專(zhuān)利名稱(chēng)：噴墨涂敷裝置及噴墨頭的清潔方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種具有對(duì)噴墨頭的噴嘴面進(jìn)行清掃的噴墨頭的噴嘴面清潔裝置的噴墨涂敷裝置及噴墨頭的清潔方法。
(2)背景技術(shù)現(xiàn)有技術(shù)中，在利用噴墨頭方式向基板的表面涂敷用于形成抗蝕膜或定向膜等功能性薄膜的溶液的噴墨頭中，作為對(duì)該噴墨頭的噴嘴面進(jìn)行清潔的技術(shù)，有一邊將硅酮橡膠構(gòu)成的彈性體刮板推壓到噴墨頭的噴嘴面上一邊刮下剩余涂敷液的技術(shù)等。
另外，在日本專(zhuān)利特開(kāi)平6-115083號(hào)公報(bào)(專(zhuān)利文獻(xiàn)1)中揭示了一種在彈性刮板本身上設(shè)置空氣吸引用通孔，將粘附在彈性刮板上的剩余油墨利用吸引泵進(jìn)行吸引的技術(shù)。
現(xiàn)有技術(shù)存在以下的問(wèn)題。
利用上述彈性體刮板的技術(shù)中，因?yàn)閲娔^的噴嘴面與彈性體刮板的摩擦而使彈性體刮板被切削，有可能產(chǎn)生彈性體粉。一旦所產(chǎn)生的彈性體粉進(jìn)入噴嘴或粘附在噴嘴面上，則會(huì)導(dǎo)致彈性體粉混入溶液中，有損在基板上形成的功能性薄膜的質(zhì)量。
而且，有時(shí)會(huì)因彈性體刮板的劣化等而使刮除操作不充分。另外，彈性體刮板本身所粘附的剩余涂敷液難以除去，有時(shí)刮下的剩余溶液會(huì)再次粘附到噴墨頭的噴嘴面上。
在后者的技術(shù)中，有時(shí)不能得到充分的剩余涂敷液的吸引效果。
(3)發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提高對(duì)噴墨頭的噴嘴面的剩余排出液的擦拭性能、提高溶液的涂敷質(zhì)量。
本發(fā)明的噴墨涂敷裝置，包括具有將溶液以噴墨方式向基板進(jìn)行噴涂的多個(gè)噴嘴的噴頭，還包括吸水性的清掃體；將該清掃體推壓到噴頭的噴嘴面上的推壓機(jī)構(gòu)。
本發(fā)明的噴墨頭的清潔方法，對(duì)具有將溶液以噴墨方式向基板進(jìn)行噴涂的多個(gè)噴嘴的噴頭進(jìn)行清掃，通過(guò)將吸水性的清掃體推壓到噴頭的噴嘴面上來(lái)對(duì)噴頭的噴嘴面進(jìn)行清掃。
采用本發(fā)明的話(huà)，與現(xiàn)有技術(shù)的利用彈性體刮板進(jìn)行刮液的技術(shù)不同，因?yàn)槭菍⒕哂形缘那鍜唧w推壓到噴頭的噴嘴面上而將剩余的涂敷溶液吸去，因而可盡可能地防止與噴頭的噴嘴面之間的摩擦，提高噴嘴面的擦拭性能，提高溶液的涂敷質(zhì)量。
(4)


圖1是表示省略了清潔裝置的噴墨頭涂敷裝置的主視圖。
圖2是表示省略了清潔裝置的噴墨頭涂敷裝置的側(cè)視圖。
圖3是噴墨頭的橫向剖視圖。
圖4是噴墨頭的仰視圖。
圖5是表示噴墨頭的噴嘴面清潔裝置的模式圖，圖5(A)表示滑架的待機(jī)位置，圖5(B)表示滑架的擦拭行程端位置。
圖6是示意性地表示噴墨頭的噴嘴面清潔裝置的左側(cè)面的圖。
(5)具體實(shí)施方式

圖1至圖6所示的噴墨涂敷裝置10具有大致長(zhǎng)方體狀的基座1。在該基座1的下表面的規(guī)定位置分別設(shè)有腳2，將上述基座1水平地予以支承。
在上述基座1的上表面上設(shè)有安裝板3。在安裝板3上沿長(zhǎng)度方向分別設(shè)有導(dǎo)軌4。大致矩形板狀的搬運(yùn)臺(tái)5通過(guò)分別平行地設(shè)置在其下表面兩側(cè)的滑動(dòng)構(gòu)件6可滑動(dòng)地支承在這些導(dǎo)軌4的上表面?zhèn)取?br> 上述搬運(yùn)臺(tái)5上連接有未圖示的驅(qū)動(dòng)裝置，通過(guò)使該驅(qū)動(dòng)裝置工作，可使上述搬運(yùn)臺(tái)5沿上述導(dǎo)軌4移動(dòng)。
通過(guò)靜電卡盤(pán)或吸附卡盤(pán)等保持構(gòu)件將玻璃基板或半導(dǎo)體晶片等基板W可裝卸地保持在上述搬運(yùn)臺(tái)5的上表面上。即，基板W通過(guò)保持在上述搬運(yùn)臺(tái)5的上表面上，就可沿上述基座1的長(zhǎng)度方向進(jìn)行搬運(yùn)。
在上述基座1的長(zhǎng)度方向中途部立設(shè)有橫跨上述一對(duì)導(dǎo)軌4的門(mén)型支承體7。在該支承體7的上側(cè)水平地架設(shè)有由方柱構(gòu)成的安裝構(gòu)件8，多個(gè)(本實(shí)施例中為6個(gè))噴墨方式的噴頭9沿與上述基板W的搬運(yùn)方向正交的寬度方向并列設(shè)置在該安裝構(gòu)件8的前表面上。這多個(gè)噴頭9構(gòu)成的長(zhǎng)度尺寸與基板W的寬度尺寸大致相同或設(shè)定得稍長(zhǎng)，所搬運(yùn)的基板W整體從上述噴頭9的下方通過(guò)。
在此，如圖3和圖4所示，上述各噴頭9具有噴頭本體51。噴頭本體51具有從上面?zhèn)扰c下面?zhèn)冗B通的開(kāi)口部52，其下面開(kāi)口由可撓板53封閉。該可撓板53被噴嘴板54覆蓋，由此，在該噴頭本體51的下面?zhèn)?，可撓?3與噴嘴板54之間形成多個(gè)液室55。
液室55分別通過(guò)未圖示的支管與形成于噴嘴板54內(nèi)的主管54A連通，從主管54A通過(guò)支管供給溶液。主管54A的一端與后述的供給孔57連接，另一端與后述的回收孔59連接。
在上述噴頭本體51的長(zhǎng)度方向一端部形成有與該液室55連通的供給孔57。
從該供給孔57向上述液室55供給例如用于形成定向膜或抗蝕膜等功能性薄膜的溶液。由此，該液室55內(nèi)充滿(mǎn)溶液。
如圖4所示，多個(gè)噴嘴56在與噴頭本體51的長(zhǎng)度方向正交的寬度方向的大致中心部、即沿與基板W的搬運(yùn)方向正交的方向以交錯(cuò)狀地穿設(shè)在上述噴嘴板54上，噴嘴板54的下表面呈平板的形狀，形成開(kāi)設(shè)有多個(gè)噴嘴56的噴嘴面20。
如圖3所示，在上述可撓板53的上表面的與上述各噴嘴56相向的位置分別固接有壓電元件58。
液室55也與各噴嘴56一對(duì)一地對(duì)應(yīng)設(shè)置。
驅(qū)動(dòng)電壓通過(guò)設(shè)于上述開(kāi)口部52內(nèi)的驅(qū)動(dòng)部60供給各壓電元件58。由此，溶液從與被驅(qū)動(dòng)的壓電元件58對(duì)應(yīng)的噴嘴56排出，可將溶液向所搬運(yùn)的基板W的上表面進(jìn)行噴涂。
如圖3所示，在上述噴頭本體51的長(zhǎng)度方向另一端部形成有與上述液室55連通的回收孔59。供給上述液室55的溶液通過(guò)該回收孔59回收。即，上述各噴頭9不僅使供給至上述液室55的溶液從各噴嘴56進(jìn)行噴射，而且使該溶液在上述液室55內(nèi)循環(huán)，可由上述回收孔59進(jìn)行回收。
如圖5、圖6所示，噴墨涂敷裝置10具有噴墨頭的噴嘴面清潔裝置19。噴嘴面清潔裝置19如下所述包括搬運(yùn)機(jī)構(gòu)13，搬運(yùn)對(duì)粘附在上述多個(gè)噴頭9的噴嘴面20上的溶液進(jìn)行擦拭的帶狀抹布(清掃體)12；將抹布12推壓到噴頭9的噴嘴面20上的推壓機(jī)構(gòu)41。
(搬運(yùn)機(jī)構(gòu)13)帶狀的抹布(清掃體)12的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)13包括送出抹布12的供給卷筒14；卷起抹布12的卷起卷筒15；將張?jiān)O(shè)在供給卷筒14與卷起卷筒15之間的抹布放出至上述多個(gè)噴頭9的噴嘴面20的相向位置的放出機(jī)構(gòu)16。
如圖1所示，上述多個(gè)(本實(shí)施例中為6個(gè))噴頭9在與基板W的搬運(yùn)方向正交的寬度方向上并列設(shè)置在支承體7的安裝構(gòu)件8的前表面上，多個(gè)噴頭9的噴嘴面20的高度相同，多個(gè)噴頭9的噴嘴面20位于同一水平面上。
如圖5、圖6所示，一對(duì)卷筒14、15在上下方向分開(kāi)地設(shè)置在多個(gè)噴頭9的寬度方向的一側(cè)(圖中左側(cè))。如圖6所示，一對(duì)卷筒14、15設(shè)置在支承板11上，該支承板11安裝在上述門(mén)型支承體7的一側(cè)的立柱7A的前表面上，一對(duì)卷筒14、15的旋轉(zhuǎn)中心軸配置成與基板W的搬運(yùn)方向平行。卷筒狀的抹布12的起始端固定在下方的卷筒(供給卷筒14)上，上述卷筒狀的抹布12的終端部固定在上方的卷筒(卷起卷筒15)上。抹布12由產(chǎn)生塵粒少且具有吸水性的帶狀構(gòu)件、例如聚酯纖維構(gòu)成。
如圖6所示，下方的供給卷筒14和上方的卷起卷筒15分別具有驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)17、18，在供給卷筒14與驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)17之間夾設(shè)有磁滯式離合器22，在卷起卷筒15與驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)8之間夾設(shè)有磁滯式離合器23，驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)17、18的轉(zhuǎn)矩通過(guò)磁滯式離合器22、23傳遞。從上述噴頭9的前方側(cè)(圖5的紙面上方側(cè))看，供給卷筒14和卷起卷筒15分別朝逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)，通過(guò)該旋轉(zhuǎn)，供給卷筒14送出抹布12，卷起卷筒15卷起抹布12。
也可將2個(gè)供給卷筒14安裝在支承體11上，當(dāng)一個(gè)供給卷筒14的抹布12用完后自動(dòng)地切換到未使用的另一個(gè)供給卷筒14。同樣，也可將2個(gè)卷起卷筒15安裝在支承體11上，當(dāng)一個(gè)卷起卷筒15卷滿(mǎn)了抹布12時(shí)自動(dòng)地切換到空的另一個(gè)卷起卷筒15。
如此構(gòu)成的話(huà)，則從更換后的新的供給卷筒14開(kāi)始供給抹布12后，可將用完了抹布12的供給卷筒14及卷滿(mǎn)了抹布12的卷起卷筒15更換為未使用的供給卷筒14及空的卷起卷筒15，不用中斷抹布12對(duì)噴頭9的清掃就可更換供給卷筒14及卷起卷筒15。
在從供給卷筒14至卷起卷筒15的抹布12的搬運(yùn)路徑上設(shè)有放出輥24、后述的引導(dǎo)輥36及導(dǎo)向輥40，抹布12張?jiān)O(shè)在這些輥24、36、40上，從供給卷筒14向卷起卷筒15搬運(yùn)。
在放出輥24上并設(shè)有壓緊輥25，抹布12被夾在放出輥24與壓緊輥25之間。放出輥24具有驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)(未圖示)，將抹布12從供給輥14放出，壓緊輥25用于防止驅(qū)動(dòng)滑動(dòng)。不過(guò)，也可僅設(shè)置不具有驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)的單純的導(dǎo)向輥來(lái)代替該放出輥24和壓緊輥25。
在上述多個(gè)噴頭9的上側(cè)設(shè)有上述放出機(jī)構(gòu)16，將上述抹布12從上述供給卷筒14放出至與上述多個(gè)噴頭9的噴嘴面20相向的前表面。
放出機(jī)構(gòu)16包括滑架35；使該滑架35在與基板W的搬運(yùn)方向正交的寬度方向上前進(jìn)、后退的驅(qū)動(dòng)裝置26。
如圖5所示，驅(qū)動(dòng)裝置26包括2個(gè)皮帶輪30、31，在寬度方向上分開(kāi)地固定在并列設(shè)置在上述安裝構(gòu)件8的前表面上的噴頭9的上側(cè)；卷繞在2個(gè)皮帶輪30、31之間的同步皮帶32；右側(cè)皮帶輪30的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)33。驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)33可進(jìn)行正轉(zhuǎn)(逆時(shí)針?lè)较?、反轉(zhuǎn)(順時(shí)針?lè)较?的切換。
如圖6所示，在安裝在安裝構(gòu)件8上的上述噴頭9的上側(cè)位置安裝有基臺(tái)37。上述2個(gè)皮帶輪30、31及驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)33安裝在該基臺(tái)37上。在基臺(tái)37的前表面上，由1根導(dǎo)軌構(gòu)成的直線(xiàn)導(dǎo)向件34與該同步皮帶32平行地設(shè)置在上述同步皮帶32的下方?；?5安裝在上述直線(xiàn)導(dǎo)向件34上?；?5由安裝在直線(xiàn)導(dǎo)向件34上的滑動(dòng)部35A、安裝在滑動(dòng)部35A的下部并朝下方延伸的導(dǎo)向部35B構(gòu)成，導(dǎo)向輥36旋轉(zhuǎn)自如地軸支承在導(dǎo)向部35B的下端部上。導(dǎo)向部35B位于多個(gè)噴頭9的前方側(cè)(圖5的紙面上方側(cè))，導(dǎo)向輥36與噴頭9的噴嘴面20相向。導(dǎo)向輥36對(duì)抹布12的與表側(cè)面(與噴頭9相向的一側(cè))相反的背側(cè)面進(jìn)行支承。在導(dǎo)向輥36的外周上端部與連接上述多個(gè)噴頭9的噴嘴面20的水平面之間設(shè)有間隙。
上述滑架35的滑動(dòng)部35A的上部利用固定件35C固定在同步皮帶32上，在圖5(A)所示的狀態(tài)下，當(dāng)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)33反轉(zhuǎn)(逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn))時(shí)，滑架35在直線(xiàn)導(dǎo)向件24上朝右方移動(dòng)(前進(jìn))。在圖5(B)所示的狀態(tài)下，驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)33正轉(zhuǎn)(朝順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn))時(shí)，滑架35在直線(xiàn)導(dǎo)向件34上朝左方移動(dòng)(后退)。
圖5(A)表示滑架35處于待機(jī)位置的狀態(tài)。待機(jī)位置是對(duì)搬運(yùn)臺(tái)5的移動(dòng)以及噴頭9向由搬運(yùn)臺(tái)5搬運(yùn)來(lái)的基板W上進(jìn)行溶液噴涂不造成障礙的位置。
為了后述的擦拭工序，滑架35從該待機(jī)位置向圖5(B)所示的右端的擦拭工序端前進(jìn)。
在上述引導(dǎo)輥36與上述卷起卷筒15之間旋轉(zhuǎn)自如地設(shè)有對(duì)抹布12的表側(cè)面加以支承的導(dǎo)向輥40。導(dǎo)向輥40的外周下端部設(shè)置在從連接多個(gè)噴頭9的噴嘴面20的水平面朝下方稍許突出的位置上。
上述驅(qū)動(dòng)裝置26使上述滑架35的導(dǎo)向部35B沿上述直線(xiàn)導(dǎo)向件34從圖5(A)所示的待機(jī)位置沿與上述基板W的搬運(yùn)方向正交的寬度方向(圖5中左右方向)朝向圖5(B)所示的擦拭行程端前進(jìn)?；?5前進(jìn)時(shí)上述卷起卷筒15停止，上述放出輥24和供給卷筒14與導(dǎo)向部35B的前進(jìn)連動(dòng)地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而將抹布12放出。通過(guò)滑架35的前進(jìn)，在引導(dǎo)輥36與導(dǎo)向輥40之間，將抹布12平行地放出至與多個(gè)噴頭9的噴嘴面20相向的前表面(下面)位置。在該導(dǎo)向部35B前進(jìn)時(shí)，后敘的推壓機(jī)構(gòu)41的推壓輥43朝上方擺動(dòng)，將抹布12推壓到多個(gè)噴頭9的噴嘴面20上并沿噴嘴面20移動(dòng)。
當(dāng)上述滑架35到達(dá)圖5(B)所示的擦拭行程端后，上述驅(qū)動(dòng)裝置26將滑架35沿直線(xiàn)導(dǎo)向件34從圖5(B)所示的擦拭行程端沿上述寬度方向朝向圖5(A)所示的待機(jī)位置后退。上述卷起卷筒15與滑架35的后退連動(dòng)地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而卷起抹布12。該導(dǎo)向部35B后退時(shí)，后敘的推壓機(jī)構(gòu)41的推壓輥43朝下方擺動(dòng)，離開(kāi)多個(gè)噴頭9的噴嘴面20，抹布12在與噴嘴面20之間保持間隙的狀態(tài)下后退。
作為驅(qū)動(dòng)裝置26，也可代替由上述驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)和同步皮帶構(gòu)成的結(jié)構(gòu)，而使用往復(fù)移動(dòng)式氣缸，使上述滑架35沿寬度方向進(jìn)退。另外，也可在張?jiān)O(shè)在上述供給卷筒14和卷起卷筒15之間的抹布12的圖5(A)的左側(cè)設(shè)置氣缸，將上述導(dǎo)向部35B安裝在氣缸的活塞桿的前端部上，將抹布12朝上述噴頭9的噴嘴面20放出。
(推壓機(jī)構(gòu)41)噴墨涂敷裝置10具有將抹布12推壓到多個(gè)噴頭9的噴嘴面20上的推壓機(jī)構(gòu)41。
如圖5、圖6所示，推壓機(jī)構(gòu)41具有臂部42、推壓輥43、氣缸44。臂部42與上述引導(dǎo)輥36同軸，可上下擺動(dòng)地軸支承在上述滑架35的導(dǎo)向部35B的下端部上，比上述引導(dǎo)輥36直徑小的推壓輥43可旋轉(zhuǎn)地軸支承在臂部42的前端部上。臂部42通過(guò)氣缸44的驅(qū)動(dòng)而上下擺動(dòng)。在圖5(A)的滑架35的待機(jī)位置，對(duì)推壓輥43可旋轉(zhuǎn)地軸支承的臂部42在張?jiān)O(shè)在上述導(dǎo)向輥40與滑架35的引導(dǎo)輥36之間的抹布12的背側(cè)面保持在大致水平位置。
上述滑架35的引導(dǎo)輥36從圖5(A)所示的待機(jī)位置前進(jìn)時(shí)，上述氣缸44的活塞桿44A伸長(zhǎng)，使上述臂部42從上述水平位置向上方擺動(dòng)。如圖5(B)所示，在臂部42擺動(dòng)到上方的推壓位置，臂部42前端部的推壓輥43將張?jiān)O(shè)在上述導(dǎo)向輥40與滑架35的引導(dǎo)輥36之間的抹布12推壓到上述噴頭9的噴嘴面20上。
圖6的雙點(diǎn)劃線(xiàn)表示臂部42朝上方擺動(dòng)、推壓輥43處于被推壓到噴頭9的噴嘴面20上的推壓位置的狀態(tài)。
推壓輥43跟隨上述滑架35的前進(jìn)一邊將抹布12推壓到多個(gè)噴頭9的噴嘴面20上一邊沿噴嘴面20進(jìn)行移動(dòng)。
在上述滑架35從圖5(B)的擦拭行程端的位置朝圖中左方后退時(shí)，上述氣缸44的活塞桿44A收縮，使臂部42從推壓位置朝下方擺動(dòng)，回歸至上述水平位置。一旦臂部42回歸至水平位置，則推壓輥43離開(kāi)上述噴頭9的噴嘴面20，上述導(dǎo)向輥40與滑架的引導(dǎo)輥36之間的抹布12返回到與上述多個(gè)噴頭9的噴嘴面20之間保持間隙的平行狀態(tài)，滑架35以該平行狀態(tài)后退。
噴墨涂敷裝置10具有未圖示的控制裝置，控制裝置對(duì)構(gòu)成抹布放出機(jī)構(gòu)16的上述驅(qū)動(dòng)裝置26的右側(cè)皮帶輪30的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)33、放出輥24的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)及驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)17、18的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制，并且對(duì)夾設(shè)在供給卷筒14和卷起卷筒15之間的磁滯式離合器22、23的勵(lì)磁電流進(jìn)行控制，從而對(duì)各驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)17、18的傳遞轉(zhuǎn)矩進(jìn)行控制。而且，控制裝置對(duì)氣缸44的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制，使臂部42在水平位置和推壓位置這兩個(gè)位置進(jìn)行切換。
接著，參照?qǐng)D5(A)和圖5(B)對(duì)上述構(gòu)成的噴墨涂敷裝置10的作用進(jìn)行說(shuō)明。
如圖2所示，在基板W的搬入/搬出位置，基板W供給到搬運(yùn)臺(tái)5的上表面上。將基板W保持在上表面上的搬運(yùn)臺(tái)5沿著基座1的長(zhǎng)度方向以規(guī)定的速度朝噴頭9的下方移動(dòng)。在該移動(dòng)時(shí)，滑架35避讓至圖5(A)所示的待機(jī)位置以不妨礙上述搬運(yùn)臺(tái)5的移動(dòng)。
當(dāng)保持有基板W的搬運(yùn)臺(tái)5到達(dá)噴頭9的下方后，一邊對(duì)搬運(yùn)臺(tái)5施加規(guī)定的進(jìn)給，一邊驅(qū)動(dòng)壓電元件58使各噴頭9的液室內(nèi)充滿(mǎn)的、例如用于形成定向膜或抗蝕膜等功能性薄膜的溶液從噴嘴56噴射。由此，溶液涂敷在搬運(yùn)來(lái)的基板W的上表面上。當(dāng)溶液對(duì)1塊基板W的噴射結(jié)束后，搬運(yùn)臺(tái)5朝搬入/搬出位置移動(dòng)。在該位置，進(jìn)行將涂敷了溶液的基板W向下一工序搬出、及將應(yīng)該涂敷溶液的下一基板W搬入這樣的基板W的搬入/搬出動(dòng)作。
(放出機(jī)構(gòu)16的滑架35前進(jìn)時(shí))噴墨涂敷裝置10在對(duì)1塊基板W的噴射結(jié)束后，使構(gòu)成放出機(jī)構(gòu)16的驅(qū)動(dòng)裝置26的右側(cè)皮帶輪30的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)33反轉(zhuǎn)(逆時(shí)針?lè)较?，使固定在同步皮帶32上的滑架35從圖5(A)所示的待機(jī)位置沿著多個(gè)噴頭9的前表面(下表面)以約為100～200mm/sec的速度前進(jìn)至圖5(B)所示的擦拭行程端的位置。該動(dòng)作也可與上述基板W的搬入/搬出動(dòng)作并行進(jìn)行。
在上述滑架35前進(jìn)時(shí)，使卷起卷筒15的旋轉(zhuǎn)停止，且驅(qū)動(dòng)供給卷筒14的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)17及放出輥24的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)。放出輥24對(duì)應(yīng)于滑架35(引導(dǎo)輥36)的前進(jìn)將抹布12沒(méi)有松弛地放出。供給卷筒14的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)17和放出輥24的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)與滑架35的前進(jìn)連動(dòng)地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，將相當(dāng)于多個(gè)噴頭9的寬度方向的長(zhǎng)度的抹布12放出。抹布12在引導(dǎo)輥36與上述導(dǎo)向輥40之間，平行地被放出至與上述多個(gè)噴頭9的噴嘴面20相向的前面位置。
控制裝置對(duì)夾設(shè)在供給卷簡(jiǎn)14和驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)17之間的磁滯式離合器22的勵(lì)磁電流進(jìn)行控制，并對(duì)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)17的傳遞轉(zhuǎn)矩進(jìn)行控制，使抹布12不松弛。
上述滑架35前進(jìn)時(shí)，如上所述，推壓機(jī)構(gòu)41的氣缸44被驅(qū)動(dòng)，活塞桿44A伸長(zhǎng)，臂部42向上方的推壓位置擺動(dòng)，推壓輥43被朝噴頭9的噴嘴面20施力。由此，推壓輥43在將抹布12推壓到噴頭9的噴嘴面20上的狀態(tài)下沿著噴頭9的噴嘴面20依次移動(dòng)。抹布12由具有吸水性的材料構(gòu)成，故可吸去粘附在噴頭9的噴嘴面20上的溶液。
在上述滑架35前進(jìn)時(shí)，在卷起卷筒15的旋轉(zhuǎn)停止的狀態(tài)下，使供給卷筒14旋轉(zhuǎn)，將抹布12放出。因?yàn)榫砥鹁硗?5的旋轉(zhuǎn)已經(jīng)停止，故導(dǎo)向輥40也保持停止旋轉(zhuǎn)狀態(tài)。其結(jié)果是，與噴頭9的噴嘴面20相向的抹布12相對(duì)于噴頭9沒(méi)有相對(duì)移動(dòng)，與相同的抹布12面相向。因此，抹布12不在噴頭9的噴嘴面20上滑動(dòng)，故作為清掃體的抹布12不會(huì)因摩擦而產(chǎn)生塵埃，可防止該塵?；烊肴芤褐胁⑴c溶液一起涂敷到基板W上，可防止粘附在清掃體本身和噴嘴面20上的溶液和垃圾進(jìn)入到噴嘴內(nèi)。
不過(guò)，上述滑架35前進(jìn)時(shí)，也可根據(jù)噴頭9噴射的溶液的粘度增減滑架35的移動(dòng)速度。
例如，若是相同種類(lèi)的抹布12的話(huà)，考慮到溶液粘度越高吸去所需的時(shí)間越長(zhǎng)，故在溶液粘度高時(shí)，滑架35的移動(dòng)速度設(shè)定為比擦拭粘度低的溶液時(shí)的速度低。
這樣，可根據(jù)抹布12吸入溶液的速度改變將抹布推壓到噴頭9的噴嘴面20上的時(shí)間，能可靠地除去粘附在噴嘴面20上的溶液。
在此，滑架35的移動(dòng)速度的增減可通過(guò)控制裝置增減驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)33的轉(zhuǎn)速來(lái)進(jìn)行。
(放出機(jī)構(gòu)16的滑架35后退時(shí))當(dāng)滑架35到達(dá)圖5(B)所示的擦拭行程端后，推壓機(jī)構(gòu)41的氣缸44動(dòng)作使活塞桿44A收縮，使臂部42朝下方擺動(dòng)而回歸至上述水平位置。在臂部42為水平位置的狀態(tài)下，滑架35沿著直線(xiàn)導(dǎo)向件34后退至圖中左方的待機(jī)位置。
滑架35從圖5(B)所示的擦拭工序端朝圖5(A)所示的待機(jī)位置后退時(shí)，卷起卷筒15對(duì)應(yīng)于滑架35的后退而旋轉(zhuǎn)，將吸取了溶液后的抹布12卷起。此時(shí)，供給卷筒14和放出卷筒24停止旋轉(zhuǎn)?？刂蒲b置對(duì)夾設(shè)在卷起卷筒15與驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)18之間的磁滯式離合器23的勵(lì)磁電流進(jìn)行控制，以對(duì)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)18的傳遞轉(zhuǎn)矩進(jìn)行控制，對(duì)卷起的抹布12施加規(guī)定的張力。
如上所述，對(duì)應(yīng)于滑架35的后退將抹布12卷繞在卷起卷筒15上，則會(huì)將滑架35處于擦拭工序端時(shí)位于放出輥24與引導(dǎo)輥36之間的未使用的抹布12也卷繞在卷起卷筒15上。
為此，在滑架35后退中，首先利用卷起卷筒15將相當(dāng)于噴頭9的寬度方向上的長(zhǎng)度(6個(gè)噴頭9在寬度方向上的合計(jì)長(zhǎng)度)的抹布12卷起。然后，停止卷起卷筒15的旋轉(zhuǎn)，且使供給卷筒14及放出輥24朝與抹布12放出時(shí)相反的方向旋轉(zhuǎn)。位于放出輥24與引導(dǎo)輥36之間的未使用的抹布12被卷回供給卷筒14側(cè)。
這樣，僅將用于對(duì)噴頭9的噴嘴面20進(jìn)行擦拭的抹布12卷繞在卷起卷筒15上，未使用的抹布12被卷回供給卷筒14側(cè)，故可沒(méi)有浪費(fèi)地使用抹布12。
以上完成了噴墨涂敷裝置10的噴頭9的清潔作用的一個(gè)循環(huán)，但也可重復(fù)一個(gè)循環(huán)以上。
以上搬運(yùn)機(jī)構(gòu)13對(duì)抹布12間歇地進(jìn)行搬運(yùn)。即，滑架35前進(jìn)時(shí)，在卷起卷筒15停止的狀態(tài)下將抹布12從供給卷筒14放出相當(dāng)于噴頭9在寬度方向上的長(zhǎng)度的量。
在滑架35后退時(shí)，卷起卷筒15旋轉(zhuǎn)，將粘上了溶液的抹布12卷起，供給卷筒14處于停止的狀態(tài)。
其結(jié)果是，與滑架35的前進(jìn)、后退連動(dòng)，卷起卷筒15間歇地重復(fù)停止、旋轉(zhuǎn)，供給卷筒14間歇地重復(fù)旋轉(zhuǎn)、停止。
使滑架35前進(jìn)、后退的驅(qū)動(dòng)裝置的右側(cè)皮帶輪30的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)33也間歇地重復(fù)反轉(zhuǎn)、正轉(zhuǎn)。如上所述，搬運(yùn)機(jī)構(gòu)13間歇地搬運(yùn)抹布12。
本實(shí)施例具有以下的作用效果。
(a)本噴墨涂敷裝置10具有將吸水性的抹布12推壓到噴頭9的噴嘴面20上的推壓機(jī)構(gòu)41。因此，與現(xiàn)有技術(shù)的利用彈性體刮板進(jìn)行刮液的技術(shù)不同，因?yàn)槭菍⒕哂形缘哪ú?2推壓到噴頭9的噴嘴面20上而將剩余的涂敷溶液吸去，因而可防止剩余的涂敷溶液殘留在噴頭9的噴嘴面20上，使得溶液從擦拭后的噴頭9的噴嘴面20的排出穩(wěn)定。
(b)抹布12為帶狀，具有將抹布12間歇地進(jìn)行搬運(yùn)的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)13，故通過(guò)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)13將未粘附溶液的新的抹布12部分間歇地依次放出，可對(duì)噴頭9的噴嘴面20進(jìn)行清掃。
現(xiàn)有技術(shù)的彈性體刮板中，彈性體刮板本身不進(jìn)行更換，刮下的溶液始終粘附在彈性刮板上。相比之下，使用抹布12的話(huà)，則抹布12中的粘附有溶液的部分被卷繞在卷起卷筒15上，不用擔(dān)心在下次清掃時(shí)以前擦拭下的溶液再粘附在噴頭9的噴嘴面20上，可提高擦拭性能，使噴頭9的噴嘴面20始終維持清潔。
(c)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)13具有抹布12的供給卷筒14、將抹布12從供給卷筒14放出至多個(gè)噴頭9的噴嘴面20的前面的放出機(jī)構(gòu)16、抹布12的卷起卷筒15。
供給卷筒14存放卷筒狀的新的抹布12，放出機(jī)構(gòu)16將大致相當(dāng)于多個(gè)噴頭9的噴嘴面20的長(zhǎng)度的抹布12從供給卷筒14放出至多個(gè)噴頭9的噴嘴面20的前面，卷起卷筒15將吸取了溶液后的抹布12部分卷起。其結(jié)果是，即使是帶狀的抹布12也可容易地操作，使抹布12的更換作業(yè)變得容易，且抹布12的管理也容易。
(d)推壓機(jī)構(gòu)41具有將由放出機(jī)構(gòu)16放出至多個(gè)噴頭9的噴嘴面20的前面的抹布12推壓到噴頭9的噴嘴面20上的推壓輥43，將推壓輥43一邊推壓到噴嘴面20上一邊使其沿噴頭9的噴嘴面20移動(dòng)。因此，使推壓輥一邊推壓到噴頭9的噴嘴面20上一邊沿噴嘴面20移動(dòng)，故噴嘴面20的清掃作業(yè)迅速，可縮短基板W的清掃時(shí)間，降低成本。
(e)放出機(jī)構(gòu)16具有使抹布12沿噴頭9的噴嘴面20移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置26，具有根據(jù)溶液的粘度來(lái)調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)33的轉(zhuǎn)速的控制裝置。
其結(jié)果是，可根據(jù)溶液的粘度來(lái)調(diào)節(jié)滑架35的移動(dòng)速度。因此，可控制抹布12的推壓時(shí)間，提高擦拭性能。
(f)噴頭9的清潔方法是通過(guò)將吸水性的抹布12推壓到噴頭9的噴嘴面20上來(lái)對(duì)噴頭9的噴嘴面20進(jìn)行清掃的，因此與現(xiàn)有技術(shù)的利用彈性體刮板進(jìn)行刮液的方法不同，因?yàn)槭菍⒕哂形缘哪ú?2推壓到噴頭9的噴嘴面20上而將剩余的涂敷溶液吸去的方法，因而可防止剩余的涂敷溶液殘留在噴頭9的噴嘴面20上，使得溶液從擦拭后的噴頭9的噴嘴面20的排出穩(wěn)定。
(g)抹布12由帶狀的抹布12構(gòu)成，將抹布12間歇地搬運(yùn)到與噴頭9的噴嘴面20相向的位置，故通過(guò)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)13將未粘附溶液的新的抹布12部分間歇地依次放出，可對(duì)噴頭9的噴嘴面20進(jìn)行清掃?，F(xiàn)有技術(shù)的彈性體刮板，彈性體刮板本身不進(jìn)行更換，刮下的溶液始終粘附在彈性刮板上。相比之下，使用抹布12的話(huà)，則抹布12中的粘附有溶液的部分被卷繞在卷起卷筒15上，不用擔(dān)心在下次清掃時(shí)以前擦拭下的溶液再粘附在噴頭9的噴嘴面20上，可提高擦拭性能，使噴頭9的噴嘴面20始終維持清潔。
(h)具有將搬運(yùn)至與噴頭9的噴嘴面20相向的位置的抹布12推壓到噴嘴面20上的推壓輥43，一邊用推壓輥43將抹布12推壓到噴嘴面20上一邊使推壓輥43沿噴嘴面20移動(dòng)，從而能使抹布12依次與噴嘴面20接觸。因此，使推壓輥43一邊推壓到噴頭9的噴嘴面20上一邊沿噴頭9的噴嘴面20移動(dòng)，從而噴嘴面20的清掃作業(yè)迅速，可縮短基板W的清掃時(shí)間，降低成本。
(i)每當(dāng)結(jié)束對(duì)1塊基板W的溶液涂敷就進(jìn)行噴頭9的清掃，故可盡可能地將溶液在固化之前的狀態(tài)下從噴嘴面20上除去，能較容易地除去溶液。因此，可始終將噴頭9的噴嘴面20保持為清潔狀態(tài)。其結(jié)果是，可抑制噴頭9發(fā)生溶液排出不均，使溶液的排出穩(wěn)定，提高在基板W上形成的功能性薄膜的質(zhì)量。
以上參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，但本發(fā)明的具體構(gòu)成并不局限于該實(shí)施例，在不脫離本發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)的設(shè)計(jì)變更等也包括在本發(fā)明內(nèi)。例如，在上述實(shí)施例中，對(duì)滑架35前進(jìn)時(shí)將抹布12推壓到噴頭9的噴嘴面20上的例子進(jìn)行了說(shuō)明，但也可在滑架35后退時(shí)進(jìn)行推壓。
此時(shí)，可以將供給卷筒14和卷起卷筒15配置成與圖5所示的布置相反的形態(tài)，將推壓輥43安裝在相對(duì)于圖5所示的臂部42在支軸的右側(cè)，即安裝成與圖5所示的狀態(tài)左右反轉(zhuǎn)的位置關(guān)系。
另外，作為清掃體以抹布為例進(jìn)行了說(shuō)明，但只要是具有吸水性的構(gòu)件即可，也可是其他構(gòu)件。
權(quán)利要求
1.一種噴墨涂敷裝置，包括具有將溶液以噴墨方式向基板進(jìn)行噴涂的多個(gè)噴嘴的噴頭，其特征在于，包括吸水性的清掃體；將該清掃體推壓到所述噴頭的噴嘴面上的推壓機(jī)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的噴墨涂敷裝置，其特征在于，所述清掃體由帶狀的清掃體構(gòu)成，具有間歇地搬運(yùn)該清掃體的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)。
3.如權(quán)利要求2所述的噴墨涂敷裝置，其特征在于，所述搬運(yùn)機(jī)構(gòu)包括所述清掃體的供給卷筒；將該清掃體從該供給卷筒放出至所述噴頭的噴嘴面的前面的放出機(jī)構(gòu)；該清掃體的卷起卷筒。
4.如權(quán)利要求2或3所述的噴墨涂敷裝置，其特征在于，所述推壓機(jī)構(gòu)具有將放出至所述噴頭的噴嘴面的前面的清掃體推壓到該噴頭的噴嘴面上的輥，通過(guò)該輥將所述清掃體推壓到所述噴嘴面上。
5.如權(quán)利要求4所述的噴墨涂敷裝置，其特征在于，所述放出機(jī)構(gòu)具有使所述輥沿所述噴頭的噴嘴面移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置，具有根據(jù)所述溶液的粘度來(lái)調(diào)節(jié)該驅(qū)動(dòng)裝置的速度的控制裝置。
6.一種噴墨頭的清潔方法，對(duì)具有將溶液以噴墨方式向基板進(jìn)行噴涂的多個(gè)噴嘴的噴頭進(jìn)行清掃，其特征在于，通過(guò)將吸水性的清掃體推壓到所述噴頭的噴嘴面上來(lái)對(duì)該噴頭的噴嘴面進(jìn)行清掃。
7.如權(quán)利要求6所述的噴墨頭的清潔方法，其特征在于，所述清掃體由帶狀的清掃體構(gòu)成，將該清掃體間歇地搬運(yùn)至與所述噴頭的噴嘴面相向的位置。
8.如權(quán)利要求7所述的噴墨頭的清潔方法，其特征在于，具有將搬運(yùn)至與所述噴頭的噴嘴面相向的位置上的所述清掃體推壓到該噴嘴面上的輥，利用該輥將清掃體推壓到噴嘴面上、且使該輥沿噴嘴面移動(dòng)，從而使清掃體依次與噴嘴面接觸。
9.如權(quán)利要求6～8中任一項(xiàng)所述的噴墨頭的清潔方法，其特征在于，每當(dāng)結(jié)束所述溶液對(duì)一塊基板的涂敷時(shí)就對(duì)所述噴頭進(jìn)行清掃。
全文摘要
本發(fā)明的噴墨涂敷裝置(10)包括具有將溶液以噴墨方式向基板(W)進(jìn)行噴涂的多個(gè)噴嘴的噴頭(9)，還包括具有吸水性的帶狀的抹布(12)；將抹布(12)放出至噴頭(9)的噴嘴面(20)的前面的放出機(jī)構(gòu)(16)；將抹布(12)推壓到噴嘴面(20)上的輥(43)。
文檔編號(hào)B41J2/18GK1830672SQ200610059
公開(kāi)日2006年9月13日 申請(qǐng)日期2006年3月10日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月11日
發(fā)明者小川路夫 申請(qǐng)人:芝浦機(jī)械電子裝置股份有限公司