專利名稱：印刷裝置以及印刷方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種設(shè)置多個搬送基板的基板搬送裝置，并對通過各個基板搬送裝置 搬送過來的基板印刷焊料糊劑、導(dǎo)電性糊劑等糊劑的技術(shù)。
背景技術(shù)：
以往，為了提高對基板印刷糊劑的工作效率，提出了設(shè)置多個搬送基板的基板搬 送裝置的印刷裝置。例如，在專利文獻(xiàn)1(日本專利公開公報特開2009-70867號，圖6)所記 載的絲網(wǎng)印刷裝置中，設(shè)置有兩臺具備基板搬入部、印刷執(zhí)行部、基板搬出部以及基板移動 臺來執(zhí)行糊劑的印刷的絲網(wǎng)印刷機(jī)。而且，在各個絲網(wǎng)印刷機(jī)中，通過基板搬入部搬入的基 板在基板移動臺被夾持，并定位于掩模板正下方的規(guī)定位置，然后對該基板進(jìn)行糊劑印刷。 如此，對兩張基板能夠獨立進(jìn)行定位以及糊劑的印刷，因此，上述裝置在印刷精度以及輪次 時間方面具有優(yōu)勢。該專利文獻(xiàn)1所記載的絲網(wǎng)印刷裝置在一個基座上設(shè)置兩臺絲網(wǎng)印刷機(jī)，與將作 為裝置整體而獨立工作的兩臺絲網(wǎng)印刷裝置并列設(shè)置時相比結(jié)構(gòu)緊湊。然而，必須設(shè)置兩 套構(gòu)成絲網(wǎng)印刷機(jī)的機(jī)構(gòu)(基板搬入部、印刷執(zhí)行部、基板搬出部以及基板移動臺)，因此 裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，且成本也會變高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述問題，其目的在于提供一種以簡單的結(jié)構(gòu)對多個基板高精度且有 效率地印刷糊劑的印刷裝置以及印刷方法。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種印刷裝置，包括第1基板搬送裝置，將具有 第1被印刷圖案的第1基板沿第1方向搬送；第2基板搬送裝置，將具有第2被印刷圖案的 第2基板沿所述第1方向搬送；印刷臺，用于保持通過所述第1基板搬送裝置搬入的所述第 1基板和通過所述第2基板搬送裝置搬入的所述第2基板；掩模保持裝置，在保持于所述印 刷臺的所述第1基板及所述第2基板的上方，保持具有與所述第1被印刷圖案相對應(yīng)的第1 開口圖案和與所述第2被印刷圖案相對應(yīng)的第2開口圖案的掩模；印刷裝置，通過所述第1 開口圖案將糊劑印刷到所述第1基板的所述第1被印刷圖案上，通過所述第2開口圖案將 糊劑印刷到所述第2基板的所述第2被印刷圖案上；控制裝置，當(dāng)相對于所述第1基板的所 述第1被印刷圖案的位置偏移和相對于所述第2基板的所述第2被印刷圖案的位置偏移之 間的相對差在第1容許范圍以內(nèi)時，使所述印刷裝置對所述第1基板及所述第2基板一并 印刷糊劑，另一方面，當(dāng)所述相對差超過所述第1容許范圍時，使所述印刷裝置先對所述第 1基板印刷糊劑，然后再對所述第2基板印刷糊劑。而且，為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明還提供一種印刷方法，包括以下工序通過第1 基板搬送裝置將具有第1被印刷圖案的第1基板搬送到印刷臺，通過第2基板搬送裝置將 具有第2被印刷圖案的第2基板搬送到印刷臺，并在所述印刷臺保持所述第1基板及所述 第2基板的工序；將具有與所述第1被印刷圖案相對應(yīng)的第1開口圖案和與所述第2被印刷圖案相對應(yīng)的第2開口圖案的掩模設(shè)置在所述印刷臺的上方的工序；求出相對于所述第 1基板的所述第1被印刷圖案的位置偏移和相對于所述第2基板的所述第2被印刷圖案的 位置偏移的相對差的工序；當(dāng)所述相對差在第1容許范圍以內(nèi)時，一并進(jìn)行通過所述第1開 口圖案對所述第1被印刷圖案進(jìn)行的糊劑印刷和通過所述第2開口圖案對所述第2被印刷 圖案進(jìn)行的糊劑印刷，另一方面，當(dāng)所述相對差超過所述第1容許范圍時，先通過所述第1 開口圖案對所述第1被印刷圖案印刷糊劑之后，再通過所述第2開口圖案對所述第2被印 刷圖案印刷糊劑的工序。在上述結(jié)構(gòu)的發(fā)明(印刷裝置以及印刷方法)中，采用了雙軌結(jié)構(gòu)，即設(shè)置有第1 基板搬送裝置以及第2基板搬送裝置，能夠獨立進(jìn)行基板的搬送。而且，基板通過各個基板 搬送裝置被搬入到印刷臺并進(jìn)行糊劑的印刷。在此，當(dāng)相對于第1基板的第1被印刷圖案 的位置偏移與相對于第2基板的第2被印刷圖案的位置偏移之間的相對差(相對精度差) 在第1容許范圍以內(nèi)時，對多個基板一并進(jìn)行糊劑的印刷。即，在印刷臺保持第1基板以及 第2基板，一并同時執(zhí)行對第1基板的第1被印刷圖案的糊劑印刷和對第2基板的第2被 印刷圖案的糊劑印刷。如上所述，在一個印刷臺上能夠?qū)Χ鄠€基板進(jìn)行一并印刷，因此，與 專利文獻(xiàn)1所記載的裝置相比，以簡單的結(jié)構(gòu)，能夠高精度且有效率地進(jìn)行印刷。另外，當(dāng) 相對差超過第1容許范圍時，依次進(jìn)行對第1基板的第1被印刷圖案的糊劑印刷和對第2 基板的第2被印刷圖案的糊劑印刷，因此能夠保證高精度的印刷。在此，如果將表示上述位置偏移的偏移信息圖像附在各個基板，就能夠按照各基 板從偏移信息圖像求出相對于基板的被印刷圖案的位置偏移。對此，較為理想的是，本發(fā)明 的印刷裝置還包括第1拍攝裝置，用于拍攝分別附在所述第1基板及所述第2基板上的、 表示所述位置偏移的偏移信息圖像，其中，所述控制裝置從所述第1拍攝裝置所拍攝的所 述偏移信息圖像獲取所述第1被印刷圖案的位置偏移和所述第2被印刷圖案的位置偏移， 求出所述相對差(相對精度差)。保持在印刷臺的第1基板以及第2基板會出現(xiàn)位置偏移，而兩者之間的相對位置 偏移量(相對偏移量)較大，則難以進(jìn)行一并印刷。對此，較為理想的是，本發(fā)明的印刷裝 置還包括第2拍攝裝置，用于拍攝附在保持于所述印刷臺的所述第1基板上的標(biāo)記和附在 保持于所述印刷臺的所述第2基板上的標(biāo)記，其中，所述控制裝置，在所述相對差在第1容 許范圍以內(nèi)的情況下，進(jìn)一步根據(jù)所述第2拍攝裝置所拍攝的所述標(biāo)記的位置信息求出所 述第1基板的位置偏移及所述第2基板的位置偏移，并且，當(dāng)所述第1基板的位置偏移和所 述第2基板的位置偏移之間的相對位置偏移量超過第2容許范圍時，使所述印刷裝置先對 所述第1基板印刷糊劑，然后再對所述第2基板印刷糊劑。更具體地說，在本發(fā)明的印刷裝 置中，所述控制裝置在所述相對差在第1容許范圍以內(nèi)的情況下，進(jìn)一步根據(jù)所述第2拍攝 裝置所拍攝的所述標(biāo)記的位置信息求出所述第1基板的位置偏移及所述第2基板的位置偏 移，并且，當(dāng)所述相對精度差在第1容許范圍以內(nèi)、且所述第1基板的位置偏移和所述第2 基板的位置偏移之間的相對位置偏移量在第2容許范圍以內(nèi)時，使所述印刷裝置對多個基 板一并進(jìn)行糊劑的印刷，另一方面，當(dāng)所述第1基板的位置偏移和所述第2基板的位置偏移 之間的相對位置偏移量超過第2容許范圍時，使所述印刷裝置先對所述第1基板印刷糊劑， 然后再對所述第2基板印刷糊劑。采用該結(jié)構(gòu)，能夠保證高精度的印刷。在本發(fā)明中，印刷臺也可以包括可動部；第1搬送部，在所述可動部上，將通過所述第1基板搬送裝置搬入的所述第1基板沿所述第1方向搬送；第2搬送部，在所述可動部 上，將通過所述第2基板搬送裝置搬入的所述第2基板沿所述第1方向搬送；定位機(jī)構(gòu)部， 驅(qū)動所述可動部，將所述第1基板及所述第2基板相對于所述掩模進(jìn)行定位。采用上述結(jié) 構(gòu)，與專利文獻(xiàn)1所記載的對各個搬送部設(shè)置定位機(jī)構(gòu)部的裝置相比，其結(jié)構(gòu)簡單，能夠?qū)?現(xiàn)裝置的低成本化以及小型化。在本發(fā)明中，所述印刷裝置也可以采用如下結(jié)構(gòu)，即所述第1基板定位并固定在 第1搬送夾具，所述第2基板定位并固定在第2搬送夾具，其中，所述第1基板搬送裝置將 所述第1基板搬送夾具搬送到所述印刷臺，所述第2基板搬送裝置將所述第2基板搬送夾 具搬送到所述印刷臺，所述控制裝置，使所述印刷臺保持所述第1基板搬送夾具及所述第2 基板搬送夾具，并且使所述印刷裝置對所述第1基板及所述第2基板印刷所述糊劑。如此， 通過搬送夾具定位固定各個基板，則即使基板的外形形狀、尺寸出現(xiàn)偏差，也能夠以搬送夾 具的精度進(jìn)行基板搬送、基板保持，從而能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的印刷。如上所述，本發(fā)明在一個印刷臺保持并固定第1基板以及第2基板。而且，當(dāng)相對 于第1基板的第1被印刷圖案的位置偏移與相對于第2基板的第2被印刷圖案的位置偏移 之間的相對差在第1容許范圍以內(nèi)時，對這些基板進(jìn)行一并印刷。因此，與專利文獻(xiàn)1所記 載的裝置相比，能夠以簡單的結(jié)構(gòu)進(jìn)行高精度且高效率的印刷。


圖1是表示本發(fā)明所涉及的印刷裝置的一實施方式的俯視圖。
圖2是表示設(shè)置掩模的狀態(tài)下的印刷裝置的概略結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
圖3是模式地表示基板、掩模以及刮板的位置關(guān)系的立體圖。
圖4是表示印刷裝置的主要電氣結(jié)構(gòu)的框圖。
圖5是表示圖1的印刷裝置的動作的流程圖。
圖6是表示第1輪流印刷處理動作的流程圖。
圖7是表示第2輪流印刷處理動作的流程圖。
圖8是表示一并印刷處理動作的流程圖。
圖9是模式地表示第1輪流印刷處理的圖。
圖10是模式地表示第2輪流印刷處理的圖。
圖11是模式地表示第2輪流印刷處理的圖。
圖12是模式地表示一并印刷處理的圖。
圖13是表示作為印刷對象的基板的制造方式和被印刷圖案的位置偏移形式之間的關(guān)系的模式圖。
圖14是表示本發(fā)明所涉及的印刷裝置在其它實施方式中使用的搬送夾具的立體圖。
具體實施例方式
圖1是表示本發(fā)明所涉及的印刷裝置的一實施方式的俯視圖，其表示未設(shè)置掩模 的狀態(tài)下的印刷裝置的概略結(jié)構(gòu)。而且，圖2是表示設(shè)置掩模的狀態(tài)下的印刷裝置的概略 結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。圖3是模式地表示基板、掩模以及刮板的位置關(guān)系的立體圖。圖4是表示印刷裝置的主要電氣結(jié)構(gòu)的框圖。在該印刷裝置中，在基座10上設(shè)置有印刷臺20。該印刷 臺20具有在基座10上將基板IA從圖1的右下側(cè)向左下側(cè)搬送的一對搬送部21A、21A。而 且，根據(jù)來自控制組件40的印刷臺控制部43的驅(qū)動指令，使搬送部21A進(jìn)行工作，將基板 IA從X軸方向(第1方向)的右側(cè)向左側(cè)搬送，并且通過擋塊(省略圖示)使基板IA停止 在Y軸方向的前側(cè)固定位置(圖1中的下方中央側(cè)基板IA的位置)并進(jìn)行定位。而且，在 印刷臺20中，在Y軸方向上的搬送部21A的后側(cè)(-Y側(cè))并列設(shè)置有一對搬送部21B、21B。 而且，當(dāng)搬送部21B根據(jù)來自控制組件40的印刷臺控制部43的驅(qū)動指令進(jìn)行運作時，基板 IB在基座10上從圖1的右上側(cè)向左上側(cè)被搬送，并且通過擋塊(省略圖示)停止在Y軸方 向的后側(cè)固定位置(圖1中的上方中央側(cè)基板IB的位置)并被進(jìn)行定位。另外，在各個固 定位置，通過印刷臺20的保持機(jī)構(gòu)部(省略圖示)分別固定并保持基板1A、1B。在本實施方式中，在裝置的右側(cè)面部設(shè)置有搬入傳送帶31A、31B，在裝置的左側(cè)面 部設(shè)置有搬出傳送帶32A、32B。這些傳送帶中的搬入傳送帶31A、31A是為了支撐需要印刷 糊劑的未處理基板IA并沿X軸方向搬送從而將其搬入到印刷臺20而設(shè)置的，搬出傳送帶 32A、32A是為了支撐印刷完畢的基板IA并沿X軸方向搬送而設(shè)置的。而且，在Y軸方向上， 在傳送帶31A的后側(cè)(-Y側(cè))并列設(shè)置有一對搬入傳送帶31B、31B，并且在傳送帶32A的后 側(cè)(-Y側(cè))并列設(shè)置有一對搬出傳送帶32B、32B。而且，搬入傳送帶31B支撐未處理基板IB 并沿X軸方向搬送從而將其搬入到印刷臺20，搬出傳送帶32B支撐印刷完畢的基板IB并 沿X軸方向搬送。如上所述，在本實施方式中，搬入傳送帶31A、31B分別作為本發(fā)明的“第 1基板搬送裝置”、“第2基板搬送裝置”而發(fā)揮作用。當(dāng)印刷臺20移動到后述的搬送位置時，印刷臺20上的搬送部21A定位于搬入傳 送帶31A和搬出傳送帶32A之間，搬送部21B定位于搬入傳送帶31B和搬出傳送帶32B之 間。在印刷臺20定位于搬送位置的狀態(tài)下驅(qū)動搬入傳送帶31A時，印刷處理之前的基板 IA就會被送入設(shè)置在印刷臺20的搬送部21A上。而且，在相同的狀態(tài)下驅(qū)動搬入傳送帶 31B時，印刷處理之前的基板IB就會被送入設(shè)置在印刷臺20的搬送部21B上。在本實施 方式中，印刷臺20的X軸方向的右側(cè)(基板搬入側(cè))采用了具有兩條搬送路的所謂雙軌 (dual-lane)結(jié)構(gòu)，據(jù)此，在Y軸方向的前側(cè)和后側(cè)可獨立地將基板搬入到印刷臺20。另外， 在本實施方式中，在印刷臺20的X軸方向的左側(cè)(基板搬出側(cè))也如后所述采用了雙軌結(jié) 構(gòu)，據(jù)此，在Y軸方向的前側(cè)和后側(cè)也可獨立地將基板從印刷臺20搬出。該印刷臺20具有俯視時呈矩形形狀的可動板22，該可動板22通過驅(qū)動組件群23 可在水平面(XY平面)上進(jìn)行二維移動，且沿上下方向(Z軸方向)進(jìn)行升降移動，并且繞 Z軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(沿R方向的移動)。而且，在可動板22上設(shè)置有上述的搬送部21A、21B、擋 塊、保持機(jī)構(gòu)部、支撐組件對。另外，驅(qū)動組件群23是如上所述使可動板22沿X軸方向、Y 軸方向、Z軸方向以及R方向進(jìn)行移動以進(jìn)行定位的定位機(jī)構(gòu)部。在本實施方式中，該驅(qū)動 組件群23使用以往多用的一般的機(jī)構(gòu)。此外，擋塊以及保持機(jī)構(gòu)部也相同。因此，對上述 驅(qū)動組件群(定位機(jī)構(gòu)部)23、擋塊以及保持機(jī)構(gòu)部的具體結(jié)構(gòu)，省略其說明。支撐組件M設(shè)置在可動板22上。該支撐組件M具備支撐板Ml、多個支撐銷 M2、設(shè)置在支撐板241與可動板22之間并用于升降驅(qū)動支撐板Ml的升降機(jī)構(gòu)部(省略 圖示)。支撐銷242從支撐板241向上方豎立設(shè)置，能夠通過支撐銷242的前端部從下方支 撐基板1A、1B的下面。而且，通過印刷臺控制部43使升降機(jī)構(gòu)部進(jìn)行工作，從而使支撐板241向上方移動，并且使基板1A、1B從搬送部21A、21B上升并定位。另一方面，通過使支撐 板241下降，從而使基板1A、1B從支撐銷242返回到搬送部21A、21B，而且支撐銷242退避 到基板1A、1B的下方。在上述印刷臺20中，通過控制組件40的印刷臺控制部43，可動板22沿X軸方 向、Y軸方向、R方向(繞Z軸轉(zhuǎn)動的方向)進(jìn)行移動，據(jù)此用支撐銷242支撐并用保持機(jī) 構(gòu)部保持的基板1A、1B移動到印刷位置，并相對于掩模51進(jìn)行定位。該掩模51是在掩模 框(掩?？蚣?52的下面?zhèn)荣N上薄板狀的模板(stencil)而成的部件，并且預(yù)先設(shè)置有對 應(yīng)于基板IA的被印刷圖案的開口圖案53a(圖3)和對應(yīng)于基板IB的被印刷圖案的開口圖 案53b (圖幻。而且，上述結(jié)構(gòu)的掩模51，通過掩模夾緊組件50保持掩?？?2而固定設(shè)置 在印刷臺20的上方。而且，從焊料供給組件(省略圖示)供給到掩模51上的焊料糊劑，通 過使刮板組件70的刮板71沿Y軸方向進(jìn)行往復(fù)移動，從而在掩模51上擴(kuò)展。此時，焊料 糊劑通過設(shè)置在掩模51的開口圖案53A、5!3B分別印刷在基板1A、1B的上表面。因此，如后 所述，通過控制刮板71的移動范圍，可將焊料糊劑一并印刷在基板1A、IB上，或者輪流對基 板1A、1B進(jìn)行印刷。在本實施方式中，掩模夾緊組件50作為本發(fā)明的“掩模保持裝置”而 發(fā)揮作用，刮板組件70作為本發(fā)明的“印刷裝置”而發(fā)揮作用。如上所述，對基板1A、1B的糊劑印刷結(jié)束之后，在印刷臺20，根據(jù)來自印刷臺控制 部43的驅(qū)動指令，驅(qū)動組件群23將可動板22定位于搬送位置。在該搬送位置，搬送部21A 定位在搬入傳送帶31A和搬出傳送帶32A之間、且與傳送帶31A、32A相同的高度上，搬送部 21B定位在搬入傳送帶31B和搬出傳送帶32B之間、且與傳送帶31B、32B相同的高度上。在 該定位狀態(tài)下，當(dāng)驅(qū)動搬出傳送帶32A，并驅(qū)動搬送部21A時，如后所述，搬送部21A將經(jīng)過 印刷處理的已處理基板IA搬送到搬出傳送帶32A。同樣，在該定位狀態(tài)下，當(dāng)驅(qū)動搬出傳送 帶32B，并驅(qū)動搬送部21B時，如后所述，搬送部21B將經(jīng)過印刷處理的已處理基板IB搬送 到搬出傳送帶32B。如此，能夠同時或者以不同時間從印刷臺20搬出基板1A、1B。在本實施方式中，如圖3以及圖4所示，設(shè)置有基準(zhǔn)照相機(jī)60，而該基準(zhǔn)照相機(jī)60 通過基準(zhǔn)照相機(jī)驅(qū)動機(jī)構(gòu)63可在印刷臺20和掩模51之間沿X軸方向和Y軸方向進(jìn)行移 動。該基準(zhǔn)照相機(jī)60具有拍攝附在保持于印刷臺20的基板1A、1B的上表面的基準(zhǔn)標(biāo)記 FMUFM2的基板照相機(jī)部61和拍攝附在掩模51下表面的基準(zhǔn)標(biāo)記(省略圖示)的掩模照 相機(jī)部62。而且，根據(jù)來自控制組件40的照相機(jī)控制部44的驅(qū)動指令，基準(zhǔn)照相機(jī)驅(qū)動機(jī) 構(gòu)63使基準(zhǔn)照相機(jī)60沿X軸方向以及Y軸方向進(jìn)行移動。在該移動過程中，基板照相機(jī) 部61拍攝保持在印刷臺20的基板1A、1B的基準(zhǔn)標(biāo)記FM1、FM2，掩模照相機(jī)部62拍攝掩模 51的基準(zhǔn)標(biāo)記，并且所拍攝的圖像數(shù)據(jù)被輸出到照相機(jī)控制部44。如上所述，在本實施方 式中，基板照相機(jī)部61相當(dāng)于本發(fā)明的“第2拍攝裝置”。照相機(jī)控制部44對上述圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行各種圖像處理，并將其輸出至運算處理部 41。運算處理部41由CPU、存儲器等構(gòu)成，根據(jù)來自照相機(jī)控制部44的圖像信息，求出基板 IAUB的固定位置、相對位置偏移量、掩模51的固定位置等，并且執(zhí)行后述的印刷處理。在該實施方式中，前側(cè)待機(jī)位置照相機(jī)64A設(shè)置在搬入傳送帶31A的上方位置，能 夠拍攝通過設(shè)置在搬入傳送帶31A的擋塊(省略圖示)停止移動而處于待機(jī)狀態(tài)的未處理 基板1A。而且，在搬入傳送帶31B側(cè)，與搬入傳送帶31A側(cè)相同，在搬入傳送帶31B的上方 設(shè)置有后側(cè)待機(jī)位置照相機(jī)64B，能夠拍攝處于待機(jī)狀態(tài)的未處理基板1B。這些待機(jī)位置照相機(jī)64A、64B用于拍攝表示相對于基板的被印刷圖案的偏移信息的圖像(下面，稱為“偏 移信息圖像”)MI，并將所拍攝的偏移信息圖像MI輸出至照相機(jī)控制部44。如上所述，待機(jī) 位置照相機(jī)64A、64B相當(dāng)于本發(fā)明的“第1拍攝裝置”，但也可以利用一臺照相機(jī)拍攝基板 1A、1B上的被印刷圖案的偏移信息圖像Ml。另外，該“基板上的被印刷圖案的偏移信息”是 表示形成在基板上表面的被印刷圖案、即需要印刷焊料糊劑的圖案從預(yù)先設(shè)定的圖案位置 偏離多少的信息，在本實施方式中，通過如下方法針對每個基板預(yù)先進(jìn)行測量，并將其結(jié)果 通過QR碼(株式會社DENSO WAVE的注冊商標(biāo))等二維碼進(jìn)行圖像化。基板1A、1B上的被印刷圖案根據(jù)CAD (Computer Aided Design)數(shù)據(jù)進(jìn)行制作，但 是形成在基板上的被印刷圖案的位置有時會偏離CAD數(shù)據(jù)上的被印刷圖案的位置。對此， 在本實施方式中，測量基板IA的被印刷圖案的形成位置，以XY平面內(nèi)的X偏移量XA、Y偏 移量YA、轉(zhuǎn)動量θ A求出相對于基板IA的輪廓(外形)的被印刷圖案的整體位置偏移。另 外，為了提高位置偏移的測量精度，較為理想的是，對整個基板IA的多個點測量各個偏移 量，并將其平均值分別設(shè)定為X偏移量ΧΑ、Υ偏移量ΥΑ、轉(zhuǎn)動量ΘΑ。而且，對于基板1Β，也 與基板IA相同地求出相對于基板IB外形的被印刷圖案的整體位置偏移量(XB、YB, θ B)。 因此，通過拍攝表示上述的偏移量的偏移信息圖像MI并對該偏移信息圖像MI進(jìn)行解析，能 夠正確地讀取各個基板1Α、1Β上的被印刷圖案的偏移信息。即，在本實施方式中，待機(jī)位置 照相機(jī)64Α、64Β所拍攝的偏移信息圖像MI輸出到照相機(jī)控制部44，在照相機(jī)控制部44進(jìn) 行適當(dāng)?shù)膱D像處理，然后輸出到運算處理部41。接著，運算處理部41根據(jù)基板IA上的被印 刷圖案的位置偏移量(ΧΑ、ΥΑ、θ Α)和基板IB上的被印刷圖案的位置偏移量(XB JB、θ B)， 并通過下式運算出基板1Α、1Β上的被印刷圖案的相對偏移信息dX、dY、d θ。dX = XA-XBdY = YA-YBd θ = θ A- θ B另外，由于運算結(jié)果正確地表示形成在基板1Α、1Β上的被印刷圖案的相對偏移， 因此，如后所述，能夠利用于一并印刷與否的判斷基準(zhǔn)。在此，當(dāng)被印刷圖案內(nèi)存在特別要求印刷精度的局部區(qū)域時，可以取代被印刷圖 案的整體位置偏移量，對于各個基板1Α、1Β求出局部區(qū)域圖案的位置偏移量(Χ2Α、Υ2Α、 Θ2Α)、(Χ2Β、Υ2Β、θ 2Β)，并將其作為各個基板1Α、IB上的被印刷圖案的位置偏移量(ΧΑ、 ΥΑ、ΘΑ)、(XB, YB, θ B)。此時，較為理想的是，同樣對局部區(qū)域中的多個點測量各個偏移 量，并將其平均值分別設(shè)定為X偏移量Χ2Α、Χ2Β、Υ偏移量Υ2Α、Υ2Β、轉(zhuǎn)動量θ 2k、θ 2Β。而 且，也可以組合被印刷圖案的整體位置偏移量和局部區(qū)域的位置偏移量作為各個基板ΙΑ、 IB上的被印刷圖案的位置偏移量(ΧΑ、ΥΑ、θ A)、(ΧΒ,ΥΒ, θ B)。例如，當(dāng)設(shè)各個基板1Α、IB 上的被印刷圖案的整體位置偏移量為(Χ1Α、Υ1Α、θ 1Α)、(Χ1Β、Υ1Β、θ IB)時，可通過下式設(shè) 定各個基板IAUB上的被印刷圖案的位置偏移量(ΧΑ、ΥΑ、θ Α)、(ΧΒ,ΥΒ, θ B)。XA = Χ1Α+Χ2ΑYA = Υ1Α+Υ2Αθ A = θ IA+ θ 2ΑXB = Χ1Β+Χ2ΒYB = Υ1Β+Υ2Β
θ B = θ IB+ θ 2Β在上述結(jié)構(gòu)的印刷裝置中，如圖4所示，設(shè)置有用于控制整個印刷裝置的控制組 件40。該控制組件40具有運算處理部41、程序存儲部42、印刷臺控制部43、照相機(jī)控制部 44。該運算處理部41，按照預(yù)先存儲在程序存儲部42的印刷程序控制印刷裝置各部，反復(fù) 進(jìn)行印刷處理(第1輪流印刷處理、第2輪流印刷處理以及一并印刷處理)。而且，印刷臺 控制部43對組裝在印刷臺20的各種電動機(jī)或者氣缸等致動器進(jìn)行控制，使搬送部21Α、2IB 進(jìn)行基板1Α、1Β的搬入和搬出、以及相對于掩模51的基板1Α、1Β的定位。而且，照相機(jī)控 制部44對上述的待機(jī)位置照相機(jī)64Α、64Β、基板照相機(jī)61、掩模照相機(jī)部62所拍攝的圖像 數(shù)據(jù)進(jìn)行指定的圖像處理，從而獲取偏移信息、關(guān)于基板1Α、IB的位置信息、關(guān)于掩模51的 位置信息。另外，圖4中的顯示/操作組件45用于顯示印刷程序或者錯誤信息等、以及工 作人員對控制組件40輸入的各種數(shù)據(jù)和指令等信息。接著，參照圖5至圖12說明上述結(jié)構(gòu)的印刷裝置的動作。圖5至圖8是表示印刷 裝置的動作的流程圖。圖9是模式地表示第1輪流印刷處理的圖，圖10以及圖11是模式 地表示第2輪流印刷處理的圖，圖12是模式地表示一并印刷處理的圖。在該印刷裝置設(shè)置 有2臺搬入傳送帶31Α、31Β，在搬入傳送帶31Α、31Β上，印刷之前的未處理基板1Α、1Β的前 端部(圖1中為左端部)抵接在擋塊(省略圖示)而處于待機(jī)狀態(tài)。接著，控制組件40按 照印刷程序?qū)τ∷⒀b置各部進(jìn)行控制，如下所述地進(jìn)行未處理基板的搬入、印刷以及搬出。在未處理基板1Α、IB處于待機(jī)狀態(tài)時，前側(cè)待機(jī)位置照相機(jī)64Α拍攝在搬入傳送 帶31Α上待機(jī)的未處理基板IA的偏移信息圖像MI，而且后側(cè)待機(jī)位置照相機(jī)64Β拍攝在 搬入傳送帶31Β上待機(jī)的未處理基板IB的偏移信息圖像MI (步驟Si)。運算處理部41根 據(jù)所拍攝的基板1Α、1Β的偏移信息圖像MI分別求出基板1Α、1Β的偏移信息，并算出基板 1Α、1Β之間的相對精度差(相對差)(步驟S2)。更加具體而言，運算處理部41如上所述地 運算出基板IAUB上的被印刷圖案的相對偏移信息dX( = XA-XB)、dY( = YA-YB)、(！ θ (= 0八-0 8)，并將這些偏移信息(^、(^、(10作為相對精度差存儲在存儲器中。當(dāng)該相對精度 差較大時，如后所述，在印刷臺20保持基板1A、IB時，基板1A、IB上的被印刷圖案較大地偏 離。因此，例如將基板IA的被印刷圖案相對于掩模51的開口圖案53a進(jìn)行定位，則基板IB 的被印刷圖案與掩模51的開口圖案5 之間就會出現(xiàn)較大的偏離。對此，在本實施方式中， 在印刷臺20上進(jìn)行焊料糊劑的印刷之前，先判斷相對精度差dX、dY、d θ是否在容許值Χ0、 Υ0、θ 0以下(步驟S3)。接著，當(dāng)該判斷結(jié)果為“否”時，即相對精度差dX、dY、d θ超過容 許范圍(第1容許范圍)時，執(zhí)行后述的第1輪流印刷處理(步驟S4)，輪流對基板1Α、1Β 進(jìn)行焊料糊劑的印刷。另一方面，當(dāng)在步驟S3判斷為相對精度差dX、dY、de在容許范圍以內(nèi)時，基板1A、 IB分別從搬入傳送帶31A、3IB搬送到印刷臺20的搬送部21A、21B。此時，印刷臺20定位于 上述搬送位置，設(shè)置在搬送部21A、21B的擋塊被定位成從基板的搬送路徑向上方突出。接 著，通過搬送部21A、21B搬送來的基板1A、IB分別被擋塊卡止從而在固定位置停止移動，之 后通過印刷臺20的保持機(jī)構(gòu)而被固定(步驟S5)。在下一個步驟S6，通過基準(zhǔn)照相機(jī)驅(qū)動機(jī)構(gòu)63使基準(zhǔn)照相機(jī)60沿X軸方向以及 Y軸方向進(jìn)行移動，并在該移動過程中，基板照相機(jī)部61拍攝基板1A、1B的基準(zhǔn)標(biāo)記FM1、 FM2。運算處理部41根據(jù)所拍攝的基準(zhǔn)標(biāo)記FMl、FM2求出基板1A、1B的固定位置，并且求出在水平面內(nèi)的距預(yù)先設(shè)定的固定位置的位置偏移量(固定位置偏移量)，以此算出基板 1A、IB之間的相對的位置偏移量(相對位置偏移量)(步驟S7)。例如，從基準(zhǔn)標(biāo)記FM1、FM2 求出基板IA的固定位置偏移量XSA、YSA、θ SA和基板IB的固定位置偏移量XSB、YSB、θ SB 后，根據(jù)下式運算出相對位置偏移量。dXS = XSA-XSBdYS = YSA-YSBd θ S = θ SA- θ SB在此，當(dāng)保持并固定在印刷臺20的基板1A、1B之間存在較大的位置偏移時，例如 當(dāng)將基板IA對掩模51進(jìn)行定位時，基板IB相對于掩模51較大地偏離。對此，在本實施方 式中，在印刷臺20上進(jìn)行焊料糊劑的印刷之前，先判斷相對位置偏移量dXS( = XSA-XSB)、 dYS( = YSA-YSB)、d θ S( = θ SA- θ SB)是否在容許值 XSO、YSO、θ SO 以下(步驟 S8)。接 著，當(dāng)該判斷結(jié)果為“否”時，即相對位置偏移量超過容許值(第2容許范圍)時，執(zhí)行后述 的第2輪流印刷處理(步驟S9)，在印刷臺20上搭載基板1Α、IB的狀態(tài)下，對基板1Α、IB輪 流進(jìn)行焊料糊劑的印刷。另一方面，當(dāng)在步驟S8判斷為相對位置偏移量在容許值以內(nèi)時，則對保持并固定 在印刷臺20的基板1Α、1Β —并進(jìn)行焊料糊劑的印刷(步驟S 10 一并印刷處理)。下面，對上述“第1輪流印刷處理”、“第2輪流印刷處理”以及“一并印刷處理”進(jìn) 行詳細(xì)說明。(第1輪流印刷處理)圖6是表示第1輪流印刷處理動作的流程圖。在該第1輪流印刷處理中，如圖6 以及圖9所示，使設(shè)置在搬入傳送帶31Α、31Β的擋塊中的搬入傳送帶31Α的擋塊退避到搬 入傳送帶31Α的基板IA搬送路的下方，僅將基板IA搬送到印刷臺20的搬送部21Α。在印 刷臺20，通過搬送部2IA搬送來的基板IA被擋塊卡止從而在固定位置停止移動，之后，如圖 9(a)的下段所示，通過印刷臺20的保持機(jī)構(gòu)部被固定(步驟S401)。然后，通過基準(zhǔn)照相機(jī)驅(qū)動機(jī)構(gòu)63使基準(zhǔn)照相機(jī)60沿X軸方向以及Y軸方向進(jìn) 行移動，并在該移動過程中，由基板照相機(jī)部61拍攝基板IA的基準(zhǔn)標(biāo)記FM1、FM2，由掩模照 相機(jī)部62拍攝掩模51的基準(zhǔn)標(biāo)記(省略圖示)(步驟S4(^)。運算處理部41根據(jù)所拍攝 的基準(zhǔn)標(biāo)記FMl、FM2算出水平面內(nèi)的基板IA和掩模51的相對位置關(guān)系。接著，根據(jù)計算 結(jié)果使印刷臺20沿X軸方向、Y軸方向以及R方向進(jìn)行移動，修正在水平面內(nèi)的相對于掩 模51的基板IA的位置，以使掩模51下表面的基準(zhǔn)標(biāo)記和基板IA的基準(zhǔn)標(biāo)記FM1、FM2 一 致。而且，當(dāng)開始相對于掩模51的基板IA的定位時，同時使可動板22上升，使基板IA朝 向印刷位置上升，并在相對于掩模51的基板IA的定位結(jié)束的狀態(tài)下，使基板IA緊貼于掩 模51的下表面(步驟S403)。然后，對掩模51的上表面供給糊狀焊料等糊劑P，一邊控制 印刷負(fù)載、移動速度，一邊使刮板71開始向Y軸方向的后側(cè)進(jìn)行移動(步驟S404)。接著， 如圖9 (b)所示，當(dāng)刮板71通過掩模51的開口圖案53a將糊劑P印刷在基板IA上表面的 被印刷圖案上(步驟S405)時，停止刮板71的移動(步驟S406)。此時，刮板71以及掩模 51上表面的糊劑P位于開口圖案53a和5 之間。如上所述地對基板IA印刷完糊劑之后，通過印刷臺控制部43使可動板22下降， 并且使可動板22返回為了將基板IA相對于掩模51進(jìn)行定位而使可動板22移動的距離以使其返回到原來的位置。接著，印刷臺20移動到搬送位置(步驟S407)。然后，如圖9(c) 下段所示，解除保持機(jī)構(gòu)部對基板IA的保持，接著使支撐板241下降，將基板IA從支撐銷 242移載到搬送部21A，而且讓支撐銷242退避到基板IA的下方。由此，通過搬送部21A將 返回到搬送部21A上的印刷完畢基板IA搬送到搬出傳送帶32A (步驟S408)。當(dāng)基板IA從印刷臺20搬出時，與上述基板IA同樣地將基板IB搬入印刷臺20進(jìn) 行糊劑的印刷，然后搬出到搬出傳送帶32B(步驟S409至S416)。另外，基板IB的搬入、糊 劑的印刷以及搬出處理，除了基板搬送路不同之外與基板IA的一系列處理相同，因而在此 省略對其動作的說明。如上所述，根據(jù)第1輪流印刷處理(步驟S4)，即使在相對精度差dX、dY、d θ超過 容許范圍而基板1Α、1Β上的被印刷圖案之間存在較大的偏離的情況下，也能夠?qū)Ω鱾€基板 IAUB高精度地將糊劑P印刷到被印刷圖案上。(第2輪流印刷處理)圖7是表示第2輪流印刷處理動作的流程圖。開始第2輪流印刷處理(步驟S9) 時，如圖10 (a)所示，在印刷臺20上有兩張基板1A、IB分別固定在固定位置，然而，如上所 述，在基板1A、1B之間存在較大的位置偏移。對此，按照圖7所示工作流程，控制裝置各部。 首先，解除保持機(jī)構(gòu)部對基板IB的固定(步驟S901)，然后根據(jù)在步驟S6、S7已獲取的關(guān) 于掩模51下表面的基準(zhǔn)標(biāo)記和基板IA的基準(zhǔn)標(biāo)記FM1、FM2相關(guān)的位置信息，使印刷臺20 沿X軸方向、Y軸方向以及R方向進(jìn)行移動并修正在水平面內(nèi)的相對于掩模51的基板IA的 位置，以使掩模51下表面的基準(zhǔn)標(biāo)記和基板IA的基準(zhǔn)標(biāo)記FM1、FM2 —致。而且，當(dāng)開始基 板IA相對于掩模51的定位時，同時使可動板22上升，以使基板IA朝向印刷位置上升，并 在相對于掩模51的基板IA的定位結(jié)束的狀態(tài)下，使基板IA緊貼于掩模51的下表面(步 驟S9(^)。然后，與第1輪流印刷處理的步驟S404至S408同樣地進(jìn)行對基板IA的糊劑的 印刷、基板IA的搬出(步驟S903至S907 ；圖10(b)、(c))。當(dāng)基板IA從印刷臺20搬出時，如圖11(a)所示，通過印刷臺20的保持機(jī)構(gòu)部再 次固定留在印刷臺20的未處理基板IB(步驟S908)。由于對基板IB進(jìn)行再次固定，因此 基板IB的位置可能會移動。對此，在本實施方式中，通過基準(zhǔn)照相機(jī)驅(qū)動機(jī)構(gòu)63使基準(zhǔn)照 相機(jī)60沿X軸方向以及Y軸方向進(jìn)行移動，并在該移動過程中，由基板照相機(jī)部61拍攝基 板IB的基準(zhǔn)標(biāo)記FMl、FM2 (步驟S909)。運算處理部41根據(jù)所拍攝的基準(zhǔn)標(biāo)記FMl、FM2 算出在水平面內(nèi)的基板IB和掩模51的相對位置關(guān)系。接著，根據(jù)計算結(jié)果使印刷臺20沿 X軸方向、Y軸方向以及R方向進(jìn)行移動，并修正在水平面內(nèi)的相對于掩模51的基板IB的 位置，以使掩模51下表面的基準(zhǔn)標(biāo)記和基板IB的基準(zhǔn)標(biāo)記FM1、FM2 —致。而且，當(dāng)開始基 板IB相對于掩模51的定位時，同時使可動板22上升，以使基板IB朝向印刷位置上升，并 在相對于掩模51的基板IB的定位結(jié)束的狀態(tài)下，使基板IB緊貼于掩模51的下表面(步 驟S910)。然后，再次驅(qū)動停止在開口圖案53a和5 之間的刮板71。即，使刮板71開始 向Y軸方向的后側(cè)進(jìn)行移動(步驟S911)。接著，如圖11(b)所示，當(dāng)刮板71通過掩模51 的開口圖案5 將糊劑P印刷在基板IB上表面的被印刷圖案上(步驟S9U)時，停止刮板 71的移動(步驟S913)。此時，刮板71以及掩模51上表面的糊劑P位于開口圖案53b的 Y軸方向后側(cè)。對基板IB印刷完糊劑之后，與上述基板IA同樣地將基板IB搬出到搬出傳送帶32B (步驟 S914、S915)。如上所述，根據(jù)上述的第2輪流印刷處理(步驟S9)，即使在印刷臺20上搭載有2 張基板1A、1B且基板1A、1B存在較大的位置偏移的情況下，也能夠?qū)⒑齽㏄高精度地印刷 到基板1A、1B的被印刷圖案上。(一并印刷處理)圖8是表示一并印刷處理動作的流程圖。當(dāng)開始該一并印刷處理(步驟S10)時， 相對位置偏移量在容許值以下，2張基板1A、1B之間不存在較大的位置偏移且固定在印刷 臺20。而且，相對精度差dX、dY、de分別在容許值Χ0、Υ0、θο以下。因此，相對于掩模51 能夠容易且高精度地將基板1Α、1Β進(jìn)行定位。更加具體而言，根據(jù)已算出的各種信息(關(guān) 于掩模51下表面的基準(zhǔn)標(biāo)記和基板1Α、1Β的基準(zhǔn)標(biāo)記FM1、FM2的位置信息、相對位置偏移 量，偏移信息等)使印刷臺20沿X軸方向、Y軸方向以及R方向進(jìn)行移動，并修正在水平面 內(nèi)的相對于掩模51的基板1A、1B的位置，以使掩模51下表面的基準(zhǔn)標(biāo)記和基板1A、1B的 基準(zhǔn)標(biāo)記FM1、FM2相一致。而且，當(dāng)開始基板1A、1B相對于掩模51的定位時，同時使可動板22上升，以使基 板1A、1B朝向印刷位置上升，并進(jìn)行相對于掩模51的基板IA的定位，換言之，在開口圖案 53a,53b分別與基板1A、1B的被印刷圖案重疊的狀態(tài)下，使基板1A、1B緊貼于掩模51的下 表面(步驟S101)。接著，對掩模51的上表面供給糊劑P，一邊控制印刷負(fù)載、移動速度，一邊使刮板 71開始向Y軸方向的后側(cè)進(jìn)行移動(步驟S102)。接著，如圖12(b)所示，當(dāng)刮板71通過掩 模51的開口圖案53a、5;3b將糊劑P印刷在基板1A、IB上表面的被印刷圖案上(步驟S103) 時，停止刮板71的移動(步驟S104)。此時，刮板71以及掩模51上表面的糊劑P位于開口 圖案53b的Y軸方向后側(cè)。對基板1A、1B —并印刷完糊劑之后，通過印刷臺控制部43使可動板22下降移動， 且使可動板22返回為了將基板1A、IB相對于掩模51進(jìn)行定位而移動的距離以使其返回到 原來的位置。接著，印刷臺20移動到搬送位置(步驟S105)。然后，如圖12(c)下段所示， 解除保持機(jī)構(gòu)部對基板1A、1B的保持，接著使支撐板241下降，將基板1A、1B從支撐銷242 分別移載到搬送部21A、21B，且讓支撐銷242退避到基板1A、1B的下方。接著，通過搬送部 21A將如上所述地返回到搬送部21A的印刷完畢基板IA搬送至搬出傳送帶32A，通過搬送 部21B將返回到搬送部21B的印刷完畢基板IB搬送至搬出傳送帶32B (步驟S106)。如上所述，采用本實施方式，由于采用了對一個印刷臺20設(shè)置互不相同的兩條搬 送路(即，傳送帶31A、21A、32A的搬送路徑和傳送帶31B、21B、32B的搬送路徑)的所謂的 雙軌結(jié)構(gòu)，因而在該印刷臺20能夠固定兩張基板1A、1B。而且，當(dāng)同時滿足下面2個條件 (1)、(2)時，通過刮板的一次移動，一并對基板1A、1B進(jìn)行糊劑的印刷。條件(1)相對于基板IA的被印刷圖案的位置偏移和相對于基板IB的被印刷圖 案的位置偏移的相對差(相對精度差)在容許范圍以內(nèi)。條件O)固定在印刷臺20的基板1A、1B的相對的位置偏移量(相對位置偏移量) 在容許值以下。因此，與日本專利文獻(xiàn)1所記載的裝置相比，能夠以簡單的結(jié)構(gòu)，高精度且有效率 地進(jìn)行印刷。
而且，在本實施方式中，當(dāng)不滿足上述條件(1)時，執(zhí)行第1輪流印刷處理(步驟 S4)，當(dāng)不滿足上述條件(2)時，執(zhí)行第2輪流印刷處理(步驟S9)，從而依次對基板IA的被 印刷圖案的糊劑印刷和對基板IB的被印刷圖案的糊劑印刷，因此，即使出現(xiàn)不滿足上述條 件⑴或者條件⑵的情況，也能夠在不降低印刷精度的情況下對基板印刷糊劑。另外，本發(fā)明并不限定于上述實施方式，可在不脫離本發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)適當(dāng)進(jìn) 行除上述實施方式以外的各種變更。例如，在上述實施方式中，通過測量形成在基板上的被 印刷圖案的位置偏移量生成偏移信息，但偏移信息不只限于此，例如，也可以根據(jù)如下作成 偏移信息來進(jìn)行條件(1)的判斷(步驟S3)。在制造基板1A、1B時，與從一張晶片(wafer)制造出多個半導(dǎo)體芯片時相同，例 如，如圖13所示，通常對1張大型基板100—并制造出小型基板(相當(dāng)于基板1A、1B)之后， 從大型基板100切割出各個小型基板1A、1B。當(dāng)如上所述地形成基板1A、1B時，根據(jù)基板形 成時的各個小型基板1A、1B的位置，被印刷圖案的位置偏移通常有如下傾向。例如，從大型 基板100的前側(cè)(圖13的下側(cè))向后側(cè)(圖13的上側(cè))形成被印刷圖案時，位于大型基 板100前側(cè)的小型基板，其歪扭量較小。與此相反，隨著形成方向歪扭量逐漸變大，而且歪 扭方向在圖13的左右方向上也不同。因此，根據(jù)基板形成時的各個基板1A、1B的位置，將 偏移量劃分為以下的A、BR、BC、BL、CR、CL的等級，當(dāng)制造基板1A、1B時，將上述等級信息作 為“基板上的被印刷圖案的偏移信息”反映于偏移信息圖像Ml。Α:歪扭量小的等級BR 歪扭量為中，相對于形成方向偏向右后側(cè)的等級BC 歪扭量為中，偏向形成方向后側(cè)的等級BL 歪扭量為中，相對于形成方向偏向左后側(cè)的等級CR 歪扭量為大，相對于形成方向偏向右后側(cè)的等級CL 歪扭量為大，相對于形成方向偏向左后側(cè)的等級此時，通過拍攝偏移信息圖像MI并對該偏移信息圖像MI進(jìn)行解析，能夠正確地讀 取各個基板1A、1B的等級，并且通過等級的組合(基板IA的等級、基板IB的等級)能夠正 確地求出形成在基板1A、1B的被印刷圖案的相對偏移。例如，組合為(A、A)、(BC、BC)、(BR、 BR)、(CR、CR)等時，相對于基板IA的被印刷圖案的位置偏移和相對于基板IB的被印刷圖 案的位置偏移的相對差(相對精度差)較小，可判斷為在容許范圍以內(nèi)。另一方面，當(dāng)組合 為(CR、CL)等時，相對精度差較大，可判斷為超過了容許范圍。而且，在上述實施方式中，在同時滿足條件(1)和條件O)時才進(jìn)行一并印刷處 理，然而，當(dāng)基板1A、1B的個體差引起的基板外形的形狀、尺寸的偏差較小且固定位置上的 基板1A、1B的位置偏移較小時，只要滿足條件(1)，即可進(jìn)行一并印刷處理。另一方面，由于基板1A、1B的個體差會引起基板外形的形狀、尺寸出現(xiàn)偏差，因而 保持機(jī)構(gòu)部對基板進(jìn)行固定時無法得到足夠的反復(fù)精度，有時難以進(jìn)行穩(wěn)定的一并印刷。 對此，如圖14所示，可以使用與基板1A、IB相對應(yīng)的搬送夾具90。該搬送夾具90外形的形 狀、尺寸的精度是能夠保證的。而且，搬送夾具90的上表面中央部形成有與基板1A、1B相 同或者稍大的凹部91，基板1A、1B正好嵌入于該凹部91中。而且，在凹部91內(nèi)底面的與設(shè) 置在基板1A、1B的既定位置上的定位孔10a、10b相對應(yīng)的位置上，分別豎立設(shè)置有定位銷 92a、92b。另外，銷92a、92b的自凹部91的內(nèi)底面的高度在基板1A、1B的厚度以下。因此，當(dāng)將定位銷92a、92b分別插入基板1A、1B的定位孔10a、10b從而使基板1A、1B插入到凹部 91時，基板1A、1B相對于搬送夾具90正確地進(jìn)行定位并且與之成為一體。因此，只要連同 搬送夾具90 —起將基板1A、1B搬送到印刷臺20，并且通過保持機(jī)構(gòu)部進(jìn)行固定，即使基板 1A、1B外形的形狀、尺寸出現(xiàn)偏差，也能夠以足夠的反復(fù)精度將基板1A、1B固定于印刷臺20 上。其結(jié)果，能夠穩(wěn)定地對基板1A、1B進(jìn)行糊劑印刷。而且，在上述實施方式中，將本發(fā)明適用于利用一個刮板71進(jìn)行移動而執(zhí)行糊劑 印刷的印刷裝置，然而，本發(fā)明也可以適用于利用兩根以上刮板進(jìn)行移動而執(zhí)行糊劑印刷 的印刷裝置。此外，在上述實施方式中，將本發(fā)明適用于具有兩條搬送路的雙軌方式的印刷裝 置，然而，本發(fā)明也可以適用于設(shè)置有三條以上搬送路的印刷裝置，而且能夠獲得與上述實 施方式相同的作用效果。即，在設(shè)置有三條以上搬送路的印刷裝置中，與上述實施方式同樣 地對所有搬送路的基板一并進(jìn)行印刷，由此能夠進(jìn)行高精度且有效率的印刷。而且，不僅 可對所有搬送路的基板一并進(jìn)行印刷，而且也可以對所有搬送路中的一部分的多個搬送路 (兩條或者三條以上搬送路)的基板一并進(jìn)行印刷。
權(quán)利要求
1. 一種印刷裝置，其特征在于包括第1基板搬送裝置，將具有第1被印刷圖案的第1基板沿第1方向搬送； 第2基板搬送裝置，將具有第2被印刷圖案的第2基板沿所述第1方向搬送； 印刷臺，用于保持通過所述第1基板搬送裝置搬入的所述第1基板和通過所述第2基 板搬送裝置搬入的所述第2基板；掩模保持裝置，在保持于所述印刷臺的所述第1基板及所述第2基板的上方，保持具有 與所述第1被印刷圖案相對應(yīng)的第1開口圖案和與所述第2被印刷圖案相對應(yīng)的第2開口 圖案的掩模；印刷裝置，通過所述第1開口圖案將糊劑印刷到所述第1基板的所述第1被印刷圖案 上，通過所述第2開口圖案將糊劑印刷到所述第2基板的所述第2被印刷圖案上；控制裝置，當(dāng)相對于所述第1基板的所述第1被印刷圖案的位置偏移和相對于所述第 2基板的所述第2被印刷圖案的位置偏移之間的相對差在第1容許范圍以內(nèi)時，使所述印 刷裝置對所述第1基板及所述第2基板一并印刷糊劑，另一方面，當(dāng)所述相對差超過所述第 1容許范圍時，使所述印刷裝置先對所述第1基板印刷糊劑，然后再對所述第2基板印刷糊 劑。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的印刷裝置，其特征在于還包括第1拍攝裝置，用于拍攝分別附在所述第1基板及所述第2基板上的、表示所述位置偏 移的偏移信息圖像，其中，所述控制裝置，從所述第1拍攝裝置所拍攝的所述偏移信息圖像獲取所述第1被印刷 圖案的位置偏移和所述第2被印刷圖案的位置偏移，求出所述相對差。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的印刷裝置，其特征在于還包括第2拍攝裝置，用于拍攝附在保持于所述印刷臺的所述第1基板上的標(biāo)記和附在保持 于所述印刷臺的所述第2基板上的標(biāo)記，其中，所述控制裝置，在所述相對差在第1容許范圍以內(nèi)的情況下，進(jìn)一步根據(jù)所述第2拍攝 裝置所拍攝的所述標(biāo)記的位置信息求出所述第1基板的位置偏移及所述第2基板的位置偏 移，并且，當(dāng)所述第1基板的位置偏移和所述第2基板的位置偏移之間的相對位置偏移量超 過第2容許范圍時，使所述印刷裝置先對所述第1基板印刷糊劑，然后再對所述第2基板印 刷糊劑。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的印刷裝置，其特征在于，所述印刷臺包括 可動部；第1搬送部，在所述可動部上，將通過所述第1基板搬送裝置搬入的所述第1基板沿所 述第1方向搬送；第2搬送部，在所述可動部上，將通過所述第2基板搬送裝置搬入的所述第2基板沿所 述第1方向搬送；定位機(jī)構(gòu)部，驅(qū)動所述可動部，將所述第1基板及所述第2基板相對于所述掩模進(jìn)行定位。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的印刷裝置，其特征在于所述第1基板定位并固定在第1搬送夾具，所述第2基板定位并固定在第2搬送夾具， 其中，所述第1基板搬送裝置將所述第1基板搬送夾具搬送到所述印刷臺，所述第2基板搬 送裝置將所述第2基板搬送夾具搬送到所述印刷臺，所述控制裝置，使所述印刷臺保持所述第1基板搬送夾具及所述第2基板搬送夾具，并 且使所述印刷裝置對所述第1基板及所述第2基板印刷所述糊劑。
6. 一種印刷方法，其特征在于包括以下工序通過第1基板搬送裝置將具有第1被印刷圖案的第1基板搬送到印刷臺，通過第2基 板搬送裝置將具有第2被印刷圖案的第2基板搬送到印刷臺，并在所述印刷臺保持所述第 1基板及所述第2基板的工序；將具有與所述第1被印刷圖案相對應(yīng)的第1開口圖案和與所述第2被印刷圖案相對應(yīng) 的第2開口圖案的掩模設(shè)置在所述印刷臺的上方的工序；求出相對于所述第1基板的所述第1被印刷圖案的位置偏移和相對于所述第2基板的 所述第2被印刷圖案的位置偏移的相對差的工序；當(dāng)所述相對差在第1容許范圍以內(nèi)時，一并進(jìn)行通過所述第1開口圖案對所述第1被 印刷圖案進(jìn)行的糊劑印刷和通過所述第2開口圖案對所述第2被印刷圖案進(jìn)行的糊劑印 刷，另一方面，當(dāng)所述相對差超過所述第1容許范圍時，先通過所述第1開口圖案對所述第1 被印刷圖案印刷糊劑之后，再通過所述第2開口圖案對所述第2被印刷圖案印刷糊劑的工 序。
全文摘要
本發(fā)明提供一種印刷裝置以及印刷方法。本發(fā)明采用所謂的雙軌結(jié)構(gòu)，即對一個印刷臺(20)設(shè)置有互不相同的兩條搬送軌道(即，傳送帶(31A、21A、32A)的搬送路和傳送帶(31B、21B、32B)的搬送路)，可在該印刷臺(20)固定兩張基板(1A、1B)。當(dāng)相對于基板(1A)的被印刷圖案的位置偏移和相對于基板(1B)的被印刷圖案的位置偏移的相對差(相對精度差)在容許范圍以內(nèi)時，通過刮板的一次移動，一并對基板(1A、1B)印刷糊劑。據(jù)此，以簡單的結(jié)構(gòu)，能夠高精度且有效率地對多個基板印刷糊劑。
文檔編號B41F15/16GK102133807SQ2011100268
公開日2011年7月27日 申請日期2011年1月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月22日
發(fā)明者加藤寬, 西城洋志 申請人:雅馬哈發(fā)動機(jī)株式會社