專利名稱：絲網(wǎng)印版、層間絕緣膜、電路板、有源矩陣電路板和圖像顯示設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及絲網(wǎng)印版(screen plate)、層間絕緣膜、電路基板、有源矩陣電路基板 以及圖像顯示設(shè)備。
背景技術(shù)：
迄今為止，在印刷板和其上層疊有陶瓷印刷電路基板(green sheet)的陶瓷基板 上已經(jīng)廣泛采用多層布線。在多層布線中，需要用于將上層布線與下層布線通過(guò)接觸孔 (也稱為過(guò)孔)彼此連接的技術(shù)，其中上層布線與下層布線通過(guò)層間絕緣膜分開(kāi)。隨著高度 集成和高速度LSI的發(fā)展，也已經(jīng)需要印刷布線基板和陶瓷基板的高密度封裝。最近，用于 通過(guò)精細(xì)接觸孔將上層布線和下層布線彼此連接的技術(shù)已經(jīng)變得至關(guān)重要。存在兩種形成層間絕緣膜的方法。一種方法是層間絕緣膜通過(guò)濺射方法 (sputtering method)、真空蒸IS方法(vacuum evaporation method)等首先形成在整個(gè) 基板上。接著，絕緣膜被涂敷光阻材料，并且經(jīng)受預(yù)烘烤、曝光和顯影來(lái)形成抗蝕劑圖案 (resist pattern) 0然后，通過(guò)干蝕刻，如RIE，在絕緣膜中形成通孔。以這種方式，形成層 間絕緣膜。對(duì)于另外一種方法，基板首先涂敷有光阻材料，并經(jīng)受預(yù)烘烤、曝光和顯影，以形 成抗蝕劑圖案。接著，通過(guò)濺射方法、真空蒸鍍方法等形成絕緣膜，并且用有機(jī)溶劑浸泡。從 而，被構(gòu)圖的抗蝕劑上的絕緣膜被浮脫(lift off)，來(lái)與抗蝕劑一起被去除。以這種方式， 形成層間絕緣膜。兩種方法都需要昂貴的真空膜形成設(shè)備和大量的制造步驟，并且在作為 絕緣膜的材料的利用效率方面較差，這導(dǎo)致制造成本增加。另一方面，平板顯示器的后表面電路基板需要高分辨率(definition)、高速響應(yīng)、 和低成本。另外，需要以低成本制造有源矩陣驅(qū)動(dòng)電路。在平板顯示器中，形成以恒定間距 布置的單個(gè)通孔；在200dpi下它們具有圓形或者矩形形式，具有30 μ m到60 μ m的尺寸；而 在100dpi下具有圓形或者矩形形式，具有80 μ m到120 μ m的尺寸。作為以低成本制造具 有這種單個(gè)通孔的層間絕緣膜的方法，已經(jīng)注意到印刷技術(shù)，尤其是絲網(wǎng)印刷方法。此外，在制造平板顯示器中，層間絕緣膜形成在有源矩陣驅(qū)動(dòng)電路上，并然后單獨(dú) 電極(individual electrode)和金屬布線進(jìn)一步形成在層間絕緣膜上。此時(shí)，電路和單獨(dú) 電極通過(guò)電布線經(jīng)層間絕緣膜的單個(gè)通孔(過(guò)孔)彼此連接。絲網(wǎng)印刷方法也對(duì)于形成這 種電布線有效。通常，在絲網(wǎng)印刷方法中，用于通過(guò)實(shí)心印刷(solid printing)形成沒(méi)有圖案的 絕緣膜和通過(guò)焊接形成電極的膏劑(paste)的粘度是一百幾十1 . S。在形成精細(xì)的單個(gè)通 孔(過(guò)孔)等的過(guò)程中，由于膏劑的粘度不足或者攪溶性(thixotropy)不足，易于造成諸 如滲透(oozing)或邊緣發(fā)毛(feathering)的圖案缺陷。為此原因，難于在印刷區(qū)域中形 成均勻且無(wú)缺陷的精細(xì)圖案，并且在大規(guī)模生產(chǎn)中不能提高產(chǎn)量。專利文件1描述了一種通過(guò)在經(jīng)歷正片印刷(positive printing)的圖案的區(qū)域 (在該區(qū)域，乳劑(emulsion)圖案按照原樣轉(zhuǎn)印)外側(cè)提供虛擬圖案區(qū)域(dummy patternregion)來(lái)提高圖案解析度的方法。利用這種方法，當(dāng)通過(guò)絲網(wǎng)印刷方法將保護(hù)膜印刷在半 導(dǎo)體晶片上時(shí)，具有50到100 μ m寬度的虛擬圖案以50到2000 μ m的間隔設(shè)置在芯片圖案 外側(cè)。當(dāng)在周?chē)糠值男酒瑘D案被印刷時(shí)，由于虛擬圖案存在，粘著力(tacking force)增 加。結(jié)果，可以獲得將膏劑轉(zhuǎn)印到芯片圖案上的充足結(jié)合時(shí)間，在保護(hù)膜的邊緣出幾乎不產(chǎn) 生薄點(diǎn)，并且可以形成均勻的印刷圖案。專利文件1 JP-A-2004-253575但是，專利文件1中描述的方法由于虛擬圖案寬而導(dǎo)致粘著力(tacking force) 過(guò)大。在形成平板顯示器的單個(gè)通孔中，由于過(guò)分粘著力造成圖案尺寸變化會(huì)直接導(dǎo)致在 圖案的最外周部分處的元件面積增加，并且最終導(dǎo)致圖像質(zhì)量下降。此外，會(huì)在最外周部分 的單個(gè)通孔中造成諸如邊緣發(fā)毛和滲透的缺陷，這帶來(lái)精確控制在最外周部分的單個(gè)通孔 的形狀的需求。因此，圖案必須被布置成在虛擬圖案區(qū)域處膏劑的轉(zhuǎn)印量均勻，這在實(shí)際中 帶來(lái)困難。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問(wèn)題，本發(fā)明可以提供一種絲網(wǎng)印版，其容易并且低成本印刷精細(xì)開(kāi)口 圖案；提供一種利用該絲網(wǎng)印版形成的層間絕緣膜、電路基板、有源矩陣電路基板和圖像顯 示設(shè)備。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，提供了一種絲網(wǎng)印版，用于通過(guò)絲網(wǎng)印刷來(lái)印刷二維排 列的開(kāi)口圖案。該絲網(wǎng)印版包括虛擬印刷區(qū)域(dummy printing region)，在該虛擬印刷區(qū) 域中，預(yù)定圖案沿著平行于絲網(wǎng)印版的印刷方向的一條邊的邊緣部分或者兩條邊的邊緣部 分單個(gè)或多個(gè)地排列；全表面印刷區(qū)域，該全表面印刷區(qū)域在比虛擬印刷區(qū)域更靠近絲網(wǎng) 印版的中心側(cè)的位置處形成帶形；以及印刷區(qū)域，該印刷區(qū)域形成在比全表面印刷區(qū)域更 靠近絲網(wǎng)印版的中心側(cè)的位置，并且其中二維排列開(kāi)口圖案。


圖1是根據(jù)第一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印版的俯視圖；圖2是根據(jù)第一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印版的放大俯視圖；圖3A到3C是利用根據(jù)第一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印版進(jìn)行絲網(wǎng)印刷的過(guò)程圖；圖4是根據(jù)第一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印版的圖案布局圖；圖5A至5G是示出根據(jù)第二實(shí)施方式的虛擬印刷圖案的圖案的視圖；圖6是根據(jù)第二實(shí)施方式的絲網(wǎng)印版的圖案布局圖；圖7是根據(jù)第二實(shí)施方式的絲網(wǎng)印版的俯視圖⑴；圖8是根據(jù)第二實(shí)施方式的絲網(wǎng)印版的俯視圖(2)；圖9是根據(jù)第三實(shí)施方式的有源矩陣電路基板的俯視圖；圖10是根據(jù)第三實(shí)施方式的有源矩陣電路基板的橫截面圖⑴；圖11是根據(jù)第三實(shí)施方式的有源矩陣電路基板的橫截面圖(2)；圖12是根據(jù)第四實(shí)施方式的圖像顯示設(shè)備的橫截面圖；圖13是根據(jù)第四實(shí)施方式的絲網(wǎng)印版的圖案布局圖；圖14是根據(jù)實(shí)施例7至9和對(duì)比例4和5的絲網(wǎng)印版的圖案布局圖15是根據(jù)實(shí)施例1形成的印刷圖案的顯微照片；以及圖16是根據(jù)對(duì)比例1形成的印刷圖案的顯微照片。
具體實(shí)施例方式接著，描述本發(fā)明的實(shí)施方式。(第一實(shí)施方式)在這個(gè)實(shí)施方式中，通過(guò)印刷形成層間絕緣膜，在層間絕緣膜中通過(guò)絲網(wǎng)印刷方 法二維排列開(kāi)口圖案。這個(gè)實(shí)施方式基于圖1和2描述。圖1是示出根據(jù)這個(gè)實(shí)施方式的絲網(wǎng)印版10的頂面的視圖。描述用于制造絲網(wǎng) 印版10的方法。首先，平紋編織(plain-woven)不銹鋼絲網(wǎng)通過(guò)聚酯絲網(wǎng)以預(yù)定張力按照雙偏壓 組合形式(double bias combination)安裝到絲網(wǎng)印版框架上。接著，不銹鋼絲網(wǎng)的一個(gè)表面涂敷有光敏乳劑，并被反復(fù)烘烤，以形成預(yù)定厚度的 掩膜乳齊U (masking emulsion)。然后，Cr圖案玻璃原身版(original plate)緊密附著到掩膜乳劑的前表面上并 由曝光單元曝光，在原身版中，形成作為印刷膏劑將通過(guò)的區(qū)域的圖案。接著，掩膜乳劑被顯影，以形成預(yù)定掩膜乳劑制成的圖案。要指出的是，按照情況 需要有可能要向絲網(wǎng)印版上應(yīng)用軋光(calendar)過(guò)程。以這種方式，制造根據(jù)這個(gè)實(shí)施方式的絲網(wǎng)印版10。在絲網(wǎng)印版10中，在沿著印 刷方向的邊的邊緣部分上形成虛擬印刷區(qū)域12，平行于印刷方向的全表面印刷區(qū)域13形 成在虛擬印刷區(qū)域12的附近，并且在全表面印刷區(qū)域13內(nèi)側(cè)形成印刷區(qū)域11，在該印刷區(qū) 域11，形成由預(yù)定開(kāi)口圖案構(gòu)成的印刷圖案?；趫D2，描述在絲網(wǎng)印版10中掩膜乳劑的圖案。在虛擬印刷區(qū)域12中，虛擬印 刷區(qū)域12形成為使得要被印刷的圖案變成預(yù)定的開(kāi)口圖案。掩膜乳劑形成在開(kāi)口圖案所 形成的區(qū)域。于是，當(dāng)印刷膏劑用于執(zhí)行印刷時(shí)，印刷膏劑不會(huì)穿過(guò)形成有掩膜乳劑的區(qū) 域，而是穿過(guò)沒(méi)有形成掩膜乳劑的區(qū)域。從而，被印刷的圖案變成開(kāi)口圖案，其具有開(kāi)口部 分，該開(kāi)口部分對(duì)應(yīng)于其中形成掩膜乳劑的區(qū)域，即虛擬印刷區(qū)域16。在全表面印刷區(qū)域13中，不形成掩膜乳劑。因此，當(dāng)印刷膏劑用于執(zhí)行印刷時(shí)，印 刷膏劑穿過(guò)全表面印刷區(qū)域，由此，執(zhí)行全表面印刷，即，所謂的實(shí)心印刷。在印刷區(qū)域11中，印刷圖案15形成為要被印刷的圖案成為預(yù)定開(kāi)口圖案。掩膜乳 劑形成在要形成開(kāi)口圖案的區(qū)域中。于是，當(dāng)印刷膏劑用于執(zhí)行印刷時(shí)，印刷膏劑不會(huì)穿過(guò) 形成掩膜乳劑的區(qū)域，而是穿過(guò)沒(méi)有形成掩膜乳劑的區(qū)域。從而，印刷圖案變成開(kāi)口圖案， 其具有開(kāi)口部分，該開(kāi)口部分對(duì)應(yīng)于其中形成掩膜乳劑的區(qū)域，即印刷區(qū)域15。接著，基于圖3，描述利用根據(jù)這個(gè)實(shí)施方式的絲網(wǎng)印版進(jìn)行絲網(wǎng)印刷方法的描 述。要指出的是絕緣膏劑用作印刷膏劑。如圖3A所示，根據(jù)這個(gè)實(shí)施方式的絲網(wǎng)印版10設(shè)置在基板21上，并且橡皮輥 (squeegee) M用于施加絕緣膏劑23。用于印刷的絕緣膏劑23由無(wú)機(jī)填料顆粒、熱塑性樹(shù) 脂結(jié)合劑、丁基卡必醇(buthyl carbitol)等制成。當(dāng)圖案以精細(xì)間距印刷時(shí)，優(yōu)選的是， 絕緣膏劑23的粘度大約為260Pa. s (利用Brookfield HBT No. 14心軸在IOrpm下測(cè)量)。絲網(wǎng)印版10和基板21之間的間隙根據(jù)絲網(wǎng)印版10的尺寸來(lái)適當(dāng)設(shè)定。然后，如圖IBB所示，橡皮輥M被移動(dòng)來(lái)進(jìn)行絲網(wǎng)印刷。此時(shí)使用的橡皮輥對(duì)是 橡膠平橡皮輥，并且絲網(wǎng)印刷是在迎角為70度且印刷速度是10到80mm/s范圍內(nèi)的條件下 進(jìn)行的。從而，絕緣膏劑制成的印刷圖案25形成在基板21的前表面上。上述絲網(wǎng)印刷方法被進(jìn)一步詳細(xì)描述。當(dāng)絕緣膏劑23被施加時(shí)，絲網(wǎng)印版10被 設(shè)置遠(yuǎn)離要被印刷的基板21若干毫米的位置處。然后，絕緣膏劑23被薄薄地涂在絲網(wǎng)印 版10上，并且，絲網(wǎng)印版10被橡皮輥M壓在要被印刷的基板21上，來(lái)執(zhí)行印刷。當(dāng)被橡 皮輥M按壓時(shí)，絲網(wǎng)印版10膨脹，并與基板21的前表面成線接觸。絲網(wǎng)印版10與基板21 的前表面成線接觸的區(qū)域隨著橡皮輥M的移動(dòng)而移動(dòng)。此時(shí)，絕緣膏劑23穿過(guò)絲網(wǎng)印版 10中沒(méi)有形成掩膜乳劑的區(qū)域，以在基板21上形成印刷圖案25。要指出的是，絕緣膏劑23 不會(huì)穿過(guò)絲網(wǎng)印版10中形成掩膜乳劑的區(qū)域，這是由于該區(qū)域由掩膜乳劑所遮擋。隨著橡皮輥M的移動(dòng)絲網(wǎng)印版10與基板21成線接觸的區(qū)域隨著橡皮輥M的運(yùn) 動(dòng)而與基板21分離，這稱為絲網(wǎng)印刷的印版分離(plate i^paration)。在這個(gè)印版分離 時(shí)，很強(qiáng)的剪切力施加到絲網(wǎng)印版10和絕緣膏劑23之間的接觸部分。已經(jīng)由于印版分離而 受到剪切力的絕緣膏劑23的粘度快速降低，并且絕緣膏劑23轉(zhuǎn)印到基板21的前表面上。在此，稱為粘著力(tacking force)的結(jié)合力在絲網(wǎng)印版10和基板21之間產(chǎn)生， 盡管取決于要被使用的絕緣膏劑23的粘度和印刷條件，如絕緣膏劑23在絲網(wǎng)印版10和要 被印刷的基本上的潤(rùn)濕性效果，粘著力有所不同。通常，當(dāng)在寬的區(qū)域上執(zhí)行絕緣膏劑23整個(gè)穿過(guò)的實(shí)心印刷時(shí)，基板21和絲網(wǎng)印 版10之間的接觸區(qū)域大，這導(dǎo)致較強(qiáng)的粘著力。另一方面，當(dāng)形成很多掩膜乳劑制成的掩 膜區(qū)域時(shí)，基板21和絲網(wǎng)印版10之間的接觸區(qū)域窄，這導(dǎo)致弱粘著力。此外，考慮到容易將 絲網(wǎng)印版10從基板21上分離，設(shè)定絲網(wǎng)印版10的回復(fù)力。但是，在通過(guò)橡皮輥M絲網(wǎng)印 版10與基板21成線接觸的區(qū)域，在絲網(wǎng)印版10的中心部分的回復(fù)力小于在兩端部分的。另外，通常，即使印刷圖案由乳劑遮擋，印刷膏劑在橡皮輥之前被轉(zhuǎn)印，并且印刷 膏劑的轉(zhuǎn)印量在執(zhí)行實(shí)心印刷的實(shí)心印刷區(qū)域和印刷圖案的圖案區(qū)域之間不同。因此，導(dǎo) 致滲透(oozing)，其中，印刷膏劑從實(shí)心印刷區(qū)域滲透到圖案區(qū)域。但是，在這個(gè)實(shí)施方式中，由于虛擬印刷區(qū)域12和全表面印刷區(qū)域13設(shè)置在絲網(wǎng) 印版10上，在橡皮輥M兩端附近的印刷區(qū)域11處，印刷膏劑的轉(zhuǎn)印量可以保持盡可能均 勻。因此，幾乎不會(huì)造成由于滲透以及在印版分離時(shí)的延遲帶來(lái)圖案的邊緣發(fā)毛等。其上以這種方式執(zhí)行絲網(wǎng)印刷的基板被放置到如圖3C所示的強(qiáng)制對(duì)流型烤爐27 中，并且被加熱，硬化作為印刷圖案25的絕緣膏劑，從而形成絕緣膜。此時(shí)，絕緣膏劑需要 在250°C下加熱60分鐘。要指出的是，作為基板21，紙張、玻璃基板、石英基板、陶瓷基板，諸如PES(聚醚 砜)、PEN(聚萘二甲酸乙二醇酯)、PI (聚酰亞胺)和PET (聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯)的塑料 基板、諸如Si和GaAs的半導(dǎo)體基板都是可用的。此外，只要能夠?qū)?yīng)于精細(xì)間距印刷并且 用于執(zhí)行絲網(wǎng)印刷，那么各種絕緣膏劑23都是可用的。此外，優(yōu)選的是，根據(jù)這個(gè)實(shí)施方式的絲網(wǎng)印版10的絲網(wǎng)具有360到800不銹鋼 絲/英寸。具體地說(shuō)，優(yōu)選的是，在圖4所示的絲網(wǎng)印版的印刷區(qū)域11中，在印刷圖案15 之間沿χ和y方向的圖案間距” ax”和” ay”分別在100到400微米的范圍內(nèi)。在制造絲網(wǎng)印版10時(shí)，考慮到強(qiáng)度的問(wèn)題，掩膜乳劑理想的被三個(gè)或四個(gè)絲網(wǎng)的不銹鋼絲的交點(diǎn)支 撐。通常，必須制造絲網(wǎng)的開(kāi)口部分三倍到四倍大的乳劑。目前，在用于大規(guī)模生產(chǎn)程度的 絲網(wǎng)印版中，每英寸具有500個(gè)網(wǎng)孔的絲網(wǎng)印版是最精細(xì)的。鑒于強(qiáng)度，在目前情況下，能 夠被500個(gè)網(wǎng)孔支撐的乳劑的極限尺寸是大約30微米。當(dāng)印刷圖案和印刷區(qū)域在這種乳 劑尺寸相對(duì)于絲網(wǎng)的限制下進(jìn)行設(shè)計(jì)時(shí)，能夠控制印刷膏劑的轉(zhuǎn)印量。因此，可以尤其顯著 地獲得本發(fā)明的效果。在將來(lái)，如果更精細(xì)的絲網(wǎng)應(yīng)用于絲網(wǎng)印版的制造，那么對(duì)乳劑尺寸 的限制將被進(jìn)一步放松，這又使得可以形成更精細(xì)的圖案。此外，優(yōu)選的是，全表面印刷13的寬度“cL”大于或等于在χ方向上印刷圖案15 之間的圖案間距”ax”的一倍且小于或等于15倍。如下面所描述的，當(dāng)全表面印刷區(qū)域13 在這個(gè)范圍內(nèi)形成時(shí)，印刷圖案的絲網(wǎng)印刷可以在印刷區(qū)域11內(nèi)進(jìn)行，而不會(huì)造成任何缺陷。此外，當(dāng)絕緣膏劑23利用Brookfield HBT No. 14心軸在IOrpm下測(cè)量時(shí)，優(yōu)選的 是，絕緣膏劑23的粘度在150到350Pa. s的范圍內(nèi)。在這個(gè)范圍內(nèi)，可以獲得與上面相同 的效果。(第二實(shí)施方式)這個(gè)實(shí)施方式針對(duì)在絲網(wǎng)印版10中全表面印刷區(qū)域13和虛擬印刷圖案16的形 狀?；趫D5A到5G描述虛擬印刷圖案16的形狀。虛擬印刷圖案16的形狀的示例包 括圖5A所示的圓形、圖5B所示的橢圓形、圖5C所示的圓環(huán)形、圖5D所示的方形、圖5E所 示的菱形、圖5F所示的矩形和圖5G所示的六邊形。圓形的直徑為20微米或更大，多邊形 的邊長(zhǎng)為20微米或更大。當(dāng)將虛擬印刷圖案16形成這些形狀時(shí)，可以獲得本發(fā)明的效果。此外，形成在虛擬印刷區(qū)域12中的圖案可以是平行于圖6所示的印刷方向的帶形 虛擬印刷圖案17。要指出的是，帶形虛擬印刷圖案17的寬度為20微米或更大。即使虛擬 印刷圖案17形成為這種形狀，也可以獲得本發(fā)明的效果。此外，如圖7所示，絲網(wǎng)印版10可以布置成虛擬印刷區(qū)域1 和12b以及全表面 區(qū)域13a和1 沿著平行于印刷方向的兩條邊，即在印刷區(qū)域11的每一側(cè)上沿著兩條邊 設(shè)置。利用這種布置方式，印刷圖案15可以形成在印刷區(qū)域11的整個(gè)表面上，而不會(huì)導(dǎo)致 更高程度的缺陷。此外，如圖8所示，絲網(wǎng)印版10可以布置成在印刷方向上虛擬印刷區(qū)域 12的長(zhǎng)度做成比印刷區(qū)域11的長(zhǎng)度長(zhǎng)。(第三實(shí)施方式)現(xiàn)在描述第三實(shí)施方式。這個(gè)實(shí)施方式針對(duì)基于本發(fā)明的有源矩陣電路基板和形 成有源矩陣電路基板的方法。根據(jù)這個(gè)實(shí)施方式的有源矩陣電路基板是以層間絕緣膜和單獨(dú)電極形成在圖9 和10所示的電路基板上的方式制造的。圖9是示出電路基板的布線圖案的俯視圖，而圖10是沿著圖9中的線10A-10B截 取的橫截面圖。在這個(gè)電路基板中，TFT(薄膜晶體管)以二維矩陣形式布置在石英或玻璃 制成的基板51上。作為電極，每個(gè)TFT利用Al制成且形成在基板51上的柵電極51、漏電 極M、和源電極55，并且它是由Si02制成的柵極絕緣膜53和Si制成的半導(dǎo)體層56構(gòu)成 的。
要指出的是，柵電極52、漏電極M和源電極55如下形成。即，膜首先通過(guò)濺射方 法利用Cr、Cu、Au等形成并且涂敷有光阻材料。然后，該膜經(jīng)歷預(yù)烘烤、曝光和顯影，以形成 抗蝕圖案。此后，抗蝕圖案經(jīng)歷諸如RIE的蝕刻。結(jié)果，形成柵電極52、漏電極討和源電極 55。此外，在通過(guò)等離子體CVD方法形成由氧化硅或者氮化硅制成的絕緣膜時(shí)，形成柵極絕 緣膜53。接著，如圖11所示，在電路基板上利用根據(jù)第一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印版進(jìn)行絲網(wǎng)印 刷，以形成層間絕緣膜57。層間絕緣膜57具有對(duì)應(yīng)于TFT的通孔。當(dāng)導(dǎo)電材料填充在該通 孔中時(shí)，TFT的漏電極M電連接到單獨(dú)電極59。以這種方式，制造根據(jù)本實(shí)施方式的有源 矩陣電路基板。(第四實(shí)施方式)現(xiàn)在描述第四實(shí)施方式。這個(gè)實(shí)施方式針對(duì)根據(jù)本發(fā)明的圖像顯示設(shè)備。具體地說(shuō)，作為圖像顯示元件的電泳元件利用根據(jù)第三實(shí)施方式的有源矩陣電路 基板形成?；趫D12描述根據(jù)這個(gè)實(shí)施方式的圖像顯示設(shè)備。在根據(jù)第三實(shí)施方式制造的有源矩陣電路基板的單獨(dú)電極所形成的表面處，通過(guò) 結(jié)合層60疊加電泳顯示元件層61，在電泳顯示元件層61中封裝被油藍(lán)和氧化鈦顆粒著色 的isoper。另外，具有公共電極62的上部基板63進(jìn)一步結(jié)合到電泳顯示元件層61中。從 而，形成圖像顯示設(shè)備。用于這個(gè)實(shí)施方式的圖像顯示設(shè)備可以是根據(jù)這個(gè)實(shí)施方式的電泳顯示元件之 外的電致變色元件和聚合物散布的液晶元件。(實(shí)施例)接著，描述根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例。具體地說(shuō)，制造具有下面結(jié)構(gòu)的絲網(wǎng)印版，并然 后利用絕緣膏劑進(jìn)行印刷來(lái)獲得結(jié)果。(實(shí)施例1)根據(jù)實(shí)施例1的絲網(wǎng)印版的絲網(wǎng)由每英寸400根平紋編織不銹鋼絲構(gòu)成。如圖4 所示，在絲網(wǎng)印版10的印刷區(qū)域中，形成橢圓形印刷圖案15，每個(gè)橢圓形印刷圖案在X方向 上長(zhǎng)軸為160微米，在y方向上短軸為120微米。印刷圖案15以1000X800 二維布置，且χ 方向上圖案間距” ax”為300微米，y方向上圖案間距” ay”為300微米。此外，在絲網(wǎng)印版 10的虛擬印刷區(qū)域12中，形成各自具有200微米直徑的圓形虛擬印刷圖案，并且該圓形虛 擬印刷圖案16以3X800 二維排列，在χ方向上的圖案間距”bx”為300微米，在y方向上 的圖案間距”by”為300微米。此外，絲網(wǎng)印版10的全表面印刷區(qū)域形成為帶形，寬度”cL” 為700微米(沿χ方向印刷圖案15之間的圖案間距”ax”的2. 3倍)。(對(duì)比例1)根據(jù)對(duì)比例1的絲網(wǎng)印版的絲網(wǎng)由每英寸400根平紋編織不銹鋼絲構(gòu)成。在絲網(wǎng) 印版10的印刷區(qū)域11中，形成橢圓形印刷圖案15，每個(gè)橢圓形印刷圖案在X方向上長(zhǎng)軸 為160微米，在y方向上短軸為120微米。印刷圖案15以1000X800 二維布置，且χ方向 上圖案間距” ax”為300微米，y方向上圖案間距” ay”為300微米。要指出的是，在絲網(wǎng)印 版10中未形成虛擬印刷區(qū)域12和全表面印刷區(qū)域13。(實(shí)施例2)
根據(jù)實(shí)施例2的絲網(wǎng)印版的絲網(wǎng)由每英寸400根平紋編織不銹鋼絲構(gòu)成。如圖4 所示，在絲網(wǎng)印版10的印刷區(qū)域11中，形成橢圓形印刷圖案15，每個(gè)橢圓形印刷圖案在X 方向上長(zhǎng)軸為160微米，在y方向上短軸為120微米。印刷圖案15以1000X800 二維布置， 且χ方向上圖案間距” ax”為300微米，y方向上圖案間距” ay”為300微米。此外，在絲網(wǎng) 印版10的虛擬印刷區(qū)域12中，形成各自具有200微米直徑的圓形虛擬印刷圖案16，并且 該圓形虛擬印刷圖案16以3X800 二維排列，在χ方向上的圖案間距”bx”為300微米，在 y方向上的圖案間距”by”為300微米。此外，絲網(wǎng)印版10的全表面印刷區(qū)域13形成為帶 形，寬度” cL”為2100微米(在χ方向上印刷圖案15之間的圖案間距” ax"的7倍)。(實(shí)施例3)根據(jù)實(shí)施例3的絲網(wǎng)印版的絲網(wǎng)由每英寸400根平紋編織不銹鋼絲構(gòu)成。如圖4 所示，在絲網(wǎng)印版10的印刷區(qū)域11中，形成橢圓形印刷圖案15，每個(gè)橢圓形印刷圖案在X 方向上長(zhǎng)軸為160微米，在y方向上短軸為120微米。印刷圖案15以1000X800 二維布置， 且χ方向上圖案間距” ax”為300微米，y方向上圖案間距” ay”為300微米。此外，在絲網(wǎng) 印版10的虛擬印刷區(qū)域12中，形成各自具有200微米直徑的圓形虛擬印刷圖案16，并且 該圓形虛擬印刷圖案16以3X800 二維排列，在χ方向上的圖案間距”bx”為300微米，在 y方向上的圖案間距”by”為300微米。此外，絲網(wǎng)印版10的全表面印刷區(qū)域13形成為帶 形，寬度” cL”為4500微米(在χ方向上印刷圖案15之間的圖案間距” ax"的15倍)。(對(duì)比例2)根據(jù)對(duì)比例2的絲網(wǎng)印版的絲網(wǎng)由每英寸400根平紋編織不銹鋼絲構(gòu)成。如圖4 所示，在絲網(wǎng)印版10的印刷區(qū)域11中，形成橢圓形印刷圖案15，每個(gè)橢圓形印刷圖案在X 方向上長(zhǎng)軸為160微米，在y方向上短軸為120微米。印刷圖案15以1000X800 二維布置， 且χ方向上圖案間距” ax”為300微米，y方向上圖案間距” ay”為300微米。此外，在絲網(wǎng) 印版10的虛擬印刷區(qū)域12中，形成各自具有200微米直徑的圓形虛擬印刷圖案16，并且 該圓形虛擬印刷圖案16以3X800 二維排列，在χ方向上的圖案間距”bx”為300微米，在 y方向上的圖案間距”by”為300微米。此外，絲網(wǎng)印版10的全表面印刷區(qū)域13形成為帶 形，寬度” cL”為4800微米(在χ方向上印刷圖案15之間的圖案間距” ax"的16倍)。(對(duì)比例3)根據(jù)對(duì)比例3的絲網(wǎng)印版的絲網(wǎng)由每英寸400根平紋編織不銹鋼絲構(gòu)成。如圖4 所示，在絲網(wǎng)印版10的印刷區(qū)域11中，形成橢圓形印刷圖案15，每個(gè)橢圓形印刷圖案在X 方向上長(zhǎng)軸為160微米，在y方向上短軸為120微米。印刷圖案15以1000X 800 二維布置， 且χ方向上圖案間距” ax"為300微米，y方向上圖案間距” ay”為300微米。此外，在絲網(wǎng) 印版10的虛擬印刷區(qū)域12中，形成各自具有200微米直徑的圓形虛擬印刷圖案16，并且 該圓形虛擬印刷圖案16以3X800 二維排列，在χ方向上的圖案間距”bx”為300微米，在 y方向上的圖案間距”by”為300微米。此外，絲網(wǎng)印版10的全表面印刷區(qū)域13形成為帶 形，寬度” cL”為9000微米(在χ方向上印刷圖案15之間的圖案間距” ax"的30倍)。(實(shí)施例4)根據(jù)實(shí)施例4的絲網(wǎng)印版的絲網(wǎng)由每英寸400根平紋編織不銹鋼絲構(gòu)成。如圖13 所示，在絲網(wǎng)印版10的印刷區(qū)域11中，形成橢圓形印刷圖案15，每個(gè)橢圓形印刷圖案在X 方向上長(zhǎng)軸為160微米，在y方向上短軸為120微米。印刷圖案15以1000X800 二維布置，且在χ方向上圖案間距”ax”為300微米，在y方向上圖案間距”ay”為300微米。此外，在 絲網(wǎng)印版10的虛擬印刷區(qū)域12中，形成各自具有150微米邊長(zhǎng)的菱形虛擬印刷圖案16，并 且該菱形虛擬印刷圖案16以6X800 二維排列，在χ方向上的圖案間距”bx”為400微米， 在y方向上的圖案間距”by”為300微米(在圖13中為了方便省略了一些)。此外，絲網(wǎng)印 版10的全表面印刷區(qū)域13形成為帶形，寬度” cL”為700微米(在χ方向上印刷圖案15 之間的圖案間距” ax”的2. 3倍)。(實(shí)施例5)根據(jù)實(shí)施例5的絲網(wǎng)印版的絲網(wǎng)由每英寸400根平紋編織不銹鋼絲構(gòu)成。如圖6 所示，在絲網(wǎng)印版10的印刷區(qū)域11中，形成橢圓形印刷圖案15，每個(gè)橢圓形印刷圖案在X 方向上長(zhǎng)軸為160微米，在y方向上短軸為120微米。印刷圖案15以1000X800 二維布置， 且在χ方向上圖案間距”ax”為300微米，在y方向上圖案間距”ay”為300微米。此外，在 絲網(wǎng)印版10的虛擬印刷區(qū)域12中，形成各自寬度為200微米的三個(gè)帶形虛擬印刷圖案17， 并且該虛擬印刷圖案17以在χ方向上的圖案間距"bx”為300微米布置。此外，全表面印刷 區(qū)域13形成為帶形，寬度”cL”為700微米(在χ方向上印刷圖案15之間的圖案間距”ax” 的2. 3倍)。(實(shí)施例6)根據(jù)實(shí)施例6的絲網(wǎng)印版的絲網(wǎng)由每英寸400根平紋編織不銹鋼絲構(gòu)成。具體地 說(shuō)，如圖7所示，在印刷區(qū)域11的兩側(cè)上形成虛擬印刷區(qū)域1 和12b以及全表面印刷區(qū) 域13a和13b。如圖4所示，在絲網(wǎng)印版10的印刷區(qū)域11中，形成橢圓形印刷圖案15，每 個(gè)橢圓形印刷圖案在χ方向上長(zhǎng)軸為160微米，在y方向上短軸為120微米。印刷圖案15 以1000 X 800 二維布置，且χ方向上圖案間距” ax"為300微米，y方向上圖案間距” ay”為 300微米。此外，在絲網(wǎng)印版10的虛擬印刷區(qū)域12中，形成各自具有200微米直徑的圓形 虛擬印刷圖案16，并且該圓形虛擬印刷圖案16以3X800 二維排列，在χ方向上的圖案間 距”bx”為300微米，在y方向上的圖案間距”by”為300微米。此外，絲網(wǎng)印版10的全表 面印刷區(qū)域13形成為帶形，寬度” cL”為2100微米(在χ方向上印刷圖案15之間的圖案 間距” ax”的7倍)。上述結(jié)構(gòu)也形成在印刷區(qū)域11的相對(duì)側(cè)上。(實(shí)施例7)根據(jù)實(shí)施例7的絲網(wǎng)印版的絲網(wǎng)由每英寸500根平紋編織不銹鋼絲構(gòu)成。如圖14 所示，在絲網(wǎng)印版10的印刷區(qū)域11中，形成各自具有100微米直徑的圓形印刷圖案15。印 刷圖案15以2500X2000 二維布置，在χ方向上圖案間距” ax”為200微米，在y方向上圖 案間距” ay”為200微米。此外，在絲網(wǎng)印版10的虛擬印刷區(qū)域12中，形成各自具有150 微米直徑的圓形虛擬印刷圖案16，該圓形虛擬印刷圖案16以3X2000 二維布置，在χ方向 上的圖案間距”bx”為300微米，在y方向上的圖案間距”by”為200微米。此外，絲網(wǎng)印版 10的全表面印刷區(qū)域13形成為帶形，寬度”cL”為200微米(在χ方向上印刷圖案15之間 的圖案間距”ax”的1倍)。(實(shí)施例8)根據(jù)實(shí)施例8的絲網(wǎng)印版的絲網(wǎng)由每英寸500根平紋編織不銹鋼絲構(gòu)成。如圖14 所示，在絲網(wǎng)印版10的印刷區(qū)域11中，形成各自具有100微米直徑的圓形印刷圖案15。印 刷圖案15以2500X2000 二維布置，在χ方向上圖案間距” ax”為200微米，在y方向上圖
11案間距”ay”為200微米。此外，在絲網(wǎng)印版10的虛擬印刷區(qū)域12中，形成各自具有150 微米直徑的圓形虛擬印刷圖案16，該圓形虛擬印刷圖案16以3 X 2000 二維布置，在χ方向 上的圖案間距”bx”為300微米，在y方向上的圖案間距”by”為200微米。此外，絲網(wǎng)印版 10的全表面印刷區(qū)域13形成為帶形，寬度”cL”為800微米(在χ方向上印刷圖案15之間 的圖案間距”ax”的4倍)。(實(shí)施例9)根據(jù)實(shí)施例9的絲網(wǎng)印版的絲網(wǎng)由每英寸500根平紋編織不銹鋼絲構(gòu)成。如圖14 所示，在絲網(wǎng)印版10的印刷區(qū)域11中，形成各自具有100微米直徑的圓形印刷圖案15。印 刷圖案15以2500X2000 二維布置，在χ方向上圖案間距” ax”為200微米，在y方向上圖 案間距” ay”為200微米。此外，在絲網(wǎng)印版10的虛擬印刷區(qū)域12中，形成各自具有150 微米直徑的圓形虛擬印刷圖案16，該圓形虛擬印刷圖案16以3X2000 二維布置，在χ方向 上的圖案間距”bx”為300微米，在y方向上的圖案間距”by”為200微米。此外，絲網(wǎng)印版 10的全表面印刷區(qū)域13形成為帶形，寬度” cL”為3000微米(在χ方向上印刷圖案15之 間的圖案間距” ax”的15倍)。(對(duì)比例4)根據(jù)對(duì)比例4的絲網(wǎng)印版的絲網(wǎng)由每英寸500根平紋編織不銹鋼絲構(gòu)成。如圖14 所示，在絲網(wǎng)印版10的印刷區(qū)域11中，形成各自具有100微米直徑的圓形印刷圖案15。印 刷圖案15以2500X2000 二維布置，在χ方向上圖案間距” ax”為200微米，在y方向上圖 案間距” ay”為200微米。此外，在絲網(wǎng)印版10的虛擬印刷區(qū)域12中，形成各自具有150 微米直徑的圓形虛擬印刷圖案16，該圓形虛擬印刷圖案16以3X2000 二維布置，在χ方向 上的圖案間距”bx”為300微米，在y方向上的圖案間距”by”為200微米。此外，絲網(wǎng)印版 10的全表面印刷區(qū)域13形成為帶形，寬度” cL”為3200微米(在χ方向上印刷圖案16之 間的圖案間距” ax”的16倍)。(對(duì)比例5)根據(jù)對(duì)比例5的絲網(wǎng)印版的絲網(wǎng)由每英寸500根平紋編織不銹鋼絲構(gòu)成。如圖14 所示，在絲網(wǎng)印版10的印刷區(qū)域11中，形成各自具有100微米直徑的圓形印刷圖案15。印 刷圖案15以2500X2000 二維布置，在χ方向上圖案間距” ax”為200微米，在y方向上圖 案間距” ay”為200微米。此外，在絲網(wǎng)印版10的虛擬印刷區(qū)域12中，形成各自具有150 微米直徑的圓形虛擬印刷圖案16，該圓形虛擬印刷圖案16以3X2000 二維布置，在χ方向 上的圖案間距”bx”為300微米，在y方向上的圖案間距”by”為200微米。此外，絲網(wǎng)印版 10的全表面印刷區(qū)域13形成為帶形，寬度” cL”為4000微米(在χ方向上印刷圖案16之 間的圖案間距” ax”的20倍)。表1示出實(shí)施例1到9和對(duì)比例1到5中在印刷區(qū)域11中形成的缺陷印刷圖案 15的數(shù)量和形成在虛擬印刷區(qū)域12中的缺陷虛擬印刷圖案16的數(shù)量。表權(quán)利要求
1.一種絲網(wǎng)印版，用于通過(guò)絲網(wǎng)印刷來(lái)印刷二維排列的開(kāi)口圖案，所述絲網(wǎng)印版包括虛擬印刷區(qū)域，在該虛擬印刷區(qū)域中，預(yù)定圖案沿著平行于絲網(wǎng)印版的印刷方向的 一條邊的邊緣部分或者平行于絲網(wǎng)印版的印刷方向的兩條邊的邊緣部分單個(gè)或多個(gè)地排 列；全表面印刷區(qū)域，用于執(zhí)行全表面印刷，該全表面印刷區(qū)域在比虛擬印刷區(qū)域更靠近 絲網(wǎng)印版的中心側(cè)的位置處形成為帶形；印刷區(qū)域，該印刷區(qū)域形成在比全表面印刷區(qū)域更靠近所述中心側(cè)的位置處，并且在 該印刷區(qū)域中二維布置所述開(kāi)口圖案。
2.如權(quán)利要求1所述的絲網(wǎng)印版，其中所述全表面印刷區(qū)域平行于絲網(wǎng)印版的印刷方向形成。
3.如權(quán)利要求1所述的絲網(wǎng)印版，其中所述全表面印刷區(qū)域的寬度大于或等于在所述印刷區(qū)域中所述開(kāi)口圖案之間的圖案 間距的1倍并且小于或等于15倍。
4.如權(quán)利要求1所述的絲網(wǎng)印版，其中在所述虛擬印刷區(qū)域中的預(yù)定圖案是圓形開(kāi)口圖案，其直徑大于或等于20微米，或者 所述預(yù)定圖案是多邊形開(kāi)口圖案，其一邊大于或等于20微米。
5.如權(quán)利要求1所述的絲網(wǎng)印版，其中在所述虛擬印刷區(qū)域中的預(yù)定圖案是沿著絲網(wǎng)印版的印刷方向布置的帶形圖案，該帶 形圖案的寬度大于或等于20微米。
6.如權(quán)利要求1所述的絲網(wǎng)印版，其中 絕緣膏劑用于絲網(wǎng)印刷。
7.如權(quán)利要求1所述的絲網(wǎng)印版，其中絲網(wǎng)印版的絲網(wǎng)由每英寸360根至800根不銹鋼絲構(gòu)成，并且在所述印刷區(qū)域中的開(kāi) 口圖案之間的圖案間距在100至400微米的范圍內(nèi)。
8.一種層間絕緣膜，該層間絕緣膜以如下的方式形成在印刷區(qū)域中，即使用絕緣膏 齊U，該絕緣膏劑的粘度利用Brookfield HBT No. 14心軸在IOrpm下測(cè)得為150至350Pa. s， 并且利用如權(quán)利要求1所述的絲網(wǎng)印版通過(guò)絲網(wǎng)印刷方法來(lái)印刷。
9.一種圖像顯示設(shè)備，該圖像顯示設(shè)備具有層疊在有源矩陣電路基板上的圖像顯示元件，所述有源矩陣電路顯示基板包括電路基板，該電路基板具有將二維布置的晶體管和二 極管彼此連接的電布線，所述電路基板具有多層布線，其中，上部電極和下部電極通過(guò)層間絕緣膜在導(dǎo)電材料 填充在層間絕緣膜中形成的開(kāi)口圖案中時(shí)而彼此電連接，所述層間絕緣膜以如下方式形成在印刷區(qū)域中，即利用絕緣膏劑并且利用絲網(wǎng)印版 通過(guò)絲網(wǎng)印刷方法施加該絕緣膏劑，所述絕緣膏劑的粘度利用Brookfield HBT No. 14心軸 在IOrpm下測(cè)得為150至350Pa. s，所述絲網(wǎng)印版用于通過(guò)絲網(wǎng)印刷來(lái)印刷二維排列的開(kāi)口 圖案，所述絲網(wǎng)印版包括虛擬印刷區(qū)域，在該虛擬印刷區(qū)域中，預(yù)定圖案沿著平行于絲網(wǎng)印版的印刷方向的 一條邊的邊緣部分或者平行于絲網(wǎng)印版的印刷方向的兩條邊的邊緣部分單個(gè)或多個(gè)地排 列；全表面印刷區(qū)域，用于執(zhí)行全表面印刷，該全表面印刷區(qū)域在比虛擬印刷區(qū)域更靠近 絲網(wǎng)印版的中心側(cè)的位置處形成為帶形； 印刷區(qū)域，該印刷區(qū)域形成在比全表面印刷區(qū)域更靠近所述中心側(cè)的位置處，并且在 該印刷區(qū)域中二維布置所述開(kāi)口圖案。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種絲網(wǎng)印版，用于通過(guò)絲網(wǎng)印刷來(lái)印刷二維排列的開(kāi)口圖案。所述絲網(wǎng)印版包括虛擬印刷區(qū)域，在該虛擬印刷區(qū)域中，預(yù)定圖案沿著平行于絲網(wǎng)印版的印刷方向的一條邊的邊緣部分或者兩條邊的邊緣部分單個(gè)或多個(gè)地排列；全表面印刷區(qū)域，用于執(zhí)行全表面印刷，該全表面印刷區(qū)域在比虛擬印刷區(qū)域更靠近絲網(wǎng)印版的中心側(cè)的位置處形成為帶形；印刷區(qū)域，該印刷區(qū)域形成在比全表面印刷區(qū)域更靠近所述中心側(cè)的位置處，并且在該印刷區(qū)域中二維布置所述開(kāi)口圖案。
文檔編號(hào)B41F15/36GK102099193SQ2009801278
公開(kāi)日2011年6月15日 申請(qǐng)日期2009年7月14日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月18日
發(fā)明者中島牧人, 村上明繁 申請(qǐng)人:株式會(huì)社理光