專利名稱：液狀體的涂敷方法、有機el元件的制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及液狀體的涂敷方法、有機EL元件的制造方法。
背景技術：
作為液狀體的涂敷方法，公知有一種通過從液滴噴出頭的多個噴嘴 把液狀體作為液滴噴出，形成在電極間形成的多層功能層中的至少l層， 并使液滴噴出頭掃描，對于與l個所述電極對應的區(qū)域，涂敷從不同的 噴嘴噴出的液滴的顯示裝置的制造方法(專利文獻l)。
根據(jù)上述顯示裝置的制造方法，通過使用不同的噴嘴噴出液滴，可 抵消噴嘴之間的噴出量的偏差，能減小各電極間的組成物量的偏差。
此外，作為其他液的狀體的涂敷方法，公知有一種噴出裝置的控制 方法，該噴出裝置具備設置有噴出液狀粘性物的多個噴嘴、和與該噴嘴 分別對應的多個壓力發(fā)生元件的頭，所述控制方法包含對壓力發(fā)生元 件分別作用成為基準的驅動脈沖，從各噴嘴噴出液狀粘性物的第一步 驟；和根據(jù)噴出的液狀粘性物的噴出重量的測定結果，劃分多個噴嘴，
波形的驅動脈沖，噴出液狀粘性物的第二步驟(專利文獻2)。 [專利文獻l]特開2003-249355號7>才艮 [專利文獻2特開2005-193104號公報
根據(jù)上述顯示裝置的制造方法，與對一個區(qū)域從同一噴嘴涂敷液滴 的情形相比，具有使不同的噴嘴與所述區(qū)域對應的液滴噴出頭的掃描次 數(shù)增加，難以提高液滴涂敷的生產性的課題。
而且，根據(jù)上述噴出裝置的控制方法，如果多個噴嘴的數(shù)量增加， 則與噴出重量對應的驅動脈沖的種類也增加，具有生成驅動脈沖并對壓 力發(fā)生元件施加該脈沖的驅動電路變得更復雜的課題。

發(fā)明內容
本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而提出的，能作為以下的 方式或應用例來實現(xiàn)。在上述應用例的液狀體的涂敷方法中，決定所述多個液 滴群中成為修正的基準的液滴群，相對于該液滴群的所述修正水準的間 隔，使另一方的液滴群的所述修正水準的間隔為2倍以上。根據(jù)該方法，在由多個修正水準的組合而取得的多個液滴群的涂敷 量的水準中，能可靠地減少同等的組合。因此，能提供更多液狀體的涂 敷量的水準，進行修正。
[應用例14在上述應用例的液狀體的涂敷方法中，決定所述多個液 滴群中成為修正的基準的液滴群，該液滴群的所述修正水準的間隔乘以 該液滴群的所述修正水準的數(shù)量的值，是其他液滴群的所述修正水準的 間隔。
根據(jù)該方法，其它液滴群的修正水準的間隔相對于成為基準的液滴 群，成為等比數(shù)。因此，能使多個液滴群彼此關聯(lián)，進行具有一貫性的 涂敷量的修正。
應用例15在上述應用例的液狀體的涂敷方法中，將所述多個液滴 群中液滴數(shù)最少的液滴群作為所述修正的基準。
根據(jù)該方法，以液滴數(shù)作為基準，在多個液滴群之間，能把修正量 的比率水準化。即，能進行誤差小的高精度的修正。
應用例16在上述應用例的液狀體的涂敷方法中，將所述多個液滴 群中液滴量最少的液滴群作為所述修正的基準。
根據(jù)該方法，以液滴量作為基準，在多個液滴群之間，能把修正量 的比率水準化。即，能進行誤差小的高精度的修正。
[應用例171在上述應用例的液狀體的涂敷方法中，成為所述基準的 液滴群的修正水準的數(shù)量和其他液滴群的修正水準的數(shù)量相同。
根據(jù)該方法，對各液滴群提供相等的修正水準的數(shù)量，對它們進行 組合的涂敷量具有更多的修正水準，能進行更致密的修正。
[應用例18在上述應用例的液狀體的涂敷方法中，所述各液滴群的 所述修正水準的數(shù)量和所述多個驅動信號的數(shù)量相同。
由于修正水準的數(shù)量由多個驅動信號提供，所以根據(jù)該方法，對各 液滴群能有效利用多個驅動信號，對多個液滴群能進行具有一貫性的涂 敷量的修正。[應用例191本應用例的有機EL元件的制造方法，在基板上劃分形
成的多個發(fā)光層形成區(qū)域中至少具有發(fā)光層，其特征在于，包括使用 上述應用例的液狀體的涂敷方法，按所述各發(fā)光層形成區(qū)域，把包含發(fā) 光層形成材料的液狀體作為所述多個液滴群進行涂敷的涂敷步驟；和使 涂敷的所述液狀體固化，形成所述發(fā)光層的發(fā)光層形成步驟。
根據(jù)該方法，在涂敷步驟中，能相對于規(guī)定涂敷量抑制偏差地，按 各發(fā)光層形成區(qū)域涂敷包含發(fā)光層形成材料的液狀體。因此，在發(fā)光層 形成步驟中，能形成膜厚偏差少的發(fā)光層。由此，能制造因膜厚差移引 起的發(fā)光不均勻或亮度不均勻減少，具有穩(wěn)定的發(fā)光特性的有機EL元 件。
[應用例20在上述應用例的有機EL元件的制造方法中，所述涂敷 步驟在所希望的所述發(fā)光層形成區(qū)域分別涂敷能夠獲得不同的發(fā)光色 的多種所述液狀體，所述發(fā)光層形成步驟使被涂敷的多種所述液狀體固 化，至少形成紅、綠、藍3色的所述發(fā)光層。
根據(jù)該方法，由于至少形成紅、綠、藍3色的發(fā)光層，所以能制造 可穩(wěn)定獲得全彩色發(fā)光的有機EL元件。


圖l是表示基本的液狀體的涂敷方法的表。
圖2是表示實施例1的液狀體的涂敷方法的表。
圖3是表示實施例2的液狀體的涂敷方法的表。
圖4是表示實施例3的液狀體的涂敷方法的表。
圖5是表示實施例4的液狀體的涂敷方法的表。
圖6是表示比較例的液狀體的涂敷方法的表。
圖7是表示液滴噴出裝置的結構的概略立體圖。
圖8 (a)是表示噴出頭的構造的概略分解立體圖，(b)是表示噴 嘴部的構造的剖面圖。圖9是表示頭單元的噴出頭的配置的概略俯視圖。
圖IO是表示液滴噴出裝置的控制系統(tǒng)的框圖。
圖11是表示噴出頭的電氣控制的框圖。
圖12是驅動信號和控制信號的定時(timing)圖。
圖13是表示液狀體的涂敷方法的流程圖。
圖14是表示涂敷量的噴出量的偏差的度數(shù)分布的曲線圖。
圖15是表示各區(qū)間的涂敷量的范圍和修正量的表。
圖16是表示與區(qū)間對應的液滴群的修正量的表。
圖17是表示有機EL裝置的構造的概略剖面圖。
圖18 (a)是表示基板上的發(fā)光層形成區(qū)域的概略俯視圖，(b)是 以(a)的H-H，線進行切割的概略剖面圖。
圖19是表示發(fā)光元件部的制造方法的流程圖。
圖20是表示發(fā)光元件部的制造方法的概略剖面圖。
圖21是表示液狀體的涂敷方法的概略俯視圖。
符號說明IO—液滴噴出裝置；50—噴出頭；52—噴嘴；52A、 52B —噴嘴列；59—作為驅動部件的振動件；100R、 100G、 100B—包含發(fā) 光層形成材料的液狀體；601—作為基板的元件基板；617R、 617G、 617B 一發(fā)光層；A—作為涂敷區(qū)域的發(fā)光層形成區(qū)域；D、 D2、 Ds—液 滴；G^、 Gr2—液滴群；Q—液狀體的涂敷量；W—作為工件的基板。
具體實施例方式
以下，按照附圖，說明把本發(fā)明具體化的實施方式。
(實施方式1)
<液狀體的涂敷方法首先，說明本實施方式的液狀體的涂敷方法的基本考慮方法。本實 施方式的液狀體的涂敷方法被應用于使用液滴噴出法(噴墨法)，對一
個涂敷區(qū)域涂敷由多個(m個)液滴群Gr (Gn、 Gr2、 Gr3、、 Grm) 構成的液狀體(墨水)的情形。各液滴群Gr (Gri、 Gr2、 Gr3、、 Grm)分別至少由一個液滴構成。如果各液滴群Gr (Gn、 Gr2、 Gr3、、 Grm)的噴出量(以下稱作液滴量)為q!、 q2、 q3、、 qm，則在 一個涂敷區(qū)域涂敷的液狀體的總量(涂敷量)Q由以下的數(shù)學式(1) 表示。
數(shù)學式(1)
…a)
作為將液狀體作為液滴向涂敷區(qū)域噴出的方法，使用后面描述的液
滴噴出裝置10 (參照圖7)。液滴噴出裝置10能夠以等間隔Aq對液滴 群Gr的基準液滴量q,進行n水準(level)的修正。即，能夠從q、 q + Aq、 q + 2厶q、 q + 3厶q、 、 q+ (n-l) △ q之中選擇被《務正的水 準。因此，能夠以能夠以等間隔的多個(n)水準對多個液滴群(Gri、 Gr2、 Gr3、、 Grm)進行液滴量的寸務正。
為了容易理解說明，以對一個涂敷區(qū)域涂敷由2個液滴群Gn、 Gr2 構成的液狀體的情形為例，進行^L明。
圖1是表示基本的液狀體的涂敷方法的表。如圖1的表1所示，液 滴群G^具有基于修正間隔A^的"0" ~ "2"這3個水準的修正水準。 同樣，液滴群Gr2具有基于修正間隔厶q2的"0" "2"這3個水準的 修正水準。因此，由液滴群G^和液滴群Gr2構成的液狀體的涂敷量， 如果組合各自的修正水準，則能進行合計9個修正。
在本實施方式中，0xAqi、 lxAqi、 2 x Aqi表示了液滴群Gi^的 各修正水準的修正量。在修正水準中，"0"的水準是指成為基準的液滴 量的液滴群被噴出到涂敷區(qū)域。即，指液滴群的液滴量沒有必要修正的 狀態(tài)。在0xAq2、 lxAq2、 2xAq2中也同樣。即，在本實施方式中，
將使對液滴群Gn賦予的修正間隔△ q！和對液滴群Gr2賦予的修正間隔Aq2不同作為基本。
在這樣的液狀體的涂敷方法中，由于使修正間隔△ qi和修正間隔△ q2不同，所以，使液滴噴出的驅動信號包含能噴出成為基準的液滴量的 液滴群的、成為基準的驅動信號，能夠改變液滴的噴出量的最大5種驅 動信號是必要的。換言之，通過組合5種驅動信號、噴出液滴群，能把 液狀體的涂敷量修正為9種左右。
此外，例如在設液滴群Gr2的液滴數(shù)(噴出數(shù))為3,液滴群Gn 的液滴數(shù)為l，各液滴群G^、 Gr2的修正水準分別為3,應用了相同的 驅動信號時，液滴群Gr2的液滴量成為液滴群G^的3倍，滿足上述的 條件。當如此構成液滴群G^、 Gr2的液滴數(shù)的比，與修正水準的數(shù)量 相等時，由于作為驅動信號，能使用相同的驅動信號，所以驅動信號的 數(shù)量少。
由于這樣的液狀體的涂敷方法與怎樣生成驅動信號有關，所以參照 以下的實施例1-實施例4、和比較例，進行說明。
(實施例1)
圖2是表示實施例1的液狀體的涂敷方法的表。實施例1的液狀體 的涂敷方法對于液滴群Gn、 Gr2，賦予以修正間隔A^作為基準而規(guī) 格化的多個修正水準，把修正間隔Aq2設定為修正間隔Aql的整數(shù)倍 (3倍)的值。即，修正間隔厶q^3Aq^如果修正間隔厶q尸l,則修 正間隔Aq產3。
由此，如表2所示，對于液狀體的總量(即涂敷量)Q而言，能夠 對在根據(jù)成為基準的驅動信號噴出液滴，構成了各液滴群Gn、 Gn時 的水準"0"(即，由基準噴出量的液滴構成各液滴群G^、 Gr2時)，施 加以Aqp 2厶q丄、3厶qp 4厶q^ 5Aq^ 6AqP 7厶q^ 8Aq丄的等間 隔劃分的8個水準的修正。因此，如果包含"0"，則能實現(xiàn)9個水準的 液狀體的涂敷量。因此，多個驅動信號以修正間隔A化作為基準，生成 5種對基準的驅動信號施加了修正的修正驅動信號，此外，在先前的條 件(構成液滴群Gn、 Gr2的液滴數(shù)之比與修正水準的數(shù)量相等)時， 生成3種。而且，實施例l是對于成為基準的液滴群Gn，在液滴量增加的方向修正其他的液滴群Gr2的例子。 (實施例2 )
圖3是表示實施例2的液狀體的涂敷方法的表。實施例2的液狀體 的涂敷方法相對于實施例1，把修正間隔Aq2設定為修正間隔Aqt的整 數(shù)倍(2倍)的值。即，修正間隔Aq尸2Aq^如果修正間隔Aq產l, 則^修正間隔Aq尸2。
由此，如表3所示，液狀體的總量Q (即涂敷量)因為局部地發(fā)生 等價(同水準)的組合，所以能修正成從"0" "6"的以等間隔"1" 劃分的7個水準。因此，與實施例l相比，下降了2個水準，但是與液 滴群Gri、 Gr2的修正水準的總數(shù)相比，能以多一個數(shù)的水準進行液狀 體的涂敷量的修正。多個驅動信號的種類與實施例l相同，但是涂敷量 的修正寬度當然減少。
(實施例3 )
圖4是表示實施例3的液狀體的涂敷方法的表。實施例3的液狀體 的涂敷方法把修正間隔Aq2設為修正間隔Aq！的非整數(shù)倍。例如，△ q2=2.4Aqi。如果修正間隔厶q產l，則Aqf2.4。即，如果取實施例1 和實施例2的中間的值，則如表4所示，能以1以下的精度進行修正。 能夠修正的水準的數(shù)量與實施例l相同，但另一方，液滴群之間的修正 間隔變?yōu)椴痪?。換言之，能夠進行涂敷量的修正間隔變?yōu)椴痪?(非 整數(shù)倍)的修正。
(實施例4)
圖5是表示實施例4的液狀體的涂敷方法的表。實施例4的液狀體 的涂敷方法把水準"0"作為基準，能夠進行正負的修正。例如，如果 修正間隔Aqt為包含O的±1,則修正間隔Aq2為修正間隔Aq!的3倍、 即包含0的土3。各液滴群G^、 Gr2的修正水準的數(shù)量分別為3,與實 施例l相同。
由此，如表5所示，液狀體的總量Q以"0"作為基準，能夠進行 ±Aqi、 士2Aq^ ±3AqP ± 4 △ qt的正負對稱的^f務正。因此，多個驅動信號包含相對成為基準的驅動信號，能夠實現(xiàn)正負對稱的修正的修正 驅動信號。
在實施例1 實施例4中，各液滴群Gn、 Gr2的修正水準的數(shù)量設 為奇數(shù)的3，但是也可以是偶數(shù)。可是，在實施例4中，正負對稱的修 正變?yōu)椴豢赡?。換言之，能夠進行正負非對稱的修正。
(比較例)
圖6是表示比較例的液狀體的涂敷方法的表。比較例是使修正間隔 △ q!和^"正間隔厶q2同等的例子。例如，^修正間隔厶q尸^"正間隔A q2=l。
由此，如表6所示，由于液狀體的總量(即涂敷量)Q與實施例1~ 實施例4相比，局部更多地發(fā)生等價(同水準)的組合，所以只能進行 比各液滴群Gri、 Gr2的修正水準的數(shù)量的和低的水準數(shù)的修正。
如果參照上述實施例1~實施例4和比較例，則作為最理想的修正方 法是，m個液滴群(G^、 Gr2、 Gr3、、 Grm)分別以n個(n" n2、 n3、、 nm)修正水準具有等間隔的修正間隔Aq (厶qp Aq2、 Aq3、、 Aqm)。 而且,修正間隔Aq(Aq" Aq2、 厶q3、、 厶qm) 的大小不同。例如，Aq^Aq2〈Aq3、、 <Aqm。如果各液滴群Gr 的^"正間隔用Nx厶q表現(xiàn)，貝'J N成為0、 1、 2、、 n-l中的一個整數(shù)。 并且，各液滴群Gr的修正水準的數(shù)量相等。由此，由液滴群(G^、 Gr2、 Gr3、、 Grm )構成的液狀體的涂敷量能夠用NmN^、、 N2N i的m位的數(shù)表現(xiàn)。同時，通過將修正水準的間隔設為修正間隔Aq產nx 修正間隔厶qp修正間隔厶q3-nx厶q2、、 △ qm=nx △ 的等比數(shù)列，
使液狀體的涂敷量的修正能用Il進數(shù)(NmNm-p 、 N2NJ表現(xiàn)，這
時整體的修正量成為n進數(shù)乘以最小修正間隔的修正間隔A化的量。此 外，能取得的全體修正量以修正間隔Aq!的等間隔成為iT的水準數(shù)。 這成為能以最多的水準等間隔實施修正的條件。
而且，在液滴群(Gn、 Gr2、 Gr3、、 Grm)的修正水準的數(shù)不相 等時，通過使修正間隔厶qfihx厶q"修正間隔Aqfii2x4務正間隔厶q2、、修正間隔厶q^n『^修正間隔厶qm^，能以修正間隔△ qi的等間隔取得如iimxn^x、、 xn2Xi^那樣的全體修正量的水準。 上述實施方式1的效果如下所示。
(1)根據(jù)上述實施方式1的液狀體的涂敷方法，具有按構成液狀 體的液滴群Gr以不同的修正間隔△ q規(guī)定的等間隔的多個(n )修正水 準，根據(jù)其組合，修正涂敷量(總量Q)。修正間隔Aq是通過從包含
成為基準的驅動信號和修正驅動信號的多個驅動信號中選擇一個而被 賦予的修正間隔。因此，能進行比多個驅動信號的數(shù)量多的水準的修正。 此外，如果把修正間隔Aq設定為最小的修正間隔A化的整數(shù)倍，則能 用最大的水準以等間隔實施修正。即，與把l滴的液滴作為單位的噴出 量的修正相比，把液滴群作為單位，能進行更高分辨率的液狀體涂敷量 的修正。
(實施方式2 )
<液滴噴出裝置>
下面，參照圖7~圖12,說明能實現(xiàn)實施方式1的液狀體的涂敷方 法的液滴噴出裝置。
圖7是表示液滴噴出裝置的結構的概略立體圖。如圖7所示，本實 施方式的液滴噴出裝置10具有使作為工件的基板W在主掃描方向(Y 軸方向)移動的工件移動機構20、和使頭單元9在副掃描方向(X軸方 向)移動的頭移動機構30。
工件移動機構20具有一對導軌21、沿著一對導軌21移動的移動臺 22、對移動臺22上借助旋轉機構6而配置的基板W進行載置的臺架5。 移動臺22通過設置在導軌21的內部的氣動滑板和線性電機(不圖示)， 在主掃描方向移動。臺架5能夠吸附固定基板W，并且通過旋轉機構6 能使基板W內的基準軸正確地與主掃描方向、副掃描方向一致。
頭移動機構30具有一對導軌31、沿著一對導軌31移動的移動臺 32。在移動臺32上設置有借助旋轉機構7吊設的滑架8。在滑架8上安 裝有搭載了多個噴出頭50 (參照圖8)的頭單元9。此外，設置有用于 對噴出頭50供給液狀體的液狀體供給機構(不圖示)、用于進行多個噴出頭50的電驅動控制的頭驅動器48 (參照圖10)。移動臺32使滑架8 在X軸方向移動，使頭單元9與基板W對置配置。
液滴噴出裝置10除了上述的結構之外，在面對多個噴出頭50的位 置配置有進行頭單元9上搭載的多個噴出頭50的噴嘴的堵塞的消除、 噴嘴面的異物和污染的除去等維護的維護機構。而且，設置具有接受向 各噴出頭50噴出的液狀體，計測其重量的電子秤等計測器的重量計測 機構60 (參照圖10)。在圖7中，省略了維護機構和重量計測機構60 的圖示。
圖8是表示液滴噴出頭的構造的概略圖。圖8 (a)是概略分解立體 圖，圖8 (b)是表示噴嘴部的構造的剖面圖。如圖8(a)和(b)所示， 噴出頭50成為按順序層疊、接合了具有噴出液滴D的多個噴嘴52的噴 嘴板51、具有對多個噴嘴52分別連通的腔55進行劃分的隔壁54的腔 板(cavity plate) 53、和具有與各腔55對應的作為驅動部件的振動件 59的振動板58的構造。
腔板53具有對與噴嘴52連通的腔55進行劃分的隔壁54、用于對 腔55填充液狀體的流路56、57。流路57被噴嘴板51和振動板58夾持， 形成的空間起到j^存液狀體的j^存器的作用。
液狀體從液狀體供給機構通過配管進行供給，在通過設置在振動板 58的供給孔58a貯存到貯存器后，通過流路56填充到各腔55。
如圖8(b)所示，振動件59是由壓電元件59c、夾持壓電元件59c 的一對電極59a、 59b構成的壓電元件。從外部對一對電極59a、 59b施 加驅動信號，從而使接合的振動板58變形。伴隨著振動板58的變形， 由隔壁54劃分的腔55的體積減少，對填充的液狀體加壓。由此，成為 可從噴嘴52把液狀體作為液滴D噴出的構造。然后，如果驅動信號的 施加結束，則振動板58復原，腔55的體積復原，液狀體被從貯存器吸 引到腔55。通過控制向壓電元件59c施加的驅動信號，能對各噴嘴52 進行使液滴的噴出量和噴出速度改變的噴出控制。
噴出頭50的驅動部件并不局限于壓電元件。也可以是通過靜電吸 附使振動板58變位的電氣機械變換元件、把液狀體加熱并且作為液滴D從噴嘴52噴出的電熱變換元件(加熱方式)。
圖9是表示頭單元的噴出頭的配置的概略俯視圖。具體而言，是從 與臺架5對置一側觀察的圖。
如圖9所示，頭單元9具有配置有多個噴出頭50的頭板9a。在頭 板9a上搭載有3個噴出頭50。在本實施方式中，成為能從各噴出頭50 (Rl、 Gl、 Bl)噴出不同的液狀體的結構。
各噴出頭50具有由以幾乎相等的間隔(大致141 jam的噴嘴間隔 Pl)配置的多個(180個)噴嘴52構成的兩個噴嘴列52A、 52B。噴嘴 列52A和噴嘴列52B在彼此偏移了噴嘴間隔Pl的一半的噴嘴間隔P2 的狀態(tài)下，設置在噴嘴板51上。因此，如果從與噴嘴列52A、 52B正 交的方向觀察，實質上大致以70.5jLim的噴嘴間隔P2配置了噴嘴52。 噴嘴52的直徑大致為28nm。設由1個噴出頭50能夠描畫的描畫寬度 為L，它成為2個噴嘴列52A、 52B的有效長度。
在本實施方式中，各噴出頭50(R1、 Gl、 Bl)彼此并行，配置在 頭板9a上。
另外，噴出頭50相對于頭板9a的配置方法并不局限于此。而且， 在噴出頭50上設置的噴嘴列并不局限于2列，可以是1列，也可以是3 列。
如圖8 (a)和(b)所示，由于根據(jù)腔55、流路56、 57的設計尺 寸及其加工精度，流到各腔55的液狀體的流動阻力不同，所以，從多 個噴嘴52噴出的液滴D的噴出量按各噴嘴52變動。而且，也受被供給 液狀體的供給孔58a相對于多個腔55,形成在怎樣的位置的影響。并且， 還受到按各腔55設置的振動件59的固有振動特性的影響。即，有時從 各噴嘴列52A、 52B噴出的液滴D的噴出量按各噴出頭50而不同。
因此，對振動件59賦予具有規(guī)定的驅動電壓的驅動信號，從噴嘴 52噴出數(shù)千到數(shù)萬左右的噴出數(shù)(噴出發(fā)數(shù))的液滴D，使用上述的重 量計測機構60 (參照圖10)計測該液狀體的重量。然后，把計測出的 液狀體的重量除以上述噴出數(shù)，計算1滴的重量，預先調查液滴D的噴 出量。在本實施方式中，把這樣的各噴嘴52的液滴D的噴出量的信息稱作噴嘴信息。
噴嘴信息除了液滴D的噴出量之外，還可以包含各噴嘴52噴出的 液滴D的飛行彎曲(與滴落位置關聯(lián))或因堵塞引起的不噴出的信息等。 即，是表示多個噴嘴52的噴出特性的信息。
另外，液滴D的噴出量的信息的取得并不局限于上述的方法，也可 以通過調查驅動部件的電氣容量或固有振動特性，來推測。此外，所使 用的液狀體并不局限于實際向基板W噴出的液狀體，如果具有幾乎相 同的物理特性(粘度、流動性、蒸汽壓力等)，則也可以是試驗用的液 狀體。
下面，說明液滴噴出裝置10的控制系統(tǒng)。圖10是表示液滴噴出裝 置的控制系統(tǒng)的框圖。液滴噴出裝置IO的控制系統(tǒng)包括具有驅動噴 出頭50、工件移動機構20、頭移動機構30等的各種驅動器的驅動部46; 和包含驅動部46在內，控制液滴噴出裝置10的控制部4。
驅動部46具有分別驅動控制工件移動機構20和頭移動機構30 的各線性電機的移動用驅動器47、對噴出頭50進行噴出控制的頭驅動 器48、驅動控制重量計測機構60的各單元的重量計測用驅動器49、和 驅動控制維護機構的各維護用單元的維護用驅動器(省略圖示)。
控制部4具有CPU41、 ROM42、 RAM43、 P-CON44,它們彼此通 過總線45連接。在P-CON44上連接著上位計算機11。 ROM42具有 存儲由CPU41處理的控制程序等的控制程序區(qū)域、和存儲用于進行描 畫動作或功能恢復處理等的控制數(shù)據(jù)等的控制數(shù)據(jù)區(qū)域。
RAM43具有存儲用于對基板W進行描畫的描畫數(shù)據(jù)的描畫數(shù)據(jù) 存儲部、存儲基板W和各噴出頭50 (實際上是噴嘴列52A、 52B)的 位置數(shù)據(jù)的位置數(shù)據(jù)存儲部等各種存儲部，作為用于控制處理的各種作 業(yè)區(qū)域而使用。在P-CON44上連接著驅動部46的各種驅動器等，構成 補充CPU41的功能，并且用于處理與周邊電路的接口信號的邏輯電路。 因此，P-CON44把來自上位計算機11的各種指令等原封不動或者進行 加工，取入到總線45，并且與CPU41聯(lián)動，將從CPU41等向總線45 輸出的數(shù)據(jù)或控制信號原封不動或者進行加工后，向驅動部46輸出。然后，CPU41按照ROM42內的控制程序，通過P-CON44輸入各 種檢測信號、各種指令、各種數(shù)據(jù)等，在處理了 RAM43內的各種數(shù)據(jù) 等后，通過P-CON44對驅動部46輸出各種控制信號，由此控制液滴噴 出裝置10全體。例如CPU41控制噴出頭50、工件移動;f幾構20和頭移 動機構30，使頭單元9和基板W對置配置。而且，與頭單元9和基板 W的相對移動同步，把液狀體作為液滴D，從搭載在頭單元9上的各噴 出頭50的多個噴嘴52向基板W噴出，進行描畫。這時，將與基板W 向Y軸方向的移動同步而噴出液狀體的動作稱作主掃描，將在X軸方 向使頭單元9移動稱作副掃描。液滴噴出裝置10通過組合主掃描和副 掃描，重復進行多次，由此能夠噴出描畫液狀體。主掃描并不局限于基 板W相對于噴出頭50向一個方向的移動，也能夠在使基板W往返的 情況下進行。
上位計算機11不僅將控制程序或控制數(shù)據(jù)等控制信息發(fā)送給液滴 噴出裝置IO，還能修正這些控制信息。而且，具有作為配置信息生成部 的功能，所述配置信息生成部根據(jù)上述的噴嘴列52A、 52B的噴嘴信息 (噴出特性)，生成把液狀體作為液滴D配置在基板W上的各涂敷區(qū)域 的配置信息。配置信息將涂敷區(qū)域中的液滴D的噴出位置(換言之，基 板W和噴嘴52的相對位置)、液滴D的配置數(shù)(換言之，各噴嘴52 的噴出數(shù))、主掃描中的多個噴嘴52的ON/OFF、噴出定時等信息例如 表現(xiàn)為位圖。
接著，參照圖11和圖12，說明噴出頭的噴出控制方法。圖ll是表 示噴出頭的電氣控制的框圖。
如圖11所示，頭驅動器48具有分別獨立生成對液滴D的噴出量 進行控制的不同的多個驅動信號COM的D/A變換器(以下稱為DAC ) 71A 71D;在內部具有DAC71A 71D所生成的驅動信號COM的轉換 速率數(shù)據(jù)(slew rate data)(以下稱為波形數(shù)據(jù)(WD1 WD4 )的容納 存儲器的波形數(shù)據(jù)選擇電路72;用于對通過P-CON44從上位計算機11 發(fā)送的噴出控制數(shù)據(jù)進行存儲的數(shù)據(jù)存儲器73。向COMl COM4的各 COM線分別輸出由DAC71A DAC71D生成的驅動信號COM。
在各噴出頭50中具有使向按各噴嘴52設置的振動件59 (參照圖 8)施加的驅動信號COM接通/斷開的開關電路74;選擇各COM線中的任意一個，對與各振動件59連接的開關電路74發(fā)送驅動信號COM 的驅動信號選擇電路75。
在噴嘴列52A中，振動件59的一方電極59b與DAC71A 71D的接 地線(GND)連接。而振動件59的另一方電極59a (以下稱為部分
(segment)電極59a)通過開關電路74、驅動信號選擇電路75與各 COM線電連接。另外，開關電路74、驅動信號選擇電路75、波形數(shù)據(jù) 選擇電路72被輸入時鐘信號(CLK)或與各噴出定時對應的鎖存信號
(LAT)。這種驅動電路的結構在噴嘴列52B中也同樣。
在數(shù)據(jù)存儲器73中，按對應各噴出頭50的掃描位置而周期設定的 各噴出定時，存儲有以下的數(shù)據(jù)。即，是規(guī)定向各振動件59施加驅動 信號COM(ON/OFF)的噴出數(shù)據(jù)DA、對與各振動件59對應的COM 線(COMl COM4)的選擇進行規(guī)定的驅動信號選擇數(shù)據(jù)DB、和對向 DAC71A 71D輸入的波形數(shù)據(jù)(WD1 WD4 )的種類進行規(guī)定的波形編 號數(shù)據(jù)WN。在本實施方式中，噴出數(shù)據(jù)DA按1個噴嘴由1比特(0， 1)構成，驅動信號選擇數(shù)據(jù)DB按1個噴嘴由2比特(0， 1， 2， 3 ) 構成，波形編號數(shù)據(jù)WN按1個DAC由7比特(0 127)構成。另夕卜， 數(shù)據(jù)結構也能適宜變更。
圖12是驅動信號和控制信號的定時圖。在上述的結構中，與各噴 出定時有關的驅動控制如下進行。如圖12所示，在定時tl t2的期間， 噴出數(shù)據(jù)DA、驅動信號選擇數(shù)據(jù)DB、波形編號數(shù)據(jù)WN分別被串行 信號化，發(fā)送給開關電路74、驅動信號選擇電路75、波形數(shù)據(jù)選擇電 路72。然后，在定時t2，通過各數(shù)據(jù)被鎖存，與噴出(ON)相關的各 振動件59的部分電極59a成為與由驅動信號選擇數(shù)據(jù)DB指定的COM 線(COMl COM4中的任意一個)連接的狀態(tài)。例如，振動件59的部 分電極59a在驅動信號選擇數(shù)據(jù)DB為"0"時，與COM1連接。同樣， 驅動信號選擇數(shù)據(jù)DB為"1"時，與COM2連接，驅動信號選擇數(shù)據(jù) DB為"2"時，與COM3連接，驅動信號選擇數(shù)據(jù)DB為"3"時，與 COM4連接。并且，與該選擇聯(lián)動，設定與DAC71A 71D的生成相關 驅動信號的波形數(shù)據(jù)(WD1 WD4)。
在定時t3 t4的期間，根據(jù)在定時t2處設定的波形數(shù)據(jù)，分別以電 位上升、電位保持、電位下降的一系列步驟生成驅動信號COM。然后，向處于與COMl COM4中的任意一個連接的狀態(tài)的振動件59供給生 成的驅動信號COM,進行與噴嘴52連通的腔55的體積(壓力)控制。
驅動信號COM中的與電位上升、電位保持、電位下降有關的時間 成分、電壓成分，緊密依存于通過該供給而被噴出的液狀體的噴出量。 尤其在壓電方式的噴出頭50中，由于相對于電壓成分的變化，噴出量 表現(xiàn)良好的線性，所以把定時t3 t4的電壓成分的變化(電位差)規(guī)定 為驅動電壓Vh (Vhl Vh4)，能夠把它作為噴出量控制條件利用。即， 驅動電壓Vh是控制液滴D的噴出量的驅動信號的條件之一。另外，所 生成的驅動信號COM并不局限于本實施方式中表示的單純的梯形波， 例如也能適宜采用矩形波等眾所周知的各種形狀的波形。此外，在不同 的驅動方式(例如熱方式)的實施方式時，也能把驅動信號COM的脈 沖寬度(時間成分)作為噴出量控制的條件而利用。
在本實施方式中，準備使驅動電壓Vh階段性不同的多種波形數(shù)據(jù)， 通過對DAC71A 71D分別輸入獨立的波形數(shù)據(jù)(WD1 WD4),能夠對 各COM線分別輸出不同的驅動電壓Vhl Vh4的驅動信號COM。可準 備的波形數(shù)據(jù)的種類是相當于波形編號數(shù)據(jù)WN的信息量(7比特)的 128種，例如使其與O.IV刻度的驅動電壓Vh對應。換言之，在12.8V 的電位差的范圍中，能夠以O.lV刻度i殳定Vhl Vh4的各驅動波形。
這樣，本實施方式的液滴噴出裝置10通過考慮各噴嘴52的噴出特 性，適當設定對各振動件59 (噴嘴52)與各COM線的對應關系進行 規(guī)定的驅動信號選擇數(shù)據(jù)DB、和對各COM線與驅動信號COM的種 類(驅動電壓Vh)的對應關系進行規(guī)定的波形編號數(shù)據(jù)WN,由此能 夠調整液滴D的噴出量，噴出液狀體。換言之，適當進行由驅動信號選 擇數(shù)據(jù)DB和波形編號數(shù)據(jù)WN的關系決定的各噴嘴52的驅動信號 COM的設定，是用于管理噴出量的重要事項。
在上述液滴噴出裝置10中，噴出頭50的噴出控制方法能按液滴D 的噴出，換言之按噴出定時，更新驅動信號選擇數(shù)據(jù)DB和波形編號數(shù) 據(jù)WN。此外，也能與噴出數(shù)據(jù)DA對應，精細地設定驅動信號COM。 因此，由按各噴出定時，能夠至少跨4個階段，4吏各噴嘴52噴出的液 滴D的噴出量變化，所以與對各振動件59施加一定的驅動信號COM 時相比，能夠按噴嘴52，并且按液滴D的噴出，調整噴嘴列52A、 52B的噴出特性所引起的液滴D的噴出量的偏差。因此，能減少因噴嘴列 52A、 52B的噴出特性引起的噴出不均勻地噴出液狀體。
即使能按液滴D的噴出，至少跨4個階段，使各噴嘴52噴出的液 滴D的噴出量變化，但為了使上述噴出量為一定的值，例如為基準噴出 量(或者目標的噴出量)，能夠與多個噴嘴52對應地每次調整驅動信號 COM實質上也使驅動電路的結構變得更復雜。
因此，在本實施方式中，求出從多個噴嘴52噴出的液滴D的噴出 量的偏差(從所述的噴嘴信息取得)。然后，根據(jù)各噴嘴52的液滴D的 噴出量的信息、和涂敷區(qū)域中的液滴D的配置信息，求出多個涂敷區(qū)域 中的涂敷量。把該涂敷量的偏差的范圍劃分為與組合多種驅動信號 COM而取得的修正水準的數(shù)相同的數(shù)。將多個涂敷區(qū)域中的涂敷量劃 分為不同的多個區(qū)間，求出各區(qū)間的代表值和規(guī)定涂敷量的差，把它決 定為修正量。按照反映了該修正量的涂敷量能夠由驅動信號COM的組 合取得的方式，設定驅動信號COM的驅動電壓Vhl Vh4。然后，根據(jù) 涂敷區(qū)域中的液滴D的配置信息，把涂敷的液狀體劃分為涂敷量不同的 多個液滴群。根據(jù)怎樣掃描多個噴嘴52和基板W，確定按液滴群而使 用的噴嘴52。選擇應用了各涂敷區(qū)域的修正量的驅動信號COM的組合， 來噴出液滴D。通過使用受限制的多種驅動信號COM，對各液滴群提 供多個修正水準，將其進行組合，由此使對涂敷區(qū)域涂敷的液滴群的液 滴量不同，從而賦予多個液滴群的總和的液狀體的總量(涂敷量)Q。 因此，收斂在比噴嘴52具有的液滴D的噴出量的偏差范圍小的偏差范 圍中。
更具體而言，CPU41根據(jù)噴嘴信息，運算求出上述各區(qū)間的修正量。 或者，也可以由上位計算機ll運算，作為數(shù)據(jù)而取得。按照取得上述 多個修正水準的方式，根據(jù)修正量的數(shù)據(jù)生成使驅動電壓Vh不同的多 種驅動信號COM。在涂敷區(qū)域的液滴D的配置信息中，生成按各液滴 群使驅動信號選擇數(shù)據(jù)DB和波形編號數(shù)據(jù)WN聯(lián)系的噴出數(shù)據(jù)DA。 控制部4根據(jù)這些配置信息、噴出數(shù)據(jù)DA，控制液滴噴出裝置10的各 部，執(zhí)行噴出液滴D的噴出動作。
另外，按由多個(180個)噴嘴52構成的噴嘴列52A、 52B和各噴 出頭50取得噴嘴信息。此外，優(yōu)選每當取得噴嘴信息時，都在噴嘴列間，按照施加了基準驅動信號時的液滴D的平均噴出量成為基準噴出量 (目標的噴出量)的方式，預先調整基準驅動信號的驅動電壓Vh。由 此，能預先修正噴嘴列之間、噴出頭之間的偏差。
下面，參照圖13 圖16，更加詳細地說明使用了上述液滴噴出裝置 10的液狀體的涂敷方法。
圖13是表示液狀體的涂敷方法的流程圖。如圖13所示，本實施方 式的液狀體的涂敷方法是與把具有多個涂敷區(qū)域的基板W、和具有多個 噴嘴52的噴出頭50對置、使其相對移動的掃描同步，從至少一個噴嘴 52將液狀體作為液滴D向涂敷區(qū)域噴出，在涂敷區(qū)域形成薄膜的方法。
本實施方式的液狀體的涂敷方法具有取得噴嘴信息的噴嘴信息取 得步驟(步驟Sl);生成將液滴D作為多個液滴群相關聯(lián)地配置在涂敷 區(qū)域的配置信息的配置信息生成步驟(步驟S2)。而且，具有對向各 涂敷區(qū)域涂敷的液狀體的涂敷量進行運算的運算步驟(步驟S3);把涂 敷量的偏差劃分為多個區(qū)間的劃分步驟(步驟S4)。此外，具有求出 區(qū)間的代表值和規(guī)定涂敷量之差，決定各區(qū)間的對于規(guī)定涂敷量的修正 量的修正量設定步驟(步驟S5 );按各液滴群使修正量不同地進行分配 的修正量的分配步驟(步驟S6)。并且，還具有按照反映了所分配的 修正量的涂敷量由多個驅動信號的組合取得的方式，設定與各液滴群對 應的驅動信號的驅動信號設定步驟(步驟S7);進行基于配置信息的掃 描，使用根據(jù)所述組合而選擇的驅動信號，驅動所使用的噴嘴52，對各 涂敷區(qū)域噴出液狀體的噴出步驟(步驟S8);和使噴出的液狀體干燥， 在涂敷區(qū)域形成薄膜的干燥步驟(步驟S9 )。
圖13的步驟Sl是噴嘴信息取得步驟。在步驟Sl中，設定多種驅 動信號COM中成為基準的驅動信號COM (基準驅動信號)，向振動件 59施加數(shù)千 數(shù)萬次該驅動信號COM,使液狀體噴出，然后測定該液 狀體的重量。把求出的重量除以噴出數(shù)，按各噴嘴52求出每1次的噴 出量(重量)。另外，如上所述，按各噴出頭50，并且按各噴嘴列52A、 52B,進行這樣的噴嘴信息的取得。此外，優(yōu)選設置每當取得噴嘴信息 時，都預先修正(調整)基準驅動波形的驅動電壓Vh的步驟。然后， 進入到步驟S2。圖13的步驟S2是配置信息生成步驟。在步驟S2中，生成將對涂 敷區(qū)域涂敷的液狀體作為至少由一個液滴D構成的多個液滴群而相關 聯(lián)的配置信息。為了容易理解后面的步驟的說明，在本實施方式中，以 液滴D的噴出量為10ng，對一個涂敷區(qū)域噴出3滴的液滴D，涂敷30ng 的液狀體為前提進行說明。涂敷區(qū)域中的液滴D的配置也與多個噴嘴 52 (噴出頭50)和基板W的掃描方法關聯(lián)地來決定所使用的噴嘴52。 涂敷區(qū)域中的液滴D的平面配置方法考慮了涂敷區(qū)域的尺寸、液狀體的 涂敷量、每1滴液滴D的噴出量來適宜設定。然后，進入到步驟S3。 其中，在各涂敷區(qū)域中為了配置液滴群而使用的噴嘴52并不一定是1 個。根據(jù)掃描的方法，有時還能使用多個噴嘴52噴出液滴D，構成液 滴群。此外，有時也能與掃描對應，改變所使用的噴嘴52或噴出頭50。
圖13的步驟S3是運算步驟。在步驟S3中，根據(jù)在步驟S1中求出 的噴嘴信息、在步驟S2中決定的配置信息，運算基板W上的多個涂敷 區(qū)域各自的涂敷量。如果配置信息確定，決定了所使用的噴嘴52,則由 于根據(jù)噴嘴信息可知道由基準驅動信號驅動所使用的噴嘴52時的液滴 D的噴出量，所以如果把該噴出量與配置信息中包含的噴出數(shù)相乘，則 可求出涂敷量。求出的涂敷量反映了從多個噴嘴52噴出的液滴D的噴 出量的偏差。然后，進入到步驟S4。
圖13的步驟S4是劃分步驟。圖14是表示涂敷量的偏差的度數(shù)分 布的曲線圖。在步驟S4中，如圖14所示，把以最大值和最小值作為界 限的涂敷量的偏差范圍劃分為等間隔的9個區(qū)間。設圖14所示的涂敷 量的偏差是液滴D的噴出量的偏差范圍為基準噴出量士100/0。因此，如 果基準噴出量為10ng,則由于涂敷3滴的液滴D，所以涂敷量的最小值 為27ng，最大值為33ng。因此，涂敷量的偏差的范圍(range)是6ng， 在每1區(qū)間中，成為6/9=0.67ng (大致0.7ng)。然后，進入到步驟S5。
圖13的步驟S5是修正量設定步驟。在步驟S5中，求出劃分了 涂敷量的偏差的各區(qū)間的代表值和規(guī)定涂敷量之差，將該差決定為修正 量。圖15是表示各區(qū)間的涂敷量的范圍和修正量的表。如圖15所示， 因為在涂敷量包含最小值(27ng)的區(qū)間1中，區(qū)間的寬度(間隔)是 0.7ng，所以各區(qū)間的液狀體涂敷量的范圍成為27~27.7ng。同樣，在涂 敷量包含最大值(33ng)的區(qū)間9中，成為32.3 33.0ng。在上述實施方式1的液狀體的涂敷方法中，應用了表5 (參照圖5)的方法，把包 含涂敷量的中央值(30ng)的區(qū)間5選擇為修正目標。即，如果規(guī)定涂 敷量為30ng，則各區(qū)間的修正量變?yōu)閳D15那樣。具體而言，由于涂敷 量最小的區(qū)間1的代表值是27.3ng，所以修正量變?yōu)?2.7ng。由于包含 中央值的區(qū)間5的修正量當然是0ng，涂敷量最多的區(qū)間9的代表值是 32.7ng，所以修正量變?yōu)?2.7ng。其他區(qū)間也能同樣地求出修正量。另 外，在圖15中，把小數(shù)點以下第2位四舍五入。
即，各區(qū)間的涂敷量Q的中央值Qz可由以下的數(shù)學式(2)表達。
數(shù)學式(2)
6/"/" (2)
z是l 9的區(qū)間編號，Qmax是涂敷量Q的最大值，Qmin是涂敷 量Q的最小值，Nz是區(qū)間總數(shù)，這時，與修正水準的數(shù)相同。
此外，修正間隔的最小單位AQ由以下的數(shù)學式(3)表示。
數(shù)學式(3)
即，這時，厶Q-0.67ng。然后，進入到步驟S6。
圖13的步驟S6是修正量的分配步驟。在步驟S6中，對各區(qū)間 賦予的修正量(即修正間隔)按各液滴群不同地分配。圖16是表示與 區(qū)間對應的液滴群的修正量的表。在如上所述對一個涂敷區(qū)域噴出3個 液滴D時，如果把它劃分為由2個液滴D構成的第一液滴群G^、由l 個液滴D構成的第二液滴群Gr2，來分配修正量，則變?yōu)閳D16那樣。 具體而言，第一液滴群G^的修正量以0為中心，成為土2.0ng，第二液 滴群Gr2的修正量以0為中心，成為士0.7ng。因此，在第一液滴群Gn 中，按每1滴進行士lng的修正，在第二液滴群Gr2中，按每l滴進行 土0.7ng的修正。另外，在圖16中，把小數(shù)點以下第2位四舍五入。這樣，通過對液滴數(shù)多的笫一液滴群G^分配大的修正量(修正 間隔)，對液滴數(shù)少的第二液滴群Gr2分配小的修正量(修正間隔)，從 而能以液滴數(shù)作為基準，將每l滴的針對修正量的修正比率水準化。此 外，相對于小的修正量(絕對量為0.7ng，但是計算的基礎是0.67ng)， 大的修正量(絕對量為2.0ng，但是計算的基礎是0.67的3倍的2.01ng ) 成為小的修正量的3倍。因此，能進行誤差小的高精度的修正。然后， 進入到步驟S7。
圖13的步驟S7是驅動信號設定步驟。在步驟S7中，根據(jù)上述 步驟S6的分配，設定驅動信號COM的波形。例如，把圖12所示的 COM3線的驅動波形作為基準驅動信號，與各液滴群G^、 Gr2的修正 水準對應，設定能夠正(plus)修正液滴D的噴出量的COM4線的驅 動波形的驅動電壓Vh4。
同樣，與各液滴群G^、 Gr2的修正水準對應，設定能負修正液滴 D的噴出量的COM2線的驅動波形的驅動電壓Vh2。即，如上所述， 按液滴群G^、 Gr2，生成使驅動信號選擇數(shù)據(jù)DB和波形編號數(shù)據(jù)WN 聯(lián)系的噴出數(shù)據(jù)DA。剩下的COM1線的驅動波形被設為不噴出液滴D 的程度的驅動電壓Vhl。如果對非選擇(不使用的)噴嘴52施加COM1 線的驅動波形，則使噴嘴52內的液狀體的彎液面振動，能防止因干燥 引起的堵塞。然后，進入到步驟S8。
圖13的步驟S8是液狀體的噴出步驟。在步驟S8中，根據(jù)生成 的配置信息、噴出數(shù)據(jù)DA， 一邊掃描噴出頭50和基板W， 一邊從噴 出頭50的被選擇的噴嘴52對涂敷區(qū)域噴出液謫D。這時，3個液滴D 作為第一液滴群Gi^和第二液滴群Gr2向涂敷區(qū)域噴出。各液滴群Gr" Gr2分別被修正，作為液滴群Gn、 Gr2的總和的液狀體的涂敷量Q，把 基準噴出量(lOng)乘以噴出總數(shù)(n=3)的值、即規(guī)定涂敷量作為中 心值，理想地收斂在規(guī)定的范閨(區(qū)間5的涂敷量的范圍)內。實際上， 有可能受到液狀體的溫度(影響粘度)等環(huán)境的變化、噴出頭50的電 負荷變動等影響。因此，難說涂敷量Q—定收斂在規(guī)定的范圍(區(qū)間5 的涂敷量的范圍)內，但至少收斂在比液滴D的噴出量的偏差范圍小的 范圍中。然后，進入到步驟S9。
圖13的步驟S9是干燥步驟。在步驟S9中，通過加熱基板W，使涂敷在涂敷區(qū)域的液狀體干燥。由此，可從液狀體除去溶劑成分，形
成由溶質構成的薄膜。作為加熱基板w的方法，可列舉使用紅外線燈 或加熱器等熱源，把基板w放置到干燥爐內的方法等。根據(jù)溶劑的物
理特性，也可以釆用能控制蒸發(fā)速度的減壓干燥。
上述實施方式2的效果如下所示。
(1) 根據(jù)上述實施方式2的液狀體的涂敷方法，將從多個噴嘴52 噴出的液滴D的噴出量的偏差作為噴嘴信息而取得。根據(jù)該噴嘴信息、 多個涂敷區(qū)域中的液滴D的配置信息，求出各涂敷區(qū)域的液狀體的涂敷 量。把該涂敷量的偏差范圍劃分為等間隔的9個區(qū)間，求出各區(qū)間的相 對規(guī)定涂敷量的修正量。然后，按配置在涂敷區(qū)域的各液滴群Giv Gr2 使該修正量不同，進行分配。在噴出步驟中，根據(jù)液滴群Gri、 Gr2的 配置信息和噴出數(shù)據(jù)DA,噴出構成液滴群G^、 Gr2的液滴D。在噴出 數(shù)據(jù)DA包含有所使用的噴嘴52的信息、和能修正從所使用的噴嘴52 噴出的液滴D的噴出量的驅動信號COM的選擇數(shù)據(jù)。因此，涂敷在涂 敷區(qū)域中液狀體由被賦予了不同的修正量(修正間隔)的液滴群Gn、 Gr2構成，能夠將該涂敷量至少收斂在比液滴D的偏差范圍小的范圍中。 理想上，以基準噴出量(10ng)乘以總噴出數(shù)(n=3)的值作為中心值， 能收斂在規(guī)定的范圍(區(qū)間5的涂敷量Q的范圍)中。
(2) 在上述實施方式2的液狀體的涂敷方法中，對液滴數(shù)多的液 滴群Gn分配了大的修正量，對液滴數(shù)少的液滴群Gr2分配了小的修正 量。因此，能以液滴數(shù)作為基準，將對各液滴群Gri、 Gr2的修正比率 水準化，可進行誤差小的高精度的修正。
另外，涂敷在涂敷區(qū)域的液滴群Gn、 Gr2的數(shù)量、構成液滴群 G^、 Gr2的液滴D的數(shù)量和構成液滴群G^、 Gr2的各液滴D的噴出量 是否相同并不局限于此。例如，也可以設構成液滴群G^、 Gr2的液滴 D的數(shù)量相同。這時，按各液滴群G^、 Gr2的液滴量不同的方式，把 各區(qū)間的修正量劃分為大的修正量和小的修正量，分配給液滴群Gn、 Gr2。此外，為了把液滴群G^、 Gr2之間的修正比率水準化，或者能進 行更高精度的修正，優(yōu)選大的修正量(大的修正間隔)為小的修正量(小 的修正間隔)的2以上的整數(shù)倍。(實施方式3)
下面，參照圖17 圖21，說明應用了上述實施方式2的液狀體的 涂敷方法的有機EL ( Electro Luminescence)元件的制造方法。
<有機EL裝置>
首先，說明有機EL裝置。圖17是表示有機EL裝置的構造的概略 剖面圖。如圖17所示，本實施方式的有機EL裝置600包括具有作 為有機EL元件的發(fā)光元件部603的元件基板601、與元件基板601隔 開空間622而被密封的密封基板620。而且，在元件基板601上具有電 路元件部602，發(fā)光元件部603重疊形成在電路元件部602上，被電路 元件部602驅動。在發(fā)光元件部603中，作為有機EL發(fā)光層的3色發(fā) 光層617R、 617G、 617B形成在各自的發(fā)光層形成區(qū)A,成為條紋狀。 元件基板601將與3色發(fā)光層617R、 617G、 617B對應的3個發(fā)光層形 成區(qū)A作為1組像素，該像素在元件基板601的電路元件部602上配置 為矩陣狀。有機EL顯示裝置600將來自發(fā)光元件部603的光向元件基 板601 —側射出。
密封基板620由玻璃或金屬構成，通過密封樹脂與元件基板601 接合，在密封的內側的表面粘貼有吸氣劑(getter) 621。吸氣劑621用 于吸收侵入到元件基板601和密封基板620之間的空間622中的水或氧， 防止發(fā)光元件部603由于侵入的水或氧而劣化。另外，也可以省略該吸 氣劑621。
元件基板601在電路元件部602上具有多個發(fā)光層形成區(qū)A，具 備劃分多個發(fā)光層形成區(qū)A的圍堰(bank) 618、形成在多個發(fā)光層 形成區(qū)A的電極613、和層疊在電極613上的空穴注入/輸送層617a。 而且，具備發(fā)光元件部603，其具有對作為涂敷區(qū)域的發(fā)光層形成區(qū)A 內涂敷包含發(fā)光層形成材料的3種液狀體而形成的發(fā)光層617R、 617G、 617B。使用絕緣材料形成圍堰618,為了防止層疊在空穴注入/輸送層 617a上的發(fā)光層617R、 617G、 617B和電極613短路而覆蓋電極613 的周圍。
元件基板601例如由玻璃等透明的基板構成，在元件基板601上形成由氧化硅膜構成的基底保護膜606,在該基底保護膜606上形成有 由多晶硅構成的島狀半導體膜607。另外，在半導體膜607中，通過高 濃度P離子注入，形成有源區(qū)域607a和漏區(qū)域607b。而沒有導入P離 子的部分成為溝道區(qū)域607c。并且，形成覆蓋基底保護膜606和半導體 膜607的透明柵極絕緣膜608，在柵極絕緣膜608上形成有由Al、 Mo、 Ta、 Ti、 W等構成的柵電極609,在柵電極609和柵極絕緣膜608上形 成有透明的第一層間絕緣膜611a和第二層間絕緣膜611b。柵電極609 被設置在與半導體膜607的溝道區(qū)域607c對應的位置。而且，形成有 貫通第一層間絕緣膜611a和第二層間絕緣膜611b，分別與半導體膜607 的源區(qū)域607a、漏區(qū)域607b連接的接觸孔612a、 612b。并且，在第二 層間絕緣膜611b上，將由ITO (Indium Tin Oxide )等構成的透明電極 613構圖配置為規(guī)定的形狀， 一方的接觸孔612a與該電極613連接。而 且，另一方的接觸孔612b與電源線614連接。這樣，在電路元件部602 中形成了與各電極613連接的驅動用薄膜晶體管615。另外，在電路元 件部602中也形成了保持電容和開關用的薄膜晶體管，但在圖17中省 略了它們的圖示。
發(fā)光元件部603具有作為陽極的電極613、依次層疊在電極613 上的空穴注入/輸送層617a、發(fā)光層617R、 617G、 617B (總稱為發(fā)光 層Lu)、覆蓋圍堰618和發(fā)光層Lu地層疊的陰極604。由空穴注入/輸 送層617a和發(fā)光層Lu構成了被激勵發(fā)光的功能層617。另外，如果用 透明的材料構成陰極604和密封基板620及吸氣劑621，則能從密封基 板620 —側射出所發(fā)出的光。
有機EL裝置600具有連接在柵電極609上的掃描線(省略圖示) 和連接在源區(qū)域607a上的信號線(省略圖示)，如果根據(jù)傳遞到掃描線 的掃描信號，使開關用的薄膜晶體管(省略圖示)導通，則這時的信號 線的電位被保持電容保持，按照該保持電容的狀態(tài)，來決定驅動用的薄 膜晶體管615的導通/斷開狀態(tài)。然后，通過驅動用的薄膜晶體管615 的溝道區(qū)域607c，使電流從電源線614流到電極613,再通過空穴注入 /輸送層617a和發(fā)光層Lu使電流流到陰極604。發(fā)光層Lu根據(jù)流過它 的電流量而發(fā)光。有機EL裝置600通過這樣的發(fā)光元件部603的發(fā)光 機制，能夠顯示所希望的文字和圖像等。圖18是表示基板上的發(fā)光層形成區(qū)的配置的概略圖。圖18(a) 是概略平面圖，圖18 (b)是以圖18 (a)的H-H，線進行切割的概略 剖視圖。如圖18所示，在作為工件的元件基板601上，多個發(fā)光層形 成區(qū)域A在X軸方向和Y軸方向以矩陣狀配置。各發(fā)光層形成區(qū)域A 在元件基板601上被圍堰618劃分，成為在Y軸方向細長的跑道狀 (track)形狀。在發(fā)光層形成區(qū)域A中，Y軸方向的兩端部成為圓弧 狀是考慮了滴落的液滴D在該兩端部的浸濕擴散。
希望圍堰618至少其表面(滴落面)具有疏液性。即使液滴D的 一部分滴落在圍堰618上，如果滴落面具有疏液性，則能把液狀體(液 滴D)收容在發(fā)光層形成區(qū)域A內。作為圍堰618的形成方法，例如可 列舉在基板W的表面涂覆具有疏液性的感光性樹脂材料，通過光刻法， 進行曝光、顯影的方法。此外，在使用了不具有疏液性的感光性樹脂材 料時，通過在形成圍堰618后，使用氟類的處理氣體進行表面處理，也 能對表面賦予疏液性。
元件基板601的發(fā)光層形成區(qū)域A的配置雖是設計事項，但是要 求更精密的配置。例如，如果表示以200ppi (pixelperinch)的密度在 元件基板601上進行配置時的設計尺寸的例子，則如下所述。X軸方向 的配置間隔Px為42jiim,寬度Pw為32jum，因此，X軸方向的圍堰 618的寬度Bw成為10nm。 Y軸方向的配置間隔Py為126pm，寬度 PL為96jim，因此，Y軸方向的圍堰618的寬度BL為30 jnm。由此， 發(fā)光層形成區(qū)域A的開口率大致為18%。當然，如果要進一步提高開 口率，則有必要進一步縮小圍堰618的寬度Bw、 BL。根據(jù)在發(fā)光層形 成區(qū)域A涂敷的液狀體的總量，決定圍堰618的高度。在本實施方式中， 圍堰618的高度大致為2~3 ju m。
如果發(fā)光層形成區(qū)域A的配置如上所述那樣高精密，則即使液滴 D稍微偏移滴落，也會超過圍堰618，導致液滴D的一部分流到相鄰的 發(fā)光層形成區(qū)域A。換言之，產生了無法在所希望的發(fā)光層形成區(qū)域A 涂敷必要量的液狀體的問題。因此，如圖18(b)所示，作為噴出條件 之一，需要使噴出的液滴D滴落在發(fā)光層形成區(qū)域A的幾乎中央附近。
而且，即使液滴D滴落在發(fā)光層形成區(qū)域A的幾乎中央附近，如 果該液滴D的噴出量發(fā)生偏差，則也難以穩(wěn)定地在各發(fā)光層形成區(qū)域A涂敷必要量的液狀體。在本實施方式中，由于使用上述實施方式2的液 狀體的涂敷方法，形成了發(fā)光層Lu，所以可在偏差少的狀態(tài)下將必要 量的液狀體涂敷在各發(fā)光層形成區(qū)域A,具有發(fā)光不均勻、亮度不均勻 等顯示不良情況少的高顯示質量，并且能夠實現(xiàn)高清晰的顯示。
<有機EL元件的制造方法>
下面，根據(jù)圖19 圖21說明作為本實施方式的有機EL元件的發(fā)光 元件部603的制造方法。圖19是表示發(fā)光元件部的制造方法的流程圖， 圖20(a) (f)是表示發(fā)光元件部的制造方法的概略剖視圖，圖21(a) 和(b)是表示液狀體的噴出方法的概略平面圖。另外，在圖20 (a) ~ (f)中，形成在元件基板601上的電路元件部602省略了圖示。
如圖19所示，本實施方式的發(fā)光元件部603的制造方法具有在 元件基板601的多個發(fā)光層形成區(qū)域A所對應的位置形成電極613的陽 極形成步驟(步驟Sll);按照一部分掛在電極613上的方式形成圍堰 618的圍堰形成步驟(步驟S12)。而且，具有進行被圍堰618b劃分 的發(fā)光層形成區(qū)域A的表面處理的步驟(步驟S13 );對表面處理后的 發(fā)光層形成區(qū)域A噴出包含空穴注入/輸送層形成材料的液狀體的噴出 步驟；使噴出的液狀體千燥，形成空穴注入/輸送層617a的步驟(步驟 S14)。并且，具有對發(fā)光層形成區(qū)域A噴出包含發(fā)光層形成材料的3 種液狀體的噴出步驟；使噴出的3種液狀體干燥，形成發(fā)光層Lu的步 驟(步驟S15 )。還具有覆蓋圍堰618和發(fā)光層Lu地形成陰極604的步 驟(步驟S16)。使用上述實施方式2的液狀體的涂敷方法，進行各液 狀體向發(fā)光層形成區(qū)域A的涂敷。因此，應用了圖9所示的頭單元9 中的噴出頭50的配置。
圖19的步驟S11是電極(陽極)形成步驟。在步驟Sll中，如圖 20 (a)所示，在元件基板601的發(fā)光層形成區(qū)域A所對應的位置形成 電極613。作為形成方法，例如在元件基板601的表面，使用ITO等透 明電極材料，在真空中用濺射法或蒸鍍法形成透明電極膜。然后，可舉 出用光刻法只留下必要的部分，實施蝕刻，形成電極613的方法。然后， 進入到步驟S12。
圖19的步驟S12是圍堰形成步驟。在步驟S12中，如圖20(b)所示，覆蓋元件基板601的多個電極613的周圍地形成圍堰618。作為 圍堰618的材料，希望是對于包含后面描述的發(fā)光層形成材料的3種液 狀體100R、 IOOG、 IOOB的溶劑，具有耐久性的材料，進而希望是通過 將含氟氣體作為處理氣體的等離子體處理而能夠實現(xiàn)疏液化，例如丙烯 酸樹脂、環(huán)氧樹脂、感光性聚酰亞胺等具有絕緣性的有機材料。作為圍 堰618的形成方法，例如在形成了電極613的元件基板601的表面通過 輥涂法或旋轉涂敷法涂敷感光性的上述有機材料，并使其干燥，從而形 成厚度大致2 3nm的感光性樹脂層。而且，可舉出將以發(fā)光層形成區(qū) 域A所對應的尺寸設置了開口部的掩模與元件基板601在規(guī)定的位置對 置，通過曝光、顯影，來形成圍堰618的方法。然后，進入到步驟S13。
圖19的步驟S13是對發(fā)光層形成區(qū)域A進行表面處理的步驟。 在步驟S13中，首先把02作為處理氣體，對形成了圍堰618的元件基 板601的表面進行等離子體處理。由此，使電極613的表面、圍堰618 的表面(包含壁面)活性化，進行了親液處理。接著，把CF4等含氟氣 體作為處理氣體，進行等離子體處理。由此，只在由有機材料、即感光 性樹脂構成的圍堰618的表面，進行含氟氣體反應，實施疏液處理。然 后，進入到步驟S14。
圖19的步驟S14是空穴注入/輸送層形成步驟。在步驟S14中， 首先如圖20(c)所示，對發(fā)光層形成區(qū)域A涂敷包含空穴注入/輸送層 形成材料的液狀體90。作為涂敷液狀體卯的方法，使用了具有圖9的 頭單元9的液滴噴出裝置10和上述實施方式2的液狀體的涂敷方法。 從噴出頭50噴出的液狀體卯作為液滴D滴落到元件基板601的電極 613，并潤濕擴散。根據(jù)發(fā)光層形成區(qū)域A的面積，在必要量(規(guī)定涂 敷量)偏差少的狀態(tài)下噴出液狀體90。然后，進入到干燥/成膜步驟。
在干燥/成膜步驟中，通過利用燈退火等方法加熱元件基板601， 使液狀體卯的溶劑成分干燥、將其除去，在電極613的由圍堰618劃 分的區(qū)域形成空穴注入/輸送層617a。本實施方式中，作為空穴注入/輸 送層形成材料，使用了 3, 4 -聚二氧乙基噻吩/聚對苯乙烯磺酸 (PEDOT/PSS)。另外，雖在各發(fā)光層形成區(qū)域A形成了由同一材料構 成的空穴注入/輸送層617a，但是也可以與以后形成的發(fā)光層Lu對應， 按發(fā)光層形成區(qū)域A改變空穴注入/輸送層617a的材料。然后，進入到步驟S15。
圖19的步驟S15是發(fā)光層形成步驟。在步驟S15中，首先如圖 20 (d)所示，使用液滴噴出裝置10，從多個噴出頭50向多個發(fā)光層 形成區(qū)域A涂敷包含發(fā)光層形成材料的3種液狀體100R、 100G、 IOOB。 液狀體100R包含形成發(fā)光層617R (紅色)的材料，液狀體100G包含 形成發(fā)光層617G (綠色)的材料，液狀體100B包含形成發(fā)光層617B (藍色)的材料。滴落的各液狀體100R、 100G、 100B在發(fā)光層形成區(qū) 域A潤濕擴散，截面形狀隆起為圓弧狀。作為涂敷這些液狀體100R、 100G、 100B的方法，使用了上述實施方式2的液狀體的涂敷方法。希 望驅動信號COM的驅動電壓Vhl Vh4的i殳定按各液狀體100R、 100G、 100B進行。即，按填充各液狀體100R、 100G、 100B的噴出頭50進行 驅動信號的設定。
圖21(a)和(b)是表示液狀體的涂敷方法的概略平面圖。如圖21(a) 和(b)所示，在把液狀體100R、 IOOG、 IOOB作為液滴D噴出的噴出 步驟中，以200ppi的密度配置為矩陣狀的多個發(fā)光層形成區(qū)域A中涂 敷同種液狀體的發(fā)光層形成區(qū)域A,在X軸方向每隔2個排列，且在Y 軸方向連續(xù)排列(條紋方式的配置)。因此，相對于元件基板601，把噴 出頭50在平面視圖中傾斜地對置配置，使噴嘴間隔P1 (大約141jLim) 和涂敷同種液狀體的發(fā)光層形成區(qū)域A的配置間隔(大約126pm) — 致。使噴出頭50傾斜的方向可以是任意的方向。實際上，驅動液滴噴 出裝置10的旋轉機構7，使頭單元9旋轉，相對于臺架5上安放的工件 進行定位(參照圖7 )。
本實施方式中，在一個發(fā)光層形成區(qū)域A配置3個液滴D。作為 其順序，首先在發(fā)光層形成區(qū)域A的Y軸方向的兩端部附近，分別使 液滴D分開配置。即，如圖21(a)所示，作為第一液滴群G^，先行 噴出2個液滴Dp D2。接著，如圖21 (b)所示，掩埋先行噴出的液滴 Dp D2之間地進而后噴出作為第二液滴群Gr2的一個液滴D3。由此， 液狀體沒有不均勻地到達發(fā)光層形成區(qū)A域內。換言之，使用同一噴嘴 52對一個發(fā)光層形成區(qū)域A進行2次掃描，配置了液滴D廣液滴D3。 第一液滴群Gi^和第二液滴群Gr2通過根據(jù)為了修正涂敷量的偏差而按 發(fā)光層形成區(qū)域A設定的修正量，從能改變液滴D的噴出量的多個驅動信號的組合中選擇驅動信號，對所使用的噴嘴52的振動件59附加， 來進行涂覆。由此，按液狀體100R、 100G、 100B，在至少比液滴D的 噴出量的偏差范圍小的范圍中，向對應的發(fā)光層形成區(qū)域A涂敷必要 量。
更具體而言，例如圖21 (a)中在發(fā)光層形成區(qū)域A,使用同一 噴嘴52噴出3個液滴D。該涂敷量包含在區(qū)間1 (參照圖15)中。在 對該噴嘴52的振動件59施加了基準驅動信號而噴出3個液滴D中，液 狀體的涂敷量相對于中央值的30ng，有2.7ng的不足。因此，選擇能進 行+lng的修正的驅動信號，向振動件59施加2次，噴出液滴Di和D2。 由液滴Di和D2構成的第一液滴群G^結果被修正、涂敷+2ng。接著， 選擇能進行+0.7ng的修正的驅動信號，對振動件59施加一次，噴出液 滴D3 (第二液滴群Gr2)。由此，由第一液滴群G^和第二液滴群Gr2 構成的被涂敷的液狀體的涂敷量被修正+2.7ng。在不同的掃描中噴出第 一液滴群G^和第二液滴群Gr2，這時選擇的驅動信號COM根據(jù)修正 水準，設定了各驅動信號的驅動電壓Vh2 驅動電壓Vh4。在其他所使 用的噴嘴52中，當然也進行同樣的修正。然后，進入到干燥/成膜步驟。
在干燥/成膜步驟中，如圖20(e)所示，使噴出的各液狀體IOOR、 IOOG、 IOOB的溶劑成分干燥而被除去，按照在各發(fā)光層形成區(qū)域A的 空穴注入/輸送層617a層疊各發(fā)光層617R、 617G、 617B的方式成膜。 作為噴出各液狀體100R、 IOOG、 100B的元件基板601的干燥方法，優(yōu) 選是能使溶劑的蒸發(fā)速度為一定的減壓干燥。然后，進入到步驟S16。
圖19的步驟S16是陰極形成步驟。在步驟S16中，如圖20(f) 所示，覆蓋元件基板601的各發(fā)光層617R、 617G、 617B和圍堰618的 表面地形成陰極604。作為陰極604的形成材料，優(yōu)選組合使用Ca、 Ba、 Al等金屬或LiF等氟化物。特別優(yōu)選在靠近發(fā)光層617R、 617G、 617B—側形成功函數(shù)小的Ca、 Ba、 LiF的膜，在遠離一側形成功函數(shù) 大的Al等膜。此外，在陰極604上也可以層疊Si02、 SiN等保護層。 由此，能防止陰極604的氧化。作為陰極604的形成方法，可列舉蒸鍍 法、'減射法、CVD法等。特別是在能防止發(fā)光層617R、 617G、 617B 因熱引起的損傷上，理想的是蒸鍍法。
這樣形成的元件基板601具有將必要量(規(guī)定涂敷量)的各液狀體100R、IOOG、 100B作為液滴D廣D3穩(wěn)定地涂敷在發(fā)光層形成區(qū)域A， 干燥/成膜后的膜厚在各發(fā)光層形成區(qū)域A中幾乎為一定的各發(fā)光層 617R、 617G、 617B。
本實施方式中，由于以200ppi的高精密度狀態(tài)在元件基板601上 配置了發(fā)光層形成區(qū)域A，所以各液狀體100R、 IOOG、 IOOB可以分別 在對應的發(fā)光層形成區(qū)域A只涂敷3滴即可。由于液滴D的噴出數(shù)少， 所以為了修正涂敷量的偏差，無法采用對液滴D的噴出數(shù)進行調整的方 法。并且，由于能改變液滴D的噴出量的驅動信號COM的種類受限， 所以作為噴出各液狀體IOOR、 IOOG、 IOOB的方法，采用上述實施方式 2的液狀體的涂敷方法，這在以少的驅動信號COM的種類能進行高精 度的修正方面是非常有效的。
上述實施方式3的效果如下所示。
(1)上述實施方式3的發(fā)光元件部603的制造方法中，在液狀體 IOOR、 IOOG、 IOOB的噴出步驟中，使用上述實施方式2的液狀體的涂 敷方法，向元件基板601的高精密配置的發(fā)光層形成區(qū)域A，在偏差少 的狀態(tài)下涂敷了必要量(規(guī)定涂敷量)的各液狀體IOOR、 IOOG、 IOOB。 各液狀體IOOR、 IOOG、 100B作為由液滴Di和D2構成的第一液滴群 Gri、由液滴D3構成的第二液滴群Gr2,被穩(wěn)、定地噴出，由此可取得干 燥/成膜后的膜厚在同色的發(fā)光層形成區(qū)域A中幾乎為一定的617R、 617G、 617B。
(2) 在上述實施方式3的發(fā)光元件部603的制造方法中，由于使 用同一噴嘴52對各發(fā)光層形成區(qū)域A噴出了第一液滴群Gn和第二液 滴群Gr2，所以與使用不同的噴嘴52噴出第一液滴群Gri和第二液滴群 Gr2時相比，能減少掃描的次數(shù)。而且，通過使用同一噴嘴52，能抑制 噴出特性的變動，可穩(wěn)定地涂敷液狀體IOOR、 IOOG、 IOOB。
(3) 如果使用上述實施方式3的發(fā)光元件部603的制造方法，制 造有機EL裝置600,則由于各發(fā)光層617R、 617G、 617B的膜厚幾乎 一定，所以各發(fā)光層617R、 617G、 617B的電阻幾乎一定。因此，如果 通過電路元件部602向發(fā)光元件部603施加電壓，使其發(fā)光，則能減少 各發(fā)光層617R、 617G、 617B的電阻不均勻所引起的發(fā)光不均勻或亮度不均勻等。即，能制造發(fā)光不均勻或亮度不均勻少，高清晰、具有良好
的顯示質量的有機EL裝置600。
在上述實施方式以外，還可考慮各種變形例。以下，列舉變形例， 進行說明。
(變形例1)在上述實施方式2的液狀體的涂敷方法中，分配多 個修正水準的范圍并不限定于與涂敷量的偏差范圍同等。例如，可以在 涂敷量的偏差中，按最小值和最大值為區(qū)間代表值地設定多個(9個) 區(qū)間的間隔。由此，對于涂敷量成為最小值或最大值的涂敷區(qū)域，能分 配更適合的修正量。
(變形例2)在上述實施方式2的液狀體的涂敷方法中，規(guī)定涂 敷量可以不是涂敷量的偏差中的度數(shù)分布的中央值。例如，也可以使用 涂敷量的平均值。由此，能把以平均值為中心的標準偏差作為區(qū)間的設 定方法而采用。
(變形例3)在上述實施方式2的液狀體的涂敷方法中，分配修 正量的方法并不局限于基于液滴群的液滴數(shù)的方法。例如，也可以對液 滴量多的液滴群賦予大的修正量，對液滴量少的液滴群賦予小的修正 量。由此，能以液滴量作為基準，把液滴群的修正比率水準化。
(變形例4)在上述實施方式1的液狀體的涂敷方法和上述實施 方式2的液狀體的涂敷方法中，液滴D的噴出量和基于它的液狀體的涂 敷量并不局限于重量。例如，可以拍攝從各噴嘴52噴出的液滴D的飛 行狀態(tài)，求出體積，把它作為噴出量。此外，也可根據(jù)在基板上形成的 薄膜的體積，求出液滴D的體積。
(變形例5)在上述實施方式2的液滴噴出裝置10中，驅動信號 COM的波形形狀并不局限于此。除了單純的梯形波或矩形波之外，例 如也能采用夾著中間電位組合了這些波形的驅動波形。即，能夠使液滴 D的噴出量可變的波形形狀并不局限于使驅動電壓Vh可變，通過改變 放電時(電壓下降時)的斜率或放電時的中間電位，也能改變噴出量。
(變形例6)在上述實施方式2的液滴噴出裝置10中，驅動信號 COM的發(fā)生方法并不局限于此。例如也可以在同一噴出周期內產生波形形狀不同的多個驅動波形。即，可以在同一噴出周期內選擇多個驅動 波形中的一個。
(變形例7)在上述實施方式3的有機EL元件的制造方法中，發(fā) 光元件部603并不局限于具有3色的發(fā)光層。例如，在具有白色等單色 的發(fā)光層時，也能應用上述實施方式2的液狀體的涂敷方法。由此，能 提供具有多個單色的有機EL元件的作為照明裝置的有機EL裝置600。 此外，組合白色發(fā)光的有機EL元件和至少3色的濾色器，可以提供作 為能顯示全彩色的顯示裝置的有機EL裝置600。
(變形例8)在上述實施方式3的有機EL元件的制造方法中，元 件基板601上的發(fā)光層形成區(qū)域A的配置和形狀并不局限于此。例如， 發(fā)光層形成區(qū)域A也可以是方形，此外，涂敷同一液狀體的發(fā)光層形成 區(qū)域A的配置并不局限于條紋方式，在鑲嵌方式、三角方式中，也能應 用上述實施方式2的液狀體的涂敷方法。
(變形例9)在上述實施方式3的有機EL元件的制造方法中，向 發(fā)光層形成區(qū)域A配置(噴出)液滴D廣液滴Ds的方法并不局限于從 同一噴嘴52噴出的方法。例如，當從不同的噴嘴52分別噴出液滴D廣 液滴D3時，或者從不同的噴嘴52分別噴出第 一液滴群Gri和第二液滴 群Gr2時，也能應用上述實施方式2的液狀體的涂敷方法。此外，也可 以使用同 一噴嘴列52A ( 52B )或同 一噴出頭50，噴出多個液滴群Gr廣 Grn。由于用噴出特性同等的噴嘴列52A (52B)或者噴出頭50中的噴 嘴52修正涂敷區(qū)域的同一液滴群，所以能夠跨多個涂敷區(qū)域，進行具 有一貫性，精度高的修正。即，能進一步減少液狀體的涂敷量的偏差。
(變形例10 )能應用上述實施方式1的液狀體的涂敷方法的器件 的制造方法，并不局限于上述實施方式3的有機EL元件的制造方法。 例如，能在濾色器的制造方法中應用。具有分別向噴出頭50填充包 含著色材料的3色液狀體，作為液滴D從多個噴嘴52向圖18的圍堰 618所劃分的涂敷區(qū)域噴出的噴出步驟；使噴出的液狀體固化，形成3 色的著色層的固化步驟。由此，能制造涂敷區(qū)域是著色區(qū)域，具有3色 著色層的高精密濾色器。另外，液狀體的種類并不局限于3色，可以是 包含R (紅)、G (綠)、B (藍)的多色，與此對應，可以增加在頭單 元9中搭載的噴出頭50的數(shù)量。在濾色器的制造方法以外，如果使用包含透鏡材料的液狀體，則也能在工件上形成高精密的光學透鏡的光學 透鏡制造方法中應用。還能在具有一定的圖案形狀的布線圖案的形成方 法、作為實體膜的取向膜或絕緣膜的形成方法、作為電光學材料的液晶 的填充等中應用。
(變形例11 )能應用上述實施方式1的液狀體的涂敷方法的并不 局限于各種器件的制造方法。例如，涂敷區(qū)域也可以不是由圍堰(隔壁) 等劃分的區(qū)域。當把液狀體作為記錄用的墨水，軟分割印字區(qū)域，來修 正在被分割的區(qū)域涂敷的墨水量時也能夠應用。由此，在掃描方向，能 構成由多個液滴群構成的具有一定寬度的線段或具有一定面積的印字 面。即，把基板或記錄紙分割為虛擬的涂敷區(qū)域，以軟件方式假定涂敷 區(qū)域，從而能應用上述實施方式的液狀體的涂敷方法。
權利要求
1. 一種液狀體的涂敷方法，從多個噴嘴將液狀體作為液滴噴出，向設置在基板上的多個涂敷區(qū)域涂敷所述液狀體，其特征在于，包括噴嘴信息取得步驟，取得至少包含按所述各噴嘴噴出的所述液滴的噴出量信息的噴嘴信息；配置信息生成步驟，根據(jù)使所述多個噴嘴和所述基板相對移動的掃描，生成把所述液狀體作為由至少一個所述液滴構成的多個液滴群，按所述各涂敷區(qū)域相關聯(lián)配置的配置信息；運算步驟，根據(jù)所述噴嘴信息和所述配置信息，運算按所述各涂敷區(qū)域涂敷的所述液狀體的涂敷量；把所述涂敷量的偏差劃分為多個區(qū)間的劃分步驟；求出所述區(qū)間的代表值和規(guī)定涂敷量的差，決定對所述各區(qū)間的所述規(guī)定涂敷量的修正量的修正量設定步驟；在需要修正的所述區(qū)間中，按所述各液滴群使所述修正量不同，進行分配的修正量分配步驟；按照由多個驅動信號的組合可取得反映了被分配的所述修正量的涂敷量的方式，設定與所述各液滴群對應的所述驅動信號的驅動信號設定步驟；和進行根據(jù)所述配置信息的所述掃描，使用根據(jù)所述組合而選擇的所述驅動信號，驅動所使用的噴嘴，按所述各涂敷區(qū)域噴出所述液狀體的噴出步驟。
2. 根據(jù)權利要求l所述的液狀體的涂敷方法，其特征在于以所述多個驅動信號中的一個作為基準驅動信號，將所述規(guī)定涂敷 量設定為對與所述基準驅動信號對應的所述液滴的基準噴出量乘以所 述多個液滴群的噴出總數(shù)而取得的值；所述噴嘴信息取得步驟應用所述基準驅動信號，驅動所述多個噴 嘴，取得被噴出的所述液滴的噴出量的信息。
3. 根據(jù)權利要求1或2所述的液狀體的涂敷方法，其特征在于所述配置信息生成步驟按照在不同的掃描中配置各自的所述液滴 群的方式，生成所述配置信息。
4. 根據(jù)權利要求3所述的液狀體的涂敷方法，其特征在于所述配置信息生成步驟按照在所述掃描中，使用同一噴嘴配置所述 多個液滴群的方式，生成所述配置信息。
5. 根據(jù)權利要求3所述的液狀體的涂敷方法，其特征在于所述配置信息生成步驟按照在所述掃描中，按各所述液滴群或所述 液滴改變噴嘴，配置所述多個液滴群的方式，生成所述配置信息。
6. 根據(jù)權利要求3所述的液狀體的涂敷方法，其特征在于所述配置信息生成步驟按照當對由所述多個噴嘴構成的多個噴嘴 列和所述基板進行掃描時，在所述掃描中使用同一噴嘴列配置所述多個 液滴群的方式，生成所述配置信息。
7. 根據(jù)權利要求3所述的液狀體的涂敷方法，其特征在于所述配置信息生成步驟按照當對具有多個噴嘴的多個噴出頭和所 述基板進行掃描時，在所述掃描中使用同 一所述噴出頭配置所述多個液 滴群的方式，生成所述配置信息。
8. 根據(jù)權利要求1 7中任意一項所述的液狀體的涂敷方法，其特 征在于所述劃分步驟把所述多個區(qū)間劃分為等間隔。
9. 根據(jù)權利要求8所述的液狀體的涂敷方法，其特征在于所述劃分步驟按照所述涂敷量的偏差的范圍和所述多個區(qū)間的范 圍一致的方式，設定所述多個區(qū)間。
10. 根據(jù)權利要求8所述的液狀體的涂敷方法，其特征在于所述劃分步驟按照在所述涂敷量的偏差中，最大值和最小值分別成 為所述區(qū)間的代表值的方式，設定所述多個區(qū)間。
11. 根據(jù)權利要求1 10中任意一項所述的液狀體的涂敷方法，其 特征在于所述修正量設定步驟以所述涂敷量的偏差的中央值作為所述規(guī)定 涂敷量，把包含所述中央值的區(qū)間選擇為修正目標，決定各所述區(qū)間的 所述修正量。
12. 根據(jù)權利要求1 11中任意一項所述的液狀體的涂敷方法，其特征在于所述修正量分配步驟按所述各液滴群，分配基于所述多個驅動信號 的組合的多個修正水準，所述多個修正水準的間隔按所述各液滴群為等 間隔。
13. 根據(jù)權利要求12所述的液狀體的涂敷方法，其特征在于決定所述多個液滴群中成為修正的基準的液滴群，相對于該液滴群 的所述修正水準的間隔，使另一方的液滴群的所述修正水準的間隔為2 倍以上。
14. 根據(jù)權利要求13所述的液狀體的涂敷方法，其特征在于決定所述多個液滴群中成為修正的基準的液滴群，該液滴群的所述 修正水準的間隔乘以該液滴群的所述修正水準的數(shù)量的值，是其他液滴 群的所述修正水準的間隔。
15. 根據(jù)權利要求13或14所述的液狀體的涂敷方法，其特征在于 將所述多個液滴群中液滴數(shù)最少的液滴群作為所述修正的基準。
16. 根據(jù)權利要求13或14所述的液狀體的涂敷方法，其特征在于 將所述多個液滴群中液滴量最少的液滴群作為所述修正的基準。
17. 根據(jù)權利要求13 16中任意一項所述的液狀體的涂敷方法，其 特征在于成為所述基準的液滴群的修正水準的數(shù)量和其他液滴群的修正水 準的數(shù)量相同。
18. 根據(jù)權利要求17所述的液狀體的涂敷方法，其特征在于所述各液滴群的所述修正水準的數(shù)量和所述多個驅動信號的數(shù)量 相同。
19. 一種有機EL元件的制造方法，該有機EL元件在基板上劃分 形成的多個發(fā)光層形成區(qū)域中至少具有發(fā)光層，其特征在于，包括使用權利要求1 18中任意一項所述的液狀體的涂敷方法，按所述 各發(fā)光層形成區(qū)域，將包含發(fā)光層形成材料的液狀體作為所述多個液滴 群進行涂敷的涂敷步驟；和使被涂敷的所述液狀體固化，形成所述發(fā)光層的發(fā)光層形成步驟。
20.根據(jù)權利要求19所述的有機EL元件的制造方法，其特征在于所述涂敷步驟在所希望的所述發(fā)光層形成區(qū)域涂敷可獲得不同發(fā) 光色的多種所述液狀體；所述發(fā)光層形成步驟使被涂敷的多種所述液狀體固化，至少形成 紅、綠、藍3色的所述發(fā)光層。
全文摘要
本發(fā)明提供液狀體的涂敷方法和有機EL元件的制造方法。液狀體的涂敷方法從多個噴嘴對涂敷區(qū)域噴出至少由1個以上液滴構成的多個液滴群(Gr₁、Gr₂)，對于各液滴群，提供以修正間隔Δq₁作為基準而規(guī)格化的多個修正水準，把修正間隔Δq₂設定為修正間隔Δq₁的3倍的值。向涂敷區(qū)域涂敷的液狀體的涂敷量，能實現(xiàn)對根據(jù)成為基準的驅動信號噴出液滴，構成各液滴群(Gr₁、Gr₂)時的水準“0”施加以Δq₁、2Δq₁、3Δq₁、4Δq₁、5Δq₁、6Δq₁、7Δq₁、8Δq₁的等間隔劃分的8個水準修正的9個水準的涂敷量。因此，多個驅動信號把修正間隔Δq₁作為基準，最多生成5種對基準的驅動信號加以修正的修正驅動信號。
文檔編號B41J29/393GK101428496SQ200810172
公開日2009年5月13日 申請日期2008年11月4日 優(yōu)先權日2007年11月6日
發(fā)明者酒井真理 申請人:精工愛普生株式會社