專利名稱：制備微光學(xué)元件的微噴打印裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于制備微光學(xué)元件設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及到制備微光學(xué)元件的微噴打印裝置。
背景技術(shù)：
折射微光學(xué)元件及其陣列的制造在集成光學(xué)、超并行光信息處理、光互連、光波導(dǎo)、光纖傳感、光生物芯片、光電子器件、激光器(如激光二極管及其陣列、垂直腔表發(fā)射激光器)等方面的聚焦、準(zhǔn)直、耦合、成像中起著非常重要的、不可替代的作用。作為廣泛應(yīng)用的高質(zhì)量、高精度和低價(jià)格的微光學(xué)元件已經(jīng)成為不可缺乏的光學(xué)元件。
近兩年來(lái)，特別引人注意的微光學(xué)制造材料即光學(xué)品級(jí)的聚合物材料，由于它的機(jī)械性能和熱學(xué)性質(zhì)的可控制性使其能夠簡(jiǎn)化透鏡的制造過(guò)程并能產(chǎn)生廉價(jià)優(yōu)質(zhì)的光學(xué)元件。這種材料制造微光學(xué)元件的主要方法，包括激光直寫法、質(zhì)子深刻蝕法、模壓法、空心管表面張力形成法、微噴打印法等。對(duì)于這些不同的制造方法經(jīng)過(guò)分析比較，相對(duì)便宜的又能滿足不同光學(xué)參數(shù)要求，如透鏡矢高、口徑、焦距、數(shù)值孔徑以及表面光潔度等，微噴打印法更適合快速成形、批量生產(chǎn)和整體集成，但，目前還沒(méi)有一種制作微光學(xué)元件的設(shè)備。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種設(shè)計(jì)合理、使用方便、制作實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制的制備微光學(xué)元件的微噴打印裝置。
解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是在固定平臺(tái)上左側(cè)設(shè)置有控制器、右側(cè)設(shè)置有紫外光源系統(tǒng)和通過(guò)電纜與控制器相連并通過(guò)控制器對(duì)整機(jī)進(jìn)行控制的計(jì)算機(jī)，在固定平臺(tái)上的中部設(shè)置有支架和Y向固定平臺(tái)以及與紫外光源系統(tǒng)相連接的紫外固化光纖，Y向固定平臺(tái)上設(shè)置有Y向?qū)к?、通過(guò)導(dǎo)線與控制器相連的Y向電機(jī)以及與Y向電機(jī)相聯(lián)的將Y向的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成Y向水平移動(dòng)的Y向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，與Y向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)相聯(lián)接的Y向移動(dòng)平臺(tái)設(shè)置在Y向固定平臺(tái)上，在Y向移動(dòng)平臺(tái)上設(shè)置有X向固定動(dòng)平臺(tái)，X向固定動(dòng)平臺(tái)上設(shè)置有X向?qū)к?、通過(guò)導(dǎo)線與控制器相連的X向電機(jī)以及與X向電機(jī)相聯(lián)的將X向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成X向水平移動(dòng)的X向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，與X向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)相聯(lián)接的X向移動(dòng)平臺(tái)設(shè)置在X向固定平臺(tái)上，在X向移動(dòng)平臺(tái)上設(shè)置有用于固化微光學(xué)元件的恒溫固化載物臺(tái)，在支架上設(shè)置有Z向固定平臺(tái)，Z向固定動(dòng)平臺(tái)上設(shè)置有Z向?qū)к?、通過(guò)導(dǎo)線與控制器相連的Z向電機(jī)以及與Z向電機(jī)相聯(lián)的將Z向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成Z向水平移動(dòng)的Z向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，與Z向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)相聯(lián)接的Z向移動(dòng)平臺(tái)設(shè)置在Z向固定平臺(tái)上，在Z向移動(dòng)平臺(tái)上設(shè)置有1～8個(gè)微噴打印噴頭，在支架上設(shè)置安裝有CCD攝像頭的攝像頭支座。
本發(fā)明的Y向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)為Y向絲桿以及設(shè)置在Y向絲桿上的Y向軸套，Y向絲桿的一端設(shè)置在Y向固定平臺(tái)上且與Y向電機(jī)相聯(lián)、另一端設(shè)置在Y向固定平臺(tái)上。本發(fā)明的微噴打印噴頭為在噴頭外殼內(nèi)設(shè)置有材料倉(cāng)體，材料倉(cāng)體上加工有進(jìn)料口和噴口，在材料倉(cāng)體內(nèi)加工有與進(jìn)料口和噴口相聯(lián)通的儲(chǔ)料倉(cāng)，在材料倉(cāng)體上設(shè)置有振膜，振膜上設(shè)置有壓電陶瓷片。本發(fā)明的恒溫固化載物臺(tái)為在加工有水孔的散熱板上設(shè)置裝有通過(guò)導(dǎo)線與控制器相連的溫度傳感器的導(dǎo)熱板，散熱板與導(dǎo)熱板之間至少設(shè)置有1片通過(guò)導(dǎo)線與控制器相連的帕爾貼冷卻器。
本發(fā)明的儲(chǔ)料倉(cāng)為一彎曲管道。
本發(fā)明的Y向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)也可以為齒輪和與齒輪相嚙合的齒條，齒輪通過(guò)聯(lián)接件與Y向電機(jī)相聯(lián)接，齒條與Y向移動(dòng)平臺(tái)聯(lián)接。
本發(fā)明的X向固定動(dòng)平臺(tái)和Z向固定動(dòng)平臺(tái)與Y向同定動(dòng)平臺(tái)相同，X向移動(dòng)平臺(tái)和Z向移動(dòng)平臺(tái)與Y向移動(dòng)平臺(tái)相同。本發(fā)明的X向軌道和Y向軌道以及Z向軌道為兩根導(dǎo)管。
本發(fā)明的X向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)和Z向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)與Y向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)相同。
本發(fā)明采用了微噴打印頭，微噴打印頭的壓電陶瓷片承受控制器所施加的電壓，產(chǎn)生收縮變形，由振膜擠壓材料倉(cāng)中的聚合物液體材料滴下到基片上，在計(jì)算機(jī)的指令下，點(diǎn)滴下的聚合物液體材料到基板上制成所設(shè)計(jì)的微光學(xué)元件。它還采用了恒溫固化載物臺(tái)或紫外光照射，加速了未成形微光學(xué)元件的固化速度。所有操作系統(tǒng)由計(jì)算機(jī)控制，所制作的微光學(xué)元件精度高。本發(fā)明具有設(shè)計(jì)合理、使用方便、自動(dòng)化程度高等優(yōu)點(diǎn)，可用于制作微光學(xué)元件。


圖1是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是圖1的左視圖。
圖3是圖1的俯視4是圖1中微噴打印頭10的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖5是圖1中恒溫固化載物臺(tái)20的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，但本發(fā)明不限于這些實(shí)施例。
實(shí)施例1在圖1、2、3中，本實(shí)施例的制備微光學(xué)元件的微噴打印裝置是由支架1、攝像頭支座2、CCD攝像頭3、Z向固定平臺(tái)4、Z向?qū)к?、Z向絲桿6、Z向電機(jī)7、Z向軸套8、Z向移動(dòng)平臺(tái)9、微噴打印噴頭10、計(jì)算機(jī)11、紫外光源系統(tǒng)12、紫外固化光纖13、X向固定平臺(tái)14、X向?qū)к?5、X向絲桿16、X向軸套17、X向移動(dòng)平臺(tái)18、Y向固定平臺(tái)19、恒溫固化載物臺(tái)20、X向電機(jī)21、控制器22、固定平臺(tái)23、Y向?qū)к?4、Y向電機(jī)25、Y向絲桿26、Y向軸套27、Y向移動(dòng)平臺(tái)28聯(lián)接構(gòu)成。
在固定平臺(tái)23上左側(cè)固定安裝有控制器22、右側(cè)放置有計(jì)算機(jī)11和紫外光源系統(tǒng)12，計(jì)算機(jī)11通過(guò)電纜與控制器22相連，通過(guò)控制器22對(duì)整機(jī)進(jìn)行控制。在固定平臺(tái)23上的中部用螺紋緊固聯(lián)接件固定聯(lián)接有支架1、Y向固定平臺(tái)19，Y向固定平臺(tái)19上前后兩側(cè)固定安裝有兩根Y向?qū)к?4，本實(shí)施例的Y向?qū)к?4為不銹鋼管。兩根Y向?qū)к?4之間固定安裝有Y向絲桿26，Y向固定平臺(tái)19的后側(cè)面用螺紋緊固聯(lián)接件固定聯(lián)接有Y向電機(jī)25，Y向電機(jī)25由計(jì)算機(jī)11通過(guò)控制器22進(jìn)行控制，Y向移動(dòng)平臺(tái)28套裝在Y向?qū)к?4外放置于Y向固定平臺(tái)19上，在Y向移動(dòng)平臺(tái)28的中部安裝有Y向軸套27，Y向絲桿26的中部套裝在Y向移動(dòng)平臺(tái)28中部的Y向軸套27內(nèi)，Y向絲桿26和Y向軸套27為本實(shí)施例的Y向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)。當(dāng)Y向電機(jī)25旋轉(zhuǎn)時(shí)，帶動(dòng)Y向絲桿26轉(zhuǎn)動(dòng)，經(jīng)Y向軸套27將Y向絲桿26的轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成Y向移動(dòng)平臺(tái)28沿Y向?qū)к?4前后移動(dòng)。
在Y向移動(dòng)平臺(tái)28上用螺紋緊固聯(lián)接件固定連接有X向固定動(dòng)平臺(tái)14，X向固定動(dòng)平臺(tái)14上的兩側(cè)固定安裝有兩根X向?qū)к?5，X向?qū)к?5為不銹鋼管，兩根X向?qū)к?5之間固定安裝有X向絲桿16，X向固定平臺(tái)14的后側(cè)面用螺紋緊固聯(lián)接件固定聯(lián)接有X向電機(jī)21，X向電機(jī)21由計(jì)算機(jī)11通過(guò)控制器22進(jìn)行控制，X向移動(dòng)平臺(tái)18套裝在X向?qū)к?5外放置于在X向固定平臺(tái)14上，在X向移動(dòng)平臺(tái)18的中部安裝有X向軸套17，X向絲桿16的中部套裝在X向移動(dòng)平臺(tái)18中部的X向軸套17內(nèi)，X向絲桿16和X向軸套17為本實(shí)施例的X向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)。當(dāng)X向電機(jī)21旋轉(zhuǎn)時(shí)，帶動(dòng)X向絲桿16轉(zhuǎn)動(dòng)，經(jīng)X向軸套17將X向絲桿16的轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成X向移動(dòng)平臺(tái)18沿X向?qū)к?5前后移動(dòng)。在X向移動(dòng)平臺(tái)18的上表面用螺紋緊固聯(lián)接件固定聯(lián)接有恒溫固化載物臺(tái)20，恒溫固化載物臺(tái)20用于固化微光學(xué)元件，制作微光學(xué)元件時(shí)，將玻璃基片放置在恒溫固化載物臺(tái)20上。
在支架1上用螺紋緊固聯(lián)接件固定聯(lián)接有Z向固定平臺(tái)4，Z向固定動(dòng)平臺(tái)4上的兩側(cè)固定安裝有兩根Z向?qū)к?，Z向?qū)к?為不銹鋼管，兩根Z向?qū)к?之間固定安裝有Z向絲桿6，Z向固定平臺(tái)4的上端面用螺紋緊固聯(lián)接件固定聯(lián)接有Z向電機(jī)7，Z向電機(jī)7由計(jì)算機(jī)11通過(guò)控制器22進(jìn)行控制，Z向移動(dòng)平臺(tái)9套裝在Z向?qū)к?外放置于Z向固定平臺(tái)4上，在Z向移動(dòng)平臺(tái)9的中部安裝有Z向軸套8，Z向絲桿6的中部套裝在Z向移動(dòng)平臺(tái)9中部的Z向軸套8內(nèi)，Z向絲桿6和Z向軸套8為本實(shí)施例的Z向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)。當(dāng)Z向電機(jī)7旋轉(zhuǎn)時(shí)，帶動(dòng)Z向絲桿6轉(zhuǎn)動(dòng)，經(jīng)Z向軸套8將Z向絲桿6的轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成Z向移動(dòng)平臺(tái)9沿Z向?qū)к?前后移動(dòng)。在Z向移動(dòng)平臺(tái)9上安裝有微噴打印噴頭10，本實(shí)施例在Z向移動(dòng)平臺(tái)9上安裝有4個(gè)微噴打印噴頭10，4個(gè)微噴打印噴頭10可噴出不同材料、不同色彩的制作微光學(xué)元件的聚合物液體材料。微噴打印噴頭10與恒溫固化載物臺(tái)20的X向相對(duì)距離可由計(jì)算機(jī)11通過(guò)控制器22驅(qū)動(dòng)X向電機(jī)21旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)恒溫固化載物臺(tái)20沿X向移動(dòng)，微噴打印噴頭10與恒溫固化載物臺(tái)20的Y向相對(duì)距離可由計(jì)算機(jī)11通過(guò)控制器22驅(qū)動(dòng)Y向電機(jī)25旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)恒溫固化載物臺(tái)20沿X向移動(dòng)，微噴打印噴頭10與恒溫固化載物臺(tái)20的Z向相對(duì)距離可由計(jì)算機(jī)11通過(guò)控制器22驅(qū)動(dòng)Y向電機(jī)7旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)微噴打印噴頭10沿Z向移動(dòng)。在固定平臺(tái)23上還安裝有紫外固化光纖13，紫外固化光纖13與紫外光源系統(tǒng)12連接，由紫外光源系統(tǒng)12發(fā)出的紫外光經(jīng)紫外固化光纖13傳導(dǎo)照射到未成形的微光學(xué)元件使其加速固化。采用紫外光固化或恒溫固化應(yīng)按照所制備的光學(xué)元件以及材料確定。
在支架1上用螺紋緊固聯(lián)接件固定聯(lián)接有兩個(gè)攝像頭支座2，攝像頭支座2上用螺紋緊固聯(lián)接件固定聯(lián)接有CCD攝像頭3，兩個(gè)CCD攝像頭正好位于Z向移動(dòng)平臺(tái)9的兩側(cè)，CCD攝像頭3為市場(chǎng)上購(gòu)買的商品，CCD攝像頭3用于監(jiān)控及圖像處理來(lái)實(shí)現(xiàn)噴印前的基板對(duì)位、噴印過(guò)程的觀測(cè)以及噴印后尺寸測(cè)量，從而保證微光學(xué)元件制造過(guò)程的自動(dòng)調(diào)整。
在圖4中，本實(shí)施例的微噴打印噴頭10由壓電陶瓷片10-1、振膜10-2、材料倉(cāng)體10-3、噴頭外殼10-4聯(lián)接構(gòu)成。在噴頭外殼10-4內(nèi)用膠粘接有材料倉(cāng)體10-3，材料倉(cāng)體10-3的上表面加工有進(jìn)料口a、下表面加工有噴口c，在材料倉(cāng)體10-3的中部加工有儲(chǔ)料倉(cāng)b，儲(chǔ)料倉(cāng)b與進(jìn)料口a和噴口c相聯(lián)通，制作微光學(xué)元件的聚合物液體材料從進(jìn)料口a進(jìn)入儲(chǔ)料倉(cāng)b儲(chǔ)存起來(lái)備用。在材料倉(cāng)體10-3的上側(cè)面用膠粘接有振膜10-2，振膜10-2上用膠粘接有壓電陶瓷片10-1。當(dāng)壓電陶瓷片10-1承受控制器22所施加的電壓，產(chǎn)生收縮變形，由振膜10-2擠壓材料倉(cāng)b中的聚合物液體材料，在噴口c處的聚合物液體材料因承受內(nèi)外壓力差而加速運(yùn)動(dòng)，形成速度漸增的突出液面。加于壓電陶瓷片10-1兩端的電壓經(jīng)一定時(shí)間后降低，導(dǎo)致聚合物液體材料壓力下降，噴口c處聚合物液體材料液滴因慣性克服表面張力而與聚合物液體材料分離滴下到基片上，在計(jì)算機(jī)11的指令下，由控制器22控制壓電陶瓷片10-1的電壓變化，噴口c按需點(diǎn)滴下聚合物液體材料到基板上形成所設(shè)計(jì)的微光學(xué)元件。
在圖5中，本實(shí)施例的恒溫固化載物臺(tái)20是由導(dǎo)熱板20-1、溫度傳感器20-2、帕爾貼冷卻器20-3、散熱板20-4聯(lián)接構(gòu)成。在散熱板20-4上加工有水孔d，在散熱板20-4上表面用螺紋緊固聯(lián)接件固定聯(lián)接有由導(dǎo)熱板20-1，導(dǎo)熱板20-1用于傳導(dǎo)熱量，在導(dǎo)熱板20-1上安裝有溫度傳感器20-2，溫度傳感器20-2通過(guò)導(dǎo)線與控制器22相連，在散熱板204與導(dǎo)熱板20-1之間用螺紋緊固聯(lián)接件固定聯(lián)接有4片帕爾貼冷卻器20-3，帕爾貼冷卻器20-3為市場(chǎng)上購(gòu)買的商品，帕爾貼冷卻器20-3通過(guò)導(dǎo)線與控制器22相連。帕爾貼冷卻器20-3一面發(fā)熱、一面制冷，帕爾貼冷卻器20-3的導(dǎo)熱板20-1緊貼在發(fā)熱面上、散熱板20-4緊貼在制冷面上。恒溫固化載物臺(tái)20為制作微光學(xué)元件提供恒溫，恒溫固化載物臺(tái)20由計(jì)算機(jī)11通過(guò)控制器22控制。
實(shí)施例2在本實(shí)施例中，在Z向移動(dòng)平臺(tái)9上安裝有1個(gè)微噴打印噴頭10，微噴打印噴頭10的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1相同。其它零部件以及零部件的聯(lián)接關(guān)系與實(shí)施例1相同。
實(shí)施例3在本實(shí)施例中，在Z向移動(dòng)平臺(tái)9上安裝有8個(gè)微噴打印噴頭10，微噴打印噴頭10的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1相同。其它零部件以及零部件的聯(lián)接關(guān)系與實(shí)施例1相同。
實(shí)施例4在本實(shí)施例中，Y向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)也可以為齒輪和與齒輪相嚙合的齒條，齒輪用聯(lián)接件與Y向電機(jī)25的輸出軸相聯(lián)接，齒條與Y向移動(dòng)平臺(tái)28聯(lián)接。X向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)和Z向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)與Y向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)相同。其它零部件以及零部件的聯(lián)接關(guān)系與實(shí)施例1相同。
實(shí)施例5在本實(shí)施例中，恒溫固化載物臺(tái)20的散熱板20-4與導(dǎo)熱板20-1之間用螺紋緊固聯(lián)接件固定聯(lián)接有1片帕爾貼冷卻器20-3。其它零部件以及零部件的聯(lián)接關(guān)系與
權(quán)利要求
1.一種制備微光學(xué)元件的微噴打印裝置，其特征在于在固定平臺(tái)(23)上左側(cè)設(shè)置有控制器(22)、右側(cè)設(shè)置有紫外光源系統(tǒng)(12)和通過(guò)電纜與控制器(22)相連并通過(guò)控制器(22)對(duì)整機(jī)進(jìn)行控制的計(jì)算機(jī)(11)，在固定平臺(tái)(23)上的中部設(shè)置有支架(1)和Y向固定平臺(tái)(19)以及與紫外光源系統(tǒng)(12)相連接的紫外固化光纖(13)，Y向固定平臺(tái)(19)上設(shè)置有Y向?qū)к?24)、通過(guò)導(dǎo)線與控制器(22)相連的Y向電機(jī)(25)以及與Y向電機(jī)(25)相聯(lián)的將Y向的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成Y向水平移動(dòng)的Y向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，與Y向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)相聯(lián)接的Y向移動(dòng)平臺(tái)(28)設(shè)置在Y向固定平臺(tái)(19)上，在Y向移動(dòng)平臺(tái)(28)上設(shè)置有X向固定動(dòng)平臺(tái)(14)，X向固定動(dòng)平臺(tái)(14)上設(shè)置有X向?qū)к?15)、通過(guò)導(dǎo)線與控制器(22)相連的X向電機(jī)(21)以及與X向電機(jī)(21)相聯(lián)的將X向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成X向水平移動(dòng)的X向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，與X向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)相聯(lián)接的X向移動(dòng)平臺(tái)(18)設(shè)置在X向固定平臺(tái)(14)上，在X向移動(dòng)平臺(tái)(18)上設(shè)置有用于固化微光學(xué)元件的恒溫固化載物臺(tái)(20)，在支架(1)上設(shè)置有Z向固定平臺(tái)(4)，Z向固定動(dòng)平臺(tái)(4)上設(shè)置有Z向?qū)к?5)、通過(guò)導(dǎo)線與控制器(22)相連的Z向電機(jī)(7)以及與Z向電機(jī)(7)相聯(lián)的將Z向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成Z向水平移動(dòng)的Z向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，與Z向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)相聯(lián)接的Z向移動(dòng)平臺(tái)(9)設(shè)置在Z向固定平臺(tái)(4)上，在Z向移動(dòng)平臺(tái)(9)上設(shè)置有1～8個(gè)微噴打印噴頭(10)，在支架(1)上設(shè)置安裝有CCD攝像頭(3)的攝像頭支座(2)。
2.按照權(quán)利要求1所述的制備微光學(xué)元件的微噴打印裝置，其特征在于所說(shuō)的Y向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)為Y向絲桿(26)以及設(shè)置在Y向絲桿(26)上的Y向軸套(27)，Y向絲桿(26)的一端設(shè)置在Y向固定平臺(tái)(19)上且與Y向電機(jī)(25)相聯(lián)、另一端設(shè)置在Y向固定平臺(tái)(19)上；所說(shuō)的微噴打印噴頭(10)為在噴頭外殼(10-4)內(nèi)設(shè)置有材料倉(cāng)體(10-3)，材料倉(cāng)體(10-3)上加工有進(jìn)料口(a)和噴口(c)，在材料倉(cāng)體(10-3)內(nèi)加工有與進(jìn)料口(a)和噴口(c)相聯(lián)通的儲(chǔ)料倉(cāng)(b)，在材料倉(cāng)體(10-3)上設(shè)置有振膜(10-2)，振膜(10-2)上設(shè)置有壓電陶瓷片(10-1)；所說(shuō)的恒溫固化載物臺(tái)(20)為在加工有水孔(d)的散熱板(20-4)上設(shè)置裝有通過(guò)導(dǎo)線與控制器(22)相連的溫度傳感器(20-2)的導(dǎo)熱板(20-1)，散熱板(20-4)與導(dǎo)熱板(20-1)之間至少設(shè)置有1片通過(guò)導(dǎo)線與控制器(22)相連的帕爾貼冷卻器(20-3)。
3.按照權(quán)利要求2所述的制備微光學(xué)元件的微噴打印裝置，其特征在于所說(shuō)的儲(chǔ)料倉(cāng)(b)為一彎曲管道。
4.按照權(quán)利要求1所述的制備微光學(xué)元件的微噴打印裝置，其特征在于所說(shuō)的Y向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)也可以為齒輪和與齒輪相嚙合的齒條，齒輪通過(guò)聯(lián)接件與Y向電機(jī)(25)相聯(lián)接，齒條與Y向移動(dòng)平臺(tái)(28)聯(lián)接。
5.按照權(quán)利要求1所述的制備微光學(xué)元件的微噴打印裝置，其特征在于所說(shuō)的X向固定動(dòng)平臺(tái)(14)和Z向固定動(dòng)平臺(tái)(4)與Y向固定動(dòng)平臺(tái)(19)相同，X向移動(dòng)平臺(tái)(18)和Z向移動(dòng)平臺(tái)(9)與Y向移動(dòng)平臺(tái)(28)相同；所說(shuō)的X向軌道和Y向軌道以及Z向軌道為兩根導(dǎo)管。
6.按照權(quán)利要求1所述的制備微光學(xué)元件的微噴打印裝置，其特征在于所說(shuō)的X向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)和Z向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)與Y向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)相同。
全文摘要
一種制備微光學(xué)元件的微噴打印裝置，在固定平臺(tái)上設(shè)控制器、紫外光源系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)、支架、Y向固定平臺(tái)、紫外固化光纖，Y向固定平臺(tái)上設(shè)Y向?qū)к墶向電機(jī)、Y向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，與Y向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)相聯(lián)接的Y向移動(dòng)平臺(tái)設(shè)在Y向固定平臺(tái)上，在Y向移動(dòng)平臺(tái)上設(shè)X向固定動(dòng)平臺(tái)，X向固定動(dòng)平臺(tái)上設(shè)X向?qū)к?、X向電機(jī)、X向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，與X向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)相聯(lián)接的X向移動(dòng)平臺(tái)設(shè)在X向固定平臺(tái)上，X向移動(dòng)平臺(tái)上設(shè)恒溫固化載物臺(tái)，在支架上設(shè)Z向固定平臺(tái)、安裝有CCD攝像頭的攝像頭支座，Z向固定動(dòng)平臺(tái)上設(shè)Z向?qū)к?、Z向電機(jī)、Z向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，與Z向轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)相聯(lián)接的Z向移動(dòng)平臺(tái)設(shè)在Z向固定平臺(tái)上，在Z向移動(dòng)平臺(tái)上設(shè)1～8個(gè)微噴打印噴頭。
文檔編號(hào)B41J2/01GK1654204SQ20041007350
公開(kāi)日2005年8月17日 申請(qǐng)日期2004年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月28日
發(fā)明者李育林, 焦國(guó)華, 胡寶文, 王麗莉, 李白濤 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所