專(zhuān)利名稱(chēng)：用于形成微型噴射裝置的厚薄膜層的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及微型噴射裝置和噴墨打印頭，特別涉及一種在微型噴射裝置的制作中形成厚薄膜層的方法。
微型噴射裝置通常是指一種為打印紙、人體或機(jī)動(dòng)車(chē)提供預(yù)定量液體(諸如油墨、藥液或石油產(chǎn)品)的裝置，在該裝置中所采用的方法是將預(yù)定量的電能或熱能施加到上述液體中以使所述液體發(fā)生體積上的變化。這種方法能夠?qū)㈩A(yù)定量的液體施加于一個(gè)特定的物體上。
近年來(lái)，電子技術(shù)的進(jìn)步使得這種微型噴射裝置得以迅猛的發(fā)展。因此，微型噴射裝置已廣泛地用于人們的日常生活中。日常使用的微型噴射裝置的一個(gè)例子是噴墨打印機(jī)。
噴墨打印機(jī)是微型噴射裝置中的一種形式，其不同于傳統(tǒng)的點(diǎn)式打印機(jī)的地方在于通過(guò)使用墨盒能夠以各種顏色實(shí)現(xiàn)印刷工作。與傳統(tǒng)的點(diǎn)式打印機(jī)相比，噴墨打印機(jī)的另外的優(yōu)點(diǎn)是噪聲低、印刷質(zhì)量有所提高。因此，噴墨打印機(jī)已獲得極大的普及。
噴墨打印機(jī)通常包括打印頭，在這樣的噴墨打印頭中，通過(guò)接入或斷開(kāi)從外部裝置所施加的電信號(hào)使最初處于液態(tài)的油墨轉(zhuǎn)變成氣泡狀態(tài)。然后，呈氣泡狀態(tài)的油墨膨脹并被噴出，從而實(shí)現(xiàn)在打印紙上的打印操作。
下面幾篇美國(guó)專(zhuān)利文獻(xiàn)描述了現(xiàn)有技術(shù)的幾種噴墨打印頭的結(jié)構(gòu)和操作。授予Vaught等人的、題目為“熱噴墨打印機(jī)”的美國(guó)專(zhuān)利No.4,490,728描述了一種基本的打印頭。授予Aden等人的、題目為“用于噴墨打印頭的薄膜裝置以及用于制造該裝置的方法”的美國(guó)專(zhuān)利No.4,809,428以及授予Komuro的、題目為“用于噴液記錄頭的基底的制造方法和由這種方法所制造的基底”的美國(guó)專(zhuān)利No.5,140,345描述了噴墨打印頭的制造方法。授予Johnson等人的，題目為“用于噴墨打印頭高溫操作的油墨通道幾何結(jié)構(gòu)”的美國(guó)專(zhuān)利No.5,274,400描述了改變油墨供給通道的尺寸以設(shè)置流阻的方法。授予Keefe等人的、題目為“噴墨打印頭”的美國(guó)專(zhuān)利No.5,420,627描述了一種特別的打印頭設(shè)計(jì)形式。
在這樣一種傳統(tǒng)的噴墨打印頭中，例如，通常使用例如油墨或工作液體的化學(xué)物質(zhì)進(jìn)行打印操作。為此，用于儲(chǔ)放化學(xué)物質(zhì)的腔室區(qū)域安裝在所述打印頭中。
因此，用于限定腔室區(qū)域的厚薄膜層形成在構(gòu)成打印頭的基體上。另外，化學(xué)物質(zhì)(諸如油墨或工作液體)穩(wěn)定地儲(chǔ)放在由厚薄膜層所限定的腔室區(qū)域中。
厚薄膜層的厚度通常為10微米或更厚，這樣所述腔室區(qū)就具有足夠的深度和容積，而且所述厚薄膜層是由有機(jī)物質(zhì)制成的，以便獲得對(duì)于油墨或工作液體的化學(xué)穩(wěn)定性。
在現(xiàn)有技術(shù)中，由有機(jī)材料制成的、具有預(yù)定厚度的薄膜層是通過(guò)旋轉(zhuǎn)涂敷(spin-coating)制造的，然后對(duì)所述有機(jī)物質(zhì)層進(jìn)行干燥處理和熱處理。從而，使基本的薄薄膜層形成在保護(hù)膜上，而所述保護(hù)膜形成在基體上。接著，重復(fù)上述用于形成薄薄膜層的過(guò)程使多個(gè)薄薄膜層連續(xù)地形成在所述基本的薄薄膜層上。
例如，為了使厚薄膜層的厚度達(dá)到10微米，需要進(jìn)行十次用于形成厚度為1微米的薄薄膜層的過(guò)程。因此，對(duì)于每一個(gè)重復(fù)進(jìn)行的用于形成薄薄膜層的過(guò)程，都需要進(jìn)行干燥處理和熱處理的步驟。
當(dāng)多次重復(fù)這種用于形成薄薄膜層的過(guò)程時(shí)，多個(gè)所述薄薄膜層沉積下來(lái)形成多層薄膜。這樣，可獲得具有所需厚度的厚薄膜層，且所完成的厚薄膜層被牢固地組裝到打印頭的相應(yīng)位置處。
但是，這樣一種用于形成噴墨打印頭的厚薄膜層的傳統(tǒng)方法存在幾個(gè)嚴(yán)重的問(wèn)題。如上所述，通過(guò)重復(fù)進(jìn)行用于形成薄薄膜層的過(guò)程來(lái)沉積出多個(gè)薄薄膜層而獲得傳統(tǒng)的厚薄膜層。這里，構(gòu)成厚薄膜層的多個(gè)薄薄膜層在相鄰的薄膜層之間的界面處都形成了明顯的分層線(xiàn)。在將所述厚薄膜層組裝到打印頭的特定結(jié)構(gòu)的過(guò)程中，所述分層線(xiàn)會(huì)保留下來(lái)，這會(huì)降低打印頭的使用壽命。
另外，在現(xiàn)有技術(shù)中，為了形成厚薄膜層，必須重復(fù)進(jìn)行干燥處理和熱處理步驟。這將會(huì)增加制作所述裝置所需的總體時(shí)間。
另外，在厚薄膜層的形成過(guò)程中，由于用于形成每薄薄膜層的步驟不可能同時(shí)進(jìn)行，因此，形成厚度均勻的多個(gè)薄薄膜層是非常困難的。另一個(gè)問(wèn)題是，雜質(zhì)(例如微粒)可能會(huì)影響用于形成所述薄薄膜層的過(guò)程。從而，大大地降低了打印頭的整體性能。
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種用于制作微型噴射裝置的改進(jìn)方法。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種用于制作微型噴射裝置的方法，該方法能夠制作出裝置中的改進(jìn)的厚薄膜層。
本發(fā)明的又一目的在于提供一種能夠制作厚度均勻的厚薄膜層的方法。
本發(fā)明的又一目的在于提供一種能夠消除在厚薄膜中層與層之間的分層線(xiàn)的方法。
本發(fā)明的又一目的在于提供一種能夠防止雜質(zhì)進(jìn)入到厚薄膜層中的方法。
本發(fā)明的又一目的在于提供一種用于制作微型噴射裝置并能夠縮短制作時(shí)間的的方法。
為了達(dá)到上述目的和其它優(yōu)點(diǎn)，在本發(fā)明中，將有機(jī)物質(zhì)(例如由聚酰亞胺制成的液體)沉積在基體上(所述基體上形成有保護(hù)膜)，并以較高的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)所述基體，例如，轉(zhuǎn)速在450rpm至550rpm范圍內(nèi)。這樣，將厚度大約為0.5微米至5微米的薄薄膜層形成在所述保護(hù)膜上。
接著，無(wú)需進(jìn)行熱處理，將有機(jī)物質(zhì)再沉積在所制成的薄膜上，并以較低的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)其上形成有所述薄薄膜層的基體，例如，轉(zhuǎn)速在20rpm至40rpm范圍內(nèi)。這樣，厚度大約在18微米至22微米范圍內(nèi)的厚薄膜層形成在保護(hù)膜上。
接著，對(duì)所述基體上的薄薄膜層和厚薄膜層同時(shí)進(jìn)行熱處理，從而形成了單一的、復(fù)合的厚薄膜層(single，combined thick film layer)。這里，所述單一的厚薄膜層是由一系列的涂敷方法形成的且沒(méi)有受到熱處理影響，因此消除了分層線(xiàn)。由此可顯著地提高厚薄膜層的總體使用壽命。
為了便于人們能夠充分地理解本發(fā)明以及認(rèn)識(shí)本發(fā)明所帶來(lái)的各種優(yōu)點(diǎn)，下面將參照附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的描述，在附圖中，相同或相似的部件用相同的附圖標(biāo)記表示，附圖中

圖1A至圖1D是示出了本發(fā)明的用于形成噴墨打印頭的厚薄膜層的方法的視圖；圖2是示出采用了本發(fā)明的厚薄膜的組件的局部透視圖；以及圖3是沿圖2的I-I線(xiàn)所截得的剖視圖，示出了采用本發(fā)明的厚薄膜層的噴墨打印頭。
下面參照附圖通過(guò)優(yōu)選實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的描述。由于本說(shuō)明書(shū)中所涉及的術(shù)語(yǔ)是根據(jù)本發(fā)明的功能進(jìn)行限定的，所以根據(jù)技術(shù)人員的意愿或慣用的方式可改變這些術(shù)語(yǔ)，且這些術(shù)語(yǔ)應(yīng)該根據(jù)本發(fā)明說(shuō)明書(shū)的總體內(nèi)容來(lái)限定。
如圖1A中所示，在第一步驟中，利用沉積裝置100將由有機(jī)物質(zhì)所制成的液體沉積在硅-基體1上，所述液體最好是含有聚酰亞胺的溶液，在所述硅-基體1上形成有由二氧化硅制成的保護(hù)膜，利用旋轉(zhuǎn)臺(tái)(未示出)使基體1沿箭頭110所示方向旋轉(zhuǎn)?；w1可沿著箭頭110所示方向旋轉(zhuǎn)或沿著與箭頭110所示方向相反的方向旋轉(zhuǎn)。這樣，第一有機(jī)液體層31’形成在基體1的保護(hù)膜2上。
聚酰亞胺液體的粘度系數(shù)最好為1.03厘泊。另外，基體1在上述第一步驟中以較高的轉(zhuǎn)動(dòng)速度旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速最好在450rpm至550rpm的范圍內(nèi)，旋轉(zhuǎn)時(shí)間在35秒至45秒的范圍內(nèi)。如果基體1以上述較高的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，那么通過(guò)沉積裝置100沉積在基體1上的聚酰亞胺液體在離心力的作用下可散布在整個(gè)基體1上。這樣，形成在基體1的保護(hù)膜2上的所述第一有機(jī)液體層31′的厚度比較均勻。優(yōu)選的是，所述第一有機(jī)液體層31′的厚度在0.5微米至5微米的范圍內(nèi)，更優(yōu)選的是在1微米至2微米的范圍內(nèi)。
在第二步驟中，如圖1B中所示，利用沉積裝置100將由有機(jī)物質(zhì)制成的液體沉積在所述第一有機(jī)液體層31′上，通過(guò)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)使基體1旋轉(zhuǎn)。這樣，第二有機(jī)液體層32′形成在第一有機(jī)液體層31′上。這里，對(duì)于特定尺寸的基體，由有機(jī)物質(zhì)制成的液體的沉積量最好在0.6cm3至0.8cm3的范圍內(nèi)，其粘度系數(shù)最好為1.03厘泊。
另外，在所述第二步驟中，基體1以較低的轉(zhuǎn)動(dòng)速度旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速最好在大約20rpm至40rpm的范圍內(nèi)，旋轉(zhuǎn)的時(shí)間大約在30秒至40秒的范圍內(nèi)。如上所述，如果基體1以較低的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，那么通過(guò)沉積裝置100沉積在第一有機(jī)液體層31′上的聚酰亞胺液體在離心力的作用下可散布在整個(gè)有機(jī)液體層31′上。同時(shí)，由于所述液體具有一定的粘度，因此在聚酰亞胺液體中形成有規(guī)則的波紋。這樣，具有均勻厚度的第二有機(jī)液體層32′就形成在第一有機(jī)液體層31′上。所述第二有機(jī)液體層32′的厚度最好在18微米至22微米的范圍內(nèi)。
這里，有機(jī)液體第二次的沉積量和基體第二次旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速可利用如下的關(guān)系式(1)準(zhǔn)確地進(jìn)行計(jì)算。h=h1+h2=ϵ[Avω+VS]---(1)]]>(其中，h是第一有機(jī)液體層和第二有機(jī)液體層的總厚度，h1是第一有機(jī)液體層的厚度，h2是將要形成的第二有機(jī)液體層的厚度，ε是表示第一有機(jī)液體層和第二有機(jī)液體層在熱處理過(guò)程中的減小的系數(shù)，A是常數(shù)，ν是液體的粘度系數(shù)，ω是基體第二次旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速，S是基體的表面積，V是有機(jī)液體第二次的沉積量)。在這種情況下，可根據(jù)最終將要形成的第二有機(jī)液體層32′的厚度，將各個(gè)試驗(yàn)數(shù)據(jù)分配到上述關(guān)系式(1)中，從而可得到有機(jī)液體第二次的沉積量和基體第二次旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速。
在本發(fā)明中，基于所述第二有機(jī)液體層32′的厚度在18微米至22微米的范圍內(nèi)，可將選擇用作有機(jī)液體第二次的沉積量和基體第二次旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速的數(shù)值的各個(gè)試驗(yàn)數(shù)據(jù)分配到上述關(guān)系式(1)中。即，所述轉(zhuǎn)速值和沉積的體積量可根據(jù)第二有機(jī)液體層32′所需厚度確定。這樣，可得到，有機(jī)液體第二次的沉積量在0.6cm3至0.8cm3的范圍內(nèi)，基體第二次旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速在20rpm至40rpm的范圍內(nèi)。
因此，作為薄薄膜層的第一有機(jī)液體層31′和作為厚薄膜層的第二有機(jī)液體層32′依次沉積在其上形成有保護(hù)膜2的基體1上，從而形成了單一的復(fù)合有機(jī)液體層30′。
接著，將形成有所述單一的有機(jī)液體層30′的基體1從所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)取下并放在加熱箱(未示出)中。然后，對(duì)構(gòu)成單一有機(jī)液體層30′的第一有機(jī)液體層31′和第二有機(jī)液體層32′進(jìn)行干燥處理和熱處理。
這里，干燥溫度最好在80℃至90℃的范圍內(nèi)，干燥時(shí)間最好在25分鐘至35分鐘的范圍內(nèi)，并且最好分兩個(gè)階段進(jìn)行熱處理，其中熱處理的溫度分別在200℃至220℃的范圍內(nèi)以及300℃至330℃的范圍內(nèi)，熱處理的時(shí)間分別在25分鐘至35分鐘的范圍內(nèi)以及在60分鐘至70分鐘的范圍內(nèi)。
這樣，如圖1B中所示，所述第一有機(jī)液體層31′和第二有機(jī)液體層32′分別硬化并轉(zhuǎn)變成作為薄薄膜層的第一有機(jī)薄膜層31和作為厚薄膜層的第二有機(jī)薄膜層32，從而形成了單一、復(fù)合的厚薄膜層30。
如上所述，在本發(fā)明中，無(wú)需利用附加的熱處理步驟即可順序地形成第一有機(jī)液體層31′和第二有機(jī)液體層32′，并且通過(guò)熱處理將這些層同時(shí)硬化。這樣，可得到由作為薄薄膜層的第一有機(jī)薄膜層31和作為厚薄膜層的第二有機(jī)薄膜層32順序沉積而成的單一的厚薄膜層30。這樣，可避免在第一有機(jī)薄膜層31和第二有機(jī)薄膜層32之間出現(xiàn)分層線(xiàn)。因此，即使在將單一的厚薄膜層30組裝到噴墨打印頭中時(shí)，也不會(huì)降低噴墨打印頭的總體使用壽命。
另外，在本發(fā)明中，僅進(jìn)行一次干燥處理和熱處理來(lái)形成單一的厚薄膜層30。因此，可大大地縮短完成制作過(guò)程所需的時(shí)間。
另外，在本發(fā)明中，由于薄薄膜層和厚薄膜層是順序形成的，從而形成了單一的厚薄膜層。因此可縮短形成薄膜所需的時(shí)間。這樣，可解決雜質(zhì)進(jìn)入該制作過(guò)程的問(wèn)題并且所制成的單一的厚薄膜層可具有均勻的厚度。因此，可顯著地提高噴墨打印頭的整體運(yùn)行效果。
如圖1C中所示，在接下來(lái)的制作步驟中，圖案膜(未示出)形成在所述第二有機(jī)薄膜層32上，將所述圖案膜作為掩模對(duì)第一有機(jī)薄膜層31和第二有機(jī)薄膜層32進(jìn)行蝕刻以露出所述保護(hù)膜2。接著，利用化學(xué)制品將剩余的圖案膜除去，從而，完成了單一的厚薄膜層30的制作，所述單一的厚薄膜層30限定了腔室區(qū)域33。
如圖1D中所示，當(dāng)所述腔室區(qū)域33形成時(shí)，利用化學(xué)制品(諸如氟化氫)將所述單一的厚薄膜層30從基體1上分離下來(lái)。接著，將所述單一的厚薄膜層30牢固地組裝到噴墨打印頭的相應(yīng)位置上。
如圖2中所示，在基體1上，將本發(fā)明的單一的厚薄膜層30組裝到限定了噴嘴10的噴嘴板8上，所述噴嘴板8限定了噴嘴10。用于限定油墨供給路徑的油墨供給通道200形成在與腔室區(qū)域33相鄰的位置處，由外部裝置所供給的油墨沿著所述油墨供給通道200在箭頭所指的方向流動(dòng)，從而使油墨充填所述腔室區(qū)域33。這里，多個(gè)用于噴墨的噴嘴10形成在所述噴嘴板8上。這些噴嘴10穿過(guò)所述噴嘴板8并露在所述噴嘴板8的外表面上。
采用本發(fā)明的單一厚薄膜層的噴墨打印頭的操作過(guò)程如下。如圖3中所示，如果電信號(hào)從外部電源施加到電極層(未示出)上，與所述電極層相接觸的加熱器11被供給電能并迅速地加熱到500℃或500℃以上的高溫。在該過(guò)程中，電能被轉(zhuǎn)換成大約為500℃至550℃的熱能。接著，熱能被傳遞到與加熱器11相接觸的腔室區(qū)域33處，充填在腔室區(qū)域33中的油墨300在所傳遞的熱能作用下被迅速地加熱并生成氣泡。
這里，如果連續(xù)地將熱能傳遞給腔室區(qū)域33，那么氣泡化的油墨300迅速地發(fā)生體積變化和膨脹。這樣，油墨300通過(guò)噴嘴板8上的噴嘴10從腔室區(qū)域33被排出并將要被噴射。接著油墨300由于且自身的重量而變成橢圓形和圓形并被噴射到外部打印紙上。
如上所述，由于本發(fā)明的單一的厚薄膜層30包括不經(jīng)過(guò)附加熱處理而順序形成的第一有機(jī)薄膜層31和第二有機(jī)薄膜層32，因此可避免出現(xiàn)分層線(xiàn)，從而提高了噴墨打印頭的使用壽命。
接著，如果在油墨300已被排出的狀態(tài)下中斷由外部裝置所提供的電信號(hào)，則加熱器11迅速地冷卻下來(lái)。然后，留在所述油墨腔室33中的氣泡化的油墨300迅速地回縮并產(chǎn)生回復(fù)力，所述油墨300利用該回復(fù)力可恢復(fù)到其初始狀態(tài)。所產(chǎn)生的回復(fù)力用于使油墨腔室33中的壓力迅速地降低，從而使流經(jīng)油墨供給通道200的油墨300迅速地補(bǔ)充到油墨腔室33中。通過(guò)電信號(hào)令噴墨打印頭重復(fù)上述過(guò)程，從而可在由外部裝置所供給的打印紙上進(jìn)行打印。
在本發(fā)明中，作為薄薄膜層的第一有機(jī)薄膜層和作為厚薄膜層的第二有機(jī)薄膜層順序地沉積，并且沒(méi)有經(jīng)過(guò)附加的熱處理步驟，從而形成了單一的厚薄膜層。這樣，可避免出現(xiàn)分層線(xiàn)并且在制作該薄膜的過(guò)程中能夠避免雜質(zhì)侵入。本發(fā)明不僅可用于噴墨打印頭中，而且還可用于例如醫(yī)療器械中的微型泵或燃料噴射裝置的任何微型噴射裝置中。
盡管本發(fā)明是通過(guò)特定的實(shí)施例進(jìn)行具體描述的，但是本領(lǐng)域普通技術(shù)人員顯然可根據(jù)上述內(nèi)容對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行各種改進(jìn)和變型。因此，本發(fā)明包括了所有的落入由后面的權(quán)利要求書(shū)所限定的保護(hù)范圍內(nèi)的各種改進(jìn)和變型。
權(quán)利要求
1.一種用于形成微型噴射裝置的厚薄膜層的方法，包括下列步驟第一步驟，將第一數(shù)量的有機(jī)液體沉積在形成于基體上的保護(hù)膜上，并以第一轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)所述基底，從而形成第一有機(jī)液體層；第二步驟，將第二數(shù)量的有機(jī)液體沉積在所述第一有機(jī)液體層上，并以慢于所述第一轉(zhuǎn)速的第二轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)所述基體，從而形成了第二有機(jī)液體層；對(duì)所述第一有機(jī)液體層和第二有機(jī)液體層進(jìn)行干燥處理和熱處理以形成復(fù)合的厚薄膜層；對(duì)所述復(fù)合的厚薄膜層進(jìn)行蝕刻以部分地露出所述保護(hù)膜，從而限定腔室區(qū)域；和將所述復(fù)合的厚薄膜層從所述基體上分離下來(lái)。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述有機(jī)液體是含有聚酰亞胺的溶液。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在所述第一沉積步驟中使用粘度系數(shù)大約為1.03厘泊的有機(jī)液體。
4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在所述第一步驟中基體旋轉(zhuǎn)的第一轉(zhuǎn)速在大約450rpm至550rpm的范圍內(nèi)。
5.如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，在所述第一步驟中基體旋轉(zhuǎn)的時(shí)間在大約35秒至45秒的范圍內(nèi)。
6.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，實(shí)施第一步驟所得到的第一有機(jī)液體層的厚度在大約0.5μm至5μm的范圍內(nèi)。
7.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，實(shí)施第一步驟所得到的第一有機(jī)液體層的厚度在大約1μm至2μm的范圍內(nèi)。
8.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在所述第二步驟中使用粘度系數(shù)大約為1.03厘泊的有機(jī)液體。
9.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在所述第二步驟中，基體旋轉(zhuǎn)的第二轉(zhuǎn)速在大約20rpm至40rpm的范圍內(nèi)。
10.如權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，在所述第二步驟中基體旋轉(zhuǎn)的時(shí)間在30秒至40秒的范圍內(nèi)。
11.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，實(shí)施所述第二步驟所得到的第二有機(jī)液體層的厚度在大約18μm至22μm的范圍內(nèi)。
12.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述液體的第二數(shù)量在大約0.6cm3至0.8cm3的范圍內(nèi)。
13.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括以下步驟利用下面的關(guān)系式確定在第二步驟中所用的有機(jī)液體的所述第二數(shù)量和所述第二轉(zhuǎn)速h=h1+h2=ϵ[Avω+VS]]]>其中，h是第一有機(jī)液體層和第二有機(jī)液體層的總厚度，h1是第一有機(jī)液體層的厚度，h2是將要形成的第二有機(jī)液體層的厚度，ε是表示第一有機(jī)液體層和第二有機(jī)液體層在熱處理過(guò)程中的減小的系數(shù)，A是常數(shù)，ν是液體的粘度系數(shù)，ω是第二轉(zhuǎn)速，S是基體的表面積，V是有機(jī)液體的第二數(shù)量。
14.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述干燥在大約80℃至90℃的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行。
15.如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，所述干燥進(jìn)行大約25分鐘至35分鐘。
16.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述熱處理步驟包括在200℃至220℃溫度范圍內(nèi)、在25分鐘至35分鐘的時(shí)間里對(duì)所述第一有機(jī)薄膜層和第二有機(jī)薄膜層進(jìn)行第一次熱處理。
17.如權(quán)利要求16所述的方法，其特征在于，所述熱處理步驟還包括，在所述第一次熱處理后，在300℃至330℃溫度范圍內(nèi)、在60分鐘至70分鐘的時(shí)間里進(jìn)行第二次熱處理。
18.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在所述蝕刻步驟中將形成在所述復(fù)合的厚薄膜層的頂部上的圖案膜作為掩模。
19.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在所述蝕刻步驟中使用氟化氫。
20.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括以下步驟將所述分離下來(lái)的復(fù)合厚薄膜層固定到微型噴射裝置組件中的噴嘴板上。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于形成微型噴射裝置的厚薄膜層的方法,包括在基體上形成薄薄膜層,無(wú)需附加的熱處理過(guò)程,再在所述薄薄膜層上形成厚薄膜層,對(duì)順序形成在所述基體上的薄薄膜層和厚薄膜層同時(shí)進(jìn)行熱處理,從而形成了單一的厚薄膜層。單一的厚薄膜層是由連續(xù)的沒(méi)有受到熱處理影響的涂敷過(guò)程形成的,因此消除了分層線(xiàn)。由此可顯著提高厚薄膜層的使用壽命。
文檔編號(hào)B41J2/14GK1253042SQ99126009
公開(kāi)日2000年5月17日 申請(qǐng)日期1999年11月3日 優(yōu)先權(quán)日1998年11月3日
發(fā)明者安秉善, 朱科夫·A·阿萊克桑德羅維奇, 達(dá)尼夫·B·尼科萊維奇 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社