專利名稱：有機(jī)聚合物膜層上的非照像構(gòu)圖方法
本申請(qǐng)是申請(qǐng)流水號(hào)為07/425387，申請(qǐng)日為1989年10月20的待審查專利申請(qǐng)的部分后續(xù)申請(qǐng)。
本發(fā)明涉及一種有機(jī)聚合物膜層上的非照像構(gòu)圖方法，具體的說(shuō)該方法用于制造單層和多層電子器件，例如厚膜混合電路。
厚膜技術(shù)歷來(lái)重視導(dǎo)體、介質(zhì)和電阻器制造方法的穩(wěn)定性和可靠性。這些技術(shù)應(yīng)適合于生產(chǎn)那些生產(chǎn)周期短的，價(jià)格經(jīng)濟(jì)的產(chǎn)品。在多層結(jié)構(gòu)中的構(gòu)圖能力應(yīng)該能制出具有電路密度極高的器件。在多層結(jié)構(gòu)中，各導(dǎo)體層由介質(zhì)層隔開(kāi)，并由穿過(guò)介質(zhì)層的通孔使它們內(nèi)連接。
多層結(jié)構(gòu)的制作費(fèi)用比單層結(jié)構(gòu)制作費(fèi)用高得多，因?yàn)?，制作多層結(jié)構(gòu)必須嚴(yán)格檢驗(yàn)，使層與層之間對(duì)準(zhǔn)，并要仔細(xì)操作以防止產(chǎn)生砂眼和裂紋。
減少這些涉及多層產(chǎn)品的問(wèn)題的最明顯的途徑是減小線條和間隔的尺寸，從而減少給定結(jié)構(gòu)中的層數(shù)。這些問(wèn)題的解決受厚膜絲網(wǎng)印刷分辨率的限制，限定電路層間連接通孔的直徑為10至15密耳。同樣，批量生產(chǎn)時(shí)，導(dǎo)體的最細(xì)線寬及導(dǎo)線間隔限定在5至7密耳。
人們?cè)噲D用各種不同的方法獲得較細(xì)的柵狀線條和小的通孔。用極細(xì)的網(wǎng)目和改進(jìn)后的乳膠底板使線條的分辨率在產(chǎn)量有限的情況下能達(dá)到4密耳/間距。已開(kāi)發(fā)的光刻膠能使通孔達(dá)到5密耳或更小，線/間隔柵狀線條寬達(dá)2至3密耳、厚膜金屬的構(gòu)圖是用光刻膠和蝕刻法制出細(xì)線圖形、并鍍一層薄膜導(dǎo)體，制成具有高電導(dǎo)率的細(xì)線圖形。
上述所有方法均有各自的缺點(diǎn)。例如，細(xì)目絲網(wǎng)的典型印刷層制成的導(dǎo)體層和介質(zhì)層均比所要求的薄。光刻膠中有大量有機(jī)物，在燒結(jié)過(guò)程中這些有機(jī)物使收縮量增加，并且會(huì)出現(xiàn)燒毀，使燒結(jié)后的產(chǎn)品報(bào)廢。用光刻膠制成的導(dǎo)體有不希望的卷邊，帶卷邊的電路的可靠性降低，所有工序都需刻蝕、涂光刻膠、或鍍敷，這種工藝方法是漫長(zhǎng)的，對(duì)工藝敏感而又昂貴的。
本發(fā)明提供一種在有機(jī)聚合物膜層上的非照像構(gòu)圖方法，它包括下列順序的步驟a)在基片上涂復(fù)無(wú)圖形的第一層，該涂層包含能分散在預(yù)定洗脫液中的固體有機(jī)聚合物;
b)在無(wú)圖形的第一層上涂復(fù)有圖形的第二層、第二層中包含一種能改變固體有機(jī)物在預(yù)定洗脫液中的分散率的改變劑;
c)分散率改變劑按已構(gòu)成的圖形擴(kuò)散到埋在下面的第一層中;和d)用預(yù)定的洗脫液清洗、除去可溶于洗脫液的埋在下面的第一層上的面積。
本發(fā)明既可以用于制作正像圖形，也能用于制作負(fù)像圖形。
制作負(fù)像圖形時(shí)本方法包括下列順序步驟a)在基片上涂復(fù)無(wú)圖形的第一層，該層包含固體有機(jī)聚合物;
b)在無(wú)圖形的第一層上涂復(fù)有圖形的第二層，第二層包含一種固體有機(jī)聚合物的粘性懸浮液，分散率改變劑和一種任選的溶劑，分散率改變劑<1>是第一層有機(jī)聚合物的分散劑，(2)它在常壓下的沸點(diǎn)高于溶劑;
c)干燥有圖形的第二層，除去其中的溶劑，并使分散率改變劑按已構(gòu)成的圖形擴(kuò)散到埋在下面的第一層有機(jī)聚合物中;和d)用洗脫液清洗，除去有圖形的第二層和埋在下面的第一層中按照已構(gòu)成的圖形擴(kuò)散過(guò)的區(qū)域，第二層和第一層中按已構(gòu)成的圖形擴(kuò)散過(guò)的區(qū)域可以分散在所述的洗脫液中。
制作正像圖形時(shí)，該方法包括下列步驟a)在基片上涂復(fù)無(wú)圖形的第一層，該層包含可分散在預(yù)定溶劑中的固體有機(jī)聚合物;
b)在無(wú)圖形的第一層上涂復(fù)有圖形的第二層、第二層包含能降低有機(jī)聚合物在溶劑中的分散率的分散率改變劑。
c)加熱有圖形的第二層，使分散率改變劑按已構(gòu)成的圖形擴(kuò)散到埋在下面的第一層有機(jī)聚合物層中，并降低第一層有機(jī)聚合的已構(gòu)圖區(qū)域在溶劑中的分散率;和d)用預(yù)定的溶劑清洗，除去埋在下面的第一層中無(wú)構(gòu)圖區(qū)域。
附圖中包括兩幅圖。

圖1是用本發(fā)明方法制作負(fù)像圖形的示意圖。圖2是用本發(fā)明方法制作正像圖形的示意圖。
圖1表示在有機(jī)聚合物膜上用非照像法制作負(fù)像圖形的方法，它包括下列步驟a)在基片1上涂復(fù)無(wú)圖形的第一層固體有機(jī)聚合物層3;
b)在無(wú)圖形的第一層固體有機(jī)聚合物層3上涂復(fù)有圖形的第二層5，第二層包含由固體有機(jī)聚合物，增溶劑和溶劑組成的溶液，增溶劑(a)可溶于第一層有機(jī)聚合物層3的聚合物中，(b)其常壓下的沸點(diǎn)高于溶劑;
c)加熱有圖形的第二層，除去其中的溶劑，并使增溶劑按已構(gòu)成的圖形擴(kuò)散到埋在下面的第一層有機(jī)聚合物層3a中;
d)在第二種溶劑中清洗，除去有圖形的第二層5和埋在下面的第一層固體有機(jī)聚合物層中按構(gòu)成的圖形擴(kuò)散的區(qū)域，第二層5的固體有機(jī)聚合物和第一層3的按已構(gòu)成圖形的擴(kuò)散層能溶于第二溶劑。
圖2表示在有機(jī)聚合物膜層上用非照相法制作正像圖形的方法，它包括下列步驟a)在基片11上涂復(fù)無(wú)圖形的第一層13，該層包含可溶于預(yù)定溶劑的固體有機(jī)聚合物;
b)在無(wú)圖形的第一層13上涂復(fù)有圖形的第二層15，第二層包含一種能降低有機(jī)聚合物在溶劑中的溶解度、本身不溶于所說(shuō)溶劑的阻溶劑;
c)加熱有圖形的第二層，使阻溶劑按已構(gòu)成的圖形擴(kuò)散到埋在下面的第一層有機(jī)聚合物層13中，使第一層中按已構(gòu)成的圖形擴(kuò)散的區(qū)域13a的聚合物不溶于上述溶劑;和d)用預(yù)定溶劑清洗，除去埋在下面的第一層13上沒(méi)構(gòu)成圖形的區(qū)域。
假若有圖形的第二層15中的阻溶劑已耗盡的區(qū)域的聚合物可溶于上述溶劑，那么，該區(qū)域的聚合物在用溶劑清洗過(guò)程中會(huì)被除去。另一方面，假若有圖形的第二層15中的阻溶劑已耗盡區(qū)域的聚合物不溶于上述的溶劑，那么，在用溶劑清洗之后，該區(qū)域的聚合物會(huì)留下。
所用術(shù)語(yǔ)的定義所用術(shù)語(yǔ)的含義如下術(shù)語(yǔ)“洗脫液”是指任何一種流體，可以是液體，也可以是氣體，它能以溶解或其他方式使埋在下面的無(wú)圖形層變成可分散狀態(tài)。
術(shù)語(yǔ)“可分散的”是指就給定的材料膜層而言，利用清洗液的物理或化學(xué)作用，或用卸去的方法將其排去或除去。
術(shù)語(yǔ)“易揮發(fā)的溶劑”是指在一個(gè)大氣壓下，在120℃或更低溫度時(shí)能被蒸發(fā)除去的任何一種溶劑。
通過(guò)下列幾種途徑可以除去埋在下面的聚合物層中按已構(gòu)成的圖形擴(kuò)散的區(qū)域(1)將按照已構(gòu)成圖形擴(kuò)散的區(qū)域內(nèi)的聚合物溶解在溶劑中，并清洗掉所生成的溶液;
(2)使按照已構(gòu)成的圖形擴(kuò)散的區(qū)域內(nèi)的聚合物分解，并清洗掉和/或蒸發(fā)掉分解物(3)用一種洗滌劑使按已構(gòu)成的圖形擴(kuò)散的區(qū)域內(nèi)的聚合物乳化，并用水溶性清洗液除去分散物;
(4)用溶劑和/或塑化作用，使按已構(gòu)成的圖形擴(kuò)散的區(qū)域內(nèi)的聚合物軟化，降低它與基片的粘結(jié)力，將軟化膜從基片上除去。
(5)使按已構(gòu)成的圖形擴(kuò)散的區(qū)域內(nèi)的聚合物電離，并用水溶性離子液洗掉基片上已電離的聚合物;
(6)使按已構(gòu)成圖形的區(qū)域內(nèi)的聚合物不溶解，除去該區(qū)域以外的聚合物膜。
下面對(duì)本發(fā)明詳細(xì)說(shuō)明。
A、基片本發(fā)明的方法既能用于無(wú)機(jī)基片上，如Al2O3，SiO2，硅，AlN及其類似材料的基片，也能用于有機(jī)材料基片上、如聚酰亞胺，苯氧基樹(shù)脂，環(huán)氧樹(shù)脂及其類似材料的基片，或用于復(fù)合材料基片，如填充了有機(jī)聚合物的基片。
B有機(jī)聚合物許多種固體有機(jī)聚合物可用作一層或兩層聚合物層的材料，只要它們基本上是非結(jié)晶體，和本身具有適當(dāng)?shù)娜芙舛忍匦?，或加入增溶劑或阻溶劑后具有合適的溶解度特性。
兩層聚合物的基本特性是聚合物在自然狀態(tài)必須基本上是非晶體的。這里所用的術(shù)語(yǔ)“非結(jié)晶聚合物”是指結(jié)晶度不超過(guò)大約50%的聚合物。這種實(shí)質(zhì)上非結(jié)晶度主要是為了有圖形的第二層(聚合物層)中的溶解度改變劑能容易地?cái)U(kuò)散到下面的聚合物層中，能在本發(fā)明方法中使用的多種類型的非結(jié)晶聚合物如下Ⅰ、按聚合的方法分加聚物縮聚物Ⅱ按物理特性分可水解的聚合物可交聯(lián)的聚合物熱塑性聚合物可電離的聚合物熱固性聚合物彈性體Ⅲ按成分分聚碳酸酯纖維類聚酰亞胺類聚酯類鏈烯烴共聚物類聚丙烯酸酯類(包括異丁烯酸酯類)聚苯乙烯苯氧基樹(shù)脂類酚醛樹(shù)脂類纖維素聚合物聚(乙酸乙烯酯)聚(乙烯醇縮丁醛)聚(氯乙烯)聚(氯乙烯-乙酸乙烯酯)C、組成和應(yīng)用本發(fā)明的方法首先用來(lái)制造厚度小的膜層，例如用來(lái)制造電子元器件。特別是，第二層聚合物的厚度在10至30微米的范圍內(nèi)。而第一層聚合物可以更厚一些，在10至100微米的范圍內(nèi)。圖形層的厚度主要受所用方法的限制，而不考慮可操作性。
第二層中必須有足夠量的增溶劑，使一定量的增溶劑擴(kuò)散到埋在下面的第一層中。因此第二層中應(yīng)含有至少10%重量的增溶劑，可以多達(dá)90%重量，增溶劑的含量由各種聚合物的溶解度決定。
因此，在某些情況下，可能需要給埋在下面的第一層中加入增塑劑或其他增溶劑，使從第二層聚合物中擴(kuò)散下來(lái)的增溶劑容易對(duì)聚合物起作用。
總之，用本發(fā)明的方法制備元件層的單個(gè)工藝步驟類似于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所公知的常規(guī)厚膜技術(shù)，未燒結(jié)的生料帶技術(shù)和聚合物技術(shù)的那些工藝步驟。因此，下列各工藝步驟本身可能不是新的，但是本發(fā)明采用了所列舉的組成和制造材料的最佳方法。
1、工藝漿料的制備和介質(zhì)底層印刷(underprint)a)預(yù)碾磨;將介電的無(wú)機(jī)物成分在球磨機(jī)中一起研磨使其預(yù)分散，例如同大約同等重量的甲醇或異丙醇一起研磨30至90分鐘，然后倒出，放置2至16小時(shí)，使固體物沉淀下來(lái)。然后倒掉浮在上面的醇類，將固體物在氮?dú)鈿夥障赂稍?，減少在室溫下爆炸的可能性;當(dāng)固體物干透時(shí)放在爐窯中干燥一小時(shí)。
b、載體的制備將溶劑，樹(shù)脂，抗氧化劑和叔-丁基蒽醌一起加入樹(shù)脂釜中，加熱至溶解。制備漿料之前，溶液中可任意加入潤(rùn)濕劑。若將樹(shù)脂和溶劑加熱到最高溫度140℃，然后冷卻到70℃，加入亞諾抗氧化添加劑(2，6-二叔丁基對(duì)甲酚(Ionol))，叔丁基蒽醌，及任意的濕潤(rùn)劑，因此，樹(shù)脂和溶劑在各種漿料中有最佳效果。濕潤(rùn)劑也可以在制備漿料工序之后加。
c、漿料制備將預(yù)分散的固體物與載體和其他有機(jī)成分充分混合制成漿料。然后研磨到獲得令人滿意的粉碎尺寸(大約12/8或更好)。研磨之前可從組分中留出小部分載體和/或溶劑，在研磨之后再加入足夠量的載體和/或溶劑，達(dá)到所需粘度。最終的組成中溶劑或樹(shù)脂的含量可以略高于或略低于配方中規(guī)定的量。
達(dá)到最佳效果的增塑劑量也可以隨漿料批號(hào)的變化而略有變化。因此，研磨之前也可以從組成成份中扣除少量增塑劑。實(shí)際制作過(guò)程中，按本廠主批量試驗(yàn)幾種組成，然后按最佳組成確定實(shí)際的載體和無(wú)機(jī)固體物的混合物組成。
2、導(dǎo)體底層印刷(Conductor Underprint)a)載體制備載體制備與介質(zhì)底層印刷中的載體制備完全相同。
b)漿料制備將導(dǎo)體無(wú)機(jī)物組成分與上述載體和其它有機(jī)物組份充分混合。然后將混合物研磨至令人滿意的粉碎尺寸(大約15/8或更好)。研磨之前可以留出一些溶劑，載體和/或增塑劑，使這些組份量最后達(dá)到最佳值。研磨和組成工藝與介質(zhì)制備所用工藝類似。
3、圖形套印制備載體在高溫下將乙基纖維素樹(shù)脂預(yù)溶于由增塑劑和溶劑制成的溶液中制成載體，有助于漿料組成過(guò)程中各組分充分混合。載體制備中不是最終組成中的所有溶劑和/或增塑劑都用，因?yàn)檫@些組分中的一些組分可以在研磨后有選擇地加入，使在最終組成中它們有最佳量。因此，最終組成中的組分量同本文所給配方不完全相同。因而，所制成的漿料會(huì)略有變化。
4漿料制備和印刷不包含在載體中的圖形漿料的無(wú)機(jī)成分和有機(jī)成分與上述的載體充分混合。然后將混合物研磨至令人滿意的粉碎尺寸(大約15/8或更好)。研磨之前可以留出一些溶劑、載體，和/或增塑劑，使這些成分最后達(dá)到最佳量。研磨和組成技術(shù)與制備介質(zhì)的那些技術(shù)類似。
介質(zhì)漿料的典型印刷方法是，用200目的絲網(wǎng)，橡皮刮板的涂復(fù)速度為每秒一至兩英寸印刷兩次。圖形漿料以較快的速度蓋印在介質(zhì)上，因?yàn)榻z網(wǎng)僅有小部分是開(kāi)目的。
用325到400目的絲網(wǎng)印刷導(dǎo)體漿料。網(wǎng)目的選擇取決于所要求的導(dǎo)體厚度和分辨率。圖形漿料同樣用325目到400目的絲網(wǎng)印刷，使供給底層印刷的增塑劑量達(dá)到最佳量。與印刷介質(zhì)層比較，這里需用較薄的絲網(wǎng)和較少的印刷次數(shù)，因?yàn)樗玫牡湫偷膶?dǎo)體膜層較薄。
與其它構(gòu)圖方法本發(fā)明的擴(kuò)散構(gòu)圖法的優(yōu)點(diǎn)之一是、能用一層較薄的圖形涂層給較厚的底層印刷圖形。例如，給底層印刷圖形的構(gòu)圖劑如鄰苯二甲酸苯甲基丁酯的厚度為底層印刷層厚度的5至10倍。因此，用該方法可以做出非常精確的厚膜圖形。例如，用絲網(wǎng)印刷要獲得實(shí)施例1中的混合物的相同厚度，淀積的厚膜漿料應(yīng)精確校準(zhǔn)到75至175微米(3至7密耳)，同時(shí)防止?jié){料流入4密耳小的通孔中。
利用相當(dāng)薄的薄片印刷而在非常厚的膜層上制作圖形的能力已經(jīng)導(dǎo)致了其它的構(gòu)圖方法，這些方法在生產(chǎn)率方面優(yōu)于絲網(wǎng)印刷。除絲網(wǎng)印刷外，我們已經(jīng)證實(shí)，用實(shí)施例1中的材料通過(guò)軟片繪圖(flexographic)的方法制作圖形時(shí)，構(gòu)圖漿料是從印刷板轉(zhuǎn)移到下面的介質(zhì)印刷層上，然后擴(kuò)散并顯影的。用軟片繪圖(flexograp hic)法的生產(chǎn)潛力大大優(yōu)于絲網(wǎng)印刷。典型的絲網(wǎng)印刷當(dāng)速度為每小時(shí)4000至5000平方英寸時(shí)就是高生產(chǎn)速度了。軟版繪圖系統(tǒng)或凸片印刷系統(tǒng)，用擴(kuò)散構(gòu)圖，能達(dá)到每分鐘6000到20000平方英寸，并有較好的分辨率。
圖形印刷用的其他方法如下(1)不用制作厚圖或曝光板而用繪圖儀上的筆直接繪出標(biāo)準(zhǔn)圖;(2)用類似市售的計(jì)算機(jī)打印機(jī)的墨汁噴咀印刷頭繪圖;(3)用固體溶解度改變劑如合適的增塑劑，樹(shù)脂，酸或堿用激光印刷機(jī)對(duì)底層印刷調(diào)色。
為了充分利用本發(fā)明所展示的優(yōu)點(diǎn)，最好優(yōu)先采用不同于絲網(wǎng)印刷的底層印刷(underprimt)如采用模帶形式。已構(gòu)圖部分的顯影可以成批處理以保持同系統(tǒng)的其他產(chǎn)出協(xié)調(diào)一致，烘烤也可以在大爐窯中成批處理以適應(yīng)大量生產(chǎn)。接著，聚合物技術(shù)領(lǐng)域中的專業(yè)人員將會(huì)認(rèn)識(shí)到，每種類型的聚合物應(yīng)與許多不同類型的增塑劑或不揮發(fā)性溶劑相容。因此，適用的聚合物/溶劑/非溶劑混合物有無(wú)數(shù)種。下面是本發(fā)明實(shí)際使用的市售的幾種聚合物，增塑劑和溶劑/非溶劑系統(tǒng)的幾個(gè)例子。
D、擴(kuò)散構(gòu)圖用聚合物/增塑劑混合物1、乙酸纖維素合適的增塑劑是檸檬酸三乙酯、檸檬酸乙酰三乙酯、環(huán)氧型增塑劑、乙酸甘油酯(單、雙、三)、己二酸二甲酯、己二酸十三酯、壬二酸雙正-己酯，乙二醇二乙酸酯，二甘醇酯類及衍生物，三甘醇酯類(例如，甲基、乙基、丙基、丁基)，二-和三-丙二醇酯類。也有由美國(guó)紐約Dover化學(xué)公司供應(yīng)的長(zhǎng)鏈烴類和芳烴類、氯化石蠟類，磷酸三甲苯酯，鄰苯二甲酸烷基酯類(二甲基至二丁基)，癸二酸二甲酯，和磺酸衍生物類、如鄰甲苯磺酰胺和對(duì)甲苯磺酰胺。
2 乙酸丁酸纖維素合適的增塑劑是檸檬酸酯類(乙基至丁基)乙酰環(huán)氧硬脂酸酯類，二乙酸丙三醇酯和三乙酸丙三醇酯、己二酸二甲酯和己二酸二丁酯，己二酸十三烷基酯，己二酸二己基酯，二甘醇二壬酸酯，二丙二醇辛酸酯類和二丙二醇庚酸酯類，烴類，蔗糖乙酸酯異丁酸酯，間苯二甲酸二辛酯，甘油單月桂酸酯，偏苯三酸三辛酯，偏苯三酸三異癸酯，肉豆蔻酸異丙酯、肉豆蔻酸正-丁酯，油酸丁酯，油酸四氫糠酯，氯化石蠟類及其衍生物，磷酸烷基酯(三乙基至三丁基)，磷酸三甲苯酯，磷酸三苯酯，磷酸苯基三異丙酯，磷酸三-二甲苯酯、苯二甲酸酯類(二甲基至二己基)混合醇鄰苯二甲酸酯類，如鄰苯二甲酸苯甲基丁酯、鄰苯二甲酸丁基-乙基己基酯，鄰苯二甲酸雙環(huán)己酯，各種聚酯類，蓖麻酸甲酯，癸二酸二甲酯，許多硬脂酸的衍生物，如硬脂酸烷基酯(丙基至辛基)，1，2-丙二醇單硬脂酸酯，和對(duì)苯二酸二辛酯。
3 硝酸纖維素硝酸纖維素與許多稀有的增塑劑相容。一些增塑劑是松香酸的酸性酯類(松香甲酯)，乙酸酯類(乙酸枯苯酯)，己二酸衍生物(例如，己二酸苯甲基辛酯，己二酸二異癸酯，己二酸十三烷基酯)，壬二酸酯類，如，壬二酸二異辛酯，二苯甲酸二甘醇酯，二苯甲酸三甘醇酯、檸檬酸酯類，如檸檬酸三乙酯，環(huán)氧型增塑劑，聚乙烯甲醚，丙三醇單乙酸酯，丙三醇二乙酸酯和丙三醇三乙酸酯，乙二醇二乙酸酯，聚乙二醇200至1000，鄰苯二甲酸酯類(二甲基至二丁基)，間苯二甲酸酯類(二甲基，二異辛基，二-2-乙基己基)，苯六甲酸酯類，如三苯六甲酸三辛酯，三苯六甲酸異辛基異癸基酯，肉豆蔻酸異丙酯)，油酸甲酯和油酸丙酯、棕櫚酸異丙酯和棕櫚酸異辛酯，氯化石蠟、磷酸衍生物，如磷酸三乙酯，磷酸三丁酯，磷酸三丁氧基乙基酯、磷酸三苯酯，聚酯類，癸二酸二丁酯，癸二酸二辛酯、硬脂酸酯類，如硬脂酸辛酯，硬脂酸丁氧基乙酯、單硬脂酸1，4-丁二醇酯，蔗糖衍生物類如蔗糖八乙酸酯，磺酸衍生物，如苯磺甲酰胺，或?qū)Ρ蕉姿岫刘ァ?br> 4、乙基纖維素大多數(shù)與硝酸纖維素相容的增塑劑也與乙基纖維素相容。因此乙基纖維素與許多增塑劑相容。一些增塑劑是松香酸的酸性酯(松香甲酯)、乙酸酯類(乙酸枯苯酯)，己二酸衍生物類(例如己二酸辛芐酯，己二酸二異癸酯，己二酸十三烷基酯)，壬二酸酯類，如壬二酸二異癸酯，二苯甲酸二甘醇酯，二苯甲酸三甘醇酯，檸檬酸酯類、如檸檬酸三乙酯，環(huán)氧型增塑劑，聚乙烯甲醚，單乙酸甘油酯，二乙酸甘油酯，三乙酸甘油酯，二乙酸乙二醇酯，聚乙二醇200至1000，鄰苯二甲酸酯類(二甲基至二丁基)，間苯二甲酸酯類(二甲基，二異辛基，二-2-乙基己基)，苯六甲酸酯類，如三苯六甲酸三辛酯，三苯六甲酸異辛基異癸基酯、肉豆蔻酸異丙酯、油酸甲酯和油酸丙酯，棕櫚酸異丙酯和棕櫚酸異辛酯，氯化石蠟，磷酸衍生物類，如磷酸三乙酯，磷酸三丁酯，磷酸三丁氧基乙基酯，磷酸三苯酯，聚酯類，癸二酸二丁酯，癸二酸二辛酯，硬脂酸酯類如硬脂酸辛酯、硬脂酸丁氧基乙酯、1，4-丁二醇單硬脂酸酯，蔗糖衍生物如蔗糖八乙酸酯，磺酸衍生物類，如苯磺甲酰胺或?qū)Ρ蕉姿岫刘?br> 5 聚苯乙烯典型的增塑劑是松香酸甲酯，氫化松香酸甲酯、己二酸苯甲基辛酯，許多己二酸烷基酯(丁基到癸基和混合酯類)，壬二酸酯類如二-2-乙基己基壬二酸酯、一些苯甲酸酯類，如二苯甲酸二甘醇酯，檸檬酸衍生物如檸檬酸三-正丁酯，油酸酯類，如油酸甲酯、氯化石蠟，磷酸烷基酯類和磷酸芳基酯類，如磷酸三丁酯或磷酸三甲苯酯，許多鄰苯二甲酸酯類如鄰苯二甲酸二甲酯，鄰苯二甲酸二丙脂，鄰苯二甲酸二丁酯，或鄰苯二甲酸二辛酯，鄰苯二甲酸苯甲基丁酯，和鄰苯二甲酸的烷基芳香基混合酯。還有，蓖麻油酸酯類和癸二酸酯類;某些硬脂酸酯類，如硬脂酸正-丁酯;聚α-甲基苯乙烯;和對(duì)苯二甲酸二辛酯6 聚(乙酸乙烯酯)增塑劑是磺酸衍生物類，如鄰甲苯磺酰胺和對(duì)甲苯磺酰胺;蔗糖衍生物類如蔗糖八乙酸酯;一些硬脂酸酯類，如丙三醇三乙酸基硬脂酸酯;癸二酸二芐酯;蓖麻油酸酯類;聚酯類;某些鄰苯二甲酸酯類如鄰苯二甲酸二丁酯和鄰苯二甲酸丁芐酯;大多數(shù)磷酸酯類，如磷酸三丁酯類和磷酸三苯酯類;大多數(shù)氯化石蠟;一油酸甘油酯;二-正-丁基馬來(lái)酸酯;某些乙二醇衍生物類例如聚乙二醇二-(2-乙基己酸酯)。還有檸檬酸酯和檸檬酸三乙酯或檸檬酸三-正-丁酯。
7 聚乙烯醇縮丁醛松香酸甲酯，乙酸枯苯酯，己二酸二丁酯，己二酸二-2-乙基己酯;還有，己二酸十三烷基酯、二己二酸二甘醇酯，聚乙二醇(200)二苯甲酸酯，氫化三聯(lián)苯、檸檬酸烷基酯類，如棕檬酸三乙酯，檸檬酸三-正-丁酯;環(huán)氧化豆油;環(huán)氧化樹(shù)脂酸酯;枯苯基芐基醚;二丙二醇二辛酸酯;三甘醇三壬酸酯;少數(shù)烴類增塑劑;間苯二甲酸二異辛酯;甘油-月桂酸酯;苯六甲酸三異壬酯;油酸正-丙酯;甘油-油酸酯;許多氯化石蠟;季戊四醇四異戊酸庚酸酯;許多磷酸酯如磷酸烷基酯(三丁基，三-2-乙基己基，三苯基等)，磷酸三氯丙酯，磷酸二苯辛酯、磷酸二苯-二甲苯酯，苯異丙基苯磷酸酯。還有許多鄰苯二甲酸酯，如鄰苯二甲酸二甲酯，鄰苯二甲酸二乙酯，鄰苯二甲酸二丙酯，鄰苯二甲酸二丁酯、鄰苯二甲酸苯甲基丁酯，鄰苯二甲酸二辛酯(dioctyl or dicapry1 phthalate);混合的鄰苯二甲酸酯類;鄰苯二甲酸雙十三烷基酯;還有聚酯類;某些蓖麻油酸酯，如蓖麻油酸甲基乙酰酯;硬脂酸酯類，如，甘油三-乙酸基硬脂酸酯。還有鄰甲苯-乙基磺酰胺和對(duì)甲苯-乙基磺酰胺。
8 聚氯乙烯松香酸甲酯，乙酸枯苯酯，己二酸二丁酯，己二酸二-2-乙基己基酯;還有己二酸十三烷基酯、二己二酸二甘醇酯，聚乙二醇(200)二苯甲酸酯，氫化三聯(lián)苯，檸檬酸烷基酯，如檸檬酸三乙酯，檸檬酸三-正-丁酯;環(huán)氧化豆油;環(huán)氧化樹(shù)脂酸酯;枯苯芐基醚;二辛酸二丙二醇酯;三壬酸三甘醇酯;少數(shù)烴類增塑劑;間苯二甲酸二異辛酯;甘油-月桂酸酯;苯六甲酸三異壬基酯;油酸正丙酯;甘油一油酸酯;許多氯化石蠟;季戊四醇四異戊酸庚酸酯;許多磷酸酯類，如磷酸烷基酯(三丁基，三-2-乙基己基，三苯基等)，磷酸三氯丙酯，磷酸二苯基辛酯，磷酸二苯基二甲苯酯，磷酸苯基異丙基苯基酯。還有許多鄰苯二甲酸酯，如鄰苯二甲酸二甲酯，鄰苯二甲酸二乙酯，鄰苯二甲酸二丙酯，鄰苯二甲酸二丁酯、鄰苯二甲酸丁芐酯，鄰苯二甲酸二辛酯;混合的鄰苯二甲酸酯類;鄰苯二甲酸雙十三(烷)酯;還有聚酯類;某些蓖麻油酸酯，如蓖麻油酸甲基乙酰酯;硬脂酸酯類，如甘油三-乙酸基硬脂酸酯;還有許多其它的環(huán)氧型增塑劑;還有合適的聚乙二醇二-2-乙基己酸酯;癸二酸二丁酯;癸二酸二辛酯和癸二酸二壬酯;和對(duì)苯二甲酸二辛酯。
9 氯乙烯/乙烯基乙酸酯共聚物松香酸甲酯，乙酸枯苯酯，己二酸二丁酯，己二酸二-2-乙基己酯;還有己二酸十三烷基酯、二己二酸二甘醇酯，聚乙二醇(200)二苯甲酸酯，氫化三聯(lián)苯，檸檬酸烷基酯類，如檸檬酸三乙酯，檸檬酸三-正-丁酯;環(huán)氧化豆油;環(huán)氧化樹(shù)脂酸酯;枯苯基芐基醚;二丙二醇二辛酸酯;三甘醇三壬酸酯;少數(shù)烴類增塑劑;間苯二甲酸二異辛酯;甘油一月桂酸酯;苯六甲酸三異壬酯;油酸正-丙酯;甘油-油酸酯;許多氯化石蠟;季戊四醇四異戊酸庚酸酯;許多磷酸酯如磷酸烷基酯(三丁基，三-2-乙基己基，三苯基等)，磷酸三氯丙酯，磷酸二苯辛酯，磷酸二苯二甲苯酯，苯異丙苯磷酸酯。還有許多鄰苯二甲酸酯、如鄰苯二甲酸二甲酯，鄰苯二甲酸二乙酯，鄰苯二甲酸二丙酯，鄰苯二甲酸二丁酯，鄰苯二甲酸丁基芐基酯，鄰苯二甲酸二辛酯;混合的鄰苯二甲酸酯類;鄰苯二甲酸雙十三烷基酯;還有聚酯類;某些蓖麻酸酯類，如蓖麻油酸甲基乙酰酯;硬脂酸酯類如甘油三乙酸硬脂酸酯。還有許多其他環(huán)氧類增塑劑;合適的還有聚乙二醇二-2-乙基己酸酯;癸二酸二丁酯;癸二酸二辛酯和癸二酸二壬酯;和對(duì)苯二甲酸二辛酯。
10 聚甲基丙烯酸甲酯相容的增塑劑是松香酸甲酯、樟腦，乙酸枯苯酯、己二酸辛酯和己二酸壬酯，二丙基乙二醇二苯甲酸酯，聚乙二醇(200)二苯甲酸酯，季戊四醇四苯甲酸酯，二甘醇酯類和三甘醇酯類，某些氫化類增塑劑，苯六甲酸酯類如三苯六甲酸三異壬酯，肉豆蔻異丙酯，油酸異丙酯、乙二醇-丁基醚油酸酯，氯化石蠟類，磷酸酯，如磷酸三乙酯和磷酸三丁酯，磷酸叔丁基二苯酯，磷酸三甲苯酯，磷酸烷基芳基酯;許多鄰苯二甲酸酯類如鄰苯二甲酸二丁酯;鄰苯二甲酸二丙酯，或鄰苯二甲酸十二酯;還有鄰苯二甲酸丁基芐酯;鄰苯二甲酸二辛酯;鄰苯二甲酸二癸酯或鄰苯二甲酸二環(huán)己酯。還有癸二酸二丁酯或癸二酸二辛酯;其它的癸二酸酯;蔗糖苯甲酸酯;和對(duì)苯二甲酸酯，如對(duì)苯二甲酸二辛酯。樟腦也是有用的增塑劑。
E、擴(kuò)散構(gòu)圖用的溶劑/非-溶劑系統(tǒng)
1、乙酸纖維素溶劑二氯甲烷/甲醇，三氯甲烷/甲醇，苯甲醇，苯酚類，乙二醇乙醚類，二噁烷，二乙醇胺，吡啶，苯胺，丙酮，環(huán)己酮，甲酸、乙酸，乙酸甲酯、乙酸乙酯/硝基苯、乙二醇-乙基醚乙酸酯、硝基甲烷。
非溶劑烴類、脂族醚、弱無(wú)機(jī)酸。
2、乙酸丁酸纖維素溶劑苯、甲苯(熱的)，三氯甲烷，四氯化碳，四氯乙烷，甲醇(熱的)，丙酮，環(huán)己酮，二噁烷，脂族酯類，硝基乙烷。
非溶劑脂族烴、甲醇(冷的)，乙醇，(二)乙醚。
3、硝酸纖維素溶劑(N表示氮含量)12%＞N＞10.5%醇類(較低的)，醇/(二)乙醚，丙酮，乙酸戊酯，乙二醇醚類，乙酸(水的)。
N≥12%鹵代烴類，乙醇/(二)乙醚，丙酮，甲基戊基酮，環(huán)己酮，乙酸甲酯、乙酸乙酯，丁酸乙酯，乳酸乙酯，乙二醇醚乙酸酯類、碳酸亞乙酯，呋喃衍生物，硝基苯。
非溶劑12%＞N＞10.5%較高的醇類，較高的羧酸類，較高的酮類，磷酸三甲苯酯。
N≥12%;
脂族烴類，芳香烴類，較低的醇類，較高的醇類(SW)，1，2-亞乙基二醇，二乙基醚，稀羧酸，水。
4、乙基纖維素溶劑＜D.S表示用乙氧基基團(tuán)取代的程度)D.S＝1.0至1.5吡啶，甲酸，乙酸，水(冷的)。
D.S.＝2二氯甲烷，三氯甲烷，二氯乙烯，氯代醇類，乙醇，四氫呋喃(THF)。
D.S.＝2.3苯、甲苯、鹵代烷基物，醇類，呋喃衍生物、酮、乙酸酯類，二硫化碳，硝基甲烷。
D.S.＝3.0苯、甲苯、二氯甲烷、醇類、酯類。
非溶劑D.S.＝1.0至1.5乙醇。
D.S.＝2.0烴類、四氯化碳，三氯乙烯，醇類，(二)乙醚，酮類，酯類，水。
D.S.＝2.31，2-亞乙基二醇，丙酮(冷的)。
D.S.＝3.0烴類，萘烷，二甲苯，四氯化碳，四氫糠醇，二醇類，正-丙醚。
5、聚苯乙烯溶劑環(huán)己烷(＞35℃)，環(huán)己烷/丙酮，甲基環(huán)己烷/丙酮，萘烷/草酸二乙酯，苯，甲苯，乙基苯，苯乙烯，較低的氯代脂族烴，苯酚/丙酮，四氫呋喃(THF)，二甲基四氫呋喃，二噁烷，丁酮二異丙酮，環(huán)己酮，乙二醇縮甲醛、乙酸乙酯，乙酸丁酯，鄰苯二甲酸甲酯，鄰苯二甲酸乙酯，鄰苯二甲酸正-丁酯，1-硝基丙烷，二硫化碳，磷酸三丁酯，三氯化磷。
非溶劑飽和烴類，醇類，苯酚，二醇類，2-氯乙醇，全氟代苯，1、2、3、4-四氟代苯(低于10℃)，二乙醚，乙二醇醚，丙酮，乙酸，鄰苯二甲酸異丁酯，鄰苯二甲酸甲基己酯、磷酸三(氯乙)酯，磷酸三甲苯酯。
6、聚乙酸乙烯酯溶劑苯，甲苯，三氯甲烷，四氯化碳/乙醇，二氯乙烯，乙醇(20∶80)，氯苯，甲醇，乙醇/水，正丁醇/水，烯丙醇，2、4-二甲基-3-戊醇，苯甲醇，四氫糖醇，四氫呋喃(THF)，二甲基四氫呋喃，二噁烷，乙二醇醚類，乙二醇醚酯，丙酮，丁酮，乙酸，較低的脂族酯，乙酸乙烯酯，乙縮醛，乙腈，硝基甲烷，二甲基甲酰胺(DMF)，二甲基亞砜(DMSO)，三氯甲烷，氯苯。
非溶劑(SW表示溶脹的)飽和烴類，二甲苯(SW)，
(1，3，5-三甲基苯)，四氯化碳(SW)，乙醇(無(wú)水的，SW)，無(wú)水醇類C＞1，1，2-亞乙基二醇，環(huán)己醇、甲基環(huán)己醇，二乙醚(無(wú)水的，無(wú)醇的)，較高的酯類C＞5，二硫化碳，水(SW)，稀酸類，稀堿類。
7、聚乙烯醇縮丁醛溶劑縮醛化作用為70%醇類、環(huán)己酮、乳酸乙酯、乙酸乙二醇酯，縮醛化作用為77%二氯甲烷、醇類、丙酮，丁酮，環(huán)己酮，較低的酯類、二氯甲烷，酮類。
縮醛化作用為83%二氯甲烷、醇類、酮類、較低的酯類。
非溶劑
縮醛化作用為70%脂族烴，環(huán)脂族烴和芳香烴(SW)，二氯甲烷，脂族酮類，大多數(shù)酯類，水。
縮醛化作用為77%脂族烴、環(huán)脂族烴和芳香烴(SW)，甲基·異丁基酮，較高的酯族。
縮醛化作用為83%脂族烴(SW)，環(huán)脂族烴(SW)和芳香烴(SW)，甲醇，較高的脂族。
8、聚氯乙烯溶劑高分子量(high M·W)四氫呋喃(THF)，丙酮/二硫化碳，丁酮，環(huán)戊酮，環(huán)己酮，二甲基甲酰胺(DMF)，硝基苯，二甲基亞砜(DMSO)。
低分子量(Lower M·W)甲苯，二甲苯，二氯甲烷，氯乙烯、全氯乙烯/丙酮，1，2-二氯代苯，二噁烷、丙酮/二硫化碳，環(huán)戊酮，環(huán)己酮、二異丙基(甲)酮、異亞丙基丙酮，異佛爾酮，二甲基甲酰胺(DMF)，硝基苯，六甲基磷酰胺(HMPA)，磷酸三甲苯酯。
氯化，63%Cl芳烴類，三氯甲烷，氯苯，四氫呋喃(THF)，二噁烷，丙酮，環(huán)己酮，乙酸丁酯，硝基苯，二甲基甲酰胺(DMF)，二甲基亞砜(DMSO)。
非溶劑總分子量的(All.M.W，′S)脂族烴，礦物油，芳香烴(SW)，氯乙烯，醇，甘醇類，苯胺(SW)，丙酮(SW)，羧酸，乙酸酐(SW)，酯類，硝基烷類(SW)，二硫化碳，不氧化的酸類、堿類。
氯化，63%Cl脂族和環(huán)脂族烴類，四氯化碳，乙酸甲酯，硝基甲烷，有機(jī)和無(wú)機(jī)酸類。
9、氯乙烯/乙酸乙烯酯共聚物溶劑三氯甲烷、氯苯、吡啶、二噁烷、環(huán)己酮、乙酸乙酯。
非溶劑苯，醇類，二乙醚，水。
10、聚甲基丙烯酸甲酯溶劑二甲基甲酰胺，二氯甲烷，三氯甲烷，二氯(化)乙烯、三氯乙烯、氯苯，甲酸甲酯，乙酸乙酯，乙酸異丙酯，乙酸正丁酯、乳酯丁酯，乙酸溶纖劑，1、4-二噁烷，四氫呋喃，苯，丙酮，丁酮，乙腈，硝基甲烷，硝基乙烷，2-硝基丙烷，甲苯，雙丙酮醇。
非溶劑甲醇、乙醇、丙醇、戊醇;環(huán)己醇;1、2-亞乙基二醇;丙三醇。還有甲酰胺，四氯化碳;二乙醚和二異丙醚;FREON(商標(biāo)名)牌的三聚氰酰胺甲醛樹(shù)脂(MF)和三苯基甲
(TF);己烷，環(huán)己烷，溶劑油類，松節(jié)油，二異丁酮;環(huán)己酮;異佛爾酮;蓖麻油和亞麻油;甲基氯仿。
實(shí)施例實(shí)施例1配制的兩種漿料是一種介質(zhì)漿料和一種構(gòu)圖漿料，如下所述介質(zhì)漿料玻璃A 15.78克玻璃B 0.83克氧化鋁A 7.89克氧化鋁B 3.24克鋁酸鈷 0.08克聚甲基丙烯酸甲酯 5.36克濕潤(rùn)劑 1.25克叔-丁基蒽醌 0.50克Shell Ionol 0.03克卡必醇-丁醚乙酸酯(Butyl Carbitol 14.10克Acetate)鄰苯二甲酸芐基丁酯 0.75克玻璃ASiO2(二氧化硅) 56.2%wt
PbO(氧化鉛) 18.0Al2O3(三氧化二鋁) 8.6CaO(氧化鈣) 7.4B2O3(三氧化二硼) 4.5Na2O(氧化鈉) 2.7K2O(氧化鉀) 1.6MgO(氧化鎂) 0.8ZrO2(氧化鋯) 0.2玻璃A的粒度等級(jí)為D50，顆粒大小約為4至4.5微米;將其碾磨并分類，除去粗的和細(xì)的部分。D10級(jí)的顆粒大小約為1.6微米;D90級(jí)的顆粒大小為10至12微米。表面積是1.5至1.8平方米/克。
玻璃B是硼硅酸鋇玻璃，用于降低介質(zhì)組合物的燒結(jié)溫度，由于玻璃A有大的顆粒尺寸。
其配方如下BaO(氧化鋇) 37.5%wtB2O3(三氧化二硼) 38.3SiO2(二氧化硅) 16.5MgO(二氧化鎂) 4.3ZrO2(二氧化鋯) 3.0氧化鋁A是顆粒尺寸分布很窄的1微米粉，D10，D50，D90的顆粒大小分別為大約0.5微米，1.1微米和2.7微米。按規(guī)定規(guī)格分類，除去粗的和細(xì)的部分。表面面積約為2.7至2.8米2/克。
氧化鋁B是平均顆粒尺寸為0.4微米，表面面積約為5米2/克的粉。
構(gòu)圖漿料氧化鋁A 60克氫化蓖麻油 1.4克溶劑油 4.0克著色劑 2.2克乙基纖維素T-200 4.3克松油醇 11.9克鄰苯二甲酸苯甲基丁酯 16.2克用厚膜材料配制領(lǐng)域的普通技術(shù)人員熟知的方法制備上述漿料組合物。印刷方法如下材料的處理方法是，按其需要印刷介質(zhì)層一層，兩層或三層，每印完一層后在80℃至90℃的溫度下干燥10至15分鐘。然后用帶有通孔的絲網(wǎng)印刷圖形層，所用絲網(wǎng)上的通孔具有不同的尺寸。然后將印好圖形的漿料在80℃至100℃的溫度下干燥5至10分鐘。
將套印層浸在用超聲波攪拌的1，1，1-三氯乙烷中直到套印區(qū)被除去和套印有圖形漿料下面的區(qū)域被溶掉為止，這樣就制成了介質(zhì)層中的圖形。
在85微米厚的介質(zhì)膜中通孔尺寸可到5至7密耳那樣小，并且有好的邊界。其分辨率和單個(gè)構(gòu)圖工序所獲得的厚度均遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)絲網(wǎng)印刷。
實(shí)施例2調(diào)整介質(zhì)漿料(DP)組合物中的增塑劑含量為了能夠制作出較厚的圖形層，給要制作圖形的底層加入增塑劑常常是有益的。在制作圖形的漿料組合物中用不同濃度的增塑劑構(gòu)成濃度梯度來(lái)確定增塑劑最佳含量是常用的方法。
按實(shí)例1中的方法配制出介質(zhì)漿料，但不加增塑劑。由增塑劑含量梯度來(lái)確定其在組分中的最佳含量。其結(jié)果如下在所列顯影時(shí)間的4密耳通孔的質(zhì)量(秒)增塑劑含量 10 15 22 30 45 60無(wú) 閉 閉 閉 閉 閉 閉1.5% 閉 閉 部分開(kāi) 部分開(kāi) 部分開(kāi) 部分開(kāi)2.4% 閉 閉 閉 部分開(kāi) 部分開(kāi) 全開(kāi)3.25% 閉 開(kāi) 質(zhì)量最佳 表面侵蝕按實(shí)例1中的方法印刷和處理漿料，以確定最佳使用范圍。發(fā)現(xiàn)最佳范圍在2.5至3.5%之間，在該組分范圍內(nèi)，40至50微米厚膜具有良好的可加工性。在可使用范圍內(nèi)中較高的增塑劑含量降低了顯影時(shí)間，增加了出產(chǎn)量。
實(shí)施例3含銅的導(dǎo)體漿料組成如下銅粉，3至4微米 75.0克玻璃粉C 5.0克Elvacite 2010牌(商標(biāo))聚甲基丙烯酸甲酯 6.1克叔丁基蒽醌 0.6克Shell Ionol 0.1克卡必醇-丁醚乙酸酯(Butyl Carbitol Acetate) 13.2克玻璃粉CBi2O3(三氧化二鉍) 82.0%wtPbO(氧化鉛) 11.0%wtB2O3(三氧化二硼) 3.5SiO2(二氧化硅) 3.5用厚膜漿料配制領(lǐng)域的普通專業(yè)人員所熟知的技術(shù)將上述組分配制成含銅漿料，并準(zhǔn)備印刷。
在氧化鋁基片上用325目的絲網(wǎng)印刷一層導(dǎo)體組合物，用實(shí)例1中的構(gòu)圖漿料在銅印刷層上印刷一層絲網(wǎng)印刷的導(dǎo)體圖形的負(fù)像，兩層印刷層在85至95℃下干燥。然后將干燥過(guò)的部件浸在帶超聲波攪拌的氯乙烷中15至25秒，構(gòu)成所需的圖形。然后將部件干燥。精密的4密耳線/間隔的圖形就制成了。燒結(jié)后的部件為10至12微米厚，其電阻率為大約3毫歐姆/方。在3毫歐姆/方的圖形中，要達(dá)到4密耳線/間隔的分辨率即使不是不可能的，那也是困難的。此外，就4密耳線的頂部圖形而言，有精密的邊界和指狀導(dǎo)體頂部的平坦表面，這些都好于絲網(wǎng)印刷部件。當(dāng)用400目的絲網(wǎng)進(jìn)行底層印刷而制成稍薄一些的底層涂層時(shí)能分辨的線寬為3密耳。
實(shí)例4這是一種金導(dǎo)體組合物，其電導(dǎo)率和厚度與上述銅導(dǎo)體類似。
金粉 75.0克鉍酸銅 1.5聚甲基丙烯酸甲酯 3.1叔-丁基蒽醌 0.3卡必醇-丁醚乙酸酯(Butyl Carbitol Acetate) 7.2Shell Ionol 0.05上述組成用厚膜組成領(lǐng)域的普通技術(shù)人員公知的方法制成。在氧化鋁基片上用325目的絲網(wǎng)印刷單層金組合物涂層，并在85至95℃下干燥。然后套印構(gòu)圖漿料，構(gòu)成厚膜導(dǎo)體圖形負(fù)像，然后在85至95℃下再次干燥。
實(shí)例5帶銅的正像導(dǎo)體漿料系統(tǒng)的組成如下銅正像底層印刷漿料銅粉，3至4微米 42.5克玻璃粉C 1.0克Carboset牌XPD-1234樹(shù)脂 1.6克苯并三唑 0.15克卡必醇-丁醚乙酸酯(ButylCarbitol R Acetate) 3.75克玻璃粉CBi2O3(三氧化二鉍) 82.0%PbO(氧化鉛) 11.0B2O3(三氧化二硼) 3.5
SiO2(二氧化硅) 3.5銅正像構(gòu)圖漿料銅粉、3至4微米 46.00克玻璃粉C 1.25乙基纖維素T-50 0.75克Santicizer(商標(biāo))S-160 2.83松油醇異構(gòu)物 2.29用厚膜漿料組成領(lǐng)域的普通技術(shù)人員公知的技術(shù)按上述組分制成銅漿料，并準(zhǔn)備印刷。
用325目的絲網(wǎng)在氧化鋁基片上印刷一層導(dǎo)體組合物涂層;然后在銅印刷層頂上用本實(shí)施例中的構(gòu)圖漿料再印一層絲網(wǎng)印刷的負(fù)像導(dǎo)體圖形。兩層印刷層在85至95℃下干燥。干燥過(guò)的部件浸在有超聲波攪拌1%的碳酸鉀水溶液中5至15秒形成所需的圖形。精確的4密耳線/間隙圖形便形成了。干燥過(guò)的部件厚49微米。此外，4密耳線有比絲網(wǎng)印刷的部件更精密的邊界。
實(shí)例6用軟片圖像印刷法擴(kuò)散構(gòu)圖按下述方法將軟片圖像印刷板上的清晰可辨的印刷圖形轉(zhuǎn)移到介質(zhì)漿料(DP)的介電組分上。
在用檢測(cè)圖形成像過(guò)的軟片圖像印刷板上涂復(fù)一層鄰苯二甲酸苯甲基丁酯增塑劑薄膜。然后將圖像印刷板蓋在涂有干燥過(guò)的介質(zhì)組合物的陶瓷部件的表面上并滾壓(見(jiàn)實(shí)例1)。然后在95℃的爐內(nèi)干燥5分鐘，使從板上轉(zhuǎn)移到介質(zhì)上的增塑劑擴(kuò)散進(jìn)入介質(zhì)中。浸入含1，1，1-三氯乙烷的超聲波槽中使介質(zhì)中的圖像顯影。從板上轉(zhuǎn)移來(lái)的圖形在介質(zhì)中能清楚地看見(jiàn)，從而證明增塑劑淀積的其他技術(shù)能制成擴(kuò)散圖像。
也可以采用其他圖像生成方法，如用墨汁噴射激光印刷機(jī)印刷或用繪圖儀上的筆繪制圖形。凹版印刷或凸版印刷技術(shù)均可以用。
其他材料系統(tǒng)按選擇溶解原理，有許多形成厚膜圖形的方法。圖形可以是正像也可以是負(fù)像，即像實(shí)施例1至4所述的那樣，套印圖形下的區(qū)域可以溶掉，也可以不溶。例如套印一層含不溶于水的增塑劑的并且可在水中顯影的聚合物來(lái)保護(hù)底層區(qū)，然后用水溶解除去未增塑化的材料。
下表列出了許多證明能用于本發(fā)明方法的丙烯酸聚合物/增塑劑/溶劑系列。
表2其他丙烯酸材料系列套 印 構(gòu)圖溶劑底層印刷樹(shù)脂增溶劑(負(fù)的) 阻溶劑(正的)聚甲基丙烯酸甲酯 二丁基鄰苯二甲酸酯 甲基三氯甲烷聚甲基丙烯酸酯 鄰苯二甲酸苯甲基丁酯乙基羥基乙基纖維素聚甲基丙烯酸甲酯 乙醇/水/氨Carboset牌XPD-1234 三乙醇胺 水鄰苯二甲酸二丁酯 K2CO3/水上述的酯類可以是結(jié)合的。例如，異丁烯酸甲酯和異丁烯酸乙酯可以化合成正的或負(fù)的圖像抗蝕劑。在甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸乙酯結(jié)合的情況下，增塑劑如三甘醇會(huì)生成在乙醇圖形溶劑中的負(fù)圖像抗蝕劑。
沒(méi)有過(guò)量交聯(lián)的其他樹(shù)脂系列，如聚酯類，可以用同樣的方式形成圖形，只需要確定增溶劑或阻溶劑和合適的圖形母溶劑。
如果高度交聯(lián)的聚合物不具有可溶解的封皮，這種聚合物就不是工藝用的類似選用品。
環(huán)氧樹(shù)脂類具有環(huán)氧樹(shù)脂的正像擴(kuò)散圖系統(tǒng)可以設(shè)計(jì)成以下形式形成預(yù)聚合物，例如，雙酚A的鈉鹽與表氯醇縮聚成構(gòu)成圖形的絲網(wǎng)印刷的底層印刷涂層中的樹(shù)脂。預(yù)聚物的聚合度約為12單元長(zhǎng)。
將交聯(lián)的胺或多元酐如二亞乙基三胺或亞乙基二胺，或琥珀酸二酐加入套印漿料中。然后將套印漿料印刷到底層印刷層上，再讓組合物固化;套印過(guò)胺涂復(fù)漿料的區(qū)域被交聯(lián)，交聯(lián)過(guò)的區(qū)域在適當(dāng)?shù)娜軇┤缛纫彝橹胁粫?huì)溶解，其余部分的材料被洗掉。
聚酰亞胺一種負(fù)像聚酰亞胺構(gòu)圖漿料系統(tǒng)可以用包含如1，2，4，5-苯四酸二酐(PMDA)和氧化苯胺(ODA)的不完全固化系統(tǒng)制成。用不完全固化的聚合物作底層印刷;套印一層含堿的如含三乙醇胺或顆粒性碳酸鉀的漿料涂層作為圖形印刷。然后在水或弱堿中清洗，除去套印圖形下的區(qū)域。
其它有希望的材料是與羥乙基異丁烯酸酯反應(yīng)后的二苯酮四羧酸二酐。合適的材料還有能從市場(chǎng)上買到的聯(lián)苯二酐/對(duì)苯二胺系統(tǒng)。他們?cè)谖垂袒癄顟B(tài)可以負(fù)像顯影。
實(shí)施例7用催化分解進(jìn)行擴(kuò)散構(gòu)圖第一種介質(zhì)厚膜漿料由作為有機(jī)媒介物粘接劑的聚甲基丙烯酸甲酯和含乙基纖維素為粘接劑的上層厚膜漿料和作為分解催化劑的少量乙酰丙酮鉑構(gòu)成。用80目的絲網(wǎng)將第一種漿料印刷在幾個(gè)氧化鋁基片上，燒結(jié)后，形成22μm厚的膜，在第一種漿料上用具有通孔圖形范圍5至30密耳的經(jīng)過(guò)檢驗(yàn)的絲網(wǎng)印刷第二種漿料。將印刷層整體加熱到240℃至360℃的各種溫度下20分鐘，然后冷卻，然后每個(gè)部件用水霧清洗。能分辨出7密耳大的通孔。我們已觀察到，加熱在280℃至320℃范圍內(nèi)制成最均勻的通孔，而且無(wú)膜層表面侵蝕。漿料的組分如下表3實(shí)例7漿料組分介質(zhì)漿料 套印漿料硅酸鋅鈣玻璃 52.4克 氧化鋁 60克鋯酸鈣 2.8 烴類溶劑 2.1蘭色顏料 0.3 Carbitol二丁醚 2.1鄰苯二甲酸苯 氫化蓖麻油 1.3亞甲基丁酯 4.7濕潤(rùn)劑 1.25 黑色顏料 2.1蒽醌 1.0 鄰苯二甲酸苯甲基丁酯 19.7丁基羥基甲苯 0.1 松油醇異構(gòu)物 9.7聚甲基丙烯酸甲酯 13.6 乙基纖維素 3.25
卡必醇-丁醚乙酸酯 25.0 乙酰丙酮鉑 2.0實(shí)例8和9水?dāng)U散構(gòu)圖硅酸鋅鈣玻璃由纖維素載體和3%的鄰苯二甲酸苯甲基丁酯構(gòu)成。每種漿料膜層印刷到氧化鋁基片上，并在95-100℃下干燥。在干燥后的介質(zhì)漿料層上絲網(wǎng)印刷含7克氧化鋁，3.5克Tergitol牌TMN-6，3.15克松油醇異構(gòu)物和3.5克乙基纖維素的構(gòu)圖漿料。并在95-100℃的溫度下加熱使套印的漿料干燥，并使Tergitol牌洗滌劑擴(kuò)散進(jìn)下面的介質(zhì)層中。當(dāng)干燥后的印刷層在自來(lái)水下沖洗以后，6密耳的通孔就能清晰的分辨出來(lái)。隨后的測(cè)試表明，下面的聚合物層中使用附加增塑劑使分辨率得到進(jìn)一步改進(jìn)。
實(shí)例10下列的實(shí)例中制成了兩種介質(zhì)漿料，每種介質(zhì)漿料在使用同種構(gòu)圖漿料的氧化鋁基片上制成一系列構(gòu)圖系統(tǒng)。在三種介質(zhì)漿料中的組分差別在于，介質(zhì)漿料B含有鄰苯二甲酸苯亞甲基丁酯，介質(zhì)漿料A含有更多揮發(fā)性的苯二酸氫酯增塑劑。
介質(zhì)漿料A的組分與實(shí)例7相同，介質(zhì)漿料B的組分除用揮發(fā)性更強(qiáng)的鄰苯二甲酸二丙酯取代鄰苯二甲酸苯亞甲基丁酯外其余組分與上述實(shí)例7相同。構(gòu)圖漿料組分除不含乙酰丙酮鉑外其他組分與實(shí)例7相同。
兩種介質(zhì)漿料均用開(kāi)孔為6至11密耳的絲網(wǎng)印刷，并在80至85℃下干燥12分鐘。然后將構(gòu)圖漿料印刷蓋在干燥過(guò)的介質(zhì)層上，并加熱到95-100℃ 10分鐘使印刷層干燥，同時(shí)使增塑劑擴(kuò)散進(jìn)下面的介質(zhì)層中。然后將整體構(gòu)件在氯乙烷噴霧中顯影10至15秒，然后用水漂洗并用(空)氣刀(片)(air knife)使其干燥。對(duì)每個(gè)組件中制成的通孔測(cè)試表明，含有揮發(fā)性更強(qiáng)的增塑劑的介質(zhì)層來(lái)的通孔的尺寸與用作圖形層印刷的絲網(wǎng)的開(kāi)孔尺寸比較一致。
表4增塑劑的揮發(fā)性和絲網(wǎng)尺寸對(duì)通孔尺寸的影響構(gòu)圖絲網(wǎng)尺寸(密耳) 5.5 6.0 6.5 7.0 11.0通孔尺寸介質(zhì)漿料A 5.5 6.5 6.0 7.5 12.0介質(zhì)漿料B 6.5 8.0 7.5 9.0 12.5術(shù)語(yǔ)注釋Carbitol-Union Carbide Corporation(聯(lián)碳化物公司)Danbury.CT生產(chǎn)的二甘醇乙醚的商標(biāo)名。
Carboset-B.F.Goodrich & Co.Cleveland.OH生產(chǎn)的酸性異丙烯酸甲酯共聚物的商標(biāo)名。
Elvacite 2010-E.I.du Pont de Nemours and Co. Wilming-ton，DE生產(chǎn)的甲基丙烯酸甲酯樹(shù)脂的商標(biāo)名。
Freon MF and TF-E.I.du.Pont de Nemours and Co Wilmin-gton DE生產(chǎn)的三氯氟代甲烷和三氯氟代乙烷的商標(biāo)名。
Ionol-Shell Chemical Co，Houston.TX生產(chǎn)的受阻礙酚抗氧化劑的商標(biāo)名。
Santicizer-Monsanto Chemical.Co，St.Louis，MO生產(chǎn)的N-烷基對(duì)甲苯磺酰胺增塑劑的商標(biāo)名。
T-200-Hercules.Inc.Wilmington DE生產(chǎn)的乙基纖維素的商標(biāo)名。
Tergitol-Union Carbide Corp(聯(lián)合碳化物公司)New york N Y生產(chǎn)的非離子表面活化劑的商標(biāo)名。
權(quán)利要求
1.一種在有機(jī)聚合物膜上的非照像構(gòu)圖方法，包括下列步驟a)在基片上涂復(fù)無(wú)圖形的第一層，該涂層包含能分散在預(yù)定洗脫液的固體有機(jī)聚合物；b)在無(wú)圖形的第一層上涂敷有圖形的第二層，第二層涂層中包含能改變固體有機(jī)物在預(yù)定洗脫液中的分散率的改變劑；c)使分散率改變劑按已構(gòu)成的圖形擴(kuò)散到埋在下面的固體有機(jī)聚合物膜層中；和d)用預(yù)定的洗脫液清洗，除去埋在下面的第一層中能分散在洗脫液中區(qū)域。
2.一種在有機(jī)聚合物膜層上制作負(fù)像圖形的非照像方法，包括下列步驟a)在基片上涂敷包含固體有機(jī)聚合物的無(wú)圖形的第一層固體有機(jī)聚合物膜層;b)在無(wú)圖形的第一層有機(jī)固體聚合物膜層上涂敷已構(gòu)成圖形的第二層，第二層包含固體有機(jī)聚合物的粘性懸浮液、分散率改變劑，任選的溶劑，分散率改變劑(1)是第一層有機(jī)聚合物層的聚合物用的分散劑;(2)其常壓沸點(diǎn)高于溶劑;c)干燥已構(gòu)成圖形的第二層，以除去其中的溶劑，并使分散率改變劑按已構(gòu)成和圖形擴(kuò)散到下面的第一有機(jī)聚合物層中;和d)用洗脫液清洗，除去第二層和埋在下面的第一層中按已構(gòu)成的圖形擴(kuò)散后的區(qū)域，第二層和第一層中按已構(gòu)成圖形擴(kuò)散后的區(qū)域可以分散在所述的洗脫液中。
3.一種在有機(jī)聚合物膜上制作正像圖形的非照像方法，包括下列步驟a)在基片上涂敷無(wú)圖形的第一層，該層包含可分散在預(yù)定溶劑中的固體有機(jī)聚合物b)在無(wú)圖形的第一層上涂敷已構(gòu)成圖形的第二層，第二層包含能降低有機(jī)聚合物在溶劑中的溶解度的阻溶劑;c)加熱有圖形的第二層，使阻溶劑按已構(gòu)成的圖形擴(kuò)散到埋在下面的第一層有機(jī)聚合物層中，使第一層中按已構(gòu)成的圖形擴(kuò)散后的區(qū)域內(nèi)的聚合物不溶解于溶劑中;和d)用預(yù)定的溶劑清洗、除去埋在下面的第一層的未構(gòu)成圖形的區(qū)域。
4.按權(quán)利要求1的方法，其特征是，分散率改變劑是第一層聚合物的分解催化劑。
5.按權(quán)利要求1的方法，其特征是，分散率改變劑是第一層聚合物的增塑劑。
6.按權(quán)利要求1的方法，其特征是，分散率改變劑是能使第一層聚合物分散的洗滌劑。
7.一種在有機(jī)聚合物膜上構(gòu)圖的非照像方法，包括下列步驟a)在其片上涂敷無(wú)圖形的第一層，該層包含能溶于預(yù)定溶劑的固體有機(jī)聚合物;b)在無(wú)圖形的第一層上涂敷已構(gòu)成圖形的第二層，第二層包含能改變固體有機(jī)聚合物在預(yù)定溶劑中的溶解度的改變劑;c)溶解度改變劑按已構(gòu)成圖形擴(kuò)散進(jìn)埋在下面的固體有機(jī)聚合物層中;和d)用預(yù)定溶劑清洗，除去埋在下面的第一層中能溶于溶劑的區(qū)域。
8.在有機(jī)聚合物膜中制作負(fù)像圖形的非照像方法，包括下列步驟a)在基片上涂敷無(wú)圖形的第一層包含固體聚合物的固體有機(jī)聚合物層;b)在無(wú)圖形的第一層固體有機(jī)聚合物層上涂敷有圖形的第二層，第二層包含固體有機(jī)聚合物的粘性溶劑，溶解度改變劑和溶劑，溶解度改變劑(1)是能溶解第一有機(jī)聚合物層的聚合物，(2)其常壓沸點(diǎn)高于溶劑;c)干燥有圖形的第二層，除去其中的溶劑，并使溶解度改變劑按已構(gòu)成的圖形擴(kuò)散進(jìn)埋在下面的第一層有機(jī)聚合物膜層中;和d)用第二種溶劑清洗，除去有圖形的第二層和埋在下面的第一層中按已構(gòu)成的圖形擴(kuò)散過(guò)的區(qū)域、第二層和第一層中按已構(gòu)成的圖形擴(kuò)散過(guò)的區(qū)域能溶解于第二溶劑中。
9.在有機(jī)聚合物膜層中制作正像圖形的非照像方法，包括下列步驟a)在基片上涂敷無(wú)圖形第一層，該層包含能溶于預(yù)定溶劑中的固體有機(jī)聚合物;b)在無(wú)圖形的第一層上涂敷已構(gòu)成圖形的第二層，第二層包含能降低有機(jī)聚合物在溶劑中的溶解度的阻溶劑;c)加熱已構(gòu)成圖形的第二層，使阻溶劑按已構(gòu)成圖形擴(kuò)散進(jìn)埋在下面的第一層有機(jī)聚合物層中，并使第一層中按已構(gòu)成圖形擴(kuò)散后的區(qū)域不溶于溶劑中;和d)用預(yù)定溶液清洗，除去埋在下面的第一層中未構(gòu)成圖形的區(qū)域。
10.在厚膜層中制作圖形的非照相方法，包括下列步驟a)在基片上涂敷無(wú)圖形的厚膜層，該層包含分散在有機(jī)媒質(zhì)中的極細(xì)的導(dǎo)電固體顆粒，有機(jī)媒質(zhì)包含溶解于揮發(fā)性溶劑中的第一固體聚合物;b)蒸發(fā)除去厚膜層中的溶劑;c)在無(wú)溶劑的無(wú)圖形的厚膜層上涂敷已構(gòu)成圖形的第二層，第二層包含無(wú)結(jié)晶聚合物的粘性懸浮液，第一聚合物用的增塑劑和第二種溶劑，增塑劑溶于第一層聚合物中并具有比第二溶劑的沸點(diǎn)高的沸點(diǎn);d)加熱已構(gòu)成圖形的第二層，同時(shí)用蒸發(fā)方法除去其中的第二種溶劑，并使增塑劑從第二層中按已構(gòu)成的圖形擴(kuò)散進(jìn)埋在下面的第一層的區(qū)域;e)用能溶解增塑后的第一聚合物又能溶解第二層聚合物的溶劑清洗涂層，以同時(shí)除去已構(gòu)成圖形的第二層和埋在下面的第一層中按已構(gòu)成圖形擴(kuò)散的區(qū)域。
11.按權(quán)利要求10的方法，其特征是，第一層的聚合物與有圖形的聚合物有相同的組分。
12.按權(quán)利要求10的方法，其特征是，第一層聚合物是聚甲基丙烯酸酯，增塑劑是鄰苯二甲酸烷基酯，有圖形的涂層中的揮發(fā)性溶劑是松油醇。
全文摘要
在有機(jī)聚合物膜層上的非照像構(gòu)圖方法，包括下列步驟a)在基片上涂敷無(wú)圖形的第一層，該層包含分散在預(yù)定的洗脫液中的固體有機(jī)聚合物；b)在無(wú)圖形的第一層上涂敷已構(gòu)成圖形的第二層，第二層中包含能改變固體有機(jī)聚合物在預(yù)定洗脫液中的分散率的改變劑；c)使分散率改變劑按已構(gòu)成的圖形擴(kuò)散進(jìn)埋在下面的固體有機(jī)聚合物層中；和d)用預(yù)定的洗脫液清洗，除去可以分散在洗脫液中的埋在下面的固體有機(jī)聚合物的區(qū)域。
文檔編號(hào)B41M3/00GK1053769SQ9010950
公開(kāi)日1991年8月14日 申請(qǐng)日期1990年10月20日 優(yōu)先權(quán)日1989年10月20日
發(fā)明者約翰·詹姆斯·費(fèi)爾頓 申請(qǐng)人:納幕爾杜邦公司