專利名稱：標(biāo)記形成方法及液滴噴出裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及標(biāo)記形成方法及液滴噴出裝置。
背景技術(shù)：
通常，液晶顯示裝置和電致發(fā)光顯示裝置等的顯示裝置包括用于顯示圖像的基板。在這種基板上形成有表示包含其制造商和產(chǎn)品編號的制造信息的識別碼(例如，二維碼)，識別碼目的在于質(zhì)量管理和制造管理。這樣的識別碼例如包含有有色的薄膜和凹部構(gòu)成的多個點(diǎn)。配置這些點(diǎn)以便形成規(guī)定的圖形，此點(diǎn)的配置圖形決定識別碼。
作為識別碼的形成方法，日本特開平11-77340號公報提出了一種對金屬箔照射激光來濺射成膜編碼圖形的激光濺射方法。日本特開2003-127537號公報提出了一種對基板等噴射含有研磨材料的水來刻印點(diǎn)的噴水(water jet)方法。
但是，在所述激光濺射方法中，為了獲得所期望尺寸的點(diǎn)，就必須將金屬箔和基板的間隙從幾μm調(diào)整到幾十μm。即，對于基板和金屬箔的表面要求非常高的平坦性，而且，必須按微米級的精度來調(diào)整它們的間隙。由此，所述方法的適用范圍受限于基板的限定范圍，所以相同的方法通用性差。在噴水方法中，當(dāng)刻印基板時，水、塵埃、研磨劑等飛濺，就會污染該基板。
為了消除這種生產(chǎn)上的問題，近年來，作為識別碼的形成方法，正在關(guān)注噴墨方法。在噴墨方法中，通過從噴射頭的噴嘴向基板噴出含有金屬微粒的液滴，并經(jīng)過干燥，從而在基板上形成點(diǎn)。由此，可適用相同方法的基板材料的對象范圍比較寬，再有能夠形成不污染基板的識別碼。
但是，在所述噴墨方法中，大部分是根據(jù)點(diǎn)的種類和基板的表面狀態(tài)改變噴出的液滴的組成(例如微粒和分散媒等)和尺寸的情況。由此，在液滴的干燥工序中，如果能夠?qū)嵤?yīng)于噴出的液滴的組成和尺寸的干燥的話，就能夠容易地利用由液滴形成的點(diǎn)來形成標(biāo)記，進(jìn)而能夠擴(kuò)展噴墨法的利用范圍。
在這種液滴的干燥方法的例子中，有對著落液滴的區(qū)域照射可改變照射角度的激光的方法。激光的光剖面和能量密度對應(yīng)于液滴的材料和尺寸。
對液滴改變照射的激光的照射角度時，即改變射出激光的激光頭的配置時，伴隨與此激光的照射位置發(fā)生改變。其結(jié)果，每次根據(jù)液滴的材料和尺寸改變照射角度都需要修正激光的照射位置。這需要時間，就擔(dān)心損失圖形的生產(chǎn)性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供一種維持對液滴照射的激光的位置精度，且能夠改變其照射角度的標(biāo)記形成方法及液滴噴出裝置。
為了實現(xiàn)所述目的，本發(fā)明的一種形式是提供一種標(biāo)記形成方法，該標(biāo)記形成方法包括向?qū)ο笪锉砻鎳姵龊袠?biāo)記形成材料的液滴；從照射口向規(guī)定的目標(biāo)照射位置射出激光；以及使對象物及照射口中的至少一個相對于另一個移動，以便對著落在表面上的液滴照射從照射口射出的激光，即通過對液滴照射激光在所述表面上形成標(biāo)記。此方法的特征在于，可以設(shè)定激光的照射角度，以目標(biāo)照射位置為轉(zhuǎn)動中心使照射口轉(zhuǎn)動。
本發(fā)明的另一種形式是提供一種標(biāo)記形成方法，該標(biāo)記形成方法包括向?qū)ο笪锉砻鎳姵龊袠?biāo)記形成材料的液滴；從照射口射出激光，將此激光照射導(dǎo)向規(guī)定的目標(biāo)照射位置；以及使對象物及照射口中的至少一個相對于另一個移動，以便對著落在表面上的液滴照射從照射口射出的激光，即通過對液滴照射激光在表面上形成標(biāo)記。此方法的特征在，包括從照射口向與表面平行的第一反射面射出激光；使第一反射面接收的激光從第一反射面向與表面相面對的第二反射面反射；使第二反射面接收的激光從第二反射面向目標(biāo)照射位置反射；以及設(shè)定相對于第一反射面的激光的照射角度，以相對于含有目標(biāo)照射位置的表面的法線上的位置為轉(zhuǎn)動中心使照射口轉(zhuǎn)動，即當(dāng)?shù)谝环瓷涿娴募す獾姆瓷浯螖?shù)為n、第一反射面和第二反射面之間的距離為Hr、目標(biāo)照射位置和轉(zhuǎn)動中心之間的距離為Hpc時，可設(shè)定轉(zhuǎn)動中心以使其滿足Hpc＝n×2×Hr。
本發(fā)明的再另一種形式是提供一種液滴噴出裝置，該液滴噴出裝置包括液滴噴射頭，該液滴噴射頭向?qū)ο笪锉砻鎳姵龊袠?biāo)記形成材料的液滴；具有照射口的激光照射裝置，該激光照射裝置從照射口向規(guī)定的目標(biāo)照射位置射出激光；以及相對移動裝置，該相對移動裝置使對象物及照射口中的至少一個相對于另一個移動，以便對著落在表面上的液滴照射從照射口射出的激光。此液滴噴出裝置的特征在于，激光照射裝置具有轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，該轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)設(shè)定激光的照射角度，以目標(biāo)照射位置為轉(zhuǎn)動中心使照射口轉(zhuǎn)動。
本發(fā)明的又再另一種形式是提供一種液滴噴出裝置，該液滴噴出裝置包括液滴噴射頭，該液滴噴射頭向?qū)ο笪锉砻鎳姵龊袠?biāo)記形成材料的液滴的；具有照射口的激光照射裝置，該激光照射裝置從照射口射出激光，將此激光照射導(dǎo)向規(guī)定的目標(biāo)照射位置；以及相對移動裝置，該相對移動裝置使對象物及照射口中的至少一個相對于另一個移動，以便對著落在表面上的液滴照射從照射口射出的激光。此液滴裝置的特征在于，所述激光照射裝置包含具有與所述面平行的第一反射面的第一反射構(gòu)件，第一反射面接收從照射口射出激光，并向液滴噴射頭反射；具有與表面相面對的第二反射面的第二反射構(gòu)件，第二反射面接收來自第一反射面的所述激光，并向目標(biāo)照射位置反射；以及轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，該轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)可以設(shè)定相對于第一反射面的激光的照射角度，以相對于含有目標(biāo)照射位置的表面的法線上的位置為轉(zhuǎn)動中心使照射口轉(zhuǎn)動，當(dāng)?shù)谝环瓷涿娴募す獾姆瓷浯螖?shù)為n、第一反射面和第二反射面之間的距離為Hr、目標(biāo)照射位置和轉(zhuǎn)動中心之間的距離為Hpc時，該轉(zhuǎn)動裝置能夠決定轉(zhuǎn)動中心以使其滿足Hpc＝n×2×Hr。


圖1是表示液晶顯示裝置的俯視圖。
圖2是表示液滴噴出裝置的示意性立體圖。
圖3是表示本發(fā)明的第一實施方式的噴射頭的示意性立體圖。
圖4是圖3的噴射頭的附圖。
圖4A是由圖4中的圓4A所包圍的部分的放大圖。
圖5是圖3的噴射頭的附圖。
圖5A是由圖5中的圓5A所包圍的部分的放大圖。
圖6是表示液滴噴出裝置的電氣結(jié)構(gòu)的電氣方框電路圖。
圖7是本發(fā)明的第二實施方式的噴射頭的附圖。
圖7A是由圖7中的圓7A所包圍的部分的放大圖。
圖8是圖7的噴射頭的附圖。
圖8A是由圖8中的圓8A所包圍的部分的放大圖。
具體實施例方式
第一實施方式下面，根據(jù)圖1～圖6，說明具體化本發(fā)明的第一實施方式。首先，說明具有利用本發(fā)明的標(biāo)記形成方法形成的識別碼的液晶顯示裝置1。
在圖1中，在作為對象物的液晶顯示裝置1的基板2的一個表面即表面2a上，形成有顯示部3。顯示部3為四角形狀，在其大致中央位置封入液晶分子。表面2a是噴出液滴的表面。在顯示部3的外側(cè)，形成有掃描線驅(qū)動電路4及數(shù)據(jù)線驅(qū)動電路5。液晶顯示裝置1根據(jù)這些掃描線驅(qū)動電路4生成的掃描信號和數(shù)據(jù)線驅(qū)動電路5生成的數(shù)據(jù)信號來控制顯示部3內(nèi)的液晶分子的取向狀態(tài)。液晶顯示裝置1根據(jù)液晶分子的取向狀態(tài)來調(diào)節(jié)來自照明裝置(未圖示)的平面光，并在顯示部3的區(qū)域中顯示出所期望的圖像。
在圖1中，在表面2a的左側(cè)下角，劃分形成有由一邊約為1mm的正方形構(gòu)成的編碼形成區(qū)域S(以2點(diǎn)虛線表示的圓形內(nèi))。此編碼形成區(qū)域S假設(shè)被分割為16行×16列的數(shù)據(jù)單元C。在所選擇出的數(shù)據(jù)單元C(some selected data cells)中形成點(diǎn)D(標(biāo)記)。配置這些多個點(diǎn)D，以便形成規(guī)定的圖形，這種點(diǎn)D的配置圖形構(gòu)成了液晶顯示裝置1的識別碼10。
在本實施方式中，目標(biāo)噴出位置P是點(diǎn)D形成的數(shù)據(jù)單元C的中心位置。單元寬度W就是各數(shù)據(jù)單元C的一邊的長度。
各個點(diǎn)D為其外徑是數(shù)據(jù)單元C的一邊的長度即單元寬度W的半球。通過在數(shù)據(jù)單元C上噴出使作為點(diǎn)形成材料的金屬微粒(例如，鎳微?；蝈i微粒)分散在分散劑中的液狀體F(參照圖4)的液滴Fb，干燥及烘焙在數(shù)據(jù)單元C上著落的液滴Fb來形成這些點(diǎn)D。通過照射激光B(參照圖5)來進(jìn)行著落的液滴Fb的干燥及烘焙。在本實施方式中，雖然通過干燥及烘焙液滴Fb來形成點(diǎn)D，但不限于此。例如，也可以僅僅通過激光B的干燥來形成。
然后，識別碼10按各數(shù)據(jù)單元C內(nèi)的點(diǎn)D的有無，就能夠再現(xiàn)含有液晶顯示裝置1的制造編號和批次編號的制造信息。
按照圖1～圖5，X方向為基板2的長方向。Y方向為基板2的橫方向，是與X方向正交的方向。Z方向為垂直X方向及Y方向的方向。特別地，圖中箭頭所示的方向作為+X方向、+Y方向、+Z方向，與此相反的方向就分別為-X方向、-Y方向、-Z方向。
接著，說明作為用于形成所述識別碼10的裝置的液滴噴出裝置20。在圖2中，液滴噴出裝置20具有基臺21?；_21被形成為長方體形狀，其長方向沿著X方向。在基臺21的上面，形成有按X方向延伸的一對引導(dǎo)溝槽22。在基臺21的上側(cè)，安裝有構(gòu)成相對移動裝置的基板臺23?；迮_23與在基臺21上設(shè)置的X軸電動機(jī)MX(參照圖6)進(jìn)行驅(qū)動連接，沿著引導(dǎo)溝槽22以規(guī)定速度(搬運(yùn)速度Vx)沿X方向平移(translate)。在基板臺23的上面，設(shè)置有吸引式的緊固機(jī)構(gòu)(未圖示)?；迮_23定位固定以表面2a(編碼形成區(qū)域S)為上側(cè)承載的基板2。
沿著基臺21的Y方向，架設(shè)引導(dǎo)構(gòu)件24。當(dāng)從X方向進(jìn)行觀看時，引導(dǎo)構(gòu)件24為門一樣的形狀。在引導(dǎo)構(gòu)件24之上，配設(shè)有容納箱25。容納箱25容納液狀體F，在噴射頭30中導(dǎo)出相同的液狀體F。在引導(dǎo)構(gòu)件24的下側(cè)，形成在Y方向上沿引導(dǎo)構(gòu)件24的整個寬度延伸的一對導(dǎo)軌26。在上下一對導(dǎo)軌26上安裝滑架27。滑架27與在引導(dǎo)構(gòu)件24上設(shè)置的Y軸電動機(jī)MY(參照圖6)進(jìn)行驅(qū)動連接，沿此導(dǎo)軌26在Y方向上平移。
在滑架27的下側(cè)配設(shè)有支承構(gòu)件28。支承構(gòu)件28為長方體形狀，在Y方向上延伸。在支承構(gòu)件28的下側(cè)，安裝有用于使液滴噴出的噴射頭30(以下，簡稱為“噴射頭30”。)。
在圖3中，在噴射頭30的上側(cè)配備噴嘴板31。噴嘴板31具有與所述基板2表面2a平行的噴嘴形成面31a。在噴嘴形成面31a上沿基板2的法線方向(Z方向)貫通形成16個噴嘴N。各噴嘴N沿Y方向以等間隔(所述單元寬度W的間距寬度)排列。
在本實施方式中，如圖4所示，著落位置PF是指面對各噴嘴N，著落液滴Fb的表面2a上的位置。
在圖4A中，在各個噴嘴N的上側(cè)，形成有與容納箱25連通的凹槽32。凹槽32將從各個容納箱25中導(dǎo)出的液狀體F分別供給到對應(yīng)的噴嘴N內(nèi)。在各個凹槽32的上側(cè)粘貼有振動板33。振動板33可以上下振動，擴(kuò)大或縮小凹槽32內(nèi)的容積。在振動板33的上側(cè)配設(shè)有分別與噴嘴N對應(yīng)的16個壓電元件PZ。各個壓電元件PZ接收用于控制各個壓電元件PZ的驅(qū)動的信號(參照圖6壓電元件驅(qū)動電壓COM1)時，在上下方向上收縮和伸張，使對應(yīng)的振動板33在上下方向上振動。
以搬送速度Vx沿X方向搬送各個基板臺23，在數(shù)據(jù)單元C的目標(biāo)噴出位置P位于著落位置PF的定時下，各壓電元件PZ接收壓電元件驅(qū)動電壓COM1。接收了壓電元件驅(qū)動電壓COM1的各壓電元件PZ，擴(kuò)大和縮小凹槽32內(nèi)的容積，使噴嘴N內(nèi)的液狀體F的界面振動，使規(guī)定容量的液狀體F成為液滴Fb從噴嘴N中噴出。從噴嘴N中噴出的液滴Fb沿下方即-Z方向飛行，著落在著落位置PF(目標(biāo)噴出位置P)。
著落目標(biāo)噴出位置P的液滴Fb，借助于基板臺23的搬送移動在X方向上移動，隨著此搬送時間的經(jīng)過，在對應(yīng)的數(shù)據(jù)單元C內(nèi)濕潤擴(kuò)散，使其外徑擴(kuò)大到單元寬度W。
在本實施方式中，目標(biāo)照射位置PT是搬送的液滴Fb的中心位置(目標(biāo)噴出位置P)，指此液滴Fb的外徑成為單元寬度W的位置(參照圖4A)。此外，照射待機(jī)時間是指從液滴Fb的噴出動作開始時到此噴出的液滴Fb到達(dá)所述目標(biāo)照射位置PT的時間。
在圖4中，在滑架27的下側(cè)配設(shè)有導(dǎo)向構(gòu)件34。導(dǎo)向構(gòu)件34相對于支承構(gòu)件28(噴射頭30)位于基板2的前進(jìn)方向即+X方向。導(dǎo)向構(gòu)件34構(gòu)成轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)。導(dǎo)向構(gòu)件34通過滑架27的Y方向的幾乎整個寬度延伸，且具有L字狀的剖面。導(dǎo)向構(gòu)件34具有導(dǎo)向面34a，導(dǎo)向面34a從Y方向看，是按以目標(biāo)照射位置PT為曲率中心的圓弧狀形成的凹面，通過導(dǎo)向構(gòu)件34的Y方向的整個寬度形成導(dǎo)向面34a。
在導(dǎo)向構(gòu)件34的導(dǎo)向面34a之上，配設(shè)有在Y方向上延伸的轉(zhuǎn)動臺35。轉(zhuǎn)動臺35構(gòu)成轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)。轉(zhuǎn)動臺35具有在Y方向上延伸、沿著導(dǎo)向面34a的凸面即滑動面35a。此外，轉(zhuǎn)動臺35通過在導(dǎo)向構(gòu)件34內(nèi)設(shè)置的蝸輪等(未圖示)與轉(zhuǎn)動電動機(jī)MR(參照圖6)進(jìn)行驅(qū)動連接，沿著所述導(dǎo)向面34a使此滑動面35a滑動或轉(zhuǎn)動。
即，轉(zhuǎn)動電動機(jī)MR接收用于使轉(zhuǎn)動臺35轉(zhuǎn)動的信號(參照圖6轉(zhuǎn)動電動機(jī)驅(qū)動信號SMR)時，通過正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)驅(qū)動，以所述目標(biāo)照射位置PT為轉(zhuǎn)動中心，使轉(zhuǎn)動臺35進(jìn)行圖4中的左旋或右旋轉(zhuǎn)動。
在本實施方式中，如圖4的實線所示，基準(zhǔn)位置是指此滑動面35a和所述導(dǎo)向面34a相面對的轉(zhuǎn)動臺35的位置。另外，如圖4的虛線所示，照射位置是指自基準(zhǔn)位置僅右旋規(guī)定角度(轉(zhuǎn)動角θr)轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動臺35的位置。
在圖3中，在轉(zhuǎn)動臺35上，配設(shè)有在Y方向上延伸的剖面コ字狀(yoke-shaped)的定位構(gòu)件36。定位構(gòu)件36上安裝有作為以在Y方向延伸的長方體形狀形成的激光照射裝置的激光頭37，其由定位構(gòu)件36定位。激光頭37在此基板2側(cè)，劃分形成沿Y方向以等間隔(所述單元寬度W的形成間距)排列的16個照射口37a。照射口37a對應(yīng)于各噴嘴N。
在圖4中，在激光頭37的內(nèi)部，16個半導(dǎo)體激光器LD配設(shè)在分別對應(yīng)于各噴嘴N及照射口37a的位置，各半導(dǎo)體激光器LD射出分別對應(yīng)于所述液狀體F的吸收波長的波長區(qū)域的激光B。激光頭37從照射口37a向滑動面35a的徑方向內(nèi)側(cè)射出來自各半導(dǎo)體激光器LD的激光B。如圖4A所示，激光B的光軸A1在照射方向上延伸，通過各照射口37a。照射角θ是光軸A1和基板2的法線(Z方向)的所成角度?；鶞?zhǔn)照射角度θi是指轉(zhuǎn)動臺35位于基準(zhǔn)位置時的照射角度θ。
轉(zhuǎn)動電動機(jī)MR正轉(zhuǎn)時，轉(zhuǎn)動臺35從基準(zhǔn)位置移動到照射位置。于是，如圖5所示，各照射口37a分別以目標(biāo)照射位置PT為中心右旋轉(zhuǎn)動。如圖5A所示，雖然激光B的照射角度θ僅比基準(zhǔn)照射角度θi變小轉(zhuǎn)動角度θr，但，其照射的位置能夠維持在作為轉(zhuǎn)動中心的目標(biāo)照射位置PT。
由此，液滴噴出裝置20能夠維持來自各照射口37a的激光B的照射位置的位置精度，并且改變激光B的照射角度θ。
以搬送速度Vx在+X方向上搬送基板臺23，在數(shù)據(jù)單元C(液滴Fb)侵入目標(biāo)照射位置PT的時刻，半導(dǎo)體激光器LD接收用于射出各激光B的驅(qū)動信號(激光驅(qū)動電壓COM2參照圖6)。于是，接收了激光驅(qū)動電壓COM2的激光B，從照射口37a向?qū)?yīng)的目標(biāo)照射位置PT射出，瞬時干燥、固化通過目標(biāo)照射位置PT的液滴Fb。已固化的液滴Fb經(jīng)過連續(xù)的激光B的照射，使其金屬微粒烘焙，形成粘固到基板2的表面2a上的點(diǎn)D。
此時，照射液滴Fb的激光B的照射角度θ，僅減小轉(zhuǎn)動臺35的轉(zhuǎn)動部分即轉(zhuǎn)動角度θr的部分。相對于此，照射在液滴Fb上的激光B的能量密度增加了。而且，借助于轉(zhuǎn)動臺35的轉(zhuǎn)動就能夠?qū)⒓す釨的照射位置維持在目標(biāo)照射位置PT。
因此，在液滴噴出裝置20中，借助于轉(zhuǎn)動臺35的轉(zhuǎn)動，能夠消除激光B的能量不足即干燥不足，并且還能夠維持激光B的照射位置的位置精度。
接著，根據(jù)圖6說明所述的結(jié)構(gòu)的液滴噴出裝置20的電氣結(jié)構(gòu)。
在圖6中，控制裝置41包括CPU、RAM、ROM等，在ROM等中保存有各種數(shù)據(jù)和各種控制程序?？刂蒲b置41根據(jù)這些各種數(shù)據(jù)和各種控制程序，使基板臺23移動，驅(qū)動噴射頭30、激光頭37及轉(zhuǎn)動臺35。
在控制裝置41上連接有具有啟動開關(guān)、停止開關(guān)等操作開關(guān)的輸入裝置42。由此，將識別碼10的圖像作為已定形式的描繪數(shù)據(jù)Ia從輸入裝置42輸入到控制裝置41中，同時還將轉(zhuǎn)動臺35的轉(zhuǎn)動角度θr作為已定形式的轉(zhuǎn)動角度數(shù)據(jù)Iθ從輸入裝置42輸入到控制裝置41中。然后，控制裝置41接收來自輸入裝置42的描繪數(shù)據(jù)Ia，生成位測繪圖數(shù)據(jù)BMD、壓電元件驅(qū)動電壓COM1及激光驅(qū)動電壓COM2，接收來自輸入裝置42的轉(zhuǎn)動角度數(shù)據(jù)Iθ生成轉(zhuǎn)動電動機(jī)驅(qū)動信號SMR。
位測繪圖數(shù)據(jù)BMD按照各位的值(0或1)規(guī)定壓電元件PZ的導(dǎo)通或斷開。位測繪圖數(shù)據(jù)BMD是規(guī)定是否對二維描繪平面(編碼形成區(qū)域S)上的各數(shù)據(jù)單元C中噴出液滴Fb的數(shù)據(jù)。
控制裝置41連接到X軸電動機(jī)驅(qū)動電路43，向X軸電動機(jī)驅(qū)動電路43輸出對應(yīng)的驅(qū)動控制信號。X軸電動機(jī)驅(qū)動數(shù)據(jù)43響應(yīng)來自控制裝置41的驅(qū)動控制信號，使X軸電動機(jī)MX 轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)?？刂蒲b置41連接到Y(jié)軸電動機(jī)驅(qū)動電路44，向Y軸電動機(jī)驅(qū)動電路44輸出對應(yīng)的驅(qū)動控制信號。Y軸電動機(jī)驅(qū)動電路44響應(yīng)來自控制裝置41的驅(qū)動控制信號，使Y軸電動機(jī)MY正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)?？刂蒲b置41連接到能夠檢測基板2的端緣的基板檢測裝置45，根據(jù)來自基板檢測裝置45的檢測信號計算出通過著落位置PF的基板2的位置。
X軸電動機(jī)轉(zhuǎn)動檢測器46連接到控制41，向控制裝置41輸出檢測信號。控制裝置41根據(jù)來自X軸電動機(jī)轉(zhuǎn)動檢測器46的檢測信號，運(yùn)算基板臺23(基板2)的移動方向及移動量(移動位置)。然后，控制裝置41在各數(shù)據(jù)單元C的中心位置位于著落位置PF的定時，向噴射頭驅(qū)動電路48輸出噴出定時信號LP1。
Y軸電動機(jī)轉(zhuǎn)動檢測器47連接到控制41，向控制裝置41輸出檢測信號?？刂蒲b置41根據(jù)來自Y軸電動機(jī)轉(zhuǎn)動檢測器47的檢測信號，運(yùn)算噴射頭30(激光頭37)的Y方向的移動方向及移動量(移動位置)。然后，控制裝置41將對應(yīng)各噴嘴的著落位置PF配置在各個目標(biāo)噴出位置P的搬送路徑上。
控制裝置41連接到噴射頭驅(qū)動電路48，向噴射頭驅(qū)動電路48輸出噴出定時信號LP1。此外，控制裝置41使壓電元件驅(qū)動電壓COM1同步于規(guī)定的時鐘信號，并向噴射頭驅(qū)動電路48輸出。并且，還有控制裝置41根據(jù)位測繪圖數(shù)據(jù)BMD生成同步于規(guī)定的基準(zhǔn)時鐘信號的噴出控制信號SI，將此噴出控制信號SI串行輸送到噴射頭驅(qū)動電路48。噴射頭驅(qū)動電路48使來自控制裝置41的噴出控制信號SI對應(yīng)于各個壓電元件PZ(多數(shù))并順序進(jìn)行串行/并行轉(zhuǎn)換。
噴射頭驅(qū)動電路48接收來自控制裝置41的噴出定時信號LP1時，對根據(jù)噴出控制信號SI選擇的壓電元件PZ分別供給壓電元件驅(qū)動電壓COM1。此外，噴射頭驅(qū)動電路48向激光驅(qū)動電路49輸出串行/并行轉(zhuǎn)換的噴出控制信號SI。
控制裝置41連接到激光驅(qū)動電路49，向激光驅(qū)動電路49輸出同步于規(guī)定的時鐘信號的激光驅(qū)動電壓COM2。激光驅(qū)動電路49接收來自噴射頭驅(qū)動電路48的噴出控制信號SI時，僅待機(jī)規(guī)定時間(所述的照射待機(jī)時間)，向根據(jù)噴出控制信號SI選擇出的各半導(dǎo)體激光器LD分別供給激光驅(qū)動電壓COM2。即，每當(dāng)使著落的液滴Fb向目標(biāo)照射位置PT搬送移動時，控制裝置41都通過激光驅(qū)動電路49，向此液滴Fb的區(qū)域照射激光B。
控制裝置41連接到轉(zhuǎn)動電動機(jī)驅(qū)動電路50，對轉(zhuǎn)動電動機(jī)驅(qū)動電路50輸出轉(zhuǎn)動電動機(jī)驅(qū)動信號SMR。轉(zhuǎn)動電動機(jī)驅(qū)動電路50響應(yīng)來自控制裝置41的轉(zhuǎn)動電動機(jī)驅(qū)動信號SMR使用于使轉(zhuǎn)動臺35轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動電動機(jī)MR正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)動電動機(jī)驅(qū)動電路50接收來自控制裝置41的轉(zhuǎn)動電動機(jī)驅(qū)動信號SMR時，正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動電動機(jī)MR，使轉(zhuǎn)動臺35(照射口37a)僅轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)動角度θr。
接著，說明使用液滴噴出裝置20形成識別碼10的方法。
首先，如圖2所示，在基板臺23上固定基板2使其表面2a為上側(cè)。此時，在引導(dǎo)構(gòu)件24(滑架27)的-X方向的一側(cè)配置基板2，在基準(zhǔn)位置配置轉(zhuǎn)動臺35。
接著，操作輸入裝置42，將描繪數(shù)據(jù)Ia和轉(zhuǎn)動角度數(shù)據(jù)Iθ輸入到控制裝置41。于是，控制裝置41根據(jù)描繪數(shù)據(jù)Ia，生成并保存位測繪圖數(shù)據(jù)BMD，生成壓電元件驅(qū)動電壓COM1及激光驅(qū)動電壓COM2。生成壓電元件驅(qū)動電壓COM1及激光驅(qū)動電壓COM2時，控制裝置41控制Y軸電動機(jī)MY的驅(qū)動。在+X方向上搬送基板2時，沿Y方向設(shè)置滑架27(各噴嘴N)以便各目標(biāo)噴出位置P通過對應(yīng)的著落位置PF。
此外，控制裝置41根據(jù)轉(zhuǎn)動角度數(shù)據(jù)Iθ生成轉(zhuǎn)動電動機(jī)驅(qū)動信號SMR，將此轉(zhuǎn)動電動機(jī)驅(qū)動信號SMR向轉(zhuǎn)動電動機(jī)驅(qū)動電路50輸出。輸出轉(zhuǎn)動電動機(jī)驅(qū)動信號SMR時，控制裝置41通過轉(zhuǎn)動電動機(jī)驅(qū)動電路50，正轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動電動機(jī)MR，使轉(zhuǎn)動臺35從基準(zhǔn)位置轉(zhuǎn)動到照射位置。由此，能夠在維持來自各照射口37a的激光B的照射位置的位置精度的狀態(tài)下，改變激光B的照射角度θ。
使轉(zhuǎn)動臺35在照射位置轉(zhuǎn)動時，控制裝置41控制X軸電動機(jī)MX的驅(qū)動，開始向基板2的+X方向的搬送?？刂蒲b置41根據(jù)來自基板檢測裝置45及X軸電動機(jī)轉(zhuǎn)動檢測器46的檢測信號，判斷是否將位于最X方向上的數(shù)據(jù)單元C的目標(biāo)噴出位置P搬送到噴嘴N的正下方。
在此期間，控制裝置41對噴射頭驅(qū)動電路48輸出噴出控制信號SI，并且對噴射頭驅(qū)動電路48及激光驅(qū)動電路49分別輸出壓電元件驅(qū)動電壓COM1及激光驅(qū)動電壓COM2。
然后，將位于最+X方向一側(cè)的數(shù)據(jù)單元C的目標(biāo)噴出位置P搬送到著落位置PF時，控制裝置41向噴射頭驅(qū)動電路48輸出噴出定時信號LP1。
對噴射頭驅(qū)動電路48輸出噴出定時信號LP1時，控制裝置41通過噴射頭驅(qū)動電路48，向根據(jù)噴出控制信號SI選擇出的壓電元件PZ分別供給壓電元件驅(qū)動電壓COM1，從選擇出的噴嘴N中一齊噴出液滴Fb。噴出的液滴Fb著落目標(biāo)噴出位置P，借助于通過基板臺23的搬送移動在+X方向上移動。在+X方向上移動的液滴Fb，隨著此搬送時間的經(jīng)過，在對應(yīng)的數(shù)據(jù)單元C內(nèi)濕潤擴(kuò)散。然后，在從噴出動作的開始經(jīng)過僅照射待機(jī)時間時，控制裝置41使著落目標(biāo)噴出位置P的液滴Fb到達(dá)目標(biāo)照射位置PT，其外徑為單元寬度W。
此外，向噴射頭驅(qū)動電路48輸出噴出定時信號LP1時，控制裝置41通過激光驅(qū)動電路49，使半導(dǎo)體激光器LD僅待機(jī)照射待機(jī)時間。接著，控制裝置41對根據(jù)來自噴射頭驅(qū)動電路48的噴出控制信號SI選擇出的半導(dǎo)體激光器LD分別供給激光驅(qū)動電壓COM2。然后，控制裝置41使激光B從選擇出的半導(dǎo)體激光器LD中一齊射出。
從半導(dǎo)體激光器LD射出的激光B，由于轉(zhuǎn)動臺35的轉(zhuǎn)動，使此照射角θ僅減小轉(zhuǎn)動角θr，使相對于液滴Fb的能量密度增加。而且，從半導(dǎo)體激光器LD射出的激光的照射位置能夠維持在目標(biāo)照射位置PT。并且，規(guī)避照射到液滴Fb的激光B的能量不足，即干燥不足，在基板2的表面2a上形成外徑由單元寬度W構(gòu)成的點(diǎn)D。由此，能夠在位于最+X方向的數(shù)據(jù)單元C中形成與單元寬度W相配的點(diǎn)D。
以后，同樣地，控制裝置41在+X方向上搬送基板2，每當(dāng)各目標(biāo)噴出位置P到達(dá)著落位置PF時，就從選擇出的噴嘴N中噴出液滴Fb，在著落的液滴Fb為單元寬度W的定時下，對液滴Fb的區(qū)域照射激光B。由此，在編碼形成區(qū)域S內(nèi)，形成所有的點(diǎn)D。
接著，在下文中描述所述結(jié)構(gòu)的第一實施方式的優(yōu)點(diǎn)。
在滑架27上設(shè)置以目標(biāo)照射位置PT為轉(zhuǎn)動中心的轉(zhuǎn)動臺35，在轉(zhuǎn)動臺35配設(shè)激光頭37。使轉(zhuǎn)動臺35從基準(zhǔn)位置向照射位置移動時，激光頭37的各照射口37a分別以對應(yīng)的目標(biāo)照射位置PT為中心轉(zhuǎn)動，使激光B的照射角度θ僅減小轉(zhuǎn)動臺35的轉(zhuǎn)動角度θr。
因此，改變激光B的照射角θ時，能夠?qū)⒓す釨的照射位置維持在目標(biāo)照射位置PT。其結(jié)果，能夠維持激光B的照射位置和此照射位置的精度，并改變僅相對于液滴Fb的照射角度θ。
并且，在改變照射角度θ時，還能夠維持照射口37a和對應(yīng)的目標(biāo)照射位置PT之間的距離(光路長度)。由此，就能夠僅根據(jù)照射角度θ來規(guī)定在表面2a上形成的光剖面的尺寸和形狀。其結(jié)果，能夠更確實地對液滴Fb的區(qū)域照射所希望的光剖面的激光B。
其結(jié)果，能夠維持激光B的位置和其精度，并且根據(jù)液滴Fb的組成和尺寸，以及表面2a的表面狀態(tài)來改變激光B的照射條件。進(jìn)而，能夠擴(kuò)展噴墨法的圖形形成的利用范圍。
第二實施方式下面，根據(jù)圖7及圖8說明具體化的本發(fā)明的第二實施方式。
在第二實施方式中，在第一實施方式的噴射頭30附近設(shè)置作為第一反射構(gòu)件(reflector)的反射鏡M，改變導(dǎo)向面34a的曲率中心的位置。因此，在下面詳細(xì)說明反射鏡M和導(dǎo)向面34a的變更點(diǎn)。X、Y、Z方向的定義與第一實施方式的相同。
在圖7中，反射鏡M吊裝于支承構(gòu)件28，且被配設(shè)在噴射頭30的下方。反射鏡M在噴射頭30的一個側(cè)面上具有與所述基板2的表面2a平行的反射面Ma。反射面Ma作為第一反射面起作用，向所述噴嘴形成面31a正反射入射的激光B。
在反射鏡M的右側(cè)即-X方向上，在噴射頭30中配備有作為第二反射構(gòu)件的噴嘴板31。噴嘴板31具有與所述基板2的表面2a及反射面Ma平行的噴嘴形成面31a。噴嘴形成面31a作為第二反射面起作用，正反射來自反射鏡M的激光B。
如圖7A所示，在本實施方式中，反射距離Hr是反射面Ma和噴嘴形成面31a之間的距離。此外，在本實施方式中，轉(zhuǎn)動中心位置PO是在目標(biāo)照射位置PT的下方即-Z方向，距同目標(biāo)照射位置PT的距離成為所述反射距離Hr的2倍距離(反射修正距離Hpc)的位置。
在圖7中，導(dǎo)向構(gòu)件34被配設(shè)在滑架27的下側(cè)。導(dǎo)向構(gòu)件34位于相對于支承構(gòu)件28(噴射頭30)基板2的進(jìn)行方向即+X方向。導(dǎo)向構(gòu)件34構(gòu)成轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)。導(dǎo)向構(gòu)件34通過滑架27的Y方向的幾乎整個寬度延伸，且具有L字狀的剖面。導(dǎo)向構(gòu)件34具有導(dǎo)向面34a，導(dǎo)向面34a從Y方向看，是按以所述轉(zhuǎn)動中心位置PO為曲率中心的圓弧狀形成的凹面，通過導(dǎo)向構(gòu)件34的Y方向的整個寬度形成導(dǎo)向面34a。
在導(dǎo)向構(gòu)件34的導(dǎo)向面34a上配設(shè)有轉(zhuǎn)動臺35。轉(zhuǎn)動臺35構(gòu)成轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)。轉(zhuǎn)動臺35具有沿著導(dǎo)向面34a的滑動面35a。轉(zhuǎn)動電動機(jī)MR接收用于使轉(zhuǎn)動臺35轉(zhuǎn)動的信號(參照圖6轉(zhuǎn)動電動機(jī)驅(qū)動信號SMR)時，通過轉(zhuǎn)動電動機(jī)MR的正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)驅(qū)動，以所述轉(zhuǎn)動中心位置PO為轉(zhuǎn)動中心，使轉(zhuǎn)動臺35進(jìn)行圖7中的左旋或右旋轉(zhuǎn)動。
在本實施方式中，如圖7的實線所示，基準(zhǔn)位置是指此滑動面35a和導(dǎo)向面34a相面對的轉(zhuǎn)動臺35的位置。此外，如圖7的虛線所示，照射位置是指自基準(zhǔn)位置僅右旋規(guī)定角度(即轉(zhuǎn)動角θr)轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動臺35的位置。
在圖7中，在轉(zhuǎn)動臺35中，與第一實施方式相同，通過定位定位構(gòu)件36安裝激光頭37。激光頭37從照射口37a向轉(zhuǎn)動中心位置PO射出來自內(nèi)置的各半導(dǎo)體激光器LD的激光B。
在本實施方式中，照射角θ是相對于反射面Ma的激光B的光軸A1和基板2的法線(Z方向)的所成角度，基準(zhǔn)照射角度θi是指轉(zhuǎn)動臺35位于基準(zhǔn)位置時的照射角度θ。
當(dāng)轉(zhuǎn)動臺35位于基準(zhǔn)位置時，激光頭37向轉(zhuǎn)動中心位置PO射出來自照射口37a的激光B。從照射口37a射出的激光B，分別經(jīng)過各1次通過反射面Ma的正反射和通過噴嘴形成面31a的正反射，在將照射角度θ維持在基準(zhǔn)照射角度θi的狀態(tài)下，照射在表面2a上。
進(jìn)行詳細(xì)說明時，從照射口37a向轉(zhuǎn)動中心位置PO射出的激光B，由反射面Ma向上方僅反射1次，照射轉(zhuǎn)動中心位置PO的上方。其結(jié)果，在反射面Ma反射激光B的次數(shù)為n時，向轉(zhuǎn)動中心位置PO照射的激光B的照射位置就為距轉(zhuǎn)動中心PO僅反射距離Hr的2倍(n×2)的距離(即反射修正距離Hpc＝n×2×Hr)在+Z方向上移動的位置。
然后，轉(zhuǎn)動電動機(jī)MR正轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)動臺35從基準(zhǔn)位置移動到照射位置。于是，如圖8所示，各照射口37a分別以轉(zhuǎn)動中心位置PO為中心右旋轉(zhuǎn)動。激光B的照射角度θ僅比基準(zhǔn)照射角度θi變小轉(zhuǎn)動角度θr。
此時，來自照射口37a的激光B在反射面Ma和噴嘴形成面31a之間的空間進(jìn)行多重反射，此后，轉(zhuǎn)動中心PO為中心，沿轉(zhuǎn)動僅轉(zhuǎn)動角度θr的光軸A1(用2點(diǎn)虛線表示)，使激光B沿光軸A1照射在表面2a上(圖8A)。即，向轉(zhuǎn)動中心位置PO輸出的激光B，其照射角度θ僅比基準(zhǔn)照射角度θi變小轉(zhuǎn)動角度θ，并且，其照射位置能夠維持在目標(biāo)照射位置PT。
因此，當(dāng)液滴噴出裝置2θ使轉(zhuǎn)動臺35轉(zhuǎn)動角度θr時，在照射在目標(biāo)照射位置PT的激光B的照射角度θ能夠僅改變轉(zhuǎn)動角度θr，同時激光B的照射位置仍能夠維持在目標(biāo)照射位置PT。
接著，在下文中描述所述結(jié)構(gòu)的第二實施方式的優(yōu)點(diǎn)。
在照射口37a和目標(biāo)照射位置PT之間配設(shè)能正E反射激光B的反射面Ma及噴嘴形成面31a。此外，轉(zhuǎn)動臺35的轉(zhuǎn)動中心位置PO位于，作為目標(biāo)照射位置PT的-Z方向，在自同目標(biāo)照射位置PT的距離離開僅反射修正距離Hpc的位置。并且，轉(zhuǎn)動臺35即激光頭37的照射口37a以轉(zhuǎn)動中心位置PO為中心轉(zhuǎn)動。
因此，改變激光B的“照射角度θ”時，就能夠?qū)⒓す釨的照射位置維持在目標(biāo)照射位置PT。其結(jié)果，能夠維持激光B的照射位置和其位置精度，并且改變僅相對于液滴Fb的照射角度θ。
并且，在改變照射角度θ時，還能夠維持照射口37a和對應(yīng)的目標(biāo)照射位置PT之間的距離(光路長)。由此，就能夠僅根據(jù)照射角度θ來規(guī)定在表面2a上形成的激光B的光剖面的尺寸和形狀。其結(jié)果，就能夠更確實地對液滴Fb的區(qū)域照射所希望的光剖面(能量密度)的激光B。
此外，由于通過Ma和噴嘴形成面31a之間的反射，激光B的照射角度θ比第一實施方式更接近0°。照射在液滴Fb的激光B的方向就接近Z方向。因此，能夠擴(kuò)大照射角度θ的變更范圍，能夠擴(kuò)大液滴Fb的干燥條件的范圍。
再有，所述實施方式還可以進(jìn)行以下變更。
也可以減小照射角度θ，并且降低激光B的輸出強(qiáng)度，減小僅對液滴Fb照射的激光B的光剖面來維持相同的能量密度。
此外，轉(zhuǎn)動臺35也可以左旋轉(zhuǎn)動以增大照射角度θ。如果這樣，能夠擴(kuò)大相對于液滴Fb的激光B的光剖面，就能夠降低其能量密度。其結(jié)果，就能擴(kuò)大用于干燥液滴Fb的條件范圍，能夠擴(kuò)大液滴Fb的材料構(gòu)成的范圍。進(jìn)而能夠擴(kuò)大液滴噴出裝置20的利用范圍。
著落位置PF和目標(biāo)照射位置PT也可以是相同的位置。
替代利用反射面Ma和噴嘴形成面31a，分別僅1次反射激光B，也可以利用反射面Ma和噴嘴形成面31a多次反射激光B。此時，反射修正距離Hpc優(yōu)選為在反射距離Hr上乘以在激光B的反射面Ma中的反射次數(shù)n的2倍距離。
代替利用激光B干燥及烘焙液滴Fb，也可以利用激光B的能量使液滴Fb在所希望的方向上流動?；蛘?，也可以對僅液滴Fb的外緣照射激光B，使液滴Fb鎖定。即，也可以通過對液滴Fb的區(qū)域照射激光B來形成標(biāo)記。
由液滴Fb形成的標(biāo)記不限于半圓球狀的點(diǎn)D，例如也可以是橢圓形狀的點(diǎn)和線狀的標(biāo)記。
除了將標(biāo)記具體化成識別碼10的點(diǎn)D外，也可具體化成設(shè)置在液晶顯示裝置、有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置或包括平面狀的電子發(fā)射元件的電場效應(yīng)型裝置(FED和SED)中的各種薄膜、金屬布線、濾色片等。即，也可以是由著落的液滴Fb形成的標(biāo)記。電場效應(yīng)型裝置對熒光物質(zhì)照射從同一元素釋放出的電子，使同一熒光物質(zhì)發(fā)光。
基板2也可以是硅基板、柔性基板或金屬基板，噴出液滴Fb的面2a也可以是這些基板的一個側(cè)面。即，噴出液滴Fb的面也可以是由著落的液滴Fb形成標(biāo)記的對象物的一個側(cè)面。
權(quán)利要求
1.一種標(biāo)記形成方法，具有向?qū)ο笪锉砻鎳姵龊袠?biāo)記形成材料的液滴的步驟；從照射口向規(guī)定的目標(biāo)照射位置射出激光的步驟；使所述對象物及所述照射口中的至少一個相對于另一個移動，以使從所述照射口射出的激光照射到著落在所述表面上的所述液滴，即通過對所述液滴照射激光而在所述表面上形成標(biāo)記的步驟，所述標(biāo)記形成方法的特征在于，為設(shè)定所述激光的照射角度，而以所述目標(biāo)照射位置為轉(zhuǎn)動中心使所述照射口轉(zhuǎn)動。
2.一種標(biāo)記形成方法，具有向?qū)ο笪锉砻鎳姵龊袠?biāo)記形成材料的液滴的步驟；從照射口射出激光，將此激光導(dǎo)向規(guī)定的目標(biāo)照射位置的步驟；使所述對象物及所述照射口中的至少一個相對于另一個移動，以使從所述照射口射出的激光照射到著落在所述表面上的所述液滴，即通過對所述液滴照射激光而在所述表面上形成標(biāo)記的步驟，所述標(biāo)記形成方法的特征在于，包括從所述照射口向與所述表面平行的第一反射面射出激光的步驟；使所述第一反射面接收的激光從所述第一反射面向與所述表面相對的第二反射面反射的步驟；使所述第二反射面接收的激光從所述第二反射面向所述目標(biāo)照射位置反射的步驟；以及如下步驟為設(shè)定所述激光相對于所述第一反射面的照射角度，以相對于包括所述目標(biāo)照射位置的所述表面的法線上的位置為轉(zhuǎn)動中心使所述照射口轉(zhuǎn)動，即，設(shè)所述第一反射面的所述激光的反射次數(shù)為n、所述第一反射面和所述第二反射面之間的距離為Hr、所述目標(biāo)照射位置和所述轉(zhuǎn)動中心之間的距離為Hpc時，所述轉(zhuǎn)動中心被定為滿足Hpc＝n×2×Hr。
3.一種液滴噴出裝置，具有液滴噴射頭，該液滴噴射頭向?qū)ο笪锉砻鎳姵龊袠?biāo)記形成材料的液滴；具有照射口的激光照射裝置，該激光照射裝置從所述照射口向規(guī)定的目標(biāo)照射位置射出激光；以及相對移動裝置，該相對移動裝置使所述對象物及所述照射口中的至少一個相對于另一個移動，以使從所述照射口射出的激光照射到著落于所述表面上的所述液滴，所述液滴噴出裝置的特征在于，所述激光照射裝置具有轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，該轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)為設(shè)定所述激光的照射角度，而以所述目標(biāo)照射位置為轉(zhuǎn)動中心使所述照射口轉(zhuǎn)動。
4.一種液滴噴出裝置，具有液滴噴射頭，該液滴噴射頭向?qū)ο笪锉砻鎳姵龊袠?biāo)記形成材料的液滴；具有照射口的激光照射裝置，該激光照射裝置從所述照射口射出激光，將此激光導(dǎo)向規(guī)定的目標(biāo)照射位置；以及相對移動裝置，該相對移動裝置使所述對象物及所述照射口中的至少一個相對于另一個移動，以使從所述照射口射出的激光照射到著落于所述表面上的所述液滴，所述液滴噴出裝置的特征在于，所述激光照射裝置包括具有與所述表面平行的第一反射面的第一反射構(gòu)件，所述第一反射面接收從所述照射口射出激光，向所述液滴噴射頭反射；具有與所述表面相對的第二反射面的第二反射構(gòu)件，所述第二反射面接收來自所述第一反射面的所述激光，向所述目標(biāo)照射位置反射；轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，該轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)為設(shè)定所述激光相對于所述第一反射面的照射角度，而以相對于包括所述目標(biāo)照射位置的所述表面的法線上的位置為轉(zhuǎn)動中心使所述照射口轉(zhuǎn)動，當(dāng)設(shè)所述第一反射面的所述激光的反射次數(shù)為n、所述第一反射面和所述第二反射面之間的距離為Hr、所述目標(biāo)照射位置和所述轉(zhuǎn)動中心之間的距離為Hpc時，所述轉(zhuǎn)動中心被定為滿足Hpc＝n×2×Hr。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述第二反射構(gòu)件是具有噴出所述液滴的噴嘴的噴嘴板。
全文摘要
向基板表面噴出含有標(biāo)記形成材料的液滴。從激光頭的照射口向基板表面上的目標(biāo)照射位置射出激光。使對象物及照射口中的至少一個相對于另一個移動，以便從照射口射出的激光照射基板表面上的液滴?？梢栽O(shè)定激光的照射角度，以目標(biāo)照射位置為轉(zhuǎn)動中心使照射口轉(zhuǎn)動。由此，能夠改變激光的照射角度，并且維持激光的位置精度。
文檔編號B41J3/407GK1982063SQ2006100640
公開日2007年6月20日 申請日期2006年10月27日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月28日
發(fā)明者巖田裕二 申請人:精工愛普生株式會社