專利名稱：液體噴射頭、液體噴射頭單元以及液體噴射裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及從噴嘴噴射液體的液體噴射頭、液體噴射頭單元以及液體噴射裝置。
背景技術(shù)：
以往，公知有通過壓電元件對(duì)液體提供壓力來從噴嘴噴出液滴的液體噴射頭，其中，所述壓電元件通過施加電壓而變形，作為所述液體噴射頭的代表例公知有從噴嘴噴出墨滴的噴墨式記錄頭。作為這樣的噴墨式記錄頭公知例如下述的噴墨式記錄頭，該記錄頭包括在一個(gè)面上接合穿設(shè)有多個(gè)噴嘴的噴嘴板并且分別與各噴嘴連通的多個(gè)壓力產(chǎn)生室；各壓力產(chǎn)生室的共用墨水室(manifold，岐管)；改變壓力產(chǎn)生室內(nèi)的壓力來對(duì)噴嘴提供墨水噴出力的壓電振子(壓電元件)；以及設(shè)置在與共用墨水室相對(duì)的區(qū)域并吸收共用墨水室的液體的壓力變動(dòng)的阻尼用凹部(空間部)(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。在上述的噴墨式記錄頭中，為了防止阻尼用凹部內(nèi)的壓力降低，阻尼用凹部被構(gòu)成為開放在大氣中。因此，墨水中的水分從阻尼用凹部蒸發(fā)，墨水的粘度上升，由此有時(shí)會(huì)發(fā)生噴出不良。因此，通過使多個(gè)阻尼用凹部和開放通路連通并且形成施加了抑制水蒸氣擴(kuò)散的流路阻力的控制通路，由此抑制過量的水蒸氣擴(kuò)散。然而，隨著對(duì)于墨水的高粘度化以及長時(shí)間維持良好的墨水噴出特性的需求，要求比以往進(jìn)一步抑制液體成分的蒸發(fā)。這樣的問題不僅存在于噴墨式記錄頭，同樣存在于噴出液體的液體噴射頭。本發(fā)明是鑒于這樣的問題而完成的，其目的在于提供一種能夠長期維持良好的噴出特性的液體噴射頭、液體噴射頭單元以及液體噴射裝置。

發(fā)明內(nèi)容
作為本發(fā)明的一個(gè)方式具有以下的液體噴射頭。即，所述液體噴射頭包括岐管形成基板，其具有多個(gè)歧管，所述歧管被構(gòu)成為向與噴嘴連通的壓力產(chǎn)生室供應(yīng)液體；壓電元件，其被構(gòu)成為使所述壓力產(chǎn)生室內(nèi)的液體產(chǎn)生壓力變化；密封基板，其具有振動(dòng)部，所述振動(dòng)部被構(gòu)成為設(shè)置在與所述岐管相對(duì)的區(qū)域并且吸收所述岐管的液體的壓力變動(dòng)；頭殼體，其具有容納所述壓電元件的壓電元件容納部；大氣開放路徑，其與大氣開放口連通；以及空間部，其設(shè)置在所述振動(dòng)部上，并且經(jīng)由其他空間部與所述大氣開放路徑連通。本發(fā)明的其他方式是具有以下構(gòu)成的液體噴射裝置。即，具有上述的液體噴射頭或液體噴射頭單元的液體噴射裝置。


圖1是涉及本發(fā)明的 一個(gè)實(shí)施方式的噴墨式記錄頭的截面圖；圖2是涉及本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的噴墨式記錄頭殼體的底面圖；圖3的(a)和(b)是涉及本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的噴墨式記錄頭的主要部分的截面圖；圖4是涉及本發(fā)明的其他實(shí)施方式的噴墨式記錄頭殼體的底面圖；圖5是涉及本發(fā)明的其他實(shí)施方式的噴墨式記錄頭殼體的底面圖；圖6是涉及本發(fā)明的其他實(shí)施方式的噴墨式記錄頭殼體的底面圖；圖7是涉及本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的噴墨式記錄裝置的概要圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式。圖1是噴墨式記錄頭的截面圖。如圖1 3所示，本實(shí)施方式的噴墨式記錄頭(以下簡稱為“記錄頭”)100包括 具有壓力產(chǎn)生室11的流路形成基板10、穿設(shè)有與各壓力產(chǎn)生室11連通的多個(gè)噴嘴21的噴嘴板20、以及與在流路形成基板10上的與噴嘴板20相反側(cè)的面接合的振動(dòng)部件(密封基板)15。另外，本實(shí)施方式的記錄頭100包括壓電元件單元30，其具有多個(gè)壓電元件35， 壓電元件35被設(shè)置在振動(dòng)部件15上的與各壓力產(chǎn)生室11對(duì)應(yīng)的區(qū)域；以及殼體40，經(jīng)由振動(dòng)部件15與流路形成基板10的一個(gè)面接合。另外，在本實(shí)施方式中，在流路形成基板10 上形成有成為各壓力產(chǎn)生室11的共用液室的岐管13，流路形成基板10也成為了岐管形成基板。在流路形成基板10上，在其一面?zhèn)鹊谋韺硬糠?，在其寬度方向上并列設(shè)置有多個(gè)壓力產(chǎn)生室11，所述壓力產(chǎn)生室11被隔壁劃分。另外，在本實(shí)施方式中，由并列設(shè)置的多個(gè)壓力產(chǎn)生室11構(gòu)成的列形成有2列。另外，在各壓力產(chǎn)生室11的列的外側(cè)，每個(gè)經(jīng)由殼體40的作為液體導(dǎo)入路徑的墨水導(dǎo)入路徑41來供應(yīng)墨水的岐管13以在厚度方向貫穿流路形成基板10而分別地被設(shè)置。另外，岐管13和各壓力產(chǎn)生室11經(jīng)由墨水供應(yīng)路徑12被連通，經(jīng)由墨水導(dǎo)入路徑41、岐管13以及墨水供應(yīng)路徑12對(duì)各壓力產(chǎn)生室11供應(yīng)墨水。在本實(shí)施方式中，墨水供應(yīng)路徑12以比壓力產(chǎn)生室11窄的寬度被形成，起到將從岐管13流入壓力產(chǎn)生室11的墨水的流路阻力保持為固定的作用。并且，在壓力產(chǎn)生室11的與岐管13相反的端部側(cè)形成有貫穿流路形成基板10的噴嘴連通孔14。即，在本實(shí)施方式中，在流路形成基板10上作為液體流路而設(shè)有岐管13、 墨水供應(yīng)路徑12、壓力產(chǎn)生室11、以及噴嘴連通孔14。如上所述的流路形成基板10在本實(shí)施方式中由單晶硅基板構(gòu)成，設(shè)置在流路形成基板10上的上述壓力產(chǎn)生室11、岐管13等通過對(duì)流路形成基板10進(jìn)行蝕刻來形成。該流路形成基板10的一個(gè)面與噴嘴板20接合，在所述噴嘴板20上穿設(shè)有多個(gè)噴出墨水的噴嘴21，各噴嘴21經(jīng)由設(shè)置在流路形成基板10的噴嘴連通孔14與各壓力產(chǎn)生室 11連通。另外，流路形成基板10的另一個(gè)面、即壓力產(chǎn)生室11的開口面上與振動(dòng)部件15 接合，各壓力產(chǎn)生室11通過該振動(dòng)部件15被密封。另外，振動(dòng)部件15如圖所述具有與流路形成基板10的另一個(gè)面的面積相同程度的面積，并以覆蓋流路形成基板10的另一個(gè)面整體的方式被接合。該振動(dòng)部件15由彈性膜15a和支承該彈性膜15a的支承板15b的復(fù)合板形成，其中，彈性膜15a由例如樹脂薄膜等彈性部件構(gòu)成，支承板15b由例如金屬材料等構(gòu)成，并且， 彈性膜15a側(cè)與流路形成基板10接合。在本實(shí)施方式中，彈性膜15a由厚度為幾μπι左右的聚苯硫醚(PPS)薄膜構(gòu)成，支承板15b由厚度為幾十μ m左右的不銹鋼板(SUS)構(gòu)成。另外，該振動(dòng)部件15的與各壓力產(chǎn)生室11的周邊部相對(duì)的區(qū)域?yàn)楸”诓?5d，所述薄壁部15d是去除支承板15b后實(shí)質(zhì)上只由彈性膜15a構(gòu)成的。該薄壁部15d構(gòu)成壓力產(chǎn)生室11的一面。另外，該薄壁部15d的內(nèi)側(cè)分別設(shè)有島部15c，所述島部15c由與各壓電元件35的頂端抵接的、支承板15b的一部分構(gòu)成。另外，振動(dòng)部件15的與岐管13相對(duì)的區(qū)域?yàn)檎駝?dòng)部16，所述振動(dòng)部16是去除支承板15b后只由彈性膜15a構(gòu)成的。換言之，在振動(dòng)部件15的與岐管13相對(duì)的區(qū)域中去除支承板15b，從而設(shè)置有第1空間部17。該振動(dòng)部16起到當(dāng)在岐管13內(nèi)產(chǎn)生了壓力變化時(shí)吸收壓力變動(dòng)而將岐管13內(nèi)的壓力始終保持固定的作用。并且，在該振動(dòng)部件15上接合殼體40。即，本實(shí)施方式的殼體40經(jīng)由振動(dòng)部件 15與流路形成基板10接合。在殼體40中，如圖1所示，在與第1空間部17相對(duì)的區(qū)域設(shè)置有第2空間部42，第2空間部42具有不阻礙振動(dòng)部16的變形的程度的高度。如上所述， 在本實(shí)施方式中，在與岐管13相對(duì)的區(qū)域設(shè)置有由第1空間部17以及第2空間部42構(gòu)成的空間部60。對(duì)于空間部60后面詳細(xì)敘述，所述空間部60與設(shè)置在殼體40的上表面的大氣開放口連通并被向外部空間開放。由此，空間部60(第1空間部17以及第2空間部42) 內(nèi)的壓力始終與外部空間保持不變。另外，在壓電元件容納部43的墨水導(dǎo)入路徑41側(cè)設(shè)有階梯部45，后述的壓電元件單元30的固定基板36與該階梯部45接合。另外，在殼體40的與流路形成基板10側(cè)相反側(cè)的面固定有布線基板70，在所述布線基板70上設(shè)有多個(gè)導(dǎo)電片(conductive pad) 71，所述多個(gè)導(dǎo)電片71分別與后述的柔性印刷基板50的各布線層51連接。在布線基板70中，在與殼體40的壓電元件容納部43 相對(duì)的區(qū)域形成有狹縫狀的開口部72，壓電元件容納部43通過該開口部72與外部空間連通。并且，該壓電元件容納部43內(nèi)容納有具有壓電元件35的壓電元件單元30。壓電元件單元30與各壓力產(chǎn)生室11相對(duì)設(shè)置，由多個(gè)壓電元件35和固定基板36 構(gòu)成，其中所述多個(gè)壓電元件35改變包括壓力產(chǎn)生室11和岐管13的液體流路內(nèi)的壓力， 并且所述固定基板36將該壓電元件35安裝到殼體40。各壓電元件35在本實(shí)施方式中在一個(gè)壓電元件單元30中被一體地形成。S卩，形成壓電元件形成部件34，并通過將該壓電元件形成部件34與各壓力產(chǎn)生室11對(duì)應(yīng)地切開為梳齒狀來形成各壓電元件35，其中所述壓電元件形成部件34是將壓電材料31和電極形成材料32、33在縱向上交替地以夾成三明治形狀層積而成。也就是說，在本實(shí)施方式中，多個(gè)壓電元件35被一體地形成。并且，壓電元件35的頂端部通過粘接劑與振動(dòng)部件15的島部15c接合，并且在作為不有助于振動(dòng)的非活動(dòng)區(qū)域的根端部側(cè)被粘合到固定基板36上。 如上所述，粘合有壓電元件35的固定基板36在壓電元件容納部43的階梯部45與殼體40 接合。由此，壓電元件單元30被容納并固定在殼體40的壓電元件容納部43中。另外，通過如上所述的那樣將固定基板36與壓電元件35 —體地設(shè)置來構(gòu)成壓電元件單元30，并且壓電元件單元30以位置確定的方式固定在殼體40上。此時(shí)，壓電元件35相對(duì)于振動(dòng)部件15(島部15c)的位置匹配是通過固定基板36的外周面和殼體40的壓電元件容納部43的內(nèi)表面來進(jìn)行的。由此，與直接握住作為脆性材料的壓電元件35進(jìn)行位置匹配相比，能夠容易且高精度地進(jìn)行位置匹配。構(gòu)成固定基板36的材料并不是被特別限定的，能夠通過例如鋁、銅、鐵以及不銹鋼等來恰當(dāng)?shù)貥?gòu)成固定基板36。并且，在該壓電元件單元30的壓電元件35的根端部附近， 在與固定基板36相反側(cè)的面上連接有柔性印刷基板50，所述柔性印刷基板50具有布線層 51，所述布線層51提供用于驅(qū)動(dòng)各壓電元件35的信號(hào)。柔性印刷基板50由柔性印刷電路(FPC)、帶載封裝(TCP)等構(gòu)成。具體來說，柔性印刷基板50是如下基板例如在聚酰亞胺等的帶膜52的表面上通過銅薄等形成預(yù)定圖案的布線層51，并以抗蝕劑等絕緣材料來覆蓋布線層51的與同壓電元件35連接的端子部等其他的布線連接的區(qū)域之外的區(qū)域。如上所述的柔性印刷基板50的布線層51在其根端部側(cè)通過例如焊錫、各向異性導(dǎo)電材料等而與構(gòu)成壓電元件35的電極形成材料32、33連接。另一方面，各布線層51在其頂端部側(cè)與設(shè)置在殼體40上的布線基板70的導(dǎo)電片 71電連接。柔性印刷基板50從該布線基板70的開口部72被向壓電元件容納部43的外側(cè)引出，使被引出的區(qū)域彎曲并與導(dǎo)電片71連接。在如上所述的記錄頭100中，根據(jù)壓電元件35以及振動(dòng)部件15的變形來改變各壓力產(chǎn)生室11的容積，由此從各噴嘴21噴出墨滴。具體來說，當(dāng)從未圖示的液體儲(chǔ)存單元經(jīng)由作為液體導(dǎo)入路徑的墨水導(dǎo)入路徑41對(duì)岐管13供應(yīng)墨水時(shí)，經(jīng)由墨水供應(yīng)路徑12對(duì)各壓力產(chǎn)生室11分配墨水。并且，通過來自未圖示的驅(qū)動(dòng)電路的驅(qū)動(dòng)信號(hào)對(duì)預(yù)定的壓電元件35施加或解除電壓，從而使壓電元件35收縮或伸長，使壓力產(chǎn)生室11產(chǎn)生壓力變化，從而從噴嘴21噴出墨水。本實(shí)施方式的記錄頭100在與岐管13A、13B對(duì)應(yīng)的區(qū)域分別設(shè)置空間部60A、60B。 在這里，利用圖2以及圖3的(a)和(b)，說明空間部60A、60B和連通到大氣開放口的大氣開放路徑44之間的連通狀態(tài)。圖2是頭殼體的底面圖，圖3的(a)和(b)是噴墨式記錄頭的主要部分的截面圖。如圖2所示，在頭殼體40上，在與岐管13A、13B對(duì)應(yīng)的區(qū)域分別設(shè)有第2空間部 42A、42B。并且，第2空間部42A和第2空間部42B通過空間部連通路徑46連通。S卩，在本實(shí)施方式中，通過空間部連通路徑46連通第2空間部42A和第2空間部42B?？臻g部連通路徑46是連通各空間部的通路，在本實(shí)施方式中，通過去除殼體40的流路形成基板10側(cè)的面的一部分而形成在殼體40的底面。本實(shí)施方式的空間部連通路徑46在流路形成基板10、振動(dòng)部件15以及殼體40的層積方向上設(shè)置在不與包含壓力產(chǎn)生室11的流路重疊的位置上。具體來說，空間部連通路徑46在各壓力產(chǎn)生室11的并列設(shè)置方向上被設(shè)置在比第2空間部42以及壓電元件容納部43的兩端部更靠外側(cè)的區(qū)域?？臻g部連通路徑46包括第1空間部連通路徑46a和第2空間部連通路徑46b構(gòu)成，其中所述第1空間部連通路徑46a與第2空間部42連續(xù)并且從各第2空間部42的長邊方向的端部沿著壓力產(chǎn)生室11的并列設(shè)置方向向外側(cè)延伸，所述第2空間部連通路徑46b 與第1空間部連通路徑46a連續(xù)并沿著壓力產(chǎn)生室11的長邊方向延伸。通過這樣的空間部連通路徑46來連通各第2空間部42。在本實(shí)施方式中，空間部連通路徑46形成在殼體 40的流路形成基板10側(cè)的面上。即，空間部連通路徑46作為凹部來設(shè)置在殼體40的流路形成基板10側(cè)的面上。另外，第2空間部42B經(jīng)由設(shè)置在振動(dòng)部件15的大氣連通路徑18(圖2中的虛線部分)與大氣開放路徑44連通。具體來說，第2空間部42B通過在與空間部連通路徑46 連通側(cè)的相反側(cè)的端部與大氣連通路徑18連接，來與大氣開放路徑44連通。根據(jù)如上所述的構(gòu)成，空間部60A(第1空間部17A以及第2空間部42A)成為經(jīng)由空間部60B (第1空間部17B以及第2空間部42B)而與大氣開放路徑44連通的狀態(tài)。大氣連通路徑18包括以圍繞大氣開放路徑44的方式設(shè)置的第1大氣連通路徑 18a、與第1大氣連通部18a連續(xù)并沿著壓力產(chǎn)生室11的長邊方向延伸的第2大氣連通部 18b、與第2大氣連通部18b連續(xù)并與第1空間部17連續(xù)的第3大氣連通部18c構(gòu)成。在本實(shí)施方式中，大氣連通路徑18形成在振動(dòng)部件15的殼體40側(cè)的面上。S卩，大氣連通路徑18作為凹部設(shè)置在振動(dòng)部件15的殼體40側(cè)的面上。另外，大氣開放路徑44以貫穿殼體40的方式設(shè)置，并與殼體40上表面的大氣開放口連通。如上所述，空間部60B (第1空間部17B以及第2空間部42B)與大氣開放路徑44 連通，空間部60A(第1空間部17A以及第2空間部42A)經(jīng)由空間部60B與大氣開放路徑 44連通。在本實(shí)施方式中，空間部60B相當(dāng)于“一個(gè)空間部”、空間部60A相當(dāng)于“其他空間部”。在本實(shí)施方式中，振動(dòng)部16只由厚度為幾ym左右的聚苯硫醚(PPS)薄膜構(gòu)成。 因此，被容納在岐管13內(nèi)的墨水中的水等成分(以下稱作“墨水成分”)可能透過振動(dòng)部16 蒸發(fā)。然而，通過采用如上所述的構(gòu)成，抑制岐管13A以及13B內(nèi)的墨水成分的蒸發(fā)。在以往的構(gòu)成中，振動(dòng)部16上的空間部分別直接與大氣開放路徑44連通，空間部始終處于干燥狀態(tài)，墨水成分容易透過并蒸發(fā)。然而，在本實(shí)施方式的構(gòu)成中，能夠使各空間部60成為比以往的空間部更濕潤的狀態(tài)，能夠抑制岐管13內(nèi)的墨水成分的蒸發(fā)。在本實(shí)施方式中，如圖3所示，當(dāng)岐管13A內(nèi)的墨水成分向空間部60A蒸發(fā)時(shí)，蒸發(fā)掉的成分的一部分隨著岐管13A的壓力變化而經(jīng)由空間部連通路徑46被送到空間部 60B。另外，當(dāng)岐管13B內(nèi)的墨水成分向空間部60B蒸發(fā)時(shí)，蒸發(fā)掉的成分的一部分隨著岐管13的壓力變化經(jīng)由大氣連通路徑18被送到大氣開放路徑44。如上所述，空間部60A沒有與大氣連通路徑18直接連通，即與大氣連通路徑18間接連通，因此抑制成為與外部空間同樣的干燥狀態(tài)。由此，墨水成分不容易蒸發(fā)。另外，來自空間部60A的空氣流入空間部60B。S卩，向空間部60B供應(yīng)比較濕潤的空氣。由此，相比于只與大氣開放路徑44連接的情況，抑制干燥并且墨水成分不容易蒸發(fā)。如上所述，在本實(shí)施方式中，通過各空間部60成為比較濕潤的狀態(tài)，能夠抑制與各空間部60對(duì)應(yīng)的岐管13內(nèi)的墨水成分的蒸發(fā)，從而能夠抑制墨水的粘度的上升。因此， 在本實(shí)施方式的噴墨式記錄頭100中，能夠長期維持良好的噴出特性，從而能夠進(jìn)行良好的印刷。另外，在本實(shí)施方式中，在與空間部60A對(duì)應(yīng)的岐管13A上連接有儲(chǔ)存容易蒸發(fā)的液體的液體源90A，在與空間部60B對(duì)應(yīng)的岐管13B上連接有儲(chǔ)存難以蒸發(fā)的液體的液體源90B。即，在與大氣開放路徑44上流側(cè)的空間部60A對(duì)應(yīng)的岐管13A上連接有儲(chǔ)存容易蒸發(fā)的液體的液體源。通過在作為其他空間部的空間部60A連接容易蒸發(fā)的液體源90A，能夠有效地抑制容易蒸發(fā)的液體成分的蒸發(fā)，其中，所述作為其他空間部的空間部60A是與作為一個(gè)空間部的空間部60B相比液體成分難以蒸發(fā)的空間部。(實(shí)施方式2)圖4是實(shí)施方式2涉及的記錄頭的頭殼體的底面圖。對(duì)與實(shí)施方式1具有相同作用的部分標(biāo)注相同標(biāo)號(hào)，并省略重復(fù)說明。雖然未圖示，但是本實(shí)施方式的記錄頭100具有4個(gè)岐管13，并在分別與其對(duì)應(yīng)的區(qū)域設(shè)置有空間部601 (601A、601B、601C、601D)。該空間部601分別包括第1空間部171 (第 1 空間部 171A、171B、171C、171D)以及第 2 空間部 421 (第 2 空間部 421A、421B、421C、421D)。并且，頭殼體401的各第2空間部421通過空間部連通路徑461連通。即，在本實(shí)施方式中通過1個(gè)空間部連通路徑461連通4個(gè)第2空間部421。另外，第2空間部421D經(jīng)由設(shè)置在振動(dòng)部件15的大氣連通路徑181 (圖4中的虛線部分)與大氣開放路徑44連通。如上所述，空間部601D (第1空間部171D以及第2空間部421D)與大氣開放路徑 44連通。另外，空間部601A(第1空間部171A和第2空間部421A)、空間部601B (第1空間部171B和第2空間部421B)、空間部601C(第1空間部171C和第2空間部421C)經(jīng)由空間部60ID與大氣開放路徑44連通。在本實(shí)施方式中，空間部60ID相當(dāng)于“一個(gè)空間部”、 空間部601A、空間部601B、空間部601C相當(dāng)于“其他空間部”，各空間部并列連通。在本實(shí)施方式的構(gòu)成中，也與實(shí)施方式1的構(gòu)成同樣地能夠使各空間部601成為比以往的空間部更濕潤的狀態(tài)，能夠抑制岐管13內(nèi)的墨水成分的蒸發(fā)。具體來說，空間部601A、空間部601B、空間部601C沒有與大氣連通路徑181直接連通，即與大氣連通路徑181間接連通，因此抑制成為與外部空間同樣的干燥狀態(tài)。由此， 墨水成分不容易蒸發(fā)。另外，來自空間部601A、空間部601B、空間部601C的空氣流入空間部601D。即，向空間部601D供應(yīng)比較濕潤的空氣。由此，相比于只與大氣開放路徑44連接的情況，抑制干燥并且墨水成分不容易蒸發(fā)。如上所述，在本實(shí)施方式中，通過各空間部601成為比較濕潤的狀態(tài)，抑制與各空間部601對(duì)應(yīng)的岐管13內(nèi)的墨水成分的蒸發(fā)，從而能夠抑制墨水的粘度上升。因此，在本實(shí)施方式的噴墨式記錄頭100中，能夠長期維持良好的噴出特性，從而能夠進(jìn)行良好的印刷。另外，在如本實(shí)施方式這樣的構(gòu)成中，由于只要一個(gè)空間部與大氣開放路徑44連通即可，因此在具有多個(gè)岐管13以及與其對(duì)應(yīng)的空間部的情況下，能夠減少大氣開放路徑 44的數(shù)量，從而能夠使噴墨式記錄頭100小型化。另外，在本實(shí)施方式中，在與空間部601A對(duì)應(yīng)的岐管131A、與空間部601B對(duì)應(yīng)的岐管131B、與空間部601C對(duì)應(yīng)的岐管131C、與空間部601D對(duì)應(yīng)的岐管131D上分別連接有儲(chǔ)存最容易蒸發(fā)的液體的液體源901A、儲(chǔ)存第二個(gè)容易蒸發(fā)的液體的液體源901B、儲(chǔ)存第三個(gè)容易蒸發(fā)的液體的液體源901C、儲(chǔ)存最不容易蒸發(fā)的液體的液體源901D。即，在與大氣開放路徑44上流側(cè)的空間部601對(duì)應(yīng)的岐管131上連接有儲(chǔ)存容易蒸發(fā)的液體的液體源901。在本實(shí)施方式中，液體源901A儲(chǔ)存黑色墨水、液體源901B儲(chǔ)存品紅色墨水、液體源 901C儲(chǔ)存黃色墨水、液體源901D儲(chǔ)存藍(lán)色墨水。
通過在與大氣開放路徑44上流側(cè)的空間部601對(duì)應(yīng)的岐管131上連接儲(chǔ)存容易蒸發(fā)的液體的液體源901，能夠有效地抑制容易蒸發(fā)的液體成分的蒸發(fā)。(其他實(shí)施方式)以上，對(duì)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明包括結(jié)構(gòu)或材質(zhì)等不限于上述的實(shí)施方式。例如，如圖5所示，當(dāng)具有3個(gè)以上的岐管13時(shí)，即，當(dāng)設(shè)置在與岐管13對(duì)應(yīng)的區(qū)域的空間部有3個(gè)以上時(shí)，也可以設(shè)置多個(gè)空間部連通路徑。另外，對(duì)于與實(shí)施方式2具有相同作用的部分標(biāo)注相同標(biāo)號(hào)并省略重復(fù)說明。如圖5所示，第2空間部421A和第2空間部42IB通過空間部連通路徑462連通。另外，第2空間部421C和第2空間部42ID通過空間部連通路徑463連通。并且，第2空間部421B的與空間部連通路徑462側(cè)相反側(cè)的端部和第2空間部421C的與空間部連通路徑463側(cè)相反側(cè)的端部通過空間部連通路徑464連通。在該情況下，也與實(shí)施方式2同樣，空間部601D相當(dāng)于“一個(gè)空間部”，空間部601A、空間部601B、空間部601C相當(dāng)于“其他空間部”。在圖5中，各空間部601串聯(lián)連通。在圖5 所示的構(gòu)成中，也與實(shí)施方式2的構(gòu)成同樣地能夠使各空間部601成為比以往的空間部更濕潤的狀態(tài)，能夠抑制岐管13內(nèi)的墨水成分的蒸發(fā)。另外，在實(shí)施方式2中，如圖6所示，也可以使第2空間部421A以及第2空間部 421D分別經(jīng)由大氣連通路徑182與大氣開放路徑44連通。在該情況下，空間部601A相當(dāng)于“一個(gè)空間部”，空間部601B、空間部601C相當(dāng)于“其他空間部”。另外，空間部601D相當(dāng)于“一個(gè)空間部”，空間部601B、空間部601C相當(dāng)于“其他空間部”。即，空間部601B、空間部 60IC經(jīng)由空間部60IA或者空間部60ID與大氣開放路徑44連通。在圖6所示的構(gòu)成中，也與實(shí)施方式2的構(gòu)成同樣地能夠使各空間部601成為比以往的空間部更濕潤的狀態(tài)，能夠抑制岐管13內(nèi)的墨水成分的蒸發(fā)。另外，也可以將大氣連通路徑設(shè)置成蛇形，進(jìn)一步抑制岐管內(nèi)的液體成分的蒸發(fā)。 另外，也可以通過設(shè)置細(xì)的大氣連通路徑，進(jìn)一步抑制岐管內(nèi)的液體成分的蒸發(fā)。另外，在上述實(shí)施方式中，岐管與儲(chǔ)存不同顏色的墨水的液體源連接，但是并不限于此，也可以例如使液體源全部儲(chǔ)存相同顏色的墨水。另外，在上述實(shí)施方式中，空間部連通路徑46、461設(shè)置在了殼體40的流路形成基板10側(cè)的面上，但是也可以例如設(shè)置在振動(dòng)部件15的支承板15b的殼體40側(cè)的面上。艮口， 也可以去除支承板15b的一部分，使各第1空間部17連通，將該凹部作為空間部連通路徑。在上述實(shí)施方式中，大氣連通路徑18、181被設(shè)置在振動(dòng)部件15的殼體40側(cè)的面上，然而，也可以例如設(shè)置在殼體40的流路形成基板10側(cè)的面上。即，可以去除殼體40的一部分，使各第2空間部42連通，將該凹部作為大氣連通路徑。另外，在上述的實(shí)施方式中，在殼體40的與第1空間部17對(duì)應(yīng)的區(qū)域上設(shè)置了第 2空間部42，然而也可以在與殼體40對(duì)應(yīng)的區(qū)域設(shè)置第2空間部42。在該情況下，可以在振動(dòng)部件15設(shè)置空間部連通路徑。在上述實(shí)施方式中，流路形成基板10兼做岐管形成基板，然而，也可以獨(dú)立地構(gòu)成流路形成基板10和岐管形成基板。在上述實(shí)施方式中，構(gòu)成振動(dòng)部件15的一部分的彈性膜15a由PPS薄膜構(gòu)成，振動(dòng)部16為PPS薄膜，然而，也可以由聚乙烯等其他的樹脂材料構(gòu)成，也可以由其他薄膜材料構(gòu)成。另外，在上述的實(shí)施方式中，以具有縱向振動(dòng)型的壓電元件的記錄頭為例進(jìn)行了說明，所述縱向振動(dòng)型的壓電元件將壓電材料和電極形成材料相互交替地層疊并使其在軸向上伸縮。然而，本發(fā)明并不限于此，在例如具有厚膜型的壓電元件的噴墨式記錄頭、或者具有通過溶膠_凝膠法、MOD法、濺射法等來形成的壓電材料的薄膜型的壓電元件的記錄頭中，也可以獲得同樣的效果。這些各實(shí)施方式的噴墨式記錄頭構(gòu)成具有與墨盒等連通的墨水流路的記錄頭單元的一部分，并被安裝在噴墨式記錄裝置上。圖7是示出該噴墨式記錄裝置的一個(gè)例子的概要圖。如圖7所示，在具有噴墨式記錄頭的記錄頭單元IA以及IB上可裝卸地設(shè)置有構(gòu)成墨水供應(yīng)單元的墨盒2A以及2B，并且搭載有該記錄頭單元IA以及IB的托架3以能夠沿軸方向自由移動(dòng)的方式設(shè)置在托架軸5上，所述托架軸5被安裝在裝置主體4上。該記錄頭單元IA以及IB設(shè)為例如分別噴射黑色墨水組成物以及彩色墨水組成物。并且，通過使驅(qū)動(dòng)馬達(dá)6的驅(qū)動(dòng)力經(jīng)由未圖示的多個(gè)齒輪以及定時(shí)帶7傳遞到托架3，搭載有記錄頭單元IA以及IB的托架3沿著托架軸5移動(dòng)。另一方面，在裝置主體4 上沿著托架軸5設(shè)置有壓紙卷軸8，記錄片材S卷繞在壓紙卷軸8上來被運(yùn)送，所述記錄片材S是通過未圖示的供紙輥等提供的紙張等記錄介質(zhì)。在圖7所示的例子中，假設(shè)噴墨式記錄頭單元1A、1B分別具有1個(gè)噴墨式記錄頭， 然而，并不是特別限于此，例如也可以為1個(gè)噴墨式記錄頭單元IA或IB具有2個(gè)以上的噴墨式記錄頭。另外，在上述的實(shí)施方式中，作為液體噴射頭以及液體噴射裝置而舉例說明了噴墨式記錄頭以及噴墨式記錄裝置，然而，本發(fā)明廣泛地以所有液體噴射頭以及液體噴射裝置作為對(duì)象，因此當(dāng)然也能夠適用于噴射墨水以外的液體的液體噴射頭以及具有該液體噴射頭的液體噴射裝置。作為其他液體噴射頭，例如可以列舉用于打印機(jī)等圖像記錄裝置中的各種記錄頭、用于液晶顯示器等的彩色濾波器的制造中的色料噴射頭、用于有機(jī)EL顯示器、FED(場(chǎng)發(fā)射顯示器)等的電極形成中的電極材料噴射頭、用于生物芯片制造中的生物有機(jī)物噴射頭等。
權(quán)利要求
1.一種液體噴射頭，包括岐管形成基板，其具有多個(gè)歧管，所述歧管被構(gòu)成為向與噴嘴連通的壓力產(chǎn)生室供應(yīng)液體；壓電元件，其被構(gòu)成為使所述壓力產(chǎn)生室內(nèi)的液體產(chǎn)生壓力變化； 密封基板，其具有振動(dòng)部，所述振動(dòng)部被構(gòu)成為設(shè)置在與所述岐管相對(duì)的區(qū)域并且吸收所述岐管的液體的壓力變動(dòng)；頭殼體，其具有容納所述壓電元件的壓電元件容納部； 大氣開放路徑，其與大氣開放口連通；以及空間部，其被設(shè)置在所述振動(dòng)部上，并且經(jīng)由其他空間部與所述大氣開放路徑連通。
2.如權(quán)利要求1所述的液體噴射頭，其中，所述其他空間部通過形成在所述頭殼體的所述岐管形成基板側(cè)的面上或所述密封基板的所述頭殼體側(cè)的面上的空間部連通路徑與所述一個(gè)空間部連通。
3.如權(quán)利要求1所述的液體噴射頭，其中，所述大氣開放路徑形成在所述頭殼體的所述岐管形成基板側(cè)的面上或者所述密封部件的所述頭殼體側(cè)的面上。
4.如權(quán)利要求1所述的液體噴射頭，其中，所述的液體噴射頭具有2個(gè)以上的所述其他空間部，并且各空間部串聯(lián)連通。
5.如權(quán)利要求1所述的液體噴射頭，其中，所述的液體噴射頭具有2個(gè)以上的所述其他空間部，并且各空間部并列連通。
6.如權(quán)利要求1所述的液體噴射頭，其中，在越是與所述大氣開放路徑上流側(cè)的空間部對(duì)應(yīng)的岐管上連接有儲(chǔ)存越容易蒸發(fā)的液體的液體源。
7.一種液體噴射頭單元，具有權(quán)利要求1所述的液體噴射頭。
8.一種液體噴射裝置，具有權(quán)利要求1所述的液體噴射頭。
9.一種液體噴射裝置，具有權(quán)利要求7所述的液體噴射頭單元。
全文摘要
本發(fā)明涉及液體噴射頭、液體噴射頭單元以及液體噴射裝置。所述液體噴射頭包括岐管形成基板，其具有多個(gè)歧管，所述歧管被構(gòu)成為向與噴嘴連通的壓力產(chǎn)生室供應(yīng)液體；壓電元件，其被構(gòu)成為使所述壓力產(chǎn)生室內(nèi)的液體產(chǎn)生壓力變化；密封基板，其具有振動(dòng)部，所述振動(dòng)部被構(gòu)成為設(shè)置在與所述岐管相對(duì)的區(qū)域并且吸收所述岐管的液體的壓力變動(dòng)；頭殼體，其具有容納所述壓電元件的壓電元件容納部；大氣開放路徑，其與大氣開放口連通；以及空間部，其設(shè)置在所述振動(dòng)部上，并且經(jīng)由其他空間部與所述大氣開放路徑連通。
文檔編號(hào)B41J2/14GK102218920SQ2011100837
公開日2011年10月19日 申請(qǐng)日期2011年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月30日
發(fā)明者富樫勇 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社