專利名稱：太陽能硅電池電極印刷網(wǎng)板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于太陽能網(wǎng)板制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種太陽能硅電池電極印刷網(wǎng)板的制作方法。_
背景技術(shù)：
當(dāng)前，隨著硅太陽能電池技術(shù)的不斷發(fā)展，在追求低成本的同時(shí)，業(yè)界對太陽能電池的性能要求越來越高，對太陽能電池轉(zhuǎn)化效率及硅太陽能電池成本等方面均提出了更高的技術(shù)要求。太陽能電池制作主要包括以下幾個(gè)步驟:硅片切割，材料準(zhǔn)備；去除損傷層；制絨；擴(kuò)散制結(jié)；邊緣刻蝕、清洗；沉積減反射層；印刷上下電極；共燒形成金屬接觸；以及電池片測試。其中，電極的印刷對太陽能電池的性能有非常大的影響，印刷高質(zhì)量(即細(xì)柵線高寬比大)的電極，可以有效地提高太陽能電池的轉(zhuǎn)化效率。傳統(tǒng)的太陽能電池電極絲網(wǎng)印刷，由于其一些自身的限制，其細(xì)柵線精細(xì)度難以再進(jìn)一步提高。因?yàn)閭鹘y(tǒng)的絲網(wǎng)板由不銹鋼絲網(wǎng)紗與感光乳劑層相結(jié)合而成，不銹鋼絲網(wǎng)眼的大小決定了所印刷電池電極寬度，如果將不銹鋼絲網(wǎng)網(wǎng)眼尺寸減小，印刷時(shí)絲網(wǎng)容易出現(xiàn)堵塞現(xiàn)象，從而導(dǎo)致柵線虛印甚至絲網(wǎng)斷裂；另外，絲網(wǎng)板的不銹鋼絲存在許多編制經(jīng)緯節(jié)點(diǎn)，致使絲網(wǎng)交織重疊編制，這些節(jié)點(diǎn)在一定程度上影響了絲網(wǎng)板的主體的平整性，以致在印刷時(shí)出現(xiàn)導(dǎo)電漿料分布不均勻，不利于電流的收集及傳輸。這些因素導(dǎo)致要求采用傳統(tǒng)絲網(wǎng)板印刷，得到“窄而厚”細(xì)柵線的要求難以再進(jìn)一步優(yōu)化，進(jìn)而太陽能電池轉(zhuǎn)化效率難以提高。故有必要進(jìn)行開發(fā)研究，以提出一種解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述缺陷，開發(fā)出性能更加優(yōu)異的太陽能硅電池電極印刷網(wǎng)板，能夠滿足印刷高寬比大的細(xì)柵線的要求，提高太陽能電池的轉(zhuǎn)化效率。
發(fā)明內(nèi)容
為解決上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種太陽能硅電池電極印刷網(wǎng)板的制作方法，以解決傳統(tǒng)絲網(wǎng)交織重疊編制的問題，提升太陽能電池的轉(zhuǎn)化效率。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為:
一種太陽能硅電池電極印刷網(wǎng)板的制作方法，包括如下步驟:
S1:前處理
取一塊待蝕刻的不銹鋼鋼片，對其進(jìn)行除油、除銹的前處理；
S2:貼干膜
在步驟SI所得的不銹鋼鋼片上均勻涂布一種感光干膜； S3:曝光
將基板固定在曝光機(jī)的曝光室內(nèi)，通過紫外線對基板上干膜進(jìn)行曝光，以將太陽能電池的電極印刷網(wǎng)板的圖形轉(zhuǎn)移到感光干膜上面；
S4:顯影
對曝光后的基板進(jìn)行顯影、清洗以及烘干工序，將未曝光處干膜溶解清洗掉，留下太陽能電池的電極網(wǎng)板圖形；
S5:蝕刻
將經(jīng)過顯影處理后的鋼片進(jìn)行蝕刻，將需要開口的地方蝕刻掉。進(jìn)一步地,所述步驟S2包括:
干膜通過壓膜機(jī)壓貼在不銹鋼片上，壓膜時(shí)通過壓膜機(jī)提供一定的壓力及溫度，使得干膜緊貼于不銹鋼片表面，整體構(gòu)成基板；其中，所述感光干膜為負(fù)性感光干膜。進(jìn)一步地，在所述步驟S3中，進(jìn)行曝光的區(qū)域?yàn)樘柲茈姵仉姌O印刷掩膜板的掩模部位圖形，即掩膜板非開口區(qū)域。進(jìn)一步地,所述步驟S4包括:
將曝光后的基板放入顯影機(jī)，在顯影室內(nèi)經(jīng)顯影液噴淋顯影處理，顯影完畢后經(jīng)顯影機(jī)后段暖水清洗段、溢流水洗段、烘干工序處理。進(jìn)一步地,所述步驟S5包括:
將顯影處理后的基板放入蝕刻機(jī)，蝕刻機(jī)內(nèi)蝕刻液是采用酸性蝕刻液，在蝕刻室內(nèi)，將蝕刻液通過噴淋的方式對鋼片進(jìn)行蝕刻，蝕刻完畢后，將不銹鋼片經(jīng)水洗烘干
本發(fā)明的另一技術(shù)方案為:根據(jù)上述的方法制成的太陽能硅電池電極印刷網(wǎng)板，其中，印刷網(wǎng)板主柵線為交叉絲網(wǎng)形，主體寬度為Imm — 2.5mm ;細(xì)柵線是以橋連的方式連接，主體寬度為35um—lOOum。本發(fā)明解決了傳統(tǒng)絲網(wǎng)交織重疊編制的問題，采用整塊不銹鋼片進(jìn)行蝕刻，在選取鋼片時(shí)，可根據(jù)產(chǎn)品表面粗糙度的要求選取粗糙度合適的鋼片，制作出的掩膜板表面能更好的符合印刷要求，從而可以更好的提升印刷精度，提升太陽能電池的轉(zhuǎn)化效率。_
圖1是本發(fā)明制作方法的流程圖示。圖2是采用本發(fā)明制得的網(wǎng)板的結(jié)構(gòu)圖示。圖3是圖2中主柵線與細(xì)柵線連接處的局部放大圖示。
具體實(shí)施例方式為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。本發(fā)明太陽能硅電池電極印刷網(wǎng)板的制作方法系采用蝕刻工藝制作不銹鋼太陽能電池電極掩膜板，制作出的掩膜板表面不存在傳統(tǒng)的絲網(wǎng)感光乳劑掩膜板的經(jīng)緯節(jié)點(diǎn)，不銹鋼片作為一個(gè)整體，其表面更加光滑，印刷時(shí)其與印刷硅片的表面接觸更加緊密，印刷時(shí)的解像力更好。請參照圖1所示，本發(fā)明太陽能硅電池電極印刷網(wǎng)板的制作方法，其包括如下步驟:
S1:前處理
取一塊待蝕刻的不銹鋼鋼片，不銹鋼片的表面要求光滑平整，將其進(jìn)行除油、除銹等前處理過程；
S2:貼干膜
在步驟SI所得的不銹鋼鋼片上均勻涂布一種感光干膜，以為后續(xù)步驟提供感光物質(zhì)；其中，干膜通過壓膜機(jī)壓貼在不銹鋼片上，壓膜時(shí)通過壓膜機(jī)提供一定的壓力(0.6±0.1Mpa)及溫度(110±10°C)，使得干膜緊貼于不銹鋼片表面，整體構(gòu)成基板；本實(shí)施例中，所述感光干膜為負(fù)性感光干膜。S3:曝光
通過曝光機(jī)將太陽能電池的電極印刷網(wǎng)板的圖形轉(zhuǎn)移到感光干膜上面；其中，將基板固定在曝光機(jī)的曝光室內(nèi)，通過紫外線對基板上干膜進(jìn)行曝光，曝光區(qū)域?yàn)樘柲茈姵仉姌O印刷掩膜板的掩模部位圖形，即掩膜板非開口區(qū)域；
S4:顯影
對曝光后的基板進(jìn)行顯影、清洗以及烘干等工序，將未曝光處干膜溶解清洗掉，留下太陽能電池的電極網(wǎng)板圖形；其中，將曝光后的基板放入顯影機(jī)，在顯影室內(nèi)經(jīng)顯影液噴淋顯影處理，顯影完畢后經(jīng)顯影機(jī)后段暖水清洗段、溢流水洗段、烘干等一系列工序處理。S5:蝕刻
將經(jīng)過顯影處理后的鋼片進(jìn)行蝕刻，將需要開口的地方蝕刻掉；其中，顯影處理后的基板放入蝕刻機(jī)，蝕刻機(jī)內(nèi)蝕刻液采用酸性蝕刻液，在蝕刻室內(nèi)蝕刻液是通過噴淋的方式對鋼片進(jìn)行蝕刻，蝕刻時(shí)間根據(jù)不銹鋼鋼片的厚度、蝕刻液的濃度、溫度以及蝕刻液的噴淋壓力的相關(guān)參數(shù)而作定。在本實(shí)施例中，所述蝕刻液為一定濃度的FeC13溶液，根據(jù)需要可往其中加入適量的HC1。蝕刻完畢后，將不銹鋼片經(jīng)水洗烘干。請參照圖2、圖3所示，通過本發(fā)明方法制得的印刷網(wǎng)板主柵線31為交叉絲網(wǎng)形，主體寬度Wl為Imm到2.5mm ;細(xì)柵線32是以橋連的方式連接，主體寬度W2為35um到lOOum。采用本發(fā)明方法制作的太陽電池電極網(wǎng)板主細(xì)柵線的尺寸可以控制在較大范圍內(nèi)，特別是可以制作小尺寸細(xì)柵線的掩膜板，以利于印刷出寬度尺寸小的太陽能電池電極細(xì)柵線，能在節(jié)約印刷漿料的同時(shí)提高太陽能電池的轉(zhuǎn)化效率。本發(fā)明采用蝕刻工藝制作不銹鋼太陽能電池電極掩膜板，制作出的掩膜板表面不存在傳統(tǒng)的絲網(wǎng)感光乳劑掩膜板的經(jīng)緯節(jié)點(diǎn)，不銹鋼片作為一個(gè)整體，其表面更加光滑，印刷時(shí)其與印刷硅片的表面接觸更加緊密，印刷時(shí)的解像力更好
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種太陽能硅電池電極印刷網(wǎng)板的制作方法，其特征在于，包括如下步驟: S1:前處理 取一塊待蝕刻的不銹鋼鋼片，對其進(jìn)行除油、除銹的前處理； S2:貼干膜 在步驟SI所得的不銹鋼鋼片上均勻涂布一種感光干膜； S3:曝光 將基板固定在曝光機(jī)曝光室內(nèi)，通過紫外線對基板上干膜進(jìn)行曝光，以將太陽能電池的電極印刷網(wǎng)板的圖形轉(zhuǎn)移到感光干膜上面； S4:顯影 對曝光后的基板進(jìn)行顯影、清洗以及烘干工序，將未曝光處干膜溶解清洗掉，留下太陽能電池的電極網(wǎng)板圖形； S5:蝕刻 將經(jīng)過顯影處理后的鋼片進(jìn)行蝕刻，將需要開口的地方蝕刻掉。
2.如權(quán)利要求1所述的太陽能硅電池電極印刷網(wǎng)板的制作方法，其特征在于:所述步驟S2還包括: 干膜通過壓膜機(jī)壓貼在不銹鋼片上，壓膜時(shí)通過壓膜機(jī)提供一定的壓力及溫度，使得干膜緊貼于不銹鋼片表面，整體構(gòu)成基板；其中，所述感光干膜為負(fù)性感光干膜。
3.如權(quán)利要求1或2所述的太陽能硅電池電極印刷網(wǎng)板的制作方法，其特征在于:在所述步驟S3中，進(jìn)行曝光的區(qū)域?yàn)樘柲茈姵仉姌O印刷掩膜板的掩模部位圖形，即掩膜板非開口區(qū)域。
4.如權(quán)利要求3所述的太陽能硅電池電極印刷網(wǎng)板的制作方法，其特征在于:所述步驟S4包括: 將曝光后的基板放入顯影機(jī)，在顯影室內(nèi)經(jīng)顯影液噴淋顯影處理，顯影完畢后經(jīng)顯影機(jī)后段暖水清洗段、溢流水洗段、烘干工序處理。
5.如權(quán)利要求4所述的太陽能硅電池電極印刷網(wǎng)板的制作方法，其特征在于:所述步驟S5包括: 將顯影處理后的基板放入蝕刻機(jī)，蝕刻機(jī)內(nèi)蝕刻液是采用酸性蝕刻液，在蝕刻室內(nèi)，將蝕刻液通過噴淋的方式對鋼片進(jìn)行蝕刻，蝕刻完畢后，將不銹鋼片經(jīng)水洗烘干。
6.如權(quán)利要求5所述的太陽能硅電池電極印刷網(wǎng)板的制作方法，其特征在于:蝕刻時(shí)間根據(jù)不銹鋼鋼片的厚度、蝕刻液的濃度、溫度以及蝕刻液的噴淋壓力的相關(guān)參數(shù)而作定。
7.如權(quán)利要求6所述的太陽能硅電池電極印刷網(wǎng)板的制作方法，其特征在于:所述不銹鋼片的表面要求光滑平整，所述蝕刻液為一定濃度的FeC13溶液，根據(jù)需要可往其中加入適量的HCl。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法制成的太陽能硅電池電極印刷網(wǎng)板，其特征在于:印刷網(wǎng)板主柵線為交叉絲網(wǎng)形，主體寬度為Imm — 2.5mm;細(xì)柵線是以橋連的方式連接，主體寬度為 35um—lOOum。
全文摘要
本發(fā)明公開一種太陽能硅電池電極印刷網(wǎng)板的制作方法，包括步驟S1:前處理，取一塊待蝕刻的不銹鋼鋼片，進(jìn)行前處理；S2:貼干膜，在所得的不銹鋼鋼片上均勻涂布一種感光干膜；S3:曝光，將基板固定在曝光機(jī)的曝光室內(nèi)，通過紫外線對基板上干膜進(jìn)行曝光；S4:顯影，將曝光后的基板進(jìn)行顯影，將未曝光處干膜溶解清洗掉，留下太陽能電池的電極網(wǎng)板圖形；S5:蝕刻，將經(jīng)過顯影處理后的鋼片進(jìn)行蝕刻，將需要開口的地方蝕刻掉。本發(fā)明采用整塊不銹鋼片進(jìn)行蝕刻，在選取鋼片時(shí)，可根據(jù)產(chǎn)品表面粗糙度的要求選取粗糙度合適的鋼片，制作出的掩膜板表面能更好地符合印刷要求，從而可以更好地提升印刷精度，提升太陽能電池的轉(zhuǎn)化效率。
文檔編號B41C1/14GK103171246SQ2011104361
公開日2013年6月26日 申請日期2011年12月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月23日
發(fā)明者魏志凌, 高小平, 楊志龍, 趙錄軍 申請人:昆山允升吉光電科技有限公司