位置檢測裝置、基板制造裝置、位置檢測方法及基板的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種能夠根據(jù)拍攝部所拍攝的圖像中的對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，更準(zhǔn)確地計(jì)算實(shí)際的對準(zhǔn)標(biāo)記的位置的技術(shù)。位置檢測裝置具有拍攝部、存儲(chǔ)部、控制部。上述拍攝部能夠在與基準(zhǔn)面相對的狀態(tài)下沿所述基準(zhǔn)面移動(dòng)，對位于所述基準(zhǔn)面上的對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝。在上述存儲(chǔ)部中，記錄有換算信息，該換算信息構(gòu)成為，與所述拍攝部的位置相對應(yīng)而確定由所述拍攝部拍攝的圖像的倍率。上述控制部使用在所述存儲(chǔ)部中記錄的所述換算信息，根據(jù)所述拍攝部的位置以及所述圖像中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，對所述基準(zhǔn)面中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置進(jìn)行計(jì)算。
【專利說明】位置檢測裝置、基板制造裝置、位置檢測方法及基板的制造方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本技術(shù)涉及一種使用可移動(dòng)的拍攝部準(zhǔn)確地檢測對準(zhǔn)標(biāo)記的位置的技術(shù)。

【背景技術(shù)】
[0002]當(dāng)前，向基板上印刷膏狀焊料的絲網(wǎng)印刷裝置被廣泛所知(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。
[0003]在絲網(wǎng)印刷裝置中，使用設(shè)置有圖案孔的絲網(wǎng)，在絲網(wǎng)的上側(cè)配置刮板，在絲網(wǎng)的下側(cè)配置基板。這種絲網(wǎng)印刷裝置構(gòu)成為，如果在供給有膏狀焊料的絲網(wǎng)上使刮板滑動(dòng)，則膏狀焊料經(jīng)由圖案孔被印刷在基板上。
[0004]已知一種絲網(wǎng)印刷裝置，其使用由照相機(jī)拍攝絲網(wǎng)以及基板的對準(zhǔn)標(biāo)記而得到的圖像，對絲網(wǎng)和基板的相對位置進(jìn)行調(diào)整，以將膏狀焊料向基板的準(zhǔn)確位置上印刷。
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2013 - 095051號公報(bào)
[0006]在利用照相機(jī)對絲網(wǎng)以及基板的對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝的絲網(wǎng)印刷裝置中，根據(jù)照相機(jī)所拍攝的圖像中的對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，對實(shí)際的絲網(wǎng)及基板上的對準(zhǔn)標(biāo)記的位置進(jìn)行計(jì)算。因此，在這種絲網(wǎng)印刷裝置中，照相機(jī)所拍攝的圖像的倍率的設(shè)定值有誤差的情況下，絲網(wǎng)和基板的相對位置的調(diào)整也產(chǎn)生誤差。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]鑒于上述情況，本技術(shù)的目的在于，提供一種能夠根據(jù)拍攝部所拍攝的圖像中的對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，更準(zhǔn)確地計(jì)算實(shí)際的對準(zhǔn)標(biāo)記的位置的技術(shù)。
[0008]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本技術(shù)的一個(gè)方式所涉及的位置檢測裝置具有拍攝部、存儲(chǔ)部、控制部。
[0009]上述拍攝部能夠在與基準(zhǔn)面相對的狀態(tài)下沿所述基準(zhǔn)面移動(dòng)，對位于所述基準(zhǔn)面上的對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝。
[0010]在上述存儲(chǔ)部中，記錄有換算信息，該換算信息構(gòu)成為，與所述拍攝部的位置相對應(yīng)而確定由所述拍攝部拍攝的圖像的倍率。
[0011]上述控制部使用在所述存儲(chǔ)部中記錄的所述換算信息，根據(jù)所述拍攝部的位置以及所述圖像中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，對所述基準(zhǔn)面中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置進(jìn)行計(jì)算。
[0012]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，上述位置檢測裝置能夠使用與拍攝部的位置對應(yīng)的倍率，根據(jù)拍攝部所拍攝的圖像中的對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，計(jì)算基準(zhǔn)面中的對準(zhǔn)標(biāo)記的位置。因此，由于抑制由拍攝部的位置引起的圖像的倍率誤差，所以上述位置檢測裝置能夠更準(zhǔn)確地檢測出對準(zhǔn)標(biāo)記的位置。
[0013]上述換算信息也可以包含由所述拍攝部在多個(gè)位置處分別拍攝的圖像的倍率的實(shí)際測量值。
[0014]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，上述位置檢測裝置與僅設(shè)定有圖像的倍率的代表值的位置檢測裝置相比，能夠更準(zhǔn)確地檢測出對準(zhǔn)標(biāo)記的位置。
[0015]所述多個(gè)位置沿所述基準(zhǔn)面規(guī)則地排列。
[0016]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，上述位置檢測裝置在拍攝部位于沿基準(zhǔn)面的任意位置的情況下，都可以更準(zhǔn)確地檢測出對準(zhǔn)標(biāo)記的位置。
[0017]所述控制部也可以使用與在所述多個(gè)位置中距所述拍攝部的位置最近的位置對應(yīng)的所述實(shí)際測量值，對所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置進(jìn)行計(jì)算。
[0018]另外，所述控制部也可以使用根據(jù)下述所述實(shí)際測量值計(jì)算出的值，對所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置進(jìn)行計(jì)算，該實(shí)際測量值與在所述多個(gè)位置中接近所述拍攝部的位置的大于或等于2個(gè)的位置對應(yīng)。
[0019]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，上述位置檢測裝置能夠更準(zhǔn)確地檢測出對準(zhǔn)標(biāo)記的位置。
[0020]上述位置檢測裝置也可以還具有保持部，該保持部對具有設(shè)置有所述對準(zhǔn)標(biāo)記的主面的基板進(jìn)行保持，并使所述主面的位置與所述基準(zhǔn)面對齊。
[0021]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，上述位置檢測裝置能夠準(zhǔn)確地檢測出基板的位置。
[0022]本技術(shù)的一個(gè)方式所涉及的基板制造裝置具有保持部、處理部、拍攝部、存儲(chǔ)部、控制部。
[0023]上述保持部對具有設(shè)置有對準(zhǔn)標(biāo)記的主面的基板進(jìn)行保持，并使所述主面的位置與基準(zhǔn)面對齊。
[0024]上述處理部對被保持在所述保持部上的所述基板進(jìn)行處理。
[0025]上述拍攝部能夠在與所述基準(zhǔn)面相對的狀態(tài)下沿所述基準(zhǔn)面移動(dòng)，對所述對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝。
[0026]在上述存儲(chǔ)部中，記錄有換算信息，該換算信息構(gòu)成為，與所述拍攝部的位置相對應(yīng)而確定由所述拍攝部拍攝的圖像的倍率。
[0027]上述控制部使用所述存儲(chǔ)部中記錄的所述換算信息，根據(jù)所述拍攝部的位置以及所述圖像中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，對所述基準(zhǔn)面中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置進(jìn)行計(jì)算，在基于計(jì)算出的位置而識(shí)別出所述基板的位置后，使所述處理部執(zhí)行對所述基板的處理。
[0028]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，上述基板制造裝置能夠使用與拍攝部的位置對應(yīng)的倍率，根據(jù)拍攝部所拍攝的圖像中的對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，計(jì)算基板的對準(zhǔn)標(biāo)記的位置。因此，抑制由于拍攝部的位置引起的圖像的倍率誤差，因此，上述位置檢測裝置能夠更準(zhǔn)確地調(diào)整處理部和基板的相對位置。
[0029]本技術(shù)的一個(gè)方式所涉及的位置檢測方法，包含下述步驟，S卩，利用能夠在與基準(zhǔn)面相對的狀態(tài)下沿所述基準(zhǔn)面移動(dòng)的拍攝部，對位于所述基準(zhǔn)面上的對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝。上述位置檢測方法包含下述步驟，即，與所述拍攝部的位置相對應(yīng)而確定由所述拍攝部拍攝的圖像的倍率。
[0030]上述位置檢測方法包含下述步驟，S卩，使用所確定的倍率，根據(jù)所述拍攝部的位置以及所述圖像中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，對所述基準(zhǔn)面中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置進(jìn)行計(jì)笪
ο
[0031]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在上述位置檢測方法中，能夠使用與拍攝部的位置對應(yīng)的倍率，根據(jù)拍攝部所拍攝的圖像中的對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，計(jì)算基準(zhǔn)面中的對準(zhǔn)標(biāo)記的位置。因此，抑制由于拍攝部的位置引起的圖像的倍率誤差，因此，在上述位置檢測方法中，能夠更準(zhǔn)確地檢測出對準(zhǔn)標(biāo)記的位置。
[0032]本技術(shù)的一個(gè)方式所涉及的基板的制造方法包含下述步驟，S卩，配置具有設(shè)置有對準(zhǔn)標(biāo)記的主面的基板，使得所述主面的位置與基準(zhǔn)面對齊。
[0033]上述基板的制造方法包含下述步驟，S卩，利用能夠在與所述基準(zhǔn)面相對的狀態(tài)下沿所述基準(zhǔn)面移動(dòng)的拍攝部，對配置于所述基準(zhǔn)面上的所述主面的所述對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝。
[0034]上述基板的制造方法包含下述步驟，S卩，與所述拍攝部的位置相對應(yīng)而確定由所述拍攝部拍攝的圖像的倍率。
[0035]上述基板的制造方法包含下述步驟，即，使用所確定的倍率，根據(jù)所述拍攝部的位置以及所述圖像中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，對所述基準(zhǔn)面中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置進(jìn)行計(jì)算，基于計(jì)算出的位置，對所述基板的位置進(jìn)行識(shí)別。
[0036]上述基板的制造方法包含下述步驟，S卩，在識(shí)別出所述基板的位置后，執(zhí)行對所述基板的處理。
[0037]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在上述基板的制造方法中，能夠相對于基板的更準(zhǔn)確的位置執(zhí)行處理。
[0038]本技術(shù)的一個(gè)方式所涉及的位置檢測方法包含下述步驟，S卩，利用能夠在與基準(zhǔn)面相對的狀態(tài)下沿所述基準(zhǔn)面移動(dòng)的拍攝部，對位于所述基準(zhǔn)面上的對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行第I拍攝。
[0039]上述位置檢測方法包含下述步驟，即，根據(jù)通過所述第I拍攝得到的第I圖像的倍率、所述第I拍攝時(shí)的所述拍攝部的位置、以及所述第I圖像中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，對所述基準(zhǔn)面中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的第I位置進(jìn)行計(jì)算。上述位置檢測方法包含下述步驟，即，利用所述拍攝部，對所述第I位置進(jìn)行第2拍攝。
[0040]上述位置檢測方法包含下述步驟，即，根據(jù)通過所述第2拍攝得到的第2圖像的倍率、所述第2拍攝中的所述拍攝部的位置、以及所述第2圖像中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，對所述基準(zhǔn)面中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的第2位置進(jìn)行計(jì)算。
[0041]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在上述位置檢測方法中，能夠使用由拍攝部2次拍攝對準(zhǔn)標(biāo)記的圖像，準(zhǔn)確地計(jì)算基準(zhǔn)面中的對準(zhǔn)標(biāo)記的位置。因此，在上述位置檢測方法中，能夠更準(zhǔn)確地檢測出對準(zhǔn)標(biāo)記的位置。
[0042]發(fā)明的效果
[0043]如上述所示，根據(jù)本技術(shù)，可以提供一種能夠根據(jù)拍攝部所拍攝的圖像中的對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，更準(zhǔn)確地計(jì)算實(shí)際的對準(zhǔn)標(biāo)記的位置的技術(shù)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0044]圖1是表示本技術(shù)的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的絲網(wǎng)印刷裝置的斜視圖。
[0045]圖2是能夠安裝在圖1所示的絲網(wǎng)印刷裝置上的絲網(wǎng)的俯視圖。
[0046]圖3A是圖1所示的絲網(wǎng)印刷裝置的局部示意圖。
[0047]圖3B是圖1所示的絲網(wǎng)印刷裝置的局部示意圖。
[0048]圖4是表示圖1所示的絲網(wǎng)印刷裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0049]圖5是用于說明圖1所示的絲網(wǎng)印刷裝置的動(dòng)作的斜視圖。
[0050]圖6是用于說明圖1所示的絲網(wǎng)印刷裝置的動(dòng)作的斜視圖。
[0051]圖7是與本技術(shù)關(guān)聯(lián)的校準(zhǔn)模具的俯視圖。
[0052]圖8是用于說明I個(gè)像素的大小的測定方法的示意圖。
[0053]圖9A是表示用于說明I個(gè)像素的大小的測定方法的圖像的圖。
[0054]圖9B是表示用于說明I個(gè)像素的大小的測定方法的圖像的圖。
[0055]圖9C是表示用于說明I個(gè)像素的大小的測定方法的圖像的圖。
[0056]圖10是本技術(shù)所涉及的校準(zhǔn)模具的俯視圖。
[0057]圖11是表示設(shè)置有本技術(shù)所涉及的校準(zhǔn)模具的狀態(tài)的示意圖。
[0058]圖12是表示拍攝部所拍攝的圖像的一個(gè)例子的圖。
[0059]標(biāo)號的說明
[0060]I…控制部
[0061]2…存儲(chǔ)部
[0062]8…基板
[0063]9…對準(zhǔn)標(biāo)記
[0064]10…絲網(wǎng)
[0065]14…對準(zhǔn)標(biāo)記
[0066]62…支撐部(保持部)
[0067]80...拍攝部
[0068]100…絲網(wǎng)印刷裝置
[0069]B…基準(zhǔn)面
[0070]F…校準(zhǔn)模具
[0071]Fl…對準(zhǔn)標(biāo)記

【具體實(shí)施方式】
[0072]下面，參照附圖，對本技術(shù)所涉及的實(shí)施方式進(jìn)行說明。此外，在附圖中，適當(dāng)示出彼此正交的X軸、Y軸以及Z軸。X軸、Y軸以及Z軸在全部附圖中是共用的。Z軸向重力方向的上下延伸。
[0073][絲網(wǎng)印刷裝置100的整體結(jié)構(gòu)以及各部分的結(jié)構(gòu)]
[0074]圖1是表示本技術(shù)所涉及的絲網(wǎng)印刷裝置100的斜視圖。圖2是表示能夠安裝在絲網(wǎng)印刷裝置100上的絲網(wǎng)10的一個(gè)例子的俯視圖。圖3A及圖3B是絲網(wǎng)印刷裝置100的局部示意圖。圖4是表示絲網(wǎng)印刷裝置100的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0075]在本說明書中說明的各圖中，有時(shí)為了更容易觀察地表示附圖而將絲網(wǎng)印刷裝置100所具有的各部分的大小等表示為與實(shí)際不同的大小。特別地，在圖1中，為了更容易觀察地表示附圖，將絲網(wǎng)10側(cè)(上側(cè))和輸送部70側(cè)(下側(cè))之間的距離表示為與實(shí)際相比更大(后述的圖5也相同)。
[0076]這些圖所示的絲網(wǎng)印刷裝置100是向基板8上印刷膏狀焊料的絲網(wǎng)印刷裝置100。絲網(wǎng)印刷裝置100配置在用于制造電路基板的安裝線內(nèi)，構(gòu)成安裝線的一部分。
[0077]在絲網(wǎng)印刷裝置100的上游側(cè)，例如，配置向絲網(wǎng)印刷裝置100中放入基板8的基板放入裝置。另一方面，在絲網(wǎng)印刷裝置100的下游側(cè)配置印刷檢查裝置、安裝裝置等。
[0078]印刷檢查裝置從絲網(wǎng)印刷裝置100接受印刷有膏狀焊料的基板8 (印刷物)，對膏狀焊料的印刷狀態(tài)進(jìn)行檢查。印刷檢查裝置將判斷為印刷狀態(tài)良好的基板8，向配置于下游側(cè)的安裝裝置傳遞。安裝裝置從印刷檢查裝置接受判斷為印刷狀態(tài)良好的基板8，向該基板8上安裝電子部件。
[0079]如圖1的上側(cè)所示，本實(shí)施方式所涉及的絲網(wǎng)印刷裝置100具有:絲網(wǎng)10 ;絲網(wǎng)移動(dòng)機(jī)構(gòu)20，其用于使絲網(wǎng)10移動(dòng)；刮板部50 ;以及焊料供給部55(參照圖4)，其向絲網(wǎng)10上供給膏狀焊料。
[0080]如圖1的下側(cè)所示，絲網(wǎng)印刷裝置100具有:升降基座60 ;以及升降機(jī)構(gòu)61，其使升降基座60在上下方向上移動(dòng)。另外，絲網(wǎng)印刷裝置100具有:輸送部70，其對基板8進(jìn)行輸送；以及作為保持部的支撐部62 (參照圖3A、圖3B、圖4)，其從下方對基板8進(jìn)行保持。
[0081]另外，絲網(wǎng)印刷裝置100具有:拍攝部80 ;拍攝部移動(dòng)機(jī)構(gòu)85，其使拍攝部80移動(dòng)；清潔部90，其對絲網(wǎng)10的下表面進(jìn)行清潔；以及清潔部移動(dòng)機(jī)構(gòu)95，其使清潔部90移動(dòng)。
[0082]如圖4所示，絲網(wǎng)印刷裝置100還具有控制部1、存儲(chǔ)部2、顯示部3、輸入部4、通信部5等。
[0083]如圖2所示，絲網(wǎng)10具有:絲網(wǎng)主體11，其具有矩形形狀；以及絲網(wǎng)框體12，其沿絲網(wǎng)主體11的四邊設(shè)置，向絲網(wǎng)主體11施加張力。絲網(wǎng)主體11例如由不銹鋼等金屬構(gòu)成。
[0084]絲網(wǎng)主體11在中央的區(qū)域具有與印刷圖案對應(yīng)的多個(gè)圖案孔13。另外，在絲網(wǎng)主體11的與基板8相對的部分的角部附近，設(shè)置有2個(gè)對準(zhǔn)標(biāo)記14。
[0085]在本實(shí)施方式中，由于在絲網(wǎng)10的下側(cè)配置有拍攝部80，所以對準(zhǔn)標(biāo)記14朝向絲網(wǎng)主體11的下側(cè)設(shè)置。此外，在絲網(wǎng)10的上側(cè)配置有拍攝部80的情況下，對準(zhǔn)標(biāo)記14朝向絲網(wǎng)主體11的上側(cè)設(shè)置。在附圖所示的例子中，對準(zhǔn)標(biāo)記14的數(shù)量為2個(gè)，但對準(zhǔn)標(biāo)記14的數(shù)量只要是大于或等于2個(gè)即可。
[0086]絲網(wǎng)10能夠相對于絲網(wǎng)印刷裝置100更換，并與基板8的種類對應(yīng)地更換。在本實(shí)施方式中，準(zhǔn)備與基板8的種類對應(yīng)的多種絲網(wǎng)10。上述各種絲網(wǎng)10的圖案孔13的數(shù)量、形狀及尺寸不同。另外，有時(shí)絲網(wǎng)10整體的尺寸也不同(例如，L尺寸、M尺寸等)。
[0087]如圖1的上側(cè)所示，利用絲網(wǎng)移動(dòng)機(jī)構(gòu)20可移動(dòng)地保持絲網(wǎng)10。絲網(wǎng)移動(dòng)機(jī)構(gòu)20使絲網(wǎng)10向XY Θ方向移動(dòng)，以使絲網(wǎng)10與基板8對位。
[0088]絲網(wǎng)移動(dòng)機(jī)構(gòu)20具有:2個(gè)絲網(wǎng)保持部件21，其對絲網(wǎng)10進(jìn)行保持；工作臺(tái)25，其從上方支撐2個(gè)絲網(wǎng)保持部件21 ;以及工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)部30，其用于使工作臺(tái)25向ΧΥΘ方向移動(dòng)。在圖1中，為了容易觀察地表示附圖，以點(diǎn)劃線表示工作臺(tái)25。
[0089]絲網(wǎng)保持部件21例如由金屬板等構(gòu)成，可拆卸地保持絲網(wǎng)10。絲網(wǎng)保持部件21在X軸方向上對稱地形成，配置于在X軸方向上從兩側(cè)夾入絲網(wǎng)10的位置處。絲網(wǎng)10能夠在絲網(wǎng)保持部件21上沿Y軸方向滑動(dòng)。
[0090]絲網(wǎng)保持部件21分別具有:側(cè)板22 ;下板23，其與側(cè)板22垂直地安裝在側(cè)板22下側(cè)的位置；以及上板24，其與側(cè)板22垂直地設(shè)置在側(cè)板22上側(cè)的位置。
[0091]在圖1中省略了圖示，但絲網(wǎng)印刷裝置100具有夾緊部件，其用于在絲網(wǎng)保持部件21上固定絲網(wǎng)10。夾緊部件從上下方向夾入并夾緊絲網(wǎng)框體12和絲網(wǎng)保持部件21的下板23。夾緊部件具有氣缸等機(jī)構(gòu)，能夠通過氣缸的驅(qū)動(dòng)而自動(dòng)地夾緊絲網(wǎng)框體12以及絲網(wǎng)保持部件21。
[0092]在絲網(wǎng)保持部件21和工作臺(tái)25之間，設(shè)置用于對2個(gè)絲網(wǎng)保持部件21之間的距離進(jìn)行調(diào)整的寬度調(diào)整機(jī)構(gòu)26。寬度調(diào)整機(jī)構(gòu)26包含4個(gè)導(dǎo)軌27、與這4個(gè)導(dǎo)軌27卡合的4個(gè)滑動(dòng)部件28。4個(gè)導(dǎo)軌27沿X軸方向固定在工作臺(tái)25的下表面?zhèn)取?個(gè)滑動(dòng)部件28固定在絲網(wǎng)保持部件21的上板24上，能夠由導(dǎo)軌引導(dǎo)而沿X軸方向移動(dòng)。
[0093]寬度調(diào)整機(jī)構(gòu)26具有未圖示的滾珠絲杠機(jī)構(gòu)等驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)?；瑒?dòng)部件28通過該驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)而沿X軸方向移動(dòng)。由此，能夠自動(dòng)地調(diào)整絲網(wǎng)保持部件21之間的距離。例如，在將當(dāng)前已安裝的絲網(wǎng)10更換為整體尺寸與該絲網(wǎng)10不同的絲網(wǎng)10的情況下，對絲網(wǎng)保持部件21之間的X軸方向的距離進(jìn)行調(diào)整。
[0094]工作臺(tái)25能夠從上方支撐絲網(wǎng)保持部件21。在工作臺(tái)25的中央，設(shè)置用于確保刮板部50的配置空間的開口。
[0095]刮板部50具有2個(gè)刮板機(jī)構(gòu)51，這2個(gè)刮板機(jī)構(gòu)51設(shè)置為在Y軸方向上對稱。另外，刮板部50包含用于使2個(gè)刮板機(jī)構(gòu)51 —體地沿Y軸方向移動(dòng)的Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)、及用于使刮板機(jī)構(gòu)51向上下方向移動(dòng)的上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)等。
[0096]2個(gè)刮板機(jī)構(gòu)51分別在下側(cè)的位置具有刮板52。使刮板52在供給有膏狀焊料的絲網(wǎng)10上朝向Y軸方向滑動(dòng)，經(jīng)由設(shè)置在絲網(wǎng)10上的圖案孔13，向配置于絲網(wǎng)10下側(cè)的基板8上印刷膏狀焊料。
[0097]在2個(gè)刮板機(jī)構(gòu)51中，在正使一個(gè)刮板機(jī)構(gòu)51在絲網(wǎng)10上滑動(dòng)時(shí)，另一個(gè)刮板機(jī)構(gòu)51配置在絲網(wǎng)10的上方。此時(shí)，該另一個(gè)刮板機(jī)構(gòu)51不與絲網(wǎng)10抵接。在絲網(wǎng)10上滑動(dòng)的刮板機(jī)構(gòu)51 (即，進(jìn)行印刷的刮板機(jī)構(gòu)51)被交替地切換。
[0098]在圖1中省略了圖示，但使2個(gè)刮板機(jī)構(gòu)51向Y軸方向移動(dòng)的Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)，直立設(shè)置在工作臺(tái)25上。因此，與利用工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)部30使工作臺(tái)25及絲網(wǎng)10向XY Θ方向的移動(dòng)相伴，刮板部50也向XY Θ方向移動(dòng)。
[0099]用于使絲網(wǎng)10向XY Θ方向移動(dòng)的作為驅(qū)動(dòng)源的工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)部30，包含:2個(gè)Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)31 ;1個(gè)X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)32 ;以及I個(gè)聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)33。上述4個(gè)機(jī)構(gòu)31、32、33配置在工作臺(tái)25的4個(gè)角部的下側(cè)附近。
[0100]2個(gè)Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)31配置在工作臺(tái)25的4個(gè)角部中的前側(cè)2個(gè)角部附近。X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)32配置在工作臺(tái)25的4個(gè)角部中的左后側(cè)的角部附近。聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)33配置在工作臺(tái)25的4個(gè)角部中的右后側(cè)的角部附近。
[0101]此外，配置上述4個(gè)機(jī)構(gòu)的位置可以適當(dāng)變更。例如，也可以將2個(gè)Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)31配置在后側(cè)，將X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)32以及聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)33配置在前側(cè)?；蛘?，也可以將X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)32和聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)33的位置顛倒。
[0102]4個(gè)機(jī)構(gòu)31、32、33分別固定在未圖示的支柱等上，在固定于支柱上的狀態(tài)下，從下側(cè)支撐工作臺(tái)25。Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)31在從下側(cè)支撐工作臺(tái)25的同時(shí)，通過其驅(qū)動(dòng)而使工作臺(tái)25向Y軸方向移動(dòng)。X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)32在從下側(cè)支撐工作臺(tái)25的同時(shí)，通過其驅(qū)動(dòng)而使工作臺(tái)25向X軸方向移動(dòng)。另外，Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)31以及X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)32，通過這些驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的聯(lián)動(dòng)，能夠使工作臺(tái)25繞Z軸(Θ方向)旋轉(zhuǎn)。
[0103]此外，聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)33不具有用于使工作臺(tái)25移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)源。聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)33在從下側(cè)支撐工作臺(tái)25的同時(shí)，與通過Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)31以及X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)32實(shí)現(xiàn)的對工作臺(tái)25的驅(qū)動(dòng)相聯(lián)動(dòng)而動(dòng)作。
[0104]如圖1的下側(cè)所示，輸送部70包含第I引導(dǎo)部71、第2引導(dǎo)部72、輸送帶73、以及引導(dǎo)部移動(dòng)機(jī)構(gòu)75(參照圖4)。第I引導(dǎo)部71以及第2引導(dǎo)部72沿X軸方向(輸送方向)延伸，沿X軸方向?qū)暹M(jìn)行引導(dǎo)。輸送帶73分別設(shè)置為，在Y軸方向上與第I引導(dǎo)部71以及第2引導(dǎo)部72相對。
[0105]基板8配置在輸送帶73上，通過輸送帶73的驅(qū)動(dòng)，在被第I引導(dǎo)部71以及第2引導(dǎo)部72引導(dǎo)的同時(shí)，沿X軸方向移動(dòng)。輸送部70通過輸送帶73的驅(qū)動(dòng)，能夠搬入基板8，或?qū)⒂∷⒔Y(jié)束后的基板8向其他裝置傳遞。
[0106]在輸送部70上設(shè)置停止機(jī)構(gòu)，該停止機(jī)構(gòu)用于使在X軸方向上輸送的基板8，在對應(yīng)于每個(gè)基板8的種類而確定的基準(zhǔn)位置處停止?；?的基準(zhǔn)位置例如設(shè)定在輸送部70的中央部附近。作為停止機(jī)構(gòu)，例如可以舉出以機(jī)械方式使基板8的移動(dòng)停止的機(jī)構(gòu)、利用傳感器檢測基板8的位置的機(jī)構(gòu)。
[0107]以機(jī)械方式使基板8的移動(dòng)停止的停止機(jī)構(gòu)，例如由止動(dòng)器構(gòu)成。該止動(dòng)器構(gòu)成為，從第I引導(dǎo)部71以及第2引導(dǎo)部72向Y軸方向凸出，能夠在限制基板8移動(dòng)的限制位置和容許基板8移動(dòng)的釋放位置之間移動(dòng)。
[0108]通過利用傳感器檢測基板8的位置而使基板8停止的停止機(jī)構(gòu)，例如具有用于檢測基板8的光傳感器(不具有止動(dòng)器)。該停止機(jī)構(gòu)利用光傳感器對搬入的基板8的位置進(jìn)行檢測，對輸送帶73的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制，以使基板8在基準(zhǔn)位置處停止。
[0109]圖3A及圖3B是表不位于基準(zhǔn)位直的基板8、輸送部70、以及拍攝部80的不意圖。
[0110]如圖3A及圖3B所示，輸送部70能夠使第2引導(dǎo)部72向Y軸方向移動(dòng)，第I引導(dǎo)部71構(gòu)成為被固定而不向Y軸方向移動(dòng)。由此，能夠?qū)σ龑?dǎo)部71、72之間的距離進(jìn)行變更，例如，如圖3B所示，能夠應(yīng)對與基板8相比Y軸方向的寬度更寬的基板8a。
[0111]此外，圖3A所示的狀態(tài)下的基板8的對準(zhǔn)標(biāo)記9的位置和圖3B所示的狀態(tài)下的基板8a的對準(zhǔn)標(biāo)記9a的位置大幅不同。如上述所示，隨著基板的種類不同，對準(zhǔn)標(biāo)記配置在不同的位置處。在絲網(wǎng)印刷裝置100中，與用戶輸入的關(guān)于基板的信息相對應(yīng)，由控制部對位于基準(zhǔn)位置的基板的對準(zhǔn)標(biāo)記的位置進(jìn)行識(shí)別。
[0112]此外，輸送部70只要以下述方式構(gòu)成即可，第I引導(dǎo)部71和第2引導(dǎo)部72中的至少一個(gè)引導(dǎo)部能夠在Y軸方向上移動(dòng)，以對引導(dǎo)部71、72之間的距離進(jìn)行變更。S卩，輸送部70也可以構(gòu)成為，第I引導(dǎo)部和第2引導(dǎo)部這兩者都能夠在Y軸方向上移動(dòng)，也可以構(gòu)成為僅能夠使第I引導(dǎo)部在Y軸方向上移動(dòng)。
[0113]在基準(zhǔn)位置處，配置從下側(cè)保持基板8的支撐部62。支撐部62從下側(cè)支撐通過輸送帶73的驅(qū)動(dòng)而輸送至基準(zhǔn)位置的基板8。支撐部62將基板8從輸送帶73抬起，使基板8的上表面和基準(zhǔn)面B —致。在該狀態(tài)下，從Y軸方向的兩側(cè)利用引導(dǎo)部71、72夾緊基板8。由此，對基板8進(jìn)行定位。
[0114]在絲網(wǎng)印刷裝置100中，基準(zhǔn)面B與基板8的種類無關(guān)而設(shè)定在固定的位置處。因此，在絲網(wǎng)印刷裝置100中，與基板8的厚度信息相對應(yīng)，對利用支撐部62抬起基板8的高度進(jìn)行變更，使基板8的上表面與基準(zhǔn)面B —致。例如，如圖3B所示，如果是與基板8相比厚度更厚的基板8a，則將利用支撐部62抬起的高度設(shè)為比基板8低。
[0115]如圖1的下側(cè)所示，在升降基座60上，設(shè)置使拍攝部80向XY方向移動(dòng)的拍攝部移動(dòng)機(jī)構(gòu)85。拍攝部移動(dòng)機(jī)構(gòu)85具有:2根導(dǎo)軌86，它們沿X軸方向配置在升降基座60上；滑動(dòng)部件87，其分別可滑動(dòng)地設(shè)置在2根導(dǎo)軌86上；以及驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，其用于使滑動(dòng)部件87向X軸方向驅(qū)動(dòng)。
[0116]拍攝部移動(dòng)機(jī)構(gòu)85具有支撐框架88，該支撐框架88以跨越輸送部70上方的方式架設(shè)在2個(gè)滑動(dòng)部件87上。支撐框架88支撐拍攝部80，能夠使拍攝部80向Y軸方向移動(dòng)，在內(nèi)部具有用于使拍攝部80向Y軸方向驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。
[0117]拍攝部80能夠在與絲網(wǎng)10相比位于下側(cè)的區(qū)域且與基板8相比位于上側(cè)的區(qū)域中沿XY方向移動(dòng)。拍攝部80具有照相機(jī)，該照相機(jī)能夠?qū)υO(shè)置在絲網(wǎng)10的下表面上的對準(zhǔn)標(biāo)記14和設(shè)置在基板8的上表面上的對準(zhǔn)標(biāo)記9進(jìn)行拍攝。
[0118]拍攝部80的照相機(jī)具有能夠?qū)z網(wǎng)10的對準(zhǔn)標(biāo)記14和基板8的對準(zhǔn)標(biāo)記9這兩者進(jìn)行拍攝的結(jié)構(gòu)。照相機(jī)可以采用下述結(jié)構(gòu)，即，例如，能夠使用半反射鏡等光學(xué)部件，將位于上方的絲網(wǎng)的像和位于下方的基板的像同時(shí)放入一個(gè)視野內(nèi)。
[0119]如果該結(jié)構(gòu)的照相機(jī)向絲網(wǎng)和基板中的一個(gè)進(jìn)行照明，則能夠?qū)υ撘粋€(gè)進(jìn)行拍攝。更詳細(xì)地說，在向絲網(wǎng)進(jìn)行照明而不向基板進(jìn)行照明的情況下，該照相機(jī)能夠?qū)z網(wǎng)進(jìn)行拍攝。相反地，在不向絲網(wǎng)進(jìn)行照明而向基板進(jìn)行照明的情況下，能夠?qū)暹M(jìn)行拍攝。
[0120]在升降基座60上設(shè)置:清潔部90 ;以及清潔部移動(dòng)機(jī)構(gòu)95，其使清潔部90向X軸方向移動(dòng)。清潔部移動(dòng)機(jī)構(gòu)95具有:與拍攝部移動(dòng)機(jī)構(gòu)85共同使用的2根導(dǎo)軌86 ;滑動(dòng)部件97，其分別可滑動(dòng)地設(shè)置在2根導(dǎo)軌86上；以及驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，其用于使滑動(dòng)部件97向X軸方向驅(qū)動(dòng)。
[0121]另外，清潔部移動(dòng)機(jī)構(gòu)95具有支撐框架98，該支撐框架98以跨越輸送部70上方的方式架設(shè)在2個(gè)滑動(dòng)部件97上。支撐框架98從下側(cè)支撐清潔部90。
[0122]清潔部90具有:送出輥91，其將清潔紙93送出；以及卷繞輥92，其卷繞清潔紙93。
[0123]圖4所示的控制部I例如由CPU (Central Processing Unit)等構(gòu)成,對絲網(wǎng)印刷裝置100的各部分統(tǒng)一地進(jìn)行控制。
[0124]存儲(chǔ)部2包含作為控制部I的作業(yè)用區(qū)域使用的非易失性存儲(chǔ)器、以及存儲(chǔ)有控制部I的處理所需的各種數(shù)據(jù)及程序的非易失性存儲(chǔ)器。上述各種程序也可以從光盤、半導(dǎo)體存儲(chǔ)器等可移動(dòng)性的記錄介質(zhì)讀入。
[0125]顯示部3例如由液晶顯示器等構(gòu)成。輸入部4由鍵盤、鼠標(biāo)、觸摸屏等構(gòu)成，對來自操作人員的各種指示進(jìn)行輸入。通信部5向印刷檢查裝置或安裝裝置等其他裝置發(fā)送信息，并從其他裝置接收信息。
[0126][絲網(wǎng)印刷裝置100的動(dòng)作]
[0127]下面，對絲網(wǎng)印刷裝置100的動(dòng)作進(jìn)行說明。在這里，說明的絲網(wǎng)印刷裝置100的動(dòng)作是在控制部I的控制下執(zhí)行的。圖5及圖6是用于說明絲網(wǎng)印刷裝置100的基本動(dòng)作的斜視圖。
[0128]首先，如圖5所示，通過輸送部70的輸送帶73的驅(qū)動(dòng)，將基板8輸送至基準(zhǔn)位置。此時(shí)，拍攝部80利用拍攝部移動(dòng)機(jī)構(gòu)85后退至升降基座60的右端位置(待機(jī)位置)并待機(jī)。另外，清潔部90利用清潔部移動(dòng)機(jī)構(gòu)95后退至升降基座60的左端位置(待機(jī)位置)并待機(jī)。
[0129]然后，使支撐部62向上方移動(dòng)，利用支撐部62從下側(cè)支撐基板8。然后，利用支撐部62將基板8抬起，以使基板8的上表面與基準(zhǔn)面B —致。在該狀態(tài)下，使引導(dǎo)部72向引導(dǎo)部71側(cè)移動(dòng)，由引導(dǎo)部71、72夾緊基板8。
[0130]然后，利用拍攝部移動(dòng)機(jī)構(gòu)85使拍攝部80向XY方向移動(dòng)，由照相機(jī)對基板8上的對準(zhǔn)標(biāo)記9 (大于或等于2個(gè))進(jìn)行拍攝。拍攝部80將拍攝到的對準(zhǔn)標(biāo)記9的圖像向控制部I發(fā)送。如果對基板8的對準(zhǔn)標(biāo)記9的拍攝結(jié)束，則利用拍攝部移動(dòng)機(jī)構(gòu)85使拍攝部80向待機(jī)位置(升降基座60右端)移動(dòng)。
[0131]控制部I基于從拍攝部80接收到的基板8的對準(zhǔn)標(biāo)記9的圖像，對基板8所配置的XY方向的位置及繞Z軸的基板8的傾斜等進(jìn)行識(shí)別。控制部I在對基板8的位置進(jìn)行識(shí)別后，使工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)部30驅(qū)動(dòng)，使工作臺(tái)25向XY Θ方向移動(dòng)。由此，使絲網(wǎng)10向XY Θ方向移動(dòng)，相對于基板8進(jìn)行對位。
[0132]控制部I為了使絲網(wǎng)10與基板8對位，控制部I需要對絲網(wǎng)10的位置以及基板的位置進(jìn)行識(shí)別?？刂撇縄在更換絲網(wǎng)10時(shí)對絲網(wǎng)10的位置進(jìn)行檢測，在每次輸送基板8時(shí)對基板8的位置進(jìn)行檢測。對于基板8以及絲網(wǎng)10的位置檢測的詳細(xì)內(nèi)容，在后面記述。
[0133]此外，本實(shí)施方式所涉及的絲網(wǎng)印刷裝置100具有下述結(jié)構(gòu)，即，利用絲網(wǎng)移動(dòng)機(jī)構(gòu)20，相對于基板8的位置，對絲網(wǎng)10的位置進(jìn)行調(diào)整。但是，絲網(wǎng)印刷裝置100也可以具有下述結(jié)構(gòu)，即，具有基板8的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，利用該移動(dòng)機(jī)構(gòu)，相對于絲網(wǎng)10的位置對基板8的位置進(jìn)行調(diào)整。
[0134]在使絲網(wǎng)10與基板8對位后，利用升降機(jī)構(gòu)61，直至基板8與絲網(wǎng)10的下表面抵接為止，使升降基座60向上方移動(dòng)。圖6示出使升降基座60移動(dòng)至上方的狀態(tài)。在圖6中，為了容易觀察地表示附圖，而省略拍攝部80、清潔部90等部件。
[0135]如果基板8與絲網(wǎng)10的下表面抵接，則使2個(gè)刮板機(jī)構(gòu)51中的一個(gè)刮板機(jī)構(gòu)51下降，抵接在絲網(wǎng)10上。下降的刮板機(jī)構(gòu)51是與刮板部50所移動(dòng)的朝向相對應(yīng)而預(yù)先確定的。此外，不下降的刮板機(jī)構(gòu)51維持不與絲網(wǎng)10抵接的狀態(tài)。
[0136]如果一個(gè)刮板機(jī)構(gòu)51抵接在絲網(wǎng)10上，則2個(gè)刮板機(jī)構(gòu)51作為一體在Y軸方向上移動(dòng)。由此，使一個(gè)刮板機(jī)構(gòu)51在絲網(wǎng)10上朝向Y軸方向滑動(dòng)，經(jīng)由圖案孔13，向基板8上印刷膏狀焊料。如果刮板部50移動(dòng)至略微超過絲網(wǎng)10中的形成有圖案孔13的區(qū)域的部分，則使抵接在基板8上的一個(gè)刮板機(jī)構(gòu)51向上方移動(dòng)，刮板部50在該狀態(tài)下待機(jī)。
[0137]在將膏狀焊料向基板8上印刷后，利用升降機(jī)構(gòu)61使升降基座60向下方移動(dòng)。如果升降基座60向下方移動(dòng)，則輸送部70的第2引導(dǎo)部72 (后側(cè)的引導(dǎo)部)向后側(cè)移動(dòng)規(guī)定量，解除基板8的固定狀態(tài)。然后，使輸送部70的輸送帶73驅(qū)動(dòng)，將完成印刷的基板8向下游側(cè)的印刷檢查裝置傳遞。
[0138]在對絲網(wǎng)10的下表面進(jìn)行清潔的情況下，首先，利用清潔部移動(dòng)機(jī)構(gòu)95使清潔部90向X軸方向移動(dòng)。然后，對清潔部90的高度進(jìn)行調(diào)整，與清潔部90的向X軸方向的移動(dòng)相聯(lián)動(dòng)，使送出輥91以及卷繞輥92旋轉(zhuǎn)。由此，利用清潔紙93對絲網(wǎng)10的下表面進(jìn)行清潔。
[0139]如果清潔結(jié)束，則清潔部90通過清潔部移動(dòng)機(jī)構(gòu)95而移動(dòng)至待機(jī)位置(升降基座左端)，并在待機(jī)位置處待機(jī)。
[0140][基板8的位置檢測功能]
[0141]對絲網(wǎng)印刷裝置100中的基板8的位置檢測功能進(jìn)行說明。
[0142]在絲網(wǎng)印刷裝置100中，為了應(yīng)對設(shè)置于絲網(wǎng)10上的細(xì)微的印刷圖案，而必須精密地進(jìn)行基板8和絲網(wǎng)10之間的對位。如上述所示，絲網(wǎng)印刷裝置100雖然具有在基板8搬入時(shí)使基板8在基準(zhǔn)位置處停止的停止機(jī)構(gòu)，但在該狀態(tài)下，對位不準(zhǔn)確。
[0143]具體地說，在利用上述的止動(dòng)器使基板8停止的情況下，有時(shí)由于基板8與止動(dòng)器接觸的微小沖擊而使基板8的位置從基準(zhǔn)位置偏移，或者，有時(shí)由于位于基板8端部的毛刺的影響而使基板8的位置不能準(zhǔn)確地與基準(zhǔn)位置對齊。另外，在利用上述的傳感器的停止機(jī)構(gòu)中，有時(shí)由于輸送帶73的動(dòng)作誤差或在基板8停止時(shí)施加的慣性力，而使基板8的位置從基準(zhǔn)位置偏移。
[0144]因此，在絲網(wǎng)印刷裝置100中，在對基板8的位置相對于基準(zhǔn)位置的偏移進(jìn)行檢測，進(jìn)行絲網(wǎng)10相對于基板8的對位時(shí)，使絲網(wǎng)10移動(dòng)，以抵消基板8的偏移?；?的位置是通過基板8的對準(zhǔn)標(biāo)記9的位置而識(shí)別的。
[0145]在這里，將位于準(zhǔn)確的基準(zhǔn)位置處的基板8的對準(zhǔn)標(biāo)記9的位置，簡稱為“對準(zhǔn)標(biāo)記9的基準(zhǔn)位置”。在利用拍攝部80對搬入的基板8的對準(zhǔn)標(biāo)記9進(jìn)行拍攝時(shí)，假設(shè)該基板8的對準(zhǔn)標(biāo)記9存在于基準(zhǔn)位置處，拍攝部80在對準(zhǔn)標(biāo)記的基準(zhǔn)位置處，從上方拍攝實(shí)際的基板8的對準(zhǔn)標(biāo)記9。此外，在實(shí)際的基板的對準(zhǔn)標(biāo)記準(zhǔn)確地位于對準(zhǔn)標(biāo)記的基準(zhǔn)位置的情況下，該對準(zhǔn)標(biāo)記位于圖像的中心。但是，由于上述原因，通常對準(zhǔn)標(biāo)記從圖像的中心略微偏移。對準(zhǔn)標(biāo)記的拍攝位置(對準(zhǔn)標(biāo)記9的基準(zhǔn)位置)與基板的種類相對應(yīng)而成為不同的位置。
[0146]為了根據(jù)拍攝部80所拍攝的對準(zhǔn)標(biāo)記9的圖像而求出對準(zhǔn)標(biāo)記9的位置和基準(zhǔn)位置之間的距離，必須把將圖像中的距離和實(shí)際的基準(zhǔn)面B中的距離相關(guān)聯(lián)的圖像的倍率，預(yù)先作為換算信息而記錄。在絲網(wǎng)印刷裝置100中，在存儲(chǔ)部2中作為相當(dāng)于圖像的倍率的值，而記錄有在基準(zhǔn)面B上的與圖像的I個(gè)像素對應(yīng)的大小(以下簡稱為“I個(gè)像素的大小”)。
[0147]在絲網(wǎng)印刷裝置100中，對對準(zhǔn)標(biāo)記9的、圖像中的對準(zhǔn)標(biāo)記9的位置和基準(zhǔn)位置之間的像素?cái)?shù)量進(jìn)行檢測，使I個(gè)像素的大小乘以該像素?cái)?shù)量，從而計(jì)算出對準(zhǔn)標(biāo)記9的位置和基準(zhǔn)位置之間的距離。
[0148]參照圖7?9B，對用于求出記錄在絲網(wǎng)印刷裝置100的存儲(chǔ)部2中的I個(gè)像素的大小的方法進(jìn)行說明。
[0149]圖7是與本實(shí)施方式相關(guān)聯(lián)的校準(zhǔn)模具f的俯視圖。校準(zhǔn)模具f是與基板8相同的平板狀，在中央部設(shè)置有對準(zhǔn)標(biāo)記fl。圖8是表示拍攝部80的位置的示意圖。圖9A?9C是表示拍攝部80所拍攝的圖像的圖。在圖9A?9C中示出了圖像的中心C。在圖9A?9C中示出了與圖像中表示的基板的姿態(tài)對應(yīng)的X軸、Y軸以及Z軸。
[0150]此外，圖像的中心C與拍攝部80的光軸對應(yīng)。換言之，拍攝部80的光軸通過圖像的中心C所表示的基板8上的位置。即，與圖像的中心C對應(yīng)的基板8上的位置隨著拍攝部80的位置而變化。
[0151]圖8示出拍攝部80的光軸通過校準(zhǔn)模具f的對準(zhǔn)標(biāo)記fl的狀態(tài)。在圖8所示的狀態(tài)下，校準(zhǔn)模具f的上表面與基準(zhǔn)面B —致。圖9A示出在圖8所示的狀態(tài)下拍攝對準(zhǔn)標(biāo)記fl而得到的圖像。對準(zhǔn)標(biāo)記fl和圖像的中心C 一致。
[0152]從圖9A所示的狀態(tài)開始，使拍攝部80向圖8中的X軸方向前側(cè)移動(dòng)2mm。圖9B是在該狀態(tài)下拍攝校準(zhǔn)模具f的對準(zhǔn)標(biāo)記fl而得到的圖像。對準(zhǔn)標(biāo)記fl相對于圖像的中心C向X軸方向上側(cè)偏移a個(gè)像素。
[0153]然后，從圖9B所示的狀態(tài)開始，使拍攝部80向圖8中的X軸方向內(nèi)側(cè)移動(dòng)4mm。即，從圖9A所示的狀態(tài)開始，使拍攝部80向圖8中的X軸方向內(nèi)側(cè)移動(dòng)2mm。圖9C是在該狀態(tài)下拍攝校準(zhǔn)模具f的對準(zhǔn)標(biāo)記fl而得到的圖像。對準(zhǔn)標(biāo)記fl相對于圖像的中心C向X軸方向下側(cè)偏移了 b個(gè)像素。
[0154]根據(jù)以上結(jié)果，I個(gè)像素的X軸方向的大小的實(shí)際測量值，可以作為與每I個(gè)像素對應(yīng)的照相機(jī)的移動(dòng)量而得到，成為4/(a+b) [mm/像素]。通過相同的方法，還能得到I個(gè)像素的Y軸方向的大小的實(shí)際測量值。如上述所示，得到在拍攝部80位于圖8所示的位置處的情況下的I個(gè)像素的大小。此外，在求出I個(gè)像素的大小時(shí)，使拍攝部80移動(dòng)的距離可以任意地選擇。
[0155]也可以將如上述所示得到的I個(gè)像素的大小，作為與拍攝部80所拍攝的圖像的倍率相當(dāng)?shù)闹档拇碇刀O(shè)定在絲網(wǎng)印刷裝置100的存儲(chǔ)部2中。但是，在本實(shí)施方式中，考慮在拍攝部80的位置與圖8所示的位置不同的情況下，I個(gè)像素的大小可能產(chǎn)生誤差這一點(diǎn)，而準(zhǔn)備記錄于存儲(chǔ)部2中的換算信息。
[0156]作為隨著拍攝部80的位置的不同而使拍攝部80所拍攝的圖像的I個(gè)像素的大小產(chǎn)生誤差的原因，例如可以舉出:拍攝部80移動(dòng)時(shí)的微小的姿態(tài)變化(偏轉(zhuǎn)、橫搖、顛簸等)、拍攝部80的上下移動(dòng)。拍攝部80移動(dòng)時(shí)的微小的姿態(tài)變化、上下移動(dòng)，是由于圖1所示的滑動(dòng)部件87及支撐框架88等機(jī)械結(jié)構(gòu)組合而產(chǎn)生的，難以排除。另外，有時(shí)還隨著時(shí)間而老化，使滑動(dòng)部件87及支撐框架88變形。
[0157]由于拍攝部80的姿態(tài)變化或上下移動(dòng)，還使拍攝部80和基準(zhǔn)面B之間的距離變化。如果拍攝部80和基準(zhǔn)面B之間的距離變化，則拍攝部80所拍攝的圖像的I個(gè)像素的大小也變化。更詳細(xì)地說，如果拍攝部80和基準(zhǔn)面B之間的距離變近，則I個(gè)像素的大小變小。相反地，如果拍攝部80和基準(zhǔn)面B之間的距離變遠(yuǎn)，則I個(gè)像素的大小變大。
[0158]例如，假定在由于拍攝部的姿態(tài)變化而使拍攝部80和基準(zhǔn)面B之間的距離產(chǎn)生0.5?1.0mm左右的誤差的情況下，I個(gè)像素的大小產(chǎn)生0.02 μ m左右的誤差。圖像內(nèi)的對準(zhǔn)標(biāo)記的位置從中心偏移得越大(基板8從基準(zhǔn)位置偏移地越大)，檢測出的基板8的位置誤差越大。
[0159]在本實(shí)施方式中，為了抑制可能如上述所示產(chǎn)生的I個(gè)像素的大小的誤差，而使拍攝部80在多個(gè)位置處測定I個(gè)像素的大小。即，準(zhǔn)備以與拍攝部80的位置相對應(yīng)而確定I個(gè)像素的大小的方式構(gòu)成的換算信息，將該換算信息向存儲(chǔ)部2中記錄。
[0160]圖10是用于準(zhǔn)備這種換算信息的校準(zhǔn)模具F的俯視圖。校準(zhǔn)模具F是與校準(zhǔn)模具f相同的平板狀，在其大致整個(gè)區(qū)域上，對準(zhǔn)標(biāo)記Fl以點(diǎn)陣狀規(guī)則地排列。
[0161]校準(zhǔn)模具F的X軸方向的尺寸為400mm，Y軸方向的尺寸形成為500mm。將校準(zhǔn)模具F的大小設(shè)為與能夠適用于絲網(wǎng)印刷裝置100的基板8的最大的大小相等。
[0162]校準(zhǔn)模具F例如由不銹鋼或玻璃形成。設(shè)置于校準(zhǔn)模具F上的對準(zhǔn)標(biāo)記Fl只要能夠被觀察即可。對準(zhǔn)標(biāo)記Fl例如構(gòu)成為孔、線或臺(tái)階。
[0163]在本實(shí)施方式中，各對準(zhǔn)標(biāo)記Fl作為直徑Imm的圓孔而構(gòu)成。各對準(zhǔn)標(biāo)記Fl在X軸方向以及Y軸方向上以相等間隔設(shè)置，相鄰的對準(zhǔn)標(biāo)記Fl的中心的間隔為10mm。校準(zhǔn)模具F的4個(gè)邊附近設(shè)為沒有設(shè)置對準(zhǔn)標(biāo)記Fl的邊緣。此外，在圖10中，為了便于說明，而將對準(zhǔn)標(biāo)記Fl放大表示。
[0164]圖11示出將校準(zhǔn)模具F設(shè)置于絲網(wǎng)印刷裝置100的基準(zhǔn)位置處的狀態(tài)。在圖11所示的狀態(tài)下，校準(zhǔn)模具F的上表面與基準(zhǔn)面B —致。即，校準(zhǔn)模具F的上表面的高度與基板的上表面的高度一致。根據(jù)針對圖7所示的校準(zhǔn)模具f的對準(zhǔn)標(biāo)記Π測定I個(gè)像素的大小的要領(lǐng)，針對校準(zhǔn)模具F的所有對準(zhǔn)標(biāo)記Fl測定I個(gè)像素的大小。由此，在拍攝部80位于拍攝部80的光軸通過各對準(zhǔn)標(biāo)記Fl的位置處的情況下，分別得到I個(gè)像素的大小。此夕卜，通過使校準(zhǔn)模具F的上表面的高度與基板的上表面的高度一致(即，通過使拍攝部80以及基板的距離、和拍攝部80以及模具F的距離一致)，從而能夠準(zhǔn)確地取得各位置處的I個(gè)像素的大小。
[0165]將如上述所示得到的與拍攝部80的各位置對應(yīng)的I個(gè)像素的大小，與拍攝部80的位置相關(guān)聯(lián)，作為換算信息而記錄在存儲(chǔ)部2中。
[0166]在本實(shí)施方式所涉及的絲網(wǎng)印刷裝置100中，在基板8搬入后的狀態(tài)，例如圖3A所示的狀態(tài)下，拍攝部80在光軸通過與基板8的種類相對應(yīng)而確定的基板8的對準(zhǔn)標(biāo)記9的基準(zhǔn)位置的狀態(tài)下，對對準(zhǔn)標(biāo)記9進(jìn)行拍攝。此時(shí)，拍攝部30所拍攝的圖像的中心C與基板8的對準(zhǔn)標(biāo)記的基準(zhǔn)位置對應(yīng)。
[0167]圖12是表示拍攝部30所拍攝的圖像的一個(gè)例子的圖。在該圖像中，基板8的對準(zhǔn)標(biāo)記9位于相對于圖像的中心C，向Y軸方向左側(cè)偏移q像素并向X軸方向下側(cè)偏移P像素的位置。
[0168]控制部I使用在存儲(chǔ)部2中記錄的換算信息，取得與拍攝部30的位置對應(yīng)的I個(gè)像素的大小。如果使I個(gè)像素的X軸方向的大小乘以上述的P值，則得到在基準(zhǔn)面B中對準(zhǔn)標(biāo)記9相對于基準(zhǔn)位置向X軸方向?qū)嶋H偏移的距離。相同地，如果使I個(gè)像素的Y軸方向的大小乘以上述的q值，則得到在基準(zhǔn)面B中對準(zhǔn)標(biāo)記9相對于基準(zhǔn)位置向Y軸方向?qū)嶋H偏移的距離。
[0169]如上述所示，如果針對基板8的2個(gè)對準(zhǔn)標(biāo)記9，得到相對于基準(zhǔn)位置向X軸方向以及Y軸方向偏移的距離，則控制部I能夠?qū)?的XY Θ方向的位置偏移進(jìn)行識(shí)別。控制部I對絲網(wǎng)10的位置進(jìn)行調(diào)整，以抵消該基板8的位置偏移。由此，準(zhǔn)確地調(diào)整絲網(wǎng)10和基板8的相對位直。
[0170]作為控制部I取得的與拍攝部30的位置對應(yīng)的I個(gè)像素的大小，例如，可以采用在記錄于存儲(chǔ)部2中的換算信息中，與拍攝部30的位置最近的位置處的I個(gè)像素的大小。由于圖10所示的校準(zhǔn)模具F的對準(zhǔn)標(biāo)記Fl的間隔為10mm，所以在記錄于存儲(chǔ)部2中的換算信息中，與拍攝部30的位置最近的位置落在相距拍攝部30的位置5mm的范圍內(nèi)。因此，I個(gè)像素的大小的誤差幾乎不會(huì)產(chǎn)生。
[0171]另外，作為控制部I取得的與拍攝部30的位置對應(yīng)的I個(gè)像素的大小，例如，也可以采用在記錄于存儲(chǔ)部2中的換算信息中，接近拍攝部30的位置的4個(gè)位置處的I個(gè)像素的大小的平均值。在此情況下，在記錄于存儲(chǔ)部2中的換算信息中，接近拍攝部30的位置的4個(gè)位置，均落在相距拍攝部30的位置5mm的范圍內(nèi)。因此，I個(gè)像素的大小的誤差幾乎不會(huì)產(chǎn)生。
[0172]另外，在拍攝部30的位置坐標(biāo)和I個(gè)像素的大小得到相關(guān)關(guān)系的情況下，記錄于存儲(chǔ)部2中的換算信息也可以是拍攝部30的位置坐標(biāo)和I個(gè)像素的大小的函數(shù)。在此情況下，控制部I可以使用該函數(shù)，根據(jù)拍攝部30的位置坐標(biāo)計(jì)算I個(gè)像素的大小。
[0173][絲網(wǎng)10的位置檢測功能]
[0174]在本實(shí)施方式所涉及的絲網(wǎng)印刷裝置100中，對于絲網(wǎng)10，也將拍攝部80位于各位置處的情況下的I個(gè)像素的大小與拍攝部80的位置相關(guān)聯(lián)，作為換算信息而記錄在存儲(chǔ)部2中。雖然基板8和絲網(wǎng)10相對于拍攝部80上下相反，但可以利用與基板8相同的要領(lǐng)，使用與圖10所示的校準(zhǔn)模具F相同的校準(zhǔn)模具，準(zhǔn)備換算信息。
[0175]校準(zhǔn)模具配置為對準(zhǔn)標(biāo)記朝向下側(cè)，校準(zhǔn)模具的下表面的Z軸方向的位置與絲網(wǎng)10的下表面的Z軸方向的位置一致。此外，通過使校準(zhǔn)模具F的下表面的高度與絲網(wǎng)的下表面的高度一致(即，通過使拍攝部80以及絲網(wǎng)的距離、和拍攝部80以及模具的距離一致)，從而能夠準(zhǔn)確地取得各位置處的I個(gè)像素的大小。
[0176]在本實(shí)施方式所涉及的絲網(wǎng)印刷裝置100中，在更換絲網(wǎng)10時(shí)，拍攝部80在光軸通過與絲網(wǎng)10的種類相對應(yīng)而確定的絲網(wǎng)10的對準(zhǔn)標(biāo)記14的基準(zhǔn)位置的狀態(tài)下，對對準(zhǔn)標(biāo)記14進(jìn)行拍攝。根據(jù)拍攝部80所拍攝的圖像，利用與基板8相同的要領(lǐng)，得到對準(zhǔn)標(biāo)記14相對于基準(zhǔn)位置的偏移。
[0177]如果針對絲網(wǎng)10的2個(gè)對準(zhǔn)標(biāo)記14，得到相對于基準(zhǔn)位置向X軸方向以及Y軸方向偏移的距離，則控制部I能夠?qū)z網(wǎng)10的XY θ方向的位置偏移進(jìn)行識(shí)別。控制部I對絲網(wǎng)10的位置進(jìn)行調(diào)整，以抵消該位置偏移。
[0178]如上述所示，在本實(shí)施方式所涉及的絲網(wǎng)印刷裝置100中，通過向存儲(chǔ)部2中記錄換算信息，從而能夠準(zhǔn)確地識(shí)別基板8的位置以及絲網(wǎng)10的位置。
[0179][其他結(jié)構(gòu)]
[0180]在本實(shí)施方式所涉及的絲網(wǎng)印刷裝置100中，為了非常準(zhǔn)確地檢測基板8的位置，而采用由拍攝部80對基板8的對準(zhǔn)標(biāo)記9拍攝多次的模式。
[0181]在絲網(wǎng)印刷裝置100的該模式中，首先，由拍攝部80進(jìn)行基板8的對準(zhǔn)標(biāo)記9的第I次拍攝。根據(jù)通過第I次拍攝得到的圖像，如上述所示計(jì)算對準(zhǔn)標(biāo)記9相對于基準(zhǔn)位置向X軸方向以及Y軸方向偏移的距離。
[0182]然后，控制部I使拍攝部80移動(dòng)，以使得光軸通過根據(jù)由拍攝部80的第I次拍攝得到的圖像計(jì)算出的對準(zhǔn)標(biāo)記9的位置，并利用拍攝部80進(jìn)行基板8的對準(zhǔn)標(biāo)記9的第2次拍攝。在通過第2次拍攝得到的圖像中對準(zhǔn)標(biāo)記9的位置也從中心C偏移的情況下，再次計(jì)算對準(zhǔn)標(biāo)記9相對于基準(zhǔn)位置向X軸方向以及Y軸方向偏移的距離。
[0183]如上述所示，在絲網(wǎng)印刷裝置100中，在第2次拍攝后，能夠非常準(zhǔn)確地識(shí)別基板8的對準(zhǔn)標(biāo)記9的位置。相同地，在絲網(wǎng)印刷裝置100中，通過將利用拍攝部8拍攝對準(zhǔn)標(biāo)記9的次數(shù)設(shè)定為大于或等于3次，從而更準(zhǔn)確地識(shí)別基板8的對準(zhǔn)標(biāo)記9的位置。
[0184]此外，在絲網(wǎng)印刷裝置100的該模式中，在為了計(jì)算對準(zhǔn)標(biāo)記9相對于基準(zhǔn)位置的偏移，而不使用本實(shí)施方式所涉及的換算信息，與拍攝部80的位置無關(guān)而使用圖像的倍率的代表值的情況下，也能夠在第2次拍攝后，準(zhǔn)確地識(shí)別基板8的對準(zhǔn)標(biāo)記9的位置。
[0185]以上，針對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不僅限定于上述實(shí)施方式，當(dāng)然可以在不脫離本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)，進(jìn)行各種變更。
[0186]例如，本實(shí)施方式所涉及的位置調(diào)整機(jī)構(gòu)，除了絲網(wǎng)印刷裝置以外，還適用于基板檢查裝置及基板安裝裝置等在基板的制造中使用的裝置。在基板檢查裝置中，通過準(zhǔn)確地識(shí)別基板的位置，從而能夠檢查基板內(nèi)的準(zhǔn)確位置。在基板安裝裝置中，通過準(zhǔn)確地識(shí)別基板的位置，從而能夠在基板內(nèi)的準(zhǔn)確位置上安裝部件。
[0187]此外，“對基板的處理”包括進(jìn)行下述針對基板的動(dòng)作，S卩，向基板上進(jìn)行絲網(wǎng)印刷、檢查基板、向基板上安裝部件等。
[0188]另外，在本實(shí)施方式所涉及的校準(zhǔn)模具中，對準(zhǔn)標(biāo)記以點(diǎn)陣狀排列，但只要在校準(zhǔn)模具中設(shè)置至少2個(gè)對準(zhǔn)標(biāo)記，就能夠得到本技術(shù)的效果。
[0189]此外，本技術(shù)也可以采用以下的結(jié)構(gòu)。
[0190](I) 一種位置檢測裝置，其具有:
[0191]拍攝部，其能夠在與基準(zhǔn)面相對的狀態(tài)下沿所述基準(zhǔn)面移動(dòng)，對位于所述基準(zhǔn)面上的對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝；
[0192]存儲(chǔ)部，其記錄有換算信息，該換算信息構(gòu)成為，與所述拍攝部的位置相對應(yīng)而確定由所述拍攝部拍攝的圖像的倍率；以及
[0193]控制部，其使用在所述存儲(chǔ)部中記錄的所述換算信息，根據(jù)所述拍攝部的位置以及所述圖像中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，對所述基準(zhǔn)面中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置進(jìn)行計(jì)算。
[0194](2)根據(jù)上述(I)所記載的位置檢測裝置，所述換算信息包含由所述拍攝部在多個(gè)位置處分別拍攝的圖像的倍率的實(shí)際測量值。
[0195](3)根據(jù)上述(2)所記載的位置檢測裝置，所述多個(gè)位置沿所述基準(zhǔn)面規(guī)則地排列。
[0196](4)根據(jù)上述(2)或(3)所記載的位置檢測裝置，所述控制部使用與在所述多個(gè)位置中距所述拍攝部的位置最近的位置對應(yīng)的所述實(shí)際測量值，對所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置進(jìn)行計(jì)算。
[0197](5)根據(jù)上述(2)或(3)所記載的位置檢測裝置，所述控制部使用根據(jù)下述所述實(shí)際測量值計(jì)算出的值，對所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置進(jìn)行計(jì)算，該實(shí)際測量值與在所述多個(gè)位置中接近所述拍攝部的位置的大于或等于2個(gè)的位置對應(yīng)。
[0198](6)根據(jù)上述(I)至(5)中任一項(xiàng)所記載的位置檢測裝置，還具有保持部，該保持部對具有設(shè)置有所述對準(zhǔn)標(biāo)記的主面的基板進(jìn)行保持，并使所述主面的位置與所述基準(zhǔn)面對齊。
[0199](7) 一種基板制造裝置，其具有:
[0200]保持部，其對具有設(shè)置有對準(zhǔn)標(biāo)記的主面的基板進(jìn)行保持，并使所述主面的位置與基準(zhǔn)面對齊；
[0201]處理部，其對被保持在所述保持部上的所述基板進(jìn)行處理；
[0202]拍攝部，其能夠在與所述基準(zhǔn)面相對的狀態(tài)下沿所述基準(zhǔn)面移動(dòng)，對所述對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝；
[0203]存儲(chǔ)部，其記錄有換算信息，該換算信息構(gòu)成為，與所述拍攝部的位置相對應(yīng)而確定由所述拍攝部拍攝的圖像的倍率；以及
[0204]控制部，其使用所述存儲(chǔ)部中記錄的所述換算信息，根據(jù)所述拍攝部的位置以及所述圖像中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，對所述基準(zhǔn)面中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置進(jìn)行計(jì)算，在基于計(jì)算出的位置而識(shí)別出所述基板的位置后，使所述處理部執(zhí)行對所述基板的處理。
[0205](8) 一種位置檢測方法，在該方法中，
[0206]利用能夠在與基準(zhǔn)面相對的狀態(tài)下沿所述基準(zhǔn)面移動(dòng)的拍攝部，對位于所述基準(zhǔn)面上的對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝，
[0207]與所述拍攝部的位直相對應(yīng)而確定由所述拍攝部拍攝的圖像的倍率，
[0208]使用所確定的倍率，根據(jù)所述拍攝部的位置以及所述圖像中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，對所述基準(zhǔn)面中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置進(jìn)行計(jì)算。
[0209](9) 一種基板的制造方法，在該方法中，
[0210]配置具有設(shè)置有對準(zhǔn)標(biāo)記的主面的基板，使得所述主面的位置與基準(zhǔn)面對齊，
[0211]利用能夠在與所述基準(zhǔn)面相對的狀態(tài)下沿所述基準(zhǔn)面移動(dòng)的拍攝部，對配置于所述基準(zhǔn)面上的所述主面的所述對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝，
[0212]與所述拍攝部的位直相對應(yīng)而確定由所述拍攝部拍攝的圖像的倍率，
[0213]使用所確定的倍率，根據(jù)所述拍攝部的位置以及所述圖像中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，對所述基準(zhǔn)面中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置進(jìn)行計(jì)算，基于計(jì)算出的位置，對所述基板的位置進(jìn)行識(shí)別，
[0214]在識(shí)別出所述基板的位置后，執(zhí)行對所述基板的處理。
[0215](10) 一種位置檢測方法，在該方法中，
[0216]利用能夠在與基準(zhǔn)面相對的狀態(tài)下沿所述基準(zhǔn)面移動(dòng)的拍攝部，對位于所述基準(zhǔn)面上的對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行第I拍攝，
[0217]根據(jù)通過所述第I拍攝得到的第I圖像的倍率、所述第I拍攝時(shí)的所述拍攝部的位置、以及所述第I圖像中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，對所述基準(zhǔn)面中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的第I位置進(jìn)行計(jì)算，
[0218]利用所述拍攝部，對所述第I位置進(jìn)行第2拍攝，
[0219]根據(jù)通過所述第2拍攝得到的第2圖像的倍率、所述第2拍攝中的所述拍攝部的位置、以及所述第2圖像中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，對所述基準(zhǔn)面中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的第2位置進(jìn)行計(jì)算。
【權(quán)利要求】
1.一種位置檢測裝置，其具有: 拍攝部，其能夠在與基準(zhǔn)面相對的狀態(tài)下沿所述基準(zhǔn)面移動(dòng)，對位于所述基準(zhǔn)面上的對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝； 存儲(chǔ)部，其記錄有換算信息，該換算信息構(gòu)成為，與所述拍攝部的位置相對應(yīng)而確定由所述拍攝部拍攝的圖像的倍率；以及 控制部，其使用在所述存儲(chǔ)部中記錄的所述換算信息，根據(jù)所述拍攝部的位置以及所述圖像中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，對所述基準(zhǔn)面中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置進(jìn)行計(jì)算。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置檢測裝置，其中， 所述換算信息包含由所述拍攝部在多個(gè)位置處分別拍攝的圖像的倍率的實(shí)際測量值。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的位置檢測裝置，其中， 所述多個(gè)位置沿所述基準(zhǔn)面規(guī)則地排列。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的位置檢測裝置，其中， 所述控制部使用與在所述多個(gè)位置中距所述拍攝部的位置最近的位置對應(yīng)的所述實(shí)際測量值，對所述基準(zhǔn)面中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置進(jìn)行計(jì)算。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的位置檢測裝置，其中， 所述控制部使用根據(jù)下述所述實(shí)際測量值計(jì)算出的值，對所述基準(zhǔn)面中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置進(jìn)行計(jì)算，該實(shí)際測量值與在所述多個(gè)位置中接近所述拍攝部的位置的大于或等于2個(gè)的位置對應(yīng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置檢測裝置，其中， 還具有保持部，該保持部對具有設(shè)置有所述對準(zhǔn)標(biāo)記的主面的基板進(jìn)行保持，并使所述主面的位置與所述基準(zhǔn)面對齊。
7.一種基板制造裝置，其具有: 保持部，其對具有設(shè)置有對準(zhǔn)標(biāo)記的主面的基板進(jìn)行保持，并使所述主面的位置與基準(zhǔn)面對齊； 處理部，其對被保持在所述保持部上的所述基板進(jìn)行處理； 拍攝部，其能夠在與所述基準(zhǔn)面相對的狀態(tài)下沿所述基準(zhǔn)面移動(dòng)，對所述對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝； 存儲(chǔ)部，其記錄有換算信息，該換算信息構(gòu)成為，與所述拍攝部的位置相對應(yīng)而確定由所述拍攝部拍攝的圖像的倍率；以及 控制部，其使用所述存儲(chǔ)部中記錄的所述換算信息，根據(jù)所述拍攝部的位置以及所述圖像中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，對所述基準(zhǔn)面中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置進(jìn)行計(jì)算，在基于計(jì)算出的位置而識(shí)別出所述基板的位置后，使所述處理部執(zhí)行對所述基板的處理。
8.—種位置檢測方法，在該方法中， 利用能夠在與基準(zhǔn)面相對的狀態(tài)下沿所述基準(zhǔn)面移動(dòng)的拍攝部，對位于所述基準(zhǔn)面上的對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝， 與所述拍攝部的位置相對應(yīng)而確定由所述拍攝部拍攝的圖像的倍率， 使用所確定的倍率，根據(jù)所述拍攝部的位置以及所述圖像中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，對所述基準(zhǔn)面中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置進(jìn)行計(jì)算。
9.一種基板的制造方法，在該方法中， 配置具有設(shè)置有對準(zhǔn)標(biāo)記的主面的基板，使得所述主面的位置與基準(zhǔn)面對齊， 利用能夠在與所述基準(zhǔn)面相對的狀態(tài)下沿所述基準(zhǔn)面移動(dòng)的拍攝部，對配置于所述基準(zhǔn)面上的所述主面的所述對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝， 與所述拍攝部的位置相對應(yīng)而確定由所述拍攝部拍攝的圖像的倍率， 使用所確定的倍率，根據(jù)所述拍攝部的位置以及所述圖像中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，對所述基準(zhǔn)面中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置進(jìn)行計(jì)算，基于計(jì)算出的位置，對所述基板的位置進(jìn)行識(shí)別， 在識(shí)別出所述基板的位置后，執(zhí)行對所述基板的處理。
10.一種位置檢測方法，在該方法中， 利用能夠在與基準(zhǔn)面相對的狀態(tài)下沿所述基準(zhǔn)面移動(dòng)的拍攝部，對位于所述基準(zhǔn)面上的對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行第I拍攝， 根據(jù)通過所述第I拍攝得到的第I圖像的倍率、所述第I拍攝時(shí)的所述拍攝部的位置、以及所述第I圖像中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，對所述基準(zhǔn)面中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的第I位置進(jìn)行計(jì)算， 利用所述拍攝部，對所述第I位置進(jìn)行第2拍攝， 根據(jù)通過所述第2拍攝得到的第2圖像的倍率、所述第2拍攝中的所述拍攝部的位置、以及所述第2圖像中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的位置，對所述基準(zhǔn)面中的所述對準(zhǔn)標(biāo)記的第2位置進(jìn)行計(jì)算。
【文檔編號】B41F15/26GK104249547SQ201410302738
【公開日】2014年12月31日 申請日期:2014年6月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月27日
【發(fā)明者】渡邊昭彥 申請人:重機(jī)自動(dòng)化系統(tǒng)有限公司