控制印在襯底上的圖案的印刷的方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種控制印在襯底，例如形成光生伏打電池或生帶類型電路的晶圓上的圖案的印刷的方法和裝置。該方法包括：在襯底的表面上印刷多個印痕來限定圖案；驗證印痕的印刷。所述驗證包含：在印刷之前獲取襯底的表面的第一參考光學(xué)圖像；處理第一圖像，其中，處理單元或控制器確定第一圖像的參考幾何坐標(biāo)并存儲所述幾何坐標(biāo)；在印刷之后，獲取第二圖像；通過處理單元或控制器處理第二圖像，所述處理單元或控制器將第一圖像的參考幾何坐標(biāo)關(guān)聯(lián)到第二圖像；處理單元或控制器逐點減去第一圖像與第二圖像之間的著色來獲得顯示差異的第三圖像。
【專利說明】控制印在襯底上的圖案的印刷的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明的實施方式大體上涉及一種通過光學(xué)捕獲控制印在襯底或支座上的圖案的印刷的方法和裝置，所述襯底或支座可用于形成光生伏打電池或生帶類型電路器件。特別是，根據(jù)本發(fā)明的方法可用在用于通過襯底上的多層印刷來產(chǎn)生多層圖案的系統(tǒng)中，無論所述多層印刷是絲網(wǎng)印刷、噴墨印刷、激光印刷或其他類型印刷。
【背景技術(shù)】
[0002]太陽能電池為將陽光直接轉(zhuǎn)換成電力的光生伏打(PV)器件。在過去十年里，PV市場經(jīng)歷了年速率超過30%的增長。一些文章建議全球太陽能電池電力生產(chǎn)在不久的將來可超過lOGWp。據(jù)估計，超過95%的所有太陽能模塊是基于硅晶圓。高市場增長率連同對大幅降低太陽能發(fā)電成本的需要已導(dǎo)致對廉價形成優(yōu)質(zhì)太陽能電池的大量嚴(yán)重挑戰(zhàn)。因此，在制造商業(yè)上可行的太陽能電池的一個主要部分在于通過改進器件良率和提高襯底產(chǎn)量來降低形成太陽能電池所需的制造成本。
[0003]用于生產(chǎn)太陽能電池的方法是已知的，并向太陽能電池配置一或多個p-n結(jié)。每一 p-n結(jié)包含半導(dǎo)體材料內(nèi)的兩個不同區(qū)，其中一個側(cè)面表示為P型區(qū)，并且，另一側(cè)面表示為η型區(qū)。當(dāng)太陽能電池的p-n結(jié)暴露到陽光下時，陽光通過PV效應(yīng)直接轉(zhuǎn)換成電力。太陽能電池產(chǎn)生特定數(shù)量的電能并平鋪成模塊，所述模塊按大小來輸出所需數(shù)量的系統(tǒng)功率。太陽能模塊組合成具有特殊框架和連接器的面板。太陽能電池通常形成在硅襯底上，所述硅襯底可為單晶硅或多晶硅襯底。典型太陽能電池包括硅晶圓、襯底或通常小于約0.3mm厚的薄板，所述薄板具有在形成于襯底上的P型區(qū)的頂部上的η型硅薄層。
[0004]大體上，標(biāo)準(zhǔn)硅太陽能電池制造在晶圓上，所述晶圓包括P型基極區(qū)、η型發(fā)射極區(qū)和安置在P型基極區(qū)與η型發(fā)射極區(qū)之間的P-n結(jié)區(qū)。η型區(qū)或η型半導(dǎo)體通過用某些類型的元素(例如，磷(P)、砷(As)或銻(Sb))摻雜半導(dǎo)體來形成，以便提高負(fù)載流子(S卩，電子)的數(shù)目。類似地，P型區(qū)或P型半導(dǎo)體通過將三價原子添加到晶格來形成，導(dǎo)致從硅晶格正常的四個共價鍵中的一個共價鍵失去電子。因此，摻雜劑原子可接受來自鄰近原子共價鍵的電子來完成第四鍵。摻雜劑原子接受電子，從而使得來自鄰近原子的一個鍵的一半遺失并導(dǎo)致形成“空穴”。
[0005]當(dāng)光落到太陽能電池上時，來自入射光子的能量在p-n結(jié)區(qū)的兩側(cè)上產(chǎn)生電子空穴對。電子擴散穿過P-n結(jié)到較低能級，并且，空穴在相反方向上擴散，在發(fā)射極上造成負(fù)電荷，且在基極中相應(yīng)正電荷加強。當(dāng)電路形成在發(fā)射極與基極之間，且P-n結(jié)暴露到某種波長的光中時，電流將流動。半導(dǎo)體在被輻照時所產(chǎn)生的電流流過安置在太陽能電池的正面(即，光接收側(cè))和背側(cè)上的觸點。頂部觸點結(jié)構(gòu)大體上配置為將電流供應(yīng)給較大母線的寬間隔薄金屬接線或指狀件。背部觸點大體上不約束于形成在多個薄金屬接線中，因為背部觸點不防止入射光穿透太陽能電池。太陽能電池大體上由電介質(zhì)材料(例如，Si3N4)薄層覆蓋以用作防反射涂層，或由ARC覆蓋以最小化太陽能電池的頂表面的光反射。
[0006]絲網(wǎng)印刷一直用于物體(例如，織物或陶瓷制品)上的印刷設(shè)計，并用在電子工業(yè)中用于印刷電氣元件設(shè)計，例如，襯底的表面上的電氣接觸或互連。太陽能電池制造工藝的當(dāng)前發(fā)展?fàn)顩r還使用絲網(wǎng)印刷工藝。在一些應(yīng)用中，太陽能電池襯底上的絲網(wǎng)印刷觸點接線(例如，指狀件)是可取的。指狀件與襯底接觸并適用于形成與一或多個摻雜區(qū)(例如，η型發(fā)射極區(qū))的歐姆連接。歐姆接觸為已制備的半導(dǎo)體器件上的區(qū)，以使得器件的電流-電壓(1-V)曲線為線性且對稱的，也就是說，半導(dǎo)體器件的摻雜硅區(qū)與金屬觸點之間不存在高電阻界面。低電阻穩(wěn)定觸點對太陽能電池的性能和在太陽能電池制造過程中形成的電路的可靠性是至關(guān)重要的。
[0007]重?fù)诫s區(qū)可使用各種圖案化技術(shù)形成在襯底表面上，來形成變摻雜區(qū)域，例如，通過使用圖案化擴散阻擋層執(zhí)行磷擴散步驟。背側(cè)觸點通過形成與襯底的P型基極區(qū)的歐姆接觸來完成太陽能電池產(chǎn)生電流所需要的電路。為增強與太陽能電池器件的接觸，通常將指狀件定位在形成于襯底表面內(nèi)的重?fù)诫s區(qū)上，來使得能夠形成歐姆接觸。因為形成的重?fù)诫s區(qū)由于重?fù)诫s區(qū)的電氣性質(zhì)而趨向阻止或最小化可穿過所述區(qū)的光的數(shù)量，所以最小化所述區(qū)的大小是可取的，同時還將這些區(qū)制造得足夠大，以保證指狀件能可靠地對齊并形成于所述區(qū)上。
[0008]形成重?fù)诫s區(qū)和指狀件可包含沉積多個連續(xù)材料層。形成重?fù)诫s區(qū)的層的不對齊可導(dǎo)致重?fù)诫s區(qū)的表面區(qū)域比必要的表面區(qū)域大，并阻止光的通過，否則這些光將可用于太陽能電池。另外，沉積的指狀件與底層重?fù)诫s區(qū)的不對齊可導(dǎo)致差器件性能和低器件效率。重?fù)诫s區(qū)與指狀件的形成的不對齊可能是因為襯底在自動化傳遞器件上的定位誤差、襯底邊緣中的缺陷、襯底表面上重?fù)诫s區(qū)的未知配準(zhǔn)和對齊和/或自動化傳遞器件上的襯底的移位。因此，如果在印刷工藝步驟期間出現(xiàn)足夠大的誤差，那么印刷的多層的不對齊將導(dǎo)致襯底被丟棄。
[0009]在這個領(lǐng)域中，通過上述絲網(wǎng)印刷技術(shù)、通過離子注入技術(shù)或其他技術(shù)在結(jié)晶硅基底上產(chǎn)生太陽能電池以在太陽能電池的正面和/或背面上實現(xiàn)選擇性發(fā)射極結(jié)構(gòu)是眾所周知的。在印刷步驟期間，存在每一印刷步驟之后的一或多個控制步驟的需要，以驗證在每一情況下印刷的層相對于下方的層的對齊，或驗證相對于印刷表面的印刷對齊?？刂撇襟E通過直接獲取襯底圖像完成，圖案化層已沉積在所述襯底上，并且，與參考圖像相比，以便確定可能的差別。此后，完成閉環(huán)反作用計算，來調(diào)節(jié)或改正隨后一或多個印刷的位置。
[0010]也眾所周知的是，在襯底的背面上印刷光生伏打電池的歐姆觸點或母線，所述歐姆觸點或母線通常為灰色并具有陰影，所述陰影與襯底的背面的著色不形成鮮明對比。在印刷了觸點(通常通過沉積銀和/或鋁的導(dǎo)電糊劑實現(xiàn))之后，鋁層沉積在背面自身上且未被觸點占據(jù)的區(qū)域中。最后印刷很難與先前沉積的觸點區(qū)分，因為(在上一情況中也是如此)有限色差。
[0011]也眾所周知的是，在完成的連續(xù)印刷工藝期間，必須通過獲取圖像來控制印刷的正確執(zhí)行。在已知獲取技術(shù)中，根據(jù)圖案沉積的層很難與襯底表面和/或先前印刷的觸點區(qū)分。
[0012]也眾所周知的是，導(dǎo)電材料也可印刷在襯底的上表面或正面，以及上述下表面上。在這種情況下，上表面與印刷部分之間的對比更加強，且因此，避免與印刷表面相對于印痕的差可區(qū)分性相關(guān)的缺點。然而，在這種情況下，很難確定可能的印刷缺陷，例如，相對于電池表面沉積的印痕的不對齊或可能的斑點或印刷缺陷。[0013]因此，存在實現(xiàn)用于光學(xué)捕獲與印在襯底上的圖案有關(guān)的圖像的方法的需要，所述方法高效并允許區(qū)分所印刷圖案與印刷有圖案的表面。
[0014]也存在完善用于光學(xué)捕獲印刷襯底的方法的需要，所述方法允許檢測可能的印刷缺陷，以能夠干預(yù)來消除缺陷。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0015]本發(fā)明的實施方式提供一種控制印在襯底上的圖案的印刷的方法，所述襯底可用于形成光生伏打電池或生帶類型電路器件。所述方法包含印刷步驟:將多個印痕印刷在襯底的表面上，以便限定圖案；和驗證步驟:通過光學(xué)捕獲，驗證襯底上的印痕的印刷。驗證步驟旨在驗證印痕相對于襯底的正確位置，以及還有可能的印刷缺陷兩者。
[0016]方法進一步提供驗證步驟包含以下步驟:
[0017]第一子步驟:通過光學(xué)檢查單元在印刷步驟之前完成獲取將在印刷步驟期間印刷的襯底的、或參考襯底的表面的第一參考光學(xué)圖像；
[0018]第二子步驟:處理第一參考光學(xué)圖像，其中處理單元或控制器確定第一圖像的參考幾何坐標(biāo)，例如，襯底的中心、襯底的頂點的坐標(biāo)或其他，并將所有幾何坐標(biāo)存儲在存儲器中；
[0019]第三子步驟:在印刷步驟之后，其中光學(xué)檢查單元獲取襯底的表面的第二圖像，印痕印刷在該表面上；
[0020]第四子步驟:處理第二圖像，其中處理單元或控制器將第一圖像的參考幾何坐標(biāo)關(guān)聯(lián)到第二圖像，以使得可能確定第一圖像和第二圖像的總重疊；和
[0021]第五子步驟:比較子步驟，在比較期間，處理單元或控制器完成第一圖像和第二圖像的著色的點狀減法，來獲得第三圖像，兩個圖像之間的差異顯示在第三圖像中。
[0022]因此，對于本發(fā)明，可能具有已沉積的印痕之間的比較，并因此確定印痕相對于襯底的相互位置；而且，還可能確定可能的印刷缺陷，例如，斑點、印刷中斷或印痕的不對齊。
[0023]第五比較子步驟允許消除可能的擾動著色，所述著色不允許檢查單元明確地確定印痕或可能的印刷缺陷的位置。在檢測印痕的位置的特定情況下，第五子步驟允許在降低的且輕微色差下克服襯底表面的著色不能與印痕區(qū)分的缺點。
[0024]在另一實施方式中，在第二子步驟和第四子步驟期間，控制器將第一圖像和第二圖像兩者分成相同多個基礎(chǔ)圖像單元，并且，在第五子步驟期間，第一圖像的基礎(chǔ)單元中的每一基礎(chǔ)單元從第二圖像的相應(yīng)基礎(chǔ)單元中減去；以此方式，通過重疊兩個圖像，相同著色被抵消，并且，不同著色被突出顯示且容易彼此區(qū)分。
[0025]在另一實施方式中，當(dāng)必須控制印痕相對于襯底的印刷位置時，在第一獲取步驟期間，獲取與襯底的表面有關(guān)的第一圖像，在隨后的印刷步驟中，印痕將印刷在所述表面上。
[0026]在另一實施方式中，第二圖像至少由對應(yīng)于襯底的非印刷表面的第一區(qū)域和對應(yīng)于沉積在襯底上的印痕的多個第二區(qū)域限定。由檢查單元獲取的這至少一個第一區(qū)域和多個第二區(qū)域具有相似色調(diào)的顏色，且因此，所述第一區(qū)域和第二區(qū)域很難由檢查單元區(qū)分，在由控制器執(zhí)行的處理之后例外。
[0027]在另一實施方式中，在通過使第一圖像和第二圖像相減的比較之后獲得的第三圖像由對應(yīng)于襯底的非印刷表面的至少一第三區(qū)域和由對應(yīng)于沉積在襯底上的印痕的多個第四區(qū)域限定；第三區(qū)域和這多個第四區(qū)域可彼此區(qū)分。事實上，由于第三圖像通過第一圖像和第二圖像的著色的點狀減法獲得，所以第三圖像包括上文限定的對應(yīng)于非印刷區(qū)域的第三區(qū)域；非印刷區(qū)域是(例如)黑色，考慮到相同顏色被減去；對應(yīng)于第四區(qū)域的印刷區(qū)域因此被突出顯示且可容易區(qū)分。在第五子步驟中，控制器確定第四區(qū)域的輪廓并確定可與該些輪廓相關(guān)聯(lián)的坐標(biāo)對，以便評估印痕相對于參考幾何坐標(biāo)采取的位置。
[0028]在另一實施方式中，第一獲取步驟提供來獲取與參考襯底的表面有關(guān)的第一圖像，印痕已按最佳方式沉積在該表面上。這個圖像被視為樣本圖像，并且，相對于該樣本圖像，完成對可能的印刷缺陷(例如，斑點的出現(xiàn)、印痕的中斷或可能的不對齊)的比較，所述缺陷發(fā)生在每一情況下印刷的襯底上。在這種情況下，在獲取的第三圖像中，只顯示對應(yīng)于襯底的表面的存在印刷缺陷的區(qū)域。
[0029]在另一實施方式中，在印刷步驟和驗證步驟之前，提供校準(zhǔn)步驟，其中，確定絕對笛卡爾參考系，以便評估至少參考幾何坐標(biāo)。
[0030]在另一實施方式中，校準(zhǔn)步驟提供通過檢查單元檢測與校準(zhǔn)襯底有關(guān)的樣本圖像，參考部件傳遞到該校準(zhǔn)襯底上。
[0031]在另一實施方式中，參考部件包含多個球狀物，所述球狀物印刷在預(yù)定位置中并根據(jù)矩陣配置。
[0032]在另一實施方式中，參考部件包含成形部件，所述成形部件形成在校準(zhǔn)襯底的中心位置并具備相對于彼此正交安置的兩條邊。
[0033]本發(fā)明的實施方式提供一種控制印在襯底上的圖案的印刷的裝置；在一個實施方式中，所述裝置包含至少一印刷站(例如印刷巢)，所述印刷站適用于在襯底的表面上沉積多個印痕來限定圖案；和光學(xué)檢查單元，所述光學(xué)檢查單元用于獲取第一圖像和第二圖像。
[0034]裝置進一步包含處理單元或控制器，所述處理單元或控制器具備處理構(gòu)件(即，處理器)，所述處理構(gòu)件適用于處理第一圖像和第二圖像并如上所述地將參考幾何坐標(biāo)與這些圖像相關(guān)聯(lián)。處理構(gòu)件也適用于通過各自著色的點狀減法比較第一圖像與第二圖像，以便獲得第三圖像，第一圖像與第二圖像之間的差異顯示在第三圖像中。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0035]本發(fā)明的這些特性和其他特性根據(jù)實施方式的優(yōu)選形式(正如非限制性實例)的以下描述參考附圖將變得顯而易見，其中:
[0036]圖1是可連同本發(fā)明的一些實施方式一起使用的系統(tǒng)的示意性等距視圖；
[0037]圖2是根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式的圖1中的系統(tǒng)的示意性俯視圖；
[0038]圖3是可連同本發(fā)明的一些實施方式一起使用的另一系統(tǒng)的示意性等距視圖；
[0039]圖4是根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式的圖3中的系統(tǒng)的示意性俯視圖；
[0040]圖5是可連同本發(fā)明的一些實施方式一起使用的另一系統(tǒng)的示意性等距視圖；
[0041]圖6是根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式的圖5中的系統(tǒng)的示意性俯視圖；
[0042]圖7是根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式的絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)的印刷巢的一部分的等距視圖；
[0043]圖8是旋轉(zhuǎn)致動器單元的一個實施方式的示意性等距視圖，該旋轉(zhuǎn)致動器單元具有定位以檢查襯底的正面的檢查單元；
[0044]圖9是例示根據(jù)本發(fā)明的方法的第一實施方式的示意圖；
[0045]圖10是用于校準(zhǔn)在根據(jù)本發(fā)明的方法期間獲取的圖像的襯底的示意圖；
[0046]圖11是例示根據(jù)本發(fā)明的方法的第二實施方式的示意圖；
[0047]為了方便理解，在可能情況下使用了相同元件符號指定為諸圖所共用的相同元件?？紤]到一個實施方式的元件和特征可在不進一步敘述的情況下有益地并入其他實施方式中。
【具體實施方式】
[0048]本發(fā)明的實施方式提供一種控制印在襯底上的圖案的印刷的方法和裝置，所述方法和裝置可應(yīng)用在絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)或系統(tǒng)110上，以在太陽能電池襯底250的表面上的所需圖案中形成金屬觸點。
[0049]在一個實施方式中(圖1)，絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)110包含引入輸送裝置111、旋轉(zhuǎn)致動器總成130、絲網(wǎng)印刷腔室102和引出輸送裝置112。引入輸送裝置111可配置為從輸入器件(例如，輸入輸送裝置113)接收襯底250 (S卩，圖1中的路徑“A”)，并將襯底250傳遞到印刷巢131，所述印刷巢131耦接到旋轉(zhuǎn)致動器總成130。引出輸送裝置112可配置為從耦接到旋轉(zhuǎn)致動器總成130的印刷巢131接收已處理襯底250，并將襯底250傳遞到襯底移除器件，例如，出口輸送裝置114 (B卩，圖1中的路徑“E”)。輸入輸送裝置113和出口輸送裝置114可為自動化襯底處理器件，所述自動化襯底處理器件是較大生產(chǎn)線的一部分。
[0050]旋轉(zhuǎn)致動器總成130可通過旋轉(zhuǎn)致動器(未圖示)和系統(tǒng)控制器101關(guān)于“F”軸旋轉(zhuǎn)并成角度地定位，以使得印刷巢131可選擇地成角度地定位在絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)110內(nèi)(例如，圖1的路徑“D1”和“D2”)。旋轉(zhuǎn)致動器總成130也可具有一或多個支持元件來促進控制印刷巢131或用于在絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)110中執(zhí)行襯底處理順序的其他自動化器件。
[0051]在一個實施方式(圖1)中，旋轉(zhuǎn)致動器總成130包括四個印刷巢131或襯底支座，所述襯底支座各自適用于在絲網(wǎng)印刷腔室102內(nèi)執(zhí)行的絲網(wǎng)印刷工藝期間支持襯底250。圖2示意性圖示旋轉(zhuǎn)致動器總成130的位置，其中一個印刷巢131在位置“I”中以從引入輸送裝置111接收襯底250 ;另一印刷巢131在絲網(wǎng)印刷腔室102內(nèi)的位置“2”中，以使得另一襯底250可將絲網(wǎng)印刷圖案接收在該襯底250的表面上；另一印刷巢131在位置“3”中用于將已處理襯底250傳遞到引出輸送裝置112 ;并且，另一印刷巢131在位置“4”中，所述位置“4”是位置“ I”與位置“3”之間的中間階段。
[0052]圖3是示意性等距視圖，且圖4是示意性俯視圖，它們圖示絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)或系統(tǒng)110的另一實施方式，所述系統(tǒng)110也可連同本發(fā)明的實施方式一起使用以在太陽能電池襯底250的表面上的所需圖案中形成金屬觸點。
[0053]在一個實施方式中，圖3和圖4中的系統(tǒng)110大體上包含兩個引入輸送裝置111，以及致動器總成130，所述致動器總成130配置為旋轉(zhuǎn)臺或旋轉(zhuǎn)致動器。系統(tǒng)110還包括多個印刷巢131、多個絲網(wǎng)印刷腔室102、兩個引出輸送裝置112、以及系統(tǒng)控制器101。引入輸送裝置111配置為并行處理配置，以使得每一引入輸送裝置111可從輸入器件(例如，輸入輸送裝置113)接收未處理的襯底250，并將每一未處理襯底250傳遞到印刷巢131，所述印刷巢131耦接到致動器總成130。另外，引出輸送裝置112配置為平行，以使得每一引出輸送裝置112可從印刷巢131接收已處理襯底250，并將每一已處理襯底250傳遞到襯底移除器件，例如，出口輸送裝置114。
[0054]在一個實施方式中，圖3和圖4中的絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)110具有兩個印刷巢131(在位置“I”和位置“3”中)，每一印刷巢131都被定位以將已處理襯底250傳遞到引出輸送裝置112，且還從引入輸送裝置111接收未處理的襯底250。
[0055]因此，在系統(tǒng)110中，襯底的移動大體上遵循路徑“A”。在這種配置中，兩個其他印刷巢131 (在位置“2”和位置“4”中)中的每一印刷巢131定位在絲網(wǎng)印刷腔室102之下，以使得絲網(wǎng)印刷可在未處理的襯底250上完成，所述未處理的襯底250位于各自印刷巢131上。
[0056]這種并行處理配置允許提高處理系統(tǒng)的最小體積的生產(chǎn)能力。盡管圖3和圖4中圖示系統(tǒng)110具有兩個絲網(wǎng)印刷腔室102和四個印刷巢131，但系統(tǒng)110可包含額外絲網(wǎng)印刷腔室102和/或印刷巢131，而不脫離本發(fā)明的領(lǐng)域。
[0057]圖5是示意性等距視圖，且圖6是示意性俯視圖，它們圖示絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)或系統(tǒng)101的另一實施方式，所述系統(tǒng)110也可連同本發(fā)明的實施方式一起使用以在太陽能電池襯底250的表面上的所需圖案中形成金屬觸點。
[0058]在一個實施方式中，圖5和圖6中的絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)110包含引入輸送裝置111、致動器總成230、絲網(wǎng)印刷腔室102、引出輸送裝置112和系統(tǒng)控制器101，所述致動器總成230在這個實施方式中配置為線性移動單元。引入輸送裝置111可配置為從輸入器件(例如，輸入輸送裝置113)接收襯底250 (S卩，圖5和圖6中的路徑“A”)，并將襯底250傳遞到印刷巢131，所述印刷巢131在入口處耦接到致動器總成230。引出輸送裝置112可配置為從在出口處耦接到致動器總成230的印刷巢131接收已處理襯底250，并將襯底250傳遞到襯底移除器件，例如，出口輸送裝置114 (B卩，圖5和圖6中的路徑“E”)。輸入輸送裝置113和出口輸送裝置114可為自動化襯底處理器件，所述自動化襯底處理器件是較大生產(chǎn)線的一部分。
[0059]引入輸送裝置111從位置“I”(圖6)、絲網(wǎng)印刷腔室102內(nèi)的位置“2”和第三位置“3”運送襯底250，在位置“I”中，襯底250引入絲網(wǎng)印刷腔室102，在第三位置“3”中，已處理襯底250從絲網(wǎng)印刷腔室102卸出并輸送到其他操作站。在雙印刷或多印刷的情況下，襯底250再次在位置“2”中引入絲網(wǎng)印刷腔室102來完成第二印刷步驟或進一步印刷步驟，并且，襯底250接著再次從絲網(wǎng)印刷腔室102卸出傳到位置“3”。這種交替移動被重復(fù)數(shù)次，該次數(shù)與將要印刷的層的數(shù)目相一致，直到最終產(chǎn)品決定性地卸出為止。
[0060]如圖7中所示，印刷巢131大體上由輸送裝置總成139組成，所述輸送裝置總成139具有輸帶軸135、收帶軸136、滾子140和一或多個致動器148，所述一或多個致動器148耦接到輸帶軸135和/或收帶軸136，所述輸帶軸135和/或收帶軸136適用于饋送和保持定位在壓板138上的支持材料137。壓板138大體上具有襯底支持表面，在絲網(wǎng)印刷腔室102中執(zhí)行的絲網(wǎng)印刷工藝期間，襯底250和支持材料137定位在所述襯底支持表面上。在一個實施方式中，支持材料137為允許通過真空將襯底250保持在壓板138上的多孔材料，所述襯底250安置在支持材料137的一個側(cè)面上，所述真空由常規(guī)真空產(chǎn)生器件(例如，真空泵、真空噴射器)施加到支持材料137的相對側(cè)面。在一個實施方式中，真空施加到形成在壓板138的襯底支持表面中的真空口(未圖示)，以使得襯底250可“被投擲”到壓板138的襯底支持表面。在一個實施方式中，支持材料137為可蒸發(fā)材料，所述可蒸發(fā)材料由(例如)用于卷煙紙類型的可蒸發(fā)紙或另一相似材料構(gòu)成，例如，執(zhí)行相同功能的塑料或紡織材料。
[0061]在一個配置中，致動器148耦接到、或適用于嚙合輸帶軸135和收帶軸136，以使得可在印刷巢131內(nèi)準(zhǔn)確地控制定位在支持材料137上的襯底250的移動。在一個實施方式中，輸帶軸135和收帶軸136各自適用于接收一定長度的支持材料137的相對末端。在一個實施方式中，致動器148各自含有一或多個驅(qū)動輪147，所述一或多個驅(qū)動輪147耦接到或接觸定位在輸帶軸135和/或收帶軸136上的支持材料137的表面，來控制穿過壓板138的支持材料137的運動和位置。
[0062]參考圖1至圖6描述的印刷系統(tǒng)中的絲網(wǎng)印刷腔室102中的每一絲網(wǎng)印刷腔室102適用于在絲網(wǎng)印刷工藝期間將材料沉積在襯底250的表面上的所需圖案中，所述襯底250定位在位置“2”中的印刷巢131上。在一個實施方式中，絲網(wǎng)印刷腔室102包括多個致動器，例如，致動器102A (例如，步進電機或伺服電機)，所述致動器102A與系統(tǒng)控制器101通信并用于調(diào)整絲網(wǎng)印刷遮罩102B (圖1和圖5)相對于正被印刷的襯底250的位置和/或角定向，所述絲網(wǎng)印刷遮罩102B安置在絲網(wǎng)印刷腔室102內(nèi)。在一個實施方式中，絲網(wǎng)印刷遮罩102B為具有多個區(qū)分性特征102C (圖1和圖5)的金屬片或板材，所述多個區(qū)分性特征102C為例如孔、狹槽或借此形成來限定襯底250的表面上的絲網(wǎng)印刷材料(即，墨水或糊劑)的圖案和布置的其他縫隙。大體來說，通過使用致動器102A和由系統(tǒng)控制器101從檢查總成200接收的信息將絲網(wǎng)印刷遮罩102B定向在襯底表面之上的所需位置中，以自動化形式使將要沉積在襯底250的表面上的絲網(wǎng)印刷圖案對齊襯底250。在一個實施方式中，絲網(wǎng)印刷腔室102適用于將含金屬材料或含電介質(zhì)材料沉積在太陽能電池襯底250上，所述太陽能電池襯底250具有在約125mm與156mm之間的寬度和在約70mm與約156mm之間的長度。在一個實施方式中，絲網(wǎng)印刷腔室102適用于將含金屬糊劑沉積在襯底250的表面上，以在襯底表面上形成金屬接觸結(jié)構(gòu)。
[0063]對于圖1至圖6中所示的絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)110中的每一絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)110，關(guān)聯(lián)有檢查總成200，該檢查總成200適用于檢查安置在印刷巢131上的襯底250，該襯底250上通過絲網(wǎng)印刷而被印刷所需圖案。
[0064]檢查總成200適用于在印刷之前和之后識別和檢查襯底250，并可包含一或多個攝像機121 (例如，CXD攝像機)和其他電子元件，所述電子元件能夠檢查和將檢查結(jié)果通信給用于分析印刷巢131上的襯底250的定向和位置的系統(tǒng)控制器101。
[0065]在一個實施方式中，圖8中的攝像機121定位在襯底250的表面251上方，以使得攝像機121的觀察區(qū)域122可檢查表面251的至少一個區(qū)。如上所述，由攝像機121接收的信息用于對齊絲網(wǎng)印刷遮罩102B且因此對齊隨后沉積的材料，且還用于獲取沉積在襯底250上的層的圖像。
[0066]在一個實施方式中,攝像機121為InGaAs型攝像機,所述InGaAs型攝像機具有制冷CCD陣列來增強檢測信號的信噪比。在一些配置中，需要通過封閉或遮蔽襯底250的表面251與攝像機121之間的區(qū)來隔離檢查總成200與環(huán)境光。
[0067]在一個實施方式中，檢查總成200還包括一或多個濾光器(未圖示)，所述一或多個濾光器安置在攝像機121與襯底250的表面251之間。在這種配置中，一或多個濾光器被選擇成僅允許某些所需波長傳到攝像機121，以降低由攝像機121接收的不必要的能量的量，來改進檢測到的輻射的信噪比。一或多個濾光器可為帶通濾波器、窄帶濾波器、邊緣光濾波器、陷波濾波器或購自(例如)Barr Associates或購自Andover Corporation的寬帶濾波器。
[0068]系統(tǒng)控制器101促進總絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)110的控制和自動化，并可包括中央處理單元(CPU)(未圖示)、存儲器(未圖示)和支持電路(或I/O)(未圖示)。CPU可為任何形式的計算機處理器中的一個計算機處理，所述計算機處理器用在工業(yè)環(huán)境中用于控制各種腔室處理和硬件(例如，輸送裝置、光學(xué)檢查總成、電機、流體輸送系統(tǒng)硬件等)并監(jiān)視系統(tǒng)和腔室處理(例如，襯底位置、工藝時間、檢測器信號等)。存儲器連接到CPU，并可為現(xiàn)成存儲器(例如，隨機存取存儲器(RAM)、只讀存儲器(ROM)、軟盤、硬盤或任何其他形式的數(shù)字存儲(本地或遠(yuǎn)程))中的一或多個。軟件指令和數(shù)據(jù)可編碼并存儲在存儲器中用于指示CPU。支持電路也連接到CPU，用于以常規(guī)方式支持處理器。支持電路可包括緩存、電源、時鐘電路、輸入/輸出電路、子系統(tǒng)等等。系統(tǒng)控制器101可讀的程序(或計算機指令)確定哪些任務(wù)可在襯底上執(zhí)行。優(yōu)選地，程序為系統(tǒng)控制器101可讀的軟件，所述軟件包括用于產(chǎn)生和存儲至少襯底位置信息、各種受控元件的移動序列、襯底光學(xué)檢查系統(tǒng)信息和任何其他相應(yīng)組合的代碼。
[0069]圖9提供一種控制印在襯底上的圖案的印刷的方法。控制方法提供第一獲取步驟，其中攝像機121在印刷襯底250之前獲取與安置在絲網(wǎng)印刷腔室102 (圖1至圖6)中的襯底250有關(guān)的第一圖像301。
[0070]特別是，來自輸入輸送裝置113的襯底250安置在將要在適當(dāng)時刻傳遞到印刷位置“2”的位置“I”中。當(dāng)襯底250在位置“2”中時，且在印刷工藝開始之前，攝像機121檢測襯底相對于印刷巢131的位置并獲取襯底的第一圖像301。
[0071]在一個實施方式中，第一圖像301只不過是表面251的相片，在印刷操作期間，印痕302根據(jù)所需圖案印刷在表面251上。如前所述，襯底250的表面251，在這種情況下為下表面(又稱為背面)在顏色上接近深灰色，印痕302沉積在表面251上。事實上，表面251通常由電介質(zhì)材料或金屬材料(例如，鋁)覆蓋。
[0072]獲取的第一圖像301由控制器101適當(dāng)?shù)靥幚?、分成圖像的多個基礎(chǔ)單元(即，多個像素)并保存在控制器101的存儲器中。在這種操作期間，例如，通過確定襯底250的頂點的位置來確定襯底250的幾何性質(zhì)。
[0073]參考附圖，襯底250的形狀實質(zhì)上為矩形，且因此，評估襯底250的四個頂點的位置。
[0074]更具體地說，在第一圖像301 (圖9)中，確定第一對坐標(biāo)(X1、Y1)、第二對坐標(biāo)(X2、Υ2)、第三對坐標(biāo)(Χ3、Υ3)和第四對坐標(biāo)(Χ4、Υ4)。很明顯，為了確定襯底250的位置和襯底250的特性，確定四對坐標(biāo)中的三對就足夠了。
[0075]在獲取圖像的第一步驟中，也可提供相對于印刷巢131對齊襯底250的步驟，以下將描述，來允許將印痕302正確沉積在襯底250上。此后，在絲網(wǎng)印刷腔室102中，印痕302通常沉積有導(dǎo)電材料，例如，銀、鋁或銀和鋁，所述印痕302具有與襯底250的沉積表面251的顏色差別不大的灰色。一旦印刷操作完成，同一攝像機121獲取襯底250的沉積表面251的第二圖像，印痕302沉積在所述沉積表面251上。[0076]獲取的第二圖像303具有第一區(qū)域305，無材料沉積在第一區(qū)域305上；和多個第二區(qū)域306，所述第二區(qū)域306表示印痕。第二區(qū)域306很難與第一區(qū)域305區(qū)分，考慮到印痕302與表面251之間的對比是最小的，也就是說，色彩明暗不是非常容易區(qū)分。這樣使得很難通過第二圖像303的直接獲取來獲得襯底250上的印痕302的位置的直接確定。
[0077]為此，在一個實施方式中，方法提供比較步驟來比較第一圖像301與第二圖像303。更具體來說，在比較步驟期間，第一對坐標(biāo)、第二對坐標(biāo)、第三對坐標(biāo)和第四對坐標(biāo)也與第二圖像303相關(guān)聯(lián)。換句話說，各自的中心通過重疊檢測到的四個坐標(biāo)中的至少三個坐標(biāo)使得與第一圖像301和第二圖像303 —致。這樣允許調(diào)整第二圖像303相對于第一圖像301的位置，以便獲得兩個圖像的完美重疊。第二圖像303還有利地使用與用于第一圖像301相同的劃分方法分成多個基礎(chǔ)單元或像素。
[0078]而且，在比較步驟期間，提供子步驟，在該子步驟期間，第二圖像303從第一圖像301減去，以使得第二圖像303的每一像素從安置在第一圖像301的相應(yīng)位置中的相應(yīng)像素減去。因此，在沒有沉積表面251 (在該沉積表面251上還未沉積印痕302)的背景分量的情況下，從減法操作獲得第三圖像307。因此，第三圖像307由對應(yīng)于不存在印痕302的表面251的第三區(qū)域308和對應(yīng)于存在印痕302的位置的第四區(qū)域309限定。
[0079] 在如上所述圖像比較之后，第四區(qū)域309相對于第三區(qū)域308形成鮮明對比。當(dāng)確定了第三圖像307時，控制器101適用于區(qū)分和確定印痕302中的每一印痕302的輪廓310。特別是，控制器101與輪廓310中的每一輪廓310相關(guān)聯(lián)，所述輪廓310與印痕302特性點有關(guān)，所述特性點允許確定由每一印痕302相對于沉積表面251采取的位置。例如，對于與印痕302有關(guān)的第四區(qū)域309中的每一區(qū)域309，關(guān)聯(lián)有正中線M，正中線M識別印痕302在襯底250上的沉積。
[0080]在這種情況下，對于第四區(qū)域309中的每一第四區(qū)域309，關(guān)聯(lián)有兩對坐標(biāo)，在這種情況下，是關(guān)于第四區(qū)域309中的一個第四區(qū)域309的第五對坐標(biāo)《5、￥5)、第六對坐標(biāo)(X6、Y6)和關(guān)于第四區(qū)域309中的另一個第四區(qū)域309的第七對坐標(biāo)(Χ7、Υ7)及第八對坐標(biāo)(Χ8、Υ8 )。對于第四對坐標(biāo)和第五對坐標(biāo)，正中線M中的一個正中線M安置通過，而對于第六對坐標(biāo)和第七對坐標(biāo)，正中線M的另一個正中線M穿過。因此，可能確定個別印痕302相對于襯底250的表面251的精確位置。
[0081]襯底250在印刷巢131的正確定位和確定笛卡爾參考系X、Y通過校準(zhǔn)檢查總成200的第一步驟獲得以允許控制器101確定將要在印刷工藝期間應(yīng)用的參考系。
[0082]例如，在印刷工藝開始、或如果替換攝像機或當(dāng)修改了印刷參數(shù)(例如，絲網(wǎng)印刷腔室102與襯底250之間的距離)時，執(zhí)行最初校準(zhǔn)步驟。
[0083]校準(zhǔn)步驟通過校準(zhǔn)襯底313 (圖10)實現(xiàn)，所述校準(zhǔn)襯底313實質(zhì)上為與最佳襯底250相同的形狀和大小。特別是，校準(zhǔn)襯底313具備參考部件，在這種情況下，為形成在校準(zhǔn)襯底313的表面中且在行和列中根據(jù)矩陣配置的多個絲網(wǎng)印刷球狀物315 ;在這種情況下，每行和每列均存在十七個絲網(wǎng)印刷球狀物315。在襯底313的中心位置中，還形成L形部件316，即，具有實質(zhì)上相對于彼此正交的兩條邊。
[0084]在校準(zhǔn)步驟期間，校準(zhǔn)襯底313安置在印刷巢131上，并且，攝像機121檢測發(fā)送到控制器101的樣本圖像。
[0085]取決于檢測到的樣本圖像，且因此取決于絲網(wǎng)印刷球狀物315和成形部件316的位置，控制器101適用于居中校準(zhǔn)襯底313并將笛卡爾坐標(biāo)系X、Y與校準(zhǔn)襯底313相關(guān)聯(lián)，所述笛卡爾坐標(biāo)系X、Y隨后將考慮檢測第一圖像301和第二圖像303，且因此考慮確定笛卡爾坐標(biāo)對。
[0086]在另一實施方式中，獲取圖11中的圖像的方法還可用于控制沉積在襯底250上的印痕302的印刷質(zhì)量。這個方法可在襯底250的兩個表面上啟用，也就是說，就涉及光生伏打電池而言，在收集表面和形成接觸的表面兩者上啟用。在這個實施方式中，步驟提供來檢測攝像機121獲得的參考圖像1301。參考圖像1301從參考襯底或校準(zhǔn)襯底250檢測到，印痕302已經(jīng)以最佳方式沉積在該參考襯底或校準(zhǔn)襯底250上。檢測步驟可在印刷工藝開始時完成，其中印痕302視為已經(jīng)以最佳方式沉積在襯底250上，并且參考圖像1301與在印刷工藝期間在每一情況下檢測到的圖像相比。在與用于上述第一圖像301相同的方式中，參考圖像1301也由控制器101適當(dāng)?shù)靥幚?、分成多個基礎(chǔ)圖像單元或多個像素并保存儲在控制器101的存儲器中。同樣地，對于參考圖像1301，確定襯底250的幾何性質(zhì)，也就是說，確定第一對坐標(biāo)(Χ1、Υ1)、第二對坐標(biāo)(Χ2、Υ2)、第三對坐標(biāo)(Χ3、Υ3)和第四對坐標(biāo)(Χ4、Υ4)。
[0087]在印刷工藝期間，一旦印痕302已被沉積在襯底250上，攝像機121就檢測表面251的第二圖像1303，在第二圖像1303中檢測印刷工藝的可能缺陷318，例如，斑點、中斷、印痕的可能不對齊或其他。第二圖像1303分成多個基礎(chǔ)圖像單元(S卩，多個像素)，并存儲在控制器101的存儲器中。同樣對于第二圖像1303，確定襯底250的頂點的坐標(biāo)，即，對參考圖像1301所確定的坐標(biāo)對。以此方式，可能在隨后比較參考圖像1301與第二圖像1303的步驟期間確定兩個圖像的完美重疊。
[0088]在比較步驟期間，個別基礎(chǔ)單元(即，參考圖像1301和第二圖像1303的像素)從彼此減去。
[0089]因此，根據(jù)減法操作，在沒有表面251的背景分量和沒有與最佳沉積在襯底250上的印痕302有關(guān)的分量的情況下，獲得第三圖像1307。因此，第三圖像1307由對應(yīng)于基礎(chǔ)分量的第三區(qū)域1308和由對應(yīng)于缺陷318的多個第四區(qū)域1309限定。
[0090]在比較參考圖像1301與第二圖像1303之后，因此，可能獲得第三圖像1307，在第三圖像1307中只標(biāo)識了印刷缺陷318，而沒有印痕302的相應(yīng)區(qū)域。
[0091]在印痕與缺陷的色彩明暗基本相同的情況下，比較步驟允許控制器101區(qū)分源自沉積印痕302的分量與源自缺陷318的分量，且因此，理解已印刷的襯底250是否在質(zhì)量方面可視為可接受的或必須丟棄。
[0092]如上所提及，顯而易見的是，如果印痕彼此形成鮮明對比，那么圖像之間的這種比較也可完成，且因此，避免關(guān)于如上所述的本發(fā)明的第一實施方式所描述的問題。
[0093]在印刷工藝之前，且一旦將襯底250定位在印刷巢131上，那么可能提供操作來相對于絲網(wǎng)印刷遮罩102Β定位襯底250，以便防止印痕302相對于襯底250的不對齊。
[0094]顯而易見的是，控制方法也可以相同方式完成來控制形成在襯底250上的多個印刷。
[0095]盡管前文針對本發(fā)明的實施方式，但在不脫離本發(fā)明的基本范圍的情況下，可設(shè)想本發(fā)明的其他實施方式和進一步實施方式，并且，本發(fā)明的范圍由以下權(quán)利要求確定。
【權(quán)利要求】
1.一種控制印在襯底(250)，諸如形成光生伏打電池或生帶類型電路的晶圓上的圖案的印刷的方法，所述方法包含以下步驟: 在所述襯底(250)的表面(251)上印刷多個印痕(302)來限定所述圖案；和 通過光學(xué)捕獲驗證所述襯底上的所述印痕的所述印刷，其中所述驗證步驟包含以下步驟: 通過檢查單元(200 )在印刷之前完成獲取所述襯底或參考襯底的所述表面(251)的第一參考光學(xué)圖像(301、1301)； 處理所述第一圖像(301、1301)，其中，處理單元或控制器(101)確定所述第一圖像的參考幾何坐標(biāo)(X1、Yl ;Χ2、Υ2 ;Χ3、Υ3 ;Χ4、Υ4)并存儲所述幾何坐標(biāo)； 在所述印刷之后，通過所述檢查單元獲取所述襯底的所述表面的第二圖像(303、1303)，所述印痕(302)印刷在所述表面上； 通過所述處理單元或控制器(101)處理所述第二圖像(303、1303)，所述處理單元或控制器(101)將所述第一圖像(301、1301)的所述參考幾何坐標(biāo)關(guān)聯(lián)到所述第二圖像(303、1303)； 所述處理單元或控制器(101)逐點減去所述第一圖像(301、1301)與所述第二圖像(303、1303)之間的著色來獲得第三圖像(307)，所述第一圖像與所述第二圖像之間的差異顯示在所述第三圖像(307)中。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在所述第一圖像和第二圖像的所述處理步驟期間，所述處理單元或控制`器(101)將所述第一圖像(301、1301)和所述第二圖像(303、1303)兩者再分成相同多個基礎(chǔ)圖像單元，并且，在所述減去步驟期間，所述第一圖像的所述基礎(chǔ)單兀中的每一基礎(chǔ)單兀從所述第二圖像的相應(yīng)基礎(chǔ)單兀中減去。
3.如權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，在所述獲取步驟中，獲取與所述襯底(250)的所述表面(251)有關(guān)的所述第一圖像，在所述印刷步驟中，所述印痕(302)印刷在所述表面(251)上。
4.如權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述第二圖像至少由對應(yīng)于所述襯底(250)的非印刷表面的第一區(qū)域(305)和由對應(yīng)于沉積在所述襯底(250)上的所述印痕(302)的多個第二區(qū)域(306)限定，所述至少第一區(qū)域(305)和所述多個第二區(qū)域(306)具有彼此相似的色彩明暗。
5.如權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述第三圖像(307)由對應(yīng)于所述襯底(250)的非印刷表面的至少一第三區(qū)域(308)和由對應(yīng)于沉積在所述襯底(250)上的所述印痕(302)的多個第四區(qū)域(309)限定，所述第三區(qū)域(308)和所述多個第四區(qū)域(309)彼此是可區(qū)分的。
6.如權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，在所述獲取步驟中，所述處理單元或控制器(101)確定所述第四區(qū)域(309)的輪廓(310)并確定可與所述輪廓(310)相關(guān)聯(lián)的坐標(biāo)對，以便評估由所述印痕(302)相對于所述參考幾何坐標(biāo)(X1、Yl ;Χ2、Υ2 ;Χ3、Υ3 ;Χ4、Υ4)采取的位置。
7.如權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述獲取步驟提供來獲取與參考襯底的所述表面有關(guān)的所述第一圖像，印痕已沉積在所述表面上。
8.如權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，在所述第三圖像(309)中，只顯示所述襯底(250)的所述表面(251)中存在印刷缺陷(318)的區(qū)域。
9.如權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，在所述印刷步驟和所述驗證步驟之前，提供校準(zhǔn)，在所述校準(zhǔn)中確定絕對笛卡爾參考系(X、Y)，以便評估至少所述參考幾何坐標(biāo)(X1、Yl ;Χ2、Υ2 ;Χ3、Υ3 ;Χ4、Υ4)。
10.如權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述校準(zhǔn)提供來通過所述檢查單元(200)檢測與校準(zhǔn)襯底(313)有關(guān)的樣本圖像，參考部件(315、316)傳遞到所述校準(zhǔn)襯底(313)上。
11. 如權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，所述參考部件包含多個球狀物(315)，所述球狀物(315)在預(yù)定位置中并根據(jù)矩陣配置形成。
12.如權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，所述參考部件包含成形部件(316)，所述成形部件(316)形成在所述校準(zhǔn)襯底(313)的中心位置并具備相對于彼此正交安置的兩條邊。
13.—種控制印在襯底(250)(例如，形成光生伏打電池或生帶類型電路的晶圓)上的圖案的印刷的裝置，所述裝置包含: 印刷站(131)，所述印刷站(131)適用于在所述襯底(250)的表面(251)上沉積多個印痕(302)來限定所述圖案；和 光學(xué)檢查單元，所述光學(xué)檢查單元獲取所述表面的圖像，所述印痕印刷在所述表面上， 其中所述檢查單元(200)配置為檢測所述襯底或參考襯底的所述表面(251)的至少一第一參考光學(xué)圖像和所述襯底的所述表面的至少一第二圖像(303、1303)，所述印痕(302)已印刷在所述表面上， 所述裝置進一步包含具備處理器的處理單元或控制器(101 )，所述處理器配置為處理所述第一圖像(301、1301)并將參考幾何坐標(biāo)關(guān)聯(lián)到所述第一圖像，并且處理所述第二圖像(303、1303)以將所述參考幾何坐標(biāo)關(guān)聯(lián)到所述第二圖像(303、1303)， 所述處理器進一步配置為通過各自著色的點狀減法來比較所述第一圖像與所述第二圖像，以便獲得第三圖像(307)，所述第一圖像與所述第二圖像之間的差異顯示在所述第三圖像(307)中，所述控制器(101)還包含存儲器來存儲至少所述第一圖像(301、1301)。
【文檔編號】B41F17/00GK103481690SQ201310130296
【公開日】2014年1月1日 申請日期:2013年4月15日 優(yōu)先權(quán)日:2012年4月13日
【發(fā)明者】E·M·博斯科羅, T·瓦塞斯, A·羅馬內(nèi)羅 申請人:應(yīng)用材料意大利有限公司