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一種大幅面快速激光標(biāo)刻系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:2500822閱讀:164來源:國知局
一種大幅面快速激光標(biāo)刻系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及了一種激光標(biāo)刻系統(tǒng),具體的說是一種大幅面快速激光標(biāo)刻系統(tǒng),包括激光器(1)、擴(kuò)束鏡(2)、分光裝置(3)、振鏡掃描系統(tǒng)一(4)、振鏡掃描系統(tǒng)二(5)、聚焦場鏡一(6)、聚焦場鏡二(7),擴(kuò)束鏡(2)后設(shè)置有分光裝置(3),分光裝置(3)后設(shè)置振鏡掃描系統(tǒng)一(4)與振鏡掃描系統(tǒng)二(5),振鏡掃描系統(tǒng)一(4)后設(shè)置聚焦場鏡一(6),振鏡掃描系統(tǒng)二(5)后設(shè)置聚焦場鏡二(7)。分光裝置(3)可將擴(kuò)束鏡(2)的來光分成兩束光,兩束光分別進(jìn)入振鏡掃描系統(tǒng)一(4)、振鏡掃描系統(tǒng)二(5),然后分別經(jīng)過聚焦場鏡一(6)、聚焦場鏡二(7),對物體進(jìn)行標(biāo)刻。由于設(shè)置兩套振鏡掃描系統(tǒng),可以同時(shí)對兩個(gè)工件進(jìn)行加工,工作效率大幅度提高。進(jìn)行大幅面激光標(biāo)刻時(shí),其振鏡掃描系統(tǒng)與工件無相對移動,標(biāo)刻誤差小、幅面易擴(kuò)充。
【專利說明】一種大幅面快速激光標(biāo)刻系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及激光標(biāo)刻【技術(shù)領(lǐng)域】,具體的說是一種大幅面快速激光標(biāo)刻系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有激光標(biāo)刻系統(tǒng)只有一套振鏡掃描系統(tǒng),在進(jìn)行大幅面激光標(biāo)刻時(shí),需使用長焦距聚焦場鏡以擴(kuò)大標(biāo)刻幅面或者利用轉(zhuǎn)動裝置使振鏡掃描系統(tǒng)與加工工件作相對移動,其缺點(diǎn)在于:第一,同一時(shí)間只能對單個(gè)工件進(jìn)行加工;第二,工件移動需耗費(fèi)時(shí)間,降低了工作效率;第三,相對移動也容易使得激光器的穩(wěn)定性下降,產(chǎn)生較大誤差;第四,當(dāng)需要進(jìn)行高精度激光標(biāo)刻時(shí),高精度的轉(zhuǎn)動設(shè)備會大大增加系統(tǒng)成本。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]針對上述激光標(biāo)刻系統(tǒng)的缺陷,本實(shí)用新型提供一種大幅面快速激光標(biāo)刻系統(tǒng),由于設(shè)置兩套振鏡掃描系統(tǒng),可以同時(shí)對兩個(gè)工件進(jìn)行加工,所以加工速度快、工作效率大幅度提高。進(jìn)行大幅面激光標(biāo)刻時(shí),其振鏡掃描系統(tǒng)與加工工件無相對移動,標(biāo)刻誤差小、幅面易于擴(kuò)充。
[0004]本實(shí)用新型提供的大幅面快速激光標(biāo)刻系統(tǒng)是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
[0005]—種大幅面快速激光標(biāo)刻系統(tǒng),包括激光器(I)、擴(kuò)束鏡(2)、分光裝置(3)、振鏡掃描系統(tǒng)一(4)、振鏡掃描系統(tǒng)二(5)、聚焦場鏡一(6)、聚焦場鏡二(7),其特征在于:擴(kuò)束鏡(2)后設(shè)置有分光裝置(3),分光裝置(3)后設(shè)置振鏡掃描系統(tǒng)一(4)與振鏡掃描系統(tǒng)二(5),振鏡掃描系統(tǒng)一(4)后設(shè)置聚焦場鏡一(6),振鏡掃描系統(tǒng)二(5)后設(shè)置聚焦場鏡二⑵。
[0006]所述分光裝置(3)可將擴(kuò)束鏡(2)的來光分成兩束光,兩束光分別進(jìn)入振鏡掃描系統(tǒng)一(4)、振鏡掃描系統(tǒng)二(5)。
[0007]所述本激光標(biāo)刻系統(tǒng)設(shè)置多個(gè)分光裝置及多個(gè)振鏡掃描系統(tǒng)。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0009]一、進(jìn)行大幅面激光標(biāo)刻時(shí),其振鏡掃描系統(tǒng)與加工工件無相對移動;
[0010]二、標(biāo)刻誤差小、幅面易于擴(kuò)充;
[0011]三、可以同時(shí)對兩個(gè)工件進(jìn)行加工,工作效率大幅度提高。
[0012]以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的上述內(nèi)容再作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1是本實(shí)用新型大幅面快速激光標(biāo)刻系統(tǒng)光路不意圖。
[0014]圖中標(biāo)記:1為激光器、2為擴(kuò)束鏡、3為分光裝置、4為振鏡掃描系統(tǒng)一、5為振鏡掃描系統(tǒng)二、6為聚焦場鏡、7為聚焦場鏡。

【具體實(shí)施方式】
[0015]本實(shí)用新型提供的大幅面快速激光標(biāo)刻系統(tǒng)包括激光器(I)、擴(kuò)束鏡(2)、分光裝置(3)、振鏡掃描系統(tǒng)一(4)、振鏡掃描系統(tǒng)二(5)、聚焦場鏡一(6)、聚焦場鏡二(7),擴(kuò)束鏡
(2)后設(shè)置有分光裝置(3),分光裝置(3)后設(shè)置振鏡掃描系統(tǒng)(4)與振鏡掃描系統(tǒng)(5),振鏡掃描系統(tǒng)(4)后設(shè)置聚焦場鏡(6),振鏡掃描系統(tǒng)(5)后設(shè)置聚焦場鏡(7)。分光裝置
(3)可將擴(kuò)束鏡(2)的來光分成兩束光,兩束光分別進(jìn)入振鏡掃描系統(tǒng)(4)與振鏡掃描系統(tǒng)
(5),然后分別經(jīng)過過聚焦場鏡¢)、聚焦場鏡(7),對物體進(jìn)行標(biāo)刻。
[0016]利用上述原理,本實(shí)用新型標(biāo)刻系統(tǒng)設(shè)置多個(gè)分光裝置及多個(gè)振鏡掃描系統(tǒng),進(jìn)行更大幅面的標(biāo)刻。
【權(quán)利要求】
1.一種大幅面快速激光標(biāo)刻系統(tǒng),包括激光器(I)、擴(kuò)束鏡(2)、分光裝置(3)、振鏡掃描系統(tǒng)一(4)、振鏡掃描系統(tǒng)二(5)、聚焦場鏡一(6)、聚焦場鏡二(7),其特征在于:擴(kuò)束鏡(2)后設(shè)置有分光裝置(3),分光裝置(3)后設(shè)置振鏡掃描系統(tǒng)一(4)與振鏡掃描系統(tǒng)二(5),振鏡掃描系統(tǒng)一(4)后設(shè)置聚焦場鏡一(6),振鏡掃描系統(tǒng)二(5)后設(shè)置聚焦場鏡二⑵。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大幅面快速激光標(biāo)刻系統(tǒng),其特征在于:分光裝置(3)可將擴(kuò)束鏡(2)的來光分成兩束光,兩束光分別進(jìn)入振鏡掃描系統(tǒng)一(4)、振鏡掃描系統(tǒng)二(5)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大幅面快速激光標(biāo)刻系統(tǒng),其特征在于:本激光標(biāo)刻系統(tǒng)設(shè)置多個(gè)分光裝置及多個(gè)振鏡掃描系統(tǒng)。
【文檔編號】B41J2/435GK204196456SQ201420386400
【公開日】2015年3月11日 申請日期:2014年7月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月14日
【發(fā)明者】何如 申請人:成都榮樂激光技術(shù)有限公司
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