用于膠版印刷的毯及使用該毯制造的精細(xì)圖案的制作方法【專利說明】[0001]相關(guān)申請的交叉引用[0002]本申請要求2013年8月1日向韓國知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的韓國專利申請No.10-2013-0091713的優(yōu)先權(quán)，其全部內(nèi)容通過引用并入本案中。
技術(shù)領(lǐng)域：
[0003]本申請涉及一種用于膠版印刷的毯（blanket)及使用該毯制造的精細(xì)圖案?！?br>背景技術(shù)：
】[0004]通常，通過在基板上形成多層圖案來制造電子器件（比如液晶顯示器）和半導(dǎo)體器件。為了形成圖案，直到最近，已頻繁使用光刻工藝。然而，由于光刻工藝需要制造預(yù)定圖案掩模并且需要重復(fù)化學(xué)蝕刻和剝?nèi)ミ^程，因此存在制造過程復(fù)雜，并產(chǎn)生大量對環(huán)境有害的化學(xué)廢物的問題。由于這些問題，制造成本增加，從而產(chǎn)品的競爭力下降。作為用于解決光刻工藝缺陷的形成圖案的新方法，提出了一種使用印刷輥的輥筒印刷方法。[0005]輥筒印刷方法包括多種方法，但大體上分為兩種：凹版印刷方法和反向膠版印刷方法。[0006]通過涂抹油墨然后去除剩余油墨的凹版印刷方法，被認(rèn)為適于多種領(lǐng)域的印刷，諸如出版、包裝、玻璃紙、乙烯基及聚乙烯，并且已經(jīng)將凹版印刷方法應(yīng)用于制造有源元件或用于顯示器件的電路圖案。在凹版印刷方法中，由于通過使用傳送輥將油墨傳送至基板，即使在大面積顯示器件中，仍然可以使用傳送輥通過一個(gè)轉(zhuǎn)移形成對應(yīng)于期望顯示器件區(qū)域的圖案。凹版印刷方法可以用于形成基板上抗蝕劑的油墨圖案和圖案化顯示器件的多種圖案，例如，用于TFT以及與TFT連接的柵極線和數(shù)據(jù)線的金屬圖案、像素電極、以及液晶顯示器設(shè)備中的電容器。[0007]然而，通常，通過在硬質(zhì)主模里鑄造硅基樹脂來制造凹版印刷方法中使用的毯，將上述制造的毯制造為具有均勻厚度是有限制的，并且難以以試驗(yàn)性規(guī)模大量生產(chǎn)毯。因此，為了精確地形成精細(xì)圖案，主要采用反向膠版印刷方法。[0008]反向膠版印刷方法和印刷設(shè)備的現(xiàn)有技術(shù)可以參考下面的文件1至3,這些文件由本申請的申請人提交和公開。[0009][文件1]韓國專利公開No.10-2008-0090890,2008年10月9日[0010][文件2]韓國專利公開No.10-2009-0020076,2009年2月26日[0011][文件3]韓國專利公開No.10-2009-0003883,2009年1月12日[0012]文件1至3中的說明書的全部內(nèi)容是用于本申請現(xiàn)有技術(shù)的描述，并與本申請的說明書相結(jié)合。[0013]當(dāng)形成圖案時(shí)，在降低成本和改善生產(chǎn)速度方面，反向膠版印刷方法是非常讓人矚目的技術(shù)，但是為了獲得精確圖案，需要高質(zhì)量的毯。也就是說，圖案的質(zhì)量取決于毯的特性，因此，制造用于印刷的高質(zhì)量毯是非常重要的技術(shù)目的?！?br/>發(fā)明內(nèi)容】[0014]本申請致力于提供一種毯，通過該毯能夠印刷精細(xì)圖案。[0015]本申請的一個(gè)示例性實(shí)施例提供一種用于膠版印刷的毯，包括：墊層；在所述墊層上設(shè)置的支撐層；以及在所述支撐層上設(shè)置的印刷層，其中，所述印刷層的表面粘度為7gf或7gf以上并且20gf或20gf以下。[0016]本申請的另一示例性實(shí)施例提供一種印刷輥，該印刷輥包括所述用于膠版印刷的毯，所述用于膠版印刷的毯覆蓋輥型支撐件的外圍。[0017]本申請的又一示例性實(shí)施例提供一種具有1μπι或1μπι以上并且5μπι或5μπι以下的細(xì)寬的精細(xì)圖案，該精細(xì)圖案通過使用所述用于膠版印刷的毯來形成。[0018]根據(jù)本申請的示例性實(shí)施例，用于膠版印刷的毯可以形成5μπι或5μπι以下精細(xì)圖案。[0019]在通過使用本申請的用于膠版印刷的毯形成精細(xì)圖案的情況中，優(yōu)點(diǎn)是誤差率非常低。因此，在通過使用本申請的用于膠版印刷的毯形成精細(xì)圖案的情況下，具有能夠提高工藝效率并且能夠降低制造成本的效果?！靖綀D說明】[0020]圖1是示出了根據(jù)本申請的示例性實(shí)施例的包括用于印刷的毯的形成圖案的裝置以及通過使用該裝置形成圖案的方法的示意圖；[0021]圖2是示出了用于測量根據(jù)本申請的示例性實(shí)施例的用于膠版印刷的毯的印刷層的表面粘度的球式粘度測試設(shè)備的示意圖；[0022]圖3是示出了使用根據(jù)本申請的示例性實(shí)施例的用于膠版印刷的毯形成的線寬為4.5ym的網(wǎng)狀圖案的不意圖；[0023]圖4示出了根據(jù)比較例1的印刷結(jié)果；[0024]圖5示出了根據(jù)比較例2的印刷結(jié)果?！揪唧w實(shí)施方式】[0025]下文中，將更詳細(xì)地描述本申請。[0026]本申請?zhí)峁┮环N用于膠版印刷的毯，該毯包括：墊層、設(shè)置在墊層上的支撐層以及設(shè)置在支撐層上的印刷層，其中，所述印刷層的表面粘度為7gf或7gf以上并且為20gf或20gf以下。[0027]根據(jù)本申請的一個(gè)示例性實(shí)施例，所述用于膠版印刷的毯可以是用于反向膠版印刷的毯。[0028]本申請的反向膠版印刷可以是一種輥筒印刷方法，其中，形成在印刷版上的圖案被形成在涂布在輥上的光致抗蝕劑上，然后將形成的圖案轉(zhuǎn)移至基板以在基板上形成圖案。[0029]在反向膠版印刷方法中，油墨涂布在毯輥上，通過印刷版的凸形圖案（鉛版，cliche)去除多余部分，然后涂布油墨被轉(zhuǎn)移（設(shè)置）至基板。在反向膠版印刷方法中，為了增加涂布油墨的粘度并將粘度保持在預(yù)定數(shù)值，使用諸如自然干燥、吹干燥以及熱空氣干燥的方法。[0030]圖1為簡圖，示出了根據(jù)本申請的示例性實(shí)施例的包括用于印刷的毯的形成圖案的裝置以及通過使用該裝置形成圖案的方法。[0031]如圖1所示，形成圖案的裝置包括毯輥110、夾縫式涂布機(jī)120、印刷板140和轉(zhuǎn)移基板150。毯輥110由可旋轉(zhuǎn)輥結(jié)構(gòu)112與毯構(gòu)成，該毯覆蓋輥結(jié)構(gòu)112并隨著輥結(jié)構(gòu)112的旋轉(zhuǎn)提供油墨102的涂布表面。輥結(jié)構(gòu)112可以由金屬材料制成。[0032]夾縫式涂布機(jī)120是將油墨102噴涂至毯114的裝置，并且考慮到油墨厚度，與毯114間隔開預(yù)定距離。夾縫式涂布機(jī)120面對毯114的表面具有預(yù)定面積和在一個(gè)方向延伸的長度，進(jìn)一步地，夾縫式涂布機(jī)120的噴嘴（油墨102通過該噴嘴噴涂）具有微小寬度(minutewidth)的夾縫形狀，并且與夾縫式涂布機(jī)120的長度相對應(yīng)的在一個(gè)方向延長。[0033]從夾縫式涂布機(jī)120的微小夾縫噴灑的油墨102附著于毯114,由于油墨102與毯114之間的表面張力，油墨102不會(huì)從毯114上脫離而是保持預(yù)定高度。[0034]從夾縫式涂布機(jī)120噴射的油墨102中包含用于在涂布期間將粘度保持在2cp到IOcp的溶劑。當(dāng)溶劑具有相對低的蒸發(fā)點(diǎn)時(shí)，溶劑用于將粘度保持在2cp到IOcp之間，從而能夠涂布噴嘴。進(jìn)一步地，油墨102可以由金屬基油墨制成。[0035]印刷板140用于圖案化涂布在毯棍110表面上的具有用于膠印的合適粘度的油墨102,并且包括多個(gè)凸部142a和多個(gè)凹部142b。涂布在毯輥110表面的油墨102被轉(zhuǎn)移至多個(gè)凸部142a，但涂布在毯輥110表面的油墨102未被轉(zhuǎn)移至多個(gè)凹部142b。[0036]取決于性能，在旋轉(zhuǎn)過程中，當(dāng)涂布有油墨102的毯輥110在印刷板140上旋轉(zhuǎn)時(shí)，對應(yīng)于印刷板140的凸部142a的毯輥110上的油墨102被移去（去除）以被轉(zhuǎn)移至印刷板140的凸部142a。相反地，對應(yīng)于印刷板140的凹部142b的毯輥110上的油墨102留在毯輥110上，同時(shí)變成所需要的圖形104。[0037]轉(zhuǎn)移基板150是用于轉(zhuǎn)移油墨圖案104的附加物體。當(dāng)毯輥110(油墨圖案104形成在其上）以預(yù)定速度和壓力在轉(zhuǎn)移基板150上旋轉(zhuǎn)時(shí)，油墨圖案105被轉(zhuǎn)移（設(shè)置）到轉(zhuǎn)移基板150上。[0038]根據(jù)本申請的示例性實(shí)施例，印刷層的表面粘度可以是通過使用球式粘度測試方法測量三次的數(shù)值的平均值，在上述方法中，在22°C中和55%的相對濕度的環(huán)境下，直徑為1英寸的不銹鋼球形探針帶有1000g的重物在厚度為400μm的印刷層表面保持30秒。[0039]根據(jù)本申請的示例性實(shí)施例，當(dāng)使用球式粘度測試方法測量印刷層的表面粘度時(shí)，可以在22°C溫度下、誤差范圍為2°C的范圍內(nèi)測量表面粘度。[0040]根據(jù)本申請的示例性實(shí)施例，當(dāng)使用球式粘度測試方法測量印刷層的表面粘度時(shí)，可以在50%的相對濕度下、誤差范圍為5%的范圍內(nèi)測量表面粘度。[0041]根據(jù)本申請的示例性實(shí)施例，可以使用Stablemicrosyste公司制造的XTplus質(zhì)地分析儀測量印刷層的表面粘度。[0042]圖2是示出了用于測量根據(jù)本申請的示例性實(shí)施例的用于膠版印刷的毯的印刷層的表面粘度的球式粘度測試設(shè)備的示意圖。[0043]肖氏A硬度是作為用于膠版印刷的毯所用的主要物理性能數(shù)值。然而，發(fā)明者發(fā)現(xiàn)在形成精細(xì)圖案的用于膠版印刷的毯的情況中，詳細(xì)地講，具有5μm或5μm以下線寬的圖案即使具有相同的肖氏A硬度值，印刷特性也會(huì)很大地變化。發(fā)明者發(fā)現(xiàn)原因是，肖氏A硬度值是非常龐大的性能值，并發(fā)現(xiàn)了適于膠版印刷的形成具有5μπι或5μπι以下線寬的圖案的毯的性能值，因此誤差率是非常小的。[0044]詳細(xì)地講，發(fā)明者發(fā)現(xiàn)，當(dāng)毯的印刷層的表面粘度值保持在7gf或7gf以上并且在20gf或20gf以下時(shí)，可以穩(wěn)定地形成具有5μπι或5μπι以下線寬的圖案。[0045]當(dāng)印刷層的表面粘度值大于20gf時(shí)，未表現(xiàn)出使用鉛版除去（去除）合適圖案的特性，同時(shí)通過印刷板的凸型圖案（鉛版）除去了多余部分，一部分有缺陷地固定至鉛版而被推壓或損壞，因此，當(dāng)形成精細(xì)圖案時(shí)誤差率增加。[0046]當(dāng)印刷層的表面粘度值小于7gf時(shí)，毯與油墨的粘結(jié)特性下降，在精細(xì)圖案轉(zhuǎn)移至（設(shè)置）至基板上之前，精細(xì)圖案全部轉(zhuǎn)移至鉛版，結(jié)果未形成精細(xì)圖案。[0047]本申請的表面粘度指印刷層與油墨接觸的表面的粘度值。詳細(xì)地講，表面粘度指在油墨未涂布在印刷層表面的狀態(tài)下的表面粘度。由于印刷層具有類橡皮性能，油墨的印刷質(zhì)量可以由表面粘度的程度決定。[0048]根據(jù)本申請的示例性實(shí)施例，印刷層的肖氏A硬度可以為20或20以上并且70或70以下。也就是說，印刷層的表面粘度值為7gf或7gf以上并且20gf或20gf以下，同時(shí)，印刷層的肖氏A硬度可以為20或20以上并且70或70以下。[0049]當(dāng)前第1頁1 2