zhí)行器件以及控制電路集成化而得到的微系統(tǒng)的總稱，MEMS型空間光調(diào)制器件是指被利用靜電力的電機(jī)動(dòng)作所驅(qū)動(dòng)的空間光調(diào)制器件。另外還可以使用將GratingLight Value(GLV)多個(gè)排列而構(gòu)成的二維狀器件。使用這些反射型空間光調(diào)制器件(GLV)或透過(guò)型空間光調(diào)制器件(LCD)的構(gòu)成，除了上述的激光之外還可以使用燈等光源。
另外，上述實(shí)施方式中，對(duì)使用具有多個(gè)合波激光光源的光纖陣列光源的例子進(jìn)行了說(shuō)明，然而激光裝置并不僅限于將合波激光光源陣列化而成的光纖陣列光源。例如，使設(shè)置有出射來(lái)自具有一個(gè)發(fā)光點(diǎn)的單個(gè)的半導(dǎo)體激光器件所入射的激光的一根光纖的光纖光源陣列化所得到的光纖陣列光源也可以使用。
另外，還可以使用多個(gè)發(fā)光點(diǎn)被二維排列的光源(例如LD陣列、有機(jī)EL陣列等)。使用這些光源的構(gòu)成中，通過(guò)使發(fā)光點(diǎn)分別對(duì)應(yīng)像素，還能夠省略上述的空間調(diào)制裝置。
上述的實(shí)施方式中，如圖23所示，對(duì)通過(guò)掃描儀162向著X方向的一次掃描使得感光材料150的全表面曝光的例子進(jìn)行了說(shuō)明，還可以如圖24(A)以及(B)所示的那樣，在掃描儀162在X方向上掃描了感光材料150之后，將掃描儀162在Y方向上移動(dòng)一步，再繼續(xù)進(jìn)行X方向上的掃描，這樣反復(fù)進(jìn)行掃描和移動(dòng)，通過(guò)多次掃描來(lái)使感光材料150的全表面曝光。
另外，上述的實(shí)施方式中，將所謂的前端型曝光裝置作為例子而舉出來(lái)，然而作為本發(fā)明的曝光裝置，還可以設(shè)有將感光材料卷起來(lái)的滾筒，也即是所謂的外滾筒型曝光裝置。
上述的曝光裝置，能夠用于例如印刷線路板(PWB；Printed WiringBoard)的制造工序中的干膜保護(hù)層(DFR；Dry Film Resist)的曝光、液晶顯示裝置(LCD)的制造工序中的彩色濾光片的形成、TFT的制造工序中的DFR的曝光、等離子顯示面板(PDP)的制造工序中的DFR的曝光等用途中。
另外，上述曝光裝置中，既可以使用通過(guò)曝光直接記錄信息的光子模式感光材料，又可以使用通過(guò)曝光所產(chǎn)生的熱量來(lái)記錄信息的熱模式感光材料。使用光子模式感光材料時(shí)，激光裝置使用GaN族半導(dǎo)體激光器件以及波長(zhǎng)變換固體激光器件等，使用熱模式感光材料時(shí)，激光裝置使用AlGaAs族半導(dǎo)體激光(紅外激光)器件以及固體激光器件。
另外，本發(fā)明中的分割復(fù)位驅(qū)動(dòng)，還可以使用于噴墨式等的打印機(jī)中的繪圖控制中。例如，能夠用和本發(fā)明相同的方法來(lái)控制通過(guò)墨水的噴出所得到的繪圖點(diǎn)。也即，能夠?qū)⒈景l(fā)明中的繪圖器件替換成通過(guò)噴墨來(lái)形成繪圖點(diǎn)的器件。
表1
權(quán)利要求
1.一種繪圖方法，使具有配置有多列在每一列中配置有多個(gè)根據(jù)所輸入的控制信號(hào)調(diào)制入射光的繪圖器件的繪圖器件列的空間光調(diào)制器件、且使受該空間光調(diào)制器件調(diào)制的光成像在繪圖面上的繪圖頭，沿著上述繪圖面向著給定的掃描方向相對(duì)移動(dòng)從而進(jìn)行繪圖，其特征在于將上述多個(gè)繪圖器件列以一個(gè)或多個(gè)繪圖器件列為單位進(jìn)行分割，順次向該所分割的多個(gè)分割區(qū)域輸出上述控制信號(hào)，從上述控制信號(hào)的輸入已完成的分割區(qū)域的繪圖器件開(kāi)始順次進(jìn)行上述調(diào)制。
2.如權(quán)利要求1所述的繪圖方法，其特征在于僅向上述繪圖器件列中的一部分的多個(gè)繪圖器件列輸出上述控制信號(hào)，同時(shí)將該一部分的多個(gè)繪圖器件列分割成多個(gè)繪圖器件列，順次向該所分割的多個(gè)分割區(qū)域輸出上述控制信號(hào)，從上述控制信號(hào)的輸入已完成的分割區(qū)域的繪圖器件開(kāi)始順次進(jìn)行上述調(diào)制。
3.如權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的繪圖方法，其特征在于上述空間光調(diào)制器件的上述分割區(qū)域的數(shù)目(d)的大小滿足下面的公式d≥t/(t-u)其中，t為向全體上述分割區(qū)域輸入上述控制信號(hào)所需要的時(shí)間，u為上述一個(gè)分割區(qū)域中的繪圖器件進(jìn)行上述調(diào)制所必需的時(shí)間。
4.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求3中所述的任何一個(gè)繪圖方法，其特征在于上述多個(gè)分割區(qū)域中的至少一個(gè)分割區(qū)域中所具有的上述繪圖器件列的數(shù)目，和該至少一個(gè)分割區(qū)域之外的分割區(qū)域中所具有的上述繪圖器件列的數(shù)目不同。
5.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求4中所述的任何一個(gè)繪圖方法，其特征在于將上述空間光調(diào)制器件所繪制的繪圖點(diǎn)，在每一上述分割區(qū)域中在上述掃描方向上以給定的間隔錯(cuò)開(kāi)，而進(jìn)行繪圖。
6.如權(quán)利要求5中所述的繪圖方法，其特征在于根據(jù)上述繪圖面的相對(duì)移動(dòng)速度以及在上述每個(gè)分割區(qū)域中的上述錯(cuò)位，由表示在上述繪圖面上所繪制的圖像的圖像數(shù)據(jù)，形成分別和上述繪圖點(diǎn)相對(duì)應(yīng)的繪圖數(shù)據(jù)，根據(jù)該繪圖數(shù)據(jù)形成上述控制信號(hào)。
7.如權(quán)利要求5或權(quán)利要求6所述的繪圖方法，其特征在于通過(guò)N重繪圖對(duì)上述繪圖面進(jìn)行繪圖，其中，N為大于或等于2的自然數(shù)。
8.如權(quán)利要求7所述的繪圖方法，其特征在于上述分割區(qū)域的數(shù)目和上述N重繪圖的N的大小相同。
9.如權(quán)利要求5至權(quán)利要求8中所述的任何一個(gè)繪圖方法，其特征在于使上述空間光調(diào)制器件所使用的繪圖器件所出射的繪圖光在上述繪圖面上的投影點(diǎn)的排列方向相對(duì)上述掃描方向具有給定的傾斜角度。
10.如權(quán)利要求9所述的繪圖方法，其特征在于將上述空間光調(diào)制器件設(shè)置成，使該空間光調(diào)制器件中的繪圖器件行相對(duì)上述掃描方向具有給定的傾斜角度。
11.如權(quán)利要求9所述的繪圖方法，其特征在于將上述空間光調(diào)制器件中的繪圖器件排列成，使該空間光調(diào)制器件中的繪圖器件行相對(duì)上述掃描方向具有給定的傾斜角度。
12.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求11中所述的任何一個(gè)繪圖方法，其特征在于根據(jù)上述繪圖面的相對(duì)移動(dòng)速度，調(diào)整向上述各分割區(qū)域的上述控制信號(hào)的輸出時(shí)序。
13.如權(quán)利要求12所述的繪圖方法，其特征在于按照上述繪圖面中所繪制的繪圖點(diǎn)的所期望的配置，調(diào)整向上述各分割區(qū)域的上述控制信號(hào)的輸出時(shí)序。
14.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求13中所述的任何一個(gè)繪圖方法，其特征在于從上述掃描方向的下游的上述分割區(qū)域開(kāi)始順次輸出上述控制信號(hào)。
15.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求14中所述的任何一個(gè)繪圖方法，其特征在于根據(jù)上述繪圖面的相對(duì)移動(dòng)速度，生成向上述各個(gè)繪圖器件所輸出的控制信號(hào)。
16.一種繪圖裝置，具有配置有多列的在一列上配置有多個(gè)根據(jù)所輸入的控制信號(hào)調(diào)制入射光的繪圖器件的繪圖器件列的空間光調(diào)制器件，并將該空間光調(diào)制器件所調(diào)制的光成像在繪圖面上，同時(shí)沿著上述繪圖面向著給定的掃描方向相對(duì)移動(dòng)的繪圖頭，其特征在于包括一控制單元，其順次向?qū)⑸鲜龆鄠€(gè)繪圖器件列以一個(gè)或多個(gè)繪圖器件列為單位而進(jìn)行分割所得到的多個(gè)分割區(qū)域的每一個(gè)，輸出上述控制信號(hào)，并從上述控制信號(hào)的輸入已完成的分割區(qū)域的繪圖器件開(kāi)始順次進(jìn)行上述調(diào)制。
17.如權(quán)利要求16所述的繪圖裝置，其特征在于上述控制單元，僅向上述繪圖器件列中的一部分的多個(gè)繪圖器件列輸出上述控制信號(hào)，同時(shí)順次向?qū)⑸鲜龆鄠€(gè)繪圖器件列以一個(gè)或多個(gè)繪圖器件列為單位進(jìn)行分割所得到的多個(gè)分割區(qū)域的每一個(gè)，輸出上述控制信號(hào)，并從上述控制信號(hào)的輸入已完成的分割區(qū)域的繪圖器件開(kāi)始順次進(jìn)行上述調(diào)制。
18.如權(quán)利要求16或權(quán)利要求17所述的繪圖裝置，其特征在于上述空間光調(diào)制器件的上述分割區(qū)域的數(shù)目(d)的大小滿足下面的公式d≥t/(t-u)其中，t為向全體上述分割區(qū)域輸入上述控制信號(hào)所需要的時(shí)間，u為上述一個(gè)分割區(qū)域中的繪圖器件進(jìn)行上述調(diào)制所必需的時(shí)間。
19.如權(quán)利要求16至權(quán)利要求18中所述的任何一個(gè)繪圖裝置，其特征在于上述多個(gè)分割區(qū)域中的至少一個(gè)分割區(qū)域中所具有的上述繪圖器件列的數(shù)目，和該至少一個(gè)分割區(qū)域之外的分割區(qū)域中所具有的上述繪圖器件列的數(shù)目不同。
20.如權(quán)利要求16至權(quán)利要求19中所述的任何一個(gè)繪圖裝置，其特征在于上述控制單元輸出上述控制信號(hào)，使得由上述空間光調(diào)制器件所繪制的繪圖點(diǎn)在每一上述分割區(qū)域中在上述掃描方向上以給定的間隔錯(cuò)開(kāi)。
21.如權(quán)利要求20中所述的繪圖裝置，其特征在于上述控制單元，根據(jù)上述繪圖面的相對(duì)移動(dòng)速度以及在上述每個(gè)分割區(qū)域中的上述錯(cuò)位，由表示在上述繪圖面上所繪制的圖像的圖像數(shù)據(jù)，形成分別和上述繪圖點(diǎn)相對(duì)應(yīng)的繪圖數(shù)據(jù)，根據(jù)該繪圖數(shù)據(jù)形成上述控制信號(hào)。
22.如權(quán)利要求20或權(quán)利要求21所述的繪圖裝置，其特征在于上述繪圖頭，通過(guò)N重繪圖對(duì)上述繪圖面進(jìn)行繪圖，其中，N為大于等于2的自然數(shù)。
23.如權(quán)利要求22所述的繪圖裝置，其特征在于上述控制單元，使上述分割區(qū)域的數(shù)目和上述N重繪圖的N的大小相同。
24.如權(quán)利要求21至權(quán)利要求23中所述的任何一個(gè)繪圖裝置，其特征在于使上述空間光調(diào)制器件所使用的繪圖器件所出射的繪圖光在上述繪圖面上的投影點(diǎn)的排列方向相對(duì)上述掃描方向具有給定的傾斜角度。
25.如權(quán)利要求24所述的繪圖裝置，其特征在于將上述空間光調(diào)制器件設(shè)置成，使該空間光調(diào)制器件中的繪圖器件行相對(duì)上述掃描方向具有給定的傾斜角度。
26.如權(quán)利要求24所述的繪圖裝置，其特征在于將上述空間光調(diào)制器件的繪圖器件排列成，使該空間光調(diào)制器件中的繪圖器件行相對(duì)上述掃描方向具有給定的傾斜角度。
27.如權(quán)利要求16至權(quán)利要求26中所述的任何一個(gè)繪圖裝置，其特征在于上述空間光調(diào)制器件，是將能夠?qū)?yīng)于上述控制信號(hào)而變更反射面的角度的多個(gè)微鏡作為上述繪圖器件而排列的微鏡器件。
28.如權(quán)利要求16至權(quán)利要求26中所述的任何一個(gè)繪圖裝置，其特征在于上述空間光調(diào)制器件，是將能夠?qū)?yīng)于上述控制信號(hào)而遮斷透過(guò)光的多個(gè)液晶單元作為上述繪圖器件而排列的液晶光閘陣列。
29.如權(quán)利要求16至權(quán)利要求28中所述的任何一個(gè)繪圖方法，其特征在于上述控制單元，根據(jù)上述繪圖面的相對(duì)移動(dòng)速度，調(diào)整向上述各分割區(qū)域的上述控制信號(hào)的輸出時(shí)序。
30.如權(quán)利要求29所述的繪圖方法，其特征在于上述控制單元，按照上述繪圖面中所繪制的繪圖點(diǎn)的所期望的配置，調(diào)整向上述各分割區(qū)域的上述控制信號(hào)的輸出時(shí)序。
31.如權(quán)利要求16至權(quán)利要求30中所述的任何一個(gè)繪圖裝置，其特征在于上述控制單元，從上述掃描方向的下游的上述分割區(qū)域開(kāi)始順次輸出上述控制信號(hào)。
32.如權(quán)利要求16至權(quán)利要求31中所述的任何一個(gè)繪圖裝置，其特征在于上述控制單元，根據(jù)上述繪圖面的相對(duì)移動(dòng)速度生成向上述各個(gè)繪圖器件所輸出的控制信號(hào)。
全文摘要
本發(fā)明只使用沿著DMD(50)的掃描方向的768列的微鏡中的192列，且將該192列分割成5個(gè)區(qū)域(區(qū)域1～5)，順次從區(qū)域1向區(qū)域5傳送控制信號(hào)，同時(shí)從傳送結(jié)束了的區(qū)域開(kāi)始順次進(jìn)行微鏡的復(fù)位，從而能夠在使具有排列有多列根據(jù)所輸入的控制信號(hào)調(diào)制入射光的微鏡的空間光調(diào)制器件的曝光頭，沿著曝光面在掃描方向上相對(duì)移動(dòng)而進(jìn)行曝光的曝光裝置中，縮短空間光調(diào)制器件的更新時(shí)間。
文檔編號(hào)B41J2/435GK1590110SQ2004100716
公開(kāi)日2005年3月9日 申請(qǐng)日期2004年7月21日 優(yōu)先權(quán)日2003年7月22日
發(fā)明者中谷大輔, 藤井武, 下山裕司 申請(qǐng)人:富士膠片株式會(huì)社