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液體噴射頭、液體噴射頭單元以及液體噴射裝置的制造方法_4

文檔序號(hào):8372748閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
圖3所示,這種本實(shí)施方式的噴墨式記錄頭100在從液體噴射面20a側(cè)俯視觀察時(shí),具有呈大致平行四邊形的形狀。這是因?yàn)?,如上所述,作為?gòu)成各頭主體110的噴嘴列的噴嘴開口 21的并排設(shè)置方向的第四方向Xa,相對(duì)于作為記錄薄片S的輸送方向的第一方向X而被傾斜設(shè)置,并且以與作為該噴嘴列的傾斜方向的第四方向Xa相同的方式將噴墨式記錄頭100的外形形成為呈大致平行四邊形。當(dāng)然,噴墨式記錄頭100的從液體噴射面20a側(cè)俯視觀察時(shí)的形狀并不限定于大致平行四邊形形狀,也可以為矩形形狀、梯形形狀、多邊形形狀等。
[0098]通過(guò)以此方式配置多個(gè)噴墨式記錄頭100而形成噴墨式記錄頭單元3,從而獲得制造上的成品率、加工的容易度、作為固定板的蓋130的平面的找平的容易化等效果。
[0099]此外,雖然以下對(duì)這種噴墨式記錄頭100的頭主體110的一個(gè)示例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明,但是理所當(dāng)然頭主體I1的結(jié)構(gòu)并不限定于以下的結(jié)構(gòu)。此外,圖6為本發(fā)明的實(shí)施方式I所涉及的頭主體的立體圖,圖7為頭主體的第二方向Y上的剖視圖。
[0100]如圖所示,本實(shí)施方式的頭主體110具備流道形成基板10、連通板15、噴嘴板20、保護(hù)基板30、可塑性基板45、殼體40等多個(gè)部件,上述多個(gè)部件通過(guò)粘合劑等而被接合在一起。
[0101]如圖所示,通過(guò)在構(gòu)成頭主體110的流道形成基板10上從一面?zhèn)冗M(jìn)行各向異性蝕亥|J,從而沿著多個(gè)噴嘴開口 21被并排設(shè)置的方向而并排設(shè)置有由多個(gè)隔壁劃分出的壓力產(chǎn)生室12。此外,在本實(shí)施方式中,該壓力產(chǎn)生室12被并排設(shè)置的方向與第四方向Xa—致,而且,在本實(shí)施方式中,在流道形成基板10上,設(shè)置有多列,在本實(shí)施方式中設(shè)置有兩列由壓力產(chǎn)生室12于第四方向Xa上被并排設(shè)置而成的列。以下將該壓力產(chǎn)生室12沿著第四方向Xa而形成的壓力產(chǎn)生室12的列被排列設(shè)置有多個(gè)的排列設(shè)置方向稱作第五方向Ya0另外,在本實(shí)施方式中,與第四方向Xa以及第五方向Ya正交的方向與第三方向Z —致。另夕卜,本實(shí)施方式的頭主體110以作為噴嘴開口 21的并排設(shè)置方向的第四方向Xa成為相對(duì)于作為記錄薄片S的輸送方向的第一方向X而傾斜的方向的方式被搭載于頭單元3上。
[0102]另外,也可以在流道形成基板10上,且于壓力產(chǎn)生室12的第五方向Ya上的一端部側(cè),設(shè)置有與該壓力產(chǎn)生室12相比開口面積較窄,且施加向壓力產(chǎn)生室12流入的油墨的流道阻抗的供給通道等。
[0103]另外,如圖6所示,在流道形成基板10的一個(gè)面?zhèn)冉雍嫌羞B通板15。而且,在連通板15上接合有噴嘴板20,在所述噴嘴板20上貫穿設(shè)置有與各壓力產(chǎn)生室12連通的多個(gè)噴嘴開口 21。在本實(shí)施方式中,作為噴嘴板20的噴嘴開口 21所開口的第三方向Z上的一個(gè)面的Zl側(cè)成為液體噴射面20a。
[0104]在連通板15上設(shè)置有使壓力產(chǎn)生室12與噴嘴開口 21連通的噴嘴連通通道16。連通板15具有與流道形成基板10相比較大的面積,噴嘴板20具有與流道形成基板10相比較小的面積。以此方式通過(guò)將噴嘴板20的面積設(shè)得比較小從而能夠?qū)崿F(xiàn)成本的削減。
[0105]另外,如圖所示,在連通板15上設(shè)置有構(gòu)成歧管95的一部分的第一歧管部17和第二歧管部18。
[0106]第一歧管部17以在第三方向Z上貫穿連通板15的方式被設(shè)置。
[0107]另外,第二歧管部18在第三方向Z上并不貫穿連通板15,而是在連通板15的噴嘴板20側(cè)開口并被設(shè)置到第三方向Z上的中途。
[0108]而且,在連通板15上,針對(duì)每個(gè)各壓力產(chǎn)生室12而獨(dú)立設(shè)置有與壓力產(chǎn)生室12的第二方向Y上的一端部連通的供給連通通道19。該供給連通通道19使第二歧管部18和壓力產(chǎn)生室12連通。
[0109]在噴嘴板20上形成有經(jīng)由噴嘴連通通道16而與各壓力產(chǎn)生室12連通的噴嘴開口 21。S卩,噴嘴開口 21使噴射相同種類的作為液體的油墨的噴嘴開口 21在第四方向Xa上并排設(shè)置,并且被并排設(shè)置于該第四方向Xa上的噴嘴開口 21的列在第五方向Ya上形成有兩列。
[0110]另一方面,在流道形成基板10的與連通板15相反的面?zhèn)刃纬捎姓駝?dòng)板。另外,通過(guò)在振動(dòng)板上依次層疊第一電極、壓電體層和第二電極,從而構(gòu)成作為本實(shí)施方式的壓力產(chǎn)生單元的壓電致動(dòng)器300。一般而言,將壓電致動(dòng)器300的某一方的電極設(shè)為共用電極,并將另一方的電極以及壓電體層以針對(duì)每個(gè)各壓力產(chǎn)生室12而進(jìn)行圖案形成的方式而構(gòu)成。
[0111]另外,在流道形成基板10的壓電致動(dòng)器300側(cè)的面上接合有具有與流道形成基板10大致相同的大小的保護(hù)基板30。保護(hù)基板30具有作為用于對(duì)壓電致動(dòng)器300進(jìn)行保護(hù)的空間的保持部31。另外,在保護(hù)基板30上設(shè)置有在第三方向Z上貫穿的貫穿孔32。從壓電致動(dòng)器300的電極引出的引線電極90的端部以在該貫穿孔32內(nèi)露出的方式被延伸設(shè)置,引線電極和安裝了驅(qū)動(dòng)IC等驅(qū)動(dòng)電路97的配線基板98在貫穿孔32內(nèi)被電連接。
[0112]另外,在保護(hù)基板30以及連通板15上固定有對(duì)與多個(gè)壓力產(chǎn)生室12連通的歧管95進(jìn)行劃分的殼體40。殼體40在俯視觀察時(shí)具有與上述的連通板15大致相同的形狀,所述殼體40與保護(hù)基板30接合,并且與上述的連通板15接合。具體而言,殼體40在保護(hù)基板30側(cè)具有收納流道形成基板10以及保護(hù)基板30的深度的凹部41。該凹部41具有與保護(hù)基板30的被接合在流道形成基板10上的面相比較廣的開口面積。而且,在于凹部41中收納了流道形成基板10等的狀態(tài)下,凹部41的噴嘴板20側(cè)的開口面通過(guò)連通板15而被密封。由此,在流道形成基板10的外周部,通過(guò)殼體40、流道形成基板10以及保護(hù)基板30而劃分出第三歧管部42。而且,通過(guò)該第三歧管部42、被設(shè)置于連通板15上的第一歧管部17以及第二歧管部18而構(gòu)成了本實(shí)施方式的歧管95。
[0113]另外,在連通板15的第一歧管部17以及第二歧管部18所開口的面上設(shè)置有可塑性基板45。該可塑性基板45對(duì)第一歧管部17和第二歧管部18的開口進(jìn)行密封。
[0114]在本實(shí)施方式中,這種可塑性基板45具備密封膜46和固定基板47。密封膜46具有撓性的薄膜(例如,由聚苯硫醚(PPS)或不銹鋼(SUS)等形成。另外,固定基板47由不銹鋼(SUS)等金屬等的硬性材料形成。由于該固定基板47的與歧管95對(duì)置的區(qū)域成為在厚度方向上完全被去除的開口部48,因此歧管95的一個(gè)面成為僅通過(guò)具有撓性的密封膜46而被密封的作為撓部的可塑性部49。
[0115]另外,在本實(shí)施方式中,作為固定板的蓋130被粘結(jié)于該可塑性基板45的與連通板15相反的面?zhèn)?。即,被設(shè)置于蓋130的基部131上的露出開口部133具有大于噴嘴板20的面積的開口面積,并在露出開口部133內(nèi)使噴嘴板20的液體噴射面20a露出。當(dāng)然,蓋130并不限定于此,例如,也可以采用將蓋130的露出開口部133設(shè)為小于噴嘴板20的外形的開口面積,并使蓋130與噴嘴板20的液體噴射面20a抵接或粘結(jié)在一起。當(dāng)然,即使在將蓋130的露出開口部133設(shè)為小于噴嘴板20的外形的開口面積的情況下,也可以以使蓋130不與液體噴射面20a接觸的方式而設(shè)置。S卩,蓋130被設(shè)置于液體噴射面20a側(cè)既包括不與液體噴射面20a接觸的方式,也包括與液體噴射面20a接觸的方式。
[0116]另外,在本實(shí)施方式中,蓋130被粘結(jié)于可塑性基板45的固定基板47上。由此,如上文所述能夠?qū)ιw130與支架120之間的保持部121進(jìn)行密封,從而能夠抑制油墨的水分蒸發(fā)。
[0117]此外,在殼體40上設(shè)置有用于與歧管95連通并向各歧管95供給油墨的導(dǎo)入通道44。另外,在殼體40上設(shè)置有與保護(hù)基板30的貫穿孔32連通并供配線基板98插穿的連接口 43。
[0118]在這種結(jié)構(gòu)的頭主體110中,在噴射油墨時(shí),從貯留單元經(jīng)由導(dǎo)入通道44而取得油墨,并用油墨填滿從歧管95到噴嘴開口 21為止的流道內(nèi)部。之后,通過(guò)根據(jù)來(lái)自驅(qū)動(dòng)電路97的信號(hào),向與壓力產(chǎn)生室12相對(duì)應(yīng)的各壓電致動(dòng)器300施加電壓,從而使振動(dòng)板與壓電致動(dòng)器300 —起發(fā)生撓曲變形。由此,壓力產(chǎn)生室12內(nèi)的壓力變高,油墨滴從預(yù)定的噴嘴開口 21被噴射。
[0119]其他實(shí)施方式
[0120]以上,雖然對(duì)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明,但是本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu)并不限定于上述的結(jié)構(gòu)。
[0121]例如,雖然在上述的實(shí)施方式I中,頭主體110具備流道形成基板10、連通板15、噴嘴板20、保護(hù)基板30、可塑性基板45、殼體40等多個(gè)部件,但為了從被設(shè)置于液體噴射面20a上的噴嘴開口 21噴射液體,而只需至少具備使與該噴嘴開口 21連通的壓力產(chǎn)生室12產(chǎn)生壓力的壓力產(chǎn)生單元,和設(shè)置有該壓力產(chǎn)生單元并沿著預(yù)定的方向被并排設(shè)置的多個(gè)壓力產(chǎn)生室12即可。即,雖然在上述的實(shí)施方式I中,支架120的Zl側(cè)與頭主體110的Z2側(cè)相粘結(jié),且頭主體110在最靠Z2側(cè)層疊了殼體40,但是頭主體110無(wú)需經(jīng)由殼體40而與支架120相粘結(jié),頭主體110也可以不經(jīng)由殼體40而與支架120相粘結(jié)。
[0122]另外,在上述的實(shí)施方式I中,雖然分開設(shè)置了被設(shè)置于噴墨式記錄頭100的液體噴射面20a側(cè)的作為固定板的蓋130和頭主體110的設(shè)置有噴嘴開口 21的噴嘴板20,但是并不特別限定于此,也可以將噴嘴板20延伸設(shè)置至頭主體110的外側(cè)并將延伸設(shè)置的端部向Z2方向進(jìn)行折曲而設(shè)置折曲部132。即,在這種情況下,噴嘴板20相當(dāng)于固定板,并且相對(duì)于頭主體110而粘結(jié)有噴嘴板20。即,固定板相對(duì)于頭主體110而被設(shè)置于液體噴射面20a側(cè)也包括固定板的一個(gè)面為液體噴射面20a的情況。另外,由于只需固定板相對(duì)于頭主體110而被設(shè)置于液體噴射面20a側(cè)即可,因此也可以不向最靠液體噴射面20a側(cè)突出設(shè)置。即,在上述的實(shí)施方式I中,也可以采用與蓋130相比噴嘴板20的液體噴射面20a向Zl側(cè)突出設(shè)置的方式。而且,也可以在噴墨式記錄頭100的液體噴射面20a側(cè)且與固定板相比靠Zl側(cè)設(shè)置與噴嘴板20不同的其他部件。此外,在固定板相對(duì)于頭主體110而被設(shè)置于與保持部件(支架120)相反的一側(cè)的情況下,固定板相對(duì)于頭主體110而被設(shè)置于液體噴射面20a上。
[0123]另外,雖然在上述的實(shí)施方式I中,將被保持在頭固定基板200上的多個(gè)噴墨式記錄頭100的并排設(shè)置方向設(shè)為相對(duì)于作為記錄薄片S的輸送方向的第一方向X而垂直的方向即第二方向Y,但是并不特別限定于此,也可以以多個(gè)噴墨式記錄頭100的并排方向成為相對(duì)于作為記錄薄片S的輸送方向的第一方向X而交叉的角度,即成為相對(duì)于第一方向X而小于90度的角度的方式,來(lái)配置將噴墨式記錄頭100并排設(shè)置在頭固定基板200的長(zhǎng)邊方向上的頭單元。此時(shí),即使在液體噴射面20a的面內(nèi)方向上,噴嘴列被設(shè)置在與頭固定基板200的長(zhǎng)邊方向垂直的方向上,也能夠通過(guò)使頭單元整體傾斜,而配置相對(duì)于作為輸送方向的第一
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