專利名稱：噴墨打印頭及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明概念涉及到一種噴墨打印頭及其制造方法，并且，更特別地， 涉及到一種包括限定墨水路徑的路徑限定層和限定噴嘴的噴嘴限定層的噴 墨打印頭，以及該噴墨打印頭的制造方法。
背景技術(shù)：
一般來說，噴墨打印頭是一種在所需位置將細(xì)微打印墨滴排放到記錄 介質(zhì)上使得形成圖像的裝置。
這樣一種噴墨打印頭包括基底、設(shè)置有用于排放出墨水的排放壓力產(chǎn) 生元件的表面、層疊在基底上并限定有墨水供給路徑的路徑限定層、層疊 在路徑限定層上并限定有墨水排放噴嘴的噴嘴限定層、以及插在基底和路 徑限定層之間使路徑限定層牢固地粘接到基底的粘合層。
韓國專利申請公開說明書No.10-2005-0112027涉及到上述傳統(tǒng)噴墨打 印頭的制造方法。在上面的專利中闡述的該制造方法涉及到在基底上疊加 粘合層、經(jīng)光刻方法構(gòu)圖粘合層，以為粘合層提供對應(yīng)于要形成在路徑限 定層上的所需圖案的圖案、將路徑限定層疊加到經(jīng)構(gòu)圖的粘合層上、經(jīng)光 刻方法構(gòu)圖路徑限定層，以在路徑限定層上限定墨水路徑、在經(jīng)構(gòu)圖的路 徑限定層上疊加噴嘴限定層、以及經(jīng)光刻方法構(gòu)圖噴嘴限定層，以在噴嘴 限定層里限定噴嘴。
在上述傳統(tǒng)噴墨打印頭中，不論如何，因?yàn)檎澈蠈颖仨毥?jīng)光刻方法構(gòu) 圖，使粘合層上的圖案對應(yīng)于形成于路徑限定層上的所需圖案，所以粘合 層的形成是復(fù)雜的。此外，經(jīng)單個(gè)的光刻方法，構(gòu)圖粘合層和路徑限定層 使形成于粘合層上的圖案與形成于路徑限定層上的圖案重合明顯地變得復(fù) 雜了。
此外，傳統(tǒng)噴墨打印頭包括在噴嘴限定層表面上的斥水層，以防止 墨水附著于噴嘴限定層的表面。并且構(gòu)圖斥水層使其具有和噴嘴限定層相 同的圖案是非常復(fù)雜的，且其實(shí)際應(yīng)用是困難的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明概念提供一種噴墨打印頭及其制造方法，其中能更容易地形成 具有與噴墨打印頭的路徑限定層相同的圖案的粘合層。
本發(fā)明概念也提供了 一種噴墨打印頭及其制造方法，其中斥水層能更 容易地形成于噴墨打印頭的噴嘴限定層上。
在下面的描述中將部分地闡釋本發(fā)明概念的其它方面和/或功效并且， 部分地，從描述中顯而易見，或可通過本發(fā)明概念的實(shí)踐領(lǐng)會(huì)到。
本發(fā)明概念的上述和/或其它方面和功效可通過提供一種噴墨打印頭實(shí) 現(xiàn)，該噴墨打印頭包括基底、層疊在基底上用以限定墨水路徑的第一膜層
元件，其中第一膜層元件包括路徑限定層，該路徑限定層由感光材料制 成并形成有墨水路徑；和粘合層，該粘合層由感光材料制成并用于將路徑
限定層牢固地粘接到基底。
噴墨打印頭還可包括第二膜層元件，該第二膜層元件層疊在第一膜層
元件上以形成噴嘴，并且第二膜層元件可包括噴嘴限定層，該噴嘴限定
層由感光材料制成并形成噴嘴；以及斥水層，該斥水層由感光和斥水材料制成。
本發(fā)明概念的上述和/或其它方面和功效也可通過提供一種噴墨打印頭
實(shí)現(xiàn)，該噴墨打印頭包括基底、層疊在基底上用以形成墨水路徑的路徑 限定層、以及層疊在路徑限定層上以形成噴嘴的第二膜層元件，其中第二 膜層元件包括噴嘴限定層，該噴嘴限定層由感光材料制成并形成有噴嘴； 以及斥水層，該斥水層由感光和斥水材料制成。
路徑限定層可由層疊在基底上的第 一膜層元件形成。
第一膜層元件可包括路徑限定層，該路徑限定層由感光材料制成；
基底上。
本發(fā)明概念的上述和/或其它方面和功效也可通過提供一種噴墨打印頭
的制造方法實(shí)現(xiàn)，該方法包括準(zhǔn)備形成有用以加熱墨水的加熱層的基 底；形成第一膜層元件，該第一膜層元件包括分別由感光材料制成的路徑 限定層和粘合層；以及將第一膜層元件層疊到基底上。
所述方法還包括經(jīng)光刻方法同時(shí)構(gòu)圖第 一膜層元件的路徑限定層和粘合層。所述方法還可包括形成第二膜層元件，該第二膜層元件包括分別由
感光材料制成的噴嘴限定層和斥水層；以及將第二膜層元件層疊到第一膜 層元件上。
所述方法還可包括經(jīng)光刻方法同時(shí)構(gòu)圖第二膜層元件的噴嘴限定層和 斥水層。
本發(fā)明概念的上述和/或其它方面和功效也可通過提供一種噴墨打印頭 的制造方法實(shí)現(xiàn)，該方法包括準(zhǔn)備形成有用以加熱墨水的加熱層基底； 將用以形成墨水路徑的路徑限定層層疊到基底上；制造第二膜層元件，該 第二膜層元件包括分別由感光材料制成的噴嘴限定層和斥水層；以及將第 二膜層元件層疊到路徑限定層上。
所述方法還可包括經(jīng)光刻方法同時(shí)構(gòu)圖第二膜層元件的噴嘴限定層和 斥水層。
本發(fā)明概念的上述和/或其它方面和功效也可通過提供一種噴墨打印頭 實(shí)現(xiàn)，該噴墨打印頭包括基底、第一膜層元件，該第一膜層元件包括層 疊的路徑限定層和設(shè)置在基底上的粘合層；以及第二膜層元件，該第二膜 層元件設(shè)置在第一膜層元件上并包括噴嘴限定層和斥水層，其中第一膜層 元件和第二膜層元件由 一種或多種感光材料制成。
本發(fā)明概念的上述和/或其它方面和功效也可通過提供一種噴墨打印頭 的制造方法實(shí)現(xiàn)，該方法包括同時(shí)疊加所層疊的路徑限定層和粘合層； 以及將噴嘴限定層和斥水層同時(shí)疊加到路徑限定層上。


結(jié)合附圖，從對下面的實(shí)施例描述中本發(fā)明概念的實(shí)施例的這些和/或 其它方面和功效將變得顯而易見和更易理解，其中
圖1是說明根據(jù)本發(fā)明概念實(shí)施例的噴墨打印頭的剖面圖2是說明用在根據(jù)本發(fā)明概念實(shí)施例的噴墨打印頭中的基底的剖面
圖3是說明在圖2所示的噴墨打印頭的基底上層疊第一膜層元件的操 作的剖面圖4和圖5是說明用光刻方法構(gòu)圖如圖3所示的第一膜層元件的操作 的剖面6圖6是說明在圖3所示的第一膜層元件上層疊第二膜層元件的操作的 剖面圖7是說明用光刻方法構(gòu)圖如圖6所示的第二膜層元件的操作的剖面
圖8是說明根據(jù)本發(fā)明概念實(shí)施例的噴墨打印頭的制造方法流程圖。
具體實(shí)施例方式
將詳細(xì)參照根據(jù)本發(fā)明概念的各實(shí)施例，在附圖中圖解其實(shí)例，其中
相同
的附圖標(biāo)記始終標(biāo)識(shí)相同的元件。為了解釋本發(fā)明概念，通過參考附 圖描述各實(shí)施例。
根據(jù)本發(fā)明概念實(shí)施例的噴墨打印頭是熱驅(qū)動(dòng)噴墨打印頭，其中利用 熱源產(chǎn)生墨水氣泡，通過氣泡的膨脹排放墨滴。如圖1所示，噴墨打印頭 包括基底10，該基底用作支撐結(jié)構(gòu)，噴墨打印頭的構(gòu)成元件布置其上； 加熱層11作為用以排出墨水的排放壓力生成元件，該加熱層形成于基底 10上并且依次，例如，電極12、鈍化層13和抗氣穴層14相繼形成于加 熱層11上。此外，貯熱層15,該貯熱層作為氧化硅絕緣層形成于加熱層 11和基底IO之間。
第一膜層元件20層疊在基底10上，加熱層11、電極l2、鈍化層l3 和抗氣穴層14形成于其上。第一膜層元件20限定墨水路徑20a和20b。 此外，第二膜層元件30層疊在第一膜層元件20上。第二膜層元件30限 定噴嘴30a以排放墨水。在層疊第一膜層元件20和第二膜層元件30的同 時(shí)，完成了噴墨打印頭的制造。
基底10由硅晶片制成并具有墨水供給孔10a。加熱層11是由高阻值 金屬板制成的薄膜加熱器，該加熱層形成于基底10之上并將從電極12傳 送的電信號轉(zhuǎn)換為熱能以加熱墨水。電極12由低阻值金屬板制成，形成 于加熱層11之上并將從普通CMOS邏輯電路和功率晶體管等施加的電信 號傳送到加熱層11。
鈍化層13由氮化硅(SiN)制成，它顯示出良好的絕緣和高熱導(dǎo)率， 鈍化層形成為與加熱層11和電極12接觸以保護(hù)加熱層11和電極12?？?氣穴層14在對應(yīng)于噴嘴30a的位置形成于鈍化層13上，并用于限制由熱能產(chǎn)生的墨水氣泡破裂時(shí)引起的收縮震動(dòng)對加熱層11的損害。|&熱層15 防止產(chǎn)生自加熱層11的熱量傳送到基底10,以防止熱損失。
第一膜層元件20限定墨水路徑20a和20b，用以連接墨水供給孔10a 和噴嘴30a。墨水路徑20a和20b包括裝墨水的墨水腔20a和連接墨水供 給孔10a和墨水腔20a的限流器20b。
用在根據(jù)本實(shí)施例的打印頭中的第一膜層元件20由感光膜制成，其 中形成有墨水路徑20a和20b的路徑限定層21和將第一膜層元件20牢固 的粘在基底10上的粘合層22彼此形成一體，從而能同時(shí)層疊在基底10 上。在這種情況，第一膜層元件20的路徑限定層21和粘合層22分別由 感光材料制成，并能夠通過光刻方法同時(shí)構(gòu)圖。
用在根據(jù)本實(shí)施例的噴墨打印頭中的第二膜層元件30由感光膜制 成，其中形成噴嘴30a的噴嘴限定層31和由斥水材料制成的斥水層32彼 此形成一體，從而能夠同時(shí)層疊在第一膜層元件20上。在這種情況下， 第二膜層元件30的噴嘴限定層31和斥水層32分別由感光材料制成，并 能夠通過光刻方法同時(shí)構(gòu)圖。
在下文中，將參考

根據(jù)本發(fā)明概念實(shí)施例的噴墨打印頭的制 造方法。
根據(jù)本發(fā)明概念的噴墨打印頭的制造方法，如圖2所示，包括準(zhǔn)備 基底10，在其上形成加熱層11、電極12等，如圖2所示；形成第一膜層 元件20 (見圖3)，該第一膜層元件20包括由感光材料制成的路徑限定層 21和粘合層22;形成第二膜層元件30 (見圖6)，該第二膜層元件由感光 材料制成的噴嘴限定層31和斥水層32組成；如圖3所示將第一膜層元件 20層疊到基底10上；如圖4所示，用第一光掩模M1通過光刻方法同時(shí) 構(gòu)圖第一膜層元件20的路徑限定層21和粘合層22,該光掩模Ml形成有 與形成于第一膜層元件上所需的圖案相對應(yīng)的圖案，從而如圖5所示給路 徑限定層21和粘合層22提供相同的圖案；如圖6所示將第二膜層元件30 層疊在經(jīng)構(gòu)圖的第一膜層元件20上；如圖7所示，用第二光掩模M2通過 光刻方法同時(shí)構(gòu)圖第二膜層元件30的噴嘴限定層31和斥水層32,該第二 光掩模M2形成有對應(yīng)于噴嘴30a的圖案，從而如圖1所示給噴嘴限定層 31和斥水層32提供相同的圖案。
圖8是說明根據(jù)本發(fā)明概念實(shí)施例的噴墨打印頭的制造方法流程圖。參考圖1和8,在操作步驟S82中，準(zhǔn)備基底10，該基底10形成有用以 加熱墨水的加熱層U。在S84中，形成第一膜層元件20，該第一膜層元 件20包括由感光材料制成的路徑限定層21和粘合層22。在操作步驟S86 中，將第一膜層元件20層疊在基底10上。
由于用由感光材料制成的路徑限定層21和粘合層22組成第一膜層元 件20,當(dāng)?shù)谝荒釉?0層疊在基底10上時(shí)，路徑限定層21和粘合層 22兩者能同時(shí)層疊在基底10上并且也能同時(shí)構(gòu)圖。因此，通過單一的光 刻方法，路徑限定層21和粘合層22能形成有相同的圖案。這能簡化噴墨 打印頭的制造并且同樣不用精細(xì)的構(gòu)圖對準(zhǔn)方法使路徑限定層21的圖案 與粘合層22的圖案精確地重合成為可能。
另外，由于用由感光材料制成的噴嘴限定層31和斥水層32組成第二 膜層元件30,當(dāng)?shù)诙釉?0層疊在第一膜層元件20上時(shí)，噴嘴限定 層31和斥水層32兩者能同時(shí)層疊在第一膜層元件20上并且也能同時(shí)構(gòu) 圖。因此，通過單一的光刻方法噴嘴限定層31和斥水層32能形成有相同 的圖案。這能簡化噴墨打印頭的制造，并且同樣不用精細(xì)構(gòu)圖定位方法使 噴嘴限定層31的圖案與斥水層32的圖案精確地重合成為可能。
雖然本實(shí)施例建議第一膜層元件20首先層疊在基底10上以形成粘合 層22和路徑限定層21，并且其后第二膜層元件30層疊在第一膜層元件 20上以形成噴嘴限定層31和斥水層32,但本發(fā)明概念不限于此。在一個(gè) 可選擇實(shí)施例中，第一膜層元件20層疊在基底10上形成路徑限定層21 和粘合層22后，通過各種方法的任一種，噴嘴限定層31和斥水層32能 形成在路徑限定層21上。在另一個(gè)可選實(shí)施例中，通過各種方法中的任 一種，路徑限定層21形成在基底10上之后，第二膜層元件30可設(shè)置在 路徑限定層21上以形成噴嘴限定層31和斥水層32。
從上面的描述可以理解到，對于根據(jù)本發(fā)明概念的各種實(shí)施例的噴墨 打印頭，由于第一膜層元件包括由感光材料制成的路徑限定層和粘合層， 路徑限定層和粘合層兩者能同時(shí)層疊在基底上并且也能同時(shí)構(gòu)圖。結(jié)果 是，本發(fā)明概念的實(shí)施例具有簡化噴墨打印頭的制造和易于使路徑限定層 的圖案與粘合層的圖案重合的效果。
此外，由于第二膜層元件包括由感光材料制成的噴嘴限定層和斥水 層，噴嘴限定層和斥水層兩者能同時(shí)層疊在第一膜層元件上并且也能同時(shí)構(gòu)圖。結(jié)果是，本發(fā)明概念的各種實(shí)施例具有進(jìn)一步簡化噴墨打印頭的制 造和易于使路徑限定層的圖案與粘合層的圖案重合的效果。
雖然已圖解并描述了本發(fā)明概念實(shí)施例，技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到在不背離 本發(fā)明概念的原理和精神的前提下可對實(shí)施例進(jìn)行改動(dòng)，本發(fā)明的范圍在 權(quán)利要求和等價(jià)物中限定。
權(quán)利要求
1.一種噴墨打印頭，包括基底；以及第一膜層元件，該第一膜層元件層疊在基底上，用以限定墨水路徑，其中第一膜層元件包括路徑限定層，該路徑限定層由感光材料制成，并形成有墨水路徑；以及粘合層，該粘合層由感光材料制成并用于將路徑限定層牢固地粘合到基底上。
2. 如權(quán)利要求1所述的噴墨打印頭，還包括第二膜層元件，該第二膜層元件層疊在第一膜層元件上以形成噴嘴，其中第二膜層元件包括噴嘴限定層，該噴嘴限定層由感光材料制成并形成噴嘴；以及斥水層，該斥水層由感光和斥水材料制成。
3. —種噴墨打印頭，包括基底；路徑限定層，該路徑限定層層疊在基底上以形成墨水路徑；以及第二膜層元件，該第二膜層元件層疊在路徑限定層上以形成噴嘴，其中第二膜層元件包括噴嘴限定層，該噴嘴限定層由感光材料制成并形成有噴嘴；以及斥水層，該斥水層由感光和斥水材料制成。
4. 如權(quán)利要求3所述的噴墨打印頭，其中路徑限定層由層疊在基底上的第一膜層元件形成。
5. 如權(quán)利要求4所述的噴墨打印頭，其中第一膜層元件包括路徑限定層，該路徑限定層由感光材料制成；以及基底上。
6. —種噴墨打印頭的制造方法，所述方法包括準(zhǔn)備形成有加熱層以加熱墨水的基底；形成第 一膜層元件，該第 一膜層元件包括分別由感光材料制成的路徑限定層和粘合層；以及將第一膜層元件層疊在基底上。
7. 如權(quán)利要求6所述的方法，還包括通過光刻方法同時(shí)構(gòu)圖第 一膜層元件的路徑限定層和粘合層。
8. 如權(quán)利要求6所述的方法，還包括形成第二膜層元件，該第二膜層元件包括分別由感光材料制成的噴嘴限定層和斥水層；以及將第二膜層元件層疊在第一膜層元件上。
9. 如權(quán)利要求8所述的方法，還包括通過光刻方法同時(shí)構(gòu)圖第二膜層元件的噴嘴限定層和斥水層。
10. —種噴墨打印頭的制造方法，所述方法包括準(zhǔn)備形成有加熱層以加熱墨水的基底；將路徑限定層層疊在基底上，以形成墨水路徑；制造第二膜層元件，該第二膜層元件包括分別由感光材料制成的噴嘴限定層和斥水層；以及將第二膜層元件層疊在路徑限定層上。
11. 如權(quán)利要求IO所述的方法，還包括通過光刻方法同時(shí)構(gòu)圖第二膜層元件的噴嘴限定層和斥水層。
12. —種噴墨打印頭，包括基底；第一膜層元件，該第一膜層元件包括設(shè)置在基底上的路徑限定層和粘合層；以及設(shè)置在第一膜層元件上的第二膜層元件，所述第二膜層元件包括噴嘴限定層和斥水層，其中第一膜層元件和第二膜層元件由兩種或多種感光材料制成。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種噴墨打印頭及其制造方法，該噴墨打印頭包括基底和層疊在基底上以形成墨水路徑的第一膜層元件。所述第一膜層元件包括路徑限定層，該路徑限定層由感光材料制成并形成墨水路徑；以及粘合層，該粘合層由感光材料制成并用于將路徑限定層牢固地粘合到基底上。通過這種結(jié)構(gòu)，路徑限定層和粘合層能同時(shí)層疊在基底上并且也能同時(shí)構(gòu)圖。
文檔編號B41J2/16GK101537733SQ2008101748
公開日2009年9月23日 申請日期2008年11月7日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月20日
發(fā)明者樸性俊, 樸昌信, 李鎮(zhèn)郁, 金泰均 申請人:三星電子株式會(huì)社