專(zhuān)利名稱(chēng)：液狀體的排出方法、濾色器以及有機(jī)el裝置的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及從噴嘴排出液狀體的液狀體的排出方法、濾色器的制造方法以及有機(jī) EL裝置的制造方法。
背景技術(shù)：
例如，在液晶顯示裝置等的濾色器、有機(jī)EL裝置的成膜等領(lǐng)域，將包含功能性材 料的液狀體排出的液狀體的排出方法被應(yīng)用。在該液狀體的排出方法中，應(yīng)用了液滴排出 裝置。液滴排出裝置，具有稱(chēng)為液滴排出頭的液滴排出機(jī)構(gòu)。在該液滴排出頭中，規(guī)則性地 形成有多個(gè)噴嘴。在濾色器、有機(jī)EL裝置等的制造中，從這些噴嘴，將包含功能性材料的液 狀體在基板等上排出為液滴，從而形成包含功能性材料的薄膜。 近年來(lái)，顯示裝置所應(yīng)用到的領(lǐng)域在擴(kuò)大，從而各種尺寸的面板被提供出來(lái)。此 外，也存在顯示裝置的高畫(huà)質(zhì)化的要求，為了響應(yīng)之，必須實(shí)現(xiàn)高精細(xì)、高密度的濾色器、有 機(jī)EL裝置的成膜。因此，對(duì)于各種尺寸的基板，高精細(xì)、高密度地排出液狀體變得重要。此 外，顯示裝置的面板的需要在增加，為了使面板的生產(chǎn)率提高，還存在希望從一塊大型基板 制造出多塊面板的要求。在此情況下，為了追求獲取數(shù)的效率，或者，為了從一塊基板生產(chǎn) 出不同尺寸的面板，各種布局被研究出來(lái)。根據(jù)布局，像素區(qū)域的配置，有時(shí)會(huì)90度不同， 其中像素區(qū)域是被排出液狀體的最小單位的區(qū)域。 作為在工作件(基板)上從液滴排出頭將液狀體排出為液滴從而進(jìn)行圖案的描繪
的液滴排出裝置以及液滴排出方法，已知有這樣的液滴排出裝置以及液滴排出方法使工
作件在第1方向以及與第1方向大致正交的第2方向上移動(dòng)，從在多個(gè)托架上配設(shè)的液滴
排出頭的噴嘴，排出液狀體，從而進(jìn)行圖案的描繪，其中多個(gè)托架沿著第2方向被預(yù)先確定
了位置(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。[專(zhuān)利文獻(xiàn)1]特開(kāi)2006-187758號(hào)公報(bào) 前述的液滴排出裝置，從被預(yù)先確定了位置的噴嘴將液狀體排出在基板的預(yù)定的 區(qū)域。而且，噴嘴以固定的間距構(gòu)成為列狀，像素區(qū)域形成為大致矩形形狀，像素區(qū)域是被 排出液狀體的最小單位的區(qū)域。因此，還為了使噴嘴的排出偏差分散，優(yōu)選地，使像素區(qū)域 的長(zhǎng)邊與噴嘴列平行地配置，以便使盡可能多的噴嘴與像素區(qū)域相對(duì)。但是，若在基板上配 置方向不同的像素區(qū)域混合存在地構(gòu)成，則會(huì)存在相對(duì)于噴嘴列，短邊平行地配置的像素 區(qū)域。在此情況下，能夠在區(qū)域內(nèi)排出液狀體的噴嘴受到限制，從而有可能使液狀體被排出 在區(qū)域內(nèi)的偏倚的位置，在區(qū)域內(nèi)發(fā)生液狀體的排出量的偏倚。若發(fā)生液狀體的排出量的 偏倚，則有可能會(huì)發(fā)生在區(qū)域內(nèi)形成的薄膜的厚度的不均勻。在液晶顯示裝置等的濾色器、 有機(jī)EL裝置的功能膜等薄膜中，若發(fā)生膜厚度的不均勻，則會(huì)存在所制造的顯示裝置的圖 像品質(zhì)將會(huì)下降的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問(wèn)題的至少一部分而提出的，其可以實(shí)現(xiàn)為以下的方式或者應(yīng)用例。(應(yīng)用例1) 一種液狀體的排出方法，包括排出工序，其邊使具有多個(gè)噴嘴配設(shè)為 列狀而成的噴嘴列的多個(gè)液滴排出頭與具備多個(gè)大致矩形形狀的被排出區(qū)域的基板在與 前述液滴排出頭的配置方向大致正交的主掃描方向上相對(duì)移動(dòng)，邊從前述噴嘴向前述被排 出區(qū)域排出前述液狀體，前述多個(gè)噴嘴將液狀體排出為液滴；其中，前述被排出區(qū)域，包括 第l被排出區(qū)域和第2被排出區(qū)域；前述第l被排出區(qū)域，以其長(zhǎng)邊方向沿著一定方向的方 式配設(shè)在前述基板上，前述第2被排出區(qū)域，其面積比前述第l被排出區(qū)域小，且其以前述 第2被排出區(qū)域的長(zhǎng)邊方向與前述第1被排出區(qū)域的長(zhǎng)邊方向大致正交的方式配設(shè)；并且 在前述排出工序中，將前述第1被排出區(qū)域的長(zhǎng)邊方向配置為沿著前述主掃描方向。
如果采用該方法，則能夠?qū)⒕哂袊娮炝械囊旱闻懦鲱^的配置方向，設(shè)定為與面積 大的第1被排出區(qū)域的大致矩形形狀的短邊方向以及面積小的第2被排出區(qū)域的大致矩形 形狀的長(zhǎng)邊方向相同的方向。也就是說(shuō)，能夠在面積大的第l被排出區(qū)域其大致矩形形狀 的短邊方向上，在面積小的第2被排出區(qū)域其大致矩形形狀的長(zhǎng)邊方向上，配置噴嘴。因 此，即使面積不同的第1被排出區(qū)域以及第2被排出區(qū)域混合存在于同一基板內(nèi)，也能夠增 多能夠在各個(gè)被排出區(qū)域內(nèi)排出液狀體的噴嘴的數(shù)量。因而，能夠減少使液狀體被排出在 被排出區(qū)域內(nèi)的偏倚的位置、發(fā)生液狀體的排出量的偏倚的情況。其結(jié)果，能夠使在各個(gè)被 排出區(qū)域內(nèi)形成的薄膜的厚度的不均勻減輕。因而，能夠制造品質(zhì)穩(wěn)定的至少2種薄膜，能 夠有助于生產(chǎn)率的提高。(應(yīng)用例2)上述的液狀體的排出方法，在前述排出工序中，至少大于等于2個(gè)的前 述噴嘴與前述第1被排出區(qū)域的短邊方向的區(qū)域內(nèi)相對(duì)。 如果采用該方法，則能夠?qū)τ诘?被排出區(qū)域，使多個(gè)噴嘴與之相對(duì)并排出液狀
體。因此，即使存在噴嘴的排出特性的偏差，也能夠通過(guò)使用多個(gè)噴嘴，使排出特性的偏差
分散。其結(jié)果，能夠使在被排出區(qū)域內(nèi)形成的薄膜的厚度的不均勻減輕。(應(yīng)用例3)上述的液狀體的排出方法，從前述噴嘴排出且配置在前述第1被排出
區(qū)域中的前述液滴的、前述第1被排出區(qū)域的短邊方向的配置間隔，可通過(guò)將前述噴嘴列
配置為相對(duì)于前述短邊方向具有角度而進(jìn)行調(diào)整。 如果采用該方法，則通過(guò)將液滴排出頭的噴嘴列配置為相對(duì)于第1被排出區(qū)域的 短邊方向具有角度，能夠使配置在第l被排出區(qū)域的短邊方向上的液滴的配置間隔，實(shí)質(zhì) 上變窄。也就是說(shuō)，能夠?qū)τ诘趌被排出區(qū)域，使更多的噴嘴與之相對(duì)并排出液狀體。因此， 能夠減少使液狀體被排出在被排出區(qū)域內(nèi)的偏倚的位置、發(fā)生液狀體的排出量的偏倚的情 況。其結(jié)果，能夠使在被排出區(qū)域內(nèi)形成的薄膜的厚度的不均勻減輕。(應(yīng)用例4)上述的液狀體的排出方法，前述排出工序，在前述液滴排出頭與前述 基板的前述主掃描方向的多次相對(duì)移動(dòng)期間，使前述液滴排出頭與前述基板在與前述主掃 描方向大致正交的副掃描方向上相對(duì)移動(dòng)。 如果采用該方法，則在排出工序中，能夠邊使液滴排出頭與基板在與主掃描方向 大致正交的副掃描方向上相對(duì)移動(dòng)、即進(jìn)行改行工作，邊從噴嘴向被排出區(qū)域排出液狀體。 因此，能夠?qū)嵸|(zhì)上增多例如能夠配置在第l被排出區(qū)域的短邊方向上的液滴。因此，能夠減 少使液狀體被排出在被排出區(qū)域內(nèi)的偏倚的位置、發(fā)生液狀體的排出量的偏倚的情況。其 結(jié)果，能夠使在被排出區(qū)域內(nèi)形成的薄膜的厚度的不均勻減輕。。
(應(yīng)用例5) —種濾色器的制造方法，其在基板上的多個(gè)被排出區(qū)域形成多色的著 色層，多個(gè)前述被排出區(qū)域，包括配設(shè)方向相互正交的第1被排出區(qū)域和第2被排出區(qū)域； 該方法包括排出工序，其使用上述的液狀體的排出方法，將包含著色層形成材料的多色的 液狀體排出在多個(gè)前述被排出區(qū)域；以及成膜工序，其使被排出的前述液狀體固化而形成 前述多色的著色層。 如果采用該方法，則能夠使在配設(shè)方向相互正交的第1被排出區(qū)域以及第2被排 出區(qū)域內(nèi)形成的著色層的厚度的不均勻減輕，并且能夠以高的生產(chǎn)率制造著色層的排列方 向不同的至少2種濾色器。(應(yīng)用例6) —種有機(jī)EL裝置的制造方法，該有機(jī)EL裝置具備多個(gè)有機(jī)EL元件， 該多個(gè)有機(jī)EL元件在基板上的多個(gè)被排出區(qū)域具有包含發(fā)光層的功能層，多個(gè)前述被排 出區(qū)域，包括配設(shè)方向相互正交的第1被排出區(qū)域和第2被排出區(qū)域；該方法包括排出工 序，其使用上述的液狀體的排出方法，將包含發(fā)光層形成材料的液狀體排出在多個(gè)前述被 排出區(qū)域；以及成膜工序，其使被排出的前述液狀體固化而形成前述發(fā)光層。
如果采用該方法，則能夠使在配設(shè)方向相互正交的第1被排出區(qū)域以及第2被排 出區(qū)域內(nèi)形成的發(fā)光層的厚度的不均勻減輕，并且能夠以高的生產(chǎn)率制造有機(jī)EL元件的 排列方向不同的至少2種有機(jī)EL裝置。


圖1是示出液狀體排出裝置的結(jié)構(gòu)的概要立體圖； 圖2是示出液滴排出頭的結(jié)構(gòu)的概要圖； 圖3是示出頭單元中的液滴排出頭的配置的概要俯視圖； 圖4是示出液狀體排出裝置的控制系統(tǒng)的框圖； 圖5是示出濾色器的概要圖； 圖6是示出濾色器的制造方法的流程圖； 圖7示出濾色器的制造方法的概要剖面圖； 圖8是示出頭單元與母基板的相對(duì)配置的概要俯視圖； 圖9是示出液狀體的排出工序中的液滴的配置的概要俯視圖； 圖10是示出第2實(shí)施例中的頭單元與母基板的相對(duì)配置的概要俯視圖； 圖11是示出第2實(shí)施例中的液滴的配置的概要俯視圖； 圖12是示出第3實(shí)施例中的液滴的配置的概要俯視圖； 圖13是示出有機(jī)EL裝置的主要部分結(jié)構(gòu)的概要剖面圖； 圖14是示出有機(jī)EL裝置的制造方法的流程圖；以及 圖15是示出有機(jī)EL裝置的制造方法的概要剖面圖。 符號(hào)說(shuō)明 4...控制部；9...頭單元；9a...頭板；10...液狀體排出裝置；20...基板移動(dòng) 機(jī)構(gòu)；30...頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)；50...液滴排出頭；52、52i...噴嘴；52a...噴嘴列；70...頭單 元旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；100...濾色器；103...著色層；103r、103g、103b...作為第2被排出區(qū)域的膜 形成區(qū)域；103r'、103g'、103b'...作為第1被排出區(qū)域的膜形成區(qū)域；600...有機(jī)EL裝 置；603...作為有機(jī)EL元件的發(fā)光元件部；617R、617G、617B...發(fā)光層；617a...正孔注入/輸送層；B. .母基板(基板)；D、 Dl、 D2、 D3. .液滴；El.第1面板；E2.第2面板； P...噴嘴間距；Pl...液滴配置間隔。
具體實(shí)施例方式
對(duì)于本發(fā)明，以在基板上、在區(qū)劃而成的多個(gè)像素區(qū)域具有多色的著色層的濾色 器的制造為例，進(jìn)行說(shuō)明。著色層，是像素構(gòu)成要素，其通過(guò)從多個(gè)噴嘴向像素區(qū)域，將包含 著色層形成材料的液狀體排出為液滴而形成。在將該液狀體排出為液滴時(shí)，使用以下說(shuō)明 的液狀體排出裝置。(關(guān)于液狀體排出裝置的結(jié)構(gòu)) 首先，關(guān)于具備排出液狀體的液滴排出頭的液狀體排出裝置，參照?qǐng)D1進(jìn)行說(shuō)明。 圖1是示出液狀體排出裝置的結(jié)構(gòu)的概要立體圖。 如圖1所示，液狀體排出裝置10具備使具有被排出區(qū)域(膜形成區(qū)域)的基板 B在主掃描方向上移動(dòng)的基板移動(dòng)機(jī)構(gòu)20、使具有多個(gè)液滴排出頭的頭單元9在副掃描方 向上移動(dòng)的頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)30。該液狀體排出裝置IO，使基板B與頭單元9的相對(duì)位置發(fā)生變 化，并且從搭載在頭單元9上的多個(gè)液滴排出頭將液狀體排出為液滴，從而在基板B上用液 狀體形成預(yù)定的功能膜。此外，圖中的X方向表示基板B的移動(dòng)方向、即主掃描方向，Y方 向表示頭單元9的移動(dòng)方向、即副掃描方向，Z方向表示與X方向禾P Y方向正交的方向。
在使用這樣的液狀體排出裝置10，制造具有例如紅、綠及藍(lán)3色的過(guò)濾元件的濾 色器的情況下，從液狀體排出裝置10的各個(gè)液滴排出頭，將紅、綠及藍(lán)3色的液狀體的任意 一種，在基板B的膜形成區(qū)域排出為液滴，從而形成紅、綠及藍(lán)3色的過(guò)濾元件。
在此，關(guān)于液狀體排出裝置10的各結(jié)構(gòu)，進(jìn)行說(shuō)明。 基板移動(dòng)機(jī)構(gòu)20，具備一對(duì)導(dǎo)軌21、沿著一對(duì)導(dǎo)軌21移動(dòng)的移動(dòng)臺(tái)22、在移動(dòng) 臺(tái)22上可吸附固定地載置基板B的臺(tái)架5。移動(dòng)臺(tái)22利用設(shè)置在導(dǎo)軌21的內(nèi)部的、未圖 示的氣動(dòng)滑道和線性電動(dòng)機(jī)，在X方向(主掃描方向)上移動(dòng)。 頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)30具備一對(duì)導(dǎo)軌31、沿著一對(duì)導(dǎo)軌31移動(dòng)的第1移動(dòng)臺(tái)32。在第 1移動(dòng)臺(tái)32上設(shè)置有托架8，在托架8上經(jīng)由頭單元旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)70安裝有頭單元9，頭單元9 搭載有多個(gè)液滴排出頭50 (參照?qǐng)D2)。頭單元9，能夠利用頭單元旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)70，以圖1所示 的旋轉(zhuǎn)軸L為中心、在XY平面上旋轉(zhuǎn)。并且，第1移動(dòng)臺(tái)32，能夠使托架8在Y方向(副掃 描方向)上移動(dòng)，從而將頭單元9在Z方向上，空出預(yù)定的間隔地相對(duì)于基板B相對(duì)配置。
液狀體排出裝置10，除了上述結(jié)構(gòu)之外，還具有維護(hù)機(jī)構(gòu)60，該維護(hù)機(jī)構(gòu)60進(jìn)行 搭載在頭單元9上的多個(gè)液滴排出頭50的噴嘴的堵塞的消除等維護(hù)。此外，液狀體排出裝 置10設(shè)置有用于向液滴排出頭50供給液狀體的液狀體供給機(jī)構(gòu)、具有接受被液滴排出頭 50或者每一噴嘴排出的液狀體并計(jì)測(cè)其排出重量的電子天秤等計(jì)測(cè)器的排出量計(jì)測(cè)機(jī)構(gòu) 等。這各個(gè)機(jī)構(gòu)，由控制部4(參照?qǐng)D4)進(jìn)行控制。在圖1中，控制部4、液狀體供給機(jī)構(gòu)以 及排出量計(jì)測(cè)機(jī)構(gòu)，省略了圖示。
(關(guān)于液滴排出頭) 在此，關(guān)于具有多個(gè)噴嘴的液滴排出頭，參照?qǐng)D2以及圖3進(jìn)行說(shuō)明。圖2是示出 液滴排出頭的結(jié)構(gòu)的概要圖。(a)是概要分解立體圖，(b)是示出噴嘴部的結(jié)構(gòu)的剖面圖。 圖3是示出頭單元中的液滴排出頭的配置的概要俯視圖。詳細(xì)地，是從與基板B相對(duì)的一側(cè)看的圖。此夕卜，圖3中所示的X方向、Y方向，表示與圖1中所示的X方向、Y方向相同的 方向。 如圖2(a)及(b)所示，液滴排出頭50為噴嘴板51、空腔板53、振動(dòng)板58按順序 疊層并接合而成的結(jié)構(gòu)，其中噴嘴板51具有排出液滴D的多個(gè)噴嘴52，空腔板53具有區(qū)劃 與多個(gè)噴嘴52分別連通的空腔55的間隔壁54，振動(dòng)板58具有作為與各空腔55對(duì)應(yīng)的驅(qū) 動(dòng)元件的振動(dòng)器59。 空腔板53具有區(qū)劃與噴嘴52連通的空腔55的間隔壁54、用于將液狀體填充到 空腔55中的流路56、57。流路57被噴嘴板51與振動(dòng)板58所挾持，所形成的空間起到積 存液狀體的儲(chǔ)存器的作用。液狀體，從液狀體供給機(jī)構(gòu)通過(guò)配管供給，在通過(guò)設(shè)置在振動(dòng)板 58上的供給孔58a而積存在儲(chǔ)存器中之后，通過(guò)流路56填充到各空腔55中。
如圖2(b)所示，振動(dòng)器59是由以下部件構(gòu)成的壓電元件壓電元件59c、挾持壓 電元件59c的一對(duì)電極59a、59b。通過(guò)從外部對(duì)一對(duì)電極59a、59b施加作為驅(qū)動(dòng)信號(hào)的驅(qū) 動(dòng)波形，使所接合的振動(dòng)板58變形。由此，由間隔壁54隔開(kāi)的空腔55的體積增加，從而液 狀體從儲(chǔ)存器被吸引到空腔55中。并且，若驅(qū)動(dòng)波形的施加停止，則振動(dòng)板58恢復(fù)原樣， 從而對(duì)已填充的液狀體加壓。由此，成為能夠從噴嘴52將液狀體排出為液滴D的結(jié)構(gòu)。通 過(guò)控制向壓電元件59c施加的驅(qū)動(dòng)波形，能夠?qū)τ诟鱾€(gè)噴嘴52進(jìn)行液狀體的排出控制。
如圖3所示，上述的液滴排出頭50，配置在頭單元9的頭板9a上。在頭板9a上， 搭載有由3個(gè)液滴排出頭50構(gòu)成的頭組50A、同樣由3個(gè)液滴排出頭50構(gòu)成的頭組50B 合計(jì)6個(gè)液滴排出頭50。在此情況下，頭組50A的液滴排出頭50 (頭Rl)和頭組50B的液 滴排出頭50(頭R2)排出同一種液狀體。對(duì)于其他的頭G1和頭G2、頭B1和頭B2，也是同 樣的。即，成為可排出3種不同的液狀體的結(jié)構(gòu)。 各液滴排出頭50具有噴嘴列52a，該噴嘴列52a由以固定的噴嘴間距P配設(shè)的多 個(gè)(180個(gè))噴嘴52構(gòu)成。因此，各個(gè)液滴排出頭50具有長(zhǎng)度為L(zhǎng)的排出寬度。頭R1和 頭R2，以從主掃描方向(X方向)看相鄰的噴嘴列52a在與主掃描方向正交的副掃描方向 (Y方向)上隔開(kāi)1噴嘴間距P而連續(xù)的方式，在主掃描方向上并列地配設(shè)。因此，頭R1和 頭R2，具有長(zhǎng)度為2L的排出寬度。 此外，如前所述，頭單元9，能夠利用頭單元旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)70，以圖1中所示的旋轉(zhuǎn)軸L 為中心，在XY平面上旋轉(zhuǎn)。S卩，頭板9a，如圖3所示，能夠以旋轉(zhuǎn)軸L貫穿頭板9a而得到的 點(diǎn)1為中心，在XY平面上旋轉(zhuǎn)。此外，點(diǎn)l位于頭板9a的大致中心。 在本實(shí)施例中，雖然關(guān)于l列的情況說(shuō)明了噴嘴列52a，但是并不限于此。液滴排 出頭50，其多個(gè)噴嘴列52a也可以在圖中X方向上以固定的間隔、在Y方向上偏離1/2間距 (P/2)而排列。這樣，實(shí)質(zhì)上的噴嘴間距P變窄，從而能夠高精細(xì)地排出液滴D。
(關(guān)于液滴排出裝置的控制系統(tǒng)) 接著，關(guān)于液狀體排出裝置10的控制系統(tǒng)，參照?qǐng)D4進(jìn)行說(shuō)明。圖4是示出液狀 體排出裝置的控制系統(tǒng)的框圖。 如圖4所示，液狀體排出裝置10的控制系統(tǒng)，具備驅(qū)動(dòng)部46和控制部4，驅(qū)動(dòng)部 46具有驅(qū)動(dòng)液滴排出頭50、基板移動(dòng)機(jī)構(gòu)20、頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)30等的各種驅(qū)動(dòng)器，控制部4控 制包含驅(qū)動(dòng)部46的液狀體排出裝置10。驅(qū)動(dòng)部46具備移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)器47、頭驅(qū)動(dòng)器48、頭 旋轉(zhuǎn)用驅(qū)動(dòng)器68、維護(hù)用驅(qū)動(dòng)器49、未圖示的排出量計(jì)測(cè)用驅(qū)動(dòng)器，其中移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)器47對(duì)基板移動(dòng)機(jī)構(gòu)20及頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)30的各線性電動(dòng)機(jī)分別進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，頭驅(qū)動(dòng)器48對(duì)液 滴排出頭50進(jìn)行排出控制，頭旋轉(zhuǎn)用驅(qū)動(dòng)器68對(duì)使頭單元9旋轉(zhuǎn)的頭單元旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)70進(jìn) 行控制，維護(hù)用驅(qū)動(dòng)器49對(duì)維護(hù)機(jī)構(gòu)60的各維護(hù)用單元進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，未圖示的排出量計(jì) 測(cè)用驅(qū)動(dòng)器對(duì)排出量計(jì)測(cè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制。 控制部4具備CPU41、R0M42、RAM43、P-C0N44，這些部件相互經(jīng)由總線45連接。在 P-C0N44上，連接著上位計(jì)算機(jī)11。 ROM42，具有控制程序區(qū)域和控制數(shù)據(jù)區(qū)域，控制程序區(qū) 域存儲(chǔ)由CPU41處理的控制程序等，控制數(shù)據(jù)區(qū)域存儲(chǔ)用于進(jìn)行描繪工作、功能恢復(fù)處理 等的控制數(shù)據(jù)等。 RAM43具有存儲(chǔ)在基板B上描繪圖案的圖案數(shù)據(jù)的圖案數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部等各種存儲(chǔ) 部，其作為控制處理用的各種工作區(qū)域而被使用。在P-C0N44上，連接著驅(qū)動(dòng)部46的各種 驅(qū)動(dòng)器等，補(bǔ)充CPU41的功能，并且構(gòu)成并組入有用于處理與外圍電路的接口信號(hào)的邏輯 電路。因此，P-C0N44，將來(lái)自上位計(jì)算機(jī)11的各種指令等原樣或者進(jìn)行處理后獲取到總線 45中，并且與CPU41協(xié)作地將從CPU41等輸出至總線45中的數(shù)據(jù)、控制信號(hào)等原樣或者進(jìn) 行處理后輸出至驅(qū)動(dòng)部46。 并且，CPU41，在根據(jù)R0M42內(nèi)的控制程序，經(jīng)由P-C0N44輸入各種檢測(cè)信號(hào)、各種 指令、各種數(shù)據(jù)等，并且對(duì)RAM43內(nèi)的各種數(shù)據(jù)等進(jìn)行處理之后，通過(guò)經(jīng)由P-C0N44輸出各 種控制信號(hào)至驅(qū)動(dòng)部46等，來(lái)控制液狀體排出裝置10全體。例如，CPU41，控制液滴排出頭 50、基板移動(dòng)機(jī)構(gòu)20以及頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)30，使頭單元9與基板B相對(duì)配置。并且，與頭單元 9和基板B的相對(duì)移動(dòng)同步地，從搭載在頭單元9上的各液滴排出頭50的預(yù)定數(shù)量的噴嘴 52，在基板B上將液狀體排出為液滴D，從而形成圖案。 在此情況下，將與基板B的向X方向的移動(dòng)同步地排出液狀體的工作稱(chēng)為主掃描， 將使頭單元9在Y方向上移動(dòng)的工作稱(chēng)為副掃描。本實(shí)施例的液狀體排出裝置IO，能夠通 過(guò)組合主掃描和副掃描并重復(fù)多次，來(lái)排出液狀體。主掃描，并不限于基板B相對(duì)于液滴排 出頭50向一個(gè)方向的移動(dòng)，而也能夠使基板B往返地進(jìn)行移動(dòng)。 上位計(jì)算機(jī)11不僅將控制程序、控制數(shù)據(jù)等控制信息傳送至液狀體排出裝置10， 而且也能夠?qū)@些控制信息進(jìn)行修正。此外，還具有作為配置信息生成部的功能，該配置信 息生成部根據(jù)噴嘴52的位置信息等，生成在基板B上的每一排出區(qū)域?qū)⑺枇康囊籂铙w配 置為液滴D的配置信息。配置信息，將進(jìn)行排出的噴嘴52和待機(jī)的噴嘴52的分類(lèi)以及排 出區(qū)域中的液滴D的排出位置(若換言之，則是基板B與噴嘴52的相對(duì)位置)、液滴D的 配置數(shù)(若換言之，則是每一噴嘴52的排出數(shù)、排出比例)、主掃描中的多個(gè)噴嘴52的開(kāi)/ 關(guān)、排出定時(shí)等信息，例如表現(xiàn)為位圖。
(液狀體的排出方法以及濾色器的制造方法) 接著，關(guān)于應(yīng)用了本實(shí)施例的液狀體的排出方法的濾色器的制造方法，參照?qǐng)D 5 圖9進(jìn)行說(shuō)明。圖5(a)是示出濾色器的概要俯視圖，圖5(b)是圖5(a)的C-C'剖面 圖。圖6是示出濾色器的制造方法的流程圖，圖7(a) (d)是示出濾色器的制造方法的概 要剖面圖。 如圖5(a)及(b)所示，濾色器IOO，在透明的玻璃等基板101上具有作為紅(R)、 綠(G)、藍(lán)(B)3色的過(guò)濾元件的著色層103。作為被形成著色層103的矩形形狀的被排出 區(qū)域的膜形成區(qū)域103r、103g、103b，被間隔壁部104區(qū)劃為矩陣狀。本實(shí)施方式的濾色器100，是同色的著色層103直線狀地排列的、所謂條紋方式的濾色器。 如圖5(b)所示，間隔壁部104，成為由第1間隔壁部104a和第2間隔壁部104b構(gòu)成的2層結(jié)構(gòu)。第1間隔壁部104a，例如由Cr、 Al等金屬薄膜構(gòu)成，具有遮光性。第2間隔壁部104b，例如由樹(shù)脂材料構(gòu)成。此外，并不限于二層結(jié)構(gòu)，而也可以是利用樹(shù)脂材料構(gòu)成間隔壁部104的一層結(jié)構(gòu)，該樹(shù)脂材料包含具有遮光性的材料。 著色層103由包含著色材料的透光性樹(shù)脂材料構(gòu)成。在本實(shí)施方式中，使用上述的液狀體排出裝置10制造這樣的濾色器100。 如圖6所示，本實(shí)施方式的濾色器100的制造方法，基本上具備形成間隔壁部104的間隔壁部形成工序(步驟S1)、對(duì)形成了間隔壁部104的基板101的表面進(jìn)行表面處理的表面處理工序(步驟S2)、排出包含著色層形成材料的液狀體的液狀體的排出工序(步驟S3)、使所排出的液狀體干燥從而形成著色層103的干燥工序(步驟S4)。
在圖6的步驟Sl，首先，在基板101的表面，進(jìn)行Cr、Al等金屬薄膜的成膜。作為成膜方法，舉出真空蒸鍍法、噴鍍法等。膜厚度，以得到遮光性的方式，設(shè)定為O. lym左右。利用光刻法對(duì)之進(jìn)行圖案形成，而形成開(kāi)口 了的、圖7所示的第1間隔壁部104a。接著，覆蓋第1間隔壁部104a而將感光性樹(shù)脂涂敷為厚度2 ii m左右，并同樣利用光刻法進(jìn)行圖案形成，從而在第1間隔壁部104a上形成第2間隔壁部104b。由此，如圖7(a)所示，形成在基板101上開(kāi)口了的矩形形狀的膜形成區(qū)域103r、103g、103b。并且，前進(jìn)至步驟S2。
在圖6的步驟S2，以在之后的液狀體的排出工序中、被排出的液狀體著落于膜形成區(qū)域103r、103g、103b并濡濕擴(kuò)散的方式，對(duì)基板101的表面進(jìn)行親液處理。此外，以即使被排出的液狀體的一部分著落在了第2間隔壁部104b上，也收納到膜形成區(qū)域103r、 103g、103b內(nèi)的方式，對(duì)第2間隔壁部104b的至少上表面部分進(jìn)行抗液處理。
作為表面處理方法，對(duì)于形成了間隔壁部104的基板IOI，進(jìn)行以02為處理氣體的等離子體處理和以氟類(lèi)氣體為處理氣體的等離子體處理。即，對(duì)膜形成區(qū)域103r、103g、103b進(jìn)行親液處理，其后，對(duì)由感光性樹(shù)脂構(gòu)成的第2間隔壁部104b的上表面進(jìn)行抗液處理。此外，如果形成第2間隔壁部104b的材料自身具有抗液性，則也能夠省去后一種處理。并且，前進(jìn)至步驟S3。 在圖6的步驟S3，在圖1所示的液狀體排出裝置10的臺(tái)架5上載置被進(jìn)行了表面處理的基板101。并且，從圖3所示的頭單元9的液滴排出頭50分別排出包含不同的著色層形成材料的3色的液狀體。詳細(xì)地，如圖7(b)及(c)所示，與基板101與液滴排出頭50的向主掃描方向的相對(duì)移動(dòng)同步地，從液滴排出頭50的噴嘴52，將3色的液狀體的各個(gè)在所希望的膜形成區(qū)域103r、103g、103b排出為液滴D。排出在膜形成區(qū)域103r、 103g、 103b中的液狀體的排出量，根據(jù)預(yù)先對(duì)于每一膜形成區(qū)域103r、103g、103b所選擇的噴嘴52的選擇圖案和液滴D的排出數(shù)等對(duì)于每一主掃描所設(shè)定的排出數(shù)據(jù)，從控制部4的CPU41向頭驅(qū)動(dòng)器48傳送適合的控制信號(hào)而被進(jìn)行控制。由此，預(yù)定量的液狀體被排出在每一膜形成區(qū)域103r、103g、103b中。并且，前進(jìn)至步驟S4。 在圖6的步驟S4，如圖7(d)所示，從被排出在基板101上的液狀體，使溶劑成分蒸發(fā)，從而形成由著色層形成材料構(gòu)成的著色層103。在本實(shí)施方式中，將基板101放置在可將溶劑的蒸汽氣壓固定而進(jìn)行干燥的減壓干燥裝置中并進(jìn)行減壓干燥，從而形成R、 G、 B這3色的著色層103。此外，也可以將排出l色的液狀體并進(jìn)行干燥的工序重復(fù)3次。在步驟S3的液狀體的排出工序中，著色層103的膜厚度，可以按每一色進(jìn)行設(shè)定，而未必3色是相同的。根據(jù)所需的膜厚度的設(shè)定，只要將所需量的液狀體排出在對(duì)應(yīng)的膜形成區(qū)域103r、103g、103b即可。 被形成濾色器100的基板101的大小，取決于使用之的顯示裝置的大小。此外，即使是同一大小的顯示裝置，在像素被高密度地配置的情況下，對(duì)于對(duì)應(yīng)的濾色器100的著色層103的配置，也要求高密度的配置。 作為有效地生產(chǎn)濾色器100的方法， 一般采用在比基板101面積大的母基板B上獲取多塊的方法。但是，在面積上有效的濾色器100的尺寸，由母基板B的大小來(lái)決定。若獲取多塊在面積上非有效的尺寸的濾色器100，則會(huì)產(chǎn)生空閑空間。因此，考慮在該空閑空間中拼版不同的尺寸的濾色器100，從而沒(méi)有浪費(fèi)地利用母基板B。 當(dāng)在母基板B上拼版不同的尺寸的濾色器100的情況下，有時(shí)膜形成區(qū)域103r、103g、 103b的排列方向、即條紋方向會(huì)相互正交。如前所述，膜形成區(qū)域103r、 103g、 103b中的液滴的配置，通過(guò)在主掃描中根據(jù)排出定時(shí)排出液狀體而實(shí)現(xiàn)。從主掃描方向看的多個(gè)噴嘴52，如前所述以固定的噴嘴間距P配設(shè)。因而，在母基板B上的矩形形狀的膜形成區(qū)域103r、103g、103b的排列方向不同的情況下，有時(shí)會(huì)因排列方向而使與膜形成區(qū)域103r、103g、103b相對(duì)的噴嘴52的數(shù)量受到限制。 使用本實(shí)施方式的液狀體的排出方法的濾色器100的制造方法，根據(jù)母基板B上
的膜形成區(qū)域103r、103g、103b的配置，提供適合的液狀體的排出方法。詳細(xì)地，參照實(shí)施
例進(jìn)行說(shuō)明。(第1實(shí)施例) 在此，參照?qǐng)D8以及圖9說(shuō)明第1實(shí)施例的濾色器的制造方法。圖8是示出液狀體的排出工序中的頭單元與母基板的相對(duì)配置的概要俯視圖，圖9(a)及(b)是示出液狀體的排出工序中的液滴的配置的概要俯視圖。此外，圖8以及圖9中所示的X方向、Y方向，表示與圖1中所示的X方向、Y方向相同的方向。 如圖8所示，第1實(shí)施例中的母基板B，具有第2面板E2和第1面板E1，第2面板E2沿著母基板B的長(zhǎng)邊拼版有多個(gè)(7個(gè))，第1面板El沿著長(zhǎng)邊及短邊矩陣狀地拼版有多個(gè)(4個(gè))。第2面板E2的面積，比第1面板El的面積小。 在第2面板E2上，作為第2被排出區(qū)域的矩形形狀的膜形成區(qū)域103r、 103g、 103b矩陣狀地排列多個(gè)。同樣，在第1面板E1上，作為第1被排出區(qū)域的矩形形狀的膜形成區(qū)域103r'、103g'、103b'矩陣狀地排列多個(gè)。在此，膜形成區(qū)域103r、 103g、 103b的面積，比膜形成區(qū)域103r'、103g'、103b'的面積小。膜形成區(qū)域103r、 103g、 103b和膜形成區(qū)域103r'、103g'、103b'，其被排出同種(同色)的液狀體的條紋方向正交。此外，在各個(gè)膜形成區(qū)域，排出預(yù)定量的所期望的液狀體，從而形成著色層103。 在液狀體的排出工序中，使用圖1中所示的液狀體排出裝置10，以母基板B的長(zhǎng)邊，相對(duì)于頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)30中配置在副掃描方向(Y方向)上的多個(gè)頭單元9，成為大致平行的方式，將母基板B定位在臺(tái)架5上。然后，在使臺(tái)架5在主掃描方向(X方向)上移動(dòng)的期間，從搭載在頭單元9上的液滴排出頭50，向母基板B排出液狀體。 在此情況下，膜形成區(qū)域103r、103g、103b的長(zhǎng)邊方向與副掃描方向(Y方向)一致。膜形成區(qū)域103r'、103g'、103b'的長(zhǎng)邊方向與主掃描方向(X方向)一致。此外，排列在液滴排出頭50上的噴嘴列52a，利用頭單元旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)70，以與副掃描方向(Y方向) 一致的方式配置。其結(jié)果，如圖9(a)所示，由多個(gè)噴嘴52構(gòu)成的噴嘴列52a，沿著矩形形狀的膜形成區(qū)域103r、103g、103b的長(zhǎng)邊方向配置。 例如，在主掃描中(X方向上)，在被排出紅色的液狀體的膜形成區(qū)域103r上，獲得4個(gè)噴嘴52，并從各個(gè)噴嘴52排出液滴Dl 。由此，在膜形成區(qū)域103r上，分別涂敷4滴的液滴D1。所著落的液滴D1，在膜形成區(qū)域103r內(nèi)濡濕擴(kuò)散。此外，在主掃描方向上，通過(guò)控制排出定時(shí)，能夠?qū)τ谀ば纬蓞^(qū)域103r的任意一個(gè)，使液滴D1著落在任意的位置。副掃描方向(Y方向)上的著落位置，根據(jù)膜形成區(qū)域103r的副掃描方向上的配置間距與噴嘴間距P的關(guān)系，對(duì)于每一膜形成區(qū)域103r，并不限定于必須相同。此外，在第2面板E2的其他膜形成區(qū)域103g、103b，也同樣各排出4滴所期望的液狀體作為液滴D1。
如圖9 (b)所示，在上述主掃描中，在例如相對(duì)于膜形成區(qū)域103r面積大且排列方向正交的膜形成區(qū)域103r'上，獲得2個(gè)噴嘴52。然后，從各個(gè)噴嘴52，在主掃描方向上排出多個(gè)液滴D1。由此，在各膜形成區(qū)域103r'，涂敷液滴Dl。在主掃描方向上，通過(guò)控制排出定時(shí)，對(duì)于膜形成區(qū)域103r'的任意一個(gè)，能夠使液滴Dl著落在任意的位置。另一方面，副掃描方向(Y方向)上的著落位置，根據(jù)膜形成區(qū)域103r'的副掃描方向上的配置間距與噴嘴間距P的關(guān)系，雖然在每一膜形成區(qū)域103r'上獲得2個(gè)噴嘴52，但是并不限定于必須相同。此外，在第l面板El的其他膜形成區(qū)域103g'、103b'，也同樣將所期望的液狀體排出為液滴D1。 如上所述，在第1實(shí)施例的排出工序中，以在相對(duì)于膜形成區(qū)域103r'、103g'、
103b'面積小的膜形成區(qū)域103r、103g、103b上，獲得更多的噴嘴52的方式，確定頭單元9
與母基板B的位置，能夠在各個(gè)膜形成區(qū)域103r、103g、103b和膜形成區(qū)域103r'、103g'、
103b'，排出液滴Dl。 以下，描述第1實(shí)施例的效果。 (1)如果采用本實(shí)施例的液狀體的排出方法，則能夠?qū)娮炝?2a的配置方向，設(shè)定為與作為面積大的第l被排出區(qū)域的膜形成區(qū)域103r'、103g'、103b'的短邊方向以及作為面積小的第2被排出區(qū)域的膜形成區(qū)域103r、103g、103b的長(zhǎng)邊方向相同的方向。也就是說(shuō)，能夠在面積大的膜形成區(qū)域103r'、103g'、103b'其短邊方向上，在面積小的膜形成區(qū)域103r、103g、103b其長(zhǎng)邊方向上，配置噴嘴52。因此，即使面積不同的第1被排出區(qū)域及第2被排出區(qū)域混合存在于同一基板內(nèi)，也能夠較多地配置能夠在各個(gè)被排出區(qū)域內(nèi)排出液狀體的噴嘴的數(shù)量。因而，能夠減少使液狀體被排出在被排出區(qū)域內(nèi)的偏倚的位置、發(fā)生液狀體的排出量的偏倚的情況。其結(jié)果，能夠使在被排出區(qū)域內(nèi)形成的薄膜的厚度的不均勻減輕。
(2)如果采用本實(shí)施例的液狀體的排出方法，則能夠使在排列方向相互正交的、面積不同的膜形成區(qū)域103r'、103g'、103b'及膜形成區(qū)域103r、 103g、 103b內(nèi)形成的著色層103的厚度的不均勻減輕。也就是說(shuō)，能夠以高的生產(chǎn)率制造著色層103的排列方向不同、大小不同的至少2種濾色器100。
(第2實(shí)施例) 在此，關(guān)于第2實(shí)施例的濾色器的制造方法，參照?qǐng)D10及圖ll進(jìn)行說(shuō)明。圖10是示出第2實(shí)施例的液狀體的排出工序中的頭單元與母基板的相對(duì)配置的概要俯視圖，圖
1111是示出第2實(shí)施例的液狀體的排出工序中的液滴的配置的概要俯視圖。此外，圖10及圖 11中所示的X方向、Y方向，表示與圖1中所示的X方向、Y方向相同的方向。此外，關(guān)于與 第1實(shí)施例相同的結(jié)構(gòu)及內(nèi)容，使符號(hào)相同并省略說(shuō)明。 第2實(shí)施例中的母基板，與第1實(shí)施例的母基板B同樣，具有7個(gè)第2面板E2和 4個(gè)第1面板El。因而，在第2面板E2上，作為第2被排出區(qū)域的矩形形狀的膜形成區(qū)域 103r、 103g、 103b矩陣狀地排列多個(gè)，在第1面板El上，作為第1被排出區(qū)域的矩形形狀的 膜形成區(qū)域103r'、103g'、103b'矩陣狀地排列多個(gè)。 在液狀體的排出工序中，使用圖1中所示的液狀體排出裝置10，以母基板B的長(zhǎng) 邊，相對(duì)于頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)30中配置在副掃描方向(Y方向)上的多個(gè)頭單元9，成為大致平行 的方式，將母基板B定位在臺(tái)架5上。但是，在第2實(shí)施例中，如圖IO所示，使用頭單元旋 轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)70，使頭單元9以點(diǎn)1為中心相對(duì)于Y方向旋轉(zhuǎn)a度。其結(jié)果，使排列在液滴排出 頭50上的噴嘴列52a也旋轉(zhuǎn)a度地配置。 也就是說(shuō)，如圖11 (a)所示，由多個(gè)噴嘴52構(gòu)成的噴嘴列52a，從矩形形狀的膜形 成區(qū)域103r、103g、103b的長(zhǎng)邊方向具有a度的角度地配置。然后，在使臺(tái)架5在主掃描 方向(X方向)上移動(dòng)的期間，從搭載在頭單元9上的液滴排出頭50，向母基板B排出液狀 體。在此情況下，噴嘴列52a，由于相對(duì)于Y方向具有a度的角度，所以其對(duì)于膜形成區(qū)域 103r的實(shí)質(zhì)的液滴的配置間隔Pl (PXCos a )，比噴嘴列52a的噴嘴間距P變窄。
因此，在主掃描中(X方向上)，在被排出紅色的液狀體的膜形成區(qū)域103r上，獲得 5個(gè)噴嘴52，并從各個(gè)噴嘴52排出液滴Dl 。由此，在膜形成區(qū)域103r上，分別涂敷5滴的 液滴Dl。在主掃描方向上，通過(guò)控制排出定時(shí)，能夠?qū)τ谀ば纬蓞^(qū)域103r的任意一個(gè)，使液 滴D1著落在任意的位置。也就是說(shuō)，能夠在膜形成區(qū)域103r的X方向的任意的位置，l列 地配置液滴。此外，在第2面板E2的其他膜形成區(qū)域103g、103b，也同樣各排出5滴所期望 的液狀體作為液滴D1。 如圖ll(b)所示，同樣，噴嘴列52a，由于相對(duì)于Y方向具有a度的角度，所以其對(duì) 于膜形成區(qū)域103r'的實(shí)質(zhì)的液滴的配置間隔Pl (PXCos a )，比噴嘴列52a的噴嘴間距P 變窄，膜形成區(qū)域103r'相對(duì)于膜形成區(qū)域103r面積大且排列方向正交。因而，在膜形成 區(qū)域103r'上，獲得3個(gè)噴嘴52。然后，從各個(gè)噴嘴52排出液滴Dl 。由此，在各膜形成區(qū) 域103r'的副掃描方向上，涂敷3滴的液滴D1。在主掃描方向上，通過(guò)控制排出定時(shí)，能夠 對(duì)于膜形成區(qū)域103r'的任意一個(gè)，使液滴Dl著落在任意的位置。此外，在第1面板E1的 其他膜形成區(qū)域103g' 、 103b'，也同樣將所期望的液狀體排出為液滴Dl。
以下，描述第2實(shí)施例的效果。 (1)如果采用本實(shí)施例的液狀體的排出方法，則通過(guò)以相對(duì)于作為第1被排出區(qū) 域的膜形成區(qū)域103r'、103g'、103b'的短邊方向具有角度a的方式配置噴嘴列52a，能夠 使配置在膜形成區(qū)域103r'、103g'、103b'的短邊方向上的液滴的配置間隔Pl比噴嘴間距 P實(shí)質(zhì)上變窄。也就是說(shuō)，能夠?qū)τ谀ば纬蓞^(qū)域103r' 、 103g' 、 103b'，從更多的噴嘴52排出 液狀體。因此，能夠減少使液狀體被排出在被排出區(qū)域內(nèi)的偏倚的位置、發(fā)生液狀體的排出 量的偏倚的情況。其結(jié)果，能夠使在被排出區(qū)域內(nèi)形成的薄膜的厚度的不均勻減輕。
(2)如果采用本實(shí)施例的液狀體的排出方法，則能夠?qū)τ诒慌懦鰠^(qū)域，使更多的噴 嘴52與之相對(duì)并排出液狀體。因此，即使存在噴嘴52的排出特性的偏差，也能夠通過(guò)使用更多的噴嘴52，使排出特性的偏差分散。其結(jié)果，能夠使在被排出區(qū)域內(nèi)形成的薄膜的厚度 的不均勻減輕。 (3)如果采用本實(shí)施例的液狀體的排出方法，則通過(guò)調(diào)整頭單元9的旋轉(zhuǎn)角度a ， 能夠與噴嘴間距P無(wú)關(guān)地任意地設(shè)定著落在被排出區(qū)域的液滴的配置間隔Pl。因此，能夠 與被排出區(qū)域的副掃描方向的尺寸無(wú)關(guān)地，從較多的噴嘴52將液狀體排出為液滴。因此， 能夠減少使液狀體被排出在被排出區(qū)域內(nèi)的偏倚的位置、發(fā)生液狀體的排出量的偏倚的情 況。此外，即使存在噴嘴52的排出特性的偏差，也能夠通過(guò)使用多個(gè)噴嘴52，使排出特性的 偏差分散。其結(jié)果，能夠使在被排出區(qū)域內(nèi)形成的薄膜的厚度的不均勻減輕。
(4)此外，由于能夠任意地設(shè)定著落在被排出區(qū)域的液滴的配置間隔P1，所以能 夠?qū)τ诒慌懦鰠^(qū)域，高密度、高精細(xì)地排出液狀體。因此，能夠形成高密度、高精細(xì)的薄膜， 能夠有助于顯示裝置的高畫(huà)質(zhì)化。 (5)如果采用本實(shí)施例的液狀體的排出方法，則能夠使在排列方向相互正交且面 積不同的膜形成區(qū)域103r'、103g'、103b'以及膜形成區(qū)域103r、 103g、 103b內(nèi)形成的著色 層103的厚度的不均勻減輕。也就是說(shuō)，能夠以高的生產(chǎn)率制造著色層103的排列方向不 同、大小不同的至少2種濾色器100。
(第3實(shí)施例) 在此，關(guān)于第3實(shí)施例的濾色器的制造方法，參照?qǐng)D12進(jìn)行說(shuō)明。圖12是示出第 3實(shí)施例的液狀體的排出工序中的液滴的配置的概要俯視圖。并且，圖12中所示的X方向、 Y方向，表示與圖1中所示的X方向、Y方向相同的方向。此外，關(guān)于與第1以及第2實(shí)施例 相同的結(jié)構(gòu)及內(nèi)容，使符號(hào)相同并省略說(shuō)明。 第3實(shí)施例中的母基板，與第1以及第2實(shí)施例的母基板B同樣，具有7個(gè)第2面 板E2和4個(gè)第1面板El 。因而，在第2面板E2上，作為第2被排出區(qū)域的矩形形狀的膜形 成區(qū)域103r、103g、103b矩陣狀地排列多個(gè)，在第1面板E1上，作為第1被排出區(qū)域的矩形 形狀的膜形成區(qū)域103r'、103g'、103b'矩陣狀地排列多個(gè)。 在液狀體的排出工序中，使用圖1中所示的液狀體排出裝置10，以母基板B的長(zhǎng) 邊，相對(duì)于頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)30中配置在副掃描方向(Y方向)上的多個(gè)頭單元9，成為大致平行 的方式，將母基板B定位在臺(tái)架5上。然后，使臺(tái)架5在主掃描方向(X方向)上移動(dòng)，并從 搭載在頭單元9上的液滴排出頭50向母基板B排出液狀體。 此時(shí)，搭載在頭單元9上的液滴排出頭50的噴嘴列52a，既可以相對(duì)于副掃描方向 具有角度a ，也可以配置在與副掃描方向相同的方向上。在本實(shí)施例中，以噴嘴列52a配 置在與副掃描方向相同的方向上的情況為例進(jìn)行說(shuō)明。此外，在本實(shí)施例中，為了說(shuō)明的簡(jiǎn) 便，以在作為第1被排出區(qū)域的膜形成區(qū)域103r'、103g'、103b'上排出液狀體的情況為例 進(jìn)行說(shuō)明。 在此情況下，如圖12(a)所示，由多個(gè)噴嘴52i(i是從l至i的自然數(shù))構(gòu)成的噴 嘴列52a，沿著膜形成區(qū)域103r'、103g'、103b'的短邊方向配置。在本實(shí)施例中，由于膜形 成區(qū)域103r'、103g'、103b'的短邊方向的寬度形成得較小，所以若例如從2個(gè)噴嘴52^5^ 同時(shí)在膜形成區(qū)域103r'上排出紅色的液狀體，則有可能會(huì)在相鄰的膜形成區(qū)域103g'上 混入紅色的液狀體。因此，對(duì)于被排出紅色的液狀體的膜形成區(qū)域103r'，需要僅使用1個(gè) 噴嘴52"此外，同樣，對(duì)于馬賽克狀地配設(shè)的其他膜形成區(qū)域103r'，使用1個(gè)噴嘴526。
若進(jìn)行邊利用圖1中所示的臺(tái)架5使母基板B在圖12中X(+)方向上移動(dòng)，邊從 噴嘴52p52e排出液滴Dl的第1次排出工作，則如圖12(a)所示，在膜形成區(qū)域103r'的圖 中左側(cè)，液滴D1配置為列狀。此外，通過(guò)控制排出定時(shí)，X方向的配置間隔能夠調(diào)整為任意 的間隔。 接著，利用圖1中所示的頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)30，使頭單元9在圖12中Y(-)方向上微量 移動(dòng)。通過(guò)調(diào)整移動(dòng)距離，如圖12(b)所示，噴嘴522及噴嘴527與被排出紅色的液狀體的 膜形成區(qū)域103r'相對(duì)。然后，若進(jìn)行邊使母基板B在圖12中X(-)方向上移動(dòng)，邊從噴嘴 522、527排出液滴D2的第2次排出工作，則在膜形成區(qū)域103r'的圖中右側(cè)，液滴D2配置 為列狀。 這樣，通過(guò)在母基板B的X方向(主掃描方向)的移動(dòng)以及從噴嘴52i的液狀體的 排出期間進(jìn)行頭單元9的Y方向(副掃描方向)的微量移動(dòng)，能夠在膜形成區(qū)域103r'的 Y方向的不同位置，從不同的噴嘴52i將液狀體配置為液滴D。 此外，在期望液狀體的排出量的調(diào)整或者更高密度的液滴的配置的情況下，如圖 12 (c)所示，在第2次排出工作之后，利用圖1中所示的頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)30使頭單元9在圖12中 Y(-)方向上進(jìn)一步微量移動(dòng)，使噴嘴522以及噴嘴527與由液滴01以及液滴D2構(gòu)成的液滴 列的中間相對(duì)，并進(jìn)行第3次排出工作，該第3次排出工作邊使母基板B在圖12中X(+)方 向上移動(dòng)，邊從噴嘴522、527排出液滴03。由此，在膜形成區(qū)域103r'上，形成由液滴D1 D3構(gòu)成的3列液滴列。
以下，描述第3實(shí)施例的效果。 (1)如果采用本實(shí)施例的液狀體的排出方法，則通過(guò)在母基板B的X方向(主掃描 方向)的移動(dòng)以及從噴嘴52i的液狀體的排出期間進(jìn)行頭單元9的Y方向(副掃描方向) 的微量移動(dòng)，能夠在膜形成區(qū)域103的Y方向的不同位置，從不同的噴嘴52i將液狀體配置 為液滴D。因此，能夠?qū)嵸|(zhì)上增多能夠配置在膜形成區(qū)域103的液滴D。因此，能夠減少使 液狀體被排出在膜形成區(qū)域103內(nèi)的偏倚的位置、發(fā)生液狀體的排出量的偏倚的情況。其 結(jié)果，能夠使在被排出區(qū)域內(nèi)形成的薄膜的厚度的不均勻減輕。 (2)如果采用本實(shí)施例的液狀體的排出方法，則能夠?qū)τ谀ば纬蓞^(qū)域103使更多 的噴嘴52i與之相對(duì)并排出液狀體。因此，即使存在噴嘴52的排出特性的偏差，也能夠通 過(guò)使用更多的噴嘴52i，使排出特性的偏差分散。其結(jié)果，能夠使在膜形成區(qū)域103內(nèi)形成 的薄膜的厚度的不均勻減輕。 (3)如果采用本實(shí)施例的液狀體的排出方法，則通過(guò)調(diào)整利用頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)30所實(shí) 現(xiàn)的頭單元9的移動(dòng)量，能夠與噴嘴間距P無(wú)關(guān)地任意地設(shè)定著落在被排出區(qū)域的液滴的 配置間隔。因此，能夠與被排出區(qū)域的副掃描方向的尺寸無(wú)關(guān)地，從較多的噴嘴52將液狀 體排出為液滴。因此，能夠減少使液狀體被排出在被排出區(qū)域內(nèi)的偏倚的位置、發(fā)生液狀體 的排出量的偏倚的情況。此外，即使存在噴嘴52的排出特性的偏差，也能夠通過(guò)使用多個(gè) 噴嘴52，使排出特性的偏差分散。其結(jié)果，能夠使在被排出區(qū)域內(nèi)形成的薄膜的厚度的不均 勻減輕。 (4)此外，由于能夠任意地設(shè)定著落在被排出區(qū)域的液滴的配置間隔，所以能夠?qū)?于被排出區(qū)域，高密度、高精細(xì)地排出液狀體。因此，能夠形成高密度、高精細(xì)的薄膜，能夠 有助于顯示裝置的高畫(huà)質(zhì)化。
(5)如果采用本實(shí)施例的液狀體的排出方法，則能夠使在排列方向相互正交且面積不同的膜形成區(qū)域103r'、103g'、103b'以及膜形成區(qū)域103r、 103g、 103b內(nèi)形成的著色層103的厚度的不均勻減輕。也就是說(shuō)，能夠以高的生產(chǎn)率制造著色層103的排列方向不同、大小不同的至少2種濾色器100。
(第4實(shí)施例) 接著，關(guān)于使用了前述的液狀體的配置方法的有機(jī)EL裝置的制造方法，進(jìn)行說(shuō)明。(有機(jī)EL裝置) 圖13是示出有機(jī)EL裝置的主要部分結(jié)構(gòu)的概要剖面圖。如圖13所示，本實(shí)施方式的作為電光裝置的有機(jī)EL裝置600，具備元件基板601、密封基板620，元件基板601具有作為有機(jī)EL元件的發(fā)光元件部603，密封基板620將元件基板601與空間622隔開(kāi)并進(jìn)行密封固定。此外，元件基板601，在元件基板601上具備電路元件部602，發(fā)光元件部603重疊形成在電路元件部602上并由電路元件部602進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。在發(fā)光元件部603上，3色的發(fā)光層617R、617G、617B形成在作為各個(gè)色要素區(qū)域的被排出區(qū)域Q，成為條紋狀。元件基板601，其與3色的發(fā)光層617R、617G、617B對(duì)應(yīng)的3個(gè)被排出區(qū)域Q作為1組像素，該像素在元件基板601的電路元件部602上矩陣狀地配置。本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置600，使從發(fā)光元件部603發(fā)出的光出射至元件基板601側(cè)。 密封基板620，由玻璃或金屬構(gòu)成，經(jīng)由密封樹(shù)脂接合在元件基板601上，并且在其被密封的內(nèi)側(cè)的表面上，粘貼有吸氣劑621。吸氣劑621，吸收侵入到元件基板601與密封基板620之間的空間622中的水或氧氣，防止發(fā)光元件部603因所侵入的水或氧氣而劣化。此外，該吸氣劑621也可以省略。 本實(shí)施方式的元件基板601 ，在電路元件部602上具有多個(gè)被排出區(qū)域Q，并具備作為區(qū)劃多個(gè)被排出區(qū)域Q的間隔壁部的堤欄618、形成在多個(gè)被排出區(qū)域Q的電極613、疊層在電極613上的正孔注入/輸送層617a。此外，具備作為色要素的發(fā)光元件部603，該作為色要素的發(fā)光元件部603具有在多個(gè)被排出區(qū)域Q內(nèi)提供包含發(fā)光層形成材料的3種液狀體而形成的發(fā)光層617R、617G、617B。堤欄618包括下層堤欄618a和實(shí)質(zhì)上區(qū)劃被排出區(qū)域Q的上層堤欄618b，下層堤欄618a以伸出至被排出區(qū)域Q的內(nèi)側(cè)的方式設(shè)置，并且為了防止電極613與各發(fā)光層617R、617G、617B直接接觸從而電短路，下層堤欄618a由Si(^等無(wú)機(jī)絕緣材料形成。 元件基板601由例如玻璃等透明的基板構(gòu)成，在元件基板601上形成有由氧化硅膜構(gòu)成的基底保護(hù)膜606，在該基底保護(hù)膜606上形成有由多晶硅構(gòu)成的島狀的半導(dǎo)體膜607。此外，在半導(dǎo)體膜607中，源區(qū)域607a及漏區(qū)域607b通過(guò)高濃度P離子注入而形成。此外，未被導(dǎo)入P的部分成為溝道區(qū)域607c。進(jìn)而，形成有覆蓋基底保護(hù)膜606及半導(dǎo)體膜607的透明的柵絕緣膜608，在柵絕緣膜608上，形成有由Al、Mo、Ta、Ti、W等構(gòu)成的柵電極609，在柵電極609及柵絕緣膜608上，形成有透明的第1層間絕緣膜611a和第2層間絕緣膜611b。柵電極609設(shè)置在與半導(dǎo)體膜607的溝道區(qū)域607c對(duì)應(yīng)的位置處。此外，貫通第1層間絕緣膜611a以及第2層間絕緣膜611b，形成有分別與半導(dǎo)體膜607的源區(qū)域607a、漏區(qū)域607b連接的接觸孔612a、612b。并且，在第2層間絕緣膜611b上，由ITO(IndiumTin Oxide，氧化銦錫)等構(gòu)成的透明的電極613被圖案形成并配置為預(yù)定的形狀(電極形成工序)，并且一個(gè)接觸孔612a連接至該電極613。此外，另一個(gè)接觸孔612b連接至電源線614。這樣，在電路元件部602上，形成有連接至各電極613的驅(qū)動(dòng)用的薄膜晶體管615。此外，在電路元件部602上，雖然也形成有保持電容和開(kāi)關(guān)用的薄膜晶體管，但是在圖13中省略了它們的圖示。 發(fā)光元件部603，具備作為陽(yáng)極的電極613以及順次疊層在電極613上的正孔注入/輸送層617a、各發(fā)光層617R、617G、617B(總稱(chēng)發(fā)光層617)以及以覆蓋上層堤欄618b和發(fā)光層617b的形式疊層而成的陰極604。此外，如果陰極604、密封基板620以及吸氣劑621由透明的材料構(gòu)成，則能夠從密封基板620側(cè)使發(fā)出的光出射。 有機(jī)EL裝置600，具有與柵電極609連接的掃描線(圖示省略)和與源區(qū)域607a連接的信號(hào)線(圖示省略)，若利用傳送至掃描線的掃描信號(hào)將開(kāi)關(guān)用的薄膜晶體管(圖示省略)導(dǎo)通，則此時(shí)的信號(hào)線的電位被保持電容所保持，并且與該保持電容的狀態(tài)相應(yīng)地，確定驅(qū)動(dòng)用的薄膜晶體管615的導(dǎo)通、截止?fàn)顟B(tài)。并且，經(jīng)由驅(qū)動(dòng)用的薄膜晶體管615的溝道區(qū)域607c，從電源線614向電極613流過(guò)電流，進(jìn)而經(jīng)由正孔注入/輸送層617a和發(fā)光層617b向陰極604流過(guò)電流。發(fā)光層617b，與流過(guò)其的電流量相應(yīng)地發(fā)光。有機(jī)EL裝置600，利用這樣的發(fā)光元件部603的發(fā)光機(jī)構(gòu)，能夠顯示所期望的文字、圖像等。
(有機(jī)EL裝置的制造方法) 接著，關(guān)于本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置的制造方法，根據(jù)圖14以及圖15進(jìn)行說(shuō)明。圖14是示出有機(jī)EL裝置的制造方法的流程圖，圖15是示出有機(jī)EL裝置的制造方法的概要剖面圖。此外，在圖15(a) (f)中，形成在元件基板601上的電路元件部602，省略了圖示。 如圖14所示，有機(jī)EL裝置的制造方法，包括在元件基板601的與多個(gè)被排出區(qū)域Q對(duì)應(yīng)的位置形成電極613的工序，在電極613上以一部分上搭的方式形成下層堤欄618a、進(jìn)而在下層堤欄618a上以實(shí)質(zhì)上區(qū)劃被排出區(qū)域Q的方式形成上層堤欄618b的堤欄(間隔壁部)形成工序。此外，還包括進(jìn)行由上層堤欄618b所區(qū)劃的被排出區(qū)域Q的表面處理的工序、在表面處理后的被排出區(qū)域Q提供包含正孔注入/輸送層形成材料的液狀體從而排出描繪正孔注入/輸送層617a的工序、使所排出的液狀體干燥從而使正孔注入/輸送層617a成膜的工序。此外，還包括對(duì)形成了正孔注入/輸送層617a的被排出區(qū)域Q進(jìn)行表面處理的工序、作為色要素描繪工序的發(fā)光層描繪工序、使所排出的3種液狀體干燥從而使發(fā)光層617b成膜的工序，其中作為色要素描繪工序的發(fā)光層描繪工序在表面處理后的被排出區(qū)域Q提供包含作為色要素形成材料的發(fā)光層形成材料的3種液狀體從而排出描繪發(fā)光層617b。進(jìn)而，還包括以覆蓋上層堤欄618b和發(fā)光層617b的方式形成陰極604的工序。各液狀體對(duì)于被排出區(qū)域Q的提供，使用液狀體排出裝置IO來(lái)進(jìn)行。
圖14的步驟S11，是電極(陽(yáng)極)形成工序。在步驟S11，如圖15(a)所示，在已經(jīng)形成了電路元件部602的元件基板601的、與被排出區(qū)域Q對(duì)應(yīng)的位置，形成電極613。作為形成方法，例如舉出如下方法在元件基板601的表面，使用ITO等透明電極材料，在真空中用噴鍍法或蒸鍍法形成透明電極膜，其后，用光刻法僅使所需的部分殘留來(lái)進(jìn)行蝕刻，從而形成電極613。此外，也可以是以下的方法用光致抗蝕劑預(yù)先覆蓋元件基板601，并以使形成電極613的區(qū)域開(kāi)口的方式進(jìn)行曝光、顯影，然后，在開(kāi)口部中形成ITO等透明電極膜，并且除去殘存的光致抗蝕劑。然后，前進(jìn)至步驟S12。
圖14的步驟S12，是堤欄(間隔壁部)形成工序。在步驟S12，如圖15(b)所示，以覆蓋元件基板601的多個(gè)電極613的一部分的方式，形成下層堤欄618a。作為下層堤欄618a的材料，使用作為無(wú)機(jī)材料的絕緣性的Si02 (氧化硅)。作為下層堤欄618a的形成方法，例如舉出如下方法與后面形成的發(fā)光層617b對(duì)應(yīng)地，使用抗蝕劑等對(duì)各電極613的表面進(jìn)行掩蔽，然后，將掩蔽后的元件基板601投入到真空裝置中，通過(guò)以Si(^作為靶子或者原料進(jìn)行噴鍍、真空蒸鍍等，而形成下層堤欄618a?？刮g劑等的掩蔽，在之后剝離。此外，下層堤欄618a，由于利用Si02形成，所以如果其膜厚度小于等于200nm，則將具有充分的透明性，從而即使在后面疊層正孔注入/輸送層617a以及發(fā)光層617b，也不會(huì)妨礙發(fā)光。
接著，以實(shí)質(zhì)上區(qū)劃各被排出區(qū)域Q的方式，在下層堤欄618a上形成上層堤欄618b。作為上層堤欄618b的材料，期望對(duì)于后述的包含發(fā)光層形成材料的3種液狀體84R、84G、84B的溶劑具有耐久性，進(jìn)而，優(yōu)選通過(guò)以氟類(lèi)氣體為處理氣體的等離子體處理能夠四氟乙烯化，例如丙烯酸樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂、感光性聚酰亞胺等這樣的有機(jī)材料。作為上層堤欄618b的形成方法，例如舉出如下方法在形成了下層堤欄618a的元件基板601的表面，用輥涂法、旋涂法等涂敷感光性的前述有機(jī)材料，使之干燥從而形成厚度大體為2 ii m的感光性樹(shù)脂層，然后，通過(guò)使掩模在預(yù)定的位置與元件基板601相對(duì)并進(jìn)行曝光、顯影，來(lái)形成上層堤欄618b，其中該掩模以與被排出區(qū)域Q對(duì)應(yīng)的大小設(shè)置了開(kāi)口部。由此，形成作為具有下層堤欄618a和上層堤欄618b的間隔壁部的堤欄618。然后，前進(jìn)至步驟S13。
圖14的步驟S13，是對(duì)被排出區(qū)域Q進(jìn)行表面處理的工序。在步驟S13，對(duì)形成了堤欄618的元件基板601的表面，首先以02氣為處理氣體，進(jìn)行等離子體處理。由此，使電極613的表面、下層堤欄618a的伸出部以及上層堤欄618b的表面(包含壁面)活性化從而進(jìn)行親液處理。接著，以CF4等氟類(lèi)氣體為處理氣體進(jìn)行等離子體處理。由此，僅對(duì)由作為有機(jī)材料的感光性樹(shù)脂構(gòu)成的上層堤欄618b的表面，氟類(lèi)氣體發(fā)生反應(yīng)從而進(jìn)行抗液處理。然后，前進(jìn)至步驟S14。 圖14的步驟S14，是正孔注入/輸送層形成工序。在步驟S14，如圖15 (c)所示，將包含正孔注入/輸送層形成材料的液狀體82提供在被排出區(qū)域Q。作為提供液狀體82的方法，使用前述的液狀體排出裝置10。從液滴排出頭50排出的液狀體82，作為液滴著落在元件基板601的電極613上并濡濕擴(kuò)散。液狀體82，與被排出區(qū)域Q的面積對(duì)應(yīng)地作為液滴被排出所需量，并且因表面張力而成為隆起的狀態(tài)。由于利用液狀體排出裝置10，排出并描繪1種液狀體82，所以可利用至少1次主掃描實(shí)現(xiàn)排出描繪。然后，前進(jìn)至步驟S15。
圖14的步驟S15，是干燥、成膜工序。在步驟S15，通過(guò)用例如燈退火等方法對(duì)元件基板601進(jìn)行加熱，使液狀體82的溶劑成分干燥并除去，在電極613的由下層堤欄618a所區(qū)劃的區(qū)域形成正孔注入/輸送層617a。在本實(shí)施方式中，作為正孔注入/輸送層形成材料，使用PEDOT(Polyethylene Dioxy Thiophene，聚乙烯二氧噻吩)。此外，在此情況下，雖然在各被排出區(qū)域Q形成了由相同材料構(gòu)成的正孔注入/輸送層617a，但是也可以與后面的發(fā)光層的形成材料對(duì)應(yīng)地對(duì)于每一被排出區(qū)域Q改變正孔注入/輸送層617a的材料。然后，前進(jìn)至步驟S16。 圖14的步驟S16，是對(duì)形成了正孔注入/輸送層617a的元件基板601進(jìn)行表面處理的工序。在步驟S16，在使用上述的正孔注入/輸送層形成材料而形成了正孔注入/輸送層617a的情況下，由于其表面對(duì)于在下面的步驟S17中使用的3種液狀體84R、84G、84B具有抗液性，所以至少對(duì)被排出區(qū)域Q的區(qū)域內(nèi)進(jìn)行表面處理，以便再次具有親液性。作為表面處理的方法，涂敷在3種液狀體84R、84G、84B中使用的溶劑并使之干燥。作為溶劑的涂敷方法，舉出噴濺法、旋涂法等方法。然后，前進(jìn)至步驟S17。 圖14的步驟S17，是RGB發(fā)光層描繪工序。在步驟S17，如圖15 (d)所示，應(yīng)用前述的液狀體的配置方法，從液狀體排出裝置10的不同液滴排出頭50，在多個(gè)被排出區(qū)域Q提供包含發(fā)光層形成材料的3種液狀體84R、84G、84B。液狀體84R包含形成發(fā)光層617R(紅色)的材料，液狀體84G包含形成發(fā)光層617G(綠色)的材料，液狀體84B包含形成發(fā)光層617B(藍(lán)色)的材料。所著落的各液狀體84R、84G、84B，在被排出區(qū)域Q濡濕擴(kuò)散，其剖面形狀隆起為圓弧狀。然后，前進(jìn)至步驟S18。 圖14的步驟S18，是干燥、成膜工序。在步驟S18，如圖15(e)所示，使所排出描繪的各液狀體84R、84G、84B的溶劑成分干燥并除去，以在各被排出區(qū)域Q的正孔注入/輸送層617a上疊層各發(fā)光層617R、617G、617B的方式進(jìn)行成膜化。作為被排出描繪了各液狀體84R、84G、84B的元件基板601的干燥方法，優(yōu)選可將溶劑的蒸發(fā)速度設(shè)定為大致固定的減壓干燥。然后，前進(jìn)至步驟S19。 圖14的步驟S19，是陰極形成工序。在步驟S19，如圖15(f)所示，以覆蓋元件基板601的各發(fā)光層617R、617G、617B和上層堤欄618b的表面的方式，形成陰極604。作為陰極604的材料，優(yōu)選將Ca、Ba、Al等金屬、LiF等氟化物組合來(lái)使用。特別地，優(yōu)選在與發(fā)光層近的一側(cè)形成功率函數(shù)小的Ca、Ba、LiF膜，在遠(yuǎn)的一側(cè)形成功率函數(shù)大的Al等膜。此外，也可以在陰極604上疊層Si(^、SiN等保護(hù)層。如果這樣，則能夠防止陰極604的氧化。作為陰極604的形成方法，舉出蒸鍍法、噴鍍法、CVD法等。特別地，在能夠防止因發(fā)光層的熱而引起的損傷這一點(diǎn)上，優(yōu)選蒸鍍法。使用這樣形成的元件基板601制造有機(jī)EL裝置600。
以下，描述第4實(shí)施方式的效果。 (1)如果采用本有機(jī)EL裝置600的制造方法，則在發(fā)光層描繪工序中，能夠在面積不同并且排列方向相互正交的元件基板601的2種被排出區(qū)域Q，使用前述的液狀體的排出方法排出3種液狀體84R、84G、84B，從而形成作為3種色要素的發(fā)光層617R、617G、617B。并且，能夠使在2種被排出區(qū)域Q內(nèi)形成的發(fā)光層617R、617G、617B的厚度的不均勻減輕，并且以高的生產(chǎn)率制造作為有機(jī)EL元件的發(fā)光元件部603的排列方向不同的至少2種有機(jī)EL裝置600。 以上，雖然關(guān)于本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但是對(duì)于上述實(shí)施方式，能夠在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)加以各種變形。例如，上述實(shí)施方式以外的變形例，如以下所述。(變形例l) 在上述實(shí)施方式中說(shuō)明的母基板B中的第1面板E1以及第2面板E2的布局，僅是一實(shí)施例，而并不限定于此。第1面板El以及第2面板E2，在母基板B中，只要具有某一規(guī)則性地進(jìn)行配置即可。此外，在本實(shí)施方式中說(shuō)明的第l被排出區(qū)域以及第2被排出區(qū)域的布局，雖然是關(guān)于所謂的條紋方式的情況進(jìn)行說(shuō)明的，但是并不限定于此。也可以是所謂的馬賽克方式或三角形(亍"^夕)方式的布局。
(變形例2) 在上述實(shí)施方式中，雖然是以第l被排出區(qū)域以及第2被排出區(qū)域的面積不同的情況為例進(jìn)行說(shuō)明的，但是并不限定于此。例如，在第1被排出區(qū)域以及第2被排出區(qū)域是相同面積而排列方向不同的情況下，也能夠?qū)Χ踢叿较蜓刂鴩娮炝?2a的被排出區(qū)域，應(yīng)用在上面說(shuō)明的液狀體的排出方法，從而更多地設(shè)定在被排出區(qū)域的短邊方向上獲得的噴嘴52的數(shù)量。因此，能夠減少使液狀體被排出在被排出區(qū)域內(nèi)的偏倚的位置、發(fā)生液狀體的排出量的偏倚的情況。
權(quán)利要求
一種液狀體的排出方法，其特征在于，包括排出工序，其邊使具有多個(gè)噴嘴配設(shè)為列狀而成的噴嘴列的多個(gè)液滴排出頭與具備多個(gè)大致矩形形狀的被排出區(qū)域的基板在與前述液滴排出頭的配置方向大致正交的主掃描方向上相對(duì)移動(dòng)，邊從前述噴嘴向前述被排出區(qū)域排出前述液狀體，前述多個(gè)噴嘴將液狀體排出為液滴；其中，前述被排出區(qū)域，包括第1被排出區(qū)域和第2被排出區(qū)域；前述第1被排出區(qū)域，以其長(zhǎng)邊方向沿著一定方向的方式配設(shè)在前述基板上，前述第2被排出區(qū)域，其面積比前述第1被排出區(qū)域小，且其以前述第2被排出區(qū)域的長(zhǎng)邊方向與前述第1被排出區(qū)域的長(zhǎng)邊方向大致正交的方式配設(shè)；并且在前述排出工序中，將前述第1被排出區(qū)域的長(zhǎng)邊方向配置為沿著前述主掃描方向。
2. 按照權(quán)利要求1所述的液狀體的排出方法，其特征在于在前述排出工序中，至少大于等于2個(gè)的前述噴嘴與前述第1被排出區(qū)域的短邊方向 的區(qū)域內(nèi)相對(duì)。
3. 按照權(quán)利要求1或2所述的液狀體的排出方法，其特征在于從前述噴嘴排出且配置在前述第1被排出區(qū)域中的前述液滴的、前述第1被排出區(qū)域 的短邊方向的配置間隔，可通過(guò)將前述噴嘴列配置為相對(duì)于前述短邊方向具有角度而進(jìn)行 調(diào)整。
4. 按照權(quán)利要求1 3中的任意一項(xiàng)所述的液狀體的排出方法，其特征在于 前述排出工序，在前述液滴排出頭與前述基板的前述主掃描方向的多次相對(duì)移動(dòng)期間，使前述液滴排出頭與前述基板在與前述主掃描方向大致正交的副掃描方向上相對(duì)移 動(dòng)。
5. —種濾色器的制造方法，其在基板上的多個(gè)被排出區(qū)域形成多色的著色層，其特征在于多個(gè)前述被排出區(qū)域，包括配設(shè)方向相互正交的第1被排出區(qū)域和第2被排出區(qū)域； 該方法包括排出工序，其使用權(quán)利要求1 4中的任意一項(xiàng)所述的液狀體的排出方法，將包含著色 層形成材料的多色的液狀體排出在多個(gè)前述被排出區(qū)域；以及成膜工序，其使被排出的前述液狀體固化而形成前述多色的著色層。
6. —種有機(jī)EL裝置的制造方法，該有機(jī)EL裝置具備多個(gè)有機(jī)EL元件，該多個(gè)有機(jī)EL 元件在基板上的多個(gè)被排出區(qū)域具有包含發(fā)光層的功能層，其特征在于多個(gè)前述被排出區(qū)域，包括配設(shè)方向相互正交的第1被排出區(qū)域和第2被排出區(qū)域； 該方法包括排出工序，其使用權(quán)利要求1 4中的任意一項(xiàng)所述的液狀體的排出方法，將包含發(fā)光 層形成材料的液狀體排出在多個(gè)前述被排出區(qū)域；以及成膜工序，其使被排出的前述液狀體固化而形成前述發(fā)光層。
全文摘要
本發(fā)明提供一種液狀體的排出方法、濾色器以及有機(jī)EL裝置的制造方法，其減少向多個(gè)被排出區(qū)域排出的液狀體的偏倚，使在區(qū)域內(nèi)配置的薄膜的厚度的不均勻減輕。該液狀體的排出方法包括排出工序，其邊使具有包括多個(gè)噴嘴52的噴嘴列52a的液滴排出頭50與具備多個(gè)大致矩形形狀的被排出區(qū)域103的基板B在與液滴排出頭50的配置方向大致正交的主掃描方向上相對(duì)移動(dòng)，邊從噴嘴52向被排出區(qū)域103排出液狀體；其中，被排出區(qū)域103，包括排列方向大致正交且面積不同的第1被排出區(qū)域103r’、103g’、103b’和第2被排出區(qū)域103r、103g、103b；在前述排出工序中，將面積大的第1被排出區(qū)域103r’、103g’、103b’的長(zhǎng)邊方向配置為沿著主掃描方向。
文檔編號(hào)B41J2/01GK101722724SQ200910204
公開(kāi)日2010年6月9日 申請(qǐng)日期2009年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月16日
發(fā)明者篠原亨 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社