專利名稱：電子部件的印刷裝置、制造裝置、以及制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)電子部件進(jìn)行無(wú)氣泡的具有精密形狀的樹脂密封、焊錫突起形成、基板孔穴填充、或分配等的電子部件的印刷裝置、制造裝置、以及制造方法。
背景技術(shù)：
原有的技術(shù)已被公布于下述文獻(xiàn)中。例如，作為原來(lái)的封裝技術(shù)，眾所周知的是對(duì)形成于工件上的集成電路進(jìn)行密封(組件化)。其主流是轉(zhuǎn)換模子法，但作為采用由液狀的合成樹脂組成的可塑性材料的方法，眾所周知的有分配法和印刷法。對(duì)印刷法來(lái)說(shuō)有大氣印刷并脫泡的方法、和真空壓差印刷法。對(duì)陶瓷基板主要采用的是真空壓差印刷法。就可塑性材料基板來(lái)說(shuō)，部分采用了真空壓差印刷法，并逐漸在擴(kuò)大，但還有各種問(wèn)題而尚未成為主流。另外，在晶圓水準(zhǔn)的CSP制造工程或其密封中也應(yīng)用了該方法。今后，隨著電子部件的集成化、三維化、或基板的內(nèi)裝化，要求無(wú)氣泡的具有精密形狀的密封方法。
對(duì)焊錫突起形成來(lái)說(shuō)，相對(duì)于原有的復(fù)制法，印刷法最近也得到注目。使高粘度焊錫膏對(duì)應(yīng)于狹間距化，如何定量地對(duì)縱橫比高的孔版掩模板無(wú)氣泡地填充是重要的技術(shù)，提出了各種方案。用大氣印刷機(jī)，對(duì)印刷機(jī)的印刷頭介紹了以開放式涂刷器、密封式涂刷器、壓入型涂刷器、密封性涂刷器、滾輪壓入式涂刷器來(lái)印刷或填充的方式。另外，還有以晶圓的突起形成使感光性干膜平面狀層疊起來(lái)并形成穿孔，以印刷法填埋焊錫膏、倒流形成突起，剝離薄膜的方法。
印刷線路板或晶圓基板的穿孔、以及通孔的填埋有采用導(dǎo)電膠以及非導(dǎo)電膠，以采用了涂刷器的大氣印刷或真空壓差印刷法來(lái)填充的方法。以一次層積法更簡(jiǎn)單地尋求低成本的加工處理的開發(fā)正在進(jìn)展之中。雖然將導(dǎo)電膠以無(wú)氣泡簡(jiǎn)單地填充到各種穿孔中的真空印刷方法正逐步進(jìn)入實(shí)用階段，但會(huì)有裝置變得大型化，生產(chǎn)效率也低等的缺點(diǎn)，而要求得到改良。另外，通孔的填埋是使用掩模板和夾具，對(duì)準(zhǔn)位置并將樹脂填充到工件中，進(jìn)一步在工件的上面、下面形成柱塞，硬化并研磨工件的兩面來(lái)使其平坦。
專利文獻(xiàn)1專利第3198273號(hào)專利文獻(xiàn)2專利第3084440號(hào)專利文獻(xiàn)3專利申請(qǐng)第2001-33147號(hào)專利文獻(xiàn)4專利第3113974號(hào)專利文獻(xiàn)5專利第2873501號(hào)專利文獻(xiàn)6特開平5-90271號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)7特開2001-232758號(hào)公報(bào)非專利文獻(xiàn)1Electronic Journal 2003年4月號(hào)公布使用孔版，用涂刷器將高粘度樹脂平坦地印刷成具有空隙的形狀的原理不成立。如圖15(a)所示，附著在涂刷器60和工件2上的樹脂m，在孔版1的開口部103上下有間隔，相對(duì)于涂刷器60的移動(dòng)產(chǎn)生速度梯度，后方的樹脂m被拉伸，比規(guī)定厚度薄數(shù)十μm的樹脂被印刷。這是不受粘接度和間隙影響的樹脂供給方法。
如圖15(b)所示，在孔版1的開口部103的終端，被涂刷器60擠壓進(jìn)入的樹脂m在開口部103的端部，被堵住并在涂刷器60通過(guò)時(shí)被加壓敞開，比規(guī)定厚度厚數(shù)十μm的樹脂被印刷。這是涂刷器的前端部的填充壓力與掩模板和工件2的形狀無(wú)關(guān)而一直保持恒定的方法。
圖15所示的孔版1的開口部103和未圖示出的開口部103內(nèi)的芯片間的槽部的印刷開始部不能追隨涂刷器60的填充壓力，未得到填充或變薄不能印刷而成為產(chǎn)生氣泡的原因。因上述三個(gè)要因，液狀樹脂不能印刷成精密的形狀，不得已而采用掩模的形狀或涂刷器60的無(wú)用的動(dòng)作，并且犧牲可靠性使樹脂的粘度變低來(lái)進(jìn)行處理，但不能從本質(zhì)上得以解決。這是對(duì)印刷部的形狀沒(méi)有影響卻有強(qiáng)大填充力的樹脂供給方法。
在層積型等BGA或CSP密封中，以高密度地被引線結(jié)合，伸張的網(wǎng)狀，放入了高百分比填充劑等的高粘度樹脂，以涂刷器的功能不能充分填充。對(duì)此，在真空下印刷并施加真空壓差的話，雖然可以期待一定程度的填充效果，但沒(méi)有排除殘留的氣泡的機(jī)構(gòu)，氣泡細(xì)微化而分散開剩余下來(lái)?；镜?，在施加壓差前樹脂填充空洞擠壓出空氣是必要條件。對(duì)極薄的封裝來(lái)說(shuō)，引線接近表面，與空洞部斷開，不產(chǎn)生壓差，產(chǎn)生氣泡的危險(xiǎn)性高。另外，3維層積的實(shí)際安裝，高密度地被引線結(jié)合，并且做成倒裝片，由于微小的間隙也被要求得到填充，所以具有強(qiáng)力的填充功能并且能夠精密印刷的方法是不可缺少的。還有，在電子部件的基板內(nèi)藏化中，液狀樹脂的無(wú)氣泡填充和均勻厚度的涂層是必要的。這是不受粘性影響的強(qiáng)力的填充方法以及無(wú)氣泡填充方法。
在將各種樹脂填充到晶圓基板或?qū)臃e基板的穿孔中的場(chǎng)合，需要強(qiáng)大的壓力，因涂刷器的吸入或樹脂的粘性，樹脂從穿孔鉆出，并且因固化而收縮。為了掩蓋這些而使用各種掩模，精密地調(diào)整位置來(lái)填充補(bǔ)完，但形成有凸?fàn)畹挠仓獙?duì)此進(jìn)行研磨伴隨著很大的困難。這是孔版、精密位置調(diào)整裝置以及清洗裝置都沒(méi)有，在工件2上直接填充，無(wú)氣泡，能夠掩蓋凹部和樹脂的收縮，使研磨加工減少到最小限的填孔方法。
詳細(xì)敘述的話，在工件上面對(duì)掩模進(jìn)行定位，在下部對(duì)形成柱塞的夾具進(jìn)行定位來(lái)印刷，在工件的兩面形成柱塞(凸?fàn)钣∷?，硬化并研磨。該場(chǎng)合，不同直徑的孔穴根據(jù)直徑不同來(lái)印刷，并對(duì)各孔穴直徑進(jìn)行硬化研磨。還有，對(duì)于細(xì)微化和大型基板，掩模的圖案和工件的圖案因掩模的伸張或工件的研磨伸張使得位置不重合而需要分成兩次來(lái)印刷。因形成柱塞和研磨很重要，均勻地研磨柱塞和銅鍍層，對(duì)厚度和伸張進(jìn)行管理需要用到很多的裝置。一旦被要求無(wú)氣泡化，就成為真空下的印刷，有掩模的話，就成為具備位置調(diào)整、清洗等的裝置，成為成套設(shè)備那種大型且價(jià)格高昂，并且生產(chǎn)效率低的裝置。需要尋求無(wú)氣泡，不使用夾具或掩模來(lái)形成柱塞，能夠同時(shí)填充不同孔徑的孔穴，并且使加工為最小限的填孔方法。
對(duì)于焊錫的突起的形成，在專利申請(qǐng)2001-232758號(hào)以及特開平10-34878號(hào)公報(bào)中提出了焊錫膏印刷方法。這些方法的最大缺點(diǎn)在于，由于是由滾輪的旋轉(zhuǎn)和掩模填充樹脂，由刮板或葉片而在掩模上記下殘留的樹脂的方式，填充力極弱。在本方法中，僅滾輪30的一半范圍有助于填充，另一半妨礙樹脂的填充。為了對(duì)此進(jìn)行補(bǔ)充，在專利申請(qǐng)2001-232758號(hào)公報(bào)的技術(shù)中，雖然進(jìn)行空氣加壓，但距離變長(zhǎng)，樹脂量也變化，高粘度樹脂不均等地反應(yīng)。作為整體來(lái)說(shuō)是相當(dāng)大型的裝置，而難以在真空裝置中采用。
另外，參照?qǐng)D16(a)以及圖16(b)來(lái)敘述的話，這些方式是孔版(掩模)1和滾輪30接近，堵住樹脂m來(lái)填充。在孔版1或工件2中填充很大的空間的場(chǎng)合，樹脂m僅繞以箭頭30x或箭頭30y表示的滾輪30的周圍循環(huán)，對(duì)填充來(lái)說(shuō)幾乎無(wú)關(guān)而具有很大的缺陷。
在專利申請(qǐng)2001-232765號(hào)公報(bào)的技術(shù)中，滾輪后部拉回樹脂m的力和樹脂m整體的加壓的差為內(nèi)部壓力的壓力變高，對(duì)刮板不堵住樹脂m擠壓出而很厚地印刷。即使填充空間變小大部分無(wú)助于填充，但由于從中途拉回樹脂m的力也起作用而難以達(dá)成強(qiáng)力的填充，從而不能控制印刷形狀。
特開平10-34878號(hào)公報(bào)也是，雖然對(duì)小空間來(lái)說(shuō)具有滾輪一半與填充力有關(guān)的效果，很弱地在滾輪30后部被拉回，在后部葉片和后部的滾輪30之間的壓力不穩(wěn)定而不能夠控制印刷形狀。另外，具有上述葉片或刮板形狀的印刷法有在以光刻膠形成的基板上直接印刷的話光刻膠被破壞而剝落的缺陷，以進(jìn)一步微細(xì)化的形成利用掩模孔版的掩模方式到達(dá)極限，逐漸變到大概與以光刻膠形成圖案的方式。要求在以多樣的形狀需要空間的工件上直接保持強(qiáng)力的填充力，對(duì)平坦或凸?fàn)疃寄軌蚓苡∷⒌幕炯夹g(shù)要素。
專利申請(qǐng)2001-232758號(hào)公報(bào)是，滾輪的周圍被牢固的框架包圍，替換樹脂是極為困難的事。需要分解該裝置來(lái)洗凈。即使僅焊錫的種類，最近種類也變得非常多。另外，該裝置需要進(jìn)行樹脂密封和各種填孔，僅能夠替換樹脂以少量的溶劑簡(jiǎn)單地能夠進(jìn)行與否掌握著實(shí)用化的關(guān)鍵，必須采用接觸樹脂的部分剩下一個(gè)滾輪，涂刷器簡(jiǎn)單地脫出，能夠容易洗凈的結(jié)構(gòu)。
還有，本方式由于滾輪的周圍完全被密封，即使掩模和刮板的交界也吸入空氣。另外，特開平10-34878號(hào)公報(bào)也是，以光刻膠等各種方法形成了穿孔的基板上，填充焊錫膏的話，穿孔中的空氣被帶入樹脂中，樹脂繞滾輪的周圍繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，與行走距離成正比儲(chǔ)蓄的包含大量氣泡的焊錫膏就被供給，即使填充焊錫量也變少，精密突起不能夠制造，在內(nèi)部也包含氣泡。另外，最近的焊錫球被細(xì)微化，易于非正常地酸化，對(duì)在后行程的焊錫的溶解也產(chǎn)生很大的問(wèn)題。
另外，在上述真空壓差印刷方法中，在將可塑性材料m擠壓填充進(jìn)工件2中的印刷工程中，由于可塑性材料與工件2很強(qiáng)地粘在孔版1上，在使孔版1離開工件2的工程中，要切斷該可塑性材料是困難的。這樣粘接的可塑性材料m在粘接在孔版1的狀態(tài)下從該孔版1垂下，另外還會(huì)引起密封部(封裝)的形狀被破壞的問(wèn)題。
更詳細(xì)地說(shuō)，如圖17(a)所示，在用樹脂等高粘度的可塑性材料m實(shí)施孔版印刷法的場(chǎng)合，在孔版1和工件(線路板)2上粘接可塑性材料，從孔版1切斷工件2時(shí)，由形成密封部的可塑性材料m組成的密封部周圍被拉伸。這樣，由可塑性材料m組成的密封部的端部變厚，其附近的邊緣變薄，而產(chǎn)生厚度起伏。再有，從孔版1垂下的可塑性材料m因切斷的反沖而附著在孔版1的背面，或者由于一直落到工件2上，每次實(shí)施該印刷法，孔版1或工件2的清洗是不可缺的。另外，也成為供給該印刷的可塑性材料m的份量變動(dòng)的主要原因。
另外，如圖(b)所示，為了使具有上述厚度起伏的密封部平坦化，嘗試了將此在大氣中放置一定時(shí)間，但在可塑性材料m硬化中途粘度降低的話，就會(huì)引起它們流出、密封部的形狀被破壞的問(wèn)題。作為其對(duì)策，以凹槽向下(キャビティダウン)方式減輕可塑性材料m流動(dòng)，或者嘗試預(yù)先以分配等制作規(guī)制可塑性材料m的流動(dòng)的堤狀的擋板，就會(huì)有制造工程繁瑣的問(wèn)題。
在焊錫突起的形成中，焊錫膏的粘度極高，提出了各種填充方法的方案。但是，通過(guò)狹間距化縱橫比變大，填充在工件2上焊錫膏的粘接力和因側(cè)壁的面積的粘接力的差變小，復(fù)制非常不穩(wěn)定，在樹脂從孔版拔出的場(chǎng)合，部分剩余而被拔出的場(chǎng)合，也有不被拔出的場(chǎng)合，能夠以改善孔版的孔的形狀、面粗度以及離型材料的涂層來(lái)降低粘接的對(duì)策進(jìn)行補(bǔ)償，但是要求在孔版上不殘留焊錫膏?？装孢@是填充在孔版的孔中的焊錫膏的分配法。
為了適應(yīng)細(xì)微化，實(shí)施在晶圓基板和樹脂基板上以光刻膠制作掩模，以大氣印刷在穿孔中填充焊錫，倒流，剝離光刻膠的方法，但在盲孔中進(jìn)行大氣印刷的話，空氣殘留在內(nèi)部，填充量不足。并且對(duì)印刷中的焊錫來(lái)說(shuō)與行走距離成正比的空氣也被儲(chǔ)蓄，焊錫的量不足。并且由于使用涂刷器，因粘性而跑出，被印刷成凹狀，焊錫量不足，因這些原因，而有突起精度很低的問(wèn)題。還有，還成為在突起內(nèi)部產(chǎn)生氣泡的原因。希望得到以無(wú)氣泡的焊錫樹脂定量填充的方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于以上各問(wèn)題而提出來(lái)的，其目的是提供一種適宜于精密的電子部件的制造的電子部件的印刷裝置、制造裝置、以及制造方法。
本發(fā)明是在使一面朝上來(lái)水平定位的工件上擠壓填入可塑性材料的電子部件的印刷裝置，其特征在于，具備在所述工件的附近使在軸向的端部被支撐、使圓周面接近所述工件的一面的滾輪；使該滾輪沿所述工件的一面移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)；使所述滾輪相對(duì)于該移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)所述滾輪的移動(dòng)方向在向前旋轉(zhuǎn)的方向旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；接近或接觸所述滾輪來(lái)按壓所述工件的一面的涂刷器。
還有，本發(fā)明是在使一面朝上來(lái)水平定位的工件中擠壓填入可塑性材料的電子部件的印刷裝置，其特征在于，具備在所述工件的附近使在軸向的端部被支撐、使圓周面接近所述工件的一面的滾輪；使該滾輪沿所述工件的一面移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)；使所述滾輪相對(duì)于該移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)所述滾輪的移動(dòng)方向在向前旋轉(zhuǎn)的方向旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；接近或接觸所述滾輪并被支撐著可以沿所述滾輪的圓周面旋轉(zhuǎn)的涂刷器；利用所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使所述滾輪旋轉(zhuǎn)的力矩的反作用力將所述涂刷器按壓到所述工件的一面的附加壓力產(chǎn)生機(jī)構(gòu)。在上述工件的概念中，包括至少工件、以及在其一面形成的集成電路等表面實(shí)際安裝部。
再有，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)具備安裝在所述滾輪內(nèi)、具有可以相對(duì)旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子和定子的旋轉(zhuǎn)機(jī)；向所述滾輪的軸向延伸并貫穿所述滾輪的兩端使前端向所述滾輪的外部突出的支撐軸；將所述旋轉(zhuǎn)機(jī)的轉(zhuǎn)子連接到該支撐軸上的減速機(jī)；從所述支撐軸的前端附近向所述滾輪的徑向延伸出來(lái)并支撐所述涂刷器的連接部件，使所述涂刷器受到驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的反作用力的同時(shí)，用所述減速機(jī)使所述轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)減速并傳遞到所述支撐軸。
再有，其特征在于，所述滾輪具備收放所述旋轉(zhuǎn)機(jī)的內(nèi)殼；配置在該內(nèi)殼周圍并且用橡膠做襯里的筒狀外殼，在所述內(nèi)殼和所述筒狀外殼之間設(shè)有用于引導(dǎo)空氣的空隙。
再有，其特征在于，所述支撐軸由一端被真空抽引、另一端連通所述滾輪內(nèi)的空心軸組成，通過(guò)使所述滾輪內(nèi)的空氣介由所述支撐軸進(jìn)行真空抽引來(lái)強(qiáng)制冷卻所述滾輪。
再有，其特征在于，所述附加壓力產(chǎn)生機(jī)構(gòu)具備對(duì)所述滾輪的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行制動(dòng)的閘裝置，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)用使所述滾輪抵抗所述閘裝置的制動(dòng)而旋轉(zhuǎn)的力矩的反作用力，通過(guò)使所述連接部件向與所述滾輪的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向旋轉(zhuǎn)，將所述涂刷器按壓在所述工件的一個(gè)面上。
再有，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)具備直徑小于結(jié)合在所述滾輪的端部的滾輪直徑的小齒輪；敷設(shè)在所述工件側(cè)面、向所述移動(dòng)方向延伸的齒條；具有在所述滾輪的內(nèi)部可以旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)機(jī)，通過(guò)使所述齒條與所述小齒輪咬合，伴隨所述旋轉(zhuǎn)機(jī)的轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)使所述小齒輪與所述滾輪同時(shí)旋轉(zhuǎn)，來(lái)使所述滾輪向所述移動(dòng)方向移動(dòng)。
再有，其特征在于，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)設(shè)在所述滾輪外部的驅(qū)動(dòng)源使支撐所述滾輪自由旋轉(zhuǎn)的托架向所述移動(dòng)方向移動(dòng)。
再有，其特征在于，使具有使所述可塑性材料通過(guò)的通孔圖案的孔版與所述工件的一面重合。
本發(fā)明的電子部件的制造裝置，其特征在于，具備上部密封室，其收放將可塑性材料擠壓填充進(jìn)具有一面的工件的印刷裝置以及重疊在所述工件的一面上、具有所述可塑材料可以通過(guò)的通孔圖案的孔版；下部密封室，其隔開所述孔版在所述上部密封室內(nèi)被劃分，收放使所述工件可以調(diào)整高度地朝向所述一面來(lái)決定水平位置的校準(zhǔn)臺(tái)；壓差產(chǎn)生機(jī)構(gòu)，其在所述上部密封室和所述下部密封室之間產(chǎn)生壓差。
再有，其特征在于，所述壓差產(chǎn)生機(jī)構(gòu)具備與所述上部密封室和所述下部密封室連接的真空泵；分別與所述上部密封室和所述下部密封室連接的2個(gè)放氣閥；在所述上部密封室以及所述下部密封室和所述真空泵之間開關(guān)的停止閥，所述真空泵真空抽引所述上部密封室和所述下部密封室，在印刷后，通過(guò)所述2個(gè)放氣閥以及停止閥的操作的組合，容許或阻止大氣分別流入所述上部密封室和所述下部密封室。
另外，本發(fā)明是向水平定位的工件擠壓填充進(jìn)可塑性材料的電子部件的制造方法，其特征在于，包括將具有一面的工件使該面朝上以水平姿勢(shì)定位的步驟；使連接在旋轉(zhuǎn)機(jī)上的滾輪在所述工件的附近以水平位置等待的步驟；通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)使所述滾輪旋轉(zhuǎn)，向該滾輪的圓周面供給所述可塑性材料的步驟；使所述滾輪的圓周面接近所述工件的一面并使所述滾輪沿所述工件的一面移動(dòng)，同時(shí)，利用所述旋轉(zhuǎn)機(jī)使所述滾輪在相對(duì)于所述滾輪移動(dòng)的移動(dòng)方向前轉(zhuǎn)的方向旋轉(zhuǎn)的步驟。
另外，本發(fā)明是向水平定位的工件擠壓填充進(jìn)可塑性材料的電子部件的制造方法，其特征在于，包括將具有一面的工件使該面朝上以水平姿勢(shì)定位的步驟；使具有所述可塑性材料可以通過(guò)的通孔圖案的孔版與所述工件的一面重合的步驟；使連接在旋轉(zhuǎn)機(jī)上的滾輪在所述孔版的附近以水平位置等待的步驟；通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)使所述滾輪旋轉(zhuǎn)，向該滾輪的圓周面供給所述可塑性材料的步驟；使所述滾輪的圓周面接近所述孔版的上面并使所述滾輪沿所述孔版的上面移動(dòng)，同時(shí)，通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)使所述滾輪在相對(duì)于所述滾輪移動(dòng)的移動(dòng)方向前轉(zhuǎn)的方向旋轉(zhuǎn)的步驟；接近或接觸所述滾輪并將沿所述滾輪的圓周面被支撐的涂刷器按壓向所述孔版的步驟。
另外，本發(fā)明是向水平定位的工件擠壓填充進(jìn)可塑性材料的電子部件的制造方法，其特征在于，包括將具有一面的工件使該面朝上以水平位置定位的步驟；使內(nèi)部安裝了轉(zhuǎn)子繞定子的周圍旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)的滾輪在所述工件的附近以水平姿勢(shì)等待的步驟；通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)使所述滾輪旋轉(zhuǎn)，向該滾輪的圓周面供給所述可塑性材料的步驟；使所述滾輪的圓周面接近所述工件的一面并使所述滾輪沿所述工件的一面移動(dòng)，同時(shí)，通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)使所述滾輪在相對(duì)于所述滾輪移動(dòng)的移動(dòng)方向前轉(zhuǎn)的方向旋轉(zhuǎn)的步驟；利用所述旋轉(zhuǎn)機(jī)使所述滾輪旋轉(zhuǎn)的力矩的反作用力將接近或接觸所述滾輪并沿所述滾輪的圓周面被支撐的涂刷器按壓向所述工件的一面的步驟。
另外，本發(fā)明是向水平定位的工件擠壓填充進(jìn)可塑性材料的電子部件的制造方法，其特征在于，包括將具有一面的工件使該面朝上以水平位置定位的步驟；使具有所述可塑性材料可以通過(guò)的通孔圖案的孔版與所述工件的一面重合的步驟；使內(nèi)部安裝了轉(zhuǎn)子繞定子旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)的滾輪在所述工件的附近以水平姿勢(shì)等待的步驟；通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)使所述滾輪旋轉(zhuǎn)，向該滾輪的圓周面供給所述可塑性材料的步驟；使所述滾輪的圓周面接近所述孔版的上面并使所述滾輪沿所述孔版的上面移動(dòng)，同時(shí)，通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)使所述滾輪在相對(duì)于所述滾輪移動(dòng)的移動(dòng)方向前轉(zhuǎn)的方向旋轉(zhuǎn)的步驟；利用所述旋轉(zhuǎn)機(jī)使所述滾輪旋轉(zhuǎn)的力矩的反作用力將接近或接觸所述滾輪并支撐著可以沿所述滾輪的圓周面旋轉(zhuǎn)的涂刷器按壓到所述孔版上的步驟。
并且，本發(fā)明的電子部件的制造方法，其特征在于，包括在大氣壓中對(duì)所述工件進(jìn)行定位的步驟。其特征在于，包括在真空中對(duì)所述工件進(jìn)行定位的步驟。該場(chǎng)合，也可以在所述滾輪上附著有剩余的可塑性材料并接觸真空的同時(shí)循環(huán)，進(jìn)行強(qiáng)力的脫泡。或者，其特征在于，連續(xù)組合在大氣壓中對(duì)所述工件進(jìn)行定位的步驟和在真空中對(duì)所述工件進(jìn)行定位的步驟。
另外，本發(fā)明的電子部件的制造方法，其特征在于，包括使具有貫穿上面以及下面的通孔圖案的孔版與以水平姿勢(shì)被定位的工件重合，使所述孔版的下面接近所述工件的步驟；通過(guò)將可塑性材料加壓供給所述孔版的通孔圖案，向所述工件擠壓填充所述可塑性材料的步驟；隔開所述孔版產(chǎn)生壓差使所述孔版的上面一側(cè)的氣壓比所述下面一側(cè)的氣壓更高的步驟。
另外，本發(fā)明的電子部件的制造方法，其特征在于，包括使工件以水平姿勢(shì)定位于高度可調(diào)整的校準(zhǔn)臺(tái)上的步驟；在定位于所述校準(zhǔn)臺(tái)上的所述驟；通過(guò)進(jìn)行所述校準(zhǔn)臺(tái)的高度調(diào)整使所述孔版的下面接近所述工件的步驟；通過(guò)將可塑性材料加壓供給所述孔版的通孔圖案，將所述可塑性材料擠壓填充到所述工件上的步驟；隔開所述孔版產(chǎn)生壓差使所述孔版的下面一側(cè)的氣壓比所述上面一側(cè)的氣壓更工件的上方以水平姿勢(shì)支撐具有貫穿上面以及下面的通孔圖案的孔版的步高的步驟。
再有，本發(fā)明的電子部件的制造方法，其特征在于，包括通過(guò)進(jìn)行所述校準(zhǔn)臺(tái)的高度調(diào)整使所述工件向所述孔版的下方背離的步驟。另外，其特征在于，將所述孔版的上面?zhèn)鹊臍鈮?、或者所述下面?zhèn)鹊臍鈮旱闹辽僖环皆O(shè)定成大氣壓或真空壓。另外，其特征在于，所述可塑性材料是絕緣密封所述工件的樹脂。其特征在于，所述可塑性材料是形成焊錫突起的焊錫膏。其特征在于，所述可塑性材料是填充晶圓以及樹脂基板上的孔的導(dǎo)電膠或非導(dǎo)電膠，在通孔的背面平面狀層疊膠帶而使通孔變成盲孔，對(duì)相同直徑或不同直徑的孔一起進(jìn)行真空填充，形成凸?fàn)畹闹不虬胗不?，再剝離背面的膠帶。
再有，本發(fā)明的電子部件的制造方法，在發(fā)明11或12所述的方法中，其特征在于，所述可塑性材料是填住晶圓以及樹脂基板上的孔的導(dǎo)電膠或非導(dǎo)電膠，包括在真空下擠壓填充所述可塑性材料的步驟；在所述可塑性材料硬化后在真空下或大氣壓下或真空填充后再大氣填充所述可塑性材料的步驟。
發(fā)明效果采用本發(fā)明的電子部件的印刷裝置及其制造方法，能夠達(dá)到以下的效果。即，利用旋轉(zhuǎn)機(jī)使?jié)L輪旋轉(zhuǎn)同時(shí)向滾輪的圓周面供給可塑性材料，使?jié)L輪旋轉(zhuǎn)的同時(shí)沿線路板以及表面安裝(以下簡(jiǎn)稱為‘工件’)的一面使該滾輪直線移動(dòng)的話，可塑性材料附著在滾輪的圓周面的同時(shí)被擠壓進(jìn)滾輪和工件之間。另一方面，在滾輪旋轉(zhuǎn)的同時(shí)沿工件的一面移動(dòng)的過(guò)程中，涂刷器按壓工件的一面。在該狀態(tài)下，擠壓進(jìn)滾輪和工件之間的可塑性材料被相對(duì)于滾輪的移動(dòng)方向向后方移動(dòng)，但被具有適合于填充的角度和長(zhǎng)度的涂刷器規(guī)制，同時(shí)滾輪和涂刷器之間的樹脂也被密封。
因此，可塑性材料在滾輪和工件之間因滾輪的自轉(zhuǎn)和移動(dòng)而使樹脂被送入，利用涂刷器的填充力和滾輪的填充力的合力施加強(qiáng)大的壓力的同時(shí)，被直接擠壓填充到有掩模的基板和沒(méi)有掩模的基板上，通過(guò)涂刷器的角度和接觸長(zhǎng)度以及滾輪的旋轉(zhuǎn)速度和移動(dòng)速度的調(diào)整來(lái)根據(jù)目的使填充力最為適合，控制涂刷器前端的壓力，不管是平坦的還是凸?fàn)畹亩寄軌虿皇苄螤詈兔娣e影響來(lái)印刷，在涂刷器前端填充力為零的話，樹脂被平坦地切斷，填充力為正的話，就印刷成凸?fàn)?參照?qǐng)D2)。這是填充到具有間隙的部件上印刷的基本要素技術(shù)的化時(shí)期的發(fā)明。
另外，使涂刷器和滾輪之間具有若干間隙的話，過(guò)剩的樹脂在滾輪周圍循環(huán)，利用此，例如，使之與真空組合的話，附著在滾輪表面循環(huán)在真空中進(jìn)行，供給完全脫泡的可塑性材料(參照?qǐng)D11的符號(hào)235)，能夠比原有的真空壓差法氣泡更少。使涂刷器壓力、滾輪旋轉(zhuǎn)、以及移動(dòng)速度可以單獨(dú)驅(qū)動(dòng)并分別調(diào)整的話，就能夠適于大范圍且容易適合。
另外，為了使裝置小型化到極限并簡(jiǎn)單化，使該印刷裝置采用以下結(jié)構(gòu)使得涂刷器受到驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的反作用力的同時(shí)，轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)被減速機(jī)減速并傳達(dá)到支撐軸，就能夠達(dá)到以下效果。即，根據(jù)可塑性材料的粘度等，僅調(diào)整上述反作用力，換一句話說(shuō)，僅調(diào)整施加在滾輪上的負(fù)荷，就能夠增減將涂刷器按壓在工件上的力。另外，使結(jié)合在滾輪端部的小齒輪與向敷設(shè)在工件一側(cè)的移動(dòng)方向延伸的齒條咬合，由于通過(guò)旋轉(zhuǎn)機(jī)使?jié)L輪旋轉(zhuǎn)，就能夠使裝置小型化到極限并簡(jiǎn)單化。控制也只有正轉(zhuǎn)、反轉(zhuǎn)、停止，操作簡(jiǎn)單，什么樣的加工處理都能夠馬上實(shí)現(xiàn)。
因此，在想要從可塑性材料中完全排除氣泡而在真空中配置該裝置的場(chǎng)合，能夠縮小形成這種真空的例如密封室的容積，不使用空氣機(jī)器等制動(dòng)器也不會(huì)漏氣，能夠使用于真空抽引密封室的真空泵等小型化，能夠使密封室的強(qiáng)度變小并輕量化，能夠進(jìn)一步使生產(chǎn)過(guò)程短縮并提高生產(chǎn)效率?；蛘?，在采用通過(guò)設(shè)在滾輪外部的驅(qū)動(dòng)源來(lái)使支撐滾輪自由旋轉(zhuǎn)的托架向移動(dòng)方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu)時(shí)，具有可以自由調(diào)整可塑性材料的送入量的優(yōu)點(diǎn)，但裝置多少會(huì)變復(fù)雜。
并且，在上述滾輪具備收放旋轉(zhuǎn)機(jī)的內(nèi)殼和在內(nèi)殼的周圍設(shè)置間隙而配置的筒狀的外殼的場(chǎng)合，一旦使旋轉(zhuǎn)機(jī)的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，筒狀的外殼和內(nèi)殼一起旋轉(zhuǎn)。它們的旋轉(zhuǎn)方向相對(duì)滾輪整體沿孔版的上面移動(dòng)的移動(dòng)方向在前轉(zhuǎn)方向一致。
另外，通過(guò)在滾輪的內(nèi)殼和筒狀外殼之間設(shè)置間隙，旋轉(zhuǎn)機(jī)產(chǎn)生的熱量被阻止傳導(dǎo)到附著在滾輪周面的可塑性材料，能夠抑制可塑性材料的粘度受溫度的影響而變化。并且，支撐滾輪的內(nèi)殼和筒狀的外殼，在兩端的凸緣上設(shè)有通孔，在應(yīng)用于作為本發(fā)明的一部分的真空印刷涂層或真空印刷機(jī)的場(chǎng)合，由于反復(fù)抽真空，能夠積極地對(duì)旋轉(zhuǎn)機(jī)進(jìn)行冷卻，所以能夠可靠地穩(wěn)定熱可塑性材料的粘度。并且，在進(jìn)行強(qiáng)制冷卻時(shí)，使兩端的支撐軸空心連接到真空泵上。另外，由于滾輪一直與樹脂接觸，在用涂刷器研磨的狀態(tài)下而成為易耗品，所以筒狀外殼必須是容易替換，為此，筒狀外殼是有效的。
并且，采用本發(fā)明的電子部件的印刷裝置，由于使具有使可塑性材料通過(guò)的通孔圖案的孔版重合在工件的一面也能夠起到上述效果，所以，因滾輪的旋轉(zhuǎn)的脫泡效果和填充力強(qiáng)化，可以得到比原來(lái)的表面安裝CSP、BGA等電子部件的基板的真空壓差印刷法氣泡更少且平坦度高的精密的密封。
另外，采用本發(fā)明的電子部件的印刷裝置及其方法，使具有貫穿上面以及下面的通孔圖案的孔版與以水平姿勢(shì)被定位的工件重合，要使孔版的下面接近工件來(lái)消除氣泡，使上下密封室為真空，利用上述方法介由孔版的通孔圖案將可塑性材料擠壓填充進(jìn)工件，通過(guò)組合兩個(gè)放氣閥和停止閥的操作，由于能夠分別容許大氣流入或密封上部密封室和下部密封室，所以操作各放氣閥和停止閥，隔開孔版產(chǎn)生壓差使孔版的上面一側(cè)的氣壓比下面一側(cè)更高。
這樣，由于可塑性材料從孔版的通孔圖案向下方被擠壓出，所以可塑性材料良好地被復(fù)制到工件上。將此應(yīng)用于突起形成的話，填充在高縱橫比的通孔中的焊錫膏因粘著力和壓差而被復(fù)制，能夠以狹窄的間距形成高精度的突起。
或者，在上述以水平姿勢(shì)被定位于校準(zhǔn)臺(tái)上的工件的上方以水平姿勢(shì)支撐具有貫穿上面以及下面的通孔圖案的孔版，通過(guò)進(jìn)行校準(zhǔn)臺(tái)的高度調(diào)整，使孔版的下面接近工件，供給可塑性材料，啟動(dòng)真空泵，通過(guò)真空抽引上部密封室和下部密封室，使上部密封室和下部密封室處于密封狀態(tài)，利用上述方法能夠介由孔版的通孔圖案將可塑性材料擠壓填充進(jìn)工件。并且，操作各放氣閥以及停止閥，隔開孔版產(chǎn)生壓差使孔版的下面?zhèn)鹊臍鈮罕壬厦鎮(zhèn)雀摺?br> 這樣，由于使可塑性材料和通孔圖案的周圍邊緣之間下部密封室的少量空氣向上方飄散，可塑性材料從通孔圖案的周圍邊緣被良好地切斷，同時(shí)能夠防止將周圍的可塑性材料易于擠壓向內(nèi)部并在硬化途中因粘度低而向周圍流出。這主要是應(yīng)用于樹脂密封能夠?qū)崿F(xiàn)精密形狀的革新的方法。
特別是，孔版的剛性高，要阻止空氣進(jìn)入孔版和工件之間的場(chǎng)合，通過(guò)進(jìn)行校準(zhǔn)臺(tái)的高度調(diào)整，使工件向孔版的下方離開就可以。這樣，由于工件與孔版之間的間隙積極地變大，下部密封室的空氣就易于通過(guò)兩者之間，與孔版的材質(zhì)和厚度無(wú)關(guān)而能夠達(dá)成上述效果。并且，將孔版的上面一側(cè)的氣壓或下面一側(cè)的氣壓的至少一方設(shè)置成大氣壓或真空壓的話，也能夠應(yīng)用于大氣印刷法。
并且，將上述的真空印刷涂層用于密封的場(chǎng)合，涂刷器和滾輪的填充力的合力作用為非常復(fù)雜的形狀，樹脂被強(qiáng)力填充成凹凸和多重引線，殘留空氣被壓縮，而從工件和基板或芯片的壁面被擠壓出，然后返回大氣壓，因壓差而浸漬到角落，表面被涂刷器的前端設(shè)定成樹脂壓接近為零，平坦地被切斷而印刷。原來(lái)的真空印刷機(jī)被涂刷器供給覆蓋樹脂，因真空壓差填充，在真空中完成印刷，但在引線的上部樹脂覆蓋得很薄的狀態(tài)下，施加壓差的話，會(huì)有未填充部和外部的壓力短絡(luò)而不能填充的問(wèn)題，難以避免殘留的空氣作為微氣泡殘留下來(lái)的問(wèn)題。
并且，使用于基板的填孔的場(chǎng)合，對(duì)通孔的填埋來(lái)說(shuō)，將粘接帶平鋪層疊在基板的背面，形成接地穿孔，以無(wú)掩模使用真空印刷涂層，在真空進(jìn)行填充印刷，在大氣壓浸漬，并且以涂刷器前端部將填充力設(shè)定成增加并印刷的話，上面形成有柱塞(凸裝印刷)，下部與基板填充在同一面。使它們半硬化或硬化，除去薄膜。該方法能夠同時(shí)填充不同的直徑孔穴，既不需要掩模，也不需要對(duì)準(zhǔn)位置，能夠大幅度簡(jiǎn)化研磨行程，原來(lái)的裝置雖然是成套設(shè)備，但為簡(jiǎn)單的裝置，得到了革新的填孔方法。并且，縱橫比高的工件在一次填充后硬化，再次填充硬化的話，也沒(méi)有填充錯(cuò)誤，能夠完好地填孔。另外，直接印刷法具有例如有未填充部也能夠再填充，而不會(huì)有次品的優(yōu)點(diǎn)。
并且，在應(yīng)用于突起形成的場(chǎng)合，用光刻膠在基板上在突起形成中形成必用的穿孔，以無(wú)掩模，在真空中以印刷涂層填充，返回大氣壓浸漬，將涂刷器前端的填充壓力設(shè)定在零附近，平坦地切斷，倒流并剝離光刻膠來(lái)實(shí)現(xiàn)。在制作中，用SnAgCu保持10μm尺寸的顆粒，以焊錫膏形成60μm的突起，就容易使誤差在1μm以下。


圖1是說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施方式的電子部件的印刷裝置原理的示意圖。
圖2(a)是說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施方式的電子部件的印刷裝置的工作的一個(gè)例子的示意圖；(b)是將其壓力作為填充力表示為縱軸，將與滾輪以及涂刷器的各位置對(duì)應(yīng)的距離表示為橫軸的曲線圖；(c)是說(shuō)明工作的其他例子的示意圖；(d)是將其壓力作為填充力表示為縱軸，將與滾輪以及涂刷器的各位置對(duì)應(yīng)的距離表示為橫軸的曲線圖。
圖3是截?cái)啾景l(fā)明實(shí)施例1的電子部件的印刷裝置的局部的正視圖。
圖4(a)是本發(fā)明的實(shí)施例1的電子部件的印刷裝置的側(cè)視圖；(b)是圖3沿A-A線的截面圖。
圖5表示本發(fā)明實(shí)施例1的電子部件的印刷裝置主要部分的示意圖。
圖6(a)是本發(fā)明的實(shí)施例2的電子部件的印刷裝置的正視圖；(b)是其配管系統(tǒng)圖。
圖7是本發(fā)明實(shí)施例2的電子部件的制造裝置的主要部分的正視圖。
圖8是本發(fā)明實(shí)施例2的電子部件的制造裝置的側(cè)視圖。
圖9是本發(fā)明實(shí)施例2的電子部件的制造裝置的俯視圖。
圖10是表示本發(fā)明實(shí)施例3的電子部件的制造方法的工程示意圖。
圖11(a)是表示本發(fā)明實(shí)施例3的電子部件的制造方法的原理的示意圖；(b)是表示其他例子的示意圖。
圖12(a)是表示應(yīng)用于本發(fā)明實(shí)施例3的電子部件的制造方法的滾輪的變型例的截面圖；(b)是其端面圖。
圖13是表示本發(fā)明實(shí)施例4的電子部件的制造方法的工程示意圖。
圖14是表示本發(fā)明實(shí)施例5的電子部件的制造方法的工程示意圖。
圖15(a)是表示原有例的利用涂刷器的電子部件的制造工程示意圖；(b)是表示其完成后的示意圖。
圖16(a)是表示原有例的裝置的電子部件制造工程的一個(gè)例子的示意圖；(b)是表示其他例子的示意圖。
圖17(a)是表示原有例的利用孔版的電子部件的制造工程示意圖；(b)是表示其他例子的示意圖。
圖中1-孔版，2-工件(線路板、表面安裝部)，3-滾輪，4-移動(dòng)機(jī)構(gòu)，5-旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，6-涂刷器，7-附加壓力產(chǎn)生機(jī)構(gòu)，8-減速機(jī)，9-連接部件，10-小齒輪，11-齒條，12-校準(zhǔn)臺(tái)，13-上部密封室，14-下部密封室，15-壓差產(chǎn)生機(jī)構(gòu)，21-一面，32-圓周面，34-支撐軸，38-托架，50-旋轉(zhuǎn)機(jī)，51-轉(zhuǎn)子，52-定子，101-上面，103-通孔圖案(開口部)，151-真空泵，152、153-放氣閥，154、155-停止閥。
具體實(shí)施例方式
以下，基于圖1至圖5對(duì)在與孔版1重合、使一面21朝上的工件2上擠壓填充適量的可塑性材料的電子部件的印刷裝置E1，以印刷頭為例加以說(shuō)明。另外，圖中以箭頭X、Y、Z所指的方向分別對(duì)應(yīng)以下的軸向、移動(dòng)方向、以及高度方向。對(duì)螺栓、螺母、鍵、鍵槽、以及軸承等不言自明的機(jī)械要件省略其圖示或說(shuō)明。對(duì)用于控制印刷裝置E1的動(dòng)作的控制機(jī)器、以及檢測(cè)動(dòng)作/停止的傳感器等也同樣省略。
首先說(shuō)明印刷裝置E1的印刷頭的原理。圖1表示圓周面接近工件2的一面21的滾輪3、使?jié)L輪3沿工件2的一面21向箭頭Y所指的方向移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)4、相對(duì)于移動(dòng)機(jī)構(gòu)4移動(dòng)滾輪3的移動(dòng)方向使?jié)L輪3向前轉(zhuǎn)方向旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)5、接近或接觸滾輪3按壓到工件2的一面21的涂刷器6。
作為移動(dòng)機(jī)構(gòu)4，可以用在支撐滾輪3的托架(未圖示出)上安裝球型螺母40，另一方面通過(guò)以配置在滾輪3外部的電機(jī)等驅(qū)動(dòng)源使與球型螺母40螺合的進(jìn)給絲桿41旋轉(zhuǎn)來(lái)使?jié)L輪3移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。作為旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)5，可以用在配置在滾輪3外部的旋轉(zhuǎn)機(jī)50的輸出軸上安裝同步傳送帶輪501，在滾輪3的支撐軸34上設(shè)置同步傳送帶輪502，并介由環(huán)繞在同步傳送帶輪501、502上的同步傳送帶503將旋轉(zhuǎn)機(jī)50的輸出軸的旋轉(zhuǎn)力傳遞給滾輪3的機(jī)構(gòu)。
涂刷器6被圖中沒(méi)有表示出的支撐體支撐而能夠沿滾輪3的圓周面旋轉(zhuǎn)就可以，例如，也可以被以氣缸等制動(dòng)器為主體的附加壓力產(chǎn)生機(jī)構(gòu)7適度地按壓在工件2的一面21上。附加壓力產(chǎn)生機(jī)構(gòu)7在設(shè)在滾輪3附近的滑動(dòng)鉸鏈70上，安裝成以直立姿式或傾斜姿式自由旋轉(zhuǎn)，將其制動(dòng)桿71介由滑動(dòng)鉸鏈72旋轉(zhuǎn)自如地連接在涂刷器6上。另外，圖1所示的一對(duì)涂刷器6其一方被附加壓力產(chǎn)生機(jī)構(gòu)7按壓在工件2的一面21上，另一方從工件2的一面21抬起。這是為了在位于相對(duì)于滾輪3的移動(dòng)方向Y的前方的涂刷器6的下側(cè)滯留適量的可塑性材料m，可塑性材料m伴隨滾輪3的旋轉(zhuǎn)逐漸被引向其下側(cè)，并且被位于相對(duì)于滾輪3的移動(dòng)方向Y的后方的涂刷器6壓縮。
更詳細(xì)地說(shuō)，如圖2(a)以及(b)所示，被供給附著在滾輪3的圓周面上的可塑性材料m隨滾輪2旋轉(zhuǎn)而移動(dòng)，逐漸被引入滾輪3的下側(cè)，在工件2的一面21和滾輪3之間被壓縮。這時(shí)，施加在可塑性材料m上的壓力在可塑性材料m稍超過(guò)滾輪3的正下方的位置P1達(dá)到峰值。然后，該壓力設(shè)定成在涂刷器6到達(dá)接觸到工件2的一面21的接觸點(diǎn)位置P2之前一直下降，在接觸點(diǎn)位置P2還能夠維持所需的壓力。這樣，在進(jìn)行工件2(例如，印刷線路板或晶圓板)的穿孔或通孔的填埋的場(chǎng)合，由于在埋入穿孔或通孔中的可塑性材料m中能夠積蓄適度的壓力，所以，如圖所示，在涂刷器6通過(guò)后，可塑性材料m從穿孔或通孔膨起成為凸?fàn)睢?br> 或者，如圖2(c)以及(d)所示，被供給附著在滾輪3的圓周面上的可塑性材料m在已述的工件2的一面21和滾輪3之間被壓縮。并且，施加在可塑性材料m上的壓力設(shè)定成在可塑性材料m稍超過(guò)滾輪3的正下方的位置P3達(dá)到峰值，然后，該壓力在一直到達(dá)接觸點(diǎn)位置P4都為零。這樣，由于在填充在工件2的一面21的凹進(jìn)去的地方的可塑性材料m沒(méi)有剩余壓力，所以，如圖所示，即使涂刷器6通過(guò)后，可塑性材料m也保持為平坦的形狀。為了適宜于多樣的用途，最好可以獨(dú)立調(diào)整滾輪3的旋轉(zhuǎn)、移動(dòng)、以及上述的壓力。以下詳細(xì)敘述用于具體實(shí)現(xiàn)以上原理的最佳實(shí)施方式。
實(shí)施例1圖3是印刷裝置E1的正視圖。圖4(a)是印刷裝置E1的側(cè)視圖，(b)是圖3沿A-A線的截面圖。圖5大致表示印刷裝置E1的主要部分的構(gòu)成。如這些圖所示，印刷裝置E1具備在以水平姿勢(shì)被定位的線路板以及在由其表面安裝部組成的工件2(以下簡(jiǎn)單地記為‘線路板2’)的兩側(cè)附近，軸向X的兩端31分別被支撐并通過(guò)孔版1使圓周面32接近線路板2的一面21的滾輪3；使?jié)L輪3沿線路板2的一面21向箭頭Y方向移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)4；在移動(dòng)機(jī)構(gòu)4使?jié)L輪3移動(dòng)的過(guò)程中使?jié)L輪3旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)5；接近滾輪3被支撐著可以沿滾輪3的圓周面32旋轉(zhuǎn)的涂刷器6；利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)5使?jié)L輪3旋轉(zhuǎn)的力矩的反作用力將涂刷器6按壓在與線路板2的一面21重疊的孔版1上的附加壓力產(chǎn)生機(jī)構(gòu)7。
移動(dòng)機(jī)構(gòu)4和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)5共用安裝在滾輪3內(nèi)的旋轉(zhuǎn)機(jī)50作為各自的驅(qū)動(dòng)源。詳細(xì)的說(shuō)明如下。即，移動(dòng)機(jī)構(gòu)4由分別與滾輪3的兩端31結(jié)合的一對(duì)小齒輪10、配置成從其兩側(cè)夾住線路板2并固定在圖中未示出的底座等上的一對(duì)齒條11、以及上述旋轉(zhuǎn)機(jī)50所構(gòu)成。一對(duì)齒條11相互平行地沿移動(dòng)方向Y延伸，分別與小齒輪10咬合。在該狀態(tài)，滾輪3的圓周面32從孔版1稍稍抬起，在孔版1和滾輪3之間保持適當(dāng)?shù)拈g隙。旋轉(zhuǎn)機(jī)50其定子51和轉(zhuǎn)子52可以相對(duì)地旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子52在沿軸向X延伸的筒狀定子51的內(nèi)側(cè)被驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)。
一旦轉(zhuǎn)子52如上那樣旋轉(zhuǎn)的話，伴隨于此小齒輪10與滾輪3一起旋轉(zhuǎn)。滾輪3和小齒輪10的旋轉(zhuǎn)反作用力被傳遞給附加壓力產(chǎn)生機(jī)構(gòu)7，附加壓力產(chǎn)生機(jī)構(gòu)7通過(guò)將涂刷器6按壓到孔版1上來(lái)保持力的均衡。其原理將在后面敘述。小齒輪10旋轉(zhuǎn)的話，滾輪3就整體沿移動(dòng)方向Y向圖中的右側(cè)或左側(cè)移動(dòng)(以下記為‘往動(dòng)’或“返動(dòng)”)。同時(shí)，滾輪3相對(duì)于其自身往動(dòng)或返動(dòng)的方向，向前轉(zhuǎn)的方向旋轉(zhuǎn)。
也就是，滾輪3在往動(dòng)時(shí)向圖4中的順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)，在返動(dòng)時(shí)向逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)。這樣，‘前轉(zhuǎn)’的滾輪3的圓周面32的速度(周速度)就由小齒輪10的間距圓和滾輪3的圓周面32的直徑的比率大致決定。在圖示的例子中，滾輪3的速度被設(shè)定成滾輪3向箭頭Y方向移動(dòng)的移動(dòng)速度的1.2～1.5倍左右。
旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)5具備沿滾輪3的軸向X延伸、分別貫穿上述小齒輪10并使各前端33向滾輪3的外部突出的一對(duì)支撐軸34；將在旋轉(zhuǎn)機(jī)50的轉(zhuǎn)子52上產(chǎn)生的力矩傳遞到一邊的(圖3右側(cè))的支撐軸34的減速機(jī)8；從一對(duì)支撐軸34的各前端33附近向滾輪3的徑向延伸出來(lái)的一對(duì)連接部件9。一對(duì)連接部件9分別支撐用栓94支撐涂刷器6的中央的涂刷器支撐桿95的兩端，涂刷器6能夠以栓94為支點(diǎn)稍稍搖動(dòng)。另外，各支撐軸34能夠相對(duì)于滾輪3以及各小齒輪10自由旋轉(zhuǎn)。
一對(duì)支撐軸34的各前端33附近分別支撐一對(duì)支撐片35。一對(duì)支撐片35分別固定在一對(duì)直動(dòng)導(dǎo)向軸承36上。并且，一對(duì)直動(dòng)導(dǎo)向軸承36滑動(dòng)自如地與向移動(dòng)方向Y延伸的一對(duì)導(dǎo)軌37配合。這些部件構(gòu)成在移動(dòng)方向Y滑動(dòng)自如地支撐滾輪3的托架38，使得小齒輪10不脫離齒條11，起到直接對(duì)滾輪3進(jìn)行導(dǎo)向的作用。
附加壓力產(chǎn)生機(jī)構(gòu)7適度地對(duì)滾輪3的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行制動(dòng)，換一句話說(shuō)，它在一對(duì)支撐片35的一方安裝對(duì)滾輪3給與負(fù)荷的帶閘17。減速機(jī)8以及帶閘17由于是不言自明的技術(shù)而省略其詳細(xì)的圖示，僅對(duì)附加壓力產(chǎn)生機(jī)構(gòu)7受到上述旋轉(zhuǎn)的反作用力的原理進(jìn)行說(shuō)明。以下所述的減速機(jī)8大致由直接連接在轉(zhuǎn)子52上的太陽(yáng)輪、配置在該太陽(yáng)輪周圍的多個(gè)行星齒輪、收放以上齒輪的盒構(gòu)成。
即，一旦啟動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)52，轉(zhuǎn)子52旋轉(zhuǎn)，該旋轉(zhuǎn)就被減速機(jī)8減速并傳遞給滾輪3。這樣，在滾輪3繞圖4中的順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)的過(guò)程中，該反作用力介由上述行星齒輪被傳遞給一邊的(圖3右側(cè))支撐軸34，在該支撐軸34產(chǎn)生逆時(shí)針?lè)较虻牧?。結(jié)果，在圖4(b)中以實(shí)線表示的涂刷器6就被按壓在與線路板2的一面21重疊的孔版1上。或者，一旦使?jié)L輪3繞圖4中的逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)，作為滾輪3的旋轉(zhuǎn)的反作用力，在一邊的支撐軸34上產(chǎn)生與轉(zhuǎn)子52正轉(zhuǎn)時(shí)相反的逆時(shí)針?lè)较虻牧亍＝Y(jié)果，涂刷器6與一個(gè)連接部件9一起順時(shí)針旋轉(zhuǎn)。并且，涂刷器6在到達(dá)圖中以假想線所表示的右側(cè)的位置時(shí)，碰到孔版1而靜止下來(lái)。
這種旋轉(zhuǎn)機(jī)50每次重復(fù)正轉(zhuǎn)/逆轉(zhuǎn)時(shí)，涂刷器6重復(fù)以上的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作。另外，附加壓力產(chǎn)生機(jī)構(gòu)7對(duì)滾輪3施加負(fù)荷，換一句話說(shuō)，通過(guò)以帶閘17系緊滾輪3的兩端31的某一方而得到的摩擦力對(duì)滾輪3的旋轉(zhuǎn)施加阻力，積極地增大旋轉(zhuǎn)機(jī)50的反作用力，就能夠按照希望調(diào)整涂刷器6按壓在線路板2的一面21上的力(以下簡(jiǎn)稱為‘附加壓力’)。
還有，以上的涂刷器6的動(dòng)作是僅著眼于一個(gè)連接部件9來(lái)敘述的，實(shí)際上，由于涂刷器6為軸向X的全長(zhǎng)在30～90cm以上的長(zhǎng)的形狀，要將壓力調(diào)節(jié)到實(shí)用的強(qiáng)度，就必須在涂刷器支撐桿95的兩端施加均等的壓力以便不使涂刷器6產(chǎn)生彎曲或扭彎。對(duì)此，優(yōu)選機(jī)械地連接一對(duì)連接部件9。
例如，將一對(duì)扇形齒輪91分別固定在托架38的一對(duì)支撐片35上，將與各扇形齒輪91咬合的行星齒輪92相對(duì)于各連接部件9的適當(dāng)?shù)胤叫D(zhuǎn)自如地安裝，附加將這一對(duì)行星齒輪92用連接軸93連接起來(lái)而成的連動(dòng)機(jī)構(gòu)。這樣，使一邊的連接部件9繞一個(gè)支撐軸34旋轉(zhuǎn)的力被一個(gè)連接部件9側(cè)的各齒輪91、92變換成使連接軸93旋轉(zhuǎn)的力矩，該力矩被另一個(gè)連接部件9側(cè)的各齒輪91、92變換成使另一個(gè)連接部件9繞另一個(gè)支撐軸34旋轉(zhuǎn)的力。
另外，圖示的是在一個(gè)滾輪3內(nèi)安裝1個(gè)旋轉(zhuǎn)機(jī)50的例子，但也可以在一個(gè)滾輪3內(nèi)安裝2個(gè)旋轉(zhuǎn)機(jī)以及與各旋轉(zhuǎn)機(jī)的轉(zhuǎn)子52連接的2個(gè)減速機(jī)8，獨(dú)立驅(qū)動(dòng)一對(duì)支撐軸34。該場(chǎng)合，2個(gè)旋轉(zhuǎn)機(jī)50由于能夠使用于驅(qū)動(dòng)各旋轉(zhuǎn)機(jī)的驅(qū)動(dòng)電路同期，所以不需要上述連動(dòng)機(jī)構(gòu)。另外，也可以從旋轉(zhuǎn)機(jī)50的轉(zhuǎn)子52的兩端引導(dǎo)出輸出，將各減速機(jī)8分別連接到轉(zhuǎn)子52的兩端，將一對(duì)支撐軸34分別連接到這兩個(gè)減速機(jī)上。
另外，如上所述，在移動(dòng)機(jī)構(gòu)4是將球型螺母40安裝在托架38上，另一方面，以配置在滾輪3的外部的電機(jī)等驅(qū)動(dòng)源使與球型螺母40螺合的進(jìn)給絲桿41旋轉(zhuǎn)的裝置的場(chǎng)合，能夠省略上述小齒輪10和齒條11。另外，孔版1由于在印刷裝置E1的構(gòu)成以及使用時(shí)不是必須的要素，所以也可以省略。
實(shí)施例2其次，基于圖6至圖9對(duì)組裝進(jìn)了上述印刷裝置E1(印刷頭)的電子部件的制造裝置E2進(jìn)行說(shuō)明。另外，上述印刷裝置E1的移動(dòng)機(jī)構(gòu)4并不限定于以安裝在滾輪3內(nèi)的旋轉(zhuǎn)機(jī)50為主體的結(jié)構(gòu)，也可以是如前所述通過(guò)利用設(shè)在滾輪3外部的驅(qū)動(dòng)源旋轉(zhuǎn)的球型螺母等使?jié)L輪3移動(dòng)。圖6(a)是制造裝置E2的正視圖，圖7是其主要部分的正視圖。圖8以及圖9是各制造裝置E2的側(cè)視圖以及俯視圖。如這些附圖所示，制造裝置E2具備收放印刷裝置E1以及孔版1的上部密封室13；收放校準(zhǔn)臺(tái)12的下部密封室14；后述的壓差產(chǎn)生機(jī)構(gòu)15。
校準(zhǔn)臺(tái)12能夠使工件2的一面101朝上以水平姿勢(shì)定位。具體地說(shuō)，使工件2以水平姿勢(shì)沿水平面滑動(dòng)，并且在使工件2保持水平姿勢(shì)的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)。并且，能夠使這樣定位了的工件2的位置能夠在校準(zhǔn)臺(tái)12上以箭頭Z所指的高度方向變位。在以下將此簡(jiǎn)稱為‘高度調(diào)整’。
上部密封室13通過(guò)挖入由鋁或鋼制的方塊組成的底座230的上面形成上述印刷裝置E1以及孔版1可以動(dòng)作的凹部231以及下部密封室14，設(shè)有安裝在能夠在下部密封室14上開關(guān)的框體18的孔版1(參照?qǐng)D13)。在凹部231的底面，敷設(shè)上述的一對(duì)導(dǎo)軌37，在從該底面抬起的位置設(shè)置一對(duì)齒條11。另外，在凹部231的底面形成有插通孔234，在下部密封室14內(nèi)的校準(zhǔn)臺(tái)12上經(jīng)由插通孔234連接有配置在底座230下方的調(diào)整機(jī)構(gòu)121。
調(diào)整機(jī)構(gòu)121除了對(duì)校準(zhǔn)臺(tái)12的高度進(jìn)行調(diào)整，還在水平方向?qū)π?zhǔn)臺(tái)12的位置進(jìn)行微調(diào)。底座230將調(diào)整機(jī)構(gòu)121和壓差產(chǎn)生機(jī)構(gòu)15支撐在收放在內(nèi)側(cè)的臺(tái)架232上。校準(zhǔn)臺(tái)12和插通孔234之間被O圈等密封。在底座230的上面安裝有可開關(guān)的丙烯樹脂制的蓋體233，以形成上部密封室13。蓋體233具有可以承受其內(nèi)部真空度達(dá)到50Pas～100Pas的剛性。
壓差產(chǎn)生機(jī)構(gòu)15以利用后述的孔版1使上部密封室13和下部密封室14相互隔開的狀態(tài)，在上部密封室13和下部密封室14之間產(chǎn)生壓差。例如，壓差產(chǎn)生機(jī)構(gòu)15具備與上部密封室13和下部密封室14兩者連接的1個(gè)真空泵151；分別與上部密封室13和下部密封室14連接的2個(gè)放氣閥152、153。并且，如圖6(b)的配管系統(tǒng)圖所示，在上部密封室13和下部密封室14與真空泵151之間，在上部密封室13設(shè)有放氣閥152以及停止閥155，在下部密封室14連接有放氣閥153以及停止閥154，通過(guò)組合這些閥的操作，能夠在上部密封室13以及/或者下部密封室14自由地產(chǎn)生真空，能夠進(jìn)行可塑性材料的切斷和分配。
實(shí)施例3其次，對(duì)在定位于上述校準(zhǔn)臺(tái)12上的線路板2上擠壓填充進(jìn)了適量的可塑性材料的電子部件的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。另外，對(duì)以該方法可以處理的可塑性材料來(lái)說(shuō)，至少含有混入了填充劑的環(huán)氧樹脂等液狀樹脂(密封用)、將環(huán)氧樹脂作為粘接劑在銅或銀的含有率在80％以上的導(dǎo)電膠/環(huán)氧樹脂中混入了銅或硅凝膠等填充劑的非導(dǎo)電膠(填孔用)、焊錫膏(突起形成用)、以及聚酰亞胺樹脂/液狀光刻膠(工件絕緣用)。
首先，如圖10以及圖11所示，在校準(zhǔn)臺(tái)12上對(duì)線路板2進(jìn)行定位，線路板2的定位是通過(guò)設(shè)在校準(zhǔn)臺(tái)12上的圖中未表示出的定位栓來(lái)進(jìn)行的。在該狀態(tài)下，線路板2放置的氛圍是大氣壓還是真空都沒(méi)有特別關(guān)系。另外，也可以使孔版1與線路板2重合。在線路板2的一面21的地方用薄膜等預(yù)先平鋪上幾層(覆蓋)的場(chǎng)合不需要孔版1，但在以下對(duì)應(yīng)用具有貫穿一面101以及另一面102的通孔圖案(開口部)103的孔版的例子進(jìn)行說(shuō)明。
接著，如圖9所表示的那樣，讓滾輪3在孔版1附近等待。在該狀態(tài)下，如圖11(a)所示，對(duì)滾輪3的圓周面32或孔版1的一面101供給可塑性材料m。然后，使?jié)L輪3的圓周面32逐漸接近孔版1的一面101，使?jié)L輪3沿孔版1的一面101往動(dòng)的同時(shí)，通過(guò)旋轉(zhuǎn)機(jī)50使?jié)L輪3在相對(duì)于滾輪3移動(dòng)的移動(dòng)方向Y前轉(zhuǎn)的方向旋轉(zhuǎn)。這樣，附著在滾輪3的圓周面32上的可塑性材料m就被壓入往動(dòng)的滾輪3和孔版1之間。
在該過(guò)程中，安裝在滾輪3內(nèi)的旋轉(zhuǎn)機(jī)50產(chǎn)生的熱量傳導(dǎo)到附著在滾輪3的圓周面32上的可塑性材料m的話，會(huì)有可塑性材料m的粘度受溫度的影響而變化的缺點(diǎn)。對(duì)此，如圖12(a)所示，也可以將滾輪3做成具備收放旋轉(zhuǎn)機(jī)50的轉(zhuǎn)子52(該圖中省略)的內(nèi)殼53，和在內(nèi)殼53的周圍設(shè)置約2mm的空隙54而配置的筒狀外殼55的雙重結(jié)構(gòu)。這樣，旋轉(zhuǎn)機(jī)產(chǎn)生的熱量經(jīng)由滾輪3的圓周面32而傳導(dǎo)到可塑性材料m就被阻止。另外，一旦使旋轉(zhuǎn)機(jī)50的轉(zhuǎn)子52旋轉(zhuǎn)，筒狀外殼55就和內(nèi)殼53一起旋轉(zhuǎn)。該旋轉(zhuǎn)方向?yàn)橄鄬?duì)于滾輪3的整體沿孔版1的上面移動(dòng)的移動(dòng)方向的前轉(zhuǎn)方向。
并且，也可以采用利用真空泵151將空氣引導(dǎo)到空隙54的結(jié)構(gòu)。該場(chǎng)合，如圖12(b)所示，在滾輪3的兩個(gè)端部31形成通過(guò)空隙54的多個(gè)通氣孔57，同時(shí)，分別將空心軸應(yīng)用于滾輪3的一對(duì)支撐軸34，經(jīng)過(guò)這些空心軸的內(nèi)孔58使空隙54與已述的真空泵151連接。一旦啟動(dòng)真空泵151，空氣就從多個(gè)通氣孔57被導(dǎo)向滾輪3的內(nèi)部，并且，該空氣被真空泵151排到滾輪3外。這樣，由于能夠積極地使?jié)L輪3和旋轉(zhuǎn)機(jī)冷卻，所以能夠確實(shí)地穩(wěn)定熱可塑材料m的粘度。另外，最好在不使?jié)L輪3轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，完全斷開被供給旋轉(zhuǎn)機(jī)50的電力以便旋轉(zhuǎn)機(jī)50不釋放多余的熱量。
另外，附著在滾輪3的圓周面32上的可塑性材料m也可以作為在滾輪3的圓周面32上設(shè)置橡膠制的襯里(覆蓋材料)以良好地壓入滾輪3和孔版1之間，促進(jìn)可塑性材料m與滾輪3的粘接。另外，由于橡膠制品其磨損比較快，所以在更換該襯里時(shí)，僅從滾輪3中取出筒狀外殼55這樣的觀點(diǎn)看來(lái)，優(yōu)選將滾輪3做成上述那種雙重結(jié)構(gòu)。
接著，在滾輪3旋轉(zhuǎn)的同時(shí)通過(guò)孔版1的上方的過(guò)程中，涂刷器6因旋轉(zhuǎn)機(jī)50使?jié)L輪3旋轉(zhuǎn)的力矩的反作用力而被按壓到孔版1的一面101上。為此，在如上那樣被擠入往動(dòng)的滾輪3和孔版1之間的可塑性材料m相對(duì)于滾輪3的往動(dòng)方向跑向后方就被涂刷器6所規(guī)制。因此，在往動(dòng)的滾輪3和孔版1之間適度地加壓的同時(shí)，被供給通孔圖案103內(nèi)(加壓供給)。這樣，可塑性材料m就牢固地被擠壓填充到線路板2的一面21。如上那樣，可塑性材料m被加壓的程度能夠根據(jù)可塑性材料m的粘度等，通過(guò)上述壓力的調(diào)整、以及涂刷器6的移動(dòng)速度、涂刷器6的角度、樹脂的接觸長(zhǎng)度、以及滾輪3的旋轉(zhuǎn)速度的設(shè)定/調(diào)整來(lái)設(shè)定成所需的值。
另外，在省略孔版1的場(chǎng)合，也可以使涂刷器6直接接觸線路板2的一面21，在上述按壓板或按壓框上開很大的印刷區(qū)域的開口，不殘留基板上的樹脂，起到交接的作用。另外，涂刷器6也可以做成圖11所示的那種上下對(duì)稱的形狀使得與滾輪3的往動(dòng)或返動(dòng)無(wú)關(guān)，能夠達(dá)成均勻的效果，但也可以將兩個(gè)邊緣部(在圖中的上下部)的形狀做成非對(duì)稱。該場(chǎng)合，在滾輪3往動(dòng)或返動(dòng)時(shí)，在往動(dòng)側(cè)，由擠壓填充可塑性材料m用來(lái)設(shè)定涂刷器6的角度和接觸長(zhǎng)度，在返動(dòng)側(cè)，由把可塑性材料m表面做成平坦的或凸?fàn)畹膩?lái)決定角度和長(zhǎng)度。
實(shí)施例4其次，對(duì)電子部件的其他制造方法進(jìn)行說(shuō)明。首先，如圖13所示，在底座230中與校準(zhǔn)臺(tái)12的正上方對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置框體18，在框體18上以水平姿勢(shì)對(duì)孔版1進(jìn)行定位。另一方面，以上述要領(lǐng)在校準(zhǔn)臺(tái)12上對(duì)線路板2以水平姿勢(shì)進(jìn)行定位。通過(guò)適當(dāng)?shù)貙?duì)該線路板2進(jìn)行高度調(diào)整，使線路板2的一面21接近孔版1的另一面102。
接著，應(yīng)用作為實(shí)施例3敘述的方法，利用真空泵151使上部密封室13和下部密封室14同時(shí)處于真空狀態(tài)。在該過(guò)程，能夠?qū)伤苄圆牧蟤完全排出(脫泡)在大氣壓下潛在的氣泡。通過(guò)將可塑性材料m加壓供給孔版1的通孔圖案103，將可塑性材料m擠壓填充給線路板2。并且，使上述壓差產(chǎn)生機(jī)構(gòu)15啟動(dòng)而在利用孔版1隔開的上部密封室13和下部密封室14之間產(chǎn)生壓差。
然后，關(guān)閉在圖6(b)的配管系統(tǒng)圖所示的停止閥155，打開放氣閥152的話，上部密封室13的壓力上升。這樣，使可塑性材料m從孔版1的通孔圖案103向下方擠壓出。并且，使校準(zhǔn)臺(tái)12稍微下降的話，如圖13所示，可塑性材料m就不殘留在通孔圖案103上，良好地復(fù)制到線路板2上。然后，使上部密封室13和下部密封室14返回大氣壓，如圖8所示那樣打開蓋體233，并且打開框體18以及孔版1，從制造裝置E2中取出線路板2的話，就結(jié)束了一連串的制造工程。
實(shí)施例5其次，對(duì)電子部件的其他制造方法進(jìn)行說(shuō)明。如圖14所示，在框體18上對(duì)孔版1進(jìn)行定位，有關(guān)在校準(zhǔn)臺(tái)12上對(duì)線路板2進(jìn)行定位之點(diǎn)與實(shí)施例4相同。并且，通過(guò)適當(dāng)?shù)貙?duì)線路板2進(jìn)行高度調(diào)整，使線路板2的一面21接近孔版1的另一面102，利用真空泵151使上部密封室13和下部密封室14同時(shí)處于真空狀態(tài)，將可塑性材料m擠壓填充到線路板2上這點(diǎn)也與實(shí)施例4相同。
接著，隔開孔版1產(chǎn)生壓差。關(guān)閉圖6(b)的配管系統(tǒng)圖所示的停止閥154，稍稍打開放氣閥153的話，由于下部密封室14的內(nèi)壓上升，孔版1的另一面102側(cè)的氣壓比一面101側(cè)更高。這樣，由于使可塑性材料m和通孔圖案103的周圍邊緣之間下部密封室14的少量空氣向上方飄散，所以可塑性材料m從通孔圖案103的周圍邊緣被良好地切斷。在孔版1的剛性高、空氣被阻止進(jìn)入孔版1和線路板2之間的場(chǎng)合，通過(guò)對(duì)校準(zhǔn)臺(tái)12的高度進(jìn)行調(diào)整，使線路板2向孔版1的下方離開，使線路板2與孔版1之間的間隙變寬也可以。
另外，實(shí)施例4、5所述的上部密封室13和下部密封室14不一定需要在真空中，孔版1的一面101側(cè)的氣壓，或另一面102側(cè)的氣壓的至少一方為大氣壓也可以。另外，可塑性材料m為對(duì)線路板2進(jìn)行絕緣密封的合成樹脂也可以?；蛘?，可塑性材料m為形成焊錫突起的焊錫膏也可以。
本發(fā)明能夠應(yīng)用于在工件上表面安裝的電子部件的樹脂密封、在工件的焊錫突起的形成，線路板的填孔、線路板的樹脂涂層、顯示器領(lǐng)域的各種制造工程等。
權(quán)利要求
1.一種電子部件的印刷裝置，是在使一面朝上來(lái)水平定位的工件中擠壓填入可塑性材料的電子部件的印刷裝置，其特征在于，具備在所述工件的附近使在軸向的端部被支撐、使圓周面接近所述工件的一面的滾輪；使該滾輪沿所述工件的一面移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)；使所述滾輪相對(duì)于該移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)所述滾輪的移動(dòng)方向在向前旋轉(zhuǎn)的方向旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；接近或接觸所述滾輪來(lái)按壓所述工件的一面的涂刷器。
2.一種電子部件的印刷裝置，是在使一面朝上來(lái)水平定位的工件中擠壓填入可塑性材料的電子部件的印刷裝置，其特征在于，具備在所述工件的附近使在軸向的端部被支撐、使圓周面接近所述工件的一面的滾輪；使該滾輪沿所述工件的一面移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)；使所述滾輪相對(duì)于該移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)所述滾輪的移動(dòng)方向在向前旋轉(zhuǎn)的方向旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；接近或接觸所述滾輪并被支撐著可以沿所述滾輪的圓周面旋轉(zhuǎn)的涂刷器；利用所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使所述滾輪旋轉(zhuǎn)的力矩的反作用力將所述涂刷器按壓到所述工件的一面的附加壓力產(chǎn)生機(jī)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電子部件的印刷裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)具備安裝在所述滾輪內(nèi)、具有可以相對(duì)旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子和定子的旋轉(zhuǎn)機(jī)；向所述滾輪的軸向延伸并貫穿所述滾輪的兩端使前端向所述滾輪的外部突出的支撐軸；使所述旋轉(zhuǎn)機(jī)的轉(zhuǎn)子連接到該支撐軸上的減速機(jī)；從所述支撐軸的前端附近向所述滾輪的徑向延伸出來(lái)并支撐所述涂刷器的連接部件，使所述涂刷器受到驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的反作用力的同時(shí)，用所述減速機(jī)使所述轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)減速并傳遞到所述支撐軸。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電子部件的印刷裝置，其特征在于，所述滾輪具備收放所述旋轉(zhuǎn)機(jī)的內(nèi)殼；配置在該內(nèi)殼周圍并且用橡膠做襯里的筒狀外殼，在所述內(nèi)殼和所述筒狀外殼之間設(shè)有用于引導(dǎo)空氣的空隙。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的電子部件的印刷裝置，其特征在于，所述支撐軸由一端被真空抽引、另一端連通所述滾輪內(nèi)的空心軸組成，通過(guò)使所述滾輪內(nèi)的空氣介由所述支撐軸進(jìn)行真空抽引來(lái)強(qiáng)制冷卻所述滾輪。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任何一項(xiàng)所述的電子部件的印刷裝置，其特征在于，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)具備直徑小于結(jié)合在所述滾輪的端部的滾輪直徑的小齒輪；敷設(shè)在所述工件側(cè)面、向所述移動(dòng)方向延伸的齒條；具有在所述滾輪的內(nèi)部可以旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)機(jī)，通過(guò)使所述齒條與所述小齒輪咬合，伴隨所述旋轉(zhuǎn)機(jī)的轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)使所述小齒輪與所述滾輪同時(shí)旋轉(zhuǎn)，來(lái)使所述滾輪向所述移動(dòng)方向移動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至5任何一項(xiàng)所述的電子部件的印刷裝置，其特征在于，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)設(shè)在所述滾輪外部的驅(qū)動(dòng)源使支撐所述滾輪自由旋轉(zhuǎn)的托架向所述移動(dòng)方向移動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7任何一項(xiàng)所述的電子部件的印刷裝置，其特征在于，使具有使所述可塑性材料通過(guò)的通孔圖案的孔版與所述工件的一面重合。
9.一種電子部件的制造裝置，其特征在于，具備上部密封室，其收放將可塑性材料擠壓填充進(jìn)具有一面的工件的印刷裝置以及重疊在所述工件的一面上、具有所述可塑材料可以通過(guò)的通孔圖案的孔版；下部密封室，其隔開所述孔版在所述上部密封室內(nèi)被劃分，收放使所述工件可以調(diào)整高度地朝向所述一面來(lái)以水平姿勢(shì)定位的校準(zhǔn)臺(tái)；壓差產(chǎn)生機(jī)構(gòu)，其在所述上部密封室和所述下部密封室之間產(chǎn)生壓差。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電子部件的制造裝置，其特征在于，所述壓差產(chǎn)生機(jī)構(gòu)具備與所述上部密封室和所述下部密封室連接的真空泵；分別與所述上部密封室和所述下部密封室連接的2個(gè)放氣閥；在所述上部密封室以及所述下部密封室和所述真空泵之間開關(guān)的停止閥，所述真空泵真空抽引所述上部密封室和所述下部密封室，在印刷后，通過(guò)所述2個(gè)放氣閥以及停止閥的操作的組合，容許或阻止大氣分別流入所述上部密封室和所述下部密封室。
11.一種電子部件的制造方法，是向水平定位的工件擠壓填充進(jìn)可塑性材料的電子部件的制造方法，其特征在于，包括將具有一面的工件使該面朝上以水平姿勢(shì)定位的步驟；使連接在旋轉(zhuǎn)機(jī)上的滾輪在所述工件的附近以水平姿勢(shì)等待的步驟；通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)使所述滾輪旋轉(zhuǎn)，向該滾輪的圓周面供給所述可塑性材料的步驟；使所述滾輪的圓周面接近所述工件的一面并使所述滾輪沿所述工件的一面移動(dòng)，同時(shí)，利用所述旋轉(zhuǎn)機(jī)使所述滾輪在相對(duì)于所述滾輪移動(dòng)的移動(dòng)方向前轉(zhuǎn)的方向旋轉(zhuǎn)的步驟；將接近或接觸上述滾輪并支撐著可以沿所述滾輪的圓周面旋轉(zhuǎn)的涂刷器按壓向上述工件的一面的步驟。
12.一種電子部件的制造方法，是向水平定位的工件擠壓填充進(jìn)可塑性材料的電子部件的制造方法，其特征在于，包括將具有一面的工件使該面朝上以水平姿勢(shì)定位的步驟；使具有所述可塑性材料可以通過(guò)的通孔圖案的孔版與所述工件的一面重合的步驟；使連接在旋轉(zhuǎn)機(jī)上的滾輪在所述孔版的附近以水平姿勢(shì)等待的步驟；通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)使所述滾輪旋轉(zhuǎn)，向該滾輪的圓周面供給所述可塑性材料的步驟；使所述滾輪的圓周面接近所述孔版的上面并使所述滾輪沿所述孔版的上面移動(dòng)，同時(shí)，通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)使所述滾輪在相對(duì)于所述滾輪移動(dòng)的移動(dòng)方向前轉(zhuǎn)的方向旋轉(zhuǎn)的步驟；接近或接觸所述滾輪并將沿所述滾輪的圓周面被支撐的涂刷器按壓向所述孔版的步驟。
13.一種電子部件的制造方法，是向水平定位的工件擠壓填充進(jìn)可塑性材料的電子部件的制造方法，其特征在于，包括將具有一面的工件使該面朝上以水平位置定位的步驟；使內(nèi)部安裝了轉(zhuǎn)子繞定子旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)的滾輪在所述工件的附近以水平姿勢(shì)等待的步驟；通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)使所述滾輪旋轉(zhuǎn)，向該滾輪的圓周面供給所述可塑性材料的步驟；使所述滾輪的圓周面接近所述工件的一面并使所述滾輪沿所述工件的一面移動(dòng)，同時(shí)，通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)使所述滾輪在相對(duì)于所述滾輪移動(dòng)的移動(dòng)方向前轉(zhuǎn)的方向旋轉(zhuǎn)的步驟；利用所述旋轉(zhuǎn)機(jī)使所述滾輪旋轉(zhuǎn)的力矩的反作用力將接近或接觸所述滾輪并沿所述滾輪的圓周面被支撐的涂刷器按壓向所述工件的一面的步驟。
14.一種電子部件的制造方法，是向水平定位的工件擠壓填充進(jìn)可塑性材料的電子部件的制造方法，其特征在于，包括將具有一面的工件使該面朝上以水平姿勢(shì)定位的步驟；使具有所述可塑性材料可以通過(guò)的通孔圖案的孔版與所述工件的一面重合的步驟；使內(nèi)部安裝了轉(zhuǎn)子繞定子旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)的滾輪在所述工件的附近以水平姿勢(shì)等待的步驟；通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)使所述滾輪旋轉(zhuǎn)，向該滾輪的圓周面供給所述可塑性材料的步驟；使所述滾輪的圓周面接近所述孔版的上面并使所述滾輪沿所述孔版的上面移動(dòng)，同時(shí)，通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)使所述滾輪在相對(duì)于所述滾輪移動(dòng)的移動(dòng)方向前轉(zhuǎn)的方向旋轉(zhuǎn)的步驟；利用所述旋轉(zhuǎn)機(jī)使所述滾輪旋轉(zhuǎn)的力矩的反作用力將接近或接觸所述滾輪并支撐著可以沿所述滾輪的圓周面旋轉(zhuǎn)的涂刷器按壓到所述孔版上的步驟。
15.根據(jù)權(quán)利要求11、12、13或14所述的電子部件的制造方法，其特征在于，包括在大氣壓中對(duì)所述工件進(jìn)行定位的步驟。
16.根據(jù)權(quán)利要求11、12、13或14所述的電子部件的制造方法，其特征在于，包括在真空中對(duì)所述工件進(jìn)行定位的步驟。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的電子部件的制造方法，其特征在于，在所述滾輪上附著有剩余的可塑性材料并接觸真空的同時(shí)循環(huán)，進(jìn)行強(qiáng)力的脫泡。
18.根據(jù)權(quán)利要求11、12、13或14所述的電子部件的制造方法，其特征在于，連續(xù)組合在大氣壓中對(duì)所述工件進(jìn)行定位的步驟和在真空中對(duì)所述工件進(jìn)行定位的步驟。
19.一種電子部件的制造方法，其特征在于，包括使具有貫穿上面以及下面的通孔圖案的孔版與以水平姿勢(shì)被定位的工件重合，使所述孔版的下面接近所述工件的步驟；通過(guò)將可塑性材料加壓供給所述孔版的通孔圖案，向所述工件擠壓填充所述可塑性材料的步驟；隔開所述孔版產(chǎn)生壓差使所述孔版上面一側(cè)的氣壓比所述下面一側(cè)的氣壓更高的步驟。
20.一種電子部件的制造方法，其特征在于，包括使工件以水平姿勢(shì)定位于高度可調(diào)整的校準(zhǔn)臺(tái)上的步驟；在定位于所述校準(zhǔn)臺(tái)上的所述工件的上方以水平姿勢(shì)支撐具有貫穿上面以及下面的通孔圖案的孔版的步驟；通過(guò)進(jìn)行所述校準(zhǔn)臺(tái)的高度調(diào)整使所述孔版的下面接近所述工件的步驟；通過(guò)將可塑性材料加壓供給所述孔版的通孔圖案，將所述可塑性材料擠壓填充到所述工件的步驟；隔開所述孔版產(chǎn)生壓差使所述孔版下面一側(cè)的氣壓比所述上面一側(cè)的氣壓更高的步驟。
21.根據(jù)權(quán)利要求19或20所述的電子部件的制造方法，其特征在于，包括通過(guò)進(jìn)行所述校準(zhǔn)臺(tái)的高度調(diào)整使所述工件離開所述孔版的下方的步驟。
22.根據(jù)權(quán)利要求19、20或21所述的電子部件的制造方法，其特征在于，將所述孔版的上面一側(cè)的氣壓、或者所述下面一側(cè)的氣壓的至少一方設(shè)定成大氣壓或真空壓。
23.根據(jù)權(quán)利要求12、14、16、17、18、20或21所述的電子部件的制造方法，其特征在于，所述可塑性材料是絕緣密封所述工件的樹脂。
24.根據(jù)權(quán)利要求11、12、13、14、15、16、17、18、19或21所述的電子部件的制造方法，其特征在于，所述可塑性材料是形成焊錫突起的焊錫膏。
25.根據(jù)權(quán)利要求11、12、13、14、16、17、或18所述的電子部件的制造方法，其特征在于，所述可塑性材料是填充晶圓以及樹脂基板上的孔的導(dǎo)電膠或非導(dǎo)電膠，在通孔的背面平面狀層疊膠帶使通孔變成盲孔，對(duì)相同直徑或不同直徑的孔一起進(jìn)行真空填充，形成凸?fàn)畹闹不虬胗不?，再剝離背面的膠帶。
26.一種電子部件的制造方法，其特征在于，在權(quán)利要求25所述的電子部件的制造方法中，包括在真空下擠壓填充所述可塑性材料的步驟；在所述可塑性材料硬化后在真空下或大氣壓下或真空填充后再大氣填充所述可塑性材料的步驟。
全文摘要
本發(fā)明提供適合于精密電子部件制造的電子部件的印刷裝置、制造裝置、以及制造方法。該方法在旋轉(zhuǎn)機(jī)上安裝涂刷器，自轉(zhuǎn)、自行并且在涂刷器上產(chǎn)生附加壓力，強(qiáng)力地填充樹脂，實(shí)現(xiàn)精密形狀的印刷。還有，以孔版為界設(shè)置上下室，通過(guò)控制壓力來(lái)實(shí)現(xiàn)進(jìn)行樹脂的切斷或分配的精密形狀的印刷。將該方法應(yīng)用于電子部件的封裝。印刷裝置(E1)具備圓周面(32)接近線路板(2)的一個(gè)面(21)的滾輪(3)；使?jié)L輪(3)水平移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)(4)；移動(dòng)機(jī)構(gòu)(4)使?jié)L輪(3)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(5)；被支撐著可以沿著滾輪(3)的圓周面(32)旋轉(zhuǎn)的涂刷器(6)；以滾輪(3)的旋轉(zhuǎn)反作用力將涂刷器(6)按壓到線路板2上的附加壓力產(chǎn)生機(jī)構(gòu)(7)。
文檔編號(hào)B41F15/08GK1695940SQ200510002179
公開日2005年11月16日 申請(qǐng)日期2005年1月14日 優(yōu)先權(quán)日2004年1月14日
發(fā)明者神原健二 申請(qǐng)人:東海商事株式會(huì)社